JP2965002B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
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- JP2965002B2 JP2965002B2 JP9180514A JP18051497A JP2965002B2 JP 2965002 B2 JP2965002 B2 JP 2965002B2 JP 9180514 A JP9180514 A JP 9180514A JP 18051497 A JP18051497 A JP 18051497A JP 2965002 B2 JP2965002 B2 JP 2965002B2
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- address
- signal
- test
- test mode
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、MOS型電界効果
トランジスタによって構成された半導体記憶装置に関す
る。
トランジスタによって構成された半導体記憶装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】MOS型電界効果トランジスタによって
構成されたDRAM(ダイナミックランダムアクセスメ
モリ)は、通常の書き込み/読み出しの動作モードのほ
かにデバイスの評価や不良解析あるいは、選別テスト時
間を短縮するために各種のテストモードを具備してい
る。複数のテストモードを区別する方法としてアドレス
キー入力方式がある。
構成されたDRAM(ダイナミックランダムアクセスメ
モリ)は、通常の書き込み/読み出しの動作モードのほ
かにデバイスの評価や不良解析あるいは、選別テスト時
間を短縮するために各種のテストモードを具備してい
る。複数のテストモードを区別する方法としてアドレス
キー入力方式がある。
【0003】図6に、従来のアドレスキー入力回路の構
成を示す。このアドレスキー入力回路はXアドレスバッ
ファも兼ねている。図6において、NA601〜NA6
04はNAND回路、NOR601はNOR回路、IN
V601〜INV609は反転回路、TG601〜TG
603はトランスファゲート、N601〜N611は節
点(ノード)、Aiは外部アドレス入力信号、XAT/
Niは内部Rowアドレス出力信号、ADKTiはアド
レスキー信号をあらわす。
成を示す。このアドレスキー入力回路はXアドレスバッ
ファも兼ねている。図6において、NA601〜NA6
04はNAND回路、NOR601はNOR回路、IN
V601〜INV609は反転回路、TG601〜TG
603はトランスファゲート、N601〜N611は節
点(ノード)、Aiは外部アドレス入力信号、XAT/
Niは内部Rowアドレス出力信号、ADKTiはアド
レスキー信号をあらわす。
【0004】また図2は、アドレスキー信号ADKT
0、1(外部アドレスA0、A1に対応)から、4つの
テストモードのうち1つを選択する信号TMODE1〜
4をデコードする回路の構成を示す図であり、NA20
1〜NA204はNAND回路、INV201〜INV
206は反転回路、N201〜N206は節点を表わ
す。
0、1(外部アドレスA0、A1に対応)から、4つの
テストモードのうち1つを選択する信号TMODE1〜
4をデコードする回路の構成を示す図であり、NA20
1〜NA204はNAND回路、INV201〜INV
206は反転回路、N201〜N206は節点を表わ
す。
【0005】次に図7のタイミングチャートを用いて、
動作について説明を行う。
動作について説明を行う。
【0006】テストモードに入るためには、4Mbit
DRAMから標準化されているWCBR(WEB CA
SB before RASB;ライトイネーブル・キ
ャス・ビフォア・ラス)サイクルを行う。これにより、
テストモードに入るので、ローアドレスストローブ信号
RASBが“High”から“Low”になった時に、
テスト信号TESTが“Low”から“High”にな
る。
DRAMから標準化されているWCBR(WEB CA
SB before RASB;ライトイネーブル・キ
ャス・ビフォア・ラス)サイクルを行う。これにより、
テストモードに入るので、ローアドレスストローブ信号
RASBが“High”から“Low”になった時に、
テスト信号TESTが“Low”から“High”にな
る。
【0007】一方、アドレス信号AiとともにNAND
回路NA601に入力されるASTA信号が“Low”
から“High”のワンショット信号となると外部アド
レスAiを取り込むことができる。図7のタイミングチ
ャートでは、Rowアドレスとして外部から入力されて
