JP3019754B2 - Nipkow disk type optical scanner - Google Patents

Nipkow disk type optical scanner

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JP3019754B2
JP3019754B2 JP7232362A JP23236295A JP3019754B2 JP 3019754 B2 JP3019754 B2 JP 3019754B2 JP 7232362 A JP7232362 A JP 7232362A JP 23236295 A JP23236295 A JP 23236295A JP 3019754 B2 JP3019754 B2 JP 3019754B2
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nipkow disk
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は共焦点顕微鏡で用いられ
るニポウディスク型光スキャナ装置に関し、特に光スキ
ャナ装置のスキャン周期と撮像装置の撮像周期との同期
がとれるようにするための改良に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a Nipkow disk type optical scanner used in a confocal microscope, and more particularly to an improvement for synchronizing a scan cycle of an optical scanner with an image pickup cycle of an image pickup apparatus. is there.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来よりニポウディスク型光スキャナ装
置を用いた共焦点顕微鏡はよく知られている。この種の
共焦点顕微鏡において撮像装置を備えたものとして、例
えば特願昭63−503229号「走査式共焦点光学顕
微鏡」に記載の顕微鏡がある。図5にその要部構成を示
す。図において、光源(図示せず)からの入射光1が偏
光子2によって偏光され、その偏光された光はビームス
プリッタ3を通過してニポウディスク4に入射する。
2. Description of the Related Art A confocal microscope using a Nipkow disk type optical scanner has been well known. As a confocal microscope of this type equipped with an imaging device, for example, there is a microscope described in Japanese Patent Application No. 63-503229 “scanning confocal optical microscope”. FIG. 5 shows the configuration of the main part. In the figure, incident light 1 from a light source (not shown) is polarized by a polarizer 2, and the polarized light passes through a beam splitter 3 and enters a Nipkow disk 4.

【0003】ニポウディスク4には多数のピンホールが
設けられていて、モータ5によって回転するようになっ
ている。なお、ここではニポウディスク4とモータ5か
ら成る部分がニポウディスク型光スキャナ装置に相当す
る。入射光は前記ピンホールによって回折され、回折光
は1/4波長板6を通過して円偏光となって対物レンズ
7上に集束し、試料8に照射される。試料8で反射した
光は再び対物レンズ7により集束され、1/4波長板6
を通過(ここで円偏光から直線偏光に変わる)した後同
一のピンホール上に結像する。
[0003] The Nipkow disk 4 is provided with a large number of pinholes and is rotated by a motor 5. Here, the portion composed of the Nipkow disk 4 and the motor 5 corresponds to a Nipkow disk type optical scanner device. The incident light is diffracted by the pinhole, and the diffracted light passes through the quarter-wave plate 6 to become circularly polarized light, is focused on the objective lens 7, and is irradiated on the sample 8. The light reflected by the sample 8 is focused again by the objective lens 7 and
(Here, it changes from circularly polarized light to linearly polarized light), and then forms an image on the same pinhole.

【0004】ピンホールを通過した光はビームスプリッ
タ3で直角方向に偏向され検光子9に入射される。この
入射光をピンホール上に合焦させたリレーレンズ10を
介して撮像装置(例えばテレビカメラ)11で見ること
により試料面の像を観測することができる。
The light that has passed through the pinhole is deflected by the beam splitter 3 at right angles to the analyzer 9. The image of the sample surface can be observed by viewing the incident light with an imaging device (for example, a television camera) 11 via a relay lens 10 focused on a pinhole.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
共焦点顕微鏡に用いられている従来のニポウディスク型
光スキャナ装置には撮像装置との同期をとる機構が備え
られていない。したがって、CCD(Charge Coupled D
evice )カメラのように一定周期で撮像を繰り返す撮像
装置で撮像を行う場合、光スキャナ装置のスキャン周期
と撮像装置との撮像周期との間に差があるとこの差によ
りスキャンむらが生じ、そのため撮像画面に明暗の縞が
現れるという欠点があった。
However, the conventional Nipkow disk type optical scanner used in such a confocal microscope does not have a mechanism for synchronizing with an imaging device. Therefore, the CCD (Charge Coupled D)
evice) When imaging is performed by an imaging device that repeats imaging at a fixed period, such as a camera, if there is a difference between the scanning period of the optical scanner device and the imaging period of the imaging device, the difference causes scanning unevenness. There is a drawback that bright and dark stripes appear on the imaging screen.

