JP3020488B2 - 液体マイクロポンプ - Google Patents
液体マイクロポンプInfo
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液体マイクロバ
ルブとマイクロポンプに関するものである。さらに詳し
くは、この発明は、血液のｐＨをモニタするシステム
や、血液、尿、脳脊髄液などの生体液中の極微量の生体
物質を分離分析する液体クロマトグラフィーシステムに
有用な超小型液体マイクロバルブとマイクロポンプに関
するものである。
ルブとマイクロポンプに関するものである。さらに詳し
くは、この発明は、血液のｐＨをモニタするシステム
や、血液、尿、脳脊髄液などの生体液中の極微量の生体
物質を分離分析する液体クロマトグラフィーシステムに
有用な超小型液体マイクロバルブとマイクロポンプに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】血液のｐＨモニタシステムや化学分析用
に用いられる液体クロマトグラフは、すでに様々な方式
と構成からなる装置が開発され、実用に供されている。
しかしながら、これらはいずれもバルブやポンプなどの
機構部や検知部が大型となっており、測定試料がある一
定量以上必要であるという制約があり、さらに測定時間
がかかるという問題があった。
に用いられる液体クロマトグラフは、すでに様々な方式
と構成からなる装置が開発され、実用に供されている。
しかしながら、これらはいずれもバルブやポンプなどの
機構部や検知部が大型となっており、測定試料がある一
定量以上必要であるという制約があり、さらに測定時間
がかかるという問題があった。
【０００３】特に、血液ｐＨの常時モニタシステムや、
血液、尿、脳脊髄液などの生体液中の生体物質を分離・
分析するシステムにおいては、極微量の測定試料を高速
で測定できることが不可欠である。しかしながら、現状
のシステムにおいては、この要求を満足することはでき
ない。このような問題を解決するために、シリコン基板
状にポンプやカラムを形成した超小型の集積化ガスクロ
マトグラフィーが提案されているが、その用途はガス分
析に限定され、かつ、従来の微量ポンプでは脈動が大き
く、分析装置の検出器で雑音の原因となるなど、精度や
分解能の点で問題があり実用化はされていない。
血液、尿、脳脊髄液などの生体液中の生体物質を分離・
分析するシステムにおいては、極微量の測定試料を高速
で測定できることが不可欠である。しかしながら、現状
のシステムにおいては、この要求を満足することはでき
ない。このような問題を解決するために、シリコン基板
状にポンプやカラムを形成した超小型の集積化ガスクロ
マトグラフィーが提案されているが、その用途はガス分
析に限定され、かつ、従来の微量ポンプでは脈動が大き
く、分析装置の検出器で雑音の原因となるなど、精度や
分解能の点で問題があり実用化はされていない。
【０００４】シリコン基板上に、マイクロマシニング技
術を用いてマイクロバルブやマイクロポンプを形成する
場合には、液体分析用に用いるものはガス用に比較して
高度な製造技術が必要とされるため、さらに実用化は困
難である。その理由には以下のことがあげられる。第１
に、液体は気体に比べ粘性が高いため、液体用のバルブ
は気体用に比べて流路やバルブ部分の抵抗を小さくする
必要があり、それぞれの寸法を大きくしなければならな
い。第２に、それに従ってバルブやそれを可動するアク
チュエータの変位を大きくとることが必要であり、この
ような大きな変位のもとで安定に動作するバルブやアク
チュエータを選択することは簡単ではない。第３に、ポ
ンプの場合、逆流を防ぐための逆止弁が必要となり、安
定に動作するための材料選択や構造設計が極めて難し
い。第４に、流路やバルブの寸法が大きくなるために、
強度の大きな基板を用いる必要があり、かつ安全な気密
性を有する基板間接合を開発することが必要となるが、
これは、いままで実現されてきていない。
術を用いてマイクロバルブやマイクロポンプを形成する
場合には、液体分析用に用いるものはガス用に比較して
高度な製造技術が必要とされるため、さらに実用化は困
難である。その理由には以下のことがあげられる。第１
に、液体は気体に比べ粘性が高いため、液体用のバルブ
は気体用に比べて流路やバルブ部分の抵抗を小さくする
必要があり、それぞれの寸法を大きくしなければならな
い。第２に、それに従ってバルブやそれを可動するアク
