JP3027358B2 - Die equipment for tape cutting - Google Patents

Die equipment for tape cutting

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JP3027358B2
JP3027358B2 JP10127580A JP12758098A JP3027358B2 JP 3027358 B2 JP3027358 B2 JP 3027358B2 JP 10127580 A JP10127580 A JP 10127580A JP 12758098 A JP12758098 A JP 12758098A JP 3027358 B2 JP3027358 B2 JP 3027358B2
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cutting
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、弾性を有する接着
剤層にカバーテープが積層された接着テープを上型と下
型とでクランプしてパンチにより打ち抜くテープ切断用
金型装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tape cutting die apparatus for clamping an adhesive tape in which a cover tape is laminated on an elastic adhesive layer with an upper die and a lower die and punching out with a punch.

【0002】[0002]

【従来の技術】今日、PHSや携帯電話、或いはノート
パソコンなどの電子機器が普及しており、これらの電子
機器の制御部には、基板上に制御用のICチップや記憶
用のフラッシュメモリなどの半導体装置が内蔵されてい
る。この半導体装置は、小型・軽量化が進んでおり、該
半導体装置を構成するICチップの固定に、接着テープ
(ダイボンドテープ)が用いられている。例えば、配線
パターンが形成された基板上に、接着剤層が形成された
接着テープ(ダイボンドテープ)を切断して接着してお
き、該接着テープを介して上記ICチップを固定するも
のが実用化されている。上記接着テープを切断して基材
に貼り付けるために、タックシール状の接着テープにカ
ッター刃により切込みを入れたものを剥がしながら上記
基材のダイパッド位置に貼り付けていたが、手作業によ
り行うのは生産性が低く、接着面に塵が付着し易く、ま
た貼り付け位置精度がでない。そこで、テープ切断用金
型装置を用いて長尺状の接着テープを打ち抜いて貼り付
けることが考えられる。
2. Description of the Related Art Today, electronic devices such as PHSs, mobile phones, and notebook personal computers have become widespread, and a control unit of these electronic devices includes a control IC chip and a flash memory for storage on a substrate. Semiconductor device. This semiconductor device has been reduced in size and weight, and an adhesive tape (die bond tape) has been used for fixing an IC chip constituting the semiconductor device. For example, an adhesive tape (die-bond tape) having an adhesive layer formed thereon is cut and adhered onto a substrate on which a wiring pattern is formed, and the above-described IC chip is fixed via the adhesive tape. Have been. In order to cut the adhesive tape and affix it to the base material, the adhesive tape in the form of a tack seal was cut and cut with a cutter blade, and the adhesive tape was attached to the die pad position of the base material. This is because the productivity is low, dust easily adheres to the bonding surface, and the bonding position is not accurate. Therefore, it is conceivable to punch out and attach a long adhesive tape using a tape cutting die apparatus.

【0003】上記テープ切断用金型装置の一例につい
て、図6を参照して説明する。長尺状の接着テープ51
は、繰り出し側のリール(図示せず)より繰り出され、
図の矢印A方向からテープ切断用金型装置52に搬入さ
れる。この接着テープ51は、一般に接着面保護と取扱
いを容易にするために、予め弾性を有する接着剤層53
の両面にカバーテープ54が積層されている。上記接着
テープ51は、上記テープ切断用金型装置52に搬入さ
れる前に、一方側(接着面側)のカバーテープ54が剥
ぎ取られる。
An example of the above-described tape cutting die apparatus will be described with reference to FIG. Long adhesive tape 51
Is paid out from a reel (not shown) on the payout side,
It is carried into the tape cutting die device 52 from the direction of arrow A in the figure. The adhesive tape 51 generally has a pre-elastic adhesive layer 53 for protecting the adhesive surface and facilitating handling.
The cover tape 54 is laminated on both sides of the. Before the adhesive tape 51 is carried into the tape cutting die device 52, the cover tape 54 on one side (adhesive surface side) is peeled off.

【0004】上記テープ切断用金型装置52は、上型5
5と下型56を装備している。上記上型55には、上記
接着テープ51を押圧可能なストリッパープレート5
7、上記接着テープ51を打ち抜くためのパンチ58が
装備されている。上記パンチ58は先端が上記ストリッ
パープレート57を挿通して突き出し可能にパンチプレ
ート59に取り付けられている。このパンチプレート5
9は、バックプレート60により支持されている。上記
バックプレート60の上側にはシャンクプレート61が
設けられている。上記シャンクプレート61とストリッ
パープレート57とを連結するスリーブボルト62の周
囲には、スプリング63が弾装されている。また、上記
パンチ58及びバックプレート60には、図示しない真
空発生装置に連結するエア吸引路58aが形成されてい
る。
[0004] The above-mentioned tape cutting die device 52 is provided with an upper die 5.
5 and lower mold 56 are equipped. The upper die 55 is provided with a stripper plate 5 capable of pressing the adhesive tape 51.
7. A punch 58 for punching the adhesive tape 51 is provided. The punch 58 is attached to the punch plate 59 so that the tip thereof can be protruded through the stripper plate 57. This punch plate 5
9 is supported by the back plate 60. A shank plate 61 is provided above the back plate 60. A spring 63 is elastically mounted around a sleeve bolt 62 connecting the shank plate 61 and the stripper plate 57. The punch 58 and the back plate 60 have an air suction passage 58a connected to a vacuum generator (not shown).