【0006】本発明の目的は、このような点に鑑み、共
焦点顕微鏡に用いられるニポウディスク型光スキャナ装
置のスキャン周期と撮像装置の撮像周期との同期をとる
ことにより、スキャンむらを解消し、明暗の縞のない撮
像画面を得ることのできるニポウディスク型光スキャン
装置を提供することにある。
In view of the foregoing, an object of the present invention is to eliminate scan unevenness by synchronizing a scan cycle of a Nipkow disk type optical scanner used in a confocal microscope with an image pickup cycle of an image pickup apparatus. An object of the present invention is to provide a Nipkow disk type optical scanning device capable of obtaining an imaged screen without light and dark stripes.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明では、試料の像が撮像装置により観測可
能に構成された共焦点顕微鏡に用いられ、ニポウディス
クを備えた光スキャナ部分を含むニポウディスク型光ス
キャナ装置であって、ニポウディスク上にスキャントラ
ックの始点に対応したスキャン始点検出用ピンホールを
配設すると共に、スキャン始点検出用ピンホールの透過
光を光電変換し前記撮像装置用のトリガ信号を生成する
手段を具備し、スキャン周期と撮像装置の撮像周期の同
期がとれるようにしたことを特徴とする。
According to the present invention, there is provided an optical scanner having a Nipkow disk, which is used in a confocal microscope constructed so that an image of a sample can be observed by an imaging device. A Nipkow disc-type optical scanner device, comprising: a scan start point detection pinhole corresponding to a start point of a scan track provided on a Nipkow disc; and photoelectrically converting transmitted light of the scan start point detection pinhole. It is characterized in that a means for generating a trigger signal is provided so that the scan cycle and the imaging cycle of the imaging apparatus can be synchronized.

【0008】[0008]

【作用】ニポウディスク上にスキャントラックの始点に
対応したスキャン始点検出用ピンホールを設ける。この
スキャン始点検出用ピンホールを通過した光を検出し撮
像装置のトリガ信号として用いる。これによりスキャン
周期と撮像装置の撮像周期の同期をとることができる。
The present invention provides a scan start point detection pinhole corresponding to the start point of a scan track on a Nipkow disk. The light that has passed through the scan start point detection pinhole is detected and used as a trigger signal for the imaging device. This makes it possible to synchronize the scan cycle with the imaging cycle of the imaging device.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1は本発明に係るニポウディスク型光スキ
ャン装置の一実施例を示す構成図、図2はニポウディス
クの上面図である。図において、20はニポウディスク
であり、図2に示すように、従来のニポウディスクと同
様に試料のスキャンを目的とする多数のピンホールから
成るスキャントラック201 (斜線部)と、その外側の
任意の円周上にスキャンの始点に対応して配置されたス
キャン始点検出用ピンホール202 (スキャン始点が4
箇所ある場合を例にとってある)を有する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a Nipkow disk type optical scanning device according to the present invention, and FIG. 2 is a top view of the Nipkow disk. In FIG. 2, reference numeral 20 denotes a Nipkow disk. As shown in FIG. 2, a scan track 20 1 (hatched portion) composed of a large number of pinholes for scanning a sample, as in the conventional Nipkow disk, and an arbitrary outside thereof. A scan start point detection pinhole 20 2 arranged on the circumference corresponding to the scan start point (the scan start point is 4
The case where there is a part is shown as an example).

【0010】21は光検出器としてのフォトダイオード
であり、スキャン始点検出用ピンホール202 の透過光
を受光できる位置に配置されている。22は電流電圧変
換回路であり、フォトダイオード21で発生した電流を
電圧に変換する。23は電圧比較回路であり、電流電圧
変換回路22からの信号を基準電圧24と比較し、信号
電圧の大小を2値化して出力する。25は外部接続の撮
像装置であり、電圧比較回路23の出力を撮影同期信号
(トリガ信号)として受け取る。なお、図1では試料へ
の光照射、試料からの反射光の経路などについては説明
を簡潔にするため省略してある。
[0010] 21 is a photodiode serving as a light detector, is arranged at a position capable of receiving the light transmitted through the scanning start point detection pinhole 20 2. Reference numeral 22 denotes a current-voltage conversion circuit, which converts a current generated by the photodiode 21 into a voltage. Reference numeral 23 denotes a voltage comparison circuit which compares the signal from the current-voltage conversion circuit 22 with a reference voltage 24, binarizes the magnitude of the signal voltage, and outputs it. Reference numeral 25 denotes an externally connected imaging device, which receives an output of the voltage comparison circuit 23 as an imaging synchronization signal (trigger signal). In FIG. 1, the light irradiation on the sample, the path of the reflected light from the sample, and the like are omitted for simplicity.

