JP2955356B2 - Multi-input magnetic field detector - Google Patents

Multi-input magnetic field detector

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JP2955356B2
JP2955356B2 JP2340706A JP34070690A JP2955356B2 JP 2955356 B2 JP2955356 B2 JP 2955356B2 JP 2340706 A JP2340706 A JP 2340706A JP 34070690 A JP34070690 A JP 34070690A JP 2955356 B2 JP2955356 B2 JP 2955356B2
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智 藤田
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OOSAKA GASU KK
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、たとえば人体などから発生される微弱な磁
界を検出するための超電導量子干渉素子(Superconduct
ing Quantum Interference Device、略称SQUID)を用い
る多入力磁界検出装置に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a superconducting quantum interference device for detecting a weak magnetic field generated from, for example, a human body.
The present invention relates to a multi-input magnetic field detecting device using an Quantum Interference Device (abbreviated as SQUID).

従来の技術 従来からの超電導量子干渉素子を用いる磁界検出装置
では、単一入力形超電導量子干渉素子を数個程度用意し
て、生体等から生じる微弱な磁界を検出して計測する構
成を有する。しかし時々刻々と変化する生体信号を正確
に捕らえるには、入力数をできるだけ増やす必要があ
り、従来では第4図に簡略化して示されるいわゆる電圧
バイアス方式の多入力磁界検出装置が試みられている。
複数の第1超電導量子干渉素子S10〜S30が並列に接続さ
れ、これらは、抵抗RとコイルL0の直列回路に、並列に
接続され、直流定電流源31に接続される。さらにコイル
L0に電磁結合するもう1つの第2超電導量子干渉素子S4
0が設けられ、それは、直流定電流源32に接続される。
第2超電導量子干渉素子S40の出力は、コンデンサ33と
コイル34とを有する直列共振回路から、高周波rfケーブ
ル35を介して増幅回路36に与えられて増幅されて導出さ
れる。
2. Description of the Related Art A conventional magnetic field detecting device using a superconducting quantum interference device has a configuration in which several single-input superconducting quantum interference devices are prepared, and a weak magnetic field generated from a living body or the like is detected and measured. However, it is necessary to increase the number of inputs as much as possible in order to accurately capture a biological signal that changes every moment. Conventionally, a so-called voltage-bias type multi-input magnetic field detection device shown in a simplified form in FIG. 4 has been tried. .
A plurality of first superconducting quantum interference devices S10 to S30 are connected in parallel, these are connected in parallel to a series circuit of a resistor R and a coil L0, and connected to a DC constant current source 31. More coils
Another second superconducting quantum interference device S4 electromagnetically coupled to L0
0 is provided, which is connected to a DC constant current source 32.
The output of the second superconducting quantum interference device S40 is supplied from a series resonance circuit having a capacitor 33 and a coil 34 to an amplification circuit 36 via a high-frequency rf cable 35, amplified and derived.

こうして磁界を検出するための第1超電導量子干渉素
子S10〜S30には、抵抗Rによつて定められる共通の一定
電圧でバイアスされ、外部磁束が超電導量子干渉素子S1
0〜S30を鎖交することによつて、たとえばk番目の超電
導量子干渉素子S10〜S30のうちの1つから電流Δikが導
出され、コイルL0を介して第2超電導量子干渉素子S40
に伝達される。
Thus, the first superconducting quantum interference devices S10 to S30 for detecting the magnetic field are biased at a common constant voltage determined by the resistor R, and an external magnetic flux is applied to the superconducting quantum interference device S1.
By interlinking 0 to S30, for example, a current Δik is derived from one of the k-th superconducting quantum interference devices S10 to S30, and the current Δik is obtained via the coil L0.
Is transmitted to

このような電圧バイアス方式の多入力磁界検出装置で
は、コイルL0のインピーダンスをZとすると、 成る関係で、S/N比が最適化できる。
In such a multi-input magnetic field detection device of the voltage bias type, when the impedance of the coil L0 is Z, With this relationship, the S / N ratio can be optimized.

ここでrは、超電導量子干渉素子S10〜S30の動作抵抗
であり、nは、超電導量子干渉素子S10〜S30の数、すな
わち入力数である。
Here, r is the operating resistance of the superconducting quantum interference devices S10 to S30, and n is the number of superconducting quantum interference devices S10 to S30, that is, the number of inputs.

