JP3017303B2 - Heat treatment equipment - Google Patents
Heat treatment equipmentInfo
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- JP3017303B2 JP3017303B2 JP3060383A JP6038391A JP3017303B2 JP 3017303 B2 JP3017303 B2 JP 3017303B2 JP 3060383 A JP3060383 A JP 3060383A JP 6038391 A JP6038391 A JP 6038391A JP 3017303 B2 JP3017303 B2 JP 3017303B2
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は熱処理装置に関し、特に
被処理物を雰囲気ガス中で熱処理する熱処理ゾーンを備
えた熱処理装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heat treatment apparatus, and more particularly to a heat treatment apparatus having a heat treatment zone for heat treating an object to be processed in an atmosphere gas.
【０００２】[0002]
【従来の技術】上記のような熱処理装置としては、実開
昭６２−１１８１６７号公報に示されるように、鋼部材
等の被処理物を浸炭性ガス雰囲気中の高温下で保持した
後に焼入れする熱処理装置が知られており、該熱処理装
置は、順次形成された加熱ゾーン、浸炭ゾーン及び拡散
ゾーンよりなるガス浸炭部と、冷却用パイプにより冷却
する急冷ゾーン及び焼入れ槽を有する焼入ゾーンよりな
る焼入部とを備えたものである。2. Description of the Related Art As described above, as disclosed in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. Sho 62-118167, an object to be treated such as a steel member is held at a high temperature in a carburizing gas atmosphere and then quenched. 2. Description of the Related Art A heat treatment apparatus is known. The heat treatment apparatus includes a gas carburizing section formed of a heating zone, a carburizing zone, and a diffusion zone, which are sequentially formed, a quenching zone for cooling by a cooling pipe, and a quenching zone having a quenching tank. And a quenching part.
【０００３】ところで、熱処理としては、被処理物に対
する焼入れ性を向上させる等の目的で、浸炭処理された
被処理物をさらに窒化性ガス雰囲気中で加熱した後に焼
入れする浸炭窒化処理が必要な場合があるが、上記熱処
理装置では浸炭窒化処理を行なうことはできない。[0003] By the way, as a heat treatment, for the purpose of improving the hardenability of the object to be treated, a carbonitriding treatment in which the carburized object is further heated in a nitriding gas atmosphere and then quenched is necessary. However, carbonitriding cannot be performed with the above heat treatment apparatus.
【０００４】そこで、被処理物に浸炭窒化処理を行なう
場合には、特開昭６３−２１０２８７号公報に示される
ように、被処理物を、浸炭炉内で所定のカーボンポテン
シャルとなるような浸炭性ガス雰囲気中で加熱した後に
冷却し、次に該被処理物を窒化炉に投入して所定のカー
ボンポテンシャル且つ窒素ポテンシャルとなるような窒
化性ガス雰囲気中で加熱した後に焼入れしていた。[0004] Therefore, when carbonitriding is performed on an object to be treated, as shown in JP-A-63-210287, the object is carburized so as to have a predetermined carbon potential in a carburizing furnace. After heating in a neutral gas atmosphere, it is cooled, and then the object is put into a nitriding furnace, heated in a nitriding gas atmosphere having a predetermined carbon potential and a nitrogen potential, and then quenched.
【０００５】この場合の熱処理サイクルは、図１７及び
図１８に示すとおりである。すなわち、まず、図１７に
示すように、被処理物を、約８００〜９００℃に加熱し
た後、浸炭炉で約９００℃〜９５０℃の温度下で保持し
て浸炭し、しかる後、該被処理物を浸炭炉で炉冷し、そ
の温度が約３５０℃になったときに炉外へ搬出する。次
に、図１８に示すように、該被処理物を約８５０〜８７
０℃に再度加熱すると共に該温度下で保持して均熱処理
した後、約８２０〜８４０℃に降温し、その後、窒化炉
で約８２０〜８４０の温度下に保持して浸炭窒化し、し
かる後、該被処理物を焼入れするものである。The heat treatment cycle in this case is as shown in FIGS. That is, first, as shown in FIG. 17, the object to be treated is heated to about 800 to 900 ° C., and then carburized while being held at a temperature of about 900 to 950 ° C. in a carburizing furnace. The treated material is furnace-cooled in a carburizing furnace, and is carried out of the furnace when the temperature reaches about 350 ° C. Next, as shown in FIG.
After heating again to 0 ° C. and holding at the same temperature for soaking, the temperature is lowered to about 820 to 840 ° C., and thereafter, it is kept at a temperature of about 820 to 840 in a nitriding furnace to perform carbonitriding. Quenching the object.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかるに、特開昭６３
−２１０２８７号公報に示されるように、被処理物を、
浸炭炉中で浸炭した後に炉中或いは炉外で冷却し、次に
被処理物を再度加熱して窒化炉で浸炭窒化した後に焼入
れをする方法では、作業効率が悪いと共にエネルギーの
ロスが大きいという問題がある。SUMMARY OF THE INVENTION However, Japanese Patent Application Laid-Open
As shown in -210287, an object to be processed is
In the method of carburizing in a carburizing furnace, cooling in the furnace or outside the furnace, then heating the workpiece again and carbonitriding in a nitriding furnace, and then quenching, the work efficiency is low and energy loss is large. There's a problem.
【０００７】また、被処理物を浸炭炉中で浸炭した後に
焼入れし、次に被処理物を窒化炉で浸炭窒化した後に再
度焼入れする方法では、作業効率は向上するが、２度の
焼入れによって被処理物が熱変形するという問題があ
る。In the method of quenching a workpiece after carburizing it in a carburizing furnace and then quenching the workpiece after carbonitriding in a nitriding furnace, the working efficiency is improved. There is a problem that the object is thermally deformed.
【０００８】一方、実開昭６２−１１８１６７号公報に
示されるように被処理物を冷却パイプで冷却する方法で
は、被処理物を均一に且つ急速に冷却できないので、本
発明者らは、熱処理装置における冷却ゾーンを、被処理
物を冷却用ガスにより冷却する構造にすることを考慮し
た。On the other hand, in the method disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open Publication No. 62-118167, in which the object is cooled by a cooling pipe, the object cannot be uniformly and rapidly cooled. Considering that the cooling zone in the apparatus has a structure in which the object to be processed is cooled by a cooling gas.
【０００９】すなわち、本発明者等が考慮した熱処理装
置は、被処理物を雰囲気ガス中で熱処理する熱処理ゾー
ンと、該熱処理ゾーンで熱処理された被処理物を冷却用
ガスにより冷却する冷却ゾーンとを備え、これら熱処理
ゾーンと冷却ゾーンとが開閉扉を介して互いに連通して
いる構造のものである。That is, the heat treatment apparatus considered by the present inventors includes a heat treatment zone for heat-treating an object to be treated in an atmosphere gas, and a cooling zone for cooling the object to be heat-treated in the heat treatment zone with a cooling gas. And the heat treatment zone and the cooling zone communicate with each other via an opening / closing door.
【００１０】ところが、開閉扉を開放し、熱処理ゾーン
で加熱した被処理物を冷却ゾーンに移送すると、高温の
被処理物が発する輻射熱のために冷却ゾーンの圧力が上
昇する。このため、冷却ゾーンに導入されていた冷却用
ガスが熱処理ゾーンに流入するので、熱処理ゾーンにお
ける雰囲気ガスの濃度が変化し、被処理物の品質が悪影
響を受けるという問題が発生した。However, when the opening and closing door is opened and the object heated in the heat treatment zone is transferred to the cooling zone, the pressure in the cooling zone increases due to the radiant heat generated by the high temperature object to be processed. For this reason, since the cooling gas introduced into the cooling zone flows into the heat treatment zone, the concentration of the atmospheric gas in the heat treatment zone changes, and there is a problem that the quality of the object to be processed is adversely affected.
【００１１】また、被処理物の冷却ゾーンへの移送が完
了し、開閉扉を閉塞した後に被処理物に対する冷却を開
始すると、被処理物の温度低下に伴って冷却ゾーンの圧
力が低下する。このため、熱処理ゾーンの雰囲気ガスが
開閉扉の周囲の僅かな隙間を通って冷却ゾーンに浸入し
て被処理物の品質を低下させるという問題、及び外部の
空気つまりＯ2 が冷却ゾーンの壁部の僅かな隙間を通っ
て冷却ゾーンに流入し、爆発を起こしたり、或いはＯ2
が被処理物の継ぎ目に浸入して脱炭による品質低下を招
いたりするという問題も発生した。When the cooling of the object to be processed is started after the transfer of the object to the cooling zone is completed and the opening / closing door is closed, the pressure in the cooling zone is reduced as the temperature of the object to be processed is lowered. For this reason, the problem that the atmospheric gas in the heat treatment zone penetrates into the cooling zone through a small gap around the opening / closing door and deteriorates the quality of the object to be processed, and that the external air, that is, O 2 Through a small gap into the cooling zone, causing an explosion or O 2
However, there also arises a problem that the water enters the joints of the objects to be treated and causes quality deterioration due to decarburization.
【００１２】本発明の第１の目的は、被処理物を浸炭し
た後に冷却し、次に該被処理物を浸炭窒化した後に焼入
れするという一連の作業を効率良く行え且つ該一連の作
業をエネルギーロスを伴うことなく行なうことである。A first object of the present invention is to efficiently perform a series of operations of carburizing an object to be treated, then cooling, then carbonitriding and quenching the object to be treated, and performing the series of operations with energy. It is done without loss.
【００１３】本発明の第２の目的は、被処理物を雰囲気
ガス中で熱処理する熱処理ゾーンと、被処理物を冷却用
ガスにより冷却する冷却ゾーンとを備えた熱処理装置に
おいて、被処理物の品質を低下させることなく被処理物
を均一且つ急速に冷却できるようにすることである。A second object of the present invention is to provide a heat treatment apparatus having a heat treatment zone for heat treating an object to be processed in an atmosphere gas and a cooling zone for cooling the object to be processed by a cooling gas. An object of the present invention is to allow a workpiece to be cooled uniformly and rapidly without deteriorating quality.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るため、請求項１の発明は、一連の通路を順次開閉扉で
仕切ることにより、浸炭ゾーン、冷却ゾーン及び窒化ゾ
ーンを区画形成するものである。According to the first aspect of the present invention, a carburizing zone, a cooling zone, and a nitriding zone are formed by sequentially dividing a series of passages with an opening / closing door. Things.
【００１５】具体的に請求項１の発明が講じた解決手段
は、一連の通路が開閉扉で順次仕切られることにより区
画形成される浸炭ゾーン、冷却ゾーン及び窒化ゾーンを
順次備えると共に、被処理物を上記一連の通路に沿って
順次移送する移送手段を備え、上記冷却ゾーンに被処理
物を冷却する強制冷却手段が設けられている構成とする
ものである。[0015] Specifically, a solution taken by the invention of claim 1 is to provide a carburizing zone, a cooling zone, and a nitriding zone which are sequentially formed by sequentially dividing a series of passages with an opening / closing door, Are transported sequentially along the series of passages, and the cooling zone is provided with forced cooling means for cooling the object to be processed.
【００１６】請求項２の発明は、被処理物を均一に且つ
急速に冷却するため、請求項１における強制冷却手段
を、被処理物に冷却用ガスを吹き付けて冷却するガス冷
却手段としたものである。According to a second aspect of the present invention, in order to uniformly and rapidly cool the object to be processed, the forced cooling means in the first aspect is a gas cooling means for blowing a cooling gas to the object to cool the object. It is.
【００１７】上記第２の目的を達成するため、請求項３
の発明は、冷却ゾーンの圧力を調整して該冷却ゾーンの
圧力を熱処理ゾーンの圧力と同等にさせるものである。In order to achieve the second object, a third aspect is provided.
In the invention, the pressure in the cooling zone is adjusted to make the pressure in the cooling zone equal to the pressure in the heat treatment zone.
【００１８】具体的に請求項３の発明が講じた解決手段
は、被処理物を雰囲気ガス中で熱処理する熱処理ゾーン
と、該熱処理ゾーンで熱処理された被処理物を冷却用ガ
スで冷却する冷却ゾーンとを備え、これら熱処理ゾーン
と冷却ゾーンとは開閉扉を介して互いに連通しており、
上記冷却ゾーンには、該冷却ゾーンの内部の圧力を調整
する圧力調整手段が設けられている構成とするものであ
る。[0018] Specifically, a solution taken by the invention of claim 3 is a heat treatment zone in which the object to be treated is heat-treated in an atmosphere gas, and a cooling system in which the object to be heat-treated in the heat treatment zone is cooled by a cooling gas. Zones, and these heat treatment zones and cooling zones communicate with each other via an opening / closing door,
In the cooling zone, a pressure adjusting means for adjusting the pressure inside the cooling zone is provided.
【００１９】上記第２の目的を達成するため、請求項４
の発明は、冷却用ガス吹出しダクト及び冷却用ガス回収
ダクトの開口部同士の間の空間を囲繞するマッフルを設
け、冷却用ガス吹出しダクトから吹き出された冷却用ガ
スを被処理物に導くものである。According to a fourth aspect of the present invention, in order to achieve the second object,
The invention of the present invention provides a muffle surrounding the space between the openings of the cooling gas blowing duct and the cooling gas collecting duct, and guides the cooling gas blown from the cooling gas blowing duct to the object to be processed. is there.
