JP2947115B2 - 広帯域低周波水中送波器およびその駆動方法 - Google Patents
広帯域低周波水中送波器およびその駆動方法Info
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- JP2947115B2 JP2947115B2 JP7507295A JP7507295A JP2947115B2 JP 2947115 B2 JP2947115 B2 JP 2947115B2 JP 7507295 A JP7507295 A JP 7507295A JP 7507295 A JP7507295 A JP 7507295A JP 2947115 B2 JP2947115 B2 JP 2947115B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、海洋開発調査等に使用
される低周波水中送波器、特に従来の低周波送波器に比
べて著しく広帯域特性をもつ圧電型送波器に関するもの
である。
される低周波水中送波器、特に従来の低周波送波器に比
べて著しく広帯域特性をもつ圧電型送波器に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】水中において強力超音波を送波するトラ
ンスジューサとしては、ボルト締めランジュバン型トラ
ンスジューサがよく知られている。しかし、このトラン
スジューサは、主に３ｋＨｚ〜数十ｋＨｚで駆動して使
用するのが一般的である。このトランスジューサを３ｋ
Ｈｚ以下の低周波で動作させようとするならば、必然的
にその重量，寸法は大きくならざるを得ず、実用には供
しない。
ンスジューサとしては、ボルト締めランジュバン型トラ
ンスジューサがよく知られている。しかし、このトラン
スジューサは、主に３ｋＨｚ〜数十ｋＨｚで駆動して使
用するのが一般的である。このトランスジューサを３ｋ
Ｈｚ以下の低周波で動作させようとするならば、必然的
にその重量，寸法は大きくならざるを得ず、実用には供
しない。
【０００３】そこで、従来の低周波送波器と呼ばれるも
のには、例えばジャーナル・オブ・アコースティカル・
ソサイアティー・オブ・アメリカ（Ｊ．Ａｃｏｕｓｔ．
Ｓｏｃ．Ａｍ．，ｖｏｌ．６８，Ｎｏ．４，ｐｐ１０４
６〜１０５２（１９８０．１０）に記載されているよう
に、図２に示す楕円形シェルを用いたフレックステンシ
ョナル型、あるいは特開昭６１−１３３８８３号に記載
されているように、ヒンジとレバーにより圧電磁気の変
位を拡大させて音響放射体に伝える図３に示すような低
周波送波器がある。この他、いくつかの低周波帯で動作
する送波器があるが、これら従来の低周波送波器はいず
れも共振振動モードを利用したものである。
のには、例えばジャーナル・オブ・アコースティカル・
ソサイアティー・オブ・アメリカ（Ｊ．Ａｃｏｕｓｔ．
Ｓｏｃ．Ａｍ．，ｖｏｌ．６８，Ｎｏ．４，ｐｐ１０４
６〜１０５２（１９８０．１０）に記載されているよう
に、図２に示す楕円形シェルを用いたフレックステンシ
ョナル型、あるいは特開昭６１−１３３８８３号に記載
されているように、ヒンジとレバーにより圧電磁気の変
位を拡大させて音響放射体に伝える図３に示すような低
周波送波器がある。この他、いくつかの低周波帯で動作
する送波器があるが、これら従来の低周波送波器はいず
れも共振振動モードを利用したものである。
【０００４】図２に示す従来の低周波送波器は、短軸２
ａと長軸２ｂをもつ楕円形シェルをなす圧電磁気柱状体
２１内に圧電アクティブエレメント２０を内装した構成
となっている。また図３に示す低周波送波器は、圧電磁
気を用いたアクティブ柱状体３１と、アクティブ柱状体
３１に沿って配置された非アクティブ柱状体３２と、２
種の柱状体３１，３２の両端部と接続するヒンジ３３と
レバー３４からなる変位拡大機構と、変位拡大機構と連
結棒３５を介して連結する音響放射体３６とを有してい
る。３７はＯリング，３８はキャビネットである。
ａと長軸２ｂをもつ楕円形シェルをなす圧電磁気柱状体
２１内に圧電アクティブエレメント２０を内装した構成
となっている。また図３に示す低周波送波器は、圧電磁
気を用いたアクティブ柱状体３１と、アクティブ柱状体
