JP3014897B2 - Surface treatment method for polymer material molded body - Google Patents

Surface treatment method for polymer material molded body

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JP3014897B2
JP3014897B2 JP14669193A JP14669193A JP3014897B2 JP 3014897 B2 JP3014897 B2 JP 3014897B2 JP 14669193 A JP14669193 A JP 14669193A JP 14669193 A JP14669193 A JP 14669193A JP 3014897 B2 JP3014897 B2 JP 3014897B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、高分子材料成形体の表
面を親水性に変えるまたは親水性を増大せしめる表面処
理方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface treatment method for converting the surface of a molded article of a polymer material to hydrophilic or increasing the hydrophilicity.

【0002】[0002]

【従来の技術】本発明に関連した技術としては、例え
ば、日本国公開特許公報平2−7353号があり、そこ
には放電容器にエキシマ分子を形成する放電用ガスを充
満し、誘電体バリヤ放電(別名オゾナイザ放電あるいは
無声放電。電気学会発行改訂新版「放電ハンドブック」
平成1年6月再版発行第263ページ参照)によってエ
キシマ分子を形成せしめ、該エキシマ分子から放射され
る光を取り出す放射器、すなわち誘電体バリヤ放電ラン
プについて記載されている。一方、高分子材料成形体の
表面を親水性に変える方法は種々提案されている。高分
子材料成形体は化学構造的に極性が低く、結晶性が高い
ため、その表面への接着、印刷、塗装、染色が困難な物
が多い。これらを行うために高分子材料成形体の表面を
親水性に変える必要がある。従来技術の主なものとして
は、次のごときものがある。火炎処理法、クロム酸処理
法、コロナ放電処理法、プラズマ処理法、水銀ランプな
どによる紫外線照射法などである。
2. Description of the Related Art As a technique related to the present invention, there is, for example, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2-7353, in which a discharge vessel is filled with a discharge gas for forming excimer molecules, and a dielectric barrier is provided. Discharge (also known as ozonizer discharge or silent discharge)
A description is given of a radiator that forms excimer molecules and extracts light emitted from the excimer molecules, that is, a dielectric barrier discharge lamp. On the other hand, various methods have been proposed for changing the surface of the molded polymer material to hydrophilic. Since the polymer material molded product has low polarity in chemical structure and high crystallinity, it is often difficult to adhere, print, paint, and dye it on its surface. In order to perform these, it is necessary to change the surface of the polymer material molded article to be hydrophilic. The main ones of the prior art are as follows. Examples include a flame treatment method, a chromic acid treatment method, a corona discharge treatment method, a plasma treatment method, and an ultraviolet irradiation method using a mercury lamp or the like.

【0003】火炎処理法はガスの酸化炎で成形品の表面
を処理するが、熱による変形、融解が起こることがあ
る。クロム酸処理法は使用する薬品の処理が問題であ
る。コロナ放電処理法は電極と金属ロールの間隙にフィ
ルムを通し、高電圧をかけ処理する方法である。フィル
ム状以外は処理困難という問題がある。プラズマ処理法
は低圧下で低温プラズマを高分子材料成形体表面に作用
させて処理する。電子、イオン、紫外線などにより表面
に化学変化が起こる。処理設備に要する費用が大きく、
また、基本的にバッチ処理であって連続処理ができない
ことが欠点である。また上記の紫外線処理法は時間を要
すること、また、フッ素樹脂など親水化出来ない物が存
在する。
[0003] In the flame treatment method, the surface of a molded article is treated with a gas oxidizing flame, but deformation and melting due to heat may occur. The problem with the chromic acid treatment method is the treatment of the chemicals used. The corona discharge treatment method is a method in which a film is passed through a gap between an electrode and a metal roll and a high voltage is applied to perform treatment. There is a problem that processing is difficult except for the film form. In the plasma processing method, low-temperature plasma is applied to the surface of a polymer material molded body at a low pressure to perform processing. Chemical changes occur on the surface due to electrons, ions, ultraviolet rays, and the like. The cost of processing equipment is large,
Another drawback is that it is basically a batch process and cannot be a continuous process. Further, the above-mentioned ultraviolet treatment method requires time, and there are substances which cannot be hydrophilized such as fluororesins.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、種々
の低活性高分子材料成形体の表面にも適用出来、その表
面を親水性に変えるもしくは親水性を増大させる方法を
提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for converting the surface to hydrophilic or increasing the hydrophilicity, which can be applied to the surface of various low-active polymer material molded articles. is there.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、被照射
物を、放射光の波長の最大値が180nm以下の放射帯
域にある誘電体バリヤ放電ランプで照射する事により達
成出来る。
The object of the present invention can be achieved by irradiating an object to be irradiated with a dielectric barrier discharge lamp in a radiation band in which the maximum value of the wavelength of emitted light is 180 nm or less.