【００２０】具体的に請求項４の発明が講じた解決手段
は、被処理物を雰囲気ガス中で熱処理する熱処理ゾーン
と、該熱処理ゾーンで熱処理された被処理物を冷却用ガ
スで冷却する冷却ゾーンとを備え、これら熱処理ゾーン
と冷却ゾーンとは開閉扉を介して互いに連通しており、
上記冷却ゾーンは、該冷却ゾーンにおける被処理物セッ
ト位置を挟んで対向する位置に設けられた被処理物に冷
却用ガスを吹き付けるための冷却用ガス吹出しダクト及
び被処理物に吹き付けられた冷却用ガスを回収する冷却
用ガス回収ダクトと、上記冷却用ガス吹出しダクト及び
冷却用ガス回収ダクトの開口部同士の間の空間を囲繞す
るように上記冷却ゾーンの固定壁面に設けられた固定壁
部材及び上記開閉扉に設けられた可動壁部材によって構
成されるマッフルとを備えている構成とするものであ
る。Specifically, the solution taken by the invention of claim 4 is a heat treatment zone in which the object to be treated is heat-treated in an atmosphere gas, and a cooling system in which the object to be heat-treated in the heat treatment zone is cooled by a cooling gas. Zones, and these heat treatment zones and cooling zones communicate with each other via an opening / closing door,
The cooling zone is provided with a cooling gas blow-out duct for blowing a cooling gas to a processing object provided at a position opposed to the processing object setting position in the cooling zone and a cooling gas blown to the processing object. A cooling gas recovery duct for recovering gas, a fixed wall member provided on a fixed wall surface of the cooling zone so as to surround a space between the openings of the cooling gas blowing duct and the opening of the cooling gas recovery duct, and And a muffle constituted by a movable wall member provided on the opening / closing door.
【００２１】請求項５の発明は、冷却用ガスの流通抵抗
が小さく冷却されやすい被処理物の周縁部にマッフルか
らの輻射熱を与え、冷却用ガスの流通抵抗が大きく冷却
されにくい被処理物の中心部とのバランスをとるため、
請求項４の固定壁部材及び可動壁部材を熱反射板によっ
て構成するものである。According to a fifth aspect of the present invention, the radiant heat from the muffle is applied to the peripheral portion of the object to be cooled, which has a small flow resistance of the cooling gas, and is easily cooled. To balance with the center,
According to a fourth aspect of the present invention, the fixed wall member and the movable wall member are constituted by a heat reflecting plate.
【００２２】上記第２の目的を達成するため、請求項６
の発明は、冷却用ガス吹出しダクトを内外多重筒構造に
することにより整流で流れる冷却用ガスを被処理物に吹
き付けると共に、冷却用ガス回収ダクトを内外多重筒構
造に構成し且つその内側の筒を外側の筒よりも被処理物
側へ突出させることにより、冷却用ガス回収ダクトの吸
引力を被処理物の中心部に対して強く作用させるもので
ある。According to a sixth aspect of the present invention, in order to achieve the second object,
In the invention, the cooling gas blowing duct is formed into an inner and outer multi-cylinder structure so that the cooling gas flowing by rectification is blown to the object to be processed, and the cooling gas recovery duct is formed into an inner and outer multi-cylinder structure and the inner cylinder is provided. Is made to protrude more toward the object than the outer cylinder, so that the suction force of the cooling gas recovery duct acts strongly on the central portion of the object.
【００２３】具体的に請求項６の発明が講じた解決手段
は、被処理物を雰囲気ガス中で熱処理する熱処理ゾーン
と、該熱処理ゾーンで熱処理された被処理物を冷却用ガ
スで冷却する冷却ゾーンと、上記冷却ゾーンは、該冷却
ゾーンにおける被処理物セット位置を挟んで対向する位
置に設けられた被処理物に冷却用ガスを吹き付けるため
の冷却用ガス吹出しダクト及び被処理物に吹き付けられ
た冷却用ガスを回収する冷却用ガス回収ダクトを備え、
これら冷却用ガス吹出しダクト及び冷却用ガス回収ダク
トは各々内外多重筒構造に構成し、冷却用ガス回収ダク
トはその内側の筒が外側の筒よりも被処理物側へ突出す
るよう構成するものである。Specifically, the solution of the present invention is a heat treatment zone in which the object to be treated is heat-treated in an atmosphere gas, and a cooling system in which the object to be heat-treated in the heat treatment zone is cooled by a cooling gas. Zone and the cooling zone are blown to a cooling gas blowing duct for blowing a cooling gas to a processing object provided at a position opposed to the processing object setting position in the cooling zone and a processing object. Equipped with a cooling gas collection duct that collects the cooling gas
These cooling gas blow-out ducts and cooling gas recovery ducts are each configured in an inner / outer multi-cylinder structure, and the cooling gas recovery ducts are configured such that the inner tube projects more toward the workpiece than the outer tube. is there.
【００２４】[0024]
【作用】請求項１の発明の構成により、一連の通路が開
閉扉によって区画されてなる浸炭ゾーン、冷却ゾーン及
び窒化ゾーンと、被処理物を上記一連の通路に沿って順
次移送する移送手段とを備えているため、被処理物を浸
炭窒化処理する場合、浸炭ゾーンで浸炭された被処理物
の温度が所望温度に低下すると、被処理物を炉外に搬出
することなく窒化ゾーンで浸炭窒化できる。また冷却ゾ
ーンが強制冷却手段を備えているため、被処理物の冷却
に要する時間を節約することができる。According to the structure of the first aspect of the present invention, a carburizing zone, a cooling zone, and a nitriding zone in which a series of passages are partitioned by an opening / closing door, and a transfer means for sequentially transferring an object to be processed along the series of passages. Therefore, when the object to be carbonitrided is subjected to carbonitriding, when the temperature of the object to be carburized in the carburizing zone falls to a desired temperature, the carbonitriding in the nitriding zone is performed without taking the object to be treated out of the furnace. it can. Further, since the cooling zone includes the forced cooling means, the time required for cooling the object can be saved.
【００２５】請求項２の発明の構成により、冷却ゾーン
では、被処理物に冷却用ガスを吹き付けて冷却すること
ができるので、被処理物は均一に且つ急速に冷却され
る。According to the configuration of the second aspect of the present invention, in the cooling zone, the object to be processed can be cooled by spraying a cooling gas on the object, so that the object is cooled uniformly and rapidly.
【００２６】請求項３の発明の構成により、冷却ゾーン
に該冷却ゾーンの圧力を調整する圧力調整手段が設けら
れているため、冷却ゾーンの圧力を加熱ゾーンの圧力と
同等に調整することができる。このため、加熱ゾーンと
冷却ゾーンとの間の圧力差を無くすことができるため、
雰囲気ガスが加熱ゾーンから冷却ゾーンに流出せず且つ
冷却ゾーンの冷却用ガスが加熱ゾーンに流入しないので
加熱ゾーンにおける雰囲気ガスの濃度は変化しない。ま
た、冷却ゾーンの圧力低下を防止できるため、外部の空
気つまりＯ2 が冷却ゾーンに流入しない。According to the structure of the third aspect of the present invention, since the cooling zone is provided with the pressure adjusting means for adjusting the pressure in the cooling zone, the pressure in the cooling zone can be adjusted to be equal to the pressure in the heating zone. . For this reason, since the pressure difference between the heating zone and the cooling zone can be eliminated,
Since the atmospheric gas does not flow from the heating zone to the cooling zone and the cooling gas in the cooling zone does not flow into the heating zone, the concentration of the atmospheric gas in the heating zone does not change. Further, since the pressure drop in the cooling zone can be prevented, external air, that is, O 2 does not flow into the cooling zone.
【００２７】請求項４の発明の構成により、冷却用ガス
吹出しダクト及び冷却用ガス回収ダクトの開口部同士の
間の空間を囲繞するように冷却ゾーンの固定壁面に設け
られた固定壁部材と開閉扉に設けられた可動壁部材とに
よってマッフルを構成したため、冷却用ガス吹出しダク
トから吹き出された冷却用ガスはマッフルに規制されて
被処理物の方へ流れる。According to the structure of the fourth aspect of the present invention, the fixed wall member provided on the fixed wall surface of the cooling zone so as to surround the space between the openings of the cooling gas blowing duct and the cooling gas collecting duct is opened and closed. Since the muffle is constituted by the movable wall member provided on the door, the cooling gas blown out from the cooling gas blowing duct is regulated by the muffle and flows toward the workpiece.
【００２８】また、熱処理ゾーンとの間に開閉扉が設け
られているため、冷却ゾーンの壁面自体は凹凸状である
が、冷却用ガス吹出しダクトと冷却用ガス回収ダクトと
の間の空間はマッフルによって囲繞されているため、冷
却用ガスが流通するスペースの周囲は平坦である。Since the opening / closing door is provided between the heat treatment zone and the wall surface of the cooling zone itself is uneven, the space between the cooling gas blow-out duct and the cooling gas recovery duct is a muffle. , The space around which the cooling gas flows is flat.
【００２９】さらに、可動壁部材は開閉扉に設けられて
おり開閉扉と共に移動するので、被処理物を熱処理ゾー
ンから冷却ゾーンに移送する際の邪魔にはならない。Further, since the movable wall member is provided on the opening and closing door and moves together with the opening and closing door, it does not hinder the transfer of the workpiece from the heat treatment zone to the cooling zone.
【００３０】請求項５の発明の構成により、固定壁部材
及び可動壁部材を熱反射板で構成したため、冷却用ガス
の流通抵抗が小さく冷却され易い被処理物の外周部は熱
反射板からの輻射熱によって冷却速度が遅くなるため、
冷却用ガスの流通抵抗が大きく冷却され難い被処理物の
中心部とのバランスが保たれる。According to the fifth aspect of the present invention, since the fixed wall member and the movable wall member are composed of heat reflecting plates, the flow resistance of the cooling gas is small and the outer peripheral portion of the object to be cooled is easily separated from the heat reflecting plate. Because the cooling rate is slowed down by radiant heat,
The flow resistance of the cooling gas is large, and the balance with the central portion of the processing object, which is difficult to cool, is maintained.
【００３１】請求項６の発明の構成により、冷却用ガス
吹出しダクトが内外多重筒構造に構成されているため、
冷却用ガス吹出しダクトから吹き出される冷却用ガスは
整流になってストレートに被処理物に吹き付けられるの
で、被処理物の各部位に吹き付けられる冷却用ガスの流
速は略均一になる。According to the structure of the sixth aspect of the present invention, since the cooling gas blow-out duct has a multi-inner / outer cylindrical structure,
Since the cooling gas blown out from the cooling gas blowing duct is straightened and blown straight to the object, the flow velocity of the cooling gas blown to each part of the object becomes substantially uniform.
【００３２】また、冷却用ガス回収ダクトが内外多重筒
構造に構成され、且つその内側の筒が外側の筒より被処
理物側へ突出するよう構成されているため、冷却用ガス
回収ダクトの内側の筒は外側の筒よりも被処理物に接近
しており、被処理物の中心部に作用する吸引力は、被処
理物の周縁部に作用する吸引力よりも強い。従って、本
来ならば、被処理物の中心部を流通する冷却用ガスは流
通抵抗が大きいため流速が遅くなるが、上記のように冷
却用ガス回収ダクトの吸引力が、被処理物の中心部を流
通する冷却用ガスに強く作用するので、冷却用ガスは被
処理物の中心部と周縁部とで略均等の流速になる。Further, since the cooling gas recovery duct is formed in an inner / outer multi-cylinder structure, and the inner tube is configured to protrude from the outer tube toward the workpiece, the cooling gas recovery duct is formed inside the cooling gas recovery duct. Is closer to the workpiece than the outer cylinder, and the suction force acting on the central portion of the workpiece is stronger than the suction force acting on the peripheral edge of the workpiece. Therefore, the flow rate of the cooling gas flowing through the central portion of the object to be processed is slow because the flow resistance is large. However, as described above, the suction force of the cooling gas recovery duct increases the central portion of the object to be processed. The cooling gas acts strongly on the cooling gas flowing therethrough, so that the cooling gas has a substantially uniform flow velocity between the central portion and the peripheral portion of the object.
【００３３】[0033]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００３４】図１は本発明の一実施例に係る熱処理装置
Ａの左側部分の概略平面構造を、図２は上記熱処理装置
Ａの右側部分の概略平面構造を各々示し、該熱処理装置
Ａは、左右方向に延びる一連の通路を有するトンネル型
の連続炉１０の内部で、被処理物を積載したパレット１
２が、移送手段としての後述するパワーローラによって
左方から右方へ順次移送されるものである。FIG. 1 shows a schematic plan structure of a left part of a heat treatment apparatus A according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows a schematic plan structure of a right part of the heat treatment apparatus A. A pallet 1 on which an object is loaded is placed inside a tunnel-type continuous furnace 10 having a series of passages extending in the left-right direction.
2 is sequentially transferred from left to right by a power roller described later as a transfer means.
【００３５】連続炉１０は開閉可能な複数の開閉扉１４
によって順次仕切られており、該連続炉１０には、左方
から順次、脱脂室１６、昇温室１８、浸炭ゾーンと熱処
理ゾーンとしての浸炭室２０、冷却ゾーンとしての冷却
室２２、再昇温室２４、窒化ゾーンとしての降温室２６
と窒化室２８、及び抽出ベスチブル３０が区画形成され
ている。この場合、冷却室２２と再昇温室２４との間に
は、両室間のシール性を強化するため開閉扉１４が二重
に設けられている。また、連続炉１０の右方にソルト槽
３２が該連続炉１０に隣接して配設されている。The continuous furnace 10 has a plurality of openable and closable doors 14.
