JP3018887B2 - 三次元形状測定装置 - Google Patents
三次元形状測定装置Info
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- JP3018887B2 JP3018887B2 JP6010319A JP1031994A JP3018887B2 JP 3018887 B2 JP3018887 B2 JP 3018887B2 JP 6010319 A JP6010319 A JP 6010319A JP 1031994 A JP1031994 A JP 1031994A JP 3018887 B2 JP3018887 B2 JP 3018887B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は三次元形状測定装置に関
し、光切断法により被測定物の三次元形状を測定する装
置に関する。
し、光切断法により被測定物の三次元形状を測定する装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、被測定物の三次元形状を測定
する装置として、特開昭６２−２２０８０３号公報に記
載された装置がある。この装置は被測定物にスリット光
を照射し、このスリット光を移動して走査しながら、所
定間隔毎に被測定物上の光切断線を撮像し、各光切断線
の三次元座標から被測定物の容積を算出する。
する装置として、特開昭６２−２２０８０３号公報に記
載された装置がある。この装置は被測定物にスリット光
を照射し、このスリット光を移動して走査しながら、所
定間隔毎に被測定物上の光切断線を撮像し、各光切断線
の三次元座標から被測定物の容積を算出する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】被測定物にスリット光
を照射したとき、被測定物の表面状態によってスリット
光の反射状態が変化する。ビデオカメラで撮像した光切
断線上の各点には被測定物の１点だけではなく、その点
の近傍の複数点で反射したスリット光がノイズとして入
射し、その結果、光切断線の幅が太くなり、この光切断
線では被測定物の断面形状を正確に検出できなくなる。
上記のノイズはスリット光の走査と共に変化し、正確な
容積測定ができないという問題があった。
を照射したとき、被測定物の表面状態によってスリット
光の反射状態が変化する。ビデオカメラで撮像した光切
断線上の各点には被測定物の１点だけではなく、その点
の近傍の複数点で反射したスリット光がノイズとして入
射し、その結果、光切断線の幅が太くなり、この光切断
線では被測定物の断面形状を正確に検出できなくなる。
上記のノイズはスリット光の走査と共に変化し、正確な
容積測定ができないという問題があった。
【０００４】本発明は上記の点に鑑みなされたもので、
偏光フィルタを回転させて光切断線の光量分布が正規分
布に最も近付いた状態で測定を行なうことにより、被測
定物の三次元形状を高精度に測定できる三次元形状測定
装置を提供することを目的とする。
偏光フィルタを回転させて光切断線の光量分布が正規分
布に最も近付いた状態で測定を行なうことにより、被測
定物の三次元形状を高精度に測定できる三次元形状測定
装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の三次元形状測定
装置は、被測定物に直線状のスリット光を照射して上記
スリット光の長手方向と垂直方向に所定距離だけ離間し
た位置から上記被測定物の光切断線を撮像し、上記スリ
ット光をその長手方向と垂直方向に移動して走査を行な
い被測定物の三次元形状を測定する三次元形状測定装置
において、上記光切断線を撮像するカメラと被測定物と
の間に配置された偏光フィルタと、上記偏光フィルタを
カメラの光軸を中心として回転する回転手段と、撮像さ
れた光切断線の光量分布が正規分布からどれだけ異なる
かを表わす非正規度を計算する非正規度計算手段と、各
