JP3010297B2 - Ultrasonic atomizer - Google Patents

Ultrasonic atomizer

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JP3010297B2
JP3010297B2 JP1291494A JP29149489A JP3010297B2 JP 3010297 B2 JP3010297 B2 JP 3010297B2 JP 1291494 A JP1291494 A JP 1291494A JP 29149489 A JP29149489 A JP 29149489A JP 3010297 B2 JP3010297 B2 JP 3010297B2
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vibrator
plate
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耕司 戸田
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耕司 戸田
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers

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  • Air Humidification (AREA)
  • Special Spraying Apparatus (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、液体中に超音波を放射し、液面から霧を発
生させる超音波霧化装置に関し、特に、医療用吸入器、
家庭用超音波加湿器などに好適な超音波霧化装置に関す
る。
Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to an ultrasonic atomizing device that emits ultrasonic waves into a liquid and generates a mist from a liquid surface, and particularly relates to a medical inhaler,
The present invention relates to an ultrasonic atomizing device suitable for home ultrasonic humidifiers and the like.

(従来の技術) 従来、超音波霧化装置として、液体を収容している霧
化室と、該霧化室の液体に超音波を放射する超音波発生
手段とを備え、前記超音波発生手段は、一方の面が前記
液体中に漬けられている円板状の圧電セラミック振動子
を有するものがある。
(Prior Art) Conventionally, as an ultrasonic atomizing device, there is provided an atomizing chamber containing a liquid, and ultrasonic generating means for emitting ultrasonic waves to the liquid in the atomizing chamber, and the ultrasonic generating means Some have a disk-shaped piezoelectric ceramic vibrator whose one surface is immersed in the liquid.

従来の超音波霧化装置の駆動時、圧電セラミック振動
子に駆動信号が印加される。圧電セラミック振動子は励
振され、その一方の面から超音波が放射される。前記超
音波は液中を伝搬し、液体の液面から霧が発生する。
When a conventional ultrasonic atomizer is driven, a driving signal is applied to the piezoelectric ceramic vibrator. The piezoelectric ceramic vibrator is excited, and ultrasonic waves are emitted from one surface thereof. The ultrasonic waves propagate in the liquid, and fog is generated from the liquid surface of the liquid.

(発明が解決しようとする課題) しかし、液面から発生する霧は、液面の上方に向けて
移動しながら水平方向に拡散するから、所定の方向に霧
を導くことができず、霧を所定の方向に導くための媒体
の流れを別に形成する必要がある。
(Problems to be Solved by the Invention) However, since the mist generated from the liquid surface diffuses in the horizontal direction while moving upward from the liquid surface, the mist cannot be guided in a predetermined direction. It is necessary to separately form a flow of the medium for guiding in a predetermined direction.

本発明の目的は、指向性を有する霧の流れを形成する
ことができる超音波霧化装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide an ultrasonic atomizing device capable of forming a directional mist flow.

(課題を解決するための手段) 本発明は、液体を収容している霧化室と、該霧化室の
液体に超音波を放射する超音波発生手段とを備える超音
波霧化装置であって、前記超音波発生手段は、分極軸に
垂直な両面に電極が形成されている板状の圧電磁器を含
む振動子と、前記圧電磁器の一方の面の一方の端に固着
されている固着部および該固着部に一体的に連なりかつ
前記圧電磁器の外方に向けて該圧電磁器の一方の面にほ
ぼ平行に突出する振動部を含む振動板とを有し、前記超
音波発生手段は、前記振動板の板面が前記液体の液面に
対しほぼ垂直になるように配置され、前記振動部の先端
部は前記液体に漬けられ、前記振動子の共振周波数に等
しい周波数の交流信号が前記電極を介して前記振動子に
印加されることにより前記振動子が励振され、前記振動
子の励振により前記振動板が前記固着部を固定端として
振動されることにより前記振動部の前記先端部の近傍の
前記液体が霧化される。
(Means for Solving the Problems) The present invention is an ultrasonic atomizing apparatus including an atomizing chamber containing a liquid, and ultrasonic generating means for emitting ultrasonic waves to the liquid in the atomizing chamber. The ultrasonic wave generating means may include a vibrator including a plate-shaped piezoelectric ceramic having electrodes formed on both surfaces perpendicular to the polarization axis, and a fixing device fixed to one end of one surface of the piezoelectric ceramic. A diaphragm including a vibrating portion integrally connected to the portion and the fixed portion and protruding substantially parallel to one surface of the piezoelectric ceramic toward the outside of the piezoelectric ceramic, wherein the ultrasonic wave generating means includes: The vibrating plate is disposed so that the plate surface is substantially perpendicular to the liquid surface of the liquid, the tip of the vibrating part is immersed in the liquid, and an AC signal having a frequency equal to the resonance frequency of the vibrator is generated. The vibrator is excited by being applied to the vibrator through the electrode. By vibrating the vibrating plate with the fixed portion as a fixed end by excitation of the vibrator, the liquid in the vicinity of the distal end of the vibrating portion is atomized.