【0006】[0006]

【作用】誘電体バリヤ放電ランプにおいて、放電用ガス
としてキセノンを用いると172nmに最大値を有する
波長160−190nmの範囲の波長域に放射光を有す
る誘電体バリヤ放電ランプが得られる。同様にクリプト
ン、アルゴン、フッ素、を放電用ガスに用いると放射の
最大波長がそれぞれ、155、126、158nmで、
波長範囲がそれぞれ140−160、107−165、
130−190nmにまたがる波長域の誘電体バリヤ放
電ランプが得られる。
In the dielectric barrier discharge lamp, when xenon is used as a discharge gas, a dielectric barrier discharge lamp having radiation in a wavelength range of 160 to 190 nm having a maximum value at 172 nm can be obtained. Similarly, when krypton, argon, and fluorine are used as the discharge gas, the maximum wavelengths of radiation are 155, 126, and 158 nm, respectively.
The wavelength ranges are 140-160, 107-165, respectively.
A dielectric barrier discharge lamp in the wavelength range from 130-190 nm is obtained.

【0007】これらのランプで大気、酸素、あるいは水
蒸気を含む雰囲気、あるいは窒素雰囲気、あるいはアル
ゴンなどの不活性雰囲気内に配置された高分子材料成形
体を照射すると、従来使用されていた低圧水銀ランプの
放射波長の185nm、254nmより光子エネルギー
が高いので、高分子材料成形体表面のC−H結合などを
切断する能力が高く、同時に高分子材料成形体表面およ
び雰囲気中の炭素、酸素、水分などがOH基、COOH
基となり、表面に結合する度合いが高い。この結果、従
来の水銀ランプによる紫外線処理より、高速で、従来、
困難であった高分子材料成形体の親水性への変換が可能
となる。
When these lamps irradiate a polymer material molded body placed in an atmosphere containing air, oxygen, or water vapor, or a nitrogen atmosphere, or an inert atmosphere such as argon, a low-pressure mercury lamp conventionally used is used. Since the photon energy is higher than the emission wavelengths of 185 nm and 254 nm, the ability to cut C—H bonds and the like on the surface of the molded polymer material is high, and at the same time, carbon, oxygen, water, etc. Is an OH group, COOH
It becomes a base and has a high degree of bonding to the surface. As a result, compared to the conventional UV treatment with a mercury lamp,
Conversion of the polymer material molded body into hydrophilicity, which has been difficult, becomes possible.

【0008】照射を達成するためには、誘電体バリヤ放
電ランプはその放射光が透過する窓部材を具えていた方
が取扱いが容易である。窓部材としては、放電用ガスが
キセノンガスの場合には合成石英ガラスを用い、放電用
ガスがクリプトンやフッ素ガスでは窓部材としてサファ
イヤを用い、放電用ガスがアルゴンでは窓部材としてフ
ッ化マグネシウムなどが適用できる。また被照射物を放
電用ガス雰囲気中にいれ、窓部材なしで、直接、放電か
らの放射光を照射させることも出来る。後者はプラズマ
処理法に似ているが、プラズマ処理の場合、動作圧力が
数torrであるから必ず真空排気装置が必要であるの
に対し、本発明の方法の動作は0.2気圧から数気圧で
あり、必ずしも真空装置が必要でなく、高スループット
が実現出来る。
In order to achieve irradiation, the dielectric barrier discharge lamp is easier to handle if it has a window member through which the emitted light passes. As the window member, synthetic quartz glass is used when the discharge gas is xenon gas, sapphire is used as the window member when the discharge gas is krypton or fluorine gas, and magnesium fluoride is used as the window member when the discharge gas is argon. Can be applied. Alternatively, the object to be irradiated can be placed in a discharge gas atmosphere and directly irradiated with radiation light from the discharge without a window member. The latter is similar to the plasma processing method, but in the case of the plasma processing, since the operating pressure is several torr, an evacuation device is always required, whereas the operation of the method of the present invention is from 0.2 atm to several atm. Therefore, a vacuum device is not necessarily required, and high throughput can be realized.