走査位置において上記非正規度が最小となるよう上記偏
光フィルタを回転させる回転制御手段とを有する。
装置は、被測定物に直線状のスリット光を照射して上記
スリット光の長手方向と垂直方向に所定距離だけ離間し
た位置から上記被測定物の光切断線を撮像し、上記スリ
ット光をその長手方向と垂直方向に移動して走査を行な
い被測定物の三次元形状を測定する三次元形状測定装置
において、上記光切断線を撮像するカメラと被測定物と
の間に配置された偏光フィルタと、上記偏光フィルタを
カメラの光軸を中心として回転する回転手段と、撮像さ
れた光切断線の光量分布が正規分布からどれだけ異なる
かを表わす非正規度を計算する非正規度計算手段と、各
走査位置において上記非正規度が最小となるよう上記偏
光フィルタを回転させる回転制御手段とを有する。
【０００６】
【作用】本発明においては、偏光フィルタを回転させて
光切断線の光量分布が正規分布に最も近付いた状態で測
定を行なうため、測定時のノイズを少なくでき、被測定
物の三次元形状を高精度に測定できる。
光切断線の光量分布が正規分布に最も近付いた状態で測
定を行なうため、測定時のノイズを少なくでき、被測定
物の三次元形状を高精度に測定できる。
【０００７】
【実施例】図２は本発明装置を用いたチャンバ容積測定
装置の構造図を示す。同図中、ワーク位置決め治具１０
上にはシリンダヘッド１１がチャンバ部１１ａ，１１
ｂ，１１ｃが設けられたチャンバ面１１ｅを上に向けて
載置される。ＸＹステージ１２は基台１４に対して矢印
Ｘ方向に移動自在のＸステージ１２ａと、Ｘステージ１
２ａに対して矢印Ｙ方向に移動自在のＹステージ１２ｂ
とより構成されている。このＹステージ１２ｂには支持
部材１５が固定され、支持部材１５の先端部には光学セ
ンサ２０が固定されている。
装置の構造図を示す。同図中、ワーク位置決め治具１０
上にはシリンダヘッド１１がチャンバ部１１ａ，１１
ｂ，１１ｃが設けられたチャンバ面１１ｅを上に向けて
載置される。ＸＹステージ１２は基台１４に対して矢印
Ｘ方向に移動自在のＸステージ１２ａと、Ｘステージ１
２ａに対して矢印Ｙ方向に移動自在のＹステージ１２ｂ
とより構成されている。このＹステージ１２ｂには支持
部材１５が固定され、支持部材１５の先端部には光学セ
ンサ２０が固定されている。
【０００８】光学センサ２０は図２（Ａ）に示す如く、
被測定物２１に直線状のスリット光を投射するスリット
光源２０ａと、このスリット光の長手方向（Ｘ方向）と
垂直方向（Ｙ方向）にスリット光源２０ａより所定距離
だけ離間して設けられたビデオカメラ２０ｂとよりな
る。ビデオカメラ２０ｂは被測定物２１に投射されたス
リット光像を撮像する。この被測定物２１表面に凹凸が
あると、図３（Ｂ）に示す如く光切断線２２は折曲した
像となり、被測定物２１の縦断面形状を検出することが
できる。所謂、光切断法である。なお、スリット光源２
０ａはビーム光をポリゴンミラー等により高速に走査さ
せて結果的にスリット状の光を投光する構成であっても
良い。
被測定物２１に直線状のスリット光を投射するスリット
光源２０ａと、このスリット光の長手方向（Ｘ方向）と
垂直方向（Ｙ方向）にスリット光源２０ａより所定距離
だけ離間して設けられたビデオカメラ２０ｂとよりな
る。ビデオカメラ２０ｂは被測定物２１に投射されたス
リット光像を撮像する。この被測定物２１表面に凹凸が
あると、図３（Ｂ）に示す如く光切断線２２は折曲した
像となり、被測定物２１の縦断面形状を検出することが
できる。所謂、光切断法である。なお、スリット光源２
０ａはビーム光をポリゴンミラー等により高速に走査さ
せて結果的にスリット状の光を投光する構成であっても
良い。
【０００９】図１は本発明装置の一実施例のブロック図
を示す。同図中、光学センサ２０にはビデオカメラ２０
ｂのレンズの前面に偏光フィルタ２５が配設されてお
り、この偏光フィルタ２５はモータ２６によりビデオカ
メラ２０ｂの光軸を中心として回転可能とされている。
