JP2589923Y2 - Confocal microscope - Google Patents

Confocal microscope

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JP2589923Y2
JP2589923Y2 JP1993000041U JP4193U JP2589923Y2 JP 2589923 Y2 JP2589923 Y2 JP 2589923Y2 JP 1993000041 U JP1993000041 U JP 1993000041U JP 4193 U JP4193 U JP 4193U JP 2589923 Y2 JP2589923 Y2 JP 2589923Y2
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JP
Japan
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light
sample
confocal microscope
pinhole array
beam splitter
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JPH0655111U (en
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由美子 杉山
健雄 田名網
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Electric Corp
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は、共焦点顕微鏡に関し、
特に入射レーザ光と試料による反射レーザ光を分離する
構成に関するものである。
The present invention relates to a confocal microscope.
In particular, the present invention relates to a configuration for separating incident laser light and laser light reflected by a sample.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3は従来の共焦点顕微鏡の一例を示す
構成図である。図3において、図示しないレーザ光源か
らの出射光は、偏向ビ−ムスプリッタ1を通って、ピン
ホ−ルアレイ板2に形成された多数のピンホ−ルの幾つ
かを通過し、1/4波長板4、対物レンズ5を経て試料
6に集光される。試料6からの反射光は、同一の光路を
通って、ピンホ−ルアレイ板2のピンホ−ルの1つに集
光され、ピンホ−ルを通って、偏光ビ−ムスプリッタ1
で反射され、アナライザ7を通って、集光レンズ8によ
り集光して、試料6の像をカメラ9上に結像する。な
お、この装置では、ピンホ−ルアレイ板2をモ−タ3で
一定速度で回転させており、ピンホ−ルアレイ板2の回
転に伴うピンホ−ルの移動により、試料6への集束光点
を走査している。
2. Description of the Related Art FIG. 3 is a block diagram showing an example of a conventional confocal microscope. In FIG. 3, light emitted from a laser light source (not shown) passes through a deflecting beam splitter 1, passes through some of a number of pinholes formed on a pinhole array plate 2, and becomes a 4 wavelength plate. 4. The light is focused on the sample 6 through the objective lens 5. The reflected light from the sample 6 passes through the same optical path, is collected on one of the pinholes of the pinhole array plate 2, passes through the pinhole, and passes through the polarizing beam splitter 1
And is condensed by the condenser lens 8 through the analyzer 7 to form an image of the sample 6 on the camera 9. In this apparatus, the pinhole array plate 2 is rotated at a constant speed by the motor 3, and the focused light spot on the sample 6 is scanned by the movement of the pinhole with the rotation of the pinhole array plate 2. doing.

【0003】[0003]

【考案が解決しようとする課題】このような従来の共焦
点顕微鏡では、レーザの偏光特性を利用し、偏光ビーム
スプリッタ1と1/4波長板4を組み合わせ、偏光ビー
ムスプリッタ1へp波で入射させたレーザは透過し、1
/4波長板4で円偏光となり、試料6で反射し、再び1
/4波長板4でs波となり、偏光ビームスプリッタ1で
反射し、カメラ9で受光する構成であった。したがっ
て、1/4波長板を使用しているため、波長依存性が大
きいという課題があった。
In such a conventional confocal microscope, a polarization beam splitter 1 and a quarter-wave plate 4 are combined using the polarization characteristics of a laser, and are incident on the polarization beam splitter 1 with a p-wave. The transmitted laser is transmitted and
The light is converted into circularly polarized light by the 板 wavelength plate 4, reflected by the sample 6, and
The s-wave is formed by the 波長 wavelength plate 4, reflected by the polarization beam splitter 1, and received by the camera 9. Therefore, there is a problem that the wavelength dependency is large because a quarter wavelength plate is used.

【0004】本考案は上記従来技術の課題を踏まえて成
されたものであり、波長依存性の少ない共焦点顕微鏡を
提供することを目的としたものである。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and has as its object to provide a confocal microscope with little wavelength dependence.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本考案の構成は、ピンホールアレイ板を回転させ、こ
のピンホールアレイ板を通過した照射光を試料に対して
走査する共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡にお
いて、レーザ光源からの出射光を入射と反射で分離する
ビームスプリッタと、このビームスプリッタを透過した
光を走査する前記ピンホールアレイ板およびその回転手
段と、このピンホールアレイ板を通った光の偏光方向を
45度回転させるファラデー素子と、このファラデー素
子を通った直線偏光の光を集光して試料に照射する対物
レンズと、前記試料からの反射光が同一の光路を経て前
記ビームスプリッタで反射され、前記試料の像をカメラ
上に結像させる集光レンズと、を備えたことを特徴とす
る。また、前記ファラデー素子と対物レンズの間に、ウ
ェラストンプリズムまたはサバール板を配置した構成と
したことを特徴とする。
According to the present invention, there is provided a confocal arrangement for rotating a pinhole array plate and scanning the sample with irradiation light passing through the pinhole array plate. In a confocal microscope using an optical scanner, a beam splitter that separates outgoing light from a laser light source by incidence and reflection, the pinhole array plate that scans light transmitted through the beam splitter, its rotating means, The Faraday element that rotates the polarization direction of the light passing through the hole array plate by 45 degrees, the objective lens that condenses the linearly polarized light that passes through the Faraday element and irradiates the sample with light, the reflected light from the sample is the same. And a condensing lens that is reflected by the beam splitter through the optical path and forms an image of the sample on a camera. Further, a Werastone prism or a Savart plate is arranged between the Faraday element and the objective lens.

