JP2959022B2 - イオントラップ - Google Patents
イオントラップInfo
- Publication number
- JP2959022B2 JP2959022B2 JP2035416A JP3541690A JP2959022B2 JP 2959022 B2 JP2959022 B2 JP 2959022B2 JP 2035416 A JP2035416 A JP 2035416A JP 3541690 A JP3541690 A JP 3541690A JP 2959022 B2 JP2959022 B2 JP 2959022B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion trap
- electron beam
- ion
- dielectric
- center hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子ビーム溶接機などの電子銃における熱
陰極のイオン衝撃を遮断するためのイオントラップ、特
にトラップの構成材料として誘電体を用いたイオントラ
ップに関する。
陰極のイオン衝撃を遮断するためのイオントラップ、特
にトラップの構成材料として誘電体を用いたイオントラ
ップに関する。
従来、この種のイオントラップは、周囲から電気的に
隔離された金属電極に、強制的にある電位を印加するこ
とによりイオン衝撃を遮断するという構成となってい
た。また、誘電体の分極を利用したイオントラップは、
誘電体を１段使用するものに限られていた。
隔離された金属電極に、強制的にある電位を印加するこ
とによりイオン衝撃を遮断するという構成となってい
た。また、誘電体の分極を利用したイオントラップは、
誘電体を１段使用するものに限られていた。
上述した従来のイオントラップにおいて、イオントラ
ップ電極に強制的に電位を印加する構成のものは、電位
供給のための配線及びイオントラップ電極と周囲の陽極
部との間の絶縁、及びイオントラップ電源等構造が複雑
化するという欠点がある。また、誘電体を用いた従来の
１段式イオントラップは、イオントラップとしての一応
の効果はあるが、強制的にイオントラップ電極に電位を
印加するタイプに比べると、そのイオン遮断能力が低い
という欠点がある。
ップ電極に強制的に電位を印加する構成のものは、電位
供給のための配線及びイオントラップ電極と周囲の陽極
部との間の絶縁、及びイオントラップ電源等構造が複雑
化するという欠点がある。また、誘電体を用いた従来の
１段式イオントラップは、イオントラップとしての一応
の効果はあるが、強制的にイオントラップ電極に電位を
印加するタイプに比べると、そのイオン遮断能力が低い
という欠点がある。
本発明の誘電体イオントラップは、電子ビームの通過
孔をもつ電子銃の陽極部の電子ビーム進行方向側に位置
して設けられ、前記陽極の中心軸上に同心円状に電子ビ
ームの通過孔をもつ複数個の誘電体と、前記複数個の強
誘電体と前記陽極部の位置関係を保持して固定する電子
ビームの通過孔をもつ支持体と、前記複数個の誘電体相
互の位置関係を保持するスペーサを有している。
孔をもつ電子銃の陽極部の電子ビーム進行方向側に位置
して設けられ、前記陽極の中心軸上に同心円状に電子ビ
ームの通過孔をもつ複数個の誘電体と、前記複数個の強
誘電体と前記陽極部の位置関係を保持して固定する電子
ビームの通過孔をもつ支持体と、前記複数個の誘電体相
互の位置関係を保持するスペーサを有している。
つぎに本発明を実施例により説明する。
第１図は本発明の一実施例の断面図である。第１図に
おいて、熱陰極（図示せず）から放射された電子ビーム
５を加速する陽極１の後段側に接して、スペーサ３を間
に挟んで３段に重ねられたマイカレックスまたはチタン
酸バリウムなどの誘電体のリングからなるイオントラッ
プが、陽極１と同心的に配置されている。
おいて、熱陰極（図示せず）から放射された電子ビーム
５を加速する陽極１の後段側に接して、スペーサ３を間
に挟んで３段に重ねられたマイカレックスまたはチタン
酸バリウムなどの誘電体のリングからなるイオントラッ
プが、陽極１と同心的に配置されている。
このようなイオントラップの中心孔を電子ビームが通
過すると、誘電体リングの通過孔側が正、外周側が負に
分極し、電子ビーム５により二次的に発生した陽イオン
６は、３段の誘電体リングの通過孔側の正電位と反撥し
て反射し、陰極方向へ戻れなくなるので、イオン衝撃に
よる熱陰極の損傷が防止される。
過すると、誘電体リングの通過孔側が正、外周側が負に
分極し、電子ビーム５により二次的に発生した陽イオン
６は、３段の誘電体リングの通過孔側の正電位と反撥し
て反射し、陰極方向へ戻れなくなるので、イオン衝撃に
よる熱陰極の損傷が防止される。
以上説明したように本発明は、複数個の誘電体を多段
に重ねてイオントラップを構成することにより、従来の
誘電体イオントラップの簡単な構造という利点を失わず
に、強制的にイオントラップ電極に電位を印加する方式
のイオントラップに比べて見劣りしていたイオントラッ
プ能力を同等もしくは、それ以上に高めることができる
効果がある。
に重ねてイオントラップを構成することにより、従来の
誘電体イオントラップの簡単な構造という利点を失わず
に、強制的にイオントラップ電極に電位を印加する方式
のイオントラップに比べて見劣りしていたイオントラッ
プ能力を同等もしくは、それ以上に高めることができる
効果がある。
第１図は本発明の一実施例のイオントラップの断面図で
ある。 １……電子銃陽極、２……誘電体リング、３……スペー
サ、４……支持体、５……電子ビーム、６……陽イオ
ン。
ある。 １……電子銃陽極、２……誘電体リング、３……スペー
サ、４……支持体、５……電子ビーム、６……陽イオ
ン。
Claims (1)
- 【請求項１】電子ビームが通過する中心孔を有する電子
銃陽極電極の後段側に同心的に配置され、かつ、スペー
サを間にして多段に重ねられた、前記電子ビームの通過
する中心孔を有するリング状の誘電体からなることを特
徴とするイオントラップ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2035416A JP2959022B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | イオントラップ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2035416A JP2959022B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | イオントラップ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03238741A JPH03238741A (ja) | 1991-10-24 |
| JP2959022B2 true JP2959022B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=12441272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2035416A Expired - Lifetime JP2959022B2 (ja) | 1990-02-15 | 1990-02-15 | イオントラップ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2959022B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6064686A (en) * | 1999-03-30 | 2000-05-16 | Tfi Telemark | Arc-free electron gun |
-
1990
- 1990-02-15 JP JP2035416A patent/JP2959022B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03238741A (ja) | 1991-10-24 |
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