チュエータの変位を大きくとることが必要であり、この
ような大きな変位のもとで安定に動作するバルブやアク
チュエータを選択することは簡単ではない。第３に、ポ
ンプの場合、逆流を防ぐための逆止弁が必要となり、安
定に動作するための材料選択や構造設計が極めて難し
い。第４に、流路やバルブの寸法が大きくなるために、
強度の大きな基板を用いる必要があり、かつ安全な気密
性を有する基板間接合を開発することが必要となるが、
これは、いままで実現されてきていない。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、以上の問
題点ならびに技術的な課題に鑑みてなされたものであ
り、マイクロマシニング技術を用いて形成した液体用の
マイクロバルブあるいはマイクロポンプを提供すること
を目的としている。さらにまた、この発明は、極微量の
生体液を高速で高精度に分析できるシステムをも提供す
るものである。
題点ならびに技術的な課題に鑑みてなされたものであ
り、マイクロマシニング技術を用いて形成した液体用の
マイクロバルブあるいはマイクロポンプを提供すること
を目的としている。さらにまた、この発明は、極微量の
生体液を高速で高精度に分析できるシステムをも提供す
るものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を実現するために、液体の流路とともに液体の導入出口
穴を有するシリコン基板と、液体の流路を有するシリコ
ン基板あるいはガラス基板とを気密接合した構造からな
り、シリコンゴムシートの弁と、この弁の開閉のための
アクチュエータを配設し、アクチュエータによって弁を
導入出口穴に押し付けて閉じ、アクチュエータが戻るこ
とによって弁を開くことを特徴とするノーマリオープン
型またはノーマリクローズ型の液体マイクロバルブを提
供する。
を実現するために、液体の流路とともに液体の導入出口
穴を有するシリコン基板と、液体の流路を有するシリコ
ン基板あるいはガラス基板とを気密接合した構造からな
り、シリコンゴムシートの弁と、この弁の開閉のための
アクチュエータを配設し、アクチュエータによって弁を
導入出口穴に押し付けて閉じ、アクチュエータが戻るこ
とによって弁を開くことを特徴とするノーマリオープン
型またはノーマリクローズ型の液体マイクロバルブを提
供する。
【０００７】また、この発明は、メサとダイアフラムを
形成したシリコン基板、逆止弁、およびアクチュエータ
を配設した液体マイクロポンプをも提供する。
形成したシリコン基板、逆止弁、およびアクチュエータ
を配設した液体マイクロポンプをも提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面によりこの発明の液体
マイクロバルブとマイクロポンプについて説明する。図
１は、この発明の一例としてノーマリクローズ型とノー
マリオープン型のマイクロバルブの構造を例示したもの
である。この例においては、数１００μｍのバルブの変
位を実現させるために、形状記憶合金コイル（１）とバ
イアスバネ（２）からなるアクチュエータ（３）を配設
している。
マイクロバルブとマイクロポンプについて説明する。図
１は、この発明の一例としてノーマリクローズ型とノー
マリオープン型のマイクロバルブの構造を例示したもの
である。この例においては、数１００μｍのバルブの変
位を実現させるために、形状記憶合金コイル（１）とバ
イアスバネ（２）からなるアクチュエータ（３）を配設
している。
【０００９】この例の構造は、強度を大きくするために
アルミ板（４）を支持材とし、その上部にエッチングあ
るいはサンドブラスト法により形成した流路（５）を有
するガラス基板（６）と、エッチングの結晶軸異方性な
どの性質を利用したマイクロマニシング技術により微細
加工した流路（７）と液体の導入出口穴（８）を有する
シリコン基板（９）とを気密接合させて流体の流路を形
成しシリコンゴムシート（１０）を接着し、これを弁と
するとともに、アルミ板（１１）を補強板として積層
し、さらに上記のアクチュエータ（３）を配設したもの
である。
アルミ板（４）を支持材とし、その上部にエッチングあ
るいはサンドブラスト法により形成した流路（５）を有
するガラス基板（６）と、エッチングの結晶軸異方性な
どの性質を利用したマイクロマニシング技術により微細
加工した流路（７）と液体の導入出口穴（８）を有する
シリコン基板（９）とを気密接合させて流体の流路を形
