JP2958635B2 - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JP2958635B2 JP2958635B2 JP6214998A JP6214998A JP2958635B2 JP 2958635 B2 JP2958635 B2 JP 2958635B2 JP 6214998 A JP6214998 A JP 6214998A JP 6214998 A JP6214998 A JP 6214998A JP 2958635 B2 JP2958635 B2 JP 2958635B2
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- Japan
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- polishing
- force
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は研磨装置に係わり、
特に確実に切り屑を生成し、熱・工具磨耗などを低減
し、かつ長期に渡り安定して所望の研磨面を得ることの
可能な研磨装置に関する。
特に確実に切り屑を生成し、熱・工具磨耗などを低減
し、かつ長期に渡り安定して所望の研磨面を得ることの
可能な研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】研磨加工において、研磨加工能率は以下
の１）、２）の方法によって高めることができる。 １）大きな切り屑を発生させる。 ２）単位時間当たりの切り屑量（以下、研磨量という）
を多くする。
の１）、２）の方法によって高めることができる。 １）大きな切り屑を発生させる。 ２）単位時間当たりの切り屑量（以下、研磨量という）
を多くする。
【０００３】その中で、１）については大きな砥粒を持
った砥石（研磨工具）を選択する、などの方法がある。
２）について、研磨量をＨとすると、Prestonの経験則
より研磨量Ｈは次の数１で表されることが知られてい
る。
った砥石（研磨工具）を選択する、などの方法がある。
２）について、研磨量をＨとすると、Prestonの経験則
より研磨量Ｈは次の数１で表されることが知られてい
る。
【数１】 但し、ｋは加工材質や研磨工具などによる定数、ｖ
（ｔ）は加工物１と研磨工具３との相対速度（以下、研
磨速度という）、ｐ（ｔ）は押しつけ方向の圧力、ｔは
研磨時間とする。
（ｔ）は加工物１と研磨工具３との相対速度（以下、研
磨速度という）、ｐ（ｔ）は押しつけ方向の圧力、ｔは
研磨時間とする。
【０００４】数１より研磨量Ｈを制御するには、押し付
け方向の圧力ｐ（ｔ）または研磨速度ｖ（ｔ）を制御す
る必要があるが、研磨速度ｖ（ｔ）は一定にしている場
合が多いので、一般的には押し付け方向の圧力ｐ（ｔ）
を一定に制御する方法（定圧研磨法）がとられている。
押し付け方向の圧力ｐ（ｔ）の制御は、空圧アクチュエ
ータ、油圧アクチュエータやバネなどを用いて行われて
いる。
け方向の圧力ｐ（ｔ）または研磨速度ｖ（ｔ）を制御す
る必要があるが、研磨速度ｖ（ｔ）は一定にしている場
合が多いので、一般的には押し付け方向の圧力ｐ（ｔ）
を一定に制御する方法（定圧研磨法）がとられている。
押し付け方向の圧力ｐ（ｔ）の制御は、空圧アクチュエ
ータ、油圧アクチュエータやバネなどを用いて行われて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
技術は経験に基づいたものであり、原理的な側面に触れ
ていないために本質的ではなく、高品質の研磨面創成に
そのまま用いるのは不十分である。原理的な側面に触れ
るために、研磨加工中に起きる現象について検証してみ
ると、以下の１）〜３）の現象が起きている。
技術は経験に基づいたものであり、原理的な側面に触れ
ていないために本質的ではなく、高品質の研磨面創成に
そのまま用いるのは不十分である。原理的な側面に触れ
るために、研磨加工中に起きる現象について検証してみ
ると、以下の１）〜３）の現象が起きている。
【０００６】１）、研磨加工中は一般的に図２のような
研磨過程を経て切屑５を生成する。図中で示した領域
では、ある法線方向押付力に達するまでは、加工物１が
弾性変形のみ生じる上滑り現象が起きる。更に法線方向
押付力Ｆn を増してＦn0に達するまでの領域（の領
域）では、加工物１の塑性変形により砥粒７が加工物１