【0005】上記下型56には、ダイ穴64aの周縁部
に切断刃が形成されたダイ64が設けられている。この
ダイ64は、図示しないダイホルダーにより固定されて
いる。また、上記ダイ64に形成されたダイ穴64aの
下方には、ヒータブロック65が設けられている。上記
ヒータブロック65上には、切断された接着テープ51
が接着されるフィルム基材66が例えば図6の紙面に垂
直方向に奥側から手前側へ搬入される。
[0005] The lower die 56 is provided with a die 64 having a cutting blade formed at a peripheral portion of a die hole 64a. The die 64 is fixed by a die holder (not shown). A heater block 65 is provided below the die hole 64a formed in the die 64. On the heater block 65, the cut adhesive tape 51
The film base material 66 to which is adhered is carried in, for example, from the back side to the front side in the direction perpendicular to the paper surface of FIG.

【0006】上記接着テープ51はストリッパープレー
ト57とダイ64によりクランプされた状態でパンチ5
8がダイ穴64aに進入する際に剪断力により切断され
る。この切断された接着テープ51は、エア吸引路58
aに真空圧を発生させることにより、上記パンチ58の
先端部に吸着されたまま上記ヒータブロック65に支持
されたフィルム基材66に接着される。
The adhesive tape 51 is clamped by a stripper plate 57 and a die 64 and the punch 5
8 is cut by shearing force when it enters the die hole 64a. The cut adhesive tape 51 is supplied to the air suction path 58.
By generating a vacuum pressure at a, it is adhered to the film base 66 supported by the heater block 65 while being attracted to the tip of the punch 58.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記接
着テープ51は、弾性を有するため、図7に示すよう
に、パンチ58とダイ64の剪断力が作用して切断でき
ないおそれがある。即ち、上記カバーテープ54は比較
的硬質であるため比較的容易に切断可能であるが、接着
剤層53は比較的軟質な弾性を有する絶縁樹脂により形
成されているため、伸びが生じて切断が不十分となり、
切断できたとしても切断位置精度や切断形状にばらつき
が生ずるおそれがあった。また、上記接着テープ51
は、接着面が露出しているため下型面に貼り付き易く、
一旦貼り付くと上記接着剤層53と下型面との摺動抵抗
が大きいため、搬送できなくなるおそれもあった。
However, since the adhesive tape 51 has elasticity, there is a possibility that the adhesive tape 51 cannot be cut by the shearing force of the punch 58 and the die 64 as shown in FIG. That is, since the cover tape 54 is relatively hard, it can be cut relatively easily. However, since the adhesive layer 53 is formed of a relatively soft elastic insulating resin, the adhesive tape 53 is stretched and cut. Inadequate,
Even if the cutting can be performed, there is a possibility that the cutting position accuracy and the cutting shape may vary. The adhesive tape 51
Is easy to stick to the lower mold surface because the adhesive surface is exposed,
Once adhered, the sliding resistance between the adhesive layer 53 and the lower mold surface is large, so that there is a possibility that the sheet cannot be conveyed.

【0008】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し弾性を有する接着テープを確実に高精度で切断
ると共に、該接着テープが金型面に貼り付くことなく搬
送可能なテープ切断用金型装置を提供することにある。
An object of the present invention, the solve the problems of the prior art, <br/> The rewritable cut at reliably high precision an adhesive tape having an elastic, without adhesive tape sticking to the mold surface An object of the present invention is to provide a transportable tape cutting die apparatus.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は次の構成を備える。即ち、弾性を有する接着剤
層にカバーテープが積層されてなる接着テープを、上型
と下型とでクランプしてパンチにより打ち抜テープ切
断用金型装置において、下型のダイに形成された切断刃
のテープ搬送方向上流側及び下流側位置には、非クラン
プ状態で接着テープを切断刃に非接触に支持するため上
方に付勢された支持ローラが回転自在に各々設けられて
おり、接着テープが上型のストリッパープレートと下型
のダイとによりクランプされる際に、ストリッパープレ
ートが支持ローラを押し下げることにより切断刃が接着
剤層側に接触して切込みが形成され、パンチがカバーテ
ープ側より押動することにより接着テープが打ち抜かれ
ことを特徴とする。
To solve the above-mentioned problems, the present invention has the following arrangement. That is, an adhesive tape cover tape to the adhesive layer are laminated with elastic, and clamped by the upper mold and the lower mold in the tape cutting die apparatus Unplug out by the punch, it is formed in the lower mold die Cutting blade
The upstream and downstream positions of the tape
In order to support the adhesive tape without contacting the cutting blade in the
Support rollers urged toward each other are provided rotatably
When the adhesive tape is clamped by the upper stripper plate and the lower die, the stripper press
The cutting blade adheres when the sheet pushes down the support roller.
The notch is formed in contact with the agent layer side, and the punch
The adhesive tape is punched out by pushing from the loop side
Characterized in that that.