前記振動板の固有の周波数は前記振動子の共振周波数
に等しく、前記振動部の突出方向に沿う長さ寸法は、前
記振動部に発生する振動の4分の1波長であることが好
ましい。
It is preferable that a characteristic frequency of the vibrating plate is equal to a resonance frequency of the vibrator, and a length dimension of the vibrating part along a projecting direction is a quarter wavelength of vibration generated in the vibrating part.

(作用) 本発明の超音波霧化装置の使用時、前記振動子にはそ
の電極を介して前記振動子の共振周波数に等しい周波数
の交流信号が印加され、前記振動子は励振される。前記
振動板の固着部が前記圧電磁器の一方の面に固着されて
いることにより、前記振動部は固着部を固定端とする片
持ち梁の形で屈曲振動されるから、前記振動部の両面か
らそれぞれの面に垂直な方向に超音波が放射される。前
記振動部の少なくとも1部分は液体内に漬けられている
ことにより、超音波は前記振動部の液体内に位置する各
面から液体中に放射されるから、前記振動部近傍の液面
から霧状の液滴が発生し、該液滴はほぼ前記超音波放射
方向に移動される。その結果、指向性を有する霧の流れ
が形成される。
(Operation) When the ultrasonic atomizing device of the present invention is used, an AC signal having a frequency equal to the resonance frequency of the vibrator is applied to the vibrator via its electrode, and the vibrator is excited. Since the fixed portion of the vibration plate is fixed to one surface of the piezoelectric ceramic, the vibrating portion bends and vibrates in the form of a cantilever having the fixed portion as a fixed end. Ultrasonic waves are radiated in the direction perpendicular to the respective surfaces. Since at least one portion of the vibrating portion is immersed in the liquid, ultrasonic waves are radiated into the liquid from each surface of the vibrating portion located in the liquid. A droplet is generated, and the droplet is moved substantially in the ultrasonic radiation direction. As a result, a directional mist flow is formed.

前記振動板の振動部の固有周波数が前記振動子の共振
周波数にほぼ等しいことにより、前記振動板の振動部は
その固有周波数にほぼ等しい周波数で振動されるから、
前記振動板の振動部から放射される超音波の周波数は振
動部の固有周波数にほぼ等しくなる。また、前記振動部
の突出方向に沿う長さ寸法が前記振動板に発生する振動
波の約4分の1波長であることにより、前記振動部の振
動の腹が1つとなるから、前記振動部から放射される強
度の大きい超音波は前記振動部の振動の腹に対応する部
位に集中し、霧状の液滴の発生量がさらに増加する。
Since the natural frequency of the vibrating portion of the vibrating plate is substantially equal to the resonance frequency of the vibrator, the vibrating portion of the vibrating plate vibrates at a frequency substantially equal to the natural frequency,
The frequency of the ultrasonic wave radiated from the vibrating portion of the diaphragm is substantially equal to the natural frequency of the vibrating portion. Further, since the length dimension along the projecting direction of the vibrating part is about one quarter wavelength of the vibration wave generated in the vibrating plate, the vibration part of the vibrating part has one antinode. Ultrasonic waves having high intensity radiated from the vibrating portion are concentrated on a portion corresponding to the antinode of the vibration of the vibrating portion, and the generation amount of the mist-like droplet is further increased.

(実施例) 第1図は本発明の超音波霧化装置の一実施例を示す縦
断面図、第2図は第1図の超音波霧化装置に用いられて
いる超音波発生手段を示す正面図、第3図は第2図の超
音波発生手段の側面図である。
(Embodiment) FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of the ultrasonic atomizer of the present invention, and FIG. 2 shows an ultrasonic generator used in the ultrasonic atomizer of FIG. FIG. 3 is a side view of the ultrasonic wave generating means of FIG.