３１に沿って配置された非アクティブ柱状体３２と、２
種の柱状体３１，３２の両端部と接続するヒンジ３３と
レバー３４からなる変位拡大機構と、変位拡大機構と連
結棒３５を介して連結する音響放射体３６とを有してい
る。３７はＯリング，３８はキャビネットである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】海洋開発調査用の送波
器には、多数の情報データの収集，伝達を行うという目
的のため、広帯域特性をもつことが要求される。しか
し、従来技術記載の送波器のような共振振動を利用した
送波器においては、その帯域特性を広帯域なものにしよ
うとした場合、放射面積を大きくする必要があり、その
ため送波器寸法が大型化してしまうという問題があっ
た。従来送波器では、このような理由により小型化が優
先され、広帯域化には限界があり、水中において得られ
る比帯域幅はせいぜい３０％と狭帯域であった。
器には、多数の情報データの収集，伝達を行うという目
的のため、広帯域特性をもつことが要求される。しか
し、従来技術記載の送波器のような共振振動を利用した
送波器においては、その帯域特性を広帯域なものにしよ
うとした場合、放射面積を大きくする必要があり、その
ため送波器寸法が大型化してしまうという問題があっ
た。従来送波器では、このような理由により小型化が優
先され、広帯域化には限界があり、水中において得られ
る比帯域幅はせいぜい３０％と狭帯域であった。
【０００６】本発明の目的は、音響放射能力および効率
を高く保ったまま、さらに広帯域な特性をもつ広帯域低
周波水中送波器およびその駆動方法を提供することにあ
る。
を高く保ったまま、さらに広帯域な特性をもつ広帯域低
周波水中送波器およびその駆動方法を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る広帯域低周波水中送波器は、筐体と、
圧電アクティブエレメントと、音響放射板とを有する広
帯域低周波水中送波器であって、筐体は、板状をなす剛
体からなり、その表裏両面に凹部を設けたものであり、
圧電アクティブエレメントは、圧電ｄ定数の大きな圧電
材料の積層構造体からなり、その積層方向に伸縮するも
のであって、前記筐体の凹部に複数設けられ、その一端
が前記筐体に定着されたものであり、音響放射板は、前
記筐体の表裏面側にそれぞれ位置して前記圧電アクティ
ブエレメントに定着され、圧電アクティブエレメントの
振動に伴う音波を放射するものである。
め、本発明に係る広帯域低周波水中送波器は、筐体と、
圧電アクティブエレメントと、音響放射板とを有する広
帯域低周波水中送波器であって、筐体は、板状をなす剛
体からなり、その表裏両面に凹部を設けたものであり、
圧電アクティブエレメントは、圧電ｄ定数の大きな圧電
材料の積層構造体からなり、その積層方向に伸縮するも
のであって、前記筐体の凹部に複数設けられ、その一端
が前記筐体に定着されたものであり、音響放射板は、前
記筐体の表裏面側にそれぞれ位置して前記圧電アクティ
ブエレメントに定着され、圧電アクティブエレメントの
振動に伴う音波を放射するものである。
【０００８】また前記圧電アクティブエレメントは、圧
電ｄ定数の大きな圧電材料に代えて、歪の大きなリラク
サー系の電歪材料を用いたものである。
電ｄ定数の大きな圧電材料に代えて、歪の大きなリラク
サー系の電歪材料を用いたものである。
【０００９】また前記筐体は、水の音響インピーダンス
の少なくとも９倍以上大きな材料からなるものである。
の少なくとも９倍以上大きな材料からなるものである。
【００１０】また本発明に係る広帯域低周波水中送波器
の駆動方法は、圧電アクティブエレメントを振動させ
て、音響放射板から音波を放射させる広帯域低周波水中
送波器の駆動方法であって、圧電アクティブエレメント
は、圧電ｄ定数の大きな圧電材料からなり、板状をなす
筐体の表裏両面に取付けられたものであり、筐体両面の
圧電アクティブエレメントを、固有の共振周波数より低
い周波数で、しかも筐体両面側において同相で非共振駆
動するものである。
の駆動方法は、圧電アクティブエレメントを振動させ
て、音響放射板から音波を放射させる広帯域低周波水中
送波器の駆動方法であって、圧電アクティブエレメント