成しシリコンゴムシート（１０）を接着し、これを弁と
するとともに、アルミ板（１１）を補強板として積層
し、さらに上記のアクチュエータ（３）を配設したもの
である。
【００１０】パイレックスのガラス基板（６）とシリコ
ン基板（９）とは、完全気密接合とするために、３５０
℃〜５００℃の加熱のもとにパイレックスガラス基板
（６）をマイナス側として、たとえば５００Ｖの電圧を
印加して陽極接合することができる。図２は、他の例の
構造を例示したものである。パイレックスのガラス基板
（１２）（１３）とシリコン基板（１４）とを陽極接合
して形成した液体の流路を有し、かつシリコンゴムシー
ト（１５）を弁としているアルミ板（１７）およびアル
ミ板（１６）を支持材としている。この例では、アクチ
ュエータ（１８）をピエゾバイモルフ型とするところに
特徴がある。これは、圧電効果を利用して変形を与える
ものであり、形状記憶合金アクチュエータに比べ応答時
間が約１／１００で、消費電力も小さいという特長があ
る。
ン基板（９）とは、完全気密接合とするために、３５０
℃〜５００℃の加熱のもとにパイレックスガラス基板
（６）をマイナス側として、たとえば５００Ｖの電圧を
印加して陽極接合することができる。図２は、他の例の
構造を例示したものである。パイレックスのガラス基板
（１２）（１３）とシリコン基板（１４）とを陽極接合
して形成した液体の流路を有し、かつシリコンゴムシー
ト（１５）を弁としているアルミ板（１７）およびアル
ミ板（１６）を支持材としている。この例では、アクチ
ュエータ（１８）をピエゾバイモルフ型とするところに
特徴がある。これは、圧電効果を利用して変形を与える
ものであり、形状記憶合金アクチュエータに比べ応答時
間が約１／１００で、消費電力も小さいという特長があ
る。
【００１１】図２に示した例の場合にはノーマリオープ
ン型の構造を示しているが、同様な構造のままで、シリ
コンゴムシートを押し付けた状態でピエゾバイモルフを
固定し、電圧印加で逆方向に動かすようにすることによ
り、ノーマリクローズ型とすることも容易に可能であ
る。図３は、この発明の例により得られた流量制御の状
態を示す特性図である。図３（ａ）は、ノーマリオープ
ン型であり、図３（ｂ）はノーマリクローズ型の場合を
示している。数ｍｌ／ｍｉｎと極微量の流量制御が可能
であることを示している。
ン型の構造を示しているが、同様な構造のままで、シリ
コンゴムシートを押し付けた状態でピエゾバイモルフを
固定し、電圧印加で逆方向に動かすようにすることによ
り、ノーマリクローズ型とすることも容易に可能であ
る。図３は、この発明の例により得られた流量制御の状
態を示す特性図である。図３（ａ）は、ノーマリオープ
ン型であり、図３（ｂ）はノーマリクローズ型の場合を
示している。数ｍｌ／ｍｉｎと極微量の流量制御が可能
であることを示している。
【００１２】図４および図５は、この発明の液体マイク
ロバルブの応用例を示す図である。図４は血液ｐＨモニ
タマイクロシステムの概略を示しており、図５はその内
部構造を示している。このシステムにおいては、図４に
示したように、リンゲル液（２０）と校正液（２１）を
送り、また、留置針（２２）を通じて血液を流入させ
る。廃液は吸引ポンプ（２３）を通じて排出する。
ロバルブの応用例を示す図である。図４は血液ｐＨモニ
タマイクロシステムの概略を示しており、図５はその内
部構造を示している。このシステムにおいては、図４に
示したように、リンゲル液（２０）と校正液（２１）を
送り、また、留置針（２２）を通じて血液を流入させ
る。廃液は吸引ポンプ（２３）を通じて排出する。
【００１３】このシステムは、図５に示したように、液
体マイクロバルブ（２４）（２５）とｐＨセンサである
ＩＳＦＥＴ（２６）をシリコン基板上に集積化したもの
であって比較電極（２７）も備えており、血液を間欠的
に体外に採取しｐＨ分析を行うものである。マイクロバ
ルブ（２４）はノーマリオープン型、マイクロバルブ
（２５）はノーマリクローズ型としている。通常、点滴
液を体内に供給する装置の留置針（２２）の部分に取り
付け、点滴液を体内に供給し測定時のみ同じ針をを通じ
て血液を採取して分析を行うように構成する。さらに、
この構造の特長は、校正液（２１）を用いて測定の直前
にセンサの校正を自動的に行う機能を有していることで
あり、そのために１つのノーマリオープン型のマイクロ
バルブ（２４）と２つのノーマリクローズ型のマイクロ
バルブ（２５）から構成され、留置針（２２）からの血