を前方と側方へ押し上げる掘り起こし現象を生じる。法
線方向押付力Ｆn がＦn0を越えたときに（の領域）、
砥粒７が初めて切削工程により切屑５を排出するように
なる。
研磨過程を経て切屑５を生成する。図中で示した領域
では、ある法線方向押付力に達するまでは、加工物１が
弾性変形のみ生じる上滑り現象が起きる。更に法線方向
押付力Ｆn を増してＦn0に達するまでの領域（の領
域）では、加工物１の塑性変形により砥粒７が加工物１
を前方と側方へ押し上げる掘り起こし現象を生じる。法
線方向押付力Ｆn がＦn0を越えたときに（の領域）、
砥粒７が初めて切削工程により切屑５を排出するように
なる。
【０００７】２）、砥粒７が切屑５を排出していると
き、研磨工具３と加工物１との間には研磨工具３の接線
方向に作用する力Ｆt （以下、接線方向摩擦力Ｆt とい
う）が働き、その接線方向摩擦力Ｆt によって砥粒７が
加工物１を引っ掻く形となり、研磨が行われる。この間
の状況を図３の研磨面創成曲線を用いて説明する。図３
において、曲線ａ１が砥粒７による研磨前の加工物１の
研磨面創成曲線である。また、曲線ａ２が砥粒７による
一回目の研磨後の研磨面創成曲線である。曲線ｂ１、曲
線ｂ２は幾何学的干渉曲線である。法線方向押付力Ｆn
により、砥粒７は曲線ｂ１、曲線ｂ２の幾何学的干渉曲
線のように進行しようとするが、上述した上滑り現象、
掘り起こし現象及び切削工程により研磨面創成曲線ａ２
のように進行する。
き、研磨工具３と加工物１との間には研磨工具３の接線
方向に作用する力Ｆt （以下、接線方向摩擦力Ｆt とい
う）が働き、その接線方向摩擦力Ｆt によって砥粒７が
加工物１を引っ掻く形となり、研磨が行われる。この間
の状況を図３の研磨面創成曲線を用いて説明する。図３
において、曲線ａ１が砥粒７による研磨前の加工物１の
研磨面創成曲線である。また、曲線ａ２が砥粒７による
一回目の研磨後の研磨面創成曲線である。曲線ｂ１、曲
線ｂ２は幾何学的干渉曲線である。法線方向押付力Ｆn
により、砥粒７は曲線ｂ１、曲線ｂ２の幾何学的干渉曲
線のように進行しようとするが、上述した上滑り現象、
掘り起こし現象及び切削工程により研磨面創成曲線ａ２
のように進行する。
【０００８】３）、この時、接線方向摩擦力Ｆt によっ
て、熱が発生したり研磨工具３が磨耗したり、表面の変
質が起きたりして研磨面の精度に影響を及ぼす。従っ
て、かかる現象を鑑みるに、高品質の研磨面を得るため
には、接線方向摩擦力Ｆt と法線方向押付力Ｆn の両方
を考慮する必要がある。ところが、従来の方法では法線
方向押付力Ｆn か接線方向摩擦力Ｆt のいずれかを制御
しているだけであり、両者を同時に考慮に入れていな
い。このため、研磨工具３の砥石等の摩耗や脱落などに
よって条件が変化した場合に、加工できないおそれがあ
った。あるいは、研磨熱が発生して研磨面精度に影響を
及ぼしたり、加工面の変質が起こったりして、高品質の
研磨面が長期にわたって得られないおそれがあった。
て、熱が発生したり研磨工具３が磨耗したり、表面の変
質が起きたりして研磨面の精度に影響を及ぼす。従っ
て、かかる現象を鑑みるに、高品質の研磨面を得るため
には、接線方向摩擦力Ｆt と法線方向押付力Ｆn の両方
を考慮する必要がある。ところが、従来の方法では法線
方向押付力Ｆn か接線方向摩擦力Ｆt のいずれかを制御
しているだけであり、両者を同時に考慮に入れていな
い。このため、研磨工具３の砥石等の摩耗や脱落などに
よって条件が変化した場合に、加工できないおそれがあ
った。あるいは、研磨熱が発生して研磨面精度に影響を
及ぼしたり、加工面の変質が起こったりして、高品質の
研磨面が長期にわたって得られないおそれがあった。
【０００９】本発明はこのような従来の課題に鑑みてな
されたもので、確実に切り屑を生成し、熱・工具磨耗な
どを低減し、かつ長期に渡り安定して所望の研磨面を得
ることの可能な研磨装置を提供することを目的とする。
されたもので、確実に切り屑を生成し、熱・工具磨耗な
どを低減し、かつ長期に渡り安定して所望の研磨面を得
ることの可能な研磨装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】このため本発明は、速度
Ｖで研磨部を駆動させる駆動手段と、前記研磨部に対し
加工物を力Ｆn で押し付け又は加工物に対し前記研磨部
を力Ｆn で押し付け所望の研磨面を得るロボットを備え
る研磨装置において、前記力Ｆn は、予め算出した切り
屑を生成し始めるときの力Ｆn0、研磨時の発生熱や工具