【0009】[0009]

【実施例】本発明の第1の実施例を説明する。誘電体バ
リヤ放電ランプによるポリエチレンテレフタレートの親
水化方法の概略図を図1に示す。処理ダクト1内では誘
電体バリヤ放電ランプ2a,2b,2c,2d,2eが
被照射物であるポリエチレンテレフタレート成形板3に
近接して設けられている。誘電体バリヤ放電ランプは冷
却手段によって、その表面温度を100℃以下に抑えて
も放射強度を弱めることなく使用することができるの
で、ランプを十分に冷却して試料に近接使用出来る。例
えば、1mm乃至50mmに近接しても、成形板3があ
まり昇温しない。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described. FIG. 1 shows a schematic diagram of a method for hydrophilizing polyethylene terephthalate using a dielectric barrier discharge lamp. In the processing duct 1, dielectric barrier discharge lamps 2a, 2b, 2c, 2d, and 2e are provided near a polyethylene terephthalate molded plate 3 which is an object to be irradiated. The dielectric barrier discharge lamp can be used by the cooling means without reducing the radiation intensity even if the surface temperature is suppressed to 100 ° C. or less, so that the lamp can be sufficiently cooled and used close to the sample. For example, the temperature of the formed plate 3 does not rise so much even when it approaches 1 mm to 50 mm.

【0010】上記の誘電体バリヤ放電ランプの概略図を
図2に示す。放電容器4は全長約300mmの石英ガラ
ス製で内側管5(外径24mm)と外側管6(外径34
mm)を同軸に配置して中空円筒状にし、同軸円筒形と
した物である。内側管5、外側管6は誘電体バリヤ放電
の誘電体と光取り出し窓部材を兼用しており外側管6の
外面に光を透過する金属網からなる電極7が設けられて
いる。内側管5の内径側の表面には紫外線反射板を兼ね
た円筒状の金属電極8が設けられている。円筒状の電極
8の内側には冷却用流体9が流され、誘電体バリヤ放電
ランプ全体の温度を低下させる。放電容器4の一端にゲ
ッター10が設けられている。放電空間11には発光ガ
スとして、約350torrのキセノンガスが封入され
ており、電源12で点灯すると172nmに最大値を有
する120−190nmの波長範囲の紫外線を放出す
る。
FIG. 2 is a schematic view of the above-mentioned dielectric barrier discharge lamp. The discharge vessel 4 is made of quartz glass having a total length of about 300 mm, and has an inner tube 5 (outer diameter of 24 mm) and an outer tube 6 (outer diameter of 34 mm).
mm) is coaxially arranged to form a hollow cylindrical shape. The inner tube 5 and the outer tube 6 also serve as a dielectric for the dielectric barrier discharge and a light extraction window member, and an outer surface of the outer tube 6 is provided with an electrode 7 made of a metal mesh that transmits light. A cylindrical metal electrode 8 also serving as an ultraviolet reflector is provided on the inner surface of the inner tube 5. Cooling fluid 9 is flowed inside the cylindrical electrode 8 to lower the temperature of the entire dielectric barrier discharge lamp. A getter 10 is provided at one end of the discharge vessel 4. Xenon gas of about 350 torr is sealed in the discharge space 11 as a luminescent gas, and when turned on by the power supply 12, emits ultraviolet rays having a maximum value at 172 nm in a wavelength range of 120 to 190 nm.

