JP3047062B2 - ガスセンサ - Google Patents

ガスセンサ

Info

Publication number
JP3047062B2
JP3047062B2 JP8249412A JP24941296A JP3047062B2 JP 3047062 B2 JP3047062 B2 JP 3047062B2 JP 8249412 A JP8249412 A JP 8249412A JP 24941296 A JP24941296 A JP 24941296A JP 3047062 B2 JP3047062 B2 JP 3047062B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
carbon mixture
metal
carbon
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP8249412A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH1090209A (ja
Inventor
俊紀 野坂
芳昭 櫻井
一輝 夏川
任 四谷
俊策 川端
勝美 西田
一廣 西川
京博 森
洋実 木山
宣典 大森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
OSAKAPREFECTURAL GOVERNMENT
Original Assignee
OSAKAPREFECTURAL GOVERNMENT
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=17192596&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP3047062(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by OSAKAPREFECTURAL GOVERNMENT filed Critical OSAKAPREFECTURAL GOVERNMENT
Priority to JP8249412A priority Critical patent/JP3047062B2/ja
Priority to KR1019980703888A priority patent/KR19990071612A/ko
Priority to US09/101,106 priority patent/US6105417A/en
Priority to EP97941203A priority patent/EP0869355A4/en
Priority to PCT/JP1997/003318 priority patent/WO1998012548A1/ja
Publication of JPH1090209A publication Critical patent/JPH1090209A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3047062B2 publication Critical patent/JP3047062B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
    • G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
    • G01N33/0054—Ammonia
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
    • Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガスセンサ材料に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ガスセンサは、空気等の気体中に含まれ
る特定のガスに感応し、その濃度に応じた電気信号、光
信号等を発するものである。現在、各種の検知方式のガ
スセンサが知られており、ガス成分の認識には、吸着、
反応、発光などのガスの化学的特性が利用されることが
多く、また信号への変換方法については、電池起電力の
様にガスとの接触によって直接センサ信号が得られるエ
ネルギー変換型もあるが、多くは電気抵抗などの材料物
性やトランジスタ特性などのデバイス特性の変化をセン
サ信号へ変換するエネルギー制御型である。
【０００３】代表的なガスセンサ材料としては、比較的
難還元性の酸化物であるＳｎＯ2系、ＺｎＯ系等のもの
があり、現在の商用素子の殆どはｎ型半導体であるＳｎ
Ｏ2系の多孔質焼結体である。この様な酸化物半導体を
用いる半導体ガスセンサには、ガスとの相互作用が半導
体表面にとどまる表面制御型のものと、半導体本体にま
で及ぶバルク制御型のものとがあり、可燃性ガスセンサ
をはじめとして、多くのものは表面制御型である。この
様な表面制御型のセンサでは、半導体表面で化学反応が
起こるが、純粋な半導体だけでは活性が十分でないこと
が多く、半導体粒子表面に貴金属や金属酸化物の微粒子
を分散させてセンサ機能の向上が図られている。
【０００４】しかしながら、これらの従来のガスセンサ
は、ガスを検知するために２００〜３００℃程度に加熱
する必要があり、しかも多くのガスに感応するためガス
種の特定が困難でガス種に対する選択性が充分ではない
という問題点があり、更に改善が望まれている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主な目的は、