超音波霧化装置10は、第1図に示すように、霧化室12
を備える。霧化室12は、矩形板状の底板14と、それぞれ
が対応する底板14の縁部に一体的に連なり、底板14から
垂直に立ち上がる4つの側板16と、各側板16の上端縁部
に連結され、底板14および各側板16と共働して内部空間
を規定する蓋板18とを有する。
As shown in FIG. 1, the ultrasonic atomizing device 10 includes an atomizing chamber 12.
Is provided. The atomization chamber 12 has a rectangular plate-shaped bottom plate 14, each of which is integrally connected to an edge of the corresponding bottom plate 14, and four side plates 16 rising vertically from the bottom plate 14, and connected to an upper end edge of each side plate 16. And a lid plate 18 which cooperates with the bottom plate 14 and each side plate 16 to define an internal space.

4つの側板16の内の1つには、その厚さ方向に伸びる
ノズル20が設けられている。ノズル20は前記1つの側板
16の下端近傍に配置されている。ノズル20の横断面形状
は4角形である。
One of the four side plates 16 is provided with a nozzle 20 extending in the thickness direction. Nozzle 20 is the one side plate
It is arranged near the lower end of 16. The cross-sectional shape of the nozzle 20 is quadrangular.

ノズル20に対向する側板16には、その内面から垂直に
立ち上がる門形状の1対のブラケット22が設けられてい
る。ブラケット22のそれぞれは、互いに対向しかつ平行
である。
The side plate 16 facing the nozzle 20 is provided with a pair of gate-shaped brackets 22 that rise vertically from the inner surface thereof. Each of the brackets 22 is opposite and parallel to each other.

蓋板18には、その厚さ方向に伸びるノズル24が設けら
れている。ノズル24は、蓋板18のブラケット22を有する
側板16の近傍に位置し、その横断面形状は円形である。
The cover plate 18 is provided with a nozzle 24 extending in the thickness direction. The nozzle 24 is located near the side plate 16 having the bracket 22 of the cover plate 18, and has a circular cross-sectional shape.

霧化室12内には、液体が収容されている。前記液体の
液位はノズル20の下方位置である。
The liquid is stored in the atomization chamber 12. The liquid level is at a position below the nozzle 20.

霧化室12内には、超音波発生手段26が収容されてい
る。超音波発生手段26は、第2図および第3図に示すよ
うに、振動子28を有する。振動子28は、圧電磁器30を含
む。図示の例によれば、圧電磁器30は平面形状が矩形で
ある板材からなり、その長さ寸法は30mm、幅寸法は25m
m、厚さ寸法は5mmである。圧電磁器30の両面はその厚さ
方向に垂直であり、分極軸の方向は厚さ方向に一致して
いる。圧電磁器30の材質はTDK91A(製品名)材からな
る。なお、本実施例では板状の圧電磁器を用いている
が、それに代えて柱状の圧電磁器を用いることもでき
る。
The ultrasonic generating means 26 is housed in the atomizing chamber 12. The ultrasonic wave generating means 26 has a vibrator 28 as shown in FIG. 2 and FIG. The vibrator 28 includes a piezoelectric ceramic 30. According to the illustrated example, the piezoelectric ceramic 30 is made of a plate having a rectangular planar shape, and has a length of 30 mm and a width of 25 m.
m, thickness dimension is 5mm. Both surfaces of the piezoelectric ceramic 30 are perpendicular to the thickness direction, and the direction of the polarization axis coincides with the thickness direction. The material of the piezoelectric ceramic 30 is TDK91A (product name). Although a plate-shaped piezoelectric ceramic is used in the present embodiment, a columnar piezoelectric ceramic can be used instead.

圧電磁器30の一方の面には電極32が形成され、他方の
面には電極34が形成されている。電極32は圧電磁器30の
一方の面を覆い、同様に、電極34は圧電磁器30の他方の
面を覆っている。各電極32,34の材質は焼付銀である。
電極32には、銅箔からなる端子Pが取り付けられ、同様
に、電極34には、銅箔からなる端子Qが取り付けられて
いる。端子Pおよび端子Qは圧電磁器30の幅方向に沿う
一方の縁部に位置する。
An electrode 32 is formed on one surface of the piezoelectric ceramic 30, and an electrode 34 is formed on the other surface. The electrode 32 covers one surface of the piezoelectric ceramic 30, and the electrode 34 similarly covers the other surface of the piezoelectric ceramic 30. The material of each of the electrodes 32 and 34 is baked silver.
A terminal P made of copper foil is attached to the electrode 32, and a terminal Q made of copper foil is attached to the electrode 34. The terminals P and Q are located at one edge of the piezoelectric ceramic 30 along the width direction.