【0010】また支持ローラは、回転軸の両側を支持
ブロックにより回転自在に支持され、該支持ブロックは
弾性部材により上方に付勢されており、ストリッパープ
レートには、支持ブロックを押圧して支持ローラを押し
下げる押圧ブロックが形成されていても良い。このと
き、支持ローラは、ストリッパープレートが下型に設け
られたストッパに突き当たるまで押し下げられて、接着
剤層側に切断刃を接触させて一定量切込みが形成される
のが望ましい。また、接着剤層は、弾性を有する絶縁樹
脂層であっても良く、打ち抜かれた接着テープは、パン
チの先端に吸着保持されたまま、ダイの下方に供給され
たフィルム基材に貼り付けられるようにしても良い。
Further, the support roller is rotatably supported by both side supporting blocks of the rotary shaft, the support block is urged upward by an elastic member, the stripper plate, by pressing the support block supporting A pressing block for pressing down the roller may be formed. At this time, it is preferable that the support roller is pressed down until the stripper plate hits a stopper provided on the lower die, and the cutting blade is brought into contact with the adhesive layer side to form a predetermined amount of cut. Further, the adhesive layer may be an insulating resin layer having elasticity, and the punched adhesive tape is attached to the film base material supplied below the die while being held by suction at the tip of the punch. You may do it.

【0011】上記構成によれば、ストリッパープレート
とダイにより接着テープがクランプされる際に、ダイに
設けられた切断刃が接着剤層側に接触することにより切
込みが形成され、パンチをカバーテープ側より押動する
ことにより接着テープが打ち抜かれるので、弾性を有す
る接着剤層を有する接着テープ確実かつ容易に切断す
ることができる。またダイに形成された切断刃のテー
プ搬送方向上流側及び下流側位置には、非クランプ状態
で接着テープを切断刃に非接触に支持するため上方に付
勢された支持ローラが回転自在に各々設けられているの
で、接着テープが搬送される際に、金型面に接触して貼
り付くことがなく、搬送性を良好に維持することができ
る。特に、支持ローラは、ストリッパープレートが下型
に設けられたストッパに突き当たるまで押し下げられ
て、接着剤層側に切断刃を接触させて一定量切込みが形
成される場合には、弾性を有する接着剤層を予め切断刃
により切断してからカバーテープをパンチにより切断す
れば良いため、接着テープの切断が極めてスムーズに行
える。
According to the above construction, when the adhesive tape is clamped by the stripper plate and the die, a cut is formed by the cutting blade provided on the die coming into contact with the adhesive layer side, and the punch is moved to the cover tape side. since the adhesive tape is punched by more pressing, an adhesive tape having an adhesive layer can be reliably and easily cut with elastic. In addition , at the upstream and downstream positions of the cutting blade formed on the die in the tape conveying direction, a supporting roller urged upward to rotatably support the adhesive tape in a non-clamp state without contacting the cutting blade is rotatably provided. Since each is provided, when the adhesive tape is transported, the adhesive tape does not come into contact with and stick to the mold surface, so that good transportability can be maintained. In particular, when the support roller is pushed down until the stripper plate hits a stopper provided on the lower mold, and the cutting blade is brought into contact with the adhesive layer side to form a predetermined amount of cut, the adhesive having elasticity is used. Since the layer may be cut in advance with a cutting blade and then the cover tape is cut with a punch, the adhesive tape can be cut very smoothly.

【0012】[0012]

【発明の実施の態様】以下、本発明の好適な実施の態様
について添付図面に基づいて詳細に説明する。図1〜図
3はテープ切断用金型の接着テープの切断動作を示す説
明図、図4は図2の接着テープの切断部分の拡大説明
図、図5は下型の平面図である。尚、本実施例は、半導
体装置のICチップの固定用に用いられる接着テープを
切断するためのテープ切断用金型装置について説明する
ものとする。
Preferred embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. 1 to 3 are explanatory views showing the operation of cutting the adhesive tape of the tape cutting die, FIG. 4 is an enlarged explanatory view of a cut portion of the adhesive tape of FIG. 2, and FIG. 5 is a plan view of the lower die. In this embodiment, a tape cutting die apparatus for cutting an adhesive tape used for fixing an IC chip of a semiconductor device will be described.

【0013】先ず、接着テープの構成について説明する
と、接着テープ1はICチップを固定すると共に該IC
チップに作用する熱応力を吸収するため、接着剤層2と
して弾性を有する絶縁樹脂層、例えばエラストマーテー
プが好適に用いられる。上記接着剤層2の両面には、接
着面の保護と取扱い性を考慮して両面にカバーテープ3
が積層して貼り付けられている。長尺状の上記接着テー
プ1は、矢印A方向よりテープ切断用金型装置に搬入さ
れる前に、一方側(接着面側)のカバーテープ3を剥ぎ
取られている(図1〜図4参照)。
First, the structure of the adhesive tape will be described. The adhesive tape 1 fixes an IC chip and
In order to absorb the thermal stress acting on the chip, an elastic insulating resin layer such as an elastomer tape is preferably used as the adhesive layer 2. A cover tape 3 is applied to both sides of the adhesive layer 2 in consideration of protection and handling of the adhesive surface.
Are laminated and attached. Before the long adhesive tape 1 is carried into the tape cutting die device in the direction of arrow A, the cover tape 3 on one side (adhesive surface side) is peeled off (FIGS. 1 to 4). reference).