室温でガス検知が可能なセンサ材料であって、しかもガ
ス種の選択性に優れたガスセンサ材料を提供することで
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記した如
き課題に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、カーボン電極ア
ーク法によって得られるフラーレンを含有する炭素混合
物は、極性ガスを室温で吸着し、無極性ガスを吸着しな
いという特異なガス吸着特性を示し、しかも炭素微粒子
からなるために表面積が大きく、電気伝導性があって電
気的な計測が可能であることを見出し、この知見に基づ
いて、該炭素混合物のガスセンサ材料としての有用性に
ついて検討したところ、室温でガス検出が可能であっ
て、しかもガス選択性に優れたガスセンサ材料となるこ
とを見出した。更に、アーク放電に用いる炭素電極に金
属成分を含有させ、これを電極として用いてアーク放電
して得られる金属を含有する炭素混合物は、ガスに対す
る検知能力が向上し、ガスに対する選択性もより良好と
なることを見出し、ここに本発明を完成するに至った。
【０００７】即ち、本発明は、下記のガスセンサ材料を
提供するものである： （１）圧力０．１〜６００トールの不活性ガス中で、炭
素電極を用いて、電極の放電面についての電流密度が
０．８〜３．５Ａ／ｍｍ2となる直流電流又は交流電流
を通電して生じるアーク放電による蒸発物として得られ
る炭素混合物からなるガスセンサ材料。
【０００８】（２）圧力０．１〜６００トールの不活性
ガス中で、金属分を０．０１〜３０重量％含有する金属
含有炭素電極を用いて、電極の放電面についての電流密
度が０．８〜３．５Ａ／ｍｍ2となる直流電流又は交流
電流を通電して生じるアーク放電による蒸発物として得
られる金属含有炭素混合物からなるガスセンサ材料。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明においてガスセンサ材料と
して用いる炭素混合物は、不活性ガス中で炭素電極を用
いてアーク放電法によって得られるものである。
【００１０】炭素混合物を製造する装置としては、通常
のアーク放電用の真空装置を用いることができる。
【００１１】不活性ガスとしては、例えば、ヘリウム、
アルゴン、ネオン、クリプトン、キセノン等を用いるこ
とができる。不活性ガスの圧力は、０．１〜６００トー
ル程度とし、好ましくは、１０〜４００トール程度とす
る。
【００１２】炭素混合物を製造する際に、アーク放電に
用いる電極としては、陰極及び陽極の両方の電極として
炭素電極を用いる。
【００１３】アーク放電は、直流電流又は交流電流を通
電することによって行うことができ、炭素電極の放電面
についての電流密度、即ち、陰極と陽極とが一定の間隔
をあけて互いに相対する面についての電流密度は、０．
８〜３．５Ａ／ｍｍ2程度とする。
【００１４】本発明では、この様な方法によって得られ
る炭素混合物をガスセンサ材料とする。この炭素混合物
は、いわゆる炭素ススと称されるものであり、通常、粉
末の状態で装置内に付着して得られる。該炭素混合物
は、通常、直径１ｎｍ程度〜１００μｍ程度の炭素超微
粒子であり、主として、グラファイトカーボン、不定形
カーボン、フラーレン類からなり、フラーレン類は一般
に０．１〜１５重量％程度含まれる。
【００１５】又、本発明では、上記炭素混合物中に金属
成分を含有させて、これをガスセンサ材料とすることが
できる。この様に炭素混合物中に金属成分を含有させる
ことにより、ガスに対する検知感度が向上し、又、含有
させる金属の種類によって、特異な特性を示すものとな
り、ガスに対する選択性も向上する。例えば、ニッケル
を含有する炭素混合物を用いる場合には、三フッ化窒素
の雰囲気下では、直流電流の出力形式が極めて特異なも
のとなり、ガス種の特定が容易になる。
【００１６】金属を含有する炭素混合物からなるセンサ
材料では、金属成分としては、典型元素の金属及び遷移
金属を用いることができ、その具体例としては、Ｂ、Ｍ
ｇ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｉｎ等の典型元素の金属、Ｌａ、Ｎ
ｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｍｎ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ａ
ｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｇ等の遷移金属等を挙げることがで
きる。金属成分は一種単独又は二種以上混合して用いる
ことができ、その含有量は、センサ材料中に０．０１〜
３０重量％程度とすることが適当である。
【００１７】金属を含有する炭素混合物は、金属を含有
する炭素電極を用いて、上記した炭素混合物の製造方法
と同様にして、不活性ガス中でアーク放電を行なうこと
によって得ることができる。金属を含有する炭素電極の
形状等については、特に限定はなく、通常のアーク放電
に用いる電極と同様の形状とすればよく、電極中の金属
成分の含有量は、アーク放電により蒸発消失する電極部
分の金属含有率が目的物であるアーク放電による生成す
る炭素混合物中の金属含有率と同一となるようにすれば
よい。電極中に金属を含有させる方法としては、炭素と
金属粉体を均一に混合し成形して電極とする方法、炭素