【0011】雰囲気は空気、あるいは窒素に適当な濃度
の空気、酸素を混合したガス中で行われる。後者のガス
14の場合、処理用流体供給口13より供給される。紫
外線により、成形物の表面の化学結合が切られ、雰囲気
及び被照射物表面に存在する酸素、炭素、水分が、ポリ
エチレンテレフタレートの表面にCOOH基、OH基と
して、導入される。図3にポリエチレンテレフタレート
表面の水の接触角の紫外線照射時間依存性を示した。図
中、実線は誘電体バリヤ放電ランプに対するデータであ
り、点線は、比較のために従来の低圧水銀ランプに対す
るデータである。雰囲気は1気圧の空気、ランプと試料
間の距離2mmで行った。低圧水銀ランプでは数分要し
た処理時間が本発明方法では30秒で可能となった。同
時に分析装置ESCAで、O1S/C1Sを測定したが(1
点鎖線で示す。)、照射前では0.5であり、30秒の
照射で0.8と増加し、COOH基、OH基が表面に導
入されることが確認された。
The atmosphere is performed in air or a gas in which air and oxygen are mixed with nitrogen at an appropriate concentration. In the case of the latter gas 14, it is supplied from the processing fluid supply port 13. The ultraviolet rays cut chemical bonds on the surface of the molded product, and oxygen, carbon, and moisture present on the atmosphere and on the surface of the irradiation object are introduced into the surface of the polyethylene terephthalate as COOH groups and OH groups. FIG. 3 shows the dependence of the contact angle of water on the polyethylene terephthalate surface with the ultraviolet irradiation time. In the figure, the solid line is data for a dielectric barrier discharge lamp, and the dotted line is data for a conventional low-pressure mercury lamp for comparison. The atmosphere was 1 atm of air and the distance between the lamp and the sample was 2 mm. The processing time required for the low-pressure mercury lamp in several minutes was 30 seconds in the method of the present invention. At the same time, O 1S / C 1S was measured by the analyzer ESCA.
Indicated by a dotted line. ), 0.5 before irradiation, increased to 0.8 after irradiation for 30 seconds, and it was confirmed that COOH groups and OH groups were introduced to the surface.

【0012】本発明の第2の実施例を説明する。この実
施例は、ランプとしては窓部材を有さないものであっ
て、放電から放射される紫外線を直接利用するものであ
る。放電用ガスはクリプトンガスであり、被照射物はポ
リエチレン成形体の場合であって、その概略図を図4に
示す。放電用ガスであるKrガス21は供給口13より
導入される。真空排気口16を有する反応容器17内に
は電極群15a,15b,15cを設ける。電極群15
a,15b,15cの構造は図5の縦断面図に示したよ
うに外径9mm、全長200mmの金属製の中空円筒1
8より成り、材質はステンレスである。誘電体19は石
英ガラスである。電極の中空部20に水、空気を流し、
冷却する。電源12と電極とは図示のように結線し、電
極15aと15b、15bと15cの間で誘電体バリヤ
放電24を行わせ155nmとその付近で最大値を有す
る140−160nmの波長範囲の紫外線を放出させ
る。電力は約300Wである。電極と被照射体3との距
離は50mmである。2分間の照射で、ポリエチレン表
面の水の接触角が93度から43度に変化した。低圧水
銀ランプでは80度にしか変化しなかった。放電用ガス
がクリプトンの場合でも、第1の実施例に使用した構造
のランプのように、サファイヤやフッ化マグネシウムの
ように、放射される紫外線を透過する窓部材を放電容器
とする方法もある。ポリプロピレン、ポリアセタールも
同様の方法で処理出来る。
A second embodiment of the present invention will be described. In this embodiment, the lamp does not have a window member, and directly utilizes ultraviolet rays emitted from discharge. The discharge gas is krypton gas, and the object to be irradiated is a polyethylene molded body, and a schematic diagram thereof is shown in FIG. A Kr gas 21 serving as a discharge gas is introduced from a supply port 13. Electrode groups 15a, 15b and 15c are provided in a reaction vessel 17 having a vacuum exhaust port 16. Electrode group 15
The structure of a, 15b and 15c is a metal hollow cylinder 1 having an outer diameter of 9 mm and a total length of 200 mm as shown in the longitudinal sectional view of FIG.
8 and the material is stainless steel. The dielectric 19 is quartz glass. Flow water and air through the hollow portion 20 of the electrode,
Cooling. The power supply 12 and the electrodes are connected as shown in the figure, and a dielectric barrier discharge 24 is performed between the electrodes 15a and 15b, and 15b and 15c. Release. The power is about 300W. The distance between the electrode and the irradiation target 3 is 50 mm. By irradiation for 2 minutes, the contact angle of water on the polyethylene surface changed from 93 degrees to 43 degrees. The low-pressure mercury lamp changed only to 80 degrees. Even when the discharge gas is krypton, there is a method in which a window member that transmits emitted ultraviolet rays, such as sapphire or magnesium fluoride, is used as a discharge vessel, such as a lamp having the structure used in the first embodiment. . Polypropylene and polyacetal can be treated in the same manner.