The continuous furnace 10 has a degreasing chamber 16, a heating chamber 18, a carburizing chamber 20 as a carburizing zone and a heat treatment zone, a cooling chamber 22 as a cooling zone, and a reheating chamber 24 in this order from the left. , A cooling chamber 26 as a nitriding zone
, A nitriding chamber 28 and an extraction vestibule 30 are defined. In this case, between the cooling chamber 22 and the re-heating chamber 24, the opening / closing door 14 is provided double in order to enhance the sealing between the two chambers. Further, a salt tank 32 is disposed adjacent to the continuous furnace 10 to the right of the continuous furnace 10.
【００３６】脱脂室１６は、脱脂処理つまり被処理物の
表面に付着している油を除去するゾーンであって、該脱
脂処理は、被処理物に付着している油が熱処理中に蒸発
して雰囲気ガスを汚染し、所望の熱処理例えば浸炭処理
が適切にできなくなるのを防止するために行なうもので
ある。そして、被処理物を加熱して脱脂処理を行なうた
め、脱脂室１６には、室温を約７００〜８００℃に上昇
させるヒータとしてのエレクトロチューブ３４、加熱さ
れた空気を撹拌する撹拌ファン３６、及び該脱脂室１６
の室温を検出する温度センサーとしての熱電対３８を各
々備えている。The degreasing chamber 16 is a zone for degreasing, that is, for removing oil adhering to the surface of the object to be treated. In the degreasing process, the oil adhering to the object to be treated evaporates during the heat treatment. This is performed in order to prevent the atmospheric gas from being contaminated and prevent a desired heat treatment such as a carburizing treatment from being performed appropriately. In order to perform the degreasing treatment by heating the object, the degreasing chamber 16 includes an electrotube 34 as a heater for raising the room temperature to about 700 to 800 ° C., a stirring fan 36 for stirring the heated air, and The degreasing chamber 16
Each has a thermocouple 38 as a temperature sensor for detecting the room temperature.
【００３７】昇温室１８は、脱脂処理された被処理物を
予め加熱するゾーンであって、該昇温室１８は、被処理
物を加熱するために室温を約９００〜９５０℃に上昇さ
せるエレクトロチューブ３４、被処理物の酸化及び脱炭
を防止するために、炉内変成法により得られる変成ガス
（空気とＣ4 Ｈ10との混合ガス）である酸浸炭ガス（以
下、酸浸炭ガスと称する。）を導入する酸浸炭ガス導入
部４０Ａ、該昇温室１８の酸素濃度を検出するＯ2 セン
サーを内蔵し雰囲気ガスをサンプル抽出するためのサン
プルチューブ４２、及び上記同様の撹拌ファン３６及び
熱電対３８を各々備えている。The heating chamber 18 is a zone for preheating the degreased object to be processed. The heating chamber 18 is an electrotube which raises the room temperature to about 900 to 950 ° C. in order to heat the object to be processed. 34. An acid carburizing gas (hereinafter, referred to as an acid carburizing gas) which is a modified gas (mixed gas of air and C 4 H 10 ) obtained by an in-furnace modification method in order to prevent oxidation and decarburization of the material to be treated. ), A sample tube 42 having a built-in O 2 sensor for detecting the oxygen concentration in the heating chamber 18 for extracting a sample of the atmospheric gas, a stirring fan 36 and a thermocouple similar to those described above. 38 are provided.
【００３８】浸炭室２０は、浸炭つまり被処理物の表面
にＣ（炭素）を拡散浸透させるゾーンであって、浸炭を
行なうため、該浸炭室２０は、室温を約９００℃〜９５
０℃に上昇させるエレクトロチューブ３４、被処理物の
表面にＣを拡散浸透させるために酸浸炭ガスを導入する
酸浸炭ガス導入部４０Ｂ、上記同様の撹拌ファン３６、
熱電対３８及びサンプルチューブ４２を各々備えてい
る。The carburizing chamber 20 is a zone for carburizing, that is, diffusing and permeating C (carbon) on the surface of the object to be treated.
An electrotube 34 for raising the temperature to 0 ° C., an acid carburizing gas introduction part 40B for introducing an acid carburizing gas for diffusing and penetrating C into the surface of the processing object, a stirring fan 36 similar to the above,
A thermocouple 38 and a sample tube 42 are provided.
【００３９】冷却室２２は浸炭された被処理物を強制冷
却するゾーンであって、該冷却室２２は、図３に示し以
下に説明するような、酸浸炭ガスを該冷却室２２に導入
する酸浸炭ガス供給手段４４、被処理物に冷却用ガスを
吹き付けて冷却する強制冷却手段としてのガス冷却手段
４６、及び該冷却室２２内の圧力を調整する圧力調整手
段４８を各々備えている。The cooling chamber 22 is a zone for forcibly cooling the carburized workpiece, and the cooling chamber 22 introduces an acid carburizing gas into the cooling chamber 22 as shown in FIG. 3 and described below. An acid carburizing gas supply means 44, a gas cooling means 46 as a forced cooling means for spraying a cooling gas to the object to be cooled, and a pressure adjusting means 48 for adjusting the pressure in the cooling chamber 22 are provided.
【００４０】酸浸炭ガス供給手段４４は、過剰空気を供
給する加圧エア供給装置４４ａと、原料ガスであるＣ4
Ｈ10を供給するブタン供給装置４４ｂと、過剰空気とＣ
4 Ｈ10とを混合して酸浸炭ガスにするミキシング弁４４
ｃと、酸浸炭ガス中のＯ2 を燃焼させてＯ2 が冷却室２
２に浸入するのを防止するリングバーナー４４ｄと、酸
浸炭ガスの流量を調整する流量調整弁４４ｅと、冷却室
２２内の冷却用ガスを外部へ放出することによって冷却
室２２の圧力上昇を防止する減圧弁４４ｆとから構成さ
れている。The acid carburizing gas supply means 44 includes a pressurized air supply device 44a for supplying excess air and a raw material gas C 4.
Butane feed device 44b supply the H 10, excess air and C
4 Mixing valve 44 by mixing the H 10 to acid carburizing gas
c and O 2 in the acid carburizing gas is burned to produce O 2 in the cooling chamber 2
A ring burner 44d for preventing the infiltration into the cooling chamber 2, a flow rate adjusting valve 44e for adjusting the flow rate of the acid carburizing gas, and preventing the pressure in the cooling chamber 22 from rising by discharging the cooling gas in the cooling chamber 22 to the outside. And a pressure reducing valve 44f.
【００４１】このように本熱処理装置Ａは、冷却室２２
に酸浸炭ガス供給手段４４を備えているため、被処理物
を冷却する際における被処理物の酸化及び脱炭を防止す
ることができる。As described above, the heat treatment apparatus A includes the cooling chamber 22
Is provided with the acid carburizing gas supply means 44, it is possible to prevent oxidation and decarburization of the object when cooling the object.
【００４２】ガス冷却手段４６は、冷却用ガスとしての
Ｎ2 ガスを供給する窒素供給装置４６ａと、冷却用ガス
を被処理物に吹き付けるための冷却用ガス吹出しダクト
４６ｂと、被処理物に吹き付けられた冷却用ガスを回収
するための冷却用ガス回収ダクト４６ｃと、循環用ポン
プ４６ｐ及び冷却用ガスが循環するバイパス路４６ｑを
有する冷却用ガス循環路４６ｄと、回収した高温の冷却
用ガスを冷却する熱交換器４６ｅと、熱交換器４６ｅに
冷媒を供給する冷媒供給装置４６ｆと、冷媒が冷媒供給
装置４６ｆと熱交換器４６ｅとの間を循環する冷媒循環
路４６ｇと、冷媒循環路４６ｇに介設され冷媒の流量を
調整する異径の複数流路よりなるバイパス路４６ｈとか
ら構成されている。The gas cooling means 46 includes a nitrogen supply device 46a for supplying N 2 gas as a cooling gas, a cooling gas blowing duct 46b for blowing the cooling gas to the object, and a gas blowing duct 46b for the object. A cooling gas recovery duct 46c for recovering the collected cooling gas, a cooling gas circulation path 46d having a circulation pump 46p and a bypass 46q through which the cooling gas circulates, and a collected high temperature cooling gas. A heat exchanger 46e for cooling; a refrigerant supply device 46f for supplying a refrigerant to the heat exchanger 46e; a refrigerant circulation passage 46g for circulating the refrigerant between the refrigerant supply device 46f and the heat exchanger 46e; And a bypass passage 46h composed of a plurality of flow paths having different diameters for adjusting the flow rate of the refrigerant.
【００４３】このように本熱処理装置Ａは、冷却室２２
にガス冷却手段４６を備えているため、従来の炉冷の場
合の冷却速度が通常６℃／分であるのに対して冷却速度
を１０８〜３０℃／分程度に向上させることができ、被
処理物を約９００〜９５０℃から約５００℃に冷却する
のに要する時間が４〜１１分程度であるので、浸炭後の
冷却を効率良く行なうことができる。As described above, the heat treatment apparatus A includes the cooling chamber 22
Since the gas cooling means 46 is provided, the cooling rate can be improved to about 108 to 30 ° C./min, whereas the cooling rate in the case of the conventional furnace cooling is usually 6 ° C./min. Since the time required to cool the treated product from about 900 to 950 ° C. to about 500 ° C. is about 4 to 11 minutes, the cooling after carburizing can be performed efficiently.
【００４４】また、被処理物が浸炭後に急速に冷却され
るため該被処理物を浸炭後に焼入れする必要がないの
で、被処理物を浸炭後に焼入れする場合に生じる被処理
物の熱変形を防止することもできる。Further, since the object to be treated is rapidly cooled after carburizing, it is not necessary to quench the object after carburizing, thereby preventing thermal deformation of the object to be caused when the object is quenched after carburizing. You can also.
【００４５】圧力調整手段４８は、前述の減圧弁４４ｆ
と以下に説明する加圧手段５０とから構成されている。The pressure adjusting means 48 is provided with the aforementioned pressure reducing valve 44f.
And a pressurizing means 50 described below.
【００４６】減圧弁４４ｆを作動させておくタイミング
は、被処理物が冷却室２２に移送されてきた直後から所
定時間を経過するまでの時間に設定してもよいし、冷却
室２２に圧力センサーを配設し、該圧力センサーからの
信号に基づいて設定してもよい。The timing at which the pressure reducing valve 44f is activated may be set to a time from immediately after the workpiece is transferred to the cooling chamber 22 until a predetermined time elapses. May be provided and set based on a signal from the pressure sensor.
【００４７】加圧手段５０は、浸炭性ガスとしての吸熱
形変成ガスを供給する吸熱形変成ガス供給装置５０ａ、
吸熱形変成ガスを冷却室２２に導入する吸熱形変成ガス
導入路５０ｂ、吸熱形変成ガス導入路５０ｂに介設され
吸熱形変成ガスを加圧するブースター５０ｃ、吸熱形変
成ガス導入路５０ｂを流通する吸熱形変成ガスの流量を
調整する流量調整弁５０ｄ、加圧された吸熱形変成ガス
を貯溜する加圧タンク５０ｅ、加圧タンク５０ｅ内が所
定圧力以上になるのを防止するリリーフ弁５０ｆ、加圧
タンク５０ｅの圧力を検出する圧力センサー５０ｇ、加
圧タンク５０ｅの圧力を表示する圧力メータ５０ｈ及び
加圧タンク５０ｅ内の酸素濃度を検出するＯ2 センサー
５０ｉにより構成されており、加圧タンク５０ｅ内の吸
熱形変成ガスを冷却室２２に供給することにより冷却室
２２の圧力を上昇させることができる。The pressurizing means 50 includes an endothermic type modified gas supply device 50a for supplying an endothermic type modified gas as a carburizing gas.
An endothermic transformed gas introduction path 50b for introducing the endothermic transformed gas into the cooling chamber 22, a booster 50c interposed in the endothermic transformed gas introduction path 50b and pressurizing the endothermic transformed gas, and flowing through the endothermic transformed gas introduction path 50b. A flow control valve 50d for adjusting the flow rate of the endothermic metamorphic gas, a pressurized tank 50e for storing the pressurized endothermic metamorphic gas, a relief valve 50f for preventing the inside of the pressurized tank 50e from exceeding a predetermined pressure, The pressure tank 50e includes a pressure sensor 50g for detecting the pressure of the pressure tank 50e, a pressure meter 50h for displaying the pressure of the pressure tank 50e, and an O 2 sensor 50i for detecting the oxygen concentration in the pressure tank 50e. The pressure of the cooling chamber 22 can be increased by supplying the endothermic type modified gas therein to the cooling chamber 22.
【００４８】このように本熱処理装置Ａは、冷却室２２
に減圧弁４４ｆと加圧手段５０とからなる圧力調整手段
４８を備えているため、高温の被処理物が浸炭室２０か
ら冷却室２２に移送されてきて該冷却室２２の圧力が高
くなる虞れがある場合、減圧弁４４ｆを作動させて該冷
却室２２の圧力が上昇するのを防止することができる。
このため、冷却室２２の冷却用ガスが浸炭室２０に流入
して、浸炭室２０における浸炭性ガスの濃度が変化し、
被処理物が悪影響を受けるという事態を防止できる。ま
た、冷却室２２内の被処理物の温度が低下し該冷却室２
２の圧力が低くなる虞れがある場合、加圧手段５０を作
動させて該冷却室２２の圧力が低下するのを防止するこ
とができる。このため、冷却室２２に浸炭室２０から浸
炭性ガスが流入したり冷却室２２に外部からＯ2 が流入
したりして、被処理物が悪影響を受けたり或いは冷却室
２２が爆発したりする事態を防止できる。この場合、加
圧手段５０を作動させておくタイミングは、被処理物が
冷却室２２に移送され開閉扉１４が閉塞された直後から
所定時間が経過するまでの時間に設定してもよいし、冷
却室２２に圧力センサーを配設し、該圧力センサーから
の信号に基づいて設定してもよい。As described above, the heat treatment apparatus A includes the cooling chamber 22
Is provided with the pressure adjusting means 48 including the pressure reducing valve 44f and the pressurizing means 50, so that a high-temperature workpiece is transferred from the carburizing chamber 20 to the cooling chamber 22, and the pressure in the cooling chamber 22 may increase. In this case, the pressure reducing valve 44f is operated to prevent the pressure in the cooling chamber 22 from increasing.