【0014】また、上記接着テープ1は、切断用プレス
金型装置において、後述するようにパンチとダイとの協
働により打ち抜かれる。この打ち抜かれた接着テープ1
は、上記パンチの先端面にカバーテープ3側が吸着保持
されたまま、上記ダイの下方に設けられたヒータブロッ
ク4上に搬入された絶縁性フィルム基材5に接着剤層2
側が接着される。上記絶縁性フィルム基材5は、例え
ば、ポリイミドフィルム上に銅箔などの金属箔を貼り合
わせたものが好適に用いられ、該金属箔に対して露光、
エッチングなどを施すフォトリソグラフィ工程を経て配
線パターンが形成されている。この配線パターン形成が
形成された絶縁性フィルム基材5のダイパッド部に、上
記切断された接着テープ1が加熱加圧されて接着される
(図1〜図3参照)。
The adhesive tape 1 is punched out by a punch and a die in a cutting die apparatus as described later. This punched adhesive tape 1
The adhesive layer 2 is attached to the insulating film substrate 5 carried on the heater block 4 provided below the die while the cover tape 3 side is held by suction at the tip end surface of the punch.
The sides are glued. As the insulating film substrate 5, for example, a material obtained by laminating a metal foil such as a copper foil on a polyimide film is suitably used, and the metal foil is exposed to light,
A wiring pattern is formed through a photolithography process of performing etching or the like. The cut adhesive tape 1 is heated and pressed and adhered to the die pad portion of the insulating film substrate 5 on which the wiring pattern is formed (see FIGS. 1 to 3).

【0015】次に、上記テープ切断用金型装置の構成に
ついて図1〜図5を参照して具体的に説明する。上記テ
ープ切断用金型装置は、上型6と下型7とを装備してい
る。上記上型6には、上記接着テープ1を押圧可能なス
トリッパープレート8、上記接着テープ1を打ち抜くた
めのパンチ9が装備されている。上記パンチ9は先端が
上記ストリッパープレート8を挿通して突き出し可能に
パンチプレート10に取り付けられている。このパンチ
プレート10は、バックプレート11により支持されて
いる。上記バックプレート11の上側には、上下ロッド
12aが連結するシャンクプレート12が設けられてい
る。このシャンクプレート12には、上記バックプレー
ト11及びパンチプレート10を挿通するスリーブボル
ト13が取り付けられている。このスリーブボルト13
の先端はストリッパープレート8に連結されている。上
記スリーブボルト13の周囲には上記ストリッパープレ
ート8と上記シャンクプレート12との間にスプリング
14が弾装されている。また、上記ストリッパープレー
ト8には、上記下型7側に設けられた後述する支持ブロ
ック23を押し下げ可能な押圧ブロック15が設けられ
ている。また、上記パンチ9及びバックプレート11に
は、図示しない真空発生装置に連結するエア吸引路9a
が形成されている(図1〜図3参照)。
Next, the configuration of the above-described tape cutting die apparatus will be specifically described with reference to FIGS. The above-described tape cutting die apparatus is provided with an upper die 6 and a lower die 7. The upper die 6 is provided with a stripper plate 8 capable of pressing the adhesive tape 1 and a punch 9 for punching the adhesive tape 1. The punch 9 is attached to the punch plate 10 so that the tip can be inserted and protruded through the stripper plate 8. The punch plate 10 is supported by a back plate 11. Above the back plate 11, a shank plate 12 to which the upper and lower rods 12a are connected is provided. The shank plate 12 is provided with a sleeve bolt 13 through which the back plate 11 and the punch plate 10 are inserted. This sleeve bolt 13
Is connected to the stripper plate 8. A spring 14 is mounted around the sleeve bolt 13 between the stripper plate 8 and the shank plate 12. Further, the stripper plate 8 is provided with a pressing block 15 capable of pressing down a support block 23 described later provided on the lower die 7 side. The punch 9 and the back plate 11 have an air suction passage 9a connected to a vacuum generator (not shown).
Are formed (see FIGS. 1 to 3).