振動子28は、その圧電磁器30の一方の面がノズル20付
の側板16に平行になるようにかつ圧電磁器30の長手方向
が液面に直交する方向に一致するように各ブラケット22
に支持されている。また、振動子28の端子Pおよび端子
Qは蓋板18の側に位置する。圧電磁器30の他方の面はブ
ラケット22のそれぞれに固着されている。振動子28の共
振周波数は約57KHzである。
The vibrator 28 is mounted on each of the brackets 22 such that one surface of the piezoelectric ceramic 30 is parallel to the side plate 16 with the nozzle 20 and the longitudinal direction of the piezoelectric ceramic 30 coincides with a direction orthogonal to the liquid surface.
It is supported by. The terminals P and Q of the vibrator 28 are located on the side of the cover plate 18. The other surface of the piezoelectric ceramic 30 is fixed to each of the brackets 22. The resonance frequency of the vibrator 28 is about 57 KHz.

圧電磁器30の一方の面には、振動板36が取り付けられ
ている。図示の例によれば、振動板36は、燐青銅製の矩
形板からなり、細長い板状の固着部38と、1つの縁部が
固着部38の長手方向に沿う一方の縁部に一体的に連な
り、固着部38と共働して矩形板を規定する長方形板状の
振動部40とを有する。固着部38はその長手方向が圧電磁
器30の幅方向となるようにかつその一方の面に対向する
ように電極32に接着剤42で接着されている。接着剤42は
エポキシ樹脂系接着剤である。固着部38の長さ寸法は25
mmであり、幅寸法は5mmであり、厚さ寸法は0.1mmであ
る。振動部40は、圧電磁器30の幅方向に沿う他方の縁部
から直角な方向へ外方に向けて突出してる。振動部40は
ノズル20に対向し、その先端は液体に漬けられている。
振動部40の長さ寸法は25mmであり、幅寸法lは17mmであ
り、厚さ寸法は0.1mmである。振動部40の固有周波数は
振動子28の共振周波数に等しい。
A vibration plate 36 is attached to one surface of the piezoelectric ceramic 30. According to the illustrated example, the vibration plate 36 is formed of a rectangular plate made of phosphor bronze, and is integrally formed with an elongated plate-shaped fixing portion 38 and one edge portion along the longitudinal direction of the fixing portion 38. And a rectangular plate-shaped vibrating portion 40 that cooperates with the fixing portion 38 to define a rectangular plate. The fixing portion 38 is bonded to the electrode 32 with an adhesive 42 such that the longitudinal direction thereof is in the width direction of the piezoelectric ceramic 30 and faces one surface thereof. The adhesive 42 is an epoxy resin-based adhesive. The length of the fixing part 38 is 25
mm, the width is 5 mm, and the thickness is 0.1 mm. The vibrating portion 40 projects outward in a direction perpendicular to the other edge along the width direction of the piezoelectric ceramic 30. The vibrating section 40 faces the nozzle 20, and its tip is immersed in liquid.
The length of the vibrating part 40 is 25 mm, the width l is 17 mm, and the thickness is 0.1 mm. The natural frequency of the vibrating section 40 is equal to the resonance frequency of the vibrator 28.

超音波霧化装置10の駆動時、振動子28の共振周波数に
等しい周波数を有する交流信号を端子Pおよび端子Qを
介して振動子28に印加する。振動子28は励振され、振動
板36はその固着部38を固定端とする片持ち梁の形で駆動
される。振動板36の振動部40に生じる振動は波長λを有
する屈曲振動であり、振動部40の振動周波数は振動部40
の固有周波数に等しい。振動部40の振動によって超音波
がそれぞれ振動部40の面からそれに直交する方向に放射
される。振動部40の先端は液体に漬けられていることに
より、超音波が液中に放射されるから、振動部40の近傍
の液面から霧状の液滴が発生する。振動部40の寸法lと
それに生じる振動の波長λとは次の(1)式の関係を満
足することにより、振動部40の先端は振動の膜に対応す
るから、振動部40の先端から放射される超音波の強度は
大きくなる。
When the ultrasonic atomizer 10 is driven, an AC signal having a frequency equal to the resonance frequency of the vibrator 28 is applied to the vibrator 28 via the terminals P and Q. The vibrator 28 is excited, and the diaphragm 36 is driven in the form of a cantilever having the fixed portion 38 as a fixed end. The vibration generated in the vibration part 40 of the vibration plate 36 is bending vibration having a wavelength λ, and the vibration frequency of the vibration part 40 is
Equal to the natural frequency of Ultrasonic waves are radiated from the surface of the vibrating section 40 in the direction orthogonal to the respective planes by the vibration of the vibrating section 40. Since the tip of the vibrating part 40 is immersed in the liquid, the ultrasonic waves are radiated into the liquid, so that a mist-like droplet is generated from the liquid surface near the vibrating part 40. Since the dimension l of the vibrating section 40 and the wavelength λ of the resulting vibration satisfy the following expression (1), the tip of the vibrating section 40 corresponds to the vibration film, and therefore, radiates from the tip of the vibrating section 40. The intensity of the ultrasonic wave is increased.