いる。この時、CBRサイクルと基本的に同一の動作を
するため、CBRB信号が“High”から“Low”
になる。
回路NA601に入力されるASTA信号が“Low”
から“High”のワンショット信号となると外部アド
レスAiを取り込むことができる。図7のタイミングチ
ャートでは、Rowアドレスとして外部から入力されて
いる。この時、CBRサイクルと基本的に同一の動作を
するため、CBRB信号が“High”から“Low”
になる。
【0008】次にAE1信号がすばやく“Low”から
“High”になるので、トランスファゲートTG60
1は非導通となり、代わりにACBRT信号が“Lo
w”から“High”のワンショット信号となり、不図
示のCBRカウンタ(内部リフレッシュカウンタ)の出
力であるCOUNTi信号がトランスファゲートTG6
02を通して入力され、インバータINV604とIN
V606で構成されたフリップフロップにラッチされ
る。
“High”になるので、トランスファゲートTG60
1は非導通となり、代わりにACBRT信号が“Lo
w”から“High”のワンショット信号となり、不図
示のCBRカウンタ(内部リフレッシュカウンタ)の出
力であるCOUNTi信号がトランスファゲートTG6
02を通して入力され、インバータINV604とIN
V606で構成されたフリップフロップにラッチされ
る。
【0009】その後、AE2信号が“Low”から“H
igh”となり、CBRカウンタから出力された信号に
より、内部XアドレスXAT/XANiが出力される。
igh”となり、CBRカウンタから出力された信号に
より、内部XアドレスXAT/XANiが出力される。
【0010】一方、CBRB信号が“High”から
“Low”となり、AE2信号が“Low”から“Hi
gh”となる間に、NOR回路NOR601により、ト
ランスファゲートTG603が導通状態となり、外部R
owアドレスAiが、インバータINV608とINV
609によって構成されたフリップフロップにラッチさ
れる。
“Low”となり、AE2信号が“Low”から“Hi
gh”となる間に、NOR回路NOR601により、ト
ランスファゲートTG603が導通状態となり、外部R
owアドレスAiが、インバータINV608とINV
609によって構成されたフリップフロップにラッチさ
れる。
【0011】TEST信号も、“Low”から“Hig
h”となるので、テストモード用アドレスキー信号AD
KTiが出力される。テストモード用アドレスキー信号
ADKTiは、図2に示すデコーダ回路に入力され、そ
の値が“High”か“Low”かで、様々なテストモ
ードを選択することができる。
h”となるので、テストモード用アドレスキー信号AD
KTiが出力される。テストモード用アドレスキー信号
ADKTiは、図2に示すデコーダ回路に入力され、そ
の値が“High”か“Low”かで、様々なテストモ
ードを選択することができる。
【0012】図2に示した例では、アドレスキー信号A
DKTiのi=0、と1の時の2つのADKT0とAD
KT1の状態により、TMODE1〜TMODE4のい
ずれか1つの信号が“High”となり、そのテストモ
ードが選択され、内部回路は、このモードに従い動作す
る。
DKTiのi=0、と1の時の2つのADKT0とAD
KT1の状態により、TMODE1〜TMODE4のい
ずれか1つの信号が“High”となり、そのテストモ
ードが選択され、内部回路は、このモードに従い動作す
る。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】図6に示した上記従来
技術は、下記記載の問題点を有している。
技術は、下記記載の問題点を有している。
【0014】(1)第1の問題点は、アドレスキー入力
回路とXアドレスバッファが同一回路として構成されて
いるので、回路構成が複雑となり、またインバータIN
V601の出力ノードである節点N602の負荷が重く
なり、内部アドレスXAT/Niの出力速度が遅くなる
という、問題点を有している。また、これを防ぐため
に、アドレスキー入力回路とXアドレスバッファを分離
すると、素子数が多くなるという問題がある。
回路とXアドレスバッファが同一回路として構成されて
いるので、回路構成が複雑となり、またインバータIN
V601の出力ノードである節点N602の負荷が重く
なり、内部アドレスXAT/Niの出力速度が遅くなる
という、問題点を有している。また、これを防ぐため
に、アドレスキー入力回路とXアドレスバッファを分離
すると、素子数が多くなるという問題がある。
【0015】またXアドレスを用いてテストモードの検
出を行う場合、テストモードエントリ時に、Xアドレス
はCBRカウンタから生成されるためYアドレスに制約
はないが、Yアドレスが入力されるまで、Xアドレスを