【0016】上記下型7には、ダイホルダー16に固定
されたダイプレート17には、ダイインサート(以下単
に「ダイ」という)18が固定されている(図5参
照)。上記ダイプレート17には、上型6が上下動する
際に該上型6のバックプレート11に設けられたガイド
ポスト(図示せず)が挿通可能なガイド穴17aが形成
されている。上記ダイ18のダイ穴18aの周縁部に
は、突起状の切断刃19が形成されている。この切断刃
19は、刃先を上方に向けて鋭角状に形成されている
(図4参照)。上記ダイ穴18の内壁には、上部開口よ
り下部開口の方が開口面積が広がるようなテーパ面が形
成されている。また、上記ダイ18のダイ穴18aの下
方には、ヒータブロック4が設けられている(図1〜図
3参照)。上記ヒータブロック4上には、切断された接
着剤層2が接着される絶縁性フィルム基材5が例えば図
5の上方より下方に向かって搬入される。上記ヒータブ
ロック4には、ヒータ20が内蔵されている。
In the lower die 7, a die insert (hereinafter, simply referred to as "die") 18 is fixed to a die plate 17 fixed to a die holder 16 (see FIG. 5). The die plate 17 has a guide hole 17a through which a guide post (not shown) provided in the back plate 11 of the upper die 6 can be inserted when the upper die 6 moves up and down. A protruding cutting blade 19 is formed at the periphery of the die hole 18 a of the die 18. The cutting blade 19 is formed in an acute angle with the cutting edge facing upward (see FIG. 4). A tapered surface is formed on the inner wall of the die hole 18 so that the opening area of the lower opening is larger than that of the upper opening. A heater block 4 is provided below the die hole 18a of the die 18 (see FIGS. 1 to 3). On the heater block 4, an insulating film substrate 5 to which the cut adhesive layer 2 is adhered is carried in, for example, downward from above in FIG. The heater block 4 has a built-in heater 20.

【0017】また、上記ダイ18に形成された前記切断
刃19のテープ搬送方向(図5の矢印A方向上流側及び
下流側近傍位置には、押圧支持ローラ21が回転自在に
各々設けられている。この押圧支持ローラ21の両側に
も固定支持ローラ22が回転自在に設けられている。上
記押圧支持ローラ21は、接着テープ1の接着剤層2側
に当接して、非クランプ状態で上記接着テープ1が上記
切断刃19に非接触となるように支持している。また、
上記固定支持ローラ22は、非クランプ状態で上記接着
テープ1が下型面と密着しないように支持している。
Press support rollers 21 are provided rotatably at positions near the upstream and downstream sides of the cutting blade 19 formed on the die 18 in the tape transport direction (the direction of arrow A in FIG. 5). A fixed support roller 22 is rotatably provided on both sides of the pressing support roller 21. The pressing support roller 21 comes into contact with the adhesive layer 2 of the adhesive tape 1 so that the bonding is performed in an unclamped state. The tape 1 is supported so as to be out of contact with the cutting blade 19.
The fixed support roller 22 supports the adhesive tape 1 in an unclamped state so that the adhesive tape 1 does not contact the lower mold surface.

【0018】上記押圧支持ローラ21の回転軸21aの
両端は支持ブロック23により各々支持されている。こ
の支持ブロック23は、押圧スプリング24により常時
上方へ付勢されている。これにより、非クランプ状態で
上記押圧支持ローラ21は上記接着テープ1が上記切断
刃19に非接触となるように支持している。上記押圧支
持ローラ21は、ストリッパープレート8が下動して上
記接着テープ1をクランプする際に、押圧ブロック15
が上記支持ブロック23に当接して、上記押圧スプリン
グ24の付勢力に抗して押し下げる。上記ストリッパー
プレート8は、ダイ18に設けられたハイトストッパ2
5に突き当たるまで上記押圧支持ローラ21が押し下げ
る。このとき、上記接着テープ1の接着剤層2に上記切
断刃19を接触させて一定量切込みが形成される(図4
参照)。
Both ends of the rotating shaft 21a of the pressing support roller 21 are supported by support blocks 23, respectively. The support block 23 is constantly urged upward by a pressing spring 24. Thus, in the unclamped state, the pressing support roller 21 supports the adhesive tape 1 so that the adhesive tape 1 is not in contact with the cutting blade 19. When the stripper plate 8 moves downward to clamp the adhesive tape 1, the pressing support roller 21 presses the pressing block 15
Abuts against the support block 23 and pushes down against the urging force of the pressing spring 24. The stripper plate 8 is provided with a height stopper 2 provided on a die 18.
The pressing support roller 21 is pressed down until it comes into contact with No. 5. At this time, the cutting blade 19 is brought into contact with the adhesive layer 2 of the adhesive tape 1 to form a predetermined amount of cut.
reference).

【0019】上記ストリッパープレート8が上記接着テ
ープ1をクランプする際に、上記ハイトストッパ25に
突き当たることでクランプ状態における上記接着テープ
1の高さ位置は一定となるため、上記切断刃19の刃先
の進入量は、常に一定高さ位置まで、本実施例では接着
剤層2を切断する高さ位置まで進入するように調整され
ている。これによって、弾性を有する上記接着剤層2を
予め切断刃19により切断しておくことにより、パンチ
9はカバーテープ3のみを剪断するだけで済むため、接
着テープ1の切断が極めてスムーズにかつ高精度に行え
る。
When the stripper plate 8 clamps the adhesive tape 1, the height position of the adhesive tape 1 in the clamped state is fixed by abutting against the height stopper 25, so that the cutting edge of the cutting blade 19 The amount of intrusion is adjusted so as to always reach a certain height position, in this embodiment, a height position at which the adhesive layer 2 is cut. By cutting the adhesive layer 2 having elasticity by the cutting blade 19 in advance, the punch 9 only needs to shear the cover tape 3 alone, so that the adhesive tape 1 can be cut very smoothly and with a high height. Can be done with precision.