を示す。同図中、光学センサ２０にはビデオカメラ２０
ｂのレンズの前面に偏光フィルタ２５が配設されてお
り、この偏光フィルタ２５はモータ２６によりビデオカ
メラ２０ｂの光軸を中心として回転可能とされている。
【００１０】光学センサ２０のスリット光源２０ａは発
光回路３１の駆動によりスリット光を被測定物に照射す
る。ビデオカメラ２０ｂで撮像された被測定物の光切断
線の画像は座標演算部３２及び非正規度計算部４０に供
給される。なお、ビデオカメラ２０ｂはスリット光が水
平面に照射されたとき、その光切断線が画像上で垂直方
向に延在するような向きに設置されている。
光回路３１の駆動によりスリット光を被測定物に照射す
る。ビデオカメラ２０ｂで撮像された被測定物の光切断
線の画像は座標演算部３２及び非正規度計算部４０に供
給される。なお、ビデオカメラ２０ｂはスリット光が水
平面に照射されたとき、その光切断線が画像上で垂直方
向に延在するような向きに設置されている。
【００１１】座標演算部３２の中心位置検出回路３３は
光切断線の画像信号の水平走査線毎に輝度を所定の閾値
と比較して、輝度が閾値を越える光切断線位置を検出
し、光切断線の垂直走査位置及び水平走査位置を順次、
座標変換テーブル３４に供給する。座標変換テーブル３
４は上記垂直走査位置及び水平走査位置を被測定物の置
かれた三次元空間のＸＺ座標（Ｙ座標は光学センサ２０
の走査位置である）に変換し、このＸＺ座標を容積計算
システム３０に供給する。また、反射強度検出回路３５
は、画像信号の水平走査線毎に光切断線の輝度を検出し
て、この検出輝度が所定値より小さい場合には、その光
切断線の画像の信頼性が低いとして、その光切断線の画
像を無視することを指示する信号を容積計算システム３
０に供給する。
光切断線の画像信号の水平走査線毎に輝度を所定の閾値
と比較して、輝度が閾値を越える光切断線位置を検出
し、光切断線の垂直走査位置及び水平走査位置を順次、
座標変換テーブル３４に供給する。座標変換テーブル３
４は上記垂直走査位置及び水平走査位置を被測定物の置
かれた三次元空間のＸＺ座標（Ｙ座標は光学センサ２０
の走査位置である）に変換し、このＸＺ座標を容積計算
システム３０に供給する。また、反射強度検出回路３５
は、画像信号の水平走査線毎に光切断線の輝度を検出し
て、この検出輝度が所定値より小さい場合には、その光
切断線の画像の信頼性が低いとして、その光切断線の画
像を無視することを指示する信号を容積計算システム３
０に供給する。
【００１２】非正規度計算部４０について説明するに、
被測定物の１点で反射された光がビデオカメラ２０ｂの
１点に入射して撮像された場合、例えば水平走査方向を
横軸にとり、輝度レベルを縦軸にとったグラフは正規分
布曲線となる。これに対して、被測定物の複数点で反射
された光がビデオカメラ２０ｂの１点に入射して撮像さ
れた場合のグラフは図４（Ａ），（Ｂ）に実線で示す如
く正規分布曲線とは異なる。図４（Ａ），（Ｂ）では破
線Ａで示す外乱の反射光と、破線Ｂで示す主反射光とが
重なって実線で示す曲線が形成されている。ここで、最
大輝度が得られる水平走査位置ＫMAX と、次式を用いて
輝度により荷重平均した水平走査位置Ｋ AVG とを求め
る。
被測定物の１点で反射された光がビデオカメラ２０ｂの
１点に入射して撮像された場合、例えば水平走査方向を
横軸にとり、輝度レベルを縦軸にとったグラフは正規分
布曲線となる。これに対して、被測定物の複数点で反射
された光がビデオカメラ２０ｂの１点に入射して撮像さ
れた場合のグラフは図４（Ａ），（Ｂ）に実線で示す如
く正規分布曲線とは異なる。図４（Ａ），（Ｂ）では破
線Ａで示す外乱の反射光と、破線Ｂで示す主反射光とが
重なって実線で示す曲線が形成されている。ここで、最
大輝度が得られる水平走査位置ＫMAX と、次式を用いて
輝度により荷重平均した水平走査位置Ｋ AVG とを求め
る。
