JP3047049B2 - Method of manufacturing buried semiconductor laser - Google Patents
Method of manufacturing buried semiconductor laserInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、有機金属気相成長法を
用いた埋込み構造半導体レーザの製造方法に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a buried semiconductor laser using metal organic chemical vapor deposition.
【０００２】[0002]
【従来の技術】埋込み構造半導体レーザを製作する場
合、活性領域を含んだメサ構造を埋め込む工程が必要で
ある。この工程を有機金属気相成長法を用いて行う場
合、有機金属気相成長法が非平衡輸送律則であるために
メサ両端に異常成長が発生し、メサ構造を平坦に埋め込
むことが困難であった。2. Description of the Related Art When a buried semiconductor laser is manufactured, a step of burying a mesa structure including an active region is required. When this step is performed using the metal organic chemical vapor deposition method, abnormal growth occurs at both ends of the mesa due to the non-equilibrium transport rule of the metal organic chemical vapor deposition method, and it is difficult to bury the mesa structure flatly. there were.
【０００３】そのため従来技術においては、図３に示す
ように高さを低く（ｈ＜１μｍ）抑えたメサ構造を用
い、２回の埋込み成長を行うことにより埋込み構造レー
ザ素子を製作したり、また図４に示すように、メサ高の
高いメサ構造を用いたいときはメサ上部の選択マスク１
４に庇を形成してメサ両端の成長を抑えるメサ構造を用
いて埋込み成長を行いレーザ構造を製作したりしてい
た。なお、図３及び図４において、１１ａはｎ形ＩｎＰ
基板、１１ｂはこの基板１１ａ上のＳｅドープｎ形Ｉｎ
Ｐバッファ層、１２はアンドープＩｎＧａＡｓＰ活性
層、１３はｐ形ＩｎＰクラッド層、１４は選択マスクを
形成するＳｉＯ2 膜である。また、１５はｐ形ＩｎＰ電
流ブロック層、１６はｎ形ＩｎＰ電流閉じ込め層、１７
はｐ形ＩｎＰオーバークラッド層、１８はｐ形ＩｎＧａ
ＡｓＰキャップ層である。For this reason, in the prior art, as shown in FIG. 3, a buried structure laser device is manufactured by performing a buried growth twice by using a mesa structure having a low height (h <1 μm). As shown in FIG. 4, when it is desired to use a mesa structure having a high mesa height, the selection mask 1 above the mesa is used.
A laser structure is manufactured by burying and growing a mesa structure that suppresses the growth of the both ends of the mesa by forming an eave on 4. 3 and 4, 11a is an n-type InP.
The substrate 11b is formed of Se-doped n-type In on this substrate 11a.
A P buffer layer, 12 is an undoped InGaAsP active layer, 13 is a p-type InP cladding layer, and 14 is a SiO 2 film for forming a selection mask. 15 is a p-type InP current blocking layer, 16 is an n-type InP current confinement layer, 17
Is a p-type InP over cladding layer, and 18 is a p-type InGa
This is an AsP cap layer.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし上述した従来技
術では、高さを低く抑えたメサ構造を用いた場合（図
３）、ｐ形ＩｎＰ電流ブロック層５，ｎ形ＩｎＰ電流閉
じ込め層６からなる埋込み層でｐ−ｎ逆バイアスにより
十分な電流ブロックを行うためには１．５〜２．０μｍ
程度の膜厚が必要であり、図３に示すようにメサ両端の
埋込み層が大きく盛り上がる（１．０μｍ以上）ことに
なる。そのため、２回目の埋込み成長で基板全面に成長
を行って素子表面の平坦化を行うことが困難であり、そ
の後の電極分離，素子間分離の工程に支障をきたすこと
になる。However, in the above-mentioned prior art, when a mesa structure having a reduced height is used (FIG. 3), it is composed of a p-type InP current blocking layer 5 and an n-type InP current confinement layer 6. 1.5 to 2.0 μm to perform sufficient current blocking by pn reverse bias in the buried layer
A buried layer at both ends of the mesa is greatly raised (1.0 μm or more) as shown in FIG. Therefore, it is difficult to planarize the element surface by growing the entire surface of the substrate in the second burying growth, which hinders the subsequent steps of electrode separation and element separation.