l=1/4λ (1) また、振動部40には振動の膜が一つしか生じないか
ら、大きい強度を有する超音波が振動部40の先端に集中
する。その結果、液面から発生する霧状液滴の量が多く
なる。
l = 1 / 4λ (1) Also, since only one vibration film is generated in the vibrating part 40, ultrasonic waves having a large intensity concentrate on the tip of the vibrating part 40. As a result, the amount of mist droplets generated from the liquid surface increases.

霧化室12の気体中にノズル20に向けて放射されている
超音波は霧状の液滴を放射方向に移動させることによ
り、指向性を有する霧の流れが形成されるから、霧状の
液滴はノズル20を経て外部に流出する。液体中に放射さ
れている超音波は、振動部40の面に対向する側板16に反
射吸収されることにより、応力が集中する底板14と前記
側板16との境界部位には大きな繰返し応力が作用しない
から、繰返し応力に起因する霧化室12のき裂などが発生
せず、霧化室12内の液体が外部に漏れる恐れがない。
The ultrasonic waves radiated toward the nozzle 20 into the gas in the atomization chamber 12 move the mist-like droplets in the radiation direction, thereby forming a directional mist flow. The droplet flows out through the nozzle 20 to the outside. Ultrasonic waves radiated into the liquid are reflected and absorbed by the side plate 16 facing the surface of the vibrating section 40, so that a large repeated stress acts on a boundary portion between the bottom plate 14 and the side plate 16 where stress is concentrated. Therefore, no crack or the like in the atomization chamber 12 due to the repeated stress is generated, and there is no possibility that the liquid in the atomization chamber 12 leaks to the outside.

霧状の液滴の発生に伴い、霧化室12内に液体の液位は
低下する。液体の液位の低下に伴い、振動部40と液体の
液面との相対位置関係が変化するから、霧状液滴の発生
量が変化する。霧状液滴の発生量を一定値に保つため
に、ノズル24から液体を供給し、振動部40と液体の液面
との相対位置関係が一定に維持することが好ましい。
With the generation of the mist-like droplets, the liquid level of the liquid in the atomization chamber 12 decreases. As the liquid level of the liquid decreases, the relative positional relationship between the vibrating section 40 and the liquid surface of the liquid changes, so that the amount of the atomized droplets changes. In order to maintain the generation amount of the mist droplets at a constant value, it is preferable that the liquid is supplied from the nozzle 24 and the relative positional relationship between the vibrating section 40 and the liquid surface of the liquid is maintained constant.

以上より、超音波霧化装置10を医療用吸入器、家庭用
超音波加湿器などの霧発生手段に用いることができる。
As described above, the ultrasonic atomizer 10 can be used as a mist generating means such as a medical inhaler or a home ultrasonic humidifier.

(発明の効果) 本発明によれば、超音波が前記振動板の振動部の各面
からそれぞれに直交する方向に放射されることにより、
液体中に放射されている超音波によって発生する霧状の
液滴は気体中に放射されている超音波によって該超音波
放射方向に沿って移動されるから、指向性を有する霧の
流れを形成することができる。
(Effects of the Invention) According to the present invention, ultrasonic waves are radiated from the respective surfaces of the vibrating portion of the diaphragm in directions orthogonal to each other.
The mist droplets generated by the ultrasonic waves radiated into the liquid are moved in the ultrasonic radiation direction by the ultrasonic waves radiated into the gas, so that a mist flow having directivity is formed. can do.