【００１３】ＫAVG ＝∫Ｋ×ｊ ｄｊ／∫Ｋ ｄｊ 上記グラフが正規分布曲線の場合はＫMAX ＝ＫAVG とな
るが、図４（Ａ），（Ｂ）の如く正規分布曲線と異なる
場合はＫMAX ≠ＫAVG となる。しかし、ＫMAXとＫAVG
との差Ｓ（＝｜ＫMAX −ＫAVG ｜）を求めると、図４
（Ａ）の如く、Ｓが大なるほど外乱光の輝度が大きく正
規分布曲線から異なり、図４（Ｂ）の如く、Ｓが小なる
ほど外乱光の輝度が小さく正規分布曲線に近付く。この
ため、上記の差Ｓを非正規度と定義し、正規分布曲線か
らどれだけ離れているかの目安に用いる。
るが、図４（Ａ），（Ｂ）の如く正規分布曲線と異なる
場合はＫMAX ≠ＫAVG となる。しかし、ＫMAXとＫAVG
との差Ｓ（＝｜ＫMAX −ＫAVG ｜）を求めると、図４
（Ａ）の如く、Ｓが大なるほど外乱光の輝度が大きく正
規分布曲線から異なり、図４（Ｂ）の如く、Ｓが小なる
ほど外乱光の輝度が小さく正規分布曲線に近付く。この
ため、上記の差Ｓを非正規度と定義し、正規分布曲線か
らどれだけ離れているかの目安に用いる。
【００１４】非正規度計算部４０は供給される画像信号
の水平走査線毎に非正規度Ｓを計算して容積計算システ
ム３０に供給する。
の水平走査線毎に非正規度Ｓを計算して容積計算システ
ム３０に供給する。
【００１５】容積計算システム３０は、総合指令部４１
と、角度メモリ４２と、断面積計算部４３と、微小体積
計算部４４と、容積計算部４５とより構成されている。
総合指令部４１は発光回路３１に発光信号を供給し偏光
フィルタ用モータコントローラ４６及び移動用モータコ
ントローラ４７夫々に駆動制御信号を供給する。これと
共に、断面積計算部４３及び微小体積計算部４４及び容
積計算部４５夫々に計算指令を出す。
と、角度メモリ４２と、断面積計算部４３と、微小体積
計算部４４と、容積計算部４５とより構成されている。
総合指令部４１は発光回路３１に発光信号を供給し偏光
フィルタ用モータコントローラ４６及び移動用モータコ
ントローラ４７夫々に駆動制御信号を供給する。これと
共に、断面積計算部４３及び微小体積計算部４４及び容
積計算部４５夫々に計算指令を出す。
【００１６】偏光フィルタ用モータコントローラ４６は
回転制御手段としての総合指令部４１の駆動制御信号に
従ってモータ２６を回転駆動し、これにより偏光フィル
タ２５が回転する。移動用モータコントローラ４７は総
合指令部４１の駆動制御信号に従って移動用モータ４８
を回転駆動し、これにより光学センサ２０が被測定物に
対しＹ方向に移動する。総合指令部４１は上記光学セン
サ２０がＹ方向に所定距離だけ移動する毎に発光回路３
１に発光信号を供給する。
回転制御手段としての総合指令部４１の駆動制御信号に
従ってモータ２６を回転駆動し、これにより偏光フィル
タ２５が回転する。移動用モータコントローラ４７は総
合指令部４１の駆動制御信号に従って移動用モータ４８
を回転駆動し、これにより光学センサ２０が被測定物に
対しＹ方向に移動する。総合指令部４１は上記光学セン
サ２０がＹ方向に所定距離だけ移動する毎に発光回路３
１に発光信号を供給する。
【００１７】断面積計算部４３は光切断線のＸＺ座標か
ら被測定物の断面積を計算して微小体積計算部４４に供
給する。微小体積計算部４４は上記断面積に総合指令部
４１から通知されるＹ方向の移動距離を乗算して被測定
物の微小体積を算出する。容積計算部４５は上記微小体
積を累積して被測定物の容積を計算する。
ら被測定物の断面積を計算して微小体積計算部４４に供
給する。微小体積計算部４４は上記断面積に総合指令部
４１から通知されるＹ方向の移動距離を乗算して被測定
物の微小体積を算出する。容積計算部４５は上記微小体
積を累積して被測定物の容積を計算する。
【００１８】図５は総合指令部が実行する偏光フィルタ
角度最適化処理のフローチャートを示す。同図中、ステ
ップＳ２で、光学センサ２０の走査位置Ｙｉを設定する
ための添字ｉを０にセットし、次にステップＳ４で光学
センサ２０を測定位置Ｙi+1へ移動する。