Therefore, the cooling gas in the cooling chamber 22 flows into the carburizing chamber 20, and the concentration of the carburizing gas in the carburizing chamber 20 changes,
A situation in which the object to be treated is adversely affected can be prevented. Further, the temperature of the object to be processed in the cooling chamber 22 decreases, and
When there is a possibility that the pressure of the cooling chamber 2 becomes low, the pressure means 50 can be operated to prevent the pressure of the cooling chamber 22 from decreasing. For this reason, a carburizing gas flows into the cooling chamber 22 from the carburizing chamber 20 or O 2 flows from the outside into the cooling chamber 22, thereby adversely affecting the object to be treated or causing the cooling chamber 22 to explode. The situation can be prevented. In this case, the timing at which the pressurizing unit 50 is operated may be set to a time from immediately after the workpiece is transferred to the cooling chamber 22 and the opening / closing door 14 is closed until a predetermined time elapses, A pressure sensor may be provided in the cooling chamber 22 and set based on a signal from the pressure sensor.
【００４９】図４は上記圧力調整手段４８の変形例とし
ての圧力調整手段５２を示しており、該圧力調整手段５
２は冷却用ガスとして浸炭用の酸浸炭ガスを冷却して用
いるものである。FIG. 4 shows a pressure adjusting means 52 as a modified example of the pressure adjusting means 48.
Reference numeral 2 denotes a cooling gas used for cooling an acid carburizing gas for carburizing.
【００５０】同図に示すように、圧力調整手段５２は、
冷却用ガス吹出しダクト４６ｂと冷却用ガス回収ダクト
４６ｃとを連結し酸浸炭ガスを循環させるための循環用
ダクト５２ａを備えており、該循環用ダクト５２ａの途
中には送風機５２ｂ及び酸浸炭ガス冷却用熱交換器５２
ｃが設けられている。冷却用ガス回収ダクト４６ｃから
回収された酸浸炭ガスは、酸浸炭ガス冷却用熱交換器５
２ｃで冷却された後、冷却用ガス吹出しダクト４６ｂか
ら冷却室２２内の被処理物Ｂに吹き付けられる。また、
同図に示すように、圧力調整手段５２は、ベントバルブ
５２ｄを有する酸浸炭ガス排出用ベント５２ｅと、冷却
室２２に設けられた第１圧力スイッチ５２ｆと、酸浸炭
ガスを蓄えるリザーブタンク５２ｇと、循環用ダクト５
２ａとリザーブタンク５２ｇとを連通させる連通管５２
ｈと、リザーブタンク５２ｇに設けられた第１圧力スイ
ッチ５２ｉと、酸浸炭ガス供給弁５２ｊ及び昇圧ポンプ
５２ｋを有し酸浸炭ガスをリザーブタンク５２ｇに導入
するための酸浸炭ガス導入管５２ｌとを備えている。そ
して、連通管５２ｈはその途中において、多量ガス供給
弁５２ｍを有する大径の多量ガス供給路５２ｎと、少量
ガス供給弁５２ｏを有する小径の少量ガス供給路５２ｐ
とに分岐している。As shown in FIG.
A cooling duct 52b is connected to the cooling gas outlet duct 46b and the cooling gas recovery duct 46c to provide a circulation duct 52a for circulating the acid carburizing gas. A blower 52b and an acid carburizing gas cooling device are provided in the middle of the circulation duct 52a. Heat exchanger 52
c is provided. The acid carburized gas recovered from the cooling gas recovery duct 46c is supplied to the heat exchanger 5 for cooling the acid carburized gas.
After being cooled in 2c, it is blown from the cooling gas blowing duct 46b to the object B in the cooling chamber 22. Also,
As shown in the figure, the pressure adjusting means 52 includes a vent 52e for discharging an acid carburizing gas having a vent valve 52d, a first pressure switch 52f provided in the cooling chamber 22, and a reserve tank 52g for storing the acid carburizing gas. , Circulation duct 5
A communication pipe 52 for communicating the 2a with the reserve tank 52g
h, a first pressure switch 52i provided in the reserve tank 52g, and an acid carburizing gas introduction pipe 521 having an acid carburizing gas supply valve 52j and a booster pump 52k for introducing the acid carburizing gas into the reserve tank 52g. Have. In the middle of the communication pipe 52h, a large-diameter large-gas supply passage 52n having a large-gas supply valve 52m and a small-diameter small-gas supply passage 52p having a small-gas supply valve 52o are provided.
And branch into.
【００５１】以下、第１圧力スイッチ５２ｆの設定につ
いて図５を参照しながら説明する。すなわち、第１圧力
スイッチ５２ｆは、冷却室２２内の圧力が上昇し、その
圧力が正圧の高レベル（Ｌ１）に達したときにベントバ
ルブ５２ｄを開き、冷却室２２内の圧力が下降し、負圧
の低レベル（Ｌ３）に下がったときにベントバルブ５２
ｄを閉じる一方多量ガス供給弁５２ｎを開き、冷却室２
２内の圧力が負圧から高レベル（Ｌ１）よりも低い正圧
の中間レベル（Ｌ２）に達したときに多量ガス供給弁５
２ｎを閉じ、中間レベル（Ｌ２）よりも高い状態から低
い状態になったときに少量ガス供給弁５２ｏを開き、中
間レベル（Ｌ２）よりも低い状態から高い状態になった
ときに少量ガス供給弁５２ｏを閉じる。Hereinafter, the setting of the first pressure switch 52f will be described with reference to FIG. That is, the first pressure switch 52f opens the vent valve 52d when the pressure in the cooling chamber 22 increases and the pressure reaches a high positive pressure level (L1), and the pressure in the cooling chamber 22 decreases. , When the negative pressure drops to a low level (L3), the vent valve 52
d, the large gas supply valve 52n is opened, and the cooling chamber 2 is opened.
2. When the pressure in the tank 2 has reached the intermediate level (L2) of the positive pressure lower than the high level (L1) from the negative pressure, the large quantity gas supply valve 5
2n is closed, and the small gas supply valve 52o is opened when the state changes from a state higher than the intermediate level (L2) to a low state, and when the state changes from a state lower than the intermediate level (L2) to a high state, the small gas supply valve 52o. Close 52o.
【００５２】第２圧力スイッチ５２ｉは、リザーブタン
ク５２ｇ内の圧力が減圧状態になったときに酸浸炭ガス
供給弁５２ｊを開き、リザーブタンク５２ｇ内の圧力が
蓄圧状態になったときに酸浸炭ガス供給弁５２ｊを閉じ
るように設定されている。The second pressure switch 52i opens the acid carburizing gas supply valve 52j when the pressure in the reserve tank 52g is reduced, and when the pressure in the reserve tank 52g is increased, the acid carburizing gas is released. The supply valve 52j is set to be closed.
【００５３】以下、冷却室２２内の圧力変動及び圧力調
整手段５２の動作について説明する。尚、図６は冷却室
２２に供給される酸浸炭ガスの流量を示している。Hereinafter, the pressure fluctuation in the cooling chamber 22 and the operation of the pressure adjusting means 52 will be described. FIG. 6 shows the flow rate of the acid carburizing gas supplied to the cooling chamber 22.
【００５４】浸炭室２０で浸炭処理された被処理物Ｂが
冷却室２２に搬入される前には、冷却室２２内には所定
量の酸浸炭ガスが存在し、冷却室２２内の圧力は中間レ
ベル（Ｌ２）に保たれている。そして、浸炭室２０と冷
却室２２との間の開閉扉１４が開かれ、被処理物Ｂが浸
炭室２０から冷却室２２に搬入されると、冷却室２２内
の雰囲気ガスが加熱されるため、冷却室２２内の圧力は
急激に上昇して高レベル（Ｌ３）を超える。すると、第
１圧力スイッチ５２ｆが作動してベントバルブ５２ｄが
開かれるので、冷却室２２の圧力は低下する。Before the object B carburized in the carburizing chamber 20 is carried into the cooling chamber 22, a predetermined amount of acid carburizing gas exists in the cooling chamber 22, and the pressure in the cooling chamber 22 is reduced. It is kept at the intermediate level (L2). When the opening / closing door 14 between the carburizing chamber 20 and the cooling chamber 22 is opened and the workpiece B is carried into the cooling chamber 22 from the carburizing chamber 20, the atmosphere gas in the cooling chamber 22 is heated. The pressure in the cooling chamber 22 rises rapidly and exceeds the high level (L3). Then, the first pressure switch 52f is operated to open the vent valve 52d, so that the pressure in the cooling chamber 22 decreases.
【００５５】次に、上記開閉扉１４が閉じられると、冷
却室２２内が冷却されるため、冷却室２２の圧力は低下
して負圧となり、低レベル（Ｌ３）まで下がる。する
と、第１圧力スイッチ５２ｆによってベントバルブ５２
ｄが閉じられると共に多量ガス供給弁５２ｍが開かれ
る。そして、リザーブタンク５２ｇから冷却室２２に多
量の酸浸炭ガスが速やかに供給されるので、冷却室２２
内の圧力が回復する。冷却室２２の圧力が中間レベル
（Ｌ２）まで回復すると、第１圧力スイッチ５２ｆによ
って多量ガス供給弁５２ｍが閉じられる。Next, when the opening / closing door 14 is closed, the inside of the cooling chamber 22 is cooled, so that the pressure in the cooling chamber 22 decreases to a negative pressure, and drops to a low level (L3). Then, the vent valve 52 is operated by the first pressure switch 52f.
d is closed and the large gas supply valve 52m is opened. Since a large amount of the carburizing gas is promptly supplied from the reserve tank 52g to the cooling chamber 22, the cooling chamber 22
The pressure inside recovers. When the pressure in the cooling chamber 22 recovers to the intermediate level (L2), the first gas switch 52f closes the large gas supply valve 52m.
【００５６】次に、冷却室２２内の被処理物Ｂが冷却さ
れるに伴って冷却室２２内の圧力が再び低下し、該圧力
が中間レベル（Ｌ２）よりも低くなると、第１圧力スイ
ッチ５２ｆにより少量ガス供給弁５２ｏが開かれ、リザ
ーブタンク５２ｇから冷却室２２内に少量の酸浸炭ガス
が供給される。そして、冷却室２２内の圧力が中間レベ
ル（Ｌ２）に達すると、第１圧力スイッチ５２ｆにより
少量ガス供給弁５２ｏが閉じられる。その後、冷却室２
２内の圧力が中間レベル（Ｌ２）の上下で変動すると、
第１圧力スイッチ５２ｆにより少量ガス供給弁５２ｏの
開閉が断続的に繰り返され、これにより、冷却室２２内
の圧力が略一定に保たれる。Next, as the workpiece B in the cooling chamber 22 is cooled, the pressure in the cooling chamber 22 decreases again, and when the pressure becomes lower than the intermediate level (L2), the first pressure switch is turned on. A small amount gas supply valve 52o is opened by 52f, and a small amount of acid carburizing gas is supplied into the cooling chamber 22 from the reserve tank 52g. Then, when the pressure in the cooling chamber 22 reaches the intermediate level (L2), the small pressure gas supply valve 52o is closed by the first pressure switch 52f. Then, cooling room 2
2 fluctuates above and below the intermediate level (L2),
The opening and closing of the small-volume gas supply valve 52o are intermittently repeated by the first pressure switch 52f, whereby the pressure in the cooling chamber 22 is kept substantially constant.
【００５７】一方、リザーブタンク５２ｇから冷却室２
２に多量の酸浸炭ガスが供給されると、リザーブタンク
５２ｇ内が減圧状態になる。すると、第２圧力スイッチ
５２ｉによって酸浸炭ガス供給弁５２ｊが開かれると共
に、昇圧ポンプ５２ｋが駆動され、リザーブタンク５２
ｇ内に酸浸炭ガスが供給される。そして、リザーブタン
ク５２ｇ内が所定の蓄圧状態になると、酸浸炭ガス供給
弁５２ｊが閉じられると共に昇圧ポンプ５２ｋが停止さ
れ、リザーブタンク５２ｇへの酸浸炭ガスの供給が停止
される。このようにしてリザーブタンク５２ｇ内は常に
蓄圧状態に保たれる。On the other hand, from the reserve tank 52g to the cooling chamber 2
When a large amount of acid carburizing gas is supplied to 2, the pressure in the reserve tank 52g is reduced. Then, the acid carburizing gas supply valve 52j is opened by the second pressure switch 52i, and the pressurizing pump 52k is driven, so that the reserve tank 52
An acid carburizing gas is supplied in g. Then, when the inside of the reserve tank 52g reaches a predetermined pressure accumulation state, the acid carburizing gas supply valve 52j is closed, the boosting pump 52k is stopped, and the supply of the acid carburizing gas to the reserve tank 52g is stopped. In this way, the inside of the reserve tank 52g is always kept in the pressure accumulation state.