ラッチしておく必要があり、このため回路規模が増大す
る。
出を行う場合、テストモードエントリ時に、Xアドレス
はCBRカウンタから生成されるためYアドレスに制約
はないが、Yアドレスが入力されるまで、Xアドレスを
ラッチしておく必要があり、このため回路規模が増大す
る。
【0016】(2)第2の問題点は、アドレスキー入力
アドレスとしてRowアドレスを用いているので、内部
のTEST信号(図2のNAND回路NA604に入力
される)が間に合わず、テストモード用アドレスキー信
号ADKTi生成の信号パス上のトランスファゲート6
03等をテストモードでないときも、動作させる必要が
あり、通常のCBRサイクル時の消費電流が増大する、
という問題があった。
アドレスとしてRowアドレスを用いているので、内部
のTEST信号(図2のNAND回路NA604に入力
される)が間に合わず、テストモード用アドレスキー信
号ADKTi生成の信号パス上のトランスファゲート6
03等をテストモードでないときも、動作させる必要が
あり、通常のCBRサイクル時の消費電流が増大する、
という問題があった。
【0017】したがって、本発明は、上記問題点に鑑み
てなされたものであって、その目的は、通常動作時の信
号伝達速度を犠牲にしないでアドレスキー入力を可能と
し、テストモード時以外にはテストモードに関連する回
路を動作させないことで通常のCBRサイクル時の消費
電流の増大を抑止するようにした半導体記憶装置を提供
することにある。
てなされたものであって、その目的は、通常動作時の信
号伝達速度を犠牲にしないでアドレスキー入力を可能と
し、テストモード時以外にはテストモードに関連する回
路を動作させないことで通常のCBRサイクル時の消費
電流の増大を抑止するようにした半導体記憶装置を提供
することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の半導体記憶装置は、WCBRでテストモー
ドに入り、複数のテストモードのうち1つをアドレスキ
ー入力で選択する方式において、アドレスキー入力アド
レスとしてカラムアドレスを用い、内部カラムアドレス
をテスト信号のワンショット信号でラッチすることを特
徴とする。
め、本発明の半導体記憶装置は、WCBRでテストモー
ドに入り、複数のテストモードのうち1つをアドレスキ
ー入力で選択する方式において、アドレスキー入力アド
レスとしてカラムアドレスを用い、内部カラムアドレス
をテスト信号のワンショット信号でラッチすることを特
徴とする。
【0019】また本発明は、WCBR(WEB CAS
B before RASB)でテストモードに入り、
複数のテストモードのうち1つをアドレスキー入力で選
択する方式において、前記アドレスキー入力用のアドレ
スとして、データ入力バッファを用い、内部書き込みデ
ータを、テスト信号のワンシショット信号でラッチす
る、ことを特徴とする。
B before RASB)でテストモードに入り、
複数のテストモードのうち1つをアドレスキー入力で選
択する方式において、前記アドレスキー入力用のアドレ
スとして、データ入力バッファを用い、内部書き込みデ
ータを、テスト信号のワンシショット信号でラッチす
る、ことを特徴とする。
【0020】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について説明
する。本発明の実施の形態においては、テストモード時
のアドレスキー入力を外部カラムアドレス信号を使用す
ることで、ロウアドレスバッファとカラムアドレスバッ
ファにテストモードのための余計な回路を設ける必要を
なくし、回路規模を縮減し、テストモード時の信号発生
を余裕をもってできるので、テストモード時以外は無駄
な回路の動作を防いで消費電流の低減を達成したもので
ある。
する。本発明の実施の形態においては、テストモード時
のアドレスキー入力を外部カラムアドレス信号を使用す
ることで、ロウアドレスバッファとカラムアドレスバッ
ファにテストモードのための余計な回路を設ける必要を
なくし、回路規模を縮減し、テストモード時の信号発生
を余裕をもってできるので、テストモード時以外は無駄
な回路の動作を防いで消費電流の低減を達成したもので
ある。
【0021】
【実施例】上記した本発明の実施の形態について更に詳
細に説明すべく、本発明の実施例を図面を参照して以下
に説明する。
細に説明すべく、本発明の実施例を図面を参照して以下
に説明する。
【0022】[実施例1]本発明の第一の実施例につい
て図面を参照して説明する。図1は、本発明の第一の実
施例の回路構成を示す図である。図1において、INV
101〜107は反転回路、TG101とTG102は
トランスファゲート、N101〜N105は節点を表わ
す。YAT0、YAT1はカラムアドレスバッファから