は、圧電ｄ定数の大きな圧電材料からなり、板状をなす
筐体の表裏両面に取付けられたものであり、筐体両面の
圧電アクティブエレメントを、固有の共振周波数より低
い周波数で、しかも筐体両面側において同相で非共振駆
動するものである。
【００１１】また 圧電アクティブエレメントを振動さ
せて、音響放射板から音波を放射させる広帯域低周波水
中送波器の駆動方法であって、圧電アクティブエレメン
トは、歪の大きなリラクサー系の電歪材料からなり、板
状をなす筐体の表裏両面に取付けられたものであり、筐
体両面の圧電アクティブエレメントを、直流バイアス電
界を印加して交流で駆動するものである。
せて、音響放射板から音波を放射させる広帯域低周波水
中送波器の駆動方法であって、圧電アクティブエレメン
トは、歪の大きなリラクサー系の電歪材料からなり、板
状をなす筐体の表裏両面に取付けられたものであり、筐
体両面の圧電アクティブエレメントを、直流バイアス電
界を印加して交流で駆動するものである。
【００１２】
【作用】図１は、本発明に係る広帯域低周波送波器の一
例を示したものである。本発明に係る広帯域低周波送波
器は、圧電アクティブエレメント１１を圧電ｄ定数が大
きい圧電セラミック材料から構成しており、圧電アクテ
ィブエレメント１１は、上記セラミック材料を積層セラ
ミック技術により積層したもの、或いはリング状，円板
状、又は角板状の薄い圧電板を接着積層した積層構造体
となっている。このようにして得られた圧電アクティブ
エレメント１１は、低電圧で駆動しても大きな出力変位
を得ることができる。
例を示したものである。本発明に係る広帯域低周波送波
器は、圧電アクティブエレメント１１を圧電ｄ定数が大
きい圧電セラミック材料から構成しており、圧電アクテ
ィブエレメント１１は、上記セラミック材料を積層セラ
ミック技術により積層したもの、或いはリング状，円板
状、又は角板状の薄い圧電板を接着積層した積層構造体
となっている。このようにして得られた圧電アクティブ
エレメント１１は、低電圧で駆動しても大きな出力変位
を得ることができる。
【００１３】また筐体１３は、金属のような剛体からな
る板状体であって、その表裏両面に凹部１３ａを設けた
ものであり、その凹部１３ａ内に圧電アクティブエレメ
ント１１を複数個配列している。また筐体１３は、圧電
アクティブエレメント１１および音響放射板１２を側面
方向から振動を阻害しないように、かつ側面方向からの
音響放射をできるだけ小さくするために、負荷である水
の音響インピーダンスの少なくとも９倍以上大きな材料
から構成してある。
る板状体であって、その表裏両面に凹部１３ａを設けた
ものであり、その凹部１３ａ内に圧電アクティブエレメ
ント１１を複数個配列している。また筐体１３は、圧電
アクティブエレメント１１および音響放射板１２を側面
方向から振動を阻害しないように、かつ側面方向からの
音響放射をできるだけ小さくするために、負荷である水
の音響インピーダンスの少なくとも９倍以上大きな材料
から構成してある。
【００１４】さらに圧電アクティブエレメント１１に
は、軽量で剛性の高い材料、例えばＣ−ＦＲＰ，アルミ
ナからなる音響放射板１２を強固に接着一体化してあ
る。
は、軽量で剛性の高い材料、例えばＣ−ＦＲＰ，アルミ
ナからなる音響放射板１２を強固に接着一体化してあ
る。
【００１５】圧電アクティブエレメント１を駆動するに
は、固有の共振周波数（音響放射板の質量と複数の圧電
アクティブエレメントのコンプライアンスでほぼ決定さ
れる）より低い周波数でもって筐体１３の両面側におい
て同相で非共振駆動を行うことを特徴としている。な
お、筐体１３の外縁と音響放射板１２の外縁との間に
は、ピストン振動する音響放射板１２ののピストン運動
を妨げることなく、筐体１３と音響放射板１２との滑ら
かな接触を得るようにゴム樹脂１４を適宜設けている。
は、固有の共振周波数（音響放射板の質量と複数の圧電
アクティブエレメントのコンプライアンスでほぼ決定さ
れる）より低い周波数でもって筐体１３の両面側におい
て同相で非共振駆動を行うことを特徴としている。な
お、筐体１３の外縁と音響放射板１２の外縁との間に
は、ピストン振動する音響放射板１２ののピストン運動