【００５８】尚、上記圧力調整手段５２においては、連
通管５２ｈを分岐させて多量ガス供給路５２ｎ及び少量
ガス供給路５２ｐを設けたが、これに代えて、互いに独
立の多量ガス供給路５２ｎ及び少量ガス供給路５２ｐを
設けてもよい。In the pressure adjusting means 52, the communication pipe 52h is branched to provide the large gas supply path 52n and the small gas supply path 52p. A small amount gas supply path 52p may be provided.
【００５９】再び図２に示すように、再昇温室２４は、
金属組織をオーステナイト組織に固溶させるため、被処
理物を再度加熱するゾーンであって、該再昇温室２４
は、室温を約８５０〜８７０℃に昇温させるエレクトロ
チューブ３４、被処理物の酸化及び脱炭を防止するため
の酸浸炭ガス導入部４０Ｃと吸熱形変成ガス導入部５４
Ｃ、上記同様の撹拌ファン３６、熱電対３８及びサンプ
ルチューブ４２を各々備えている。As shown in FIG. 2 again, the reheating chamber 24
This is a zone where the object to be processed is heated again in order to dissolve the metal structure into the austenitic structure,
Are an electron tube 34 for raising the room temperature to about 850 to 870 ° C., an acid carburizing gas introduction section 40C for preventing oxidation and decarburization of the object to be treated, and an endothermic modified gas introduction section 54.
C, a stirring fan 36, a thermocouple 38, and a sample tube 42 similar to those described above.
【００６０】降温室２６は、再昇温室２４で加熱された
被処理物を適正に浸炭窒化するため、被処理物の温度を
約８２０〜８４０℃に低下させるゾーンであって、該降
温室２６は、再昇温室２４と同様、エレクトロチューブ
３４、撹拌ファン３６、熱電対３８、酸浸炭ガス導入部
４０Ｄ、サンプルチューブ４２及び吸熱形変成ガス導入
部５４Ｄを各々備えている。The temperature lowering chamber 26 is a zone for lowering the temperature of the object to be processed to about 820 to 840 ° C. in order to properly carbonitrate the object heated in the re-heating chamber 24. As with the re-heating chamber 24, each includes an electrotube 34, a stirring fan 36, a thermocouple 38, an acid carburizing gas introduction section 40D, a sample tube 42, and an endothermic modified gas introduction section 54D.
【００６１】また、該降温室２６には、窒化性ガスを得
るためＮＨ3 を供給するアンモニア供給手段５６Ｄが接
続されており、該アンモニア供給手段５６Ｄは、ＮＨ3
を供給するアンモニア供給装置５６ａと、ＮＨ3 を降温
室２６へ導入するアンモニア導入路５６ｂと、アンモニ
ア導入路５６ｂを流通するＮＨ3 量を調整する異径の複
数の流路よりなるバイパス路５６ｃとから構成されてい
る。Further, an ammonia supply means 56D for supplying NH 3 to obtain a nitriding gas is connected to the cooling chamber 26, and the ammonia supply means 56D is provided with an NH 3 gas.
An ammonia supply device 56a for supplying NH 3 , an ammonia introduction passage 56b for introducing NH 3 into the cooling chamber 26, and a bypass passage 56c comprising a plurality of flow passages of different diameters for adjusting the amount of NH 3 flowing through the ammonia introduction passage 56b. It is composed of
【００６２】このようにして降温室２６の内部で、酸浸
炭ガス導入部４０Ｄから導入される酸浸炭ガス及び／又
は吸熱形変成ガス導入部５４Ｄから導入される吸熱形変
成ガスに、アンモニア供給手段５６Ｄから導入されるＮ
Ｈ3 ガスが添加されて浸炭窒化ガスが生成されるので、
該降温室２６の内部は浸炭窒化ガス雰囲気になる。従っ
て、該降温室２６で被処理物を約８２０〜８４０℃に降
温させる過程で該被処理物は浸炭窒化される。As described above, inside the cooling chamber 26, the ammonia carburizing gas is introduced into the acid carburizing gas introduced from the acid carburizing gas introduction section 40D and / or the endothermic metamorphic gas introduced from the endothermic metamorphic gas introduction section 54D. N introduced from 56D
Since H 3 gas is added to generate carbonitriding gas,
The inside of the cooling chamber 26 becomes a carbonitriding gas atmosphere. Accordingly, the object to be treated is carbonitrided in the process of lowering the temperature of the object to about 820 to 840 ° C. in the cooling chamber 26.
【００６３】尚、再昇温室２４で約８５０〜８７０℃に
昇温した被処理物を該降温室２６で約８２０〜８４０℃
に降温させる理由は、約８５０〜８７０℃に達しないと
被処理物の金属組織がオーステナイト組織に固溶しない
一方、浸炭窒化のために加えるＮＨ3 は約８２０〜８４
０℃で［Ｎ］とＨ2 とに適度に分解するためである。The workpiece to be heated to about 850 to 870 ° C. in the reheating chamber 24 is heated to about 820 to 840 ° C. in the cooling chamber 26.
The reason is that when the temperature does not reach about 850 to 870 ° C., the metal structure of the workpiece does not form a solid solution with the austenite structure, while NH 3 added for carbonitriding is about 820 to 84
This is because at 0 ° C., it is appropriately decomposed into [N] and H 2 .
【００６４】窒化室２８は、降温室２６で降温された被
処理物を上記同様の浸炭窒化ガス雰囲気における約８２
０〜８４０℃の温度下で保持することにより、被処理物
を本格的に浸炭窒化するゾーンであって、該窒化室２８
は、室温を約８２０〜８４０℃に上昇させるエレクトロ
チューブ３４、再昇温室２４と同様の撹拌ファン３６、
熱電対３８、酸浸炭ガス導入部４０Ｅ、サンプルチュー
ブ４２、吸熱形変成ガス導入部５４Ｅ及びアンモニア供
給手段５６Ｅを各々備えている。In the nitriding chamber 28, the object to be treated, which has been cooled in the cooling chamber 26, is heated to about 82% in a carbonitriding gas atmosphere similar to the above.
By maintaining the temperature at a temperature of 0 to 840 ° C., a zone to be subjected to full-scale carbonitriding of the object to be treated is provided.
Is an electrotube 34 for raising the room temperature to about 820 to 840 ° C., a stirring fan 36 similar to the reheating chamber 24,
A thermocouple 38, an acid carburizing gas introduction unit 40E, a sample tube 42, an endothermic modified gas introduction unit 54E, and an ammonia supply unit 56E are provided.
【００６５】抽出ベスチブル３０は、窒化した被処理物
を連続炉１０からソルト槽３２に移送するため、窒化室
２８における右側つまりソルト槽３２側の開閉扉１４を
開放した際に、窒化室２８の圧力及び温度が低下するの
を防止するゾーンであって、上記同様のエレクトロチュ
ーブ３４及び熱電対３８を各々備えている。When the openable door 14 on the right side of the nitriding chamber 28, that is, on the salt tank 32 side is opened, the extraction vestible 30 transfers the nitrified workpiece from the continuous furnace 10 to the salt tank 32. This is a zone for preventing a decrease in pressure and temperature, and includes an electrotube 34 and a thermocouple 38 similar to the above.
【００６６】ソルト槽３２は、浸炭された被処理物をソ
ルト焼入れするものであって、周知の構造を有してい
る。The salt tank 32 is for salt quenching of the carburized material to be treated, and has a known structure.
【００６７】上述の再昇温室２４と降温室２６との間に
は、両室を連通させるため、流路開閉弁５８ａを介設し
た第１バイパス路５８が設けられ、降温室２６と窒化室
２８との間には、両室を連通させるため、流路開閉弁６
０ａを介設した第２バイパス路６０が設けられ、窒化室
２８と抽出ベスチブル３０との間には、両室を連通させ
るため、流路開閉弁６２ａを介設した第３バイパス路６
２が設けられている。再昇温室２４には、該再昇温室２
４内の浸炭性ガスを外部へ排出するため、流路開閉弁６
４ａを介設した再昇温室ガス排出路６４が設けられ、降
温室２６には、該降温室２６内の浸炭窒化性ガスを外部
へ排出するため、流路開閉弁６６ａを介設した降温室ガ
ス排出路６６が設けられ、抽出ベスチブル３０には、該
抽出ベスチブル３０内の浸炭窒化性ガスを外部へ排出す
るため、流路開閉弁６８ａを介設した抽出ベスチブルガ
ス排出路６８が設けられている。A first bypass 58 is provided between the re-heating chamber 24 and the cooling chamber 26 so that the two chambers communicate with each other. 28, the passage opening / closing valve 6
A second bypass passage 60 is provided between the nitriding chamber 28 and the extraction vestible 30 so that the two chambers can communicate with each other.
2 are provided. The reheating chamber 24 includes the reheating chamber 2
In order to discharge the carburizing gas inside 4 to the outside, a flow path opening / closing valve 6
4a is provided with a gas discharge passage 64 for the re-heating chamber, and a cooling chamber is provided in the cooling chamber 26 for discharging the carbonitriding gas in the cooling chamber 26 to the outside. A gas discharge path 66 is provided, and the extraction vestibule 30 is provided with an extraction vestibile gas discharge path 68 provided with a flow path opening / closing valve 68a for discharging the carbonitriding gas in the extraction vestibule 30 to the outside. .
【００６８】図６は本熱処理装置Ａを用いて浸炭窒化処
理をする場合の熱処理サイクルを示しており、上述の通
り、被処理物は、昇温室１８で約８００〜９００℃に加
熱された後に浸炭室２０に移送され、該浸炭室２０で約
９００〜９５０℃に保持されて浸炭され、次に、冷却室
２２に移送されて該冷却室２２で約３００〜５００℃に
冷却された後、再昇温室２４に移送されて該再昇温室２
４で約８７０℃に加熱され、次に、降温室２６に移送さ
れて該降温室２６で約８２０〜８４０℃に降温された後
に窒化室２８に移送され、該窒化室２８で約８２０〜８
４０℃に保持されて浸炭窒化され、次に、抽出ベスチブ
ル３０を通ってソルト槽３２に移送されて該ソルト槽３
２で焼入れされる。FIG. 6 shows a heat treatment cycle in the case of performing carbonitriding treatment using the present heat treatment apparatus A. As described above, the object to be treated is heated to about 800 to 900 ° C. in the temperature raising chamber 18. After being transferred to the carburizing chamber 20 and being carburized while being maintained at about 900 to 950 ° C. in the carburizing chamber 20, then transferred to the cooling chamber 22 and cooled to about 300 to 500 ° C. in the cooling chamber 22, It is transferred to the reheating chamber 24 and the reheating chamber 2
4 is heated to about 870 ° C., and then transferred to the cooling chamber 26 and cooled to about 820 to 840 ° C. in the cooling chamber 26, and then transferred to the nitriding chamber 28, where it is cooled to about 820 to 8
Carbonitriding is performed while the temperature is maintained at 40 ° C., and then transferred to the salt tank 32 through the extraction vessel 30 and the salt tank 3
Hardened in 2.
【００６９】以上説明したように本熱処理装置Ａは、一
連の通路を開閉扉で順次区画してなる昇温ゾーン、浸炭
ゾーン、冷却ゾーン、再昇温ゾーン及び窒化ゾーンと、
被処理物を順次移送する移送手段とを備えているため、
浸炭ゾーンで浸炭された被処理物を炉外に搬出すること
なく窒化ゾーンで浸炭窒化できるので、浸炭窒化処理の
作業を効率良く行える。また、浸炭ゾーンと再昇温ゾー
ンとの間に冷却ゾーンを備えているため、被処理物の温
度が所望温度に低下すると、該被処理物を直ちに再昇温
室で加熱できるのでエネルギーロスがなくなる。さら
に、冷却ゾーンには強制冷却手段が設けられているた
め、被処理物の冷却に要する時間を節約できるので、浸
炭窒化処理の作業効率が向上する。このため、本熱処理
装置Ａは、浸炭窒化処理の一連の作業を、エネルギーロ
スを伴うことなく効率良く行なうことができる。As described above, the heat treatment apparatus A includes a heating zone, a carburizing zone, a cooling zone, a reheating zone, and a nitriding zone in which a series of passages are sequentially partitioned by an opening / closing door.
Transport means for sequentially transporting the workpiece,
Since the object carburized in the carburizing zone can be carbonitrided in the nitriding zone without being carried out of the furnace, the carbonitriding operation can be performed efficiently. In addition, since the cooling zone is provided between the carburizing zone and the reheating zone, when the temperature of the processing object decreases to a desired temperature, the processing object can be immediately heated in the reheating chamber, so that there is no energy loss. . Further, since the forced cooling means is provided in the cooling zone, the time required for cooling the object to be treated can be saved, so that the working efficiency of the carbonitriding process is improved. Therefore, the heat treatment apparatus A can efficiently perform a series of carbonitriding operations without energy loss.
【００７０】図８は上述した冷却室２２の平面構造、図
９は冷却室２２の縦断正面構造、図１０は冷却室２２の
縱断側面構造を各々示しており、被処理物Ｂは、該パワ
ーローラ７０に載置されて脱炭室１６、昇温室１８を経
て浸炭室２０に移送され、該浸炭室２０で浸炭された
後、図８の左方から右方に移送されて冷却室２２の略中
央部にセットされる。FIG. 8 shows the above-described planar structure of the cooling chamber 22, FIG. 9 shows the longitudinal front structure of the cooling chamber 22, and FIG. 10 shows the longitudinal side structure of the cooling chamber 22, respectively. After being placed on the power roller 70 and transferred to the carburizing chamber 20 through the decarburizing chamber 16 and the temperature raising chamber 18 and carburizing in the carburizing chamber 20, the cooling chamber 22 is transferred from left to right in FIG. It is set at the approximate center of.