【0020】次に、上記テープ切断用金型装置の接着テ
ープの切断動作について、図1〜図3を参照して説明す
る。先ず、図1において、接着剤層2にカバーテープ3
が積層された接着テープ1を型開きした下型7上にセッ
トする。このとき、上記接着テープ1は、接着剤層2側
を上方に付勢された押圧支持ローラ21及び固定支持ロ
ーラ22により、切断刃19に非接触に支持されてい
る。また、上記ヒータブロック4上には、絶縁性フィル
ム基材5が図1の紙面奥側より手前側に向かって搬入さ
れている。
Next, the cutting operation of the adhesive tape of the above tape cutting die apparatus will be described with reference to FIGS. First, in FIG. 1, a cover tape 3 is applied to the adhesive layer 2.
Is set on the lower mold 7 having the mold opened. At this time, the adhesive tape 1 is supported in a non-contact manner with the cutting blade 19 by the pressing support roller 21 and the fixed support roller 22 urged upward on the adhesive layer 2 side. Further, an insulating film substrate 5 is carried into the heater block 4 from the back side to the front side in FIG.

【0021】次に、図2において、上型6が下動してス
トリッパープレート8上記支持ブロック23が上記押圧
スプリング24の付勢力に抗して押圧ブロック15に押
圧されて、上記ストリッパープレート8がハイトストッ
パ25に突き当たるまで上記押圧支持ローラ21が押し
下げられる。そして、上記接着テープ1がクランプされ
た状態で、接着剤層2に切断刃19が接触して一定量切
込みが形成される(図4参照)。これによって、上記接
着テープ1のうち上記接着剤層2は予め切断された状態
となる。また、上記接着剤層2はクランプ状態では上記
押圧支持ローラ21及び固定支持ローラ22に支持され
ているので、下型面に密着し難いようになっているが、
仮に密着したとしても、非クランプ状態で上記押圧支持
ローラ21が押圧スプリング24により上方に付勢され
るので、搬送される際に下型面に密着したままになるこ
とはない。
Next, in FIG. 2, the upper die 6 moves down, and the support block 23 is pressed by the pressing block 15 against the urging force of the pressing spring 24, so that the stripper plate 8 is moved. The pressing support roller 21 is pushed down until it hits the height stopper 25. Then, while the adhesive tape 1 is clamped, the cutting blade 19 comes into contact with the adhesive layer 2 to form a predetermined amount of cut (see FIG. 4). As a result, the adhesive layer 2 of the adhesive tape 1 is cut in advance. Further, since the adhesive layer 2 is supported by the pressing support roller 21 and the fixed support roller 22 in the clamped state, it is difficult for the adhesive layer 2 to adhere to the lower mold surface.
Even if they are in close contact with each other, the pressing support roller 21 is urged upward by the pressing spring 24 in an unclamped state, and therefore does not remain in close contact with the lower mold surface when being conveyed.

【0022】次に、図3において、上記接着テープ1が
ストリッパープレート8とダイ18によりクランプされ
た状態で、パンチ9がダイ穴18aに進入する際に剪断
力によりカバーテープ3が切断される。このとき上記パ
ンチ9には、図示しない真空発生装置が吸引動作を開始
しており、エア吸引路9aに真空圧が発生している。よ
って、この切断された接着剤層2は、カバーテープ3側
が上記パンチ9の先端部に吸着されたまま下動して、上
記ヒータブロック4上に支持された絶縁性フィルム基材
5に接着剤層2側が押圧され、加熱加圧されて接着され
る。
Next, in FIG. 3, in a state where the adhesive tape 1 is clamped by the stripper plate 8 and the die 18, when the punch 9 enters the die hole 18a, the cover tape 3 is cut by a shearing force. At this time, a vacuum generating device (not shown) has started a suction operation on the punch 9, and a vacuum pressure is generated in the air suction passage 9a. Thus, the cut adhesive layer 2 moves downward while the cover tape 3 side is being adsorbed to the tip of the punch 9, and the adhesive layer 2 adheres to the insulating film substrate 5 supported on the heater block 4. The layer 2 side is pressed, heated and pressed, and adhered.