【0011】このような構成における動作を次に説明す
る。ニポウディスク20の表面に入射光1を照射する。
入射光1のビーム断面の直径は、スキャントラック20
1 およびスキャン始点検出用ピンホール202 を両方照
射できるように設定されている。ニポウディスク20を
回転させることにより、スキャントラック201 を透過
した入射光は試料(図示せず)を多点スキャンする。他
方、スキャン始点検出用ピンホール202 を透過した入
射光は、スキャン始点検出用ピンホール202 がフォト
ダイオード21の上を通過するごとにフォトダイオード
21で受光される。
The operation in such a configuration will now be described. The surface of the Nipkow disk 20 is irradiated with the incident light 1.
The diameter of the beam cross section of the incident light 1 is
Is set to 1 and the scan start detection pinhole 20 2 can both irradiation. By rotating the Nipkow disc 20, the incident light transmitted through the scanning track 20 1 to multipoint scanning a sample (not shown). On the other hand, incident light transmitted through the scanning start point detection pinhole 20 2, scanning start point detection pinhole 20 2 is received by the photodiode 21 in each pass through the top of the photodiode 21.

【0012】このとき、フォトダイオード21からの出
力電流はパルス状に変化するので、この電流変化を電流
電圧変換回路22で電圧に変換した後、所定の基準電圧
をしきい値とする電圧比較回路23に入力することによ
り、出力としてスキャン周期と同一の周期をもつ電圧パ
ルス列を取り出すことができる。このパルス列をトリガ
信号として外部の撮像装置25に与え、光スキャナ装置
と撮像装置25との同期をとることができる。
At this time, since the output current from the photodiode 21 changes in a pulse shape, the change in current is converted into a voltage by the current-voltage conversion circuit 22, and then a voltage comparison circuit using a predetermined reference voltage as a threshold value is used. By inputting to 23, a voltage pulse train having the same cycle as the scan cycle can be extracted as an output. This pulse train is given as a trigger signal to the external imaging device 25, so that the optical scanner device and the imaging device 25 can be synchronized.

【0013】図3は本発明の他の実施例を示す構成図で
ある。図1との違いは、光スキャナ部分(ニポウディス
ク20の部分)にマイクロレンズアレイディスク30と
偏向ビームスプリッタ40を付加した点である。マイク
ロレンズアレイディスク30は、ニポウディスク20の
ピンホールパターンと同一パターンのマイクロレンズア
レイ(スキャントラック301 およびスキャン始点検出
用マイクロレンズ302 )を持ち、ニポウディスク20
に対して所定の間隔をもって平行に取付けられている。
図2はディスクの上面図であり、同図(a)はマイクロ
レンズアレイディスク、同図(b)はニポウディスクの
上面図である。
FIG. 3 is a block diagram showing another embodiment of the present invention. The difference from FIG. 1 is that a microlens array disk 30 and a deflecting beam splitter 40 are added to the optical scanner portion (the portion of the Nipkow disk 20). Microlens array disk 30 has a microlens array of pinholes the same pattern as the Nipkow disk 20 (scan tracks 30 1 and scan start point detecting microlens 30 2), the Nipkow disk 20
Are attached in parallel with a predetermined interval.
FIG. 2 is a top view of the disk, FIG. 2A is a top view of a microlens array disk, and FIG. 2B is a top view of a Nipkow disk.

【0014】マイクロレンズアレイディスク30はニポ
ウディスク20の光源側に配置されており、ディスク同
士の相対位置は各マイクロレンズの集光光が対応するピ
ンホールに入射するように厳密に調整されている。マイ
クロレンズアレイディスク30をこのように付加するこ
とによりニポウディスク20のピンホールへの入射光の
結合効率が向上する。偏向ビームスプリッタ40は、入
射光1を透過し、試料(図示せず)からの戻り光(信号
光ともいう)を反射するものである。この場合偏向ビー
ムスプリッタに代えてダイクロイックミラーを用いるこ
ともできる。偏光ビームスプリッタ40で反射した光は
撮像装置に導かれるが、ここでは説明を簡潔にするため
に図示を省略してある。
The microlens array disk 30 is arranged on the light source side of the Nipkow disk 20, and the relative positions of the disks are strictly adjusted so that the condensed light of each microlens enters the corresponding pinhole. By adding the microlens array disk 30 in this way, the coupling efficiency of light incident on the pinhole of the Nipkow disk 20 is improved. The deflection beam splitter 40 transmits the incident light 1 and reflects return light (also referred to as signal light) from a sample (not shown). In this case, a dichroic mirror can be used instead of the deflection beam splitter. The light reflected by the polarization beam splitter 40 is guided to the imaging device, but is not shown here for the sake of simplicity.