【0013】本発明の第3の実施例を説明する。放電用
ガスはアルゴンガスであり、被照射物はフッ素樹脂であ
り、その概略図を図6に示す。被処理物であるフッ素樹
脂3は、上部からアルゴンガス22が供給口13から供
給され、アルゴン雰囲気で満たされた処理ダクト1に搬
送装置23で運ばれた後、電極群15a,15b,15
cでの誘電体バリヤ放電24から波長域107nm−1
65nmの紫外線の照射を受ける。この実施例ではアル
ゴンガス圧力は大気圧以上であるので、真空容器がいら
ず、被処理物の移動が簡単であるという利点がある。電
力300Wで、2分の照射でポリテトラフルオルエチレ
ン表面の水の接触角が103から42度に変化した。空
気雰囲気中の低圧水銀ランプ照射では102度にしか変
化しなかった。
A third embodiment of the present invention will be described. The discharge gas is an argon gas, and the object to be irradiated is a fluororesin, and a schematic diagram thereof is shown in FIG. The fluorine resin 3 as the object to be processed is supplied with argon gas 22 from the supply port 13 from above, and is transported by the transport device 23 to the processing duct 1 filled with an argon atmosphere, and then the electrode groups 15a, 15b, 15
c from the dielectric barrier discharge 24 to a wavelength range of 107 nm-1
It is irradiated with 65 nm ultraviolet rays. In this embodiment, since the argon gas pressure is equal to or higher than the atmospheric pressure, there is an advantage that a vacuum vessel is not required and the movement of the object to be processed is simple. At a power of 300 W, the contact angle of water on the surface of polytetrafluoroethylene changed from 103 to 42 degrees by irradiation for 2 minutes. Irradiation with a low-pressure mercury lamp in an air atmosphere changed only to 102 degrees.

【0014】図7に、被照射物としてポリエチレンテレ
フタレート樹脂、ポリエチレン樹脂、フッ素樹脂を選
び、アルゴン、クリプトン、フッ素、キセノンガスを放
電用ガスとして用いた誘電体バリヤ放電ランプで照射し
た場合の接触角の変化を示す。図において、□はフッ素
樹脂(PTFE)、+はポリエチレン、◇はポリエチレ
ンテレフタレートに対するデータ値を示す。処理時間は
すべて2分とした。横軸に各放電用ガスを用いた場合の
バリヤ放電から放射される紫外線の最大強度波長を単位
nmで示した。ポリエチレンテレフタレートはアルゴ
ン、クリプトン、フッ素、キセノンガスから放射される
紫外線ですべて親水化された。ポリエチレンもすべての
放電用ガスから放射される紫外線で親水化された。ポリ
エチレンもすべての放電用ガスから放射される紫外線で
親水化されたが、キセノンガスでは60度と効果が少な
かった。フッ素樹脂(PTFE)の場合、クリプトンガ
スで65度、アルゴンガスで42度の値を示した。キセ
ノンガスでは親水化しなかった。従来の紫外線処理であ
る低圧水銀ランプの場合も示したがいずれの被照射物の
場合も接触角の変化が、誘電体バリヤ放電ランプの場合
よりも小さかった。
FIG. 7 shows a contact angle when a polyethylene terephthalate resin, a polyethylene resin, and a fluororesin are selected as objects to be irradiated, and irradiation is performed by a dielectric barrier discharge lamp using argon, krypton, fluorine, and xenon gas as a discharge gas. Shows the change in In the figure, □ indicates a data value for fluororesin (PTFE), + indicates polyethylene, and Δ indicates data values for polyethylene terephthalate. All processing times were 2 minutes. The horizontal axis indicates the maximum intensity wavelength of the ultraviolet light radiated from the barrier discharge when each discharge gas is used, in the unit of nm. Polyethylene terephthalate was all hydrophilized by ultraviolet rays emitted from argon, krypton, fluorine and xenon gas. Polyethylene was also hydrophilized by ultraviolet rays emitted from all discharge gases. Polyethylene was also hydrophilized by ultraviolet rays radiated from all discharge gases, but xenon gas was less effective at 60 degrees. In the case of fluororesin (PTFE), the value was 65 degrees with krypton gas and 42 degrees with argon gas. Xenon gas did not hydrophilize. Although a low-pressure mercury lamp, which is a conventional ultraviolet treatment, is shown, the change in the contact angle is smaller in each of the irradiation objects than in the dielectric barrier discharge lamp.