角度最適化処理のフローチャートを示す。同図中、ステ
ップＳ２で、光学センサ２０の走査位置Ｙｉを設定する
ための添字ｉを０にセットし、次にステップＳ４で光学
センサ２０を測定位置Ｙi+1へ移動する。
【００１９】ステップＳ６で偏光フィルタ２５を所定角
度α度だけ時計方向に回転し、次のステップＳ８で非正
規度計算部４０で算出した非正規度Ｓを読み取り、偏光
フィルタ２５の回転角度θと共に記憶する。ステップＳ
１０では偏光フィルタ２５を１８０度回転させたか否か
を判断し、１８０度未満であればステップＳ６に進んで
ステップＳ６〜Ｓ１０を繰り返す。
度α度だけ時計方向に回転し、次のステップＳ８で非正
規度計算部４０で算出した非正規度Ｓを読み取り、偏光
フィルタ２５の回転角度θと共に記憶する。ステップＳ
１０では偏光フィルタ２５を１８０度回転させたか否か
を判断し、１８０度未満であればステップＳ６に進んで
ステップＳ６〜Ｓ１０を繰り返す。
【００２０】１８０度回転するとステップＳ１２で非正
規度Ｓが最小となる偏光フィルタ２５の回転角度θを走
査位置Ｙｉと対応づけたθｉとして角度メモリ４２に記
憶する。この後、ステップＳ１４で全ての走査位置につ
いてθｉを記憶し終わったか否かを判断し、終わってい
なければステップＳ１６で添字ｉを１だけインクリメン
トしてステップＳ４に進み、終わっていれば処理を終了
する。
規度Ｓが最小となる偏光フィルタ２５の回転角度θを走
査位置Ｙｉと対応づけたθｉとして角度メモリ４２に記
憶する。この後、ステップＳ１４で全ての走査位置につ
いてθｉを記憶し終わったか否かを判断し、終わってい
なければステップＳ１６で添字ｉを１だけインクリメン
トしてステップＳ４に進み、終わっていれば処理を終了
する。
【００２１】これによって全ての走査位置Ｙｉにおいて
非正規度Ｓが最小となる、つまり正規分布曲線に最も近
い反射光を得られる偏光フィルタ２５の回転角度θｉが
角度メモリ４２に記憶される。
非正規度Ｓが最小となる、つまり正規分布曲線に最も近
い反射光を得られる偏光フィルタ２５の回転角度θｉが
角度メモリ４２に記憶される。
【００２２】図６は総合指令部が実行する容積計算処理
のフローチャートを示す。同図中、ステップＳ２２で、
添字ｉを０にセットし、次にステップＳ２４で光学セン
サ２０を測定位置Ｙi+1 へ移動する。
のフローチャートを示す。同図中、ステップＳ２２で、
添字ｉを０にセットし、次にステップＳ２４で光学セン
サ２０を測定位置Ｙi+1 へ移動する。
【００２３】ステップＳ２６で偏光フィルタ２５を回転
角度θｉまで回転する。次のステップＳ２８で座標変換
テーブル３４の出力するＸＺ座標を取込み、ステップＳ
３０で断面積計算部４３に断面積Ａｉを計算させ、ステ
ップＳ３２で微小体積計算部４４に次式により微小体積
ｄＶｉを計算させる。
角度θｉまで回転する。次のステップＳ２８で座標変換
テーブル３４の出力するＸＺ座標を取込み、ステップＳ
３０で断面積計算部４３に断面積Ａｉを計算させ、ステ
ップＳ３２で微小体積計算部４４に次式により微小体積
ｄＶｉを計算させる。
【００２４】ｄＶｉ＝（Ｙi+1 −Ｙｉ）・Ａｉ この後、ステップＳ３４で走査を終わったか否かを判別
し、終わっていなければステップＳ３６で添字ｉを１だ
けインクリメントしてステップＳ２４に進み、終わって
いればステップＳ３８で容積計算部４５に微小体積ｄＶ
ｉを全て累積させて容積Ｖを計算させ、処理を終了す
る。
し、終わっていなければステップＳ３６で添字ｉを１だ
けインクリメントしてステップＳ２４に進み、終わって
いればステップＳ３８で容積計算部４５に微小体積ｄＶ
ｉを全て累積させて容積Ｖを計算させ、処理を終了す
る。
【００２５】つまり走査位置Ｙｉで偏光フィルタ２５が
回転してノイズの最も少ない正規分布曲線に最も近い反
射光が得られるため、ノイズが少なくなり被測定物の三
次元形状を高精度で測定でき、高精度の容積測定が可能
となる。
回転してノイズの最も少ない正規分布曲線に最も近い反