磨耗を許容限度に抑えるときの力Ｆto、摩擦係数αを定
義したときの数式Ｆto／α≧Ｆn ≧Ｆn0の範囲で制御す
ることを特徴とする。
Ｖで研磨部を駆動させる駆動手段と、前記研磨部に対し
加工物を力Ｆn で押し付け又は加工物に対し前記研磨部
を力Ｆn で押し付け所望の研磨面を得るロボットを備え
る研磨装置において、前記力Ｆn は、予め算出した切り
屑を生成し始めるときの力Ｆn0、研磨時の発生熱や工具
磨耗を許容限度に抑えるときの力Ｆto、摩擦係数αを定
義したときの数式Ｆto／α≧Ｆn ≧Ｆn0の範囲で制御す
ることを特徴とする。
【００１１】駆動手段は、例えばホィール型やベルト型
の回転機構を備えた駆動手段である。加工物と接する研
磨部は駆動手段により速度Ｖで順繰りに移動させられ
る。ここで、研磨部は、ホィールやベルトの内の加工物
と接した部分である。従って、仮に加工物を固定とし、
ホィールやベルトを回転させた場合には、順次研磨部は
更新される。ロボットには、加工物を把持させてもよい
し、また駆動手段を把持させてもよい。加工物を把持さ
せた場合には、加工物は、ロボットにより、所望の研磨
面を得るようにするため、力Ｆn で駆動手段に対し押し
付けられる。力Ｆn は、数式Ｆto／α≧Ｆn ≧Ｆn0の範
囲で制御する。力Ｆn が、Ｆn0以上としたことにより、
確実に切り屑を生成できる。また、力Ｆn が、Ｆto／α
以下としたことにより、発生熱や工具磨耗を低減出来
る。
の回転機構を備えた駆動手段である。加工物と接する研
磨部は駆動手段により速度Ｖで順繰りに移動させられ
る。ここで、研磨部は、ホィールやベルトの内の加工物
と接した部分である。従って、仮に加工物を固定とし、
ホィールやベルトを回転させた場合には、順次研磨部は
更新される。ロボットには、加工物を把持させてもよい
し、また駆動手段を把持させてもよい。加工物を把持さ
せた場合には、加工物は、ロボットにより、所望の研磨
面を得るようにするため、力Ｆn で駆動手段に対し押し
付けられる。力Ｆn は、数式Ｆto／α≧Ｆn ≧Ｆn0の範
囲で制御する。力Ｆn が、Ｆn0以上としたことにより、
確実に切り屑を生成できる。また、力Ｆn が、Ｆto／α
以下としたことにより、発生熱や工具磨耗を低減出来
る。
【００１２】また、本発明は、前記速度Ｖは、前記研磨
面が所望の研磨面となるように予め定めた単位時間当た
りの研磨量Ｇ、単位切屑断面積当たりの比研磨抵抗Ｋ
S 、前記研磨部と加工物とが接する接線方向の摩擦力Ｆ
t を定義したときの数式Ｖ＝ＫS ・Ｇ／Ｆt に基づき制
御することを特徴とする。所望の研磨面となるよう予め
研磨量Ｇを求めておく。接線方向の摩擦力Ｆt は刻々変
化するため、速度Ｖは、数式Ｖ＝ＫS ・Ｇ／Ｆt に基づ
き制御する。このことにより、研磨量Ｇを一定に出来
る。
面が所望の研磨面となるように予め定めた単位時間当た
りの研磨量Ｇ、単位切屑断面積当たりの比研磨抵抗Ｋ
S 、前記研磨部と加工物とが接する接線方向の摩擦力Ｆ
t を定義したときの数式Ｖ＝ＫS ・Ｇ／Ｆt に基づき制
御することを特徴とする。所望の研磨面となるよう予め
研磨量Ｇを求めておく。接線方向の摩擦力Ｆt は刻々変
化するため、速度Ｖは、数式Ｖ＝ＫS ・Ｇ／Ｆt に基づ
き制御する。このことにより、研磨量Ｇを一定に出来
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。本発明の実施形態の構成図を図１に
示す。図１において、加工物１は例えばアルミニウムや
鉄製の鋳型等である。研磨工具３はホィールであり、加
工物１と接触することで加工物１の所定面を研磨するよ
うになっている。加工物１は、ロボット９により把持さ
れ、研磨工具３に対し法線方向押付力Ｆn で押し付けら
れるようになっている。力センサ１１は、ロボット９の
一端に取り付けられ、法線方向押付力Ｆn や接線方向摩
擦力Ｆt を検出するようになっている。
基づいて説明する。本発明の実施形態の構成図を図１に
示す。図１において、加工物１は例えばアルミニウムや
鉄製の鋳型等である。研磨工具３はホィールであり、加
工物１と接触することで加工物１の所定面を研磨するよ
うになっている。加工物１は、ロボット９により把持さ
れ、研磨工具３に対し法線方向押付力Ｆn で押し付けら
れるようになっている。力センサ１１は、ロボット９の
一端に取り付けられ、法線方向押付力Ｆn や接線方向摩
擦力Ｆt を検出するようになっている。