【0015】図3に示す装置の動作を次に説明する。マ
イクロレンズアレイディスク30の表面に入射光1を照
射する。入射光1のビームの断面の直径は、スキャント
ラック301 およびスキャン始点検出用マイクロレンズ
302 を両方照射できるように設定されている。各マイ
クロレンズに入射した光はニポウディスク20上の対応
するピンホールに集光される。したがって、マイクロレ
ンズアレイディスク30とニポウディスク20を同期し
て回転させることにより、ニポウディスク20のスキャ
ントラック201 を透過した光で試料(図示せず)を多
点スキャンすることができる。
The operation of the apparatus shown in FIG. 3 will now be described. The incident light 1 is applied to the surface of the microlens array disk 30. The diameter of the cross-section of the beam of incident light 1 is set to allow both irradiating the scan tracks 30 1 and scan start point detecting microlens 30 2. Light incident on each microlens is focused on a corresponding pinhole on the Nipkow disc 20. Accordingly, by synchronously rotating the microlens array disk 30 and the Nipkow disk 20, it is possible to multipoint scanning a sample (not shown) in the light transmitted through the scanning track 20 1 of the Nipkow disk 20.

【0016】他方、スキャン始点検出用ピンホール20
2 を透過した入射光は、スキャン始点検出用ピンホール
202 がフォトダイオード21の上を通過するごとにフ
ォトダイオード21で受光される。その後の信号の処理
は図1と同様であり、ここではその説明を避けるが、図
1の場合と同様に光スキャナ装置と外部の撮像装置25
との同期をとることができる。
On the other hand, the scan start point detection pinhole 20
The incident light transmitted through 2 is received by the photodiode 21 each time the scan start point detection pinhole 202 passes over the photodiode 21. The subsequent signal processing is the same as in FIG. 1 and the description is omitted here. However, as in the case of FIG. 1, the optical scanner device and the external imaging device 25 are used.
Can be synchronized with

【0017】なお、本発明の以上の説明は、説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明はその本質から逸脱せずに多くの
変更、変形をなし得ることは当業者に明らかである。
It is to be noted that the above description of the present invention has been presented by way of illustration and example only, and of particular preferred embodiments. Thus, it will be apparent to one skilled in the art that the present invention may be modified or modified in many ways without departing from its essentials.

【0018】例えば、図3の構成におけるニポウディス
ク20のスキャン始点検出用ピンホール202 の形状は
円形に限らず、クロスマーカー状にすることもできる。
このような形状にすることにより、マイクロレンズアレ
イディスク30とニポウディスク20の位置調整作業が
容易になる。また、スキャン始点検出用ピンホール(お
よびスキャン始点検出用マイクロレンズ)の位置はディ
スクの外周側に限るものではなく、ディスクの内周側に
あってもよい。
[0018] For example, the shape of the scanning start point detection pinhole 20 2 of the Nipkow disk 20 in the arrangement of Figure 3 is not limited to a circular shape, it may be a cross marker shape.
With such a shape, the position adjustment work of the microlens array disk 30 and the Nipkow disk 20 becomes easy. Further, the position of the scan start point detection pinhole (and the scan start point detection microlens) is not limited to the outer periphery of the disk, but may be located on the inner periphery of the disk.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ニ
ポウディスク上にスキャンの始点に対応したピンホール
を配置し、このピンホールからの透過光を用いて光スキ
ャナ回転時にスキャントラックの始点位置を検出できる
ようにしたため、容易に光スキャナ装置と外部の撮像装
置との同期をとることができる。
As described above, according to the present invention, a pinhole corresponding to the starting point of a scan is arranged on a Nipkow disc, and the starting point of a scan track is rotated during rotation of an optical scanner using transmitted light from the pinhole. , The optical scanner device can be easily synchronized with an external imaging device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るニポウディスク型光スキャン装置
の一実施例を示す構成図
FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a Nipkow disk type optical scanning device according to the present invention.