このような電圧バイアス方式の多入力磁界検出装置で
は、並列に接続されている複数の第1超電導量子干渉素
子S10〜S30の特性を揃える必要がなく、また回路構成が
簡単であり、しかも単一入力のときに比べてS/N比の向
上が期待されるという優れた利点がある。しかし、次の
問題がある。
In such a voltage-biased multi-input magnetic field detection device, it is not necessary to make the characteristics of the plurality of first superconducting quantum interference devices S10 to S30 connected in parallel uniform, the circuit configuration is simple, and a single There is an excellent advantage that an improvement in the S / N ratio is expected as compared with the case of input. However, there are the following problems.

k番目の超電導量子干渉素子、たとえばS10からの出
力によつてコイルL0に生じる電流変化ikは、第2式で示
される。
The current change ik generated in the coil L0 by the output from the k-th superconducting quantum interference device, for example, S10 is expressed by the following equation (2).

ここで抵抗Rの抵抗値は同一の参照符Rで示し、ωk
は、k番目の超電導量子干渉素子S10〜S30のうちの1つ
の低周波雑音を除去するために与えられる交流信号の変
調角周波数であり、nは、並列に接続されている超電導
量子干渉素子S10〜S30の数である。
Here, the resistance value of the resistor R is indicated by the same reference symbol R, and ωk
Is a modulation angular frequency of an AC signal provided for removing low-frequency noise of one of the k-th superconducting quantum interference devices S10 to S30, and n is a superconducting quantum interference device S10 connected in parallel. ~ S30.

発明が解決すべき課題 このような第4図に示される先行技術では、入力数
n、すなわち超電導量子干渉素子S10〜S30の数の増加に
従つて、コイルL0に生じる電流変化ikが小さくなり、し
たがつて第2超電導量子干渉素子S40への信号の伝達効
率が低下するという問題がある。
Problems to be Solved by the Invention In such a prior art shown in FIG. 4, as the number of inputs n, that is, the number of superconducting quantum interference devices S10 to S30 increases, the current change ik generated in the coil L0 decreases, Therefore, there is a problem that the signal transmission efficiency to the second superconducting quantum interference device S40 decreases.

したがつてこのような先行技術を、生体計測に応用す
ることができる程度まで、入力数を、たとえば100程度
に増やすことは困難である。
Therefore, it is difficult to increase the number of inputs to, for example, about 100 to the extent that such prior art can be applied to biological measurement.

本発明の目的は、多入力時の伝達効率の悪化を軽減す
ることができるようにした多入力磁界検出装置を提供す
ることである。
An object of the present invention is to provide a multi-input magnetic field detection device capable of reducing deterioration of transmission efficiency at the time of multi-input.

課題を解決するための手段 本発明は、超電導リングにジヨセフソン接合を組合わ
せて構成される第1超電導量子干渉素子を複数個並列に
接続して第1の並列回路を構成し、この第1並列回路に
は、直流バイアス電圧が印加され、 この第1並列回路の出力を、超電導リングにジヨセフ
ソン接合を組合わせて構成される第2超電導量子干渉素
子に電磁結合して与え、 第2超電導量子干渉素子を複数個並列に接続して第2
の並列回路を構成し、 第2並列回路の出力を導出する手段を含むことを特徴
とする多入力磁界検出装置である。
Means for Solving the Problems According to the present invention, a first parallel circuit is formed by connecting a plurality of first superconducting quantum interference elements formed by combining a Josephson junction with a superconducting ring, and forming a first parallel circuit. A DC bias voltage is applied to the circuit, and the output of the first parallel circuit is electromagnetically coupled to a second superconducting quantum interference device configured by combining a Josephson junction with a superconducting ring, and the second superconducting quantum interference Connect a plurality of elements in parallel to
And a means for deriving an output of the second parallel circuit.

作 用 本発明に従えば、第1並列回路を構成する複数の第1
超電導量子干渉素子の出力は、電磁結合によつて、第2
並列回路を構成する第2超電導量子干渉素子に伝達さ
れ、この第2並列回路の出力が導出されるように構成し
たので、第2超電導量子干渉素子の1つに対して、複数
の第1超電導量子干渉素子が対応して接続されることに
なり、したがつて多入力時の第1並列回路から第2超電
導量子干渉素子への電磁結合による伝達効率の悪化を軽
減することが可能になる。
According to the present invention, a plurality of first parallel circuits constituting a first parallel circuit are provided.
The output of the superconducting quantum interference device is output to the second
The second superconducting quantum interference device forming the parallel circuit is transmitted to the second superconducting quantum interference device, and the output of the second parallel circuit is derived. The quantum interference devices are connected correspondingly, so that it is possible to reduce the deterioration of transmission efficiency due to electromagnetic coupling from the first parallel circuit to the second superconducting quantum interference device at the time of multiple inputs.