【０００５】また、庇付き選択マスクを用いる場合は
（図４）、メサ構造形成にウェットエッチングを用いる
必要があり、メサ形状の制御性という点で問題があっ
た。そのため、レーザ特性の均一性，制御性の低下，レ
ーザ製作の歩留まりの低下の原因になっていた。When a selective mask with an eaves is used (FIG. 4), it is necessary to use wet etching for forming a mesa structure, and there is a problem in controllability of a mesa shape. As a result, the uniformity and controllability of the laser characteristics have been reduced, and the yield of laser production has been reduced.
【０００６】本発明は以上の点に鑑み、上記のような課
題を解決するためになされたもので、その目的は、メサ
構造埋込み成長時にVI族のドーパントを用いた高濃度ｎ
形ＩｎＰを使用することにより、ｎ形ＩｎＰ層がメサ構
造上部に成長しない条件を実現し、選択マスクの無いメ
サ構造を用いた１回の有機金属気相成長法による埋込み
成長によって高性能な半導体レーザが製作できる製造方
法を提供することにある。In view of the above, the present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a high-concentration n using a group VI dopant at the time of burying a mesa structure.
By using the InP type, the condition that the n-type InP layer does not grow on the mesa structure is realized, and a high-performance semiconductor is obtained by a single buried growth by the metal organic chemical vapor deposition method using the mesa structure without a selection mask. An object of the present invention is to provide a manufacturing method capable of manufacturing a laser.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明は、一回の有機金属気相成長法を用いたメサ構
造埋込み工程においてｎ形ＩｎＰ埋込み層にＳｅなどの
VI族ドーパントをそのドープ量が５×１０ 18 ｃｍ -3 以上
となるように用い、このVI族ドーパント高濃度ドーピン
グｎ形ＩｎＰに特徴的な（１００）微小領域の成長抑制
機構を利用して、メサ構造を選択マスク無しに埋め込む
ことを最も主要な特徴とするものである。[SUMMARY OF] To achieve the above object the present invention, such as Se in the n-type InP buried layer in the mesa structure embedding process using a single metal organic chemical vapor deposition
Group VI dopant with a doping amount of 5 × 10 18 cm −3 or more
Used so that, the Group VI characteristic (100) to the dopant heavily doped n-type InP using a growth inhibition mechanism of the minute region, and most important feature to embed the mesa structure without selection mask Things.
【０００８】[0008]
【作用】したがって本発明によれば、選択成長マスクの
ないメサ構造を１回の有機金属気相成長法により埋め込
むことができる。すなわち、従来の技術では有機金属気
相成長法で埋込み成長を行う場合は、メサ構造領域以外
を埋め込む場合メサ構造上部に選択マスクが必要であっ
た。この選択マスクを用いた埋込み成長では異常成長を
抑えるために、低いメサを用い２回の埋込み成長工程で
埋め込んだり、庇付き選択マスクを用いたりしていた。
しかし、メサを低く抑えた場合は平坦な結晶表面を得る
ことが困難であり、また、庇を製作するためにはウェッ
トエッチングを用いるため、メサ形状の制御性に問題が
残る。According to the present invention, a mesa structure without a selective growth mask can be buried by one metalorganic vapor phase epitaxy. That is, in the prior art, when burying growth is performed by the metal organic chemical vapor deposition method, a selective mask is required above the mesa structure when burying other than the mesa structure region. In the burying growth using this selection mask, in order to suppress abnormal growth, burying is performed in two burying growth steps using a low mesa, or a selection mask with an eaves is used.
However, when the mesa is suppressed to a low level, it is difficult to obtain a flat crystal surface, and since wet etching is used to manufacture the eaves, there remains a problem in controllability of the mesa shape.
【０００９】これに対して本発明では、選択マスクのな
いメサ構造を用いて埋込み成長を行うことが可能であ
り、１回の埋込み成長でメサ構造を埋め込むことができ
る。また、選択マスクを成長面に堆積し、その状態で高
温中で成長する必要がないので、基板に与えるダメージ
も低減する。このことにより、埋込み構造レーザの作製
方法を簡素化できると共に、成長層のダメージの低減に
もつながる。On the other hand, according to the present invention, buried growth can be performed using a mesa structure without a selection mask, and the mesa structure can be buried by one burying growth. Further, since it is not necessary to deposit a selective mask on the growth surface and grow the substrate at a high temperature in that state, damage to the substrate is reduced. This simplifies the method of manufacturing the buried structure laser, and also reduces damage to the growth layer.