液とリンゲル液（２０）と校正液（２１）の流れを自由
に変えることができることにある。
体マイクロバルブ（２４）（２５）とｐＨセンサである
ＩＳＦＥＴ（２６）をシリコン基板上に集積化したもの
であって比較電極（２７）も備えており、血液を間欠的
に体外に採取しｐＨ分析を行うものである。マイクロバ
ルブ（２４）はノーマリオープン型、マイクロバルブ
（２５）はノーマリクローズ型としている。通常、点滴
液を体内に供給する装置の留置針（２２）の部分に取り
付け、点滴液を体内に供給し測定時のみ同じ針をを通じ
て血液を採取して分析を行うように構成する。さらに、
この構造の特長は、校正液（２１）を用いて測定の直前
にセンサの校正を自動的に行う機能を有していることで
あり、そのために１つのノーマリオープン型のマイクロ
バルブ（２４）と２つのノーマリクローズ型のマイクロ
バルブ（２５）から構成され、留置針（２２）からの血
液とリンゲル液（２０）と校正液（２１）の流れを自由
に変えることができることにある。
【００１４】図６は、この応用例であるｐＨモニタマイ
クロシステムの動作特性を示したものである。１サイク
ルの測定に要する時間が約２０秒と非常に短縮されてい
る。図７は、液体マイクロポンプの例を示したものであ
る。これは、液体の導出口穴（３０）を有し、シリコン
基板（３１）との接合面に凹部（３２）を有するガラス
基板（３３）と、液体の導入口穴（３４）と導出口穴
（３５）を有するシリコン基板（３１）と、マイクロマ
ニシング技術を用いて加工したメサ（３６）とダイアフ
ラム（３７）を有するシリコン基板（３８）とを積層
し、かつ完全気密となるように接合した構造からなる。
液体の導入口穴（３４）と導出口穴（３５）を有する中
間層のシリコン基板（３１）の液体の出口側に相当する
基板表面に、逆流を防ぐ逆止弁（３９）を有することを
特徴とし、ダイアフラム（３７）の下部に配設されたア
クチュエータ（４０）によってダイアフラム（３７）を
可動させ、それによって逆止弁（３９）を開閉させる。
クロシステムの動作特性を示したものである。１サイク
ルの測定に要する時間が約２０秒と非常に短縮されてい
る。図７は、液体マイクロポンプの例を示したものであ
る。これは、液体の導出口穴（３０）を有し、シリコン
基板（３１）との接合面に凹部（３２）を有するガラス
基板（３３）と、液体の導入口穴（３４）と導出口穴
（３５）を有するシリコン基板（３１）と、マイクロマ
ニシング技術を用いて加工したメサ（３６）とダイアフ
ラム（３７）を有するシリコン基板（３８）とを積層
し、かつ完全気密となるように接合した構造からなる。
液体の導入口穴（３４）と導出口穴（３５）を有する中
間層のシリコン基板（３１）の液体の出口側に相当する
基板表面に、逆流を防ぐ逆止弁（３９）を有することを
特徴とし、ダイアフラム（３７）の下部に配設されたア
クチュエータ（４０）によってダイアフラム（３７）を
可動させ、それによって逆止弁（３９）を開閉させる。
【００１５】また、液体の導入口穴（３４）にも、逆止
弁（４１）を設けている。用いたマイクロマシニング技
術や陽極接合技術は前述と同様である。さらに、シリコ
ン基板間の接合として低融点ガラスを一方の基板側にＲ
Ｆスパッタ法により被覆した後、陽極接合する方法も適
用できる。この実施例では、積層型ピエゾアクチュエー
タを用いることができるが、変位の大きくとれる超小型
アクチュエータであればどのような形態でも適用可能で
あることはいうまでもない。
弁（４１）を設けている。用いたマイクロマシニング技
術や陽極接合技術は前述と同様である。さらに、シリコ
ン基板間の接合として低融点ガラスを一方の基板側にＲ
Ｆスパッタ法により被覆した後、陽極接合する方法も適
用できる。この実施例では、積層型ピエゾアクチュエー
タを用いることができるが、変位の大きくとれる超小型
アクチュエータであればどのような形態でも適用可能で
あることはいうまでもない。
【００１６】図８は、この実施例に用いた超小型逆止弁
の構造を例示したものである。これは、４つの梁（４
２）で支えられた円盤状の多結晶シリコン膜（４３）を
用いたものであり、シリコン基板に形成された貫通穴を
弁の両端の圧力差により開閉させるものである。弁部分
の圧力損失や圧力−流量特性は、梁（４２）の大きさや
円盤部分と貫通穴の寸法比により変化するが、たとえ
ば、多結晶シリコンの膜厚１．５μｍ、貫通穴の形状５
０×５０μｍ2 、円盤弁の半径ｒ1 ２００μｍ、梁の幅