【００１４】そして、検出された法線方向押付力Ｆnと
接線方向摩擦力Ｆt は、ホストコンピュータ１３に入力
され、必要な法線方向押付力設定値Ｆnsと研磨工具３の
速度設定値Ｖs が演算されるようになっている。ロボッ
トコントローラ１５は、法線方向押付力設定値Ｆnsに基
づきロボット９を制御するようになっている。また、モ
ータドライバ１７は、速度設定値Ｖs に基づき研磨工具
３の回転を制御するようになっている。研磨工具３は、
図示しないＡＣサーボモータにより、研磨速度Ｖが任意
に可変可能なようになっている。
接線方向摩擦力Ｆt は、ホストコンピュータ１３に入力
され、必要な法線方向押付力設定値Ｆnsと研磨工具３の
速度設定値Ｖs が演算されるようになっている。ロボッ
トコントローラ１５は、法線方向押付力設定値Ｆnsに基
づきロボット９を制御するようになっている。また、モ
ータドライバ１７は、速度設定値Ｖs に基づき研磨工具
３の回転を制御するようになっている。研磨工具３は、
図示しないＡＣサーボモータにより、研磨速度Ｖが任意
に可変可能なようになっている。
【００１５】次に作用を説明する。まず、法線方向押付
力Ｆn の制御方法について説明する。上滑り、掘り起こ
し現象が起きる領域を超えて、砥粒７が切屑を生成する
法線方向押付力Ｆn0を実験などによって予め求めてお
く。実験などによるのは、砥粒７が切屑を生成する法線
方向押付力Ｆn0は、加工物１の使用材料等によって異な
ることが予想されるからである。従って、研磨加工中の
法線方向押付力Ｆnは、数２のように表される。
力Ｆn の制御方法について説明する。上滑り、掘り起こ
し現象が起きる領域を超えて、砥粒７が切屑を生成する
法線方向押付力Ｆn0を実験などによって予め求めてお
く。実験などによるのは、砥粒７が切屑を生成する法線
方向押付力Ｆn0は、加工物１の使用材料等によって異な
ることが予想されるからである。従って、研磨加工中の
法線方向押付力Ｆnは、数２のように表される。
【００１６】
【数２】 更に、高品質の研磨面を長期的に保つため、発生熱や工
具摩耗を低減させる接線方向摩擦力Ｆt＝Ｆt0にしなけ
ればならない。ここで、法線方向押付力Ｆnと接線方向
摩擦力Ｆtには数３のような関係がある。
具摩耗を低減させる接線方向摩擦力Ｆt＝Ｆt0にしなけ
ればならない。ここで、法線方向押付力Ｆnと接線方向
摩擦力Ｆtには数３のような関係がある。
【００１７】
【数３】 但し、αは、摩擦係数である。従って、法線方向押付力
Ｆnの値によって接線方向摩擦力Ｆtが決まってしまうた
め、数２と数３より法線方向押付力Ｆnが数４となるよ
うに制御する。
Ｆnの値によって接線方向摩擦力Ｆtが決まってしまうた
め、数２と数３より法線方向押付力Ｆnが数４となるよ
うに制御する。
【００１８】
【数４】 研磨加工中の法線方向押付力Ｆnは力センサ１１により
検出する。以上の法線方向押付力Ｆn の制御により、確
実に切り屑を生成でき、また、発生熱や工具磨耗を低減
出来る。
検出する。以上の法線方向押付力Ｆn の制御により、確
実に切り屑を生成でき、また、発生熱や工具磨耗を低減
出来る。
【００１９】次に、研磨速度Ｖの制御方法について説明
する。研磨速度Ｖは数５のように表される。
する。研磨速度Ｖは数５のように表される。
【００２０】
【数５】 但し、単位時間当たりの研磨量Ｇ、単位切屑断面積当た
りの比研磨抵抗ＫS 、接線方向の摩擦力Ｆt である。こ
のため、研磨速度Ｖを制御するためには、単位時間当た
りの研磨量Ｇ、比研磨抵抗Ｋs、接線方向摩擦力Ｆtの値
を出す必要がある。単位時間当たりの研磨量Ｇについて
は、例えば加工前の表面粗さと目標表面粗さよりファジ
ィ推論によって必要な研磨量を推定する、などの方法に
よって値を求めておく。また、比研磨抵抗Ｋsについて
は、実験などによって予め算出しておく。接線方向摩擦
力Ｆtは、力センサ１１によって値を検知する。
りの比研磨抵抗ＫS 、接線方向の摩擦力Ｆt である。こ
のため、研磨速度Ｖを制御するためには、単位時間当た
りの研磨量Ｇ、比研磨抵抗Ｋs、接線方向摩擦力Ｆtの値
を出す必要がある。単位時間当たりの研磨量Ｇについて
は、例えば加工前の表面粗さと目標表面粗さよりファジ
ィ推論によって必要な研磨量を推定する、などの方法に
よって値を求めておく。また、比研磨抵抗Ｋsについて
は、実験などによって予め算出しておく。接線方向摩擦
力Ｆtは、力センサ１１によって値を検知する。
【００２１】研磨加工能率を高めて高品質な研磨面を得