【0006】[0006]

【作用】本考案によると、1/4波長板を用いない構成
とできるため、波長依存性を少なくできる。また、試料
への入射光が円偏光でないため、試料の微分像を得るこ
とも可能となる。
According to the present invention, since a configuration without using a quarter-wave plate can be adopted, the wavelength dependency can be reduced. Further, since the light incident on the sample is not circularly polarized, a differential image of the sample can be obtained.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本考案を図面に基づいて説明する。図
1は本考案の共焦点顕微鏡の第1の実施例を示す構成図
である。なお、図1において図3と同一要素には同一符
号を付して重複する説明は省略する。図1において、1
0はファラデー素子であり、入射光の偏光方向を45度
回転させて出射するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of the confocal microscope of the present invention. In FIG. 1, the same elements as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted. In FIG. 1, 1
Reference numeral 0 denotes a Faraday element, which rotates the polarization direction of incident light by 45 degrees and emits the light.

【0008】このような構成において、図示しないレー
ザ光源からの出射光の内、p偏光のレーザ光は、偏光ビ
ームスプリッタ1を透過し、モータ3で回転するピンホ
ールアレイ板2で走査される。その後、ファラデー素子
10により、45度偏光方向が回転し、対物レンズ5で
試料6上に集光する。試料6から反射した光は、ファラ
デー素子10で再び45度偏光方向が回転し、s偏光と
なって、ピンホールアレイ板2を透過した後、偏光ビー
ムスプリッタ1で反射され、アナライザ7を透過し、集
光レンズ8でカメラ9上に集光され、カメラ9で試料の
共焦点画像が得られる。
In such a configuration, of the light emitted from a laser light source (not shown), p-polarized laser light passes through the polarization beam splitter 1 and is scanned by a pinhole array plate 2 rotated by a motor 3. Thereafter, the polarization direction is rotated by 45 degrees by the Faraday element 10, and the light is focused on the sample 6 by the objective lens 5. The light reflected from the sample 6 rotates the polarization direction again by 45 degrees by the Faraday element 10, becomes s-polarized light, passes through the pinhole array plate 2, is reflected by the polarization beam splitter 1, and passes through the analyzer 7. The light is condensed on the camera 9 by the condenser lens 8, and a confocal image of the sample is obtained by the camera 9.

【0009】次に、図2は本考案の共焦点顕微鏡の第2
の実施例を示す構成図である。なお、図2においても同
一要素には同一符号を付して重複する説明は省略する。
図2において、11はファラデー素子10と対物レンズ
5の間に配置されたウェラストンプリズムである。この
ウェラストンプリズムはp波とs波の直線偏光を空間的
に離れた位置に分離するための光学部品であり、2個の
相接した石英の光学くさびでできている。
FIG. 2 shows a second example of the confocal microscope of the present invention.
FIG. 3 is a configuration diagram showing an example of the embodiment. In FIG. 2, the same elements are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
In FIG. 2, reference numeral 11 denotes a Wellaston prism disposed between the Faraday element 10 and the objective lens 5. This Wollaston prism is an optical component for separating linearly polarized light of p-wave and s-wave into spatially separated positions, and is made of two adjacent quartz optical wedges.