Ｗと長さＬがそれぞれ２００μｍ、３００μｍとする
と、２ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で１５０ｎｌ／ｍｉｎの流量
を押し出すことができる。
の構造を例示したものである。これは、４つの梁（４
２）で支えられた円盤状の多結晶シリコン膜（４３）を
用いたものであり、シリコン基板に形成された貫通穴を
弁の両端の圧力差により開閉させるものである。弁部分
の圧力損失や圧力−流量特性は、梁（４２）の大きさや
円盤部分と貫通穴の寸法比により変化するが、たとえ
ば、多結晶シリコンの膜厚１．５μｍ、貫通穴の形状５
０×５０μｍ2 、円盤弁の半径ｒ1 ２００μｍ、梁の幅
Ｗと長さＬがそれぞれ２００μｍ、３００μｍとする
と、２ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で１５０ｎｌ／ｍｉｎの流量
を押し出すことができる。
【００１７】この発明の超小型液体マイクロポンプの１
つの応用例として極微量測定・超高速液体クロマトグラ
フィーシステムが考えられる。
つの応用例として極微量測定・超高速液体クロマトグラ
フィーシステムが考えられる。
【００１８】
【発明の効果】以上のように、この発明により、様々な
応用が期待される超小型・液体分析システムに有用な液
体マイクロバルブあるいは液体マイクロポンプが提供さ
れる。脈量を小さくすることができ、また、集積化でき
ることで配管の無効体積の問題もない。差圧ポンプなど
の流量計、圧力計と一体化したり、別のポンプと一体化
してデュアルポンプとして脈量をなくすこともできる。
極微量の液体サンプルの高速、高精度での測定が可能と
なる。
応用が期待される超小型・液体分析システムに有用な液
体マイクロバルブあるいは液体マイクロポンプが提供さ
れる。脈量を小さくすることができ、また、集積化でき
ることで配管の無効体積の問題もない。差圧ポンプなど
の流量計、圧力計と一体化したり、別のポンプと一体化
してデュアルポンプとして脈量をなくすこともできる。
極微量の液体サンプルの高速、高精度での測定が可能と
なる。
【図１】この発明の液体マイクロバルブの一例を示した
断面図である。
断面図である。
【図２】この発明の液体マイクロバルブの他例を示した
断面図である。
断面図である。
【図３】この発明の液体マイクロバルブの電圧−流量特
性を示した相関図であり、（ａ）は、ノーマリオープン
型のものを示し、（ｂ）は、ノーマリクローズ型のもの
を示す。
性を示した相関図であり、（ａ）は、ノーマリオープン
型のものを示し、（ｂ）は、ノーマリクローズ型のもの
を示す。
【図４】この発明の液体マイクロバルブを用いた血液ｐ
Ｈモニタマイクロシステムについて示した斜視図であ
る。
Ｈモニタマイクロシステムについて示した斜視図であ
る。
【図５】図４に示す血液ｐＨモニタマイクロシステムの
断面図である。
断面図である。
【図６】図４に示す血液ｐＨモニタマイクロシステムの
動作特性図である。
動作特性図である。
【図７】この発明の液体マイクロポンプの例を示した断
面図である。
面図である。
【図８】図７に示す液体マイクロポンプに用いる逆止弁
の例を示した平面図である。
の例を示した平面図である。
１ 形状記憶合金コイル ２ バイアスバネ ３ アクチュエータ ４ アルミ板 ５ 流路 ６ ガラス基板 ７ 流路 ８ 導入出口穴 ９ シリコン基板 １０ シリコンゴムシート １１ アルミ板 １２、１３ ガラス基板 １４ シリコン基板 １５ シリコンゴムシート １６、１７ アルミ板 １８ アクチュエータ ２４、２５ マイクロバルブ ２６ ＩＳＦＥＴ ３０ 導出口穴 ３１ シリコン基板 ３２ 凹部 ３３ ガラス基板 ３４ 導入口穴 ３５ 導出口穴 ３６ メサ ３７ ダイアフラム ３８ シリコン基板 ３９ 逆止弁 ４０ アクチュエータ ４１ 逆止弁 ４２ 梁 ４３多結晶シリコン膜
Claims (3)
- 【請求項１】 液体の導出口穴とともに接合面に凹部を
有するガラス基板と、液体の導入出口穴を有する中間層
シリコン基板と、メサとダイアフラムを有するシリコン
基板とを積層し、完全気密接合した構造からなり、中間
層シリコン基板の液体出口側に相当する基板表面に逆止
弁を有し、ダイアフラムを可動させ逆止弁を開閉させる
アクチュエータをダイアフラムの下部に配設してなるこ
とを特徴とする液体マイクロポンプ。 - 【請求項２】 逆止弁を梁で支えた円盤状のポリシリコ