射光が得られるため、ノイズが少なくなり被測定物の三
次元形状を高精度で測定でき、高精度の容積測定が可能
となる。
【００２６】なお、上記実施例では偏光フィルタ角度最
適化処理と容積計算処理とに分けているが、各走査位置
で偏光フィルタの最適角度を測定し、その最適角度で断
面積を計算して次の走査位置に移動しても良い。
適化処理と容積計算処理とに分けているが、各走査位置
で偏光フィルタの最適角度を測定し、その最適角度で断
面積を計算して次の走査位置に移動しても良い。
【００２７】また、上記実施例では被測定物の容積を計
算しているが、これに限らず被測定物の三次元形状を測
定すれば良く、上記実施例に限定されない。
算しているが、これに限らず被測定物の三次元形状を測
定すれば良く、上記実施例に限定されない。
【００２８】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明の実施例には特許請求の範囲に記載した技術
的事項以外に次の様な各種の技術的事項の実施態様を有
するものであることを付記しておく。
が、本発明の実施例には特許請求の範囲に記載した技術
的事項以外に次の様な各種の技術的事項の実施態様を有
するものであることを付記しておく。
【００２９】（１）請求項１記載の三次元形状測定装置
において、前記非正規度計算手段は、最大輝度が得られ
る水平走査位置と、輝度により荷重平均した水平走査位
置との差を非正規度として計算することを特徴とする三
次元形状測定装置。
において、前記非正規度計算手段は、最大輝度が得られ
る水平走査位置と、輝度により荷重平均した水平走査位
置との差を非正規度として計算することを特徴とする三
次元形状測定装置。
【００３０】（２）請求項１又は２記載の三次元形状測
定装置において、前記スリット光の走査の各走査位置に
おける、前記偏向フィルタの回転角度とその非正規度と
を記憶する記憶手段と、上記記憶手段から非正規度が最
小となる偏向フィルタの回転角度を読み出す読み出し手
段とを有することを特徴とする三次元形状測定装置。
定装置において、前記スリット光の走査の各走査位置に
おける、前記偏向フィルタの回転角度とその非正規度と
を記憶する記憶手段と、上記記憶手段から非正規度が最
小となる偏向フィルタの回転角度を読み出す読み出し手
段とを有することを特徴とする三次元形状測定装置。
【００３１】
【発明の効果】上述の如く、本発明の三次元形状測定装
置によれば、偏光フィルタを回転させて光切断線の光量
分布が正規分布に最も近付いた状態で測定を行なうた
め、ノイズを少なくでき、被測定物の三次元形状を高精
度に測定でき、実用上きわめて有用である。
置によれば、偏光フィルタを回転させて光切断線の光量
分布が正規分布に最も近付いた状態で測定を行なうた
め、ノイズを少なくでき、被測定物の三次元形状を高精
度に測定でき、実用上きわめて有用である。
【図１】本発明装置のブロック図である。
【図２】本発明装置を用いたチャンバ容積測定装置の構
成図である。
成図である。
【図３】光学センサを説明するための図である。
【図４】非正規度を説明するための図である。
【図５】偏光フィルタ角度最適化処理のフローチャート
である。
である。
【図６】容積計算処理のフローチャートである。
【符号の説明】 ２０ 光学センサ ２０ａ スリット光源 ２０ｂ ビデオカメラ ２１ 被測定物 ２５ 偏光フィルタ ２６ モータ ３０ 容積計算システム ３１ 発光回路 ３２ 座標演算部 ４０ 非正規度計算部 ４１ 総合指令部 ４２ 角度メモリ ４６ 偏光フィルタ用モータコントローラ ４７ 移動用モータコントローラ ４８ 移動用モータ
Claims (1)
- 【請求項１】 被測定物に直線状のスリット光を照射し
て上記スリット光の長手方向と垂直方向に所定距離だけ
離間した位置から上記被測定物の光切断線を撮像し、上
記スリット光をその長手方向と垂直方向に移動して走査
を行ない被測定物の三次元形状を測定する三次元形状測