【００７１】上述の冷却用ガス吹出しダクト４６ｂは、
冷却室２２にセットされる被処理物Ｂの下方、具体的に
はパワーローラ７０の直下に設けられている。冷却用ガ
ス吹出しダクト４６ｂは、同芯状に配置され、移送方向
と直交する方向に長いトラック形状の断面を有する五重
の筒によって構成されている。外側の筒４６ｉの外周壁
下部は、円錐台状に窪みながら垂下しており、外側の筒
４６ｉの下端で、冷却用ガス吹出しダクト４６ｂと冷却
用ガス回収ダクト４６ｃとを連通させる冷却用ガス循環
ダクト７８に連通している。また、五重の筒の各上端面
は面一に形成されている一方、各下端面は外側の筒４６
ｉから内側の筒４６ｊにかけて次第に下方へ突出するよ
う構成されている。The above-described cooling gas blowing duct 46b is
It is provided below the workpiece B set in the cooling chamber 22, specifically, directly below the power roller 70. The cooling gas blowing duct 46b is arranged concentrically, and is formed of a five-layered cylinder having a track-shaped cross section that is long in a direction perpendicular to the transfer direction. The lower part of the outer peripheral wall of the outer cylinder 46i is suspended while being depressed in a truncated cone shape. At the lower end of the outer cylinder 46i, a cooling gas circulation for communicating the cooling gas blowing duct 46b and the cooling gas recovery duct 46c. It communicates with the duct 78. In addition, each upper end surface of the five-tiered cylinder is formed flush, while each lower end surface is formed on the outer cylinder 46.
It is configured to gradually project downward from i to the inner cylinder 46j.
【００７２】このように、冷却用ガス吹出しダクト４６
ｂの下面が、外側の筒４６ｉから内側の筒４６ｊにかけ
て順次下方つまり冷却用ガスの上流側へ突出するよう構
成されているため、内側の筒４６ｊほど冷却用ガスを整
流状態で且つ多量に導入することができるので、内側の
筒４６ｊは外側の筒４６ｉよりも流速の速いつまり多量
の冷却用ガスを被処理物Ｂに対して吹き出すことができ
る。このため、本来、被処理物Ｂの内部を流通する冷却
用ガスは抵抗が大きいために流速が遅くなるが、上記構
造の冷却用ガス吹出しダクト４６ｂによると、被処理物
Ｂは急速に冷却されると共に、被処理物Ｂの各部位が均
一に冷却されるため被処理物Ｂに変形が生じ難い。As described above, the cooling gas blowing duct 46
Since the lower surface of b is configured to sequentially project downward from the outer cylinder 46i to the inner cylinder 46j, that is, to the upstream side of the cooling gas, the inner cylinder 46j introduces a larger amount of cooling gas in a rectified state. Therefore, the inner cylinder 46j can blow out a larger amount of cooling gas, that is, a larger amount of cooling gas, to the workpiece B than the outer cylinder 46i. For this reason, the flow rate of the cooling gas flowing through the inside of the processing object B is originally low because the resistance is large. However, according to the cooling gas blowing duct 46b having the above structure, the processing object B is rapidly cooled. In addition, since each part of the object B is cooled uniformly, the object B hardly deforms.
【００７３】図１１は、冷却用ガス吹出しダクト４６ｂ
の断面形状と冷却用ガスの流速との関係を示しており、
被処理物Ｂの移送方向と該移送方向と直交する方向との
両方において、冷却用ガス吹出し用ダクト４６ｂの中心
部から吹き出された冷却用ガスの流速が、周縁部から吹
き出された冷却用ガスの流速よりも速いことを示してい
る。FIG. 11 shows a cooling gas blowing duct 46b.
Shows the relationship between the cross-sectional shape of the cooling gas and the flow rate of the cooling gas,
In both the transfer direction of the processing target B and the direction perpendicular to the transfer direction, the flow rate of the cooling gas blown from the center of the cooling gas blowing duct 46b is changed by the cooling gas blown from the peripheral portion. It shows that it is faster than the flow velocity.
【００７４】上述の冷却用ガス回収ダクト４６ｃは、冷
却室２２にセットされる被処理物Ｂの上方、具体的には
冷却室２２の天井近傍に設けられており、冷却用ガス吹
出しダクト４６ｂと被処理物Ｂを介して対向していると
共に、天井板４６ｋを介して上述の冷却用ガス循環ダク
ト７８に連通している。冷却用ガス回収ダクト４６ｃ
は、内外方向に同芯状に配置され、移送方向と直交する
方向に長いトラック形状の断面を有する三重の筒によっ
て構成されており、外側の筒４６ｌから内側の筒４６ｍ
にかけて順次上下方向に突出するよう構成されている。
尚、冷却用ガス回収ダクト４６ｃの外径は、冷却用ガス
吹出しダクト４６ｂの外径よりも一回り小さく形成され
ている。The above-mentioned cooling gas recovery duct 46c is provided above the workpiece B set in the cooling chamber 22, specifically, near the ceiling of the cooling chamber 22. The cooling gas circulation duct 78 communicates with the cooling gas circulation duct 78 via the ceiling plate 46k while being opposed via the processing object B. Cooling gas recovery duct 46c
Is constituted by a triple cylinder which is concentrically arranged in the inner and outer directions and has a track-shaped cross section which is long in a direction orthogonal to the transport direction, and is formed from the outer cylinder 46l to the inner cylinder 46m.
Are configured to sequentially protrude upward and downward.
Note that the outer diameter of the cooling gas recovery duct 46c is formed to be slightly smaller than the outer diameter of the cooling gas blowing duct 46b.
【００７５】このように、冷却用ガス回収ダクト４６ｃ
の下面が、外側の筒４６ｌから内側の筒４６ｍにかけて
順次下方へ突出するよう構成されているため、冷却用ガ
ス回収ダクト４６ｃは内側に向かうほど被処理物Ｂに接
近しているので、被処理物Ｂの内部を流通する冷却用ガ
スに対する吸引力は、被処理物Ｂの外部を流通する冷却
用ガスに対する吸引力よりも強い。このため、本来な
ら、被処理物Ｂの内部を流通する冷却用ガスは流通抵抗
が大きいため流速が遅くなるが、本熱処理装置Ａでは、
冷却用ガス回収ダクト４６ｃの吸引力が被処理物Ｂの内
部を流通する冷却用ガスに強く作用するので、被処理物
Ｂに対する冷却性能は被処理物Ｂの内部と外部とで略均
等になる。As described above, the cooling gas recovery duct 46c
The lower surface of the cooling gas recovery duct 46c is configured to protrude downward sequentially from the outer cylinder 46l to the inner cylinder 46m. The suction force for the cooling gas flowing inside the object B is stronger than the suction force for the cooling gas flowing outside the object B. For this reason, the flow rate of the cooling gas that flows through the inside of the processing object B is slow because the flow resistance is large, but in the present heat treatment apparatus A,
Since the suction force of the cooling gas recovery duct 46c strongly acts on the cooling gas flowing inside the object B, the cooling performance for the object B is substantially equal between the inside and the outside of the object B. .
【００７６】また、冷却用ガス回収ダクト４６ｃの上面
が、外側の筒４６ｌから内側の筒４６ｍにかけて順次上
方へ突出するよう構成されているため、冷却用ガス回収
ダクト４６ｃの内部においては内側ほど吸引力が強いの
で、被処理物Ｂの内部を流通する冷却用ガスを一層強く
吸引することができる。Further, since the upper surface of the cooling gas recovery duct 46c is configured to protrude upward sequentially from the outer cylinder 46l to the inner cylinder 46m, the inside of the cooling gas recovery duct 46c is sucked toward the inside. Since the power is strong, the cooling gas flowing inside the processing target B can be more strongly sucked.
【００７７】図８及び図１０に示すように、冷却室２２
における被処理物Ｂの移送方向の両側且つ冷却用ガス吹
出しダクト４６ｂの外側であって、パワーローラ７０と
天井板４６ｋとの間には、熱反射板からなる固定壁部材
８０が配設されている。該固定壁部材８０は冷却室２２
の壁面２２ａよりも内側において該壁面２２ａに支持さ
れている。As shown in FIGS. 8 and 10, the cooling chamber 22
A fixed wall member 80 made of a heat reflecting plate is disposed between the power roller 70 and the ceiling plate 46k on both sides in the transfer direction of the workpiece B and outside the cooling gas blowing duct 46b. I have. The fixed wall member 80 is provided in the cooling chamber 22.
Is supported by the wall surface 22a inside the wall surface 22a.
【００７８】また、図８及び図９に示すように、冷却室
２２における移送方向の前後両端には、上述の開閉扉１
４が油圧シリンダ８２により上下動可能に支持されてい
る。該開閉扉１４の内側で且つ冷却用ガス吹出しダクト
４６ｂの外側であって、パワーローラ７０と天井板４６
ｋとの間には、熱反射板からなる可動壁部材８４が配設
されている。該可動壁部材８４は開閉扉１４の内面より
も内側において該開閉扉１４に支持されている。上記固
定壁部材８０及び可動壁部材８４を構成する熱反射板
は、ステンレス鋼板のように熱反射率が高く且つ熱容量
が小さい材料で構成することが好ましい。As shown in FIG. 8 and FIG. 9, the above-mentioned opening / closing door 1 is provided at both front and rear ends of the cooling chamber 22 in the transfer direction.
4 is supported by a hydraulic cylinder 82 so as to be vertically movable. The power roller 70 and the ceiling plate 46 are located inside the door 14 and outside the cooling gas blowing duct 46b.
A movable wall member 84 made of a heat reflection plate is disposed between the movable wall member 84 and the movable wall member 84. The movable wall member 84 is supported by the door 14 inside the inner surface of the door 14. The heat reflecting plate constituting the fixed wall member 80 and the movable wall member 84 is preferably made of a material having a high heat reflectance and a small heat capacity, such as a stainless steel plate.
【００７９】このように固定壁部材８０及び可動壁部材
８４を熱反射板で構成すると、冷却用ガスの抵抗が小さ
く冷却されやすい被処理物Ｂの周縁部は熱反射板からの
輻射熱によって冷却速度が遅くなるため、冷却用ガスの
流通抵抗が大きく冷却され難い被処理物Ｂの中心部との
バランスが保たれる。この結果、被処理物Ｂは均等に冷
却されるので、高品質の製品を得ることができる。When the fixed wall member 80 and the movable wall member 84 are made of a heat reflecting plate as described above, the peripheral portion of the processing object B, which has a small resistance of the cooling gas and is easily cooled, is cooled by the radiant heat from the heat reflecting plate. , The flow resistance of the cooling gas is large, and the balance with the central portion of the processing target B, which is difficult to be cooled, is maintained. As a result, the object to be processed B is uniformly cooled, so that a high quality product can be obtained.
【００８０】上記の固定壁部材８０及び可動壁部材８４
によって、冷却用ガス吹出しダクト４６ｂの開口部と冷
却用ガス回収ダクト４６ｃの開口部との間を囲繞するマ
ッフルが形成されている。そして該マッフルは、冷却用
ガス吹出しダクト４６ｂの外周形状よりも若干大きい内
周形状を有し、且つパワーローラ７０と天井板４６ｋと
の間の寸法よりも若干低い高さを有している。The fixed wall member 80 and the movable wall member 84 described above.
Accordingly, a muffle surrounding the opening of the cooling gas outlet duct 46b and the opening of the cooling gas recovery duct 46c is formed. The muffle has an inner peripheral shape slightly larger than the outer peripheral shape of the cooling gas blowing duct 46b, and has a height slightly lower than the dimension between the power roller 70 and the ceiling plate 46k.
【００８１】尚、開閉扉１４の下動時に、該開閉扉１４
の下方に位置するパワーローラ７０ａは内側に回動し
て、開閉扉１４と干渉しないように構成されている。When the door 14 is moved downward, the door 14
The power roller 70a located below is rotated inward so as not to interfere with the opening / closing door 14.
【００８２】以上説明したように、冷却用ガス吹出しダ
クト４６ｂから吹き出された冷却用ガスは、マッフルを
構成する固定壁部材８０及び可動壁部材８４に規制され
てストレートに冷却用ガス回収ダクト４６ｃに向かうた
め、冷却用ガスは被処理物Ｂを効率良く冷却する。ま
た、冷却室２２における移送方向の前後両端には開閉扉
１４が設けられており冷却室２２の壁面自体は凹凸状で
あるが、上述のマッフルによって冷却用ガスが流通する
スペースは平坦であるから、冷却用ガスの流速は開閉扉
１４の存在に影響されることがない。As described above, the cooling gas blown out from the cooling gas blow-out duct 46b is regulated by the fixed wall member 80 and the movable wall member 84 constituting the muffle and straightly enters the cooling gas recovery duct 46c. Therefore, the cooling gas efficiently cools the workpiece B. The opening and closing doors 14 are provided at both front and rear ends of the cooling chamber 22 in the transfer direction, and the wall surface of the cooling chamber 22 is uneven, but the space through which the cooling gas flows by the above-described muffle is flat. The flow rate of the cooling gas is not affected by the presence of the door 14.