実施例 第1図は、本発明の一実施例の全体の電気回路図であ
る。第1の並列回路1には複数(この実施例では3)の
検出ユニツトU11〜U13が設けられ、各検出ユニツトU11
〜U13では、ライン2,3間に、第1超電導量子干渉素子S1
1〜S13が並列に接続される。検出ユニツトU11におい
て、第1超電導量子干渉素子S11に電磁結合するコイルL
11bが設けられ、このコイルL11bには並列に、磁界の検
出を行うためのピツクアツプコイルL11cが接続される。
さらにまたこの第1超電導量子干渉素子S11には、帰還
コイルL11aが接続される。残余の検出ユニツトU12,U13
もまた同様な構成となつており、対応する部分には類似
する参照符を付して示す。
Embodiment FIG. 1 is an overall electric circuit diagram of an embodiment of the present invention. The first parallel circuit 1 is provided with a plurality (three in this embodiment) of detection units U11 to U13.
In U13, between the lines 2 and 3, the first superconducting quantum interference device S1
1 to S13 are connected in parallel. In the detection unit U11, the coil L electromagnetically coupled to the first superconducting quantum interference device S11
A pickup coil L11c for detecting a magnetic field is connected in parallel to the coil L11b.
Furthermore, a feedback coil L11a is connected to the first superconducting quantum interference device S11. Residual detection units U12, U13
Has a similar configuration, and corresponding parts are denoted by similar reference numerals.

ライン2,3間には、抵抗R1と信号伝達のためのコイルL
1との直列回路4が、並列に接続されている。ライン2,3
間には、直流定電流源11から一定の電流が供給され、し
たがつてライン2,3間に一定の電圧V11が生じ、この電圧
は、第1超電導量子干渉素子S11〜S13に共通に与えられ
て直流バイアス電圧が印加されることになる。
Between lines 2 and 3, a resistor R1 and a coil L for signal transmission
1 and a series circuit 4 are connected in parallel. Line 2,3
A constant current is supplied from the DC constant current source 11 to generate a constant voltage V11 between the lines 2 and 3, and this voltage is commonly applied to the first superconducting quantum interference devices S11 to S13. As a result, a DC bias voltage is applied.

複数(この実施例では3)の第2の超電導量子干渉素
子S1〜S3は、ライン5,6間に並列に接続されており、第
2の超電導量子干渉素子S1は、前記コイルL1に電磁結合
される。この第2超電導量子干渉素子S1にはまた、帰還
コイルL1aが電磁結合して設けられる。残余の第2超電
導量子干渉素子S2,S3に関してもまた同様な構成となつ
ており、対応する部分には類似する参照符を付す。さら
にまた各第2超電導量子干渉素子S2,S3に関連して、検
出ユニツトU21〜U23,U31〜U33がライン7,8;9,10に接続
されて第1並列回路42,43が構成される。また第2超電
導量子干渉素子S1〜S3が前述のライン5,6に接続され
て、第2並列回路44が構成される。
A plurality of (three in this embodiment) second superconducting quantum interference devices S1 to S3 are connected in parallel between lines 5 and 6, and the second superconducting quantum interference device S1 is electromagnetically coupled to the coil L1. Is done. The second superconducting quantum interference device S1 is also provided with a feedback coil L1a which is electromagnetically coupled. The remaining second superconducting quantum interference devices S2 and S3 have the same configuration, and corresponding portions are denoted by similar reference numerals. Further, in relation to each second superconducting quantum interference device S2, S3, detection units U21 to U23, U31 to U33 are connected to lines 7, 8, 9, and 10, respectively, to form first parallel circuits 42, 43. . Further, the second superconducting quantum interference devices S1 to S3 are connected to the above-described lines 5 and 6, and the second parallel circuit 44 is configured.