るためには、単位時間当たりの研磨量Ｇを一定にするの
が望ましい。このため、比研磨抵抗Ｋsが一定であると
すると、数５より研磨速度Ｖと接線方向摩擦力Ｆtの関
係を求め、刻々変化する接線方向摩擦力Ｆtに対し研磨
速度ＶをＡＣサーボモータなどによって制御する。但
し、研磨速度Ｖは接線方向摩擦力Ｆtの変化量により、
ファジィ推論などで制御しても良い。このことは、例え
ば、接線方向摩擦力Ｆtの変化量が少量ならば、研磨速
度Ｖの値は変化させないといったような制御が考えられ
る。
るためには、単位時間当たりの研磨量Ｇを一定にするの
が望ましい。このため、比研磨抵抗Ｋsが一定であると
すると、数５より研磨速度Ｖと接線方向摩擦力Ｆtの関
係を求め、刻々変化する接線方向摩擦力Ｆtに対し研磨
速度ＶをＡＣサーボモータなどによって制御する。但
し、研磨速度Ｖは接線方向摩擦力Ｆtの変化量により、
ファジィ推論などで制御しても良い。このことは、例え
ば、接線方向摩擦力Ｆtの変化量が少量ならば、研磨速
度Ｖの値は変化させないといったような制御が考えられ
る。
【００２２】この間の演算は、ホストコンピュータ１３
で処理される。ホストコンピュータ１３からは、法線方
向押付力設定値Ｆnsと研磨工具３の速度設定値Ｖs が出
力される。そして、ロボットコントローラ１５は、法線
方向押付力設定値Ｆnsに基づきロボット９により法線方
向押付力Ｆnを制御する。また、モータドライバ１７
は、速度設定値Ｖs に基づき研磨工具３の研磨速度Ｖを
制御する。研磨速度Ｖは、ＡＣサーボモータにより可変
制御される。以上の研磨速度Ｖの制御により、研磨量Ｇ
を一定に確保出来る。
で処理される。ホストコンピュータ１３からは、法線方
向押付力設定値Ｆnsと研磨工具３の速度設定値Ｖs が出
力される。そして、ロボットコントローラ１５は、法線
方向押付力設定値Ｆnsに基づきロボット９により法線方
向押付力Ｆnを制御する。また、モータドライバ１７
は、速度設定値Ｖs に基づき研磨工具３の研磨速度Ｖを
制御する。研磨速度Ｖは、ＡＣサーボモータにより可変
制御される。以上の研磨速度Ｖの制御により、研磨量Ｇ
を一定に確保出来る。
【００２３】なお、法線方向押付力Ｆnは力センサ１１
により検出するとしたが、オブザーバーにより推定して
もよいし、またアクチュエータにより法線方向押付力Ｆ
nの検出と制御を兼ねてもよい。
により検出するとしたが、オブザーバーにより推定して
もよいし、またアクチュエータにより法線方向押付力Ｆ
nの検出と制御を兼ねてもよい。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
力Ｆn をＦn0以上としたことにより、確実に切り屑を生
成できる。また、力Ｆn をＦto／α以下としたことによ
り、発生熱や工具磨耗を低減出来る。更に、駆動手段の
速度Ｖを所定条件下で制御することで、研磨量Ｇを一定
に出来る。このため、長期に渡り安定して所望の研磨面
を得ることが出来る。
力Ｆn をＦn0以上としたことにより、確実に切り屑を生
成できる。また、力Ｆn をＦto／α以下としたことによ
り、発生熱や工具磨耗を低減出来る。更に、駆動手段の
速度Ｖを所定条件下で制御することで、研磨量Ｇを一定
に出来る。このため、長期に渡り安定して所望の研磨面
を得ることが出来る。
【００２５】
【図１】 本発明の実施形態の構成図
【図２】 研磨加工における切屑生成過程を示す図
【図３】 研磨面創成曲線を示す図
１ 加工物 ３ 研磨工具 ５ 切屑 ７ 砥粒 ９ ロボット １１ 力センサ １３ ホストコンピュータ １５ ロボットコントローラ １７ モータドライバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 牧野嶋 博之 千葉県習志野市屋敷４丁目３番１号 セ イコー精機株式会社内 (56)参考文献 特開 平６−218671（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−186035（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−31592（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−312360（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−278007（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−251359（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−4753（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭60−3552（ＪＰ，Ｂ２) 河村末久外著、外加工学基礎２「研削 加工と砥粒加工」、初版８刷、共立出版 株式会社（1994年10月５日) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B24B 49/16 B24B 27/00
