JP2990645B2 - 半導体集積回路用リードフレームおよび半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路用リードフレームおよび半導体集積回路

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    • H01L2924/19107Disposition of discrete passive components off-chip wires

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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体集積回路用リ
ードフレームおよび半導体集積回路に関し、さらに詳し
くは、ボンディング線長を短縮できるように改良した半
導体集積回路用リードフレームおよび半導体集積回路に
関する。
【0002】
【従来の技術】図8に、従来の半導体集積回路の組立構
造の一例を示す。リードフレーム510は、所定ピッチ
で整列した多数のリード512と、それらリード512
の整列方向xに整列させて四角形状の3個のベアチップ
20を配設させうるダイパッド511とを有している。
前記ダイパッド511は、長方形であり、ダイパッド吊
り部514により支持されている。前記リード512
は、そのステッチ513を前記ダイパッド511の端縁
の近傍まで延設させた形状である。
【0003】半導体集積回路500は、ベアチップ20
の辺をリード512の整列方向xに向けて3個のベアチ
ップ20をダイパッド511上にダイボンディングし、
ベアチップ20の引出し部21とステッチ513とをボ
ンディング線540を用いてワイヤボンディングし、ダ
イパッド吊り部514を除去し、パッケージ530で封
止して製造される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の半導体集積
回路500では、長方形のダイパッド511上に3個の
ベアチップ20を一列に配設しているが、その際、四角
形のベアチップ20の辺をリード512の整列方向xに
向けて並べている。しかし、このような構造では、隣接
するベアチップ20の対向する辺にある引出し部21
a,21b,21c,21dからステッチ513までの
ボンディング線540が長くなり、電気的特性や歩留り
に悪影響を与える問題点がある。特に、前記引出し部2
1a,21b,21c,21dに接地端子がある場合
(例えばGaAs半導体のベアチップ20では一般に4
辺の引出し部21に接地端子があるため、前記引出し部
21a,21b,21c,21dにも接地端子があ
る)、長いボンディング線540で接地すると、そのイ
ンダクタンス成分のために十分な接地がとれない問題点
がある。そこで、この発明の目的は、一部のボンディン
グ線が長くなるのを防止し、電気的特性や歩留りを向上
させた半導体集積回路用リードフレームおよび半導体集
積回路を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】第1の観点では、この発
明は、所定幅を介して一列に整列配置された複数のアイ
ランドと、隣接するアイランドを相互に電気接続し、隣
接するアイランド間にくびれ部を形成する連結部とから
なるダイパッドと、前記複数のアイランドの整列方向に
対して垂直方向に伸びる複数のリードとを備え、該各リ
ードのステッチを前記アイランドの端縁近傍までリード
の伸張方向に延設し、前記くびれ部に少なくとも一部の
ステッチを入り込ませたことを特徴とする半導体集積回
路用リードフレームを提供する。
【0006】第2の観点では、この発明は、上記の半導
体集積回路用リードフレームの少なくとも1つの個別ア
イランド部に、ベアチップの角を整列方向に向けてベア
チップを配設したことを特徴とする半導体集積回路を提
供する。
【0007】
【作用】上記第1の観点による半導体集積回路用リード
フレームでは、ダイパッドの形状を改良し、各ベアチッ
プをそれぞれ配設する複数の個別アイランド部を、くび
れ部を介して、並べた形状とした。また、ダイパッドの
形状の改良に合せて、リードのステッチを、前記個別ア
イランド部の端縁の近傍まで延設させた形状にした。こ
れによれば、隣接する個別アイランド部の間のくびれ部
にリードのステッチが入り込むので、個別アイランド部
に配設した四角形のベアチップの4辺からステッチまで
の間隔を短縮することが出来る。従って、一部のボンデ
ィング線が長くなることが防止され、電気的特性や歩留
りを向上させることが出来る。また、十分な接地を確保
できるようになる。
【0008】上記第2の観点による半導体集積回路で
は、上記半導体集積回路用リードフレームの個別アイラ
ンド部にベアチップを配設する際、ベアチップの角をリ
ードの整列方向に向けるようにした。これによれば、個
別アイランド部の間隔を近接させても三角形状のくぶれ
部を確保できるので、個別アイランド部の間隔を近接さ
せることができ、ベアチップを並べる方向の半導体集積
回路の長さを短縮することが出来る。
【0009】
【実施例】以下、図に示す実施例によりこの発明をさら
に詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。 −第1実施例− 図1にこの発明の第1実施例の半導体集積回路100の
組立構造を示す。リードフレーム10は、所定ピッチで
整列した多数のリード12と、それらリード12の整列
方向xに整列させて四角形状の3個のベアチップ20を
配設させうるダイパッド11とを有している。前記ダイ
パッド11は、3つの菱形の個別アイランド部11a,
11b,11cを細い連結部11d,11eにより連結
した形状であり、ダイパッド吊り部14により支持され
ている。前記個別アイランド部11a,11b,11c
の間には、三角形のくびれ部A,B,C,Dが形成され
ている。なお、個別アイランド部11a,11b,11
cを連結せず、それぞれ別個に吊り部を設けて支持して
も良い。前記リード12は、そのステッチ13を前記ダ
イパッド11の端縁の近傍まで延設させた形状である。
上記リードフレーム10の製造には、従来のエッチング
方法あるいはパンチ方法を使用できる。従って、新規な
設備を導入する必要はない。
【0010】半導体集積回路100は次の工程により製
造される。まず、ベアチップ20の角をリード12の整
列方向xに向けて(換言すれば、ベアチップ20の対角
線をリードの整列方向xに略平行にして)、3個のベア
チップ20を各個別アイランド部11a,11b,11
c上にダイボンディングする。このダイボンディング
は、導電性接着剤を用いて行う。次に、ベアチップ20
の引出し部21とステッチ13とをボンディング線40
を用いてワイヤボンディングする。このワイヤボンディ
ングは、熱圧着および/または超音波により行なう。次
に、ダイパッド吊り部14を除去する。次に、樹脂モー
ルドによりパッケージ30で封止する。この樹脂モール
ドは、トランスファモールドにより行う。この後、半田
めっき,フォーミング,マーキングを施す。
【0011】第1実施例の半導体集積回路用リードフレ
ーム10および半導体集積回路100によれば、くびれ
部A,B,C,Dにステッチ13が入り込むので、個別
アイランド部11a,11b,11cに配設した四角形
のベアチップ20の4辺の引出し部21からステッチ1
3までの間隔を短縮することが出来る。従って、電気的
特性や歩留りを向上させることが出来る。また、十分な
接地を確保できるようになる。さらに、個別アイランド
部11a,11b,11cの間隔を近接させても三角形
状のくぶれ部A,B,C,Dを確保できるので、個別ア
イランド部11a,11b,11cの間隔を近接させる
ことができ、ベアチップ20を並べる方向の半導体集積
回路100の長さを短縮することが出来る。
【0012】ここで、図2により、長方形のダイパッド
(従来)と,菱形連結形状のダイパット(第1実施例)
とを比較する。図2の(a)に、長方形のダイパットを
示す。図2の(b)に、(a)の長方形のダイパットと
同じ面積とした菱形連結形状のダイパットを示す。図2
の(c)に、(a)の長方形のダイパットの占有領域中
に収るサイズとした菱形連結形状のダイパットを示す。
面積比は1:1:0.5となり、外周長比は1:1.
5:1.06となる。これより、長方形のダイパットと
同じ面積とすれば、菱形連結形状のダイパットの方が外
周長が増えて有利であることが判る(引出しやすい。リ
ード数を増やせる)。また、長方形のダイパットと同じ
外周長とすれば、菱形連結形状のダイパットの方が面積
が小さくなり有利であることが判る(コストを低減でき
る)。
【0013】−第2実施例− 図3に、この発明の第2実施例の半導体集積回路200
の組立構造の一例を示す。第2実施例は、第1実施例と
基本的に同じ構造であるが、ダイパッド211がリード
12の一部と連結されているところが異なっている。第
2実施例の半導体集積回路用リードフレーム210およ
び半導体集積回路200によれば、四角形のベアチップ
20の4辺の引出し部21からステッチ13までの間隔
を短縮でき、電気的特性や歩留りを向上させることが出
来る。また、ダイパッド211とリード12とを一体化
した構造なので、十分な接地を確保することが出来る。
【0014】−第3実施例− 図4にこの発明の第3実施例の半導体集積回路300の
組立構造を示す。リードフレーム310は、所定ピッチ
で整列した多数のリード312と、それらリード312
の整列方向xに整列させて四角形状の3個のベアチップ
20を配設させうるダイパッド311と、そのダイパッ
ド311から延設されたヒートシンク315とを有して
いる。前記ダイパッド311は、3つの菱形の個別アイ
ランド部311a,311b,311cを細い連結部3
11d,311eにより連結し、さらに個別アイランド
部311bの対向する2辺を前記ヒートシンク315に
連結した形状になっている。前記個別アイランド部31
1a,311b,311cの間には、三角形のくびれ部
A,Dおよび半三角形のくびれ部b,cが形成されてい
る。前記リード312は、そのステッチ313を前記ダ
イパッド311の端縁の近傍まで延設させた形状であ
る。第3実施例の半導体集積回路用リードフレーム31
0および半導体集積回路300によれば、個別アイラン
ド部311a,311cに配設した四角形のベアチップ
20の4辺の引出し部21からステッチ313までの間