電極中に空隙部を設け、この部分に粉体状、線状、ブロ
ック状等の金属を充填する方法などがあるが、いずれの
方法でも良い。アーク放電の条件は、上記した炭素混合
物を得るためのアーク放電と同様の条件とすればよい。
【００１８】金属を含有する炭素電極を用いてアーク放
電により得られる生成物は、上記した炭素混合物と同様
に直径１ｎｍ程度〜１００μｍ程度の炭素超微粒子と、
これと同程度の大きさの金属超微粒子とが混合したもの
となる。このうちで、炭素超微粒子は、グラファイトカ
ーボン、不定形カーボン、フラーレン類からなり、炭素
超微粒子中にフラーレン類は一般に０．１〜１５重量％
程度含まれる。金属含有炭素混合物中の金属の含有率
は、アーク放電によって蒸発消失した電極部分の金属含
有率と同一となる。
【００１９】本発明によれば、上記した方法によって得
られる炭素混合物又は金属含有炭素混合物をセンサ材料
として用いて、ガスセンサを得ることができる。ガスセ
ンサの形状については、特に限定はなく、公知の各種の
ガスセンサと同様とすればよい。例えば、炭素混合物又
は金属含有炭素混合物をペレット状、球形等に成形した
もの、炭素混合物又は金属含有炭素混合物をペースト状
にしてセラミックス基板に印刷したもの、ＭＯＳ構造の
トランジスタとし、金属の代わりに炭素混合物又は金属
含有炭素混合物をつけたＦＥＴ型のもの等とすることが
できる。成形体とする方法は特に限定はなく、炭素混合
物又は金属含有炭素混合物を高圧でプレスすることによ
って成形体とすることもできるが、例えば、パラフィン
等の炭化水素類、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアルコー
ル、カルボキシメチルセルロース、石油ピッチ、石炭ピ
ッチ等をバインダーとして全体量の５〜１０重量％程度
用い、炭素混合物又は金属含有炭素混合物とバインダー
を、水、アルコール類、メチルセルソルブ等の分散媒中
に分散させた後、所望の形状に成形し、固化乾燥させた
後、２００〜３００℃程度で加熱し、更に、必要に応じ
て、４００〜９００℃程度で焼成することによって、成
形体とすることができる。或いは、炭素混合物又は金属
含有炭素混合物にコロイダルシリカを１〜２０重量％程
度添加して成形し、室温〜２００℃で乾燥する方法、炭
素混合物又は金属含有炭素混合物に金属アルコキシド溶
液（例えば、Ｓｉ（ＯＣ2Ｈ5）4を２５ｇ、Ｃ2Ｈ5ＯＨ
を３７．６ｇ、Ｈ2Ｏを２３．５ｇ及びＨＣｌを０．３
ｇ含有する溶液）を１〜３０重量％程度添加して室温〜
２００℃程度で乾燥する方法等により成形体とすること
ができる。
【００２０】これらのガスセンサでは、ガス濃度の変化
に対応して出力電圧又は出力電流に変化が生じることか
ら、ガスの検出が可能である。更に、炭素混合物又は金
属含有炭素混合物を水素振動子に固定し、ガス吸着によ
る重量変化に伴う水素振動子の周波数変化によりガスを
検出することもできる。
【００２１】本発明のセンサ材料を用いたガスセンサに
よれば、室温でガスを検出することができるが、検出ガ
スの種類によっては検出感度が低い場合があるので、検
出感度を向上させるためにセンサを５０〜２００℃程度
まで加熱しても良い。加熱方式は、連続的に一定温度に
加熱する方法でよいが、本発明のセンサ材料は、常温で
ガスを吸着し、加熱すると吸着ガスを放出する性質を有
するので、パルス状加熱を行って、吸着ガスを強制的に
放出しつつガスの検知を行うこともできる。
【００２２】本発明のガスセンサ材料は、極性ガスに感
応し、メタン、ブタン、イソブタンなどの無極性ガスに
は殆ど感応しないという特異な特性を有するものであ
る。又、極性ガスについても、ガス種によって電流又は
電圧の出力形式に相違があることから、これらの特性に
基づいて、容易にガス種を特定できるので、選択性に優
れたセンサ材料である。本発明のセンサ材料を用いて検
出できる極性ガスの例としては、アミノ基を含有するガ
スであるアンモニア、メチルアミン等のアミン類；チオ
ール基を含有するガスであるメチルメルカプタン等の硫
黄化合物；酸素原子を含有するガスであるＮＯｘ、ＳＯ
ｘ等の酸化物；フッ素原子を含有するガスである臭化三
フッ化メタン、二フッ化二塩化メタン等のフロン類及び
三フッ化窒素（ＮＦ3）；塩素原子を含有するガスであ
るジクロロシラン、トリクロロシラン等の塩素化化合
物；水素原子を含有するガスであるアルシン（Ａｓ
Ｈ3）、ホスフィン（ＰＨ3）等の水素化化合物などを挙
げることができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明のガスセンサ材料は、アーク放電
によって得られた炭素混合物又は金属含有炭素混合物
を、精製することなくそのまま利用したのであり、精製
等の操作を要することがないために、精製に伴う廃棄物
の発生やコストの上昇などの弊害を生じることがない。
【００２４】又、該センサ材料は、室温でガス検出が可
能であり、しかもガス種の選択性に優れているために、
非常に有用性が高いものである。
【００２５】
【実施例】以下、実施例を示して本発明を更に詳細に説
明する。
【００２６】実施例１ 図１に示す炭素電極アーク放電装置を用いて炭素混合物
を製造した。該装置において、陽極１及び陰極２として
は、いずれも直径２０ｍｍ、長さ５００ｍｍの炭素電極
を用いた。真空槽３内を真空排気後、ヘリウムガスを真
空槽３内に導入して圧力を１００トールとした後、直流
電源４を用いて、炭素電極１、２に、放電面（電極の互
いに相対する面）についての電流密度が約２Ａ／ｍｍ2