発生された内部カラムアドレス信号であり、ADKT
0、ADKT1はテストモード用アドレスキー信号であ
る。
て図面を参照して説明する。図1は、本発明の第一の実
施例の回路構成を示す図である。図1において、INV
101〜107は反転回路、TG101とTG102は
トランスファゲート、N101〜N105は節点を表わ
す。YAT0、YAT1はカラムアドレスバッファから
発生された内部カラムアドレス信号であり、ADKT
0、ADKT1はテストモード用アドレスキー信号であ
る。
【0023】図1を参照すると、内部カラムアドレスY
AT0、及びYAT1は、それぞれTEST信号で導通
が制御されるトランスファゲートTG101、及びTG
102、反転回路INV101、103からなるフリッ
プフロップ、及びINV105、107からなるフリッ
プフロップと、反転回路INV102、及びINV10
6を介して、アドレスキー信号ADKT0、ADKT1
として出力される。
AT0、及びYAT1は、それぞれTEST信号で導通
が制御されるトランスファゲートTG101、及びTG
102、反転回路INV101、103からなるフリッ
プフロップ、及びINV105、107からなるフリッ
プフロップと、反転回路INV102、及びINV10
6を介して、アドレスキー信号ADKT0、ADKT1
として出力される。
【0024】図2は、アドレスキー入力信号ADKT
0、ADKT1をデコードし、複数のテストモード信号
TMODE1〜4のうち1つを選択するための回路であ
る。この回路については説明済みであるので、説明は省
略する。
0、ADKT1をデコードし、複数のテストモード信号
TMODE1〜4のうち1つを選択するための回路であ
る。この回路については説明済みであるので、説明は省
略する。
【0025】図3は、本発明の第一の実施例の動作を説
明するためのタイミングチャートである。図1及び図3
を参照して、本発明の第一の実施例の動作について説明
する。まず、テストモードに入るタイミングは、従来技
術と同様に、WCBRサイクルである。これによりテス
トモードに入ったことが内部的に検知され、その後、C
ASBが“Low”から“High”となり、再び“L
ow”となることで、“Low”から“High”のワ
ンショット(1shot)のTEST信号が発生され
る。
明するためのタイミングチャートである。図1及び図3
を参照して、本発明の第一の実施例の動作について説明
する。まず、テストモードに入るタイミングは、従来技
術と同様に、WCBRサイクルである。これによりテス
トモードに入ったことが内部的に検知され、その後、C
ASBが“Low”から“High”となり、再び“L
ow”となることで、“Low”から“High”のワ
ンショット(1shot)のTEST信号が発生され
る。
【0026】その前に、最初にCASBが“Low”か
ら“High”になった時に、カラムアドレスバッファ
が活性化され、内部カラムアドレスYATiが出力され
る。この時、入力したカラムアドレスをアドレスキー入
力信号とすると、TEST信号のワンショットによりト
ランスファゲートTG201とトランスファゲートTG
102が導通状態になり、インバータINV101とI
NV103で構成されたフリップフロップ、及びインバ
ータINV105とINV107で構成されたフリップ
フロップにより、それぞれアドレスキー入力信号がラッ
チされる。その時、ラッチされたADKTi信号(この
場合、i=0、1)は、図2の回路によりデコードさ
れ、1つのテストモード信号TMODEi(i=1〜4
の一つが選択され、そのテストモードで内部が動作する
ようになる。
ら“High”になった時に、カラムアドレスバッファ
が活性化され、内部カラムアドレスYATiが出力され
る。この時、入力したカラムアドレスをアドレスキー入
力信号とすると、TEST信号のワンショットによりト
ランスファゲートTG201とトランスファゲートTG
102が導通状態になり、インバータINV101とI
NV103で構成されたフリップフロップ、及びインバ
ータINV105とINV107で構成されたフリップ
フロップにより、それぞれアドレスキー入力信号がラッ
チされる。その時、ラッチされたADKTi信号(この
場合、i=0、1)は、図2の回路によりデコードさ
れ、1つのテストモード信号TMODEi(i=1〜4
の一つが選択され、そのテストモードで内部が動作する
ようになる。
【0027】たとえば、ADKT0=“Low”、AD
KT1=“Low”の時は、TMODE4信号のみが
“High”で、それ以外は“Low”となり、テスト
モード4が選択されたこととなる。
KT1=“Low”の時は、TMODE4信号のみが
“High”で、それ以外は“Low”となり、テスト
モード4が選択されたこととなる。