【００１０】[0010]
【実施例】実施例１ 図１は本発明による半導体レーザの製造方法の一実施例
を示す工程断面図である。図１において、まず同図(a)
に示すように、（１００）面ｎ形ＩｎＰ基板１ａ上にＳ
ｅドープｎ形ＩｎＰバッファ層１ｂ（膜厚ｄ＝２．０μ
ｍ），アンドープＩｎＧａＡｓＰ活性層２（ｄ＝０．１
μｍ）及びｐ形ＩｎＰクラッド層３（ｄ＝０．３μｍ）
を有機金属気相成長（ＭＯＶＰＥ）法によって成長す
る。Embodiment 1 FIG. 1 is a process sectional view showing one embodiment of a method of manufacturing a semiconductor laser according to the present invention. In FIG. 1, first, FIG.
As shown in FIG. 5, S is formed on the (100) plane n-type InP substrate 1a.
e-doped n-type InP buffer layer 1b (film thickness d = 2.0 μm)
m), undoped InGaAsP active layer 2 (d = 0.1
μm) and p-type InP cladding layer 3 (d = 0.3 μm)
Is grown by metal organic chemical vapor deposition (MOVPE).
【００１１】次に図１(b)に示すように、成長面にスパ
ッタリング法によってＳｉＯ2膜を堆積し、フォトリソ
グラフィ技術によって＜０１１＞方向にストライプ幅
１．５μｍのＳｉＯ2 ストライプマスク４を形成する。
そして、塩素アルゴン系のリアクティブイオンエッチン
グ（ＲＩＥ）装置を使用して高さ１．０μｍ程度のメサ
構造を形成する。さらに、ＨＦによってメサ上面のＳｉ
Ｏ2膜４を除去する。Next, as shown in FIG. 1B, an SiO 2 film is deposited on the growth surface by a sputtering method, and a SiO 2 stripe mask 4 having a stripe width of 1.5 μm is formed in the <011> direction by a photolithography technique. I do.
Then, a mesa structure having a height of about 1.0 μm is formed using a chlorine-argon reactive ion etching (RIE) apparatus. Further, HF is applied to the Si
The O 2 film 4 is removed.
【００１２】次に図１(c) に示すように、ＭＯＶＰＥ法
を用いてＺｎドープｐ形ＩｎＰ電流ブロック層５，Ｓｅ
ドープｎ形ＩｎＰ電流閉じ込め層６を成長する。ｐ形Ｉ
ｎＰ層５，ｎ形ＩｎＰ層６は電流狭窄及び光閉じ込め層
として働く。この時、ｎ形ＩｎＰ層６のＳｅドープ量を
５×１０18ｃｍ-3以上にするとメサ構造上部のｎ形Ｉｎ
Ｐ埋込み層６は成長が抑制され、メサ構造上部はｐ形Ｉ
ｎＰ層５（ｄ＝（メサ外×０．８５）μｍ）のみが成長
した層構造になる。Next, as shown in FIG. 1C, the Zn-doped p-type InP current blocking layer 5, Se
A doped n-type InP current confinement layer 6 is grown. p-type I
The nP layer 5 and the n-type InP layer 6 function as current confinement and light confinement layers. At this time, if the Se doping amount of the n-type InP layer 6 is set to 5 × 10 18 cm −3 or more, the n-type InP
The growth of the P buried layer 6 is suppressed, and the p-type I
Only the nP layer 5 (d = (outside mesa × 0.85) μm) has a grown layer structure.
【００１３】その後連続して、図１(d) に示すように、
基板全面にｐ形ＩｎＰオーバークラッド層７（ｄ＝１．
０μｍ），ｐ形ＩｎＧａＡｓＰキャップ層８（ｄ＝０．
５μｍ）をＭＯＶＰＥ法により成長する。ｐ形ＩｎＰ層
７，ｐ形ＩｎＧａＡｓＰ層８はメサ構造上部にも成長し
素子構造を形成する。Then, continuously, as shown in FIG.
A p-type InP overcladding layer 7 (d = 1.
0 μm), p-type InGaAsP cap layer 8 (d = 0.
5 μm) is grown by the MOVPE method. The p-type InP layer 7 and the p-type InGaAsP layer 8 also grow on the mesa structure to form an element structure.
【００１４】このようにして製作した素子は、メサ構造
埋込み構造成長時にＳｅドーパントを用いた高濃度ｎ形
ＩｎＰ層６を使用することにより、そのｎ形ＩｎＰ層６
がメサ構造上部に成長しない条件を実現できるので、選
択マスクを使用することなく、１回のＭＯＶＰＥ法によ
る埋め込み成長で、埋込み構造レーザ素子を製作するこ
とができる。The device manufactured in this manner uses the high-concentration n-type InP layer 6 using a Se dopant at the time of growing the buried structure of the mesa structure.