Claims (2)
- 【請求項１】 速度Ｖで研磨部を駆動させる駆動手段
と、前記研磨部に対し加工物を力Ｆn で押し付け又は加
工物に対し前記研磨部を力Ｆn で押し付け所望の研磨面
を得るロボットを備える研磨装置において、前記力Ｆn
は、予め算出した切り屑を生成し始めるときの力Ｆn0、
研磨時の発生熱や工具磨耗を許容限度に抑えるときの力
Ｆto、摩擦係数αを定義したときの数式Ｆto／α≧Ｆn
≧Ｆn0の範囲で制御することを特徴とする研磨装置。 - 【請求項２】 前記速度Ｖは、前記研磨面が所望の研磨
面となるように予め定めた単位時間当たりの研磨量Ｇ、
単位切屑断面積当たりの比研磨抵抗ＫS 、前記研磨部と
加工物とが接する接線方向の摩擦力Ｆt を定義したとき
の数式Ｖ＝ＫS ・Ｇ／Ｆt に基づき制御することを特徴
とする請求項１記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6214998A JP2958635B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6214998A JP2958635B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11245164A JPH11245164A (ja) | 1999-09-14 |
| JP2958635B2 true JP2958635B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=13191768
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6214998A Expired - Fee Related JP2958635B2 (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2958635B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7059946B1 (en) | 2000-11-29 | 2006-06-13 | Psiloquest Inc. | Compacted polishing pads for improved chemical mechanical polishing longevity |
| US6579604B2 (en) | 2000-11-29 | 2003-06-17 | Psiloquest Inc. | Method of altering and preserving the surface properties of a polishing pad and specific applications therefor |
| US6688956B1 (en) | 2000-11-29 | 2004-02-10 | Psiloquest Inc. | Substrate polishing device and method |
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1998
- 1998-02-26 JP JP6214998A patent/JP2958635B2/ja not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 河村末久外著、外加工学基礎２「研削加工と砥粒加工」、初版８刷、共立出版株式会社（１９９４年１０月５日） |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11245164A (ja) | 1999-09-14 |
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