前記振動板の振動部の固有周波数が前記振動子の共振
周波数にほぼ等しいことにより、前記振動板の振動部は
その固有周波数にほぼ等しい周波数で振動されるから、
前記振動板の振動部から放射される超音波の周波数は振
動部の固有周波数にほぼ等しくなり、超音波を効率的に
放射することができる。また、前記振動部の突出方向に
沿う長さ寸法が前記振動板に発生する振動波の約4分の
1波長であることにより、前記振動部の振動の腹が1つ
となるから、前記振動部から放射される強度の大きい超
音波は前記振動部の振動の腹に対応する部位に集中し、
霧状の液滴の発生量がさらに増加する。
Since the natural frequency of the vibrating portion of the vibrating plate is substantially equal to the resonance frequency of the vibrator, the vibrating portion of the vibrating plate vibrates at a frequency substantially equal to the natural frequency,
The frequency of the ultrasonic wave radiated from the vibrating part of the diaphragm is substantially equal to the natural frequency of the vibrating part, and the ultrasonic wave can be efficiently radiated. Further, since the length dimension along the projecting direction of the vibrating part is about one quarter wavelength of the vibration wave generated in the vibrating plate, the vibration part of the vibrating part has one antinode. Ultrasonic waves of high intensity radiated from are concentrated on the part corresponding to the antinode of the vibration of the vibrating part,
The amount of mist droplets generated further increases.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の超音波霧化装置の一実施例を示す縦断
面図、第2図は第1図の超音波霧化装置に用いられてい
る超音波発生手段を示す正面図、第3図は第2図の超音
波発生手段を示す側面図である。 10……超音波霧化装置、12……霧化室、26……超音波発
生手段、28……振動子、30……圧電磁器、32,34……電
極、36……振動板、38……固着部、40……振動部。
FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of the ultrasonic atomizer of the present invention, FIG. 2 is a front view showing an ultrasonic generator used in the ultrasonic atomizer of FIG. FIG. 3 is a side view showing the ultrasonic wave generating means of FIG. 10 ... ultrasonic atomizing device, 12 ... atomizing chamber, 26 ... ultrasonic generating means, 28 ... vibrator, 30 ... piezoelectric ceramic, 32, 34 ... electrode, 36 ... diaphragm, 38 …… Fixed part, 40 …… Vibration part.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】液体を収容している霧化室と、該霧化室の
液体に超音波を放射する超音波発生手段とを備える超音
波霧化装置であって、 前記超音波発生手段は、分極軸に垂直な両面に電極が形
成されている板状の圧電磁器を含む振動子と、前記圧電
磁器の一方の面の一方の端に固着されている固着部およ
び該固着部に一体的に連なりかつ前記圧電磁器の外方に
向けて該圧電磁器の一方の面にほぼ平行に突出する振動
部を含む振動板とを有し、 前記超音波発生手段は、前記振動板の板面が前記液体の
液面に対しほぼ垂直になるように配置され、 前記振動部の先端部は前記液体に漬けられ、 前記振動子の共振周波数に等しい周波数の交流信号が前
記電極を介して前記振動子に印加されることにより前記
振動子が励振され、前記振動子の励振により前記振動板
が前記固着部を固定端として振動されることにより前記
振動部の前記先端部の近傍の前記液体が霧化される超音
波霧化装置。
1. An ultrasonic atomizing apparatus comprising: an atomizing chamber containing a liquid; and ultrasonic generating means for emitting ultrasonic waves to the liquid in the atomizing chamber, wherein the ultrasonic generating means comprises: A vibrator including a plate-shaped piezoelectric ceramic having electrodes formed on both surfaces perpendicular to the polarization axis, a fixed part fixed to one end of one surface of the piezoelectric ceramic, and an integral part of the fixed part. And a vibrating plate including a vibrating portion that projects outwardly of the piezoelectric ceramic substantially parallel to one surface of the piezoelectric ceramic, wherein the ultrasonic generating means has a plate surface of the vibration plate. The tip of the vibrating part is immersed in the liquid, and an AC signal having a frequency equal to the resonance frequency of the vibrator is applied to the vibrator through the electrode. The vibrator is excited by being applied to the An ultrasonic atomizer in which the liquid in the vicinity of the distal end of the vibrating portion is atomized by vibrating the diaphragm with the fixed portion as a fixed end.
【請求項2】前記振動板の固有の周波数は前記振動子の
共振周波数に等しく、前記振動部の突出方向に沿う長さ
寸法は、前記振動部に発生する振動の4分の1波長であ
る請求項1に記載の超音波霧化装置。
2. A characteristic frequency of the vibrating plate is equal to a resonance frequency of the vibrator, and a length dimension of the vibrating part along a projecting direction is a quarter wavelength of vibration generated in the vibrating part. The ultrasonic atomizer according to claim 1.
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