【0023】上記構成によれば、接着テープ1がストリ
ッパープレート8とダイ18によりクランプされる際
に、上記ダイ18に設けられた切断刃19が接着剤層2
側に接触して予め切込みを形成し、パンチ9がカバーテ
ープ3側より押動することにより上記接着テープ1を打
ち抜くようにしたので、弾性を有する接着剤層2を有す
る接着テープ1確実かつ容易に切断することができ
る。また上記ダイ18に形成された上記切断刃19の
テープ搬送方向上流側及び下流側位置には、非クランプ
状態で上記接着テープ1を上記切断刃19に非接触に支
持するため上方に付勢された押圧支持ローラ21が回転
自在に各々設けられているので、上記接着テープ1が搬
送される際に、下型面に接触して貼り付くことがなく、
搬送性を良好に維持することができる。特に、上記押圧
支持ローラ21は、上記ストリッパープレート8が上記
下型7に設けられたハイトストッパ25に突き当たるま
で押し下げられて、上記接着剤層2側に上記切断刃19
を接触させて一定量切込みが形成される場合には、弾性
を有する上記接着剤層2を予め上記切断刃19により切
断してから上記カバーテープ3を上記パンチ9により切
断すれば良いため、上記接着テープ1の切断が極めてス
ムーズに行える。
According to the above configuration, when the adhesive tape 1 is clamped by the stripper plate 8 and the die 18, the cutting blade 19 provided on the die 18
The adhesive tape 1 having the adhesive layer 2 having elasticity can be reliably and reliably formed by cutting the adhesive tape 1 by pressing the cover 9 from the cover tape 3 by punching the adhesive tape 1 by pressing the cover 9 from the cover tape 3 side. Can be easily cut. In addition , at the upstream and downstream positions of the cutting blade 19 formed on the die 18 in the tape transport direction, the adhesive tape 1 is urged upward to support the adhesive tape 1 in a non-clamp state without contacting the cutting blade 19. Since the pressed pressure supporting rollers 21 are provided rotatably, when the adhesive tape 1 is conveyed, it does not contact and adhere to the lower mold surface,
Good transportability can be maintained. In particular, the pressing support roller 21 is pushed down until the stripper plate 8 hits a height stopper 25 provided on the lower die 7, and the cutting blade 19 is moved to the adhesive layer 2 side.
When a predetermined amount of cut is formed by contacting the adhesive tape, the elastic adhesive layer 2 may be cut in advance by the cutting blade 19 and then the cover tape 3 may be cut by the punch 9. The adhesive tape 1 can be cut very smoothly.

【0024】本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、上記テープ切断用金型装置は、半導体装置の製造
用に用いられる場合について説明したが、他の弾性を有
し摺動抵抗が大きいテープ材の切断用に広く応用でいる
のは言うまでもなく、発明の精神を逸脱しない範囲で種
々の改変をなし得ることは勿論である。
The present invention is not limited to the above embodiment, the tape cutting die apparatus, the manufacture of semiconductor devices
Has been described, but other elasticity
Widely used for cutting tape materials with high sliding resistance
It goes without saying that various modifications can be made without departing from the spirit of the invention.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明は、前述したように、ストリッパ
ープレートとダイにより接着テープがクランプされる際
に、ダイに設けられた切断刃が接着剤層側に接触して切
込みを形成し、パンチをカバーテープ側より押動させる
ことにより接着テープを打ち抜くようにしたので、弾性
を有する接着剤層を有する接着テープ確実かつ容易に
切断することができる。またダイに形成された切断刃
のテープ搬送方向上流側及び下流側位置には、非クラン
プ状態で接着テープを切断刃に非接触に支持するため上
方に付勢された支持ローラが回転自在に各々設けられて
いるので、接着テープが搬送される際に、金型面に接触
して貼り付くことがなく、搬送性を良好に維持すること
ができる。特に、支持ローラは、ストリッパープレート
が下型に設けられたストッパに突き当たるまで押し下げ
られて、接着剤層側に切断刃を接触させて一定量切込み
が形成される場合には、弾性を有する接着剤層を予め切
断刃により切断してからカバーテープをパンチにより切
断すれば良いため、接着テープの切断が極めてスムーズ
に行える。
As described above, according to the present invention, when the adhesive tape is clamped by the stripper plate and the die, the cutting blade provided on the die contacts the adhesive layer side to form a cut, and the punch is formed. the since as punched adhesive tape by pressing from the cover tape side, it is possible to cut the adhesive tape having an adhesive layer having elasticity reliably and easily. In addition , at the upstream and downstream positions of the cutting blade formed on the die in the tape conveying direction, a supporting roller urged upward to rotatably support the adhesive tape in a non-clamp state without contacting the cutting blade is rotatably provided. Since each is provided, when the adhesive tape is transported, the adhesive tape does not come into contact with and stick to the mold surface, so that good transportability can be maintained. In particular, when the support roller is pushed down until the stripper plate hits a stopper provided on the lower mold, and the cutting blade is brought into contact with the adhesive layer side to form a predetermined amount of cut, the adhesive having elasticity is used. Since the layer may be cut in advance with a cutting blade and then the cover tape is cut with a punch, the adhesive tape can be cut very smoothly.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】テープ切断用金型装置の接着テープの切断動作
を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory view showing a cutting operation of an adhesive tape of a tape cutting die device.

【図2】テープ切断用金型装置の接着テープの切断動作
を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory view showing an operation of cutting an adhesive tape in a tape cutting die apparatus.

【図3】テープ切断用金型装置の接着テープの切断動作
を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a cutting operation of an adhesive tape of a tape cutting mold device.

【図4】図2の接着テープの切断部分の拡大説明図であ
る。
FIG. 4 is an enlarged explanatory view of a cut portion of the adhesive tape of FIG. 2;

【図5】下型の平面図である。FIG. 5 is a plan view of a lower die.