を妨げることなく、筐体１３と音響放射板１２との滑ら
かな接触を得るようにゴム樹脂１４を適宜設けている。
【００１６】図１に記載の本発明に係る広帯域低周波送
波器において、筐体１３は、側面方向の影響を低減する
ばかりではなく、凹部１３ａの側壁１３ｂの立上り高さ
ｈを、音響放射板１２の中間点すなわち圧電アクティブ
エレメント１１のノード点に相当する長さにすることに
より、筐体１３の両面側における音響放射板１２のピス
トン振動を分離し、筐体１３の両面側における音響放射
板１２相互間での影響を及ぼさないようにし、音響放射
板１２のピストン振動を円滑化に行わせるようになって
いる。
波器において、筐体１３は、側面方向の影響を低減する
ばかりではなく、凹部１３ａの側壁１３ｂの立上り高さ
ｈを、音響放射板１２の中間点すなわち圧電アクティブ
エレメント１１のノード点に相当する長さにすることに
より、筐体１３の両面側における音響放射板１２のピス
トン振動を分離し、筐体１３の両面側における音響放射
板１２相互間での影響を及ぼさないようにし、音響放射
板１２のピストン振動を円滑化に行わせるようになって
いる。
【００１７】また、筐体１３の部分で支持固定すること
により、音響放射板１２のピストン振動を阻害すること
なく、送波器全体の支持が容易に行えるようになってい
る。
により、音響放射板１２のピストン振動を阻害すること
なく、送波器全体の支持が容易に行えるようになってい
る。
【００１８】また本発明に係る広帯域低周波送波器にお
いて、圧電アクティブエレメント１１は、圧電ｄ定数の
大きい材料に代えて、リラクサー系の電歪材料（例えば
Ｐｂ（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ＰｂＴｉＯ3セラミック
ス：ＰＭＮ−ＰＴ系セラミックス）から構成し、強力な
直流バイアス電界を印加して交流で駆動することも可能
である。リラクサー系電歪材料は、その発生歪みが１０
-3（１０００ｐｐｍ）程度で、従来のジルコンチタン酸
鉛系材料に比べて、５〜１０倍程度発生歪みが大きく、
非共振駆動で利用した場合でもハイパワー送波が十分可
能となる。
いて、圧電アクティブエレメント１１は、圧電ｄ定数の
大きい材料に代えて、リラクサー系の電歪材料（例えば
Ｐｂ（Ｍｇ1/3Ｎｂ2/3）Ｏ3−ＰｂＴｉＯ3セラミック
ス：ＰＭＮ−ＰＴ系セラミックス）から構成し、強力な
直流バイアス電界を印加して交流で駆動することも可能
である。リラクサー系電歪材料は、その発生歪みが１０
-3（１０００ｐｐｍ）程度で、従来のジルコンチタン酸
鉛系材料に比べて、５〜１０倍程度発生歪みが大きく、
非共振駆動で利用した場合でもハイパワー送波が十分可
能となる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１により説明す
る。図１において、圧電アクティブエレメント１１に
は、円板状のソフト系ジルコンチタン酸鉛系圧電磁器を
積層したものを用い、音響放射板１２には、軽量でかつ
高剛性のＣ−ＦＲＰ（炭素繊維強化樹脂）を用い、筐体
１３には、水の音響インピーダンスより約２０倍ほどの
音響インピーダンスをもつアルミニウム合金からなる板
状体を用いている。そして図１に示すように筐体１３の
凹部１３ａの中央部分に１個の圧電アクティブエレメン
ト１１を配し、その周囲に４個の圧電アクティブエレメ
ント１１を配し、エレメント１１と金属板１３及び音響
放射板１２との間を強力接着剤にて接合一体化する。ま
た音響放射板１２と凹状金属板１３の間にはゴム樹脂１
４を介装し、また送波器全体は水密保持のため、肉厚約
３ｍｍのウレタン樹脂でモールドを施してある。送波器
全体寸法は外径２００ｍｍφ，高さ７０ｍｍである。１
ロッドの圧電アクティブエレメント１１は直径３０ｍ
ｍ，高さ２８ｍｍである。また音響放射板１２の肉厚は
有限要素法を用いた解析より、コンプライアンスと剛性
のバランスを考慮して１０ｍｍとした。尚、圧電アクテ
ィブエレメント１１の個数は、５個に限られるものでは
ない。
る。図１において、圧電アクティブエレメント１１に
は、円板状のソフト系ジルコンチタン酸鉛系圧電磁器を
積層したものを用い、音響放射板１２には、軽量でかつ