となるように直流電流を通電してアーク放電を行ない、
炭素混合物を蒸発させた。その後、工業用窒素ガスを真
空槽３に導入して槽内を大気圧とした後、真空槽３の内
部に付着した炭素混合物を取り出した。
【００２７】この様にして得られた炭素混合物０．２ｇ
を直径１４ｍｍのダイスに入れ、プレス機により１トン
の荷重を加えて、ペレット状に成形した。
【００２８】得られたペレットについて、以下に示す四
端子法によって室温でアンモニアガスの検知試験を行っ
た。
【００２９】ガス撹拌用ファンを設置した容量５４００
ｍｌのアクリル製容器を試験装置として用い、容器内の
底部に上記炭素混合物のペレットを入れ、該ペレットの
表面に２ｍｍ間隔で直線状に４個の端子を設け、両端の
２端子に０．０９ｍＡの直流電流を流し、内側の二つの
端子の出力電圧を測定し、出力が安定した後、マイクロ
シリンジを使って、容器内にアンモニアガスを５ｐｐｍ
注入し、出力電流の時間変化を求めた。結果を図２に示
す。この結果から、上記炭素混合物が、アンモニアガス
に対して室温で良好な応答性を示すことが判る。
【００３０】実施例２ 直径２０ｍｍ、長さ５００ｍｍの円柱状の炭素棒の一方
の底面の中心部分に直径３．２ｍｍ、深さ１５ｍｍの円
筒状の穴をあけ、この穴にニッケル粉体（２００メッシ
ュ）を０．９ｇ充填して、ニッケルを含有する炭素電極
を作製した。これを陽極１及び陰極２として用い、ニッ
ケルを充填した面同士を一定間隔をあけて相対させて放
電面とし、実施例１と同様の炭素電極アーク放電装置を
用いて、実施例１と同様の条件でアーク放電を行ない、
電極を蒸発させて、真空槽内部の付着物としてニッケル
を含有する炭素混合物を得た。得られた混合物は、粒径
２００オングストローム程度のニッケルを２．９５重量
％含有するものであった。
【００３１】この様にして得られたニッケル含有炭素混
合物をガスセンサ材料として用いて、ガスの検出試験を
行った。
【００３２】試験装置としては、実施例１と同様の試験
装置を用い、実施例１と同様にしてニッケル含有炭素混
合物をペレット状に成形し、実施例１と同様にこれから
４端子を取り出し、両端の２端子に０．１ｍＡの電流を
流し、マイクロシリンジを使って、容器内にアンモニア
ガスを５ｐｐｍ注入した後、一定時間経過後に、容器の
蓋を開けたときのＤＣ電流の出力変化を求めた。結果を
図３に示す。
【００３３】又、同様の試験装置を用いて、ニッケル含
有炭素混合物のペレットから４端子を取り出し、両端の
２端子に０．１ｍＡの電流を流し、マイクロシリンジを
使って、容器内にトリエチルアミンを１０μｌ注入し、
ＤＣ電流の出力変化を求めた。結果を図４に示す。
【００３４】更に、同様の試験装置を用いて、ニッケル
含有炭素混合物のペレットから４端子を取り出し、両端
の２端子に０．１ｍＡの電流を流し、マイクロシリンジ
を使って、容器内に一酸化窒素ガス又は三フッ化窒素ガ
スを８ｐｐｍ注入し、ＤＣ電流の出力変化を求めた。一
酸化窒素ガスについての試験結果を図５に示し、三フッ
化窒素ガスについての試験結果を図６に示す。
【００３５】以上の結果から明らかな様に、ニッケル含
有炭素混合物は、各種の極性ガスに対して優れた感応性
を示し、しかもガス種の相違によってそれぞれ特有の出
力形式を示すことから、ガス種の選択性に優れたもので
ある。特に、三フッ化窒素ガスについては、他のガスと
異なる特異な出力電流形式となるために、ガス種の特定
が容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１で用いたアーク放電装置の概略図。
【図２】実施例１で得た炭素混合物を用いたアンモニア
ガスの検知試験結果を示すグラフ。
【図３】実施例２で得たＮｉ含有炭素混合物を用いたア
ンモニアガスの検知試験結果を示すグラフ。
【図４】実施例２で得たＮｉ含有炭素混合物を用いたト
リエチルアミンの検知試験結果を示すグラフ。
【図５】実施例２で得たＮｉ含有炭素混合物を用いた一
酸化窒素ガスの検知試験結果を示すグラフ。
【図６】実施例２で得たＮｉ含有炭素混合物を用いた三
フッ化窒素ガスの検知試験結果を示すグラフ。
【符号の説明】
１ 炭素電極（陽極） ２ 炭素電極（陰極） ３ 真空槽 ４ 直流電源
フロントページの続き (72)発明者 野坂 俊紀 大阪府和泉市いぶき野３丁目５−12− 301 (72)発明者 櫻井 芳昭 奈良県橿原市久米町473 (72)発明者 夏川 一輝 大阪府堺市赤坂台５丁28−５ (72)発明者 四谷 任 大阪府堺市赤坂台５丁９−６ (72)発明者 川端 俊策 兵庫県姫路市飾磨区中島3001番地 第一 燃料工業株式会社内 (72)発明者 西田 勝美 兵庫県姫路市飾磨区中島3001番地 第一 燃料工業株式会社内 (72)発明者 西川 一廣 兵庫県姫路市飾磨区中島3001番地 第一 燃料工業株式会社内 (72)発明者 森 京博 大阪府堺市築港新町２−６−40 大同ほ くさん株式会社内 (72)発明者 木山 洋実 大阪府堺市築港新町２−６−40 大同ほ くさん株式会社内 (72)発明者 大森 宣典 大阪府堺市築港新町２−６−40 大同ほ くさん株式会社内 (56)参考文献 ＦＥＮＸＩ ＨＵＡＸＵＥ，23（２) 1995 ｐ．163−166 大阪府立産業技術総合研究所報告、10 巻、1997年、58−61頁 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 27/12 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ) Ｃ０４Ｂ ３１／０２