超電導量子干渉素子S11は、超電導リングにジヨセフ
ソン接合を組合わせて構成される。ジヨセフソン接合
は、ニオブなどの超電導体によるトンネル接合であり、
絶縁膜をたとえば2nm程度まで薄くすることによつて、
零電圧のままで電流が流れ、電子対のままトンネルリン
グを起こしてジヨセフソン効果を生じさせる。この超電
導量子干渉素子S11は、トンネル接合に限定されず、他
には点接触型(あるいはポイントコンタクトタイプ)、
ブリツジ型(あるいはブリツジタイプ)もありうる。他
の素子S12,S13,S1〜S3などおよび後述のS0も同様な構成
を有する。
The superconducting quantum interference device S11 is configured by combining a Josephson junction with a superconducting ring. The Josephson junction is a tunnel junction using a superconductor such as niobium,
By thinning the insulating film to, for example, about 2 nm,
A current flows at zero voltage, and tunnelling occurs as an electron pair, causing the Josephson effect. This superconducting quantum interference device S11 is not limited to a tunnel junction, but may be a point contact type (or point contact type),
There may also be a bridge type (or bridge type). Other elements S12, S13, S1 to S3, etc., and S0 described later have the same configuration.

検出ユニツトU11の第1超電導量子干渉素子S11の電流
I1と、電圧V1との間の関係を示すいわゆるI−V特性
は、第2図(1)に示されている。超電導量子干渉素子
S11の超電導リングに電流I1を流していくと、その電流I
1が、臨界電流Ic1未満では、その電圧V1は零である。電
流I1が臨界電流Ic1以上では、電圧V1が生じる。外部磁
束φxが、 φx=n・φ0 …(3) であるとき、ラインl1の特性が得られ、 のときラインl2の特性が得られる。外部磁束φxがその
他の値では、これらのラインl1,l2の間の値をとる。こ
こでφ0は、磁束量子であり、2.07×10-15Wbであり、
nは自然数(すなわちn=0,1,2,3,4,…)であつて、磁
束量子数である。
Current of the first superconducting quantum interference device S11 of the detection unit U11
The so-called IV characteristic showing the relationship between I1 and voltage V1 is shown in FIG. 2 (1). Superconducting quantum interference device
When the current I1 flows through the superconducting ring of S11, the current I1
When 1 is less than the critical current Ic1, the voltage V1 is zero. When the current I1 is equal to or greater than the critical current Ic1, a voltage V1 is generated. When the external magnetic flux φx is φx = n · φ0 (3), the characteristic of the line l1 is obtained, In this case, the characteristics of the line l2 are obtained. If the external magnetic flux φx has any other value, it takes a value between these lines l1 and l2. Here, φ0 is a flux quantum, which is 2.07 × 10 −15 Wb,
n is a natural number (that is, n = 0, 1, 2, 3, 4,...) and is a magnetic flux quantum number.

電圧V1を、電流I1が臨界電流Ic1の近傍で、その臨界
電流Ic1よりも大きい値となるように設定したとき、外
部磁束φxが超電導量子干渉素子S1を鎖交すると、第2
図(2)で示される振幅Δiの波形が高感度で得られ、
このようにして外部磁束の変化に対して周期的な電流応
答波形が得られる。
When the voltage V1 is set so that the current I1 is in the vicinity of the critical current Ic1 and larger than the critical current Ic1, when the external magnetic flux φx links the superconducting quantum interference device S1, the second
The waveform of the amplitude Δi shown in FIG.
In this manner, a current response waveform that is periodic with respect to changes in the external magnetic flux is obtained.

第3図を参照して、帰還コイルL11aに与えられる変調
周波数信号は、磁束量子数n(=φx/φ0)がnあるい
は(n+1/2)であつて、極値に固定するように、与え
る。これによつて第1超電導量子干渉素子S11からの出
力は、交流電源15の変調周波数1の2倍の周波数2・
1の成分が含まれた波形14となる。変調周波数信号
が、電圧V1の極値をずれて、たとえば磁束量子数が(n
+3/4)であるときには、参照符15で示されるように、
変調周波数1の成分が第1超電導量子干渉素子S1の出
力に含まれることになる。
Referring to FIG. 3, the modulation frequency signal applied to feedback coil L11a is applied such that the magnetic flux quantum number n (= φx / φ0) is n or (n + 1/2) and is fixed to an extreme value. . As a result, the output from the first superconducting quantum interference device S11 has a frequency 2.times.
A waveform 14 including the component 1 is obtained. When the modulation frequency signal deviates from the extreme value of the voltage V1, for example, the magnetic flux quantum number becomes (n
+3/4), as indicated by reference numeral 15,
The component of the modulation frequency 1 is included in the output of the first superconducting quantum interference device S1.