高剛性のＣ−ＦＲＰ（炭素繊維強化樹脂）を用い、筐体
１３には、水の音響インピーダンスより約２０倍ほどの
音響インピーダンスをもつアルミニウム合金からなる板
状体を用いている。そして図１に示すように筐体１３の
凹部１３ａの中央部分に１個の圧電アクティブエレメン
ト１１を配し、その周囲に４個の圧電アクティブエレメ
ント１１を配し、エレメント１１と金属板１３及び音響
放射板１２との間を強力接着剤にて接合一体化する。ま
た音響放射板１２と凹状金属板１３の間にはゴム樹脂１
４を介装し、また送波器全体は水密保持のため、肉厚約
３ｍｍのウレタン樹脂でモールドを施してある。送波器
全体寸法は外径２００ｍｍφ，高さ７０ｍｍである。１
ロッドの圧電アクティブエレメント１１は直径３０ｍ
ｍ，高さ２８ｍｍである。また音響放射板１２の肉厚は
有限要素法を用いた解析より、コンプライアンスと剛性
のバランスを考慮して１０ｍｍとした。尚、圧電アクテ
ィブエレメント１１の個数は、５個に限られるものでは
ない。
【００２０】次に本発明に係る広帯域低周波送波器を水
中に入れ、特性を測定したところ、駆動周波数１ｋＨｚ
で送波レベル１８０ｄＢ ｒｅ１μＰａ ａｔ１ｍを得
た。また帯域特性は非常に広帯域で、比帯域幅は１２０
％を越えるものとなった。
中に入れ、特性を測定したところ、駆動周波数１ｋＨｚ
で送波レベル１８０ｄＢ ｒｅ１μＰａ ａｔ１ｍを得
た。また帯域特性は非常に広帯域で、比帯域幅は１２０
％を越えるものとなった。
【００２１】さらに、ソフト系ジルコンチタン酸鉛系セ
ラミックスの替わりにＰＭＮ−ＰＴ系セラミックスを用
い、直流バイアス電界１．５ｋＶ／ｍｍを印加し、交流
を重畳することにより、送波器を駆動したが、全く同様
に１ｋＨｚにおいて送波レベル１８０ｄＢ ｒｅ１μＰ
ａ ａｔ１ｍ以上を容易に得ることができた。
ラミックスの替わりにＰＭＮ−ＰＴ系セラミックスを用
い、直流バイアス電界１．５ｋＶ／ｍｍを印加し、交流
を重畳することにより、送波器を駆動したが、全く同様
に１ｋＨｚにおいて送波レベル１８０ｄＢ ｒｅ１μＰ
ａ ａｔ１ｍ以上を容易に得ることができた。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、圧
電アクティブエレメントが非共振で駆動しても大きな変
位を得られることから、音響放射板にはもちろん大きな
体積速度が発生し、小型軽量でかつ従来の共振型送波器
では不可能な比帯域幅百％以上という広帯域特性を得る
ことが可能である。
電アクティブエレメントが非共振で駆動しても大きな変
位を得られることから、音響放射板にはもちろん大きな
体積速度が発生し、小型軽量でかつ従来の共振型送波器
では不可能な比帯域幅百％以上という広帯域特性を得る
ことが可能である。
【図１】（ａ）は本発明に係る広帯域低周波送波器の一
例を示すものであって、図１（ｂ）のＩ−Ｉ’線断面
図、（ｂ）は同平面図である。
例を示すものであって、図１（ｂ）のＩ−Ｉ’線断面
図、（ｂ）は同平面図である。
【図２】従来の低周波送波器である楕円シェルを用いた
フレックステンショナル型送波器の断面図である。
フレックステンショナル型送波器の断面図である。
【図３】従来の低周波送波器であるヒンジとレバーを用
いた変位拡大機構付き送波器の断面図である。
いた変位拡大機構付き送波器の断面図である。
１１ 圧電アクティブエレメント １２ 音響放射板 １３ 筐体 １４ ゴム樹脂 ２１ 圧電磁器柱状体 ２２ 楕円シェル ３１ アクティブ柱状体 ３２ 非アクティブ柱状体 ３３ ヒンジ ３４ レバー ３５ 連結棒 ３６ ピストン音響放射板 ３７ Ｏリング ３８ キャビネット
Claims (5)
- 【請求項１】 筐体と、圧電アクティブエレメントと、
音響放射板とを有する広帯域低周波水中送波器であっ
て、 筐体は、板状をなす剛体からなり、その表裏両面に凹部
を設けたものであり、 圧電アクティブエレメントは、圧電ｄ定数の大きな圧電
材料の積層構造体からなり、その積層方向に伸縮するも
のであって、前記筐体の凹部に複数設けられ、その一端
が前記筐体に定着されたものであり、 音響放射板は、前記筐体の表裏面側にそれぞれ位置して
前記圧電アクティブエレメントに定着され、圧電アクテ