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】圧力０．１〜６００トールの不活性ガス中
    で、炭素電極を用いて、電極の放電面についての電流密
    度が０．８〜３．５Ａ／ｍｍ2となる直流電流又は交流
    電流を通電して生じるアーク放電による蒸発物として得
    られる炭素混合物からなるガスセンサ材料。
  2. 【請求項２】圧力０．１〜６００トールの不活性ガス中
    で、金属分を０．０１〜３０重量％含有する金属含有炭
    素電極を用いて、電極の放電面についての電流密度が
    ０．８〜３．５Ａ／ｍｍ2となる直流電流又は交流電流
    を通電して生じるアーク放電による蒸発物として得られ
    る金属含有炭素混合物からなるガスセンサ材料。
JP8249412A 1996-09-20 1996-09-20 ガスセンサ Expired - Lifetime JP3047062B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8249412A JP3047062B2 (ja) 1996-09-20 1996-09-20 ガスセンサ
KR1019980703888A KR19990071612A (ko) 1996-09-20 1997-09-19 가스센서
US09/101,106 US6105417A (en) 1996-09-20 1997-09-19 Gas sensor
EP97941203A EP0869355A4 (en) 1996-09-20 1997-09-19 GAS SENSOR
PCT/JP1997/003318 WO1998012548A1 (fr) 1996-09-20 1997-09-19 Detecteur de gaz

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8249412A JP3047062B2 (ja) 1996-09-20 1996-09-20 ガスセンサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1090209A JPH1090209A (ja) 1998-04-10
JP3047062B2 true JP3047062B2 (ja) 2000-05-29

Family

ID=17192596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8249412A Expired - Lifetime JP3047062B2 (ja) 1996-09-20 1996-09-20 ガスセンサ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6105417A (ja)
EP (1) EP0869355A4 (ja)
JP (1) JP3047062B2 (ja)
KR (1) KR19990071612A (ja)
WO (1) WO1998012548A1 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6346189B1 (en) * 1998-08-14 2002-02-12 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Carbon nanotube structures made using catalyst islands
US7416699B2 (en) * 1998-08-14 2008-08-26 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Carbon nanotube devices
US6245280B1 (en) * 1999-06-21 2001-06-12 Energy Conversion Devices, Inc. Method and apparatus for forming polycrystalline particles
US6321587B1 (en) * 1999-10-15 2001-11-27 Radian International Llc Solid state fluorine sensor system and method
EP1237643B1 (en) * 1999-11-23 2005-05-11 Materials And Electrochemical Research (Mer) Corporation Gas storage using fullerene based adsorbents
TW523960B (en) * 2000-09-29 2003-03-11 Sony Corp Method of producing fuel cell
US7183228B1 (en) 2001-11-01 2007-02-27 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Carbon nanotube growth
US7022541B1 (en) 2001-11-19 2006-04-04 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Patterned growth of single-walled carbon nanotubes from elevated wafer structures