【0010】このような構成において、図示しないレー
ザ光源からの出射光の内、p偏光のレーザ光は、偏光ビ
ームスプリッタ1を透過し、モータ3で回転するピンホ
ールアレイ板2で走査される。その後、ファラデー素子
10により、45度偏光方向が回転し、ウェラストンプ
リズム11で再びp波とs波に分離され、試料6上で2
点を照射する。試料6で反射した2光線は、対物レンズ
5を介して、ウェラストンプリズム11で1本になり、
ファラデー素子10で45度偏光方向が回転して、s波
となり、ピンホールアレイ板2を透過した後、偏光ビー
ムスプリッタ1で反射され、アナライザ7を透過し、集
光レンズ8でカメラ9に試料6の共焦点微分干渉像が得
られる。なお、上記実施例において、ウェラストンプリ
ズムの代わりにサバール板を用いた構成としても良い。
In such a configuration, of the light emitted from a laser light source (not shown), the p-polarized laser light passes through the polarization beam splitter 1 and is scanned by the pinhole array plate 2 rotated by the motor 3. After that, the polarization direction is rotated by 45 degrees by the Faraday element 10, separated again into p-waves and s-waves by the Wellaston prism 11, and
Illuminate the point. The two light rays reflected by the sample 6 are combined into one beam by the Wollaston prism 11 through the objective lens 5,
The polarization direction is rotated by 45 degrees by the Faraday element 10 to be converted into an s-wave, transmitted through the pinhole array plate 2, reflected by the polarization beam splitter 1, transmitted through the analyzer 7, and transmitted to the camera 9 by the condenser lens 8. 6 are obtained. In the above-described embodiment, a configuration using a Savart plate instead of the Wellaston prism may be adopted.

【0011】このように、上記実施例によれば、1/4
波長板の代わりにファラデー素子を用いることにより、
波長依存性を少なくでき、また、ウェラストンプリズム
またはサバール板を用いることにより、試料の微分像も
得ることができる。
Thus, according to the above embodiment, 1/4
By using a Faraday element instead of a wave plate,
The wavelength dependency can be reduced, and a differential image of the sample can be obtained by using a Wellaston prism or a Savart plate.

【0012】[0012]

【考案の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本考案によれば、波長依存性の少ない装置構成と
なり、カラー画像も可能となる。また、ウェラストンプ
リズムまたはサバール板を使用可能となり、微分像も得
ることができるなどの効果を有する共焦点顕微鏡を実現
できる。
As described above in detail with the embodiments, according to the present invention, the device configuration is less dependent on wavelength, and a color image can be obtained. Further, a Wollaston prism or a Savart plate can be used, and a confocal microscope having an effect of obtaining a differential image can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本考案の共焦点顕微鏡の第1の実施例を示す構
成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing a first embodiment of a confocal microscope according to the present invention.

【図2】本考案の共焦点顕微鏡の第2の実施例を示す構
成図である。
FIG. 2 is a configuration diagram showing a second embodiment of the confocal microscope of the present invention.

【図3】共焦点顕微鏡の従来例である。FIG. 3 is a conventional example of a confocal microscope.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 偏光ビ−ムスプリッタ 2 ピンホールアレイ板 3 モータ 5 対物レンズ 6 試料 7 アナライザ 8 集光レンズ 9 カメラ 10 ファラデー素子 11 ウェラストンプリズム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polarization beam splitter 2 Pinhole array plate 3 Motor 5 Objective lens 6 Sample 7 Analyzer 8 Condensing lens 9 Camera 10 Faraday element 11 Wellaston prism

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】 ピンホールアレイ板を回転させ、このピ
ンホールアレイ板を通過した照射光を試料に対して走査
する共焦点用光スキャナを用いた共焦点顕微鏡におい
て、 レーザ光源からの出射光を入射と反射で分離するビーム
スプリッタと、 このビームスプリッタを透過した光を走査する前記ピン
ホールアレイ板およびその回転手段と、 このピンホールアレイ板を通った光の偏光方向を45度
回転させるファラデー素子と、 このファラデー素子を通った直線偏光の光を集光して試
料に照射する対物レンズと、 前記試料からの反射光が同一の光路を経て前記ビームス
プリッタで反射され、前記試料の像をカメラ上に結像さ
せる集光レンズと、 を備えたことを特徴とする共焦点顕微鏡。
1. A confocal microscope using a confocal optical scanner that rotates a pinhole array plate and scans a sample with irradiation light passing through the pinhole array plate. A beam splitter for separating light by incidence and reflection, the pinhole array plate for scanning light transmitted through the beam splitter, and rotation means therefor, and a Faraday element for rotating the polarization direction of light passing through the pinhole array plate by 45 degrees An objective lens for condensing linearly polarized light passing through the Faraday element and irradiating the sample with the light; reflected light from the sample is reflected by the beam splitter through the same optical path; A confocal microscope comprising: a condenser lens that forms an image thereon;
【請求項2】 前記ファラデー素子と対物レンズの間
に、ウェラストンプリズムまたはサバール板を配置した
構成としたことを特徴とする請求項1記載の共焦点顕微
鏡。
2. The confocal microscope according to claim 1, wherein a Wellaston prism or a Savart plate is arranged between the Faraday element and the objective lens.
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