ィブエレメントの振動に伴う音波を放射するものである
ことを特徴とする広帯域低周波水中送波器。 - 【請求項２】 前記圧電アクティブエレメントは、圧電
ｄ定数の大きな圧電材料に代えて、歪の大きなリラクサ
ー系の電歪材料を用いたものであることを特徴とする請
求項１に記載の広帯域低周波水中送波器。 - 【請求項３】 前記筐体は、水の音響インピーダンスの
少なくとも９倍以上大きな材料からなるものであること
を特徴とする請求項１に記載の広帯域低周波水中送波
器。 - 【請求項４】 圧電アクティブエレメントを振動させ
て、音響放射板から音波を放射させる広帯域低周波水中
送波器の駆動方法であって、 圧電アクティブエレメントは、圧電ｄ定数の大きな圧電
材料からなり、板状をなす筐体の表裏両面に取付けられ
たものであり、 筐体両面の圧電アクティブエレメントを、固有の共振周
波数より低い周波数で、しかも筐体両面側において同相
で非共振駆動することを特徴とする広帯域低周波水中送
波器の駆動方法。 - 【請求項５】 圧電アクティブエレメントを振動させ
て、音響放射板から音波を放射させる広帯域低周波水中
送波器の駆動方法であって、 圧電アクティブエレメントは、歪の大きなリラクサー系
の電歪材料からなり、板状をなす筐体の表裏両面に取付
けられたものであり、 筐体両面の圧電アクティブエレメントを、直流バイアス
電界を印加して交流で駆動することを特徴とする広帯域
低周波水中送波器の駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7507295A JP2947115B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 広帯域低周波水中送波器およびその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7507295A JP2947115B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 広帯域低周波水中送波器およびその駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08275284A JPH08275284A (ja) | 1996-10-18 |
| JP2947115B2 true JP2947115B2 (ja) | 1999-09-13 |
Family
ID=13565629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7507295A Expired - Lifetime JP2947115B2 (ja) | 1995-03-31 | 1995-03-31 | 広帯域低周波水中送波器およびその駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2947115B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2016401878A1 (en) * | 2016-04-07 | 2018-11-08 | Microfine Materials Technologies Pte Ltd | Displacement connectors of high bending stiffness and piezoelectric actuators made of such |
| CN114071346B (zh) * | 2021-11-16 | 2022-09-23 | 北京信息科技大学 | 双金属板夹持压电小柱阵列结构敏感元件及其制备工艺 |
-
1995
- 1995-03-31 JP JP7507295A patent/JP2947115B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08275284A (ja) | 1996-10-18 |
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Legal Events
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