ンで形成してなる請求項１記載の液体マイクロポンプ。 - 【請求項３】 ガラス基板とシリコン基板、あるいはシ
リコン基板相互を陽極接合により気密接合させてなる請
求項１記載の液体マイクロポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11014089A JP3020488B2 (ja) | 1999-01-22 | 1999-01-22 | 液体マイクロポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11014089A JP3020488B2 (ja) | 1999-01-22 | 1999-01-22 | 液体マイクロポンプ |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63093125A Division JP2912372B2 (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | 液体マイクロバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11257233A JPH11257233A (ja) | 1999-09-21 |
| JP3020488B2 true JP3020488B2 (ja) | 2000-03-15 |
Family
ID=11851396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11014089A Expired - Fee Related JP3020488B2 (ja) | 1999-01-22 | 1999-01-22 | 液体マイクロポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3020488B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015187441A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-10-29 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | マイクロポンプとマイクロバルブとの駆動装置及びそれを用いたマイクロ流体デバイス |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3629405B2 (ja) | 2000-05-16 | 2005-03-16 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | マイクロポンプ |
| JP4625959B2 (ja) * | 2005-11-29 | 2011-02-02 | 国立大学法人横浜国立大学 | 送液システム |
| US7828417B2 (en) * | 2007-04-23 | 2010-11-09 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microfluidic device and a fluid ejection device incorporating the same |
| JP6304688B2 (ja) * | 2012-04-12 | 2018-04-04 | 国立大学法人 東京大学 | バルブ、マイクロ流体デバイス、マイクロ構造体、及びバルブシート、並びに、バルブシートの製造方法、及びマイクロ流体デバイスの製造方法 |
-
1999
- 1999-01-22 JP JP11014089A patent/JP3020488B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015187441A (ja) * | 2014-03-10 | 2015-10-29 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | マイクロポンプとマイクロバルブとの駆動装置及びそれを用いたマイクロ流体デバイス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11257233A (ja) | 1999-09-21 |
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