【図2】ニポウディスクの上面図FIG. 2 is a top view of a Nipkow disc.

【図3】本発明の他の実施例を示す構成図FIG. 3 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention.

【図4】各ディスクの上面図FIG. 4 is a top view of each disk.

【図5】従来の共焦点顕微鏡の一例を示す構成図であ
る。
FIG. 5 is a configuration diagram showing an example of a conventional confocal microscope.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 入射光 20 ニポウディスク 201 ,301 スキャントラック 202 スキャン始点検出用ピンホール 21 フォトダイオード 22 電流電圧変換回路 23 電圧比較回路 24 基準電圧 25 撮像装置 30 マイクロレンズアレイディスク 302 スキャン始点検出用マイクロレンズ 40 偏光ビームスプリッタ1 the incident light 20 Nipkow disk 20 1, 30 1 scan track 20 second scan start detection pinhole 21 photodiode 22 current-voltage conversion circuit 23 a voltage comparator circuit 24 a reference voltage 25 imaging device 30 microlens array disk 30 second scan start point detecting micro Lens 40 Polarizing beam splitter

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−60980(JP,A) 特開 平2−157718(JP,A) 実開 昭61−167619(JP,U) 特表 平5−508235(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 21/00 G02B 21/06 - 21/36 G02B 26/10 - 26/10 109 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-5-60980 (JP, A) JP-A-2-157718 (JP, A) JP-A-61-167619 (JP, U) 508235 (JP, A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) G02B 21/00 G02B 21/06-21/36 G02B 26/10-26/10 109

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】試料の像が撮像装置により観測可能に構成
された共焦点顕微鏡に用いられ、ニポウディスクを備え
た光スキャナ部分を含むニポウディスク型光スキャナ装
置であって、 前記ニポウディスク上にスキャントラックの始点に対応
したスキャン始点検出用ピンホールを配設すると共に、
前記スキャン始点検出用ピンホールの透過光を光電変換
し前記撮像装置用のトリガ信号を生成する手段を具備
し、スキャン周期と撮像装置の撮像周期の同期がとれる
ようにしたことを特徴とするニポウディスク型光スキャ
ナ装置。
1. A Nipkow disk-type optical scanner device used for a confocal microscope configured so that an image of a sample can be observed by an imaging device and including an optical scanner portion provided with a Nipkow disk, wherein a scan track is provided on the Nipkow disk. A scan start point detection pinhole corresponding to the start point is provided,
A Nipkow disk comprising means for photoelectrically converting light transmitted through the pinhole for detecting a scan start point to generate a trigger signal for the image pickup apparatus, so that a scan cycle and an image pickup cycle of the image pickup apparatus can be synchronized. Type optical scanner device.
【請求項2】前記ニポウディスクの入射光側に配置さ
れ、ニポウディスクのピンホールパターンと同一パター
ンのマイクロレンズアレイを有し、マイクロレンズアレ
イの各マイクロレンズの集光光がニポウディスクの対応
するピンホールに入射するように構成されたマイクロレ
ンズアレイディスクを前記光スキャナ部分に設けたこと
を特徴とする請求項1記載のニポウディスク型光スキャ
ナ装置。
2. A microlens array having the same pattern as a pinhole pattern of a Nipkow disk disposed on an incident light side of the Nipkow disk, and condensed light of each microlens of the microlens array is applied to a corresponding pinhole of the Nipkow disk. 2. A Nipkow disk-type optical scanner device according to claim 1, wherein a microlens array disk configured to be incident is provided in said optical scanner portion.
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JP2000098259A (en) * 1998-09-22 2000-04-07 Olympus Optical Co Ltd Photographic device for confocal microscope
US6924490B2 (en) 2002-01-10 2005-08-02 Olympus Optical Co., Ltd. Microscope system
GB0224067D0 (en) * 2002-10-16 2002-11-27 Perkinelmer Uk Ltd Improvements in and relating to imaging
JP4772337B2 (en) * 2005-02-17 2011-09-14 浜松ホトニクス株式会社 Imaging apparatus, imaging system, and confocal microscope
JP4817123B2 (en) * 2006-11-17 2011-11-16 横河電機株式会社 Confocal scanner unit and confocal microscope using the same
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