Can be realized without using a selection mask, and a single buried growth by the MOVPE method can produce a buried structure laser element.
【００１５】実施例２ 図２は本発明の他の実施例を示す図１相当の工程断面図
であり、同図中図１と同一のものは同一符号を付記して
ある。図２において、まず同図(a) に示すように、（１
００）面ｎ形ＩｎＰ基板１ａ上にＳｅドープｎ形ＩｎＰ
バッファ層１ｂ（ｄ＝２．０μｍ），アンドープＩｎＧ
ａＡｓＰ活性層２（ｄ＝０．１μｍ）をＭＯＶＰＥ法に
よって成長する。Embodiment 2 FIG. 2 is a process sectional view corresponding to FIG. 1 showing another embodiment of the present invention, in which the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. In FIG. 2, first, as shown in FIG.
00) Se-doped n-type InP substrate
Buffer layer 1b (d = 2.0 μm), undoped InG
An aAsP active layer 2 (d = 0.1 μm) is grown by MOVPE.
【００１６】その後は上記実施例１と同様に＜０１１＞
方向のマスクの無いメサ構造を形成し（図２(b) ）、次
にＭＯＶＰＥ法を用いてＺｎドープｐ形ＩｎＰ電流ブロ
ック層５，Ｓｅドープｎ形ＩｎＰ電流閉じ込め層６を成
長して（図２(c) ）、その後連続して、基板全面にｐ形
ＩｎＰオーバークラッド層７（ｄ＝１．０μｍ），ｐ形
ＩｎＧａＡｓＰキャップ層８（ｄ＝０．５μｍ）を成長
し素子構造を形成する（図２(d)）。Thereafter, as in the first embodiment, < 011 >
A mesa structure without a mask in the direction is formed (FIG. 2B), and then a Zn-doped p-type InP current blocking layer 5 and a Se-doped n-type InP current confinement layer 6 are grown by MOVPE (FIG. 2B). 2 (c)) Then, continuously, a p-type InP over cladding layer 7 (d = 1.0 μm) and a p-type InGaAsP cap layer 8 (d = 0.5 μm) are grown on the entire surface of the substrate to form an element structure. (FIG. 2 (d)).
【００１７】このようにして製作した素子においても、
選択マスクを使用しないため、実施例１と同様に１回の
埋め込み成長で、埋込み構造レーザ素子を製作すること
ができる。In the element manufactured in this manner,
Since a selection mask is not used, a buried structure laser element can be manufactured by one burying growth as in the first embodiment.
【００１８】実施例３ この実施例では、上記実施例２において、アンドープＩ
ｎＧａＡｓＰ活性層２の成長後（図２(a) ）、さらに光
導波路層を成長させたのち、この光導波路層に対し回折
格子を形成後、図２(b)の工程と同様にメサ加工を施し
た後、図２(c)及び(d)と同様の工程により、分布帰還形
レーザ素子を製作した。この場合には、回折格子成長後
の再成長工程を省略できる利点がある。Embodiment 3 In this embodiment, the undoped I
After the growth of the nGaAsP active layer 2 (FIG. 2 (a)), after further growing an optical waveguide layer, a diffraction grating is formed on this optical waveguide layer, and a mesa process is performed in the same manner as in the step of FIG. 2 (b). After that, a distributed feedback laser device was manufactured through the same steps as in FIGS. 2 (c) and 2 (d). In this case, there is an advantage that the regrowth step after the growth of the diffraction grating can be omitted.
【００１９】なお、上述した実施例の中でメサ構造形成
方法として塩素アルゴン系ドライエッチングを用いた
が、他の方法でメサ構造の形成を行っても良い。また、
上記実施例では、Ｓなどの他のVI族ドーパントであって
も良いことは言うまでもない。Although the chlorine-argon dry etching is used as the mesa structure forming method in the above-described embodiment, the mesa structure may be formed by another method. Also,
In the above embodiment, it goes without saying that another group VI dopant such as S may be used.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、Ｓｅなど
のVI族のドーパントを用いた高濃度のｎ形ＩｎＰの微小
領域（１００）面での成長抑制を使用することにより、
選択成長マスクのないメサ構造を１回の有機金属気相成
長法で埋め込むことが可能となる。そのため、埋込み構
造レーザの製作工程を簡素化することができるという利
点がある。As described above, the present invention provides a method for suppressing the growth of a high concentration n-type InP on a minute region (100) plane using a group VI dopant such as Se.