【0015】[0015]

【発明の効果】上記したように本発明によれば、小型の
装置で高分子材料成形体の表面を高速で親水化出来る方
法が提供できる。
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a method capable of hydrophilizing the surface of a molded polymer material at high speed with a small apparatus.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】ポリエチレンテレフタレートの親水化方法の説
明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a method for hydrophilizing polyethylene terephthalate.

【図2】本発明に使用する誘電体バリヤ放電ランプの一
例の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram of an example of a dielectric barrier discharge lamp used in the present invention.

【図3】親水化のデータの説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of data of hydrophilization.

【図4】ポリエチレン成形体の親水化方法の説明図であ
る。
FIG. 4 is an explanatory view of a method for hydrophilizing a polyethylene molded article.

【図5】本発明に使用する放電用電極の一例の説明図で
ある。
FIG. 5 is an explanatory diagram of an example of a discharge electrode used in the present invention.

【図6】フッ素樹脂の親水化方法の説明図である。FIG. 6 is an explanatory view of a method for hydrophilizing a fluororesin.

【図7】親水化のデータの説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of data of hydrophilization.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 処理ダクト 3 成形板 4 放電容器 5 内側管 6 外側管 7,8 電極 9 冷却用流体 10 ゲッター 11 放電空間 12 電源 23 搬送装置 24 誘電体バリヤ放電 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processing duct 3 Forming plate 4 Discharge vessel 5 Inner tube 6 Outer tube 7, 8 electrode 9 Cooling fluid 10 Getter 11 Discharge space 12 Power supply 23 Transport device 24 Dielectric barrier discharge

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−128947(JP,A) 特開 平3−269024(JP,A) 特開 平4−318037(JP,A) 米国特許3837484(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C08J 7/00 - 7/18 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-3-128947 (JP, A) JP-A-3-269024 (JP, A) JP-A-4-318037 (JP, A) US Patent 3,748,484 (US , A) (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) C08J 7/ 00-7/18

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】分光放射強度が最大になる波長が180n
m以下である誘電体バリヤ放電ランプから放射される紫
外線を高分子材料成形体に照射して、高分子材料成形体
の表面を親水性に変えるかもしくはその親水性を増大せ
しめることを特徴とする表面処理方法。
1. The wavelength at which the spectral radiation intensity is maximum is 180n.
m or less, and irradiates ultraviolet rays emitted from a dielectric barrier discharge lamp to the polymer material molded article to change the surface of the polymer material molded article to hydrophilicity or to increase the hydrophilicity. Surface treatment method.
【請求項2】 高分子材料成形体がポリエチレン樹脂、
もしくはポリプロピレン樹脂、もしくはポリアセタール
樹脂であり、誘電体バリヤ放電ランプが放電用ガスとし
て、キセノン、クリプトン、アルゴンあるいはフッ素を
含んだガスを含みnm単位で表した放射波長範囲が16
0−190、140−160、107−165、130
−190の少なくとも一つの波長範囲に放射光を有する
誘電体バリヤ放電ランプであることを特徴とした請求項
1記載の表面処理方法。
2. The molded article of a polymer material is a polyethylene resin,
Or, it is a polypropylene resin or a polyacetal resin, and the dielectric barrier discharge lamp contains a gas containing xenon, krypton, argon or fluorine as a discharge gas and has a radiation wavelength range of 16 nm.
0-190, 140-160, 107-165, 130
The surface treatment method according to claim 1, wherein the dielectric barrier discharge lamp has radiation light in at least one wavelength range of -190.
【請求項3】 高分子材料成形体がフッ素樹脂であり、
誘電体バリヤ放電ランプが放電用ガスとして、クリプト
ン、アルゴンあるいはフッ素を含んだガスを含みnm単
位で表した放射波長範囲が140−160、107−1
65、130−190の少なくとも一つの波長範囲に放
射光を有する誘電体バリヤ放電ランプであることを特徴
とした請求項1記載の表面処理方法。
3. The polymer material molded article is a fluororesin,
The dielectric barrier discharge lamp contains a gas containing krypton, argon or fluorine as a discharge gas, and has a radiation wavelength range of 140-160, 107-1 expressed in nm.
The surface treatment method according to claim 1, wherein the dielectric barrier discharge lamp has radiation light in at least one wavelength range of 65, 130 to 190.
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