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3422053C2 (de) * 1984-06-14 1986-07-17 Matter + Siegmann Ag, Wohlen Verfahren zur quantitativen und/oder qualitativen Erfassung von Substanzen
US5227038A (en) * 1991-10-04 1993-07-13 William Marsh Rice University Electric arc process for making fullerenes
US5413689A (en) * 1992-06-12 1995-05-09 Moltech Invent S.A. Carbon containing body or mass useful as cell component
JP2546608B2 (ja) * 1992-06-27 1996-10-23 ドレーゲルヴェルク アクチェンゲゼルシャフト 流体媒体中の被検体を検出するためのセンサおよびその製造方法
US5876684A (en) * 1992-08-14 1999-03-02 Materials And Electrochemical Research (Mer) Corporation Methods and apparati for producing fullerenes
JPH06118042A (ja) * 1992-10-08 1994-04-28 Kyocera Corp ガスセンサ素子
US5393955A (en) * 1993-01-14 1995-02-28 Simmons; Walter N. Preparation of fullerenes and apparatus therefor
US5470680A (en) * 1993-03-19 1995-11-28 Materials And Electrochemical Research Corp. Electrochemical fullerene system
US5350794A (en) * 1993-07-22 1994-09-27 E. I. Du Pont De Nemours And Company Aliphatic polyamide compositions and fibers
JP3358245B2 (ja) * 1993-08-31 2002-12-16 ソニー株式会社 水蒸気センサ
US5547748A (en) * 1994-01-14 1996-08-20 Sri International Carbon nanoencapsulates
JP2611179B2 (ja) * 1994-02-25 1997-05-21 工業技術院長 フラーレンの製造方法及び装置
JP2644677B2 (ja) * 1994-02-28 1997-08-25 名古屋大学長 フラーレン類の製造方法及びその製造装置
JP3337313B2 (ja) * 1994-03-22 2002-10-21 東海カーボン株式会社 フラーレン類の製造方法および装置
CA2120682C (en) * 1994-04-06 1999-02-23 Sabatino Nacson Improved apparatus for rapid and specific detection of organic vapours
JP3517276B2 (ja) * 1994-05-19 2004-04-12 東洋炭素株式会社 フラーレン類の製造方法
JPH08165112A (ja) * 1994-12-08 1996-06-25 Tokai Carbon Co Ltd フラーレン類の製造装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ＦＥＮＸＩ ＨＵＡＸＵＥ，２３（２）１９９５ ｐ．１６３−１６６
大阪府立産業技術総合研究所報告、１０巻、１９９７年、５８−６１頁

Also Published As

Publication number Publication date
JPH1090209A (ja) 1998-04-10
WO1998012548A1 (fr) 1998-03-26
KR19990071612A (ko) 1999-09-27
EP0869355A1 (en) 1998-10-07
US6105417A (en) 2000-08-22
EP0869355A4 (en) 1999-05-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Volanti et al. The role of hierarchical morphologies in the superior gas sensing performance of cuo‐based chemiresistors
Liang et al. Low-resistance gas sensors fabricated from multiwalled carbon nanotubes coated with a thin tin oxide layer
Chang et al. Highly sensitive ZnO nanowire CO sensors with the adsorption of Au nanoparticles