【0028】[実施例2]図4は、本発明の第二の実施
例の回路構成を示す図である。図4において、INV4
01〜INV407は反転回路、TG401、TG40
2はトランスファゲート、N401〜N405は節点を
表わす。DIT0、DIT1は、データインバッファか
ら発生された内部データイン信号であり、ADKT0、
ADKT1は、テストモード用アドレスキー信号をあら
わす。
例の回路構成を示す図である。図4において、INV4
01〜INV407は反転回路、TG401、TG40
2はトランスファゲート、N401〜N405は節点を
表わす。DIT0、DIT1は、データインバッファか
ら発生された内部データイン信号であり、ADKT0、
ADKT1は、テストモード用アドレスキー信号をあら
わす。
【0029】図5は、本発明の第二の実施例の動作を説
明するためのタイミングチャートである。図4及び図5
を参照して、本発明の第二の実施例の動作について説明
する。テストモードに入るタイミングは、前記第一の実
施例と同じWCBRサイクルである。これによりテスト
モードに入ったことが内部的に検知され、その後CAS
Bが“Low”から“High”となり、再び“Lo
w”となることで“Low”から“High”の1sh
otのTEST信号が発生される。
明するためのタイミングチャートである。図4及び図5
を参照して、本発明の第二の実施例の動作について説明
する。テストモードに入るタイミングは、前記第一の実
施例と同じWCBRサイクルである。これによりテスト
モードに入ったことが内部的に検知され、その後CAS
Bが“Low”から“High”となり、再び“Lo
w”となることで“Low”から“High”の1sh
otのTEST信号が発生される。
【0030】この時、書き込み制御信号(ライトイネー
ブル)WEBも“High”から“Low”とすること
で、書き込みサイクルに入り、データインバッファが活
性化される。この時、取り込んだ、IOiデータによ
り、内部書き込みデータDITiが発生される。このD
ITi信号を前記のワンショットのTEST信号で、ト
ランスファゲートTG401とTG402が導通状態と
なり、インバータINV401とINV403で構成さ
れたフリップフロップ及びインバータINV405とI
NV407で構成されたフリップフロップにラッチされ
る。ラッチされたデータはADKT0、ADKT1のア
ドレスキー信号となる。その後、前記信号をデコード
し、1つのテストモードを選択するのは前記第一の実施
例と同じである。
ブル)WEBも“High”から“Low”とすること
で、書き込みサイクルに入り、データインバッファが活
性化される。この時、取り込んだ、IOiデータによ
り、内部書き込みデータDITiが発生される。このD
ITi信号を前記のワンショットのTEST信号で、ト
ランスファゲートTG401とTG402が導通状態と
なり、インバータINV401とINV403で構成さ
れたフリップフロップ及びインバータINV405とI
NV407で構成されたフリップフロップにラッチされ
る。ラッチされたデータはADKT0、ADKT1のア
ドレスキー信号となる。その後、前記信号をデコード
し、1つのテストモードを選択するのは前記第一の実施
例と同じである。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回路の構成を簡易なものとし、且つ通常動作に対する影
響が小さいという効果を奏する。その理由は、本発明に
おいては、アドレスキー用の選択信号を、外部カラムア
ドレス信号を用い、しかも内部で発生されたカラムアド
レスをそのままラッチして使用しており、従来方式のよ
うにYアドレスが入力されるまでXアドレスをラッチし
ておく必要がないためである。
回路の構成を簡易なものとし、且つ通常動作に対する影
響が小さいという効果を奏する。その理由は、本発明に
おいては、アドレスキー用の選択信号を、外部カラムア
ドレス信号を用い、しかも内部で発生されたカラムアド
レスをそのままラッチして使用しており、従来方式のよ
うにYアドレスが入力されるまでXアドレスをラッチし
ておく必要がないためである。
【0032】また本発明によれば、通常動作時に、余計
な回路が動かないので、消費電流が小さい、という効果
を奏する。
な回路が動かないので、消費電流が小さい、という効果
を奏する。
【図1】本発明の第一の実施例の回路構成を示す図であ
る。
る。
【図2】アドレスキーデコードの回路構成の一例を示す
図である。
図である。
【図3】本発明の第一の実施例の動作を説明するための
タイミングチャートである。
タイミングチャートである。
【図4】本発明の第二の実施例の回路構成を示す図であ
る。
る。
【図5】本発明の第二の実施例の動作を説明するための
タイミングチャートである。
タイミングチャートである。