【図6】従来のテープ切断用金型装置の説明図である。FIG. 6 is an explanatory view of a conventional tape cutting die apparatus.

【図7】従来の接着テープの切断動作を示す説明図であ
る。
FIG. 7 is an explanatory view showing a conventional adhesive tape cutting operation.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 接着テープ 2 接着剤層 3 カバーテープ 4 ヒータブロック 5 絶縁性フィルム基材 6 上型 7 下型 8 ストリッパープレート 9 パンチ 9a エア吸引路 10 パンチプレート 11 バックプレート 12 シャンクプレート 12a 上下ロッド 13 スリーブボルト 14 スプリング 15 押圧ブロック 16 ダイホルダー 17 ダイプレート 17a ガイド穴 18 ダイ 18a ダイ穴 19 切断刃 20 ヒータ 21 押圧支持ローラ 22 固定支持ローラ 23 支持ブロック 24 押圧スプリング 25 ハイトストッパ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Adhesive tape 2 Adhesive layer 3 Cover tape 4 Heater block 5 Insulating film base material 6 Upper die 7 Lower die 8 Stripper plate 9 Punch 9a Air suction path 10 Punch plate 11 Back plate 12 Shank plate 12a Vertical rod 13 Sleeve bolt 14 Spring 15 Press block 16 Die holder 17 Die plate 17a Guide hole 18 Die 18a Die hole 19 Cutting blade 20 Heater 21 Press support roller 22 Fixed support roller 23 Support block 24 Press spring 25 Height stopper

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B26F 1/44 B26F 1/40 B26F 1/38 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) B26F 1/44 B26F 1/40 B26F 1/38

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 弾性を有する接着剤層にカバーテープが
積層されてなる接着テープを、上型と下型とでクランプ
してパンチにより打ち抜テープ切断用金型装置におい
て、前記下型のダイに形成された切断刃のテープ搬送方向上
流側及び下流側位置には、非クランプ状態で前記接着テ
ープを前記切断刃に非接触に支持するため上方に付勢さ
れた支持ローラが回転自在に各々設けられており、 前記
接着テープが前記上型のストリッパープレートと前記下
型のダイとによりクランプされる際に、前記ストリッパ
ープレートが前記支持ローラを押し下げることにより前
記切断刃が前記接着剤層側に接触して切込みが形成さ
れ、前記パンチが前記カバーテープ側より押動すること
により前記接着テープが打ち抜かれることを特徴とする
テープ切断用金型装置。
The method according to claim 1 adhesive tape cover tape adhesive layer having elasticity are laminated, the upper and lower molds and tape cutting die apparatus Unplug out by the punch is clamped in, the lower mold In the tape transport direction of the cutting blade formed on the die
At the upstream and downstream positions, the adhesive
To support the cutting blade in a non-contact manner with the cutting blade.
Are provided rotatably, and when the adhesive tape is clamped by the upper stripper plate and the lower die, the stripper is used.
The plate is pushed down by the support roller
The cutting blade contacts the adhesive layer side to form a cut.
The punch is pushed from the cover tape side.
Wherein the adhesive tape is punched by the following method.
【請求項2】 前記支持ローラは、回転軸の両側を支持
ブロックにより回転自在に支持され、該支持ブロックは
弾性部材により上方に付勢されており、前記ストリッパ
ープレートには、前記支持ブロックを押圧して前記支持
ローラを押し下げる押圧ブロックが形成されていること
を特徴とする請求項1記載のテープ切断用金型装置。
2. The support roller supports both sides of a rotating shaft.
It is rotatably supported by a block, and the support block is
The stripper is urged upward by an elastic member.
The plate is pressed against the support block to
2. A tape cutting die apparatus according to claim 1, wherein a pressing block for pressing down the roller is formed .
【請求項3】 前記支持ローラは、前記ストリッパープ
レートが前記下型に設けられたストッパに突き当たるま
で押し下げられて、前記接着剤層側に前記切断刃を接触
させて一定量切込みが形成されることを特徴とする請求
項2記載のテープ切断用金型装置。
3. The stripper roller according to claim 1 , wherein
Until the rate hits the stopper provided on the lower mold.
And the cutting blade comes into contact with the adhesive layer side
3. The tape cutting die device according to claim 2 , wherein a predetermined amount of cut is formed .
【請求項4】 前記接着剤層は、弾性を有する絶縁樹脂
層であることを特徴とする請求項1、2又は請求項3記
載のテープ切断用金型装置。
4. The adhesive layer is made of an insulating resin having elasticity.
Tape cutting mold system according to claim 1 or claim 3, wherein the a layer.
【請求項5】 前記打ち抜かれた接着テープは、前記パ
ンチの先端に吸着保持されたまま、前記ダイの下方に供
給されたフィルム基材に貼り付けられることを特徴とす
る請求項1、2、3又は請求項4記載のテープ切断用金
型装置。
5. The punched adhesive tape according to claim 1 , wherein
While holding the tip of the
5. The tape cutting die device according to claim 1, wherein the tape cutting die device is attached to a supplied film substrate .
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