Kim et al. Significant enhancement of the sensing characteristics of In2O3 nanowires by functionalization with Pt nanoparticles
Yoon et al. Microstructure and CO gas sensing properties of porous ZnO produced by starch addition
Jin et al. Synthesis and gas sensing properties of Fe2O3 nanoparticles activated V2O5 nanotubes
Zhang et al. Enhanced room temperature NO 2 response of NiO–SnO 2 nanocomposites induced by interface bonds at the p–n heterojunction
Mao et al. Ultrafast hydrogen sensing through hybrids of semiconducting single-walled carbon nanotubes and tin oxide nanocrystals
Zhu et al. Mechanism study on extraordinary room-temperature CO sensing capabilities of Pd-SnO2 composite nanoceramics
JP4875517B2 (ja) 化学物質センシング素子、化学物質センシング装置、及び化学物質センシング素子の製造方法
US8778714B2 (en) Gas sensitive materials for gas detection and methods of making
Naje et al. Parametric analysis of NO 2 gas sensor based on carbon nanotubes
JP3047062B2 (ja) ガスセンサ
Goel et al. MoS 2-PVP nanocomposites decorated ZnO microsheets for efficient hydrogen detection
Gildo-Ortiz et al. Synthesis, characterization and sensitivity tests of perovskite-type LaFeO3 nanoparticles in CO and propane atmospheres
Liu et al. Structural and gas sensing properties of ultrafine Fe2O3 prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition
Shukla et al. Electrostatic deposition and functionalization of CVD grown multiwalled carbon nanotubes for sensitive & selective detection of CO and NOx at room temperature
Miremadi et al. A hydrogen selective gas sensor from highly oriented films of carbon, obtained by fracturing charcoal
Liang et al. Controllable Synthesis of Pt Functionalized Black Phosphorus (BP) Nanocomposite for High Performance NOx Gas Sensor
Macagnano et al. Nanostructured composite materials for advanced chemical sensors
Pokhrel et al. Solid state electrical conductivity and humidity sensing properties of Cr2O3–MoO3 composites
Alvi et al. CARBON MONO-OXIDE GAS SENSING PROPERTIES OF MULTI-WALLED CARBON NANOTUBES DECORATED WITH PLATINUM NANOPARTICLES BASED FILM SENSORS.
Sidek et al. Electrical response of multi-walled carbon nanotubes to ammonia and carbon dioxide
Bhuiyan et al. Improvement in the sensitivity of SnO2 thin film based NOx gas sensor by loading with single-walled carbon nanotube prepared by pulsed laser deposition process
Khan et al. Metal Oxide Decorated CNT Nanosensors: A Brief Overview

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20000202