【図6】従来例の回路構成を示す図である。
【図7】従来例の動作を説明するためのタイミングチャ
ートである。
ートである。
INV101〜INV107、INV201〜INV2
06、INV401〜INV407、INV601〜I
NV609 反転回路 TG101、TG102、TG401、TG402、T
G601〜TG603トランスファゲート NA201〜NA204、NA601〜NA604 N
AND回路 NOR601 NOR回路 N101〜N105、N201〜N206、N401〜
N405、N601〜N611 節点
06、INV401〜INV407、INV601〜I
NV609 反転回路 TG101、TG102、TG401、TG402、T
G601〜TG603トランスファゲート NA201〜NA204、NA601〜NA604 N
AND回路 NOR601 NOR回路 N101〜N105、N201〜N206、N401〜
N405、N601〜N611 節点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11C 29/00 G01R 31/28 G01R 31/3185 G11C 11/413 G11C 11/401
Claims (4)
- 【請求項1】WCBR(WEB CASB befor
e RASB)でテストモードに入り、複数のテストモ
ードのうち1つをアドレスキー入力で選択する方式にお
いて、 アドレスキー入力アドレスとしてカラムアドレスを用
い、内部カラムアドレスを、テスト信号のワンショット
信号でラッチする、ことを特徴とする半導体集積回路。 - 【請求項2】WCBR(WEB CASB befor
e RASB)でテストモードに入り、複数のテストモ
ードのうち1つをアドレスキー入力で選択する方式にお
いて、 前記アドレスキー入力用のアドレスとして、データ入力
バッファを用い、内部書き込みデータを、テスト信号の
ワンシショット信号でラッチする、ことを特徴とする半
導体集積回路。 - 【請求項3】WCBR(WEB CASB befor
e RASB)でテストモードに入り、複数のテストモ
ードのうち1つをアドレスキー入力で選択する構成の半
導体記憶装置において、 アドレスキー入力用のアドレスとして内部カラムアドレ
スを用い、 テストモードエントリ時に生成されるワンショット・パ
ルスのテスト信号で前記内部カラムアドレスをラッチす
る手段を備え、 該ラッチされた信号をデコードしてテストモードを選択
する、ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項4】WCBR(WEB CASB befor
e RASB)でテストモードに入り、複数のテストモ
ードのうち1つをアドレスキー入力で選択する構成の半
導体記憶装置において、 アドレスキー入力用のアドレスとして内部データ入力信
号を用い、 テストモードエントリ時に生成されるワンショット・パ
ルスのテスト信号で前記内部データ入力信号をラッチす
る手段を備え、 該ラッチされた信号をデコードしてテストモードを選択
する、ことを特徴とする半導体記憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9180514A JP2965002B2 (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | 半導体記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9180514A JP2965002B2 (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | 半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1116397A JPH1116397A (ja) | 1999-01-22 |
JP2965002B2 true JP2965002B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=16084596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9180514A Expired - Fee Related JP2965002B2 (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | 半導体記憶装置 |
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Country | Link |
---|---|
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