A mesa structure without a selective growth mask can be buried by one metal organic chemical vapor deposition method. Therefore, there is an advantage that the manufacturing process of the buried structure laser can be simplified.
【図１】本発明の一実施例を示す工程断面図である。FIG. 1 is a process sectional view showing one embodiment of the present invention.
【図２】本発明の他の実施例を示す工程断面図である。FIG. 2 is a process sectional view showing another embodiment of the present invention.
【図３】従来の製造方法を説明するための工程断面図で
ある。FIG. 3 is a process cross-sectional view for explaining a conventional manufacturing method.
【図４】従来の別の製造方法を説明するための工程断面
図である。FIG. 4 is a process cross-sectional view for explaining another conventional manufacturing method.
１ａ ｎ形ＩｎＰ基板 １ｂ Ｓｅドープｎ形ＩｎＰバッファ層 ２ アンドープＩｎＧａＡｓＰ活性層 ３ ｐ形ＩｎＰクラッド層 ４ ＳｉＯ2膜 ５ ｐ形ＩｎＰ電流ブロック層 ６ Ｓｅドープｎ形ＩｎＰ電流閉じ込め層 ７ ｐ形ＩｎＰオーバークラッド層 ８ ｐ形ＩｎＧａＡｓＰキャップ層1a n-type InP substrate 1b Se-doped n-type InP buffer layer 2 undoped InGaAsP active layer 3 p-type InP cladding layer 4 SiO 2 film 5 p-type InP current blocking layer 6 Se-doped n-type InP current confinement layer 7 p-type InP overcladding Layer 8 p-type InGaAsP cap layer
Claims (3)
にｎ形ＩｎＰバッファ層が形成されている基板上に有機
金属気相成長法により活性層，ｐ形ＩｎＰクラッド層を
堆積する工程と、 この基板表面をストライプ状にマスクし、前記クラッド
層，前記活性層，前記バッファ層または前記半導体基板
を選択的にエッチングしメサ構造を形成する工程と、 このメサ構造上面のマスクを除去する工程とを有し、 選択マスクの無い前記メサ構造を用いた埋込み構造半導
体レーザの製造方法であって、 該基板全面に一回の有機金属気相成長法によりｐ形Ｉｎ
Ｐ電流ブロック層，VI族ドーパントを用いたｎ形ＩｎＰ
電流閉じ込め層，ｐ形ＩｎＰクラッド層とｐ形キャップ
層を堆積する工程を有し、 前記VI族ドーパントはＳｅであり、前記ｎ形ＩｎＰ層の
Ｓｅドープ量を５×１０ 18 ｃｍ -3 以上にし、前記メサ構
造上部は前記ｐ形ＩｎＰ層クラッドのみが成長した層構
造に することを特徴とする埋込み構造半導体レーザの製
造方法。A step of depositing an active layer and a p-type InP cladding layer on an n-type InP semiconductor substrate or on a substrate having an n-type InP buffer layer formed on said substrate by metal organic chemical vapor deposition; A step of forming a mesa structure by selectively etching the cladding layer, the active layer, the buffer layer or the semiconductor substrate by masking the substrate surface in a stripe shape, and a step of removing the mask on the upper surface of the mesa structure. Embedded semiconductor using the mesa structure without a selection mask
A method of manufacturing a body laser, p-type In a single metal organic vapor phase epitaxy on the substrate whole surface
P current blocking layer, n-type InP using group VI dopant
Depositing a current confinement layer, a p-type InP cladding layer and a p-type cap layer , wherein the group VI dopant is Se and the n-type InP layer is
The Se doping amount is set to 5 × 10 18 cm −3 or more,
The upper structure has a layer structure in which only the p-type InP layer clad is grown.