【００８３】図１２〜図１４は冷却室２２に設けられる
上述のガス冷却手段４６の変形例としてのガス冷却手段
８６を示すものであって、該ガス冷却手段８６は後述の
温度調節手段８８を備えている。FIGS. 12 to 14 show a gas cooling means 86 as a modification of the above-described gas cooling means 46 provided in the cooling chamber 22. The gas cooling means 86 includes a temperature adjusting means 88 which will be described later. Have.
【００８４】図１２は上記ガス冷却手段８６を備えた冷
却室２２の縱断正面構造を示し、開閉扉１４、可動壁部
材８４、冷却用ガス吹出しダクト４６ｂ、冷却用ガス回
収ダクト４６ｃ及び冷却用ガス循環ダクト７８について
は、その基本的機能は各々前述のものと同様である。FIG. 12 shows a longitudinal front structure of the cooling chamber 22 provided with the gas cooling means 86. The opening / closing door 14, the movable wall member 84, the cooling gas blowing duct 46b, the cooling gas collecting duct 46c, and the cooling The basic functions of the gas circulation duct 78 are the same as those described above.
【００８５】図１３はガス冷却手段８６の全体を示し、
冷却用ガス吹出しダクト４６ｂの内側の筒４６ｊに第１
の温度センサ８６ａが、冷却用ガス回収ダクト４６ｃの
内側の筒４６ｍには第２の温度センサ８６ｂが、冷却用
ガス循環ダクト７８には循環用ブロア８６ｃが各々設け
られている。冷却用ガス循環ダクト７８は循環用ブロア
８６ｃの下流側で、第１流量調節弁８６ｄを有する第１
循環ダクト８６ｅと、第２流量調節弁８６ｆを有する第
２循環ダクト８６ｇとに分岐しており、第１循環ダクト
８６ｅはその途中にガスクーラー８６ｈを備えている。FIG. 13 shows the entire gas cooling means 86.
The first cylinder 46j inside the cooling gas blowing duct 46b is
, A second temperature sensor 86b is provided in the cylinder 46m inside the cooling gas recovery duct 46c, and a circulation blower 86c is provided in the cooling gas circulation duct 78. The cooling gas circulation duct 78 is provided downstream of the circulation blower 86c and has a first flow control valve 86d having a first flow control valve 86d.
It is branched into a circulation duct 86e and a second circulation duct 86g having a second flow control valve 86f, and the first circulation duct 86e is provided with a gas cooler 86h in the middle.
【００８６】温度調節手段８８は、第１及び第２温度セ
ンサ８６ａ，８６ｂからの温度信号を受けて、被処理物
Ｂの温度が変化するよう第１及び第２流量調節弁８６
ｄ，８６ｆの開閉を制御するものであって、制御内容は
以下に示す通りである。The temperature adjusting means 88 receives temperature signals from the first and second temperature sensors 86a and 86b ,
First and second flow control valves 86 such that the temperature of B changes.
It controls the opening and closing of d and 86f , and the contents of the control are as follows.
【００８７】浸炭室２０と冷却室２２との間の開閉扉１
４が開かれて被処理物Ｂが冷却室２２に搬入されたとき
には、被処理物Ｂの温度が高く、冷却用ガス循環ダクト
７８内の冷却用ガスの温度が低いため、第１温度センサ
８６ａが検出する温度は低く、第２温度センサ８６ｂが
検出する温度は高い。従って、この状態では、温度調節
手段８８は第１流量調節弁８６ｄを閉じる一方第２流量
調節弁８６ｆを開いて、冷却用ガスを第２循環ダクト８
６ｇのみから供給する。この状態では、被処理物Ｂの周
縁部においては熱輻射によって冷却され、被処理物Ｂの
中心部においては熱輻射及び対流によって冷却される。Opening door 1 between carburizing chamber 20 and cooling chamber 22
When the workpiece 4 is opened and the workpiece B is carried into the cooling chamber 22, the temperature of the workpiece B is high and the temperature of the cooling gas in the cooling gas circulation duct 78 is low, so the first temperature sensor 86 a Are low, and the temperature detected by the second temperature sensor 86b is high. Accordingly, in this state, the temperature control means 88 closes the first flow control valve 86d and opens the second flow control valve 86f, and supplies the cooling gas to the second circulation duct 8.
Supplied only from 6 g. In this state, the peripheral portion of the object B is cooled by heat radiation, and the central portion of the object B is cooled by heat radiation and convection.
【００８８】次に、被処理物Ｂが或る程度冷却される
と、第１及び第２温度センサ８６ａ，８６ｂが検出する
温度が高くなる。この状態では、温度調節手段８８は第
１及び第２流量調節弁８６ｄ，８６ｆを開いて、冷却用
ガスを第１及び第２循環ダクト８６ｅ，８６ｇから供給
する。以上のように、第１温度センサ８６ａが検出する
温度によって冷却用ガスの温度を調節すると、冷却効率
が向上する。Next, when the object B is cooled to a certain extent, the temperatures detected by the first and second temperature sensors 86a and 86b increase. In this state, the temperature control unit 88 opens the first and second flow control valves 86d and 86f to supply the cooling gas from the first and second circulation ducts 86e and 86g. As described above, when the temperature of the cooling gas is adjusted according to the temperature detected by the first temperature sensor 86a, the cooling efficiency is improved.
【００８９】図１５は、浸炭室２０で浸炭処理された被
処理物Ｂを冷却室２２で冷却することによって、被処理
物Ｂの表面に生成される球状炭化物の量を適度なものに
調節する場合の、処理時間と被処理物Ｂの温度との関係
を示している。前期冷却時間（Ｔ１）においては急速に
冷却し、後期冷却時間（Ｔ２）においては冷却速度が遅
くなるように全冷却時間（Ｔ３）を調節することが好ま
しい。このようにすると、図１９に示すように、冷却に
要する処理時間（Ｔ）は従来の方法による場合（二点鎖
線で示す）よりも大きく短縮することができる。FIG. 15 shows that the amount of the spherical carbide generated on the surface of the object B is adjusted to an appropriate amount by cooling the object B carburized in the carburizing chamber 20 in the cooling chamber 22. In this case, the relationship between the processing time and the temperature of the workpiece B is shown. It is preferable to adjust the total cooling time (T3) so that the cooling is performed rapidly during the first cooling time (T1) and the cooling rate is reduced during the second cooling time (T2). In this way, as shown in FIG. 19, the processing time (T) required for cooling can be greatly reduced as compared with the case of the conventional method (shown by a two-dot chain line).
【００９０】[0090]
【発明の効果】請求項１の発明に係る熱処理装置による
と、一連の通路を開閉扉で順次区画してなる浸炭ゾー
ン、冷却ゾーン及び窒化ゾーンと、被処理物を順次移送
する移送手段とを備えているため、浸炭ゾーンで浸炭さ
れた被処理物を炉外に搬出することなく窒化ゾーンで浸
炭窒化できるので、浸炭窒化処理の作業を効率良く行な
える。また、浸炭ゾーンと窒化ゾーンとの間に冷却ゾー
ンを備えているため、被処理物の温度が所望温度に低下
すると、該被処理物を直ちに窒化ゾーンで浸炭窒化でき
るのでエネルギーロスがなくなる。さらに、冷却ゾーン
には強制冷却手段が設けられているため、被処理物の冷
却に要する時間を節約できるので、浸炭窒化処理の作業
効率が向上する。According to the heat treatment apparatus of the first aspect of the present invention, a carburizing zone, a cooling zone, and a nitriding zone in which a series of passages are sequentially partitioned by an opening / closing door, and a transfer means for sequentially transferring an object to be processed. Since the workpiece is provided, it is possible to perform carbonitriding in the nitriding zone without carrying out the object to be treated carburized in the carburizing zone outside the furnace, so that the carbonitriding process can be performed efficiently. In addition, since the cooling zone is provided between the carburizing zone and the nitriding zone, when the temperature of the workpiece decreases to a desired temperature, the workpiece can be immediately carbonitrided in the nitriding zone, so that there is no energy loss. Further, since the forced cooling means is provided in the cooling zone, the time required for cooling the object to be treated can be saved, so that the working efficiency of the carbonitriding process is improved.
【００９１】このため、請求項１の発明によると、浸炭
窒化処理の一連の作業を、エネルギーロスを伴うことな
く効率良く行なうことができる。Therefore, according to the first aspect of the present invention, a series of carbonitriding operations can be performed efficiently without energy loss.
【００９２】請求項２の発明に係る熱処理装置による
と、被処理物に冷却用ガスを吹き付けて冷却することが
できるので、被処理物を均一に且つ急速に冷却すること
ができるので、被処理物の品質が向上すると共に作業効
率が向上する。According to the heat treatment apparatus of the second aspect of the present invention, the object to be processed can be cooled by blowing a cooling gas to the object to be processed, so that the object to be processed can be cooled uniformly and rapidly. The quality of goods is improved and the work efficiency is improved.
【００９３】請求項３の発明に係る熱処理装置による
と、冷却ゾーンに該冷却ゾーンの圧力を調整する圧力調
整手段を設けたため、加熱ゾーンから冷却ゾーンへの雰
囲気ガスの流出及び冷却ゾーンから加熱ゾーンへの冷却
用ガスの流入の防止つまり加熱ゾーンにおける雰囲気ガ
スの濃度変化を防止できるので、被処理物を均一且つ急
速に冷却することができると共に被処理物の品質を向上
させることができる。According to the heat treatment apparatus of the third aspect of the present invention, since the cooling zone is provided with the pressure adjusting means for adjusting the pressure in the cooling zone, the outflow of the atmospheric gas from the heating zone to the cooling zone and the heating zone from the cooling zone. The cooling gas can be prevented from flowing into the heating zone, that is, the concentration of the atmosphere gas in the heating zone can be prevented from being changed. Therefore, the object can be uniformly and rapidly cooled, and the quality of the object can be improved.
【００９４】また、冷却ゾーンの圧力低下を防止できる
のでＯ2 の流入によって起きる爆発を防止することがで
きる。Further, since the pressure drop in the cooling zone can be prevented, the explosion caused by the inflow of O 2 can be prevented.
【００９５】請求項４の発明に係る熱処理装置による
と、冷却用ガス吹出しダクト及び冷却用ガス回収ダクト
の開口部同士の間の空間を囲繞するように冷却ゾーンの
固定壁面に設けられた固定壁部材と開閉扉に設けられた
可動壁部材とによって構成されたマッフルを備えている
ため、冷却用ガス吹出しダクトから吹き出された冷却用
ガスはマッフルに規制されて被処理物に向かって流れる
ので、被処理物に対する冷却効率が向上する。また、冷
却用ガス吹出しダクトと冷却用ガス回収ダクトとの間の
空間はマッフルによって囲繞されているため、開閉扉が
設けられているにも拘らず、冷却用ガスが流通するスペ
ースの周囲は平坦であって、冷却用ガスの流れがスムー
ズであるため、被処理物に対する冷却効率は良い。According to the heat treatment apparatus of the fourth aspect, the fixed wall provided on the fixed wall surface of the cooling zone so as to surround the space between the openings of the cooling gas blowing duct and the cooling gas recovery duct. Since it has a muffle composed of a member and a movable wall member provided on the opening and closing door, the cooling gas blown out from the cooling gas blowing duct is regulated by the muffle and flows toward the workpiece, The cooling efficiency for the object to be processed is improved. In addition, the space between the cooling gas blow-out duct and the cooling gas recovery duct is surrounded by a muffle, so the space around the space through which the cooling gas flows is flat despite the presence of the opening / closing door. However, since the flow of the cooling gas is smooth, the cooling efficiency for the object to be processed is good.
【００９６】このため、請求項４の発明によると、被処
理物の品質を低下させることなく被処理物を均一且つ急
速に冷却することができる。Therefore, according to the fourth aspect of the present invention, the object can be uniformly and rapidly cooled without deteriorating the quality of the object.
【００９７】また、可動壁部材は開閉扉に設けられてい
るため、被処理物を熱処理ゾーンから冷却ゾーンに移送
する際の邪魔にならない。Further, since the movable wall member is provided on the opening / closing door, it does not hinder the transfer of the workpiece from the heat treatment zone to the cooling zone.
【００９８】請求項５の発明に係る熱処理装置による
と、固定壁部材及び可動壁部材は各々熱反射板によって
構成されているため、冷却用ガスの流通抵抗が小さく冷
却され易い被処理物の外周部は熱反射板からの輻射熱に
よって冷却速度が遅くなるため、冷却用ガスの流通抵抗
が大きく冷却され難い被処理物の中心部とのバランスが
保たれるので、被処理物の品質を一層向上させることが
できる。According to the heat treatment apparatus of the present invention, since the fixed wall member and the movable wall member are each constituted by a heat reflecting plate, the flow resistance of the cooling gas is small and the outer periphery of the object to be cooled is easy. The cooling rate is slowed down by the radiant heat from the heat reflection plate, so the flow resistance of the cooling gas is large and the balance with the central part of the work that is difficult to cool is maintained, further improving the quality of the work Can be done.
【００９９】請求項６の発明に係る熱処理装置による
と、冷却用ガス回収ダクトを内外多重筒構造に構成し且
つその内側の筒を外側の筒より被処理物側へ突出させた
ため、冷却用ガス回収ダクトの吸引力は、被処理物の中
心部を流通する冷却用ガスに強く作用するので、冷却用
ガスの流速は被処理物の中心部と周縁部とで略均等にな
り、被処理物の中心部に位置する物品と周縁部に位置す
る物品とを略均等に冷却することができる。According to the heat treatment apparatus of the sixth aspect of the present invention, the cooling gas recovery duct is formed in an inner / outer multi-cylinder structure, and the inner tube is made to protrude from the outer tube toward the object to be processed. Since the suction force of the recovery duct strongly acts on the cooling gas flowing through the center of the object, the flow velocity of the cooling gas becomes substantially equal between the central portion and the peripheral portion of the object, and The article located at the center and the article located at the periphery can be cooled substantially uniformly.