第1並列回路1に関連して電気回路51が設けられる。
また同様にして第1並列回路42,43にそれぞれ対応して
電気回路52,53がそれぞれ設けられ、これらの電気回路5
2,53は電気回路51と同様な構成を有する。第2超電導量
子干渉素子S1に電磁結合している帰還コイルL1aには、
交流電源14から、たとえば1〜100MHzの変調周波数を有
する信号が与えられ、この信号はまた、同期検波回路PS
D1の一方の入力に与えられる。同期検波回路PSD1の他方
の入力にはライン45を介して、信号が与えられる。同期
検波回路PSD1は、交流電源14の出力とライン45からの信
号との位相比較を行い、その位相差に対応する電圧をラ
イン46に導出する。ライン46の出力は、第1超電導量子
干渉素子S11〜S13に個別的に対応する同期検波回路PSD1
1〜PSD13の一方の入力に与えられる。各同期検波回路PS
D11〜PSD13の他方の入力には交流電源15〜17からの出力
がそれぞれ与えられ、これらの交流電源15〜17の出力は
また、第1超電導量子干渉素子S11〜S13にそれぞれ電磁
結合している帰還コイルL11a〜L13aに与えられる。これ
らの交流電源15〜17の変調周波数は、たとえば10〜500k
Hzである。各同期検波回路PSD11〜PSD13の出力は端子P1
1〜P13からそれぞれ導出される。
An electric circuit 51 is provided in connection with the first parallel circuit 1.
Similarly, electric circuits 52 and 53 are provided corresponding to the first parallel circuits 42 and 43, respectively.
2 and 53 have the same configuration as the electric circuit 51. The feedback coil L1a electromagnetically coupled to the second superconducting quantum interference device S1 has:
A signal having a modulation frequency of, for example, 1 to 100 MHz is provided from AC power supply 14, and this signal is also supplied to synchronous detection circuit PS.
It is provided to one input of D1. A signal is applied to the other input of the synchronous detection circuit PSD1 via a line 45. The synchronous detection circuit PSD1 performs a phase comparison between the output of the AC power supply 14 and the signal from the line 45, and derives a voltage corresponding to the phase difference to a line 46. The output of the line 46 is a synchronous detection circuit PSD1 corresponding to each of the first superconducting quantum interference devices S11 to S13.
1 to one input of PSD13. Each synchronous detection circuit PS
Outputs from AC power supplies 15 to 17 are respectively provided to the other inputs of D11 to PSD13, and outputs of these AC power supplies 15 to 17 are also electromagnetically coupled to the first superconducting quantum interference devices S11 to S13, respectively. It is provided to feedback coils L11a to L13a. The modulation frequency of these AC power supplies 15-17 is, for example, 10-500k
Hz. The output of each synchronous detection circuit PSD11 to PSD13 is connected to terminal P1.
1 to P13.

第2並列回路44に接続されている信号取出し用のコイ
ルL0には、前述のように第3超電導量子干渉素子S0が電
磁結合される。この第3超電導量子干渉素子S0には直流
定電流源21から一定の電流が供給され、第2超電導量子
干渉素子S0の出力は、コイル47とコンデンサ48とから成
るLC共振回路49によつて増幅され、高周波rfケーブル55
を介して増幅回路56に与えられて増幅され、同期検波回
路PSD0の一方の入力に与えられる。第3超電導量子干渉
素子S0には、帰還コイルL0aが電磁結合して設けられて
おり、この帰還コイルL0aには、交流電源18からたとえ
ば20〜800MHzの変調周波数信号が与えられ、この変調周
波数信号はまた、同期検波回路PSD0の他方の入力に与え
られる。同期検波回路PSD0の出力はライン45に導出さ
れ、前述のように電気回路51,52,53にそれぞれ与えられ
る。
As described above, the third superconducting quantum interference device S0 is electromagnetically coupled to the signal extraction coil L0 connected to the second parallel circuit 44. A constant current is supplied from the DC constant current source 21 to the third superconducting quantum interference device S0, and the output of the second superconducting quantum interference device S0 is amplified by an LC resonance circuit 49 including a coil 47 and a capacitor 48. Is a high frequency rf cable 55
, And is amplified by the amplifier 56, and is applied to one input of the synchronous detection circuit PSD0. A feedback coil L0a is provided in the third superconducting quantum interference element S0 by electromagnetic coupling, and a modulation frequency signal of, for example, 20 to 800 MHz is provided from the AC power supply 18 to the feedback coil L0a. Is also supplied to the other input of the synchronous detection circuit PSD0. The output of the synchronous detection circuit PSD0 is led out to a line 45 and applied to the electric circuits 51, 52, 53 as described above.