隔を短縮でき、電気的特性や歩留りを向上させることが
出来る。また、ダイパッド311とヒートシンク315
とを一体化した構造なので、大きな放熱能力を得ること
が出来る。
【0015】−第4実施例− 図5にこの発明の第4実施例の半導体集積回路400の
組立構造を示す。第4実施例は、第1実施例と基本的に
同じ構造であるが、ダイパッド411の個別アイランド
部411a,411b,411cを円形にしたところが
異なっている。第4実施例の半導体集積回路用リードフ
レーム410および半導体集積回路400によれば、個
別アイランド部411a,411b,411cに配設し
た四角形のベアチップ20の4辺の引出し部21からス
テッチ13までの間隔を短縮でき、電気的特性や歩留り
を向上させることが出来る。
【0016】ここで、図6により、長方形のダイパッド
(従来)と,円形連結形状のダイパット(第4実施例)
とを比較する。図6の(a)に、長方形のダイパットを
示す。図6の(b)に、(a)の長方形のダイパットと
同じ面積とした円形連結形状のダイパットを示す。図6
の(c)に、(a)の長方形のダイパットの占有領域中
に収るサイズとした円形連結形状のダイパットを示す。
面積比は1:1:0.785となり、外周長比は1:
1.329:1.178となる。これより、長方形のダ
イパットと同じ面積とすれば、円形連結形状のダイパッ
トの方が外周長が増えて有利であることが判る(引出し
やすい。リード数を増やせる)。また、長方形のダイパ
ットと同じ外周長とすれば、円形連結形状のダイパット
の方が面積が小さくなり有利であることが判る(コスト
を低減できる)。
【0017】−第5実施例− 図7にこの発明の第5実施例の半導体集積回路450の
組立構造を示す。第5実施例は、第4実施例と基本的に
同じ構造であるが、ベアチップ20の辺をリード12の
整列方向xに向けて3個のベアチップ20をダイパッド
411上にダイボンディングしたところが異なってい
る。第5実施例の半導体集積回路450でも、四角形の
ベアチップ20の4辺の引出し部21からステッチ13
までの間隔を短縮でき、電気的特性や歩留りを向上させ
ることが出来る。
【0018】
【発明の効果】この発明の半導体集積回路用リードフレ
ームおよび半導体集積回路によれば、隣接する個別アイ
ランド部の間のくびれ部にリードのステッチが入り込む
ので、個別アイランド部に配設した四角形のベアチップ
の4辺からステッチまでの間隔を短縮することが出来
る。従って、一部のボンディング線が長くなることが防
止され、電気的特性や歩留りを向上させることが出来
る。また、十分な接地を確保できる。特に、SOP,S
OJ,DIP,QUIP,SIP,ZIPなどのパッケ
ージタイプの半導体集積回路用リードフレームおよび半
導体集積回路として有用である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施例の半導体集積回路の組立
構造の説明図である。
【図2】長方形のダイパッドと菱形連結形状のダイパッ
トの比較説明図である。
【図3】この発明の第2実施例の半導体集積回路の組立
構造の説明図である。
【図4】この発明の第3実施例の半導体集積回路の組立
構造の説明図である。
【図5】この発明の第4実施例の半導体集積回路の組立
構造の説明図である。
【図6】長方形のダイパッドと円形連結形状のダイパッ
トの比較説明図である。
【図7】この発明の第5実施例の半導体集積回路の組立
構造の説明図である。
【図8】従来の半導体集積回路の組立構造の一例の説明
図である。
【符号の説明】
100,200,300,400,450,500
半導体集積回路 10,210,310,410,510
リードフレーム 11,211,311,411,511
ダイパッド 11a〜11c,311a〜311c,411a〜411c
個別アイランド部 11d,11e,311d,311e
連結部 A,B,C,D
くびれ部 12,312,512
リード 13,313,513
ステッチ 14,514
ダイパッド吊り部 315
ヒートシンク 20
ベアチップ 21
引出し部 30,530
パッケージ 40,540
ボンディング線

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定幅を介して一列に整列配置された複
    数のアイランドと、隣接するアイランドを相互に電気接
    続し、隣接するアイランド間にくびれ部を形成する連結
    部とからなるダイパッドと、前記複数のアイランドの整
    列方向に対して垂直方向に伸びる複数のリードとを備
    え、該各リードのステッチを前記アイランドの端縁近傍
    までリードの伸張方向に延設し、前記くびれ部に少なく
    とも一部のステッチを入り込ませたことを特徴とする半
    導体集積回路用リードフレーム。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の半導体集積回路用リー
    ドフレームの少なくとも1つの個別アイランド部に、ベ
    アチップの角を整列方向に向けてベアチップを配設した
    ことを特徴とする半導体集積回路。
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