【０１００】また、冷却用ガス吹出しダクトを内外多重
筒構造に構成したため、冷却用ガス吹出しダクトから吹
き出される冷却用ガスは整流になって被処理物に吹き付
けられるので、被処理物の各部分に吹き付けられる冷却
用ガスの流速が略均一になり、被処理物の各部分を略均
一に冷却することができる。Further, since the cooling gas blow-out duct has a multi-inner / outer cylindrical structure, the cooling gas blown out from the cooling gas blow-off duct is rectified and blown to the object to be processed. The flow rate of the cooling gas blown to the substrate becomes substantially uniform, and each portion of the processing object can be cooled substantially uniformly.
【０１０１】このため、請求項６の発明によると、被処
理物を均一且つ急速に冷却することができると共に被処
理物の品質を向上させることができる。Therefore, according to the present invention, the object can be cooled uniformly and rapidly, and the quality of the object can be improved.
【図１】本発明の一実施例である熱処理装置の左側部分
の概略平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view of a left side portion of a heat treatment apparatus according to one embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例である熱処理装置の右側部分
の概略平面図である。FIG. 2 is a schematic plan view of a right side portion of a heat treatment apparatus according to one embodiment of the present invention.
【図３】上記熱処理装置における冷却室の全体構成図で
ある。FIG. 3 is an overall configuration diagram of a cooling chamber in the heat treatment apparatus.
【図４】上記冷却室に設けられた変形例に係る圧力調整
手段の全体構成図である。FIG. 4 is an overall configuration diagram of a pressure adjusting unit according to a modification provided in the cooling chamber.
【図５】上記変形例に係る圧力調整手段を備えた冷却室
における圧力の変化を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a change in pressure in a cooling chamber provided with a pressure adjusting unit according to the modification.
【図６】上記圧力調整装置における酸浸炭ガスの流量の
変化を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a change in a flow rate of an acid carburizing gas in the pressure regulator.
【図７】上記熱処理装置を用いて熱処理する場合の熱処
理サイクル図である。FIG. 7 is a heat treatment cycle diagram when heat treatment is performed using the heat treatment apparatus.
【図８】上記熱処理装置における冷却室の平面図であ
る。FIG. 8 is a plan view of a cooling chamber in the heat treatment apparatus.
【図９】上記冷却室の縱断正面図である。FIG. 9 is a longitudinal sectional front view of the cooling chamber.
【図１０】上記冷却室の縱断側面図である。FIG. 10 is a longitudinal side view of the cooling chamber.
【図１１】上記冷却室における冷却用ガスの流速測定図
である。FIG. 11 is a view illustrating a flow rate measurement of a cooling gas in the cooling chamber.
【図１２】変形例に係るガス冷却手段を備えた冷却室の
縱断正面図である。FIG. 12 is a longitudinal sectional front view of a cooling chamber provided with gas cooling means according to a modification.
【図１３】変形例に係るガス冷却手段の全体構成図及び
該ガス冷却手段を備えた冷却室の縱断側面図である。FIG. 13 is an overall configuration diagram of a gas cooling unit according to a modification and a longitudinal side view of a cooling chamber provided with the gas cooling unit.
【図１４】図１３におけるＩ〜Ｉ線の断面図である。FIG. 14 is a sectional view taken along the line I-I in FIG. 13;
【図１５】変形例に係るガス冷却手段による処理時間と
被処理物の温度との関係を示す図である。FIG. 15 is a diagram illustrating a relationship between a processing time by a gas cooling unit and a temperature of an object to be processed according to a modification.
【図１６】変形例に係るガス冷却手段による処理時間と
従来のガス冷却手段による処理時間とを比較した図であ
る。FIG. 16 is a diagram comparing a processing time by a gas cooling unit according to a modification with a processing time by a conventional gas cooling unit.
【図１７】従来の熱処理装置を用いる場合の熱処理サイ
クル図である。FIG. 17 is a heat treatment cycle diagram when a conventional heat treatment apparatus is used.
【図１８】従来の熱処理装置を用いる場合の熱処理サイ
クル図である。FIG. 18 is a heat treatment cycle diagram when a conventional heat treatment apparatus is used.
１０…連続炉 １４…開閉扉 １８…昇温室 ２０…浸炭室（浸炭ゾーン、熱処理ゾーン） ２２…冷却室（冷却ゾーン） ２２ａ…固定壁面 ２４…再昇温室 ２８…窒化室（窒化ゾーン） ４４…酸浸炭ガス供給手段 ４４ｆ…減圧手段 ４６…ガス冷却手段（強制冷却手段） ４６ｂ…冷却用ガス吹出しダクト ４６ｃ…冷却用ガス回収ダクト ４６ｉ…冷却用ガス吹出しダクトの外側の筒 ４６ｊ…冷却用ガス吹出しダクトの内側の筒 ４６ｌ…冷却用ガス回収ダクトの外側の筒 ４６ｍ…冷却用ガス回収ダクトの内側の筒 ４８…圧力調整手段 ５２…加圧手段 ７０…パワーローラ（移送手段） ７６…固定壁部材 ８０…可動壁部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Continuous furnace 14 ... Opening / closing door 18 ... Heating room 20 ... Carburizing room (carburizing zone, heat treatment zone) 22 ... Cooling room (cooling zone) 22a ... Fixed wall surface 24 ... Reheating room 28 ... Nitriding room (nitriding zone) 44 ... Acid carburizing gas supply means 44f ... decompression means 46 ... gas cooling means (forced cooling means) 46b ... cooling gas blowing duct 46c ... cooling gas recovery duct 46i ... cylinder outside the cooling gas blowing duct 46j ... cooling gas blowing Tube inside the duct 46l ... Tube outside the cooling gas recovery duct 46m ... Tube inside the cooling gas recovery duct 48 ... Pressure adjusting means 52 ... Pressurizing means 70 ... Power roller (transfer means) 76 ... Fixed wall member 80: movable wall member
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｆ２７Ｂ 9/02 Ｆ２７Ｂ 9/02 9/04 9/04 (72)発明者 庄賀 英雄 広島県安芸郡府中町新地３番１号 マツ ダ株式会社内 (72)発明者 永井 克和 広島県安芸郡府中町新地３番１号 マツ ダ株式会社内 (72)発明者 須沢 昌之 広島県安芸郡府中町新地３番１号 マツ ダ株式会社内 (72)発明者 山岡 孝 広島県安芸郡府中町新地３番１号 マツ ダ株式会社内 (72)発明者 長浜 博 広島県安芸郡府中町新地３番１号 マツ ダ株式会社内 (56)参考文献 特公 平１−47524（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 8/06,8/34 C21D 1/06,1/74 F27B 9/02,9/04 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI F27B 9/02 F27B 9/02 9/04 9/04 (72) Inventor Hideo Shoga 3-1, Fuchi-cho, Fuchu-cho, Aki-gun, Hiroshima Prefecture No. Mazda Co., Ltd. (72) Katsukazu Nagai, Inventor Katsukazu Nagai 3-1 Shinchi, Fuchu-cho, Aki-gun, Hiroshima Prefecture Mazda Co., Ltd. (72) Masayuki Suzawa 3-1 Shinchi, Fuchu-cho, Aki-gun, Hiroshima Mazda Inside (72) Inventor Takashi Yamaoka 3-1 Shinchi, Fuchu-cho, Aki-gun, Hiroshima Prefecture Inside Mazda Corporation (72) Inventor Hiroshi Nagahama 3-1 Shinchi, Funaka-cho, Aki-gun, Hiroshima Prefecture Inside Mazda Corporation ( 56) References: JP 1-47524 (JP, B2) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) C23C 8/06, 8/34 C21D 1/06, 1/74 F27B 9 / 02,9 / 04
Claims (6)
とにより区画形成される浸炭ゾーン、冷却ゾーン及び窒
化ゾーンを順次備えると共に、被処理物を上記一連の通
路に沿って順次移送する移送手段を備え、上記冷却ゾー
ンに被処理物を冷却する強制冷却手段が設けられている
ことを特徴とする熱処理装置。1. A transfer means for sequentially providing a carburizing zone, a cooling zone, and a nitriding zone which are formed by partitioning a series of passages sequentially with an opening / closing door, and for sequentially transferring an object to be processed along the series of passages. And a forced cooling means for cooling the object to be processed is provided in the cooling zone.
上記強制冷却手段は、被処理物に冷却用ガスを吹き付け
て冷却するガス冷却手段であることを特徴とする熱処理
装置。2. The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein
The heat treatment apparatus according to claim 1, wherein the forced cooling means is a gas cooling means for blowing a cooling gas onto the object to cool the object.
１の熱処理ゾーンと、該第１の熱処理ゾーンで熱処理さ
れた被処理物を冷却する冷却ゾーンと、該冷却ゾーンで
冷却された被処理物を雰囲気ガス中で熱処理する第２の
熱処理ゾーンとを備え、上記第１の熱処理ゾーンと上記
冷却ゾーンとは第１の開閉扉を介して互いに連通してい
ると共に、上記冷却ゾーンと上記第２の熱処理ゾーンと
は第２の開閉扉を介して互いに連通しており、上記冷却
ゾーンには、該冷却ゾーンの内部の圧力を調整する圧力
調整手段及び被処理物に冷却用ガスを供給して該被処理
物を強制的に冷却する強制冷却手段が設けられているこ
とを特徴とする熱処理装置。3. The method according to claim 1, wherein the object is heat-treated in an atmosphere gas .
A first heat treatment zone, a cooling zone for cooling the workpiece which has been heat treated at the first heat treatment zone, at the cooling zone
A second heat treatment of the cooled object in an atmosphere gas;
A heat treatment zone , wherein the first heat treatment zone and the heat treatment zone
The cooling zone communicates with each other via the first opening / closing door.
And the cooling zone and the second heat treatment zone
Is in communication with each other through the second door, the said cooling zone, said pressure adjusting means for adjusting the pressure inside the cooling zone and by supplying該被process the cooling gas to be treated
A heat treatment apparatus comprising a forced cooling means for forcibly cooling an object.
処理ゾーンと、該熱処理ゾーンで熱処理された被処理物
を冷却用ガスで冷却する冷却ゾーンとを備え、これら熱
処理ゾーンと冷却ゾーンとは開閉扉を介して互いに連通
しており、上記冷却ゾーンは、該冷却ゾーンにおける被
処理物セット位置を挟んで対向する位置に各々設けられ
た被処理物に冷却用ガスを吹き付けるための冷却用ガス
吹出しダクト及び被処理物に吹き付けられた冷却用ガス
を回収する冷却用ガス回収ダクトと、上記冷却用ガス吹
出しダクト及び冷却用ガス回収ダクトの開口部同士の間
の空間を囲繞するように上記冷却ゾーンの固定壁面に設
けられた固定壁部材及び上記開閉扉に設けられた可動壁
部材によって構成されるマッフルとを備えていることを
特徴とする熱処理装置。4. A heat treatment zone for heat-treating the object in an atmosphere gas, and a cooling zone for cooling the object heat-treated in the heat treatment zone with a cooling gas. The cooling zone communicates with each other through an opening / closing door, and the cooling zone is provided with a cooling gas for blowing a cooling gas to a workpiece provided at a position opposed to the workpiece setting position in the cooling zone. A cooling gas recovery duct for recovering the cooling gas blown to the blow-off duct and the object to be processed, and the cooling so as to surround a space between the openings of the cooling gas blowing duct and the cooling gas recovery duct. A heat treatment apparatus comprising: a muffle constituted by a fixed wall member provided on a fixed wall surface of the zone and a movable wall member provided on the opening / closing door. Place.
上記固定壁部材及び可動壁部材は各々熱反射板によって
構成されていることを特徴とする熱処理装置。5. The heat treatment apparatus according to claim 4, wherein
The heat treatment apparatus, wherein the fixed wall member and the movable wall member are each constituted by a heat reflection plate.
処理ゾーンと、該熱処理ゾーンで熱処理された被処理物
を冷却用ガスで冷却する冷却ゾーンと、上記冷却ゾーン
は、該冷却ゾーンにおける被処理物セット位置を挟んで
対向する位置に各々設けられた被処理物に冷却用ガスを
吹き付けるための冷却用ガス吹出しダクト及び被処理物
に吹き付けられた冷却用ガスを回収する冷却用ガス回収
ダクトを備え、これら冷却用ガス吹出しダクト及び冷却
用ガス回収ダクトは各々内外多重筒構造に構成され、冷
却用ガス回収ダクトはその内側の筒が外側の筒よりも被
処理物側へ突出するよう構成されていることを特徴とす
る熱処理装置。6. A heat treatment zone for heat-treating an object to be treated in an atmosphere gas, a cooling zone for cooling the object heat-treated in the heat treatment zone with a cooling gas, and the cooling zone comprises: A cooling gas blow-out duct for spraying a cooling gas to the workpiece to be provided and a cooling gas recovery duct for collecting the cooling gas blown to the workpiece, provided at positions opposed to each other with the workpiece setting position interposed therebetween. The cooling gas blow-out duct and the cooling gas recovery duct are each configured in an inner / outer multi-cylinder structure, and the cooling gas recovery duct is configured such that the inner tube projects more toward the workpiece than the outer tube. A heat treatment apparatus, wherein the heat treatment is performed.
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