A method for manufacturing a buried semiconductor laser, comprising:
にｎ形ＩｎＰバッファ層が形成されている基板上に有機
金属気相成長法により活性層を堆積する工程と、 この基板表面をストライプ状にマスクし、前記活性層，
前記バッファ層または前記半導体基板を選択的にエッチ
ングしメサ構造を形成する工程と、 このメサ構造上面のマスクを除去する工程とを有し、 選択マスクの無い前記メサ構造を用いた埋込み構造半導
体レーザの製造方法であって、 該基板全面に一回の有機金属気相成長法によりｐ形Ｉｎ
Ｐ電流ブロック層，VI族ドーパントを用いたｎ形ＩｎＰ
電流閉じ込め層，ｐ形ＩｎＰクラッド層とｐ形キャップ
層を堆積する工程を有し、前記VI族ドーパントはＳｅで
あり、前記ｎ形ＩｎＰ層のＳｅドープ量を５×１０ 18 ｃ
ｍ -3 以上にし、前記メサ構造上部は前記ｐ形ＩｎＰ層ク
ラッドのみが成長した層構造にすることを特徴とする埋
込み構造半導体レーザの製造方法。A step of depositing an active layer on the n-type InP semiconductor substrate or a substrate having an n-type InP buffer layer formed on said substrate by a metal organic chemical vapor deposition method; The active layer,
A step of selectively etching the buffer layer or the semiconductor substrate to form a mesa structure; and a step of removing a mask on an upper surface of the mesa structure. A buried structure semiconductor using the mesa structure without a selection mask.
A method of manufacturing a body laser, p-type In a single metal organic vapor phase epitaxy on the substrate whole surface
P current blocking layer, n-type InP using group VI dopant
Depositing a current confinement layer, a p-type InP cladding layer and a p-type cap layer , wherein the group VI dopant is Se.
The Se doping amount of the n-type InP layer is 5 × 10 18 c
m −3 or more, and the upper part of the mesa structure is covered with the p-type InP layer.
A method of manufacturing a buried structure semiconductor laser, wherein a layer structure is formed by growing only a lad .
にｎ形ＩｎＰバッファ層が形成されている基板上に有機
金属気相成長法により活性層を堆積する工程と、 この活性層成長後、さらに光導波路層を成長させたの
ち、その光導波路層に対し回折格子を形成する工程と、 この回折格子形成後、その基板表面をストライプ状にマ
スクし、前記光導波路層，前記活性層，前記バッファ層
または前記半導体基板を選択的にエッチングしメサ構造
を形成する工程と、 このメサ構造上面のマスクを除去する工程とを有し、 選択マスクの無い前記メサ構造を用いた埋込み構造半導
体レーザの製造方法であって、 該基板全面に一回の有機金属気相成長法によりｐ形Ｉｎ
Ｐ電流ブロック層，VI族ドーパントを用いたｎ形ＩｎＰ
電流閉じ込め層，ｐ形ＩｎＰクラッド層とｐ形キャップ
層を堆積する工程を有し、前記VI族ドーパントはＳｅで
あり、前記ｎ形ＩｎＰ層のＳｅドープ量を５×１０ 18 ｃ
ｍ -3 以上にし、前記メサ構造上部は前記ｐ形ＩｎＰ層ク
ラッドのみが成長した層構造にすることを特徴とする埋
込み構造半導体レーザの製造方法。A step of depositing an active layer on the n-type InP semiconductor substrate or a substrate on which an n-type InP buffer layer is formed by metal organic chemical vapor deposition; After growing the optical waveguide layer, forming a diffraction grating on the optical waveguide layer. After forming the diffraction grating, the substrate surface is masked in a stripe shape, and the optical waveguide layer, the active layer, and the A step of selectively etching a buffer layer or the semiconductor substrate to form a mesa structure; and a step of removing a mask on an upper surface of the mesa structure. A buried structure semiconductor using the mesa structure without a selection mask.
A method of manufacturing a body laser, p-type In a single metal organic vapor phase epitaxy on the substrate whole surface
P current blocking layer, n-type InP using group VI dopant
Depositing a current confinement layer, a p-type InP cladding layer and a p-type cap layer , wherein the group VI dopant is Se.
The Se doping amount of the n-type InP layer is 5 × 10 18 c
m −3 or more, and the upper part of the mesa structure is covered with the p-type InP layer.
A method of manufacturing a buried structure semiconductor laser, wherein a layer structure is formed by growing only a lad .
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3285470A JP3047049B2 (en) | 1991-10-07 | 1991-10-07 | Method of manufacturing buried semiconductor laser |
| US07/909,953 US5260230A (en) | 1991-07-12 | 1992-07-07 | Method of manufacturing buried heterostructure semiconductor laser |
| US08/133,507 US5470785A (en) | 1991-07-12 | 1993-10-07 | Method of manufacturing buried heterostructure semiconductor laser |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP3285470A JP3047049B2 (en) | 1991-10-07 | 1991-10-07 | Method of manufacturing buried semiconductor laser |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH05102607A JPH05102607A (en) | 1993-04-23 |
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Cited By (2)
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