このような実施例では、第1並列回路1に接続される
検出ユニツトU11〜U13の数を低減し、しかも第2超電導
量子干渉素子S1〜S3の少ない数で、検出ユニツトU11〜U
33の総数を増大することができ、こうして多点の入力数
の増加にかかわらず、コイルL1,L2,L3から第2超電導量
子干渉素子S1,S2,S3への伝達効率の低下の軽減を図るこ
とができる。
In such an embodiment, the number of the detection units U11 to U13 connected to the first parallel circuit 1 is reduced, and the number of the detection units U11 to U3 is reduced with a small number of the second superconducting quantum interference devices S1 to S3.
33, thus reducing the decrease in transmission efficiency from the coils L1, L2, L3 to the second superconducting quantum interference devices S1, S2, S3 regardless of the increase in the number of inputs at multiple points. be able to.

本発明の他の実施例として、たとえば検出ユニツトU1
1におけるビツクアツプL11cに代えて、第1図に示され
ている並列回路1と同様な構成を電磁結合して、さらに
3段以上の多段化を図るようにしてもよい。
As another embodiment of the present invention, for example, the detection unit U1
Instead of the backup L11c in FIG. 1, a configuration similar to that of the parallel circuit 1 shown in FIG. 1 may be electromagnetically coupled to further increase the number of stages to three or more.

発明の効果 以上のように本発明によれば、複数の第1超電導量子
干渉素子によつて第1の並列回路を構成し、この第1の
並列回路の出力は、第2の並列回路を構成する第2超電
導量子干渉素子に電磁係合して与えられるようにしたの
で、第1並列回路から第2超電導量子干渉素子への入力
数の増加による伝達効率の悪化を軽減することが可能に
なる。
Effects of the Invention As described above, according to the present invention, a first parallel circuit is constituted by a plurality of first superconducting quantum interference devices, and an output of the first parallel circuit constitutes a second parallel circuit. The second superconducting quantum interference device, which is provided by electromagnetically engaging the second superconducting quantum interference device, can reduce transmission efficiency deterioration due to an increase in the number of inputs from the first parallel circuit to the second superconducting quantum interference device. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の一実施例の全体の電気回路図、第2図
は第1超電導量子干渉素子S11の動作を説明するための
図、第3図は帰還コイルL11aの働きを説明するための
図、第4図は先行技術の簡略化した電気回路図である。 1,42,43……第1並列回路、10,11,12,13……直流定電流
源、14〜18……交流電源、44……第2並列回路、U11〜U
33……検出ユニツト、S11〜S13……第1超電導量子干渉
素子、S1〜S3……第2超電導量子干渉素子、PSD0〜PSD1
3……同期検波回路
1 is an overall electric circuit diagram of one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the first superconducting quantum interference device S11, and FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of a feedback coil L11a. FIG. 4 is a simplified electric circuit diagram of the prior art. 1,42,43 ... 1st parallel circuit, 10, 11, 12, 13 ... DC constant current source, 14-18 ... AC power supply, 44 ... 2nd parallel circuit, U11-U
33 detection unit, S11 to S13, first superconducting quantum interference device, S1 to S3, second superconducting quantum interference device, PSD0 to PSD1
3 ... Synchronous detection circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−252182(JP,A) 特開 昭64−50975(JP,A) 特開 昭61−284679(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01R 33/035 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (56) References JP-A-3-252182 (JP, A) JP-A-64-50975 (JP, A) JP-A-61-284679 (JP, A) (58) Investigation Field (Int.Cl. 6 , DB name) G01R 33/035

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】超電導リングにジヨセフソン接合を組合わ
せて構成される第1超電導量子干渉素子を複数個並列に
接続して第1の並列回路を構成し、この第1並列回路に
は、直流バイアス電圧が印加され、 この第1並列回路の出力を、超電導リングにジヨセフソ
ン接合を組合せて構成される第2超電導量子干渉素子に
電磁結合して与え、 第2超電導量子干渉素子を複数個並列に接続して第2の
並列回路を構成し、 第2並列回路の出力を導出する手段を含むことを特徴と
する多入力磁界検出装置。
1. A first parallel circuit comprising a plurality of first superconducting quantum interference devices formed by combining a Josephson junction with a superconducting ring to form a first parallel circuit, wherein the first parallel circuit has a DC bias. A voltage is applied, and the output of the first parallel circuit is electromagnetically coupled to a second superconducting quantum interference device configured by combining a Josephson junction with a superconducting ring, and a plurality of second superconducting quantum interference devices are connected in parallel. And a means for deriving the output of the second parallel circuit.
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