定装置において、 上記光切断線を撮像するカメラと被測定物との間に配置
された偏光フィルタと、 上記偏光フィルタをカメラの光軸を中心として回転する
回転手段と、 撮像された光切断線の光量分布が正規分布からどれだけ
異なるかを表わす非正規度を計算する非正規度計算手段
と、 各走査位置において上記非正規度が最小となるよう上記
偏光フィルタを回転させる回転制御手段とを有すること
を特徴とする三次元形状測定装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6010319A JP3018887B2 (ja) | 1994-02-01 | 1994-02-01 | 三次元形状測定装置 |
| GB9410371A GB2278678B (en) | 1993-05-25 | 1994-05-24 | A chamber volume correcting method for a cylinder head of an engine |
| US08/248,215 US5517311A (en) | 1993-05-25 | 1994-05-24 | Optical 3D measuring apparatus used for measuring chamber volume of a cylinder head and chamber volume correcting method for a cylinder head of an engine |
| DE4418264A DE4418264A1 (de) | 1993-05-25 | 1994-05-25 | Optische 3D-Meßvorrichtung zum Messen des Kammervolumens eines Zylinderkopfes und Kammervolumenkorrekturverfahren für einen Zylinderkopf einer Kraftmaschine |
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| JP6010319A JP3018887B2 (ja) | 1994-02-01 | 1994-02-01 | 三次元形状測定装置 |
Publications (2)
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| JPH07218231A JPH07218231A (ja) | 1995-08-18 |
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Family
ID=11746922
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6010319A Expired - Lifetime JP3018887B2 (ja) | 1993-05-25 | 1994-02-01 | 三次元形状測定装置 |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP3018887B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPWO2023032095A1 (ja) * | 2021-09-01 | 2023-03-09 |
-
1994
- 1994-02-01 JP JP6010319A patent/JP3018887B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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| JPH07218231A (ja) | 1995-08-18 |
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