JP2946097B2 - Ultrasonic probe - Google Patents

Ultrasonic probe

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JP2946097B2
JP2946097B2 JP1292692A JP29269289A JP2946097B2 JP 2946097 B2 JP2946097 B2 JP 2946097B2 JP 1292692 A JP1292692 A JP 1292692A JP 29269289 A JP29269289 A JP 29269289A JP 2946097 B2 JP2946097 B2 JP 2946097B2
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electrode
matching layer
piezoelectric element
groove
folded
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靖 原
安津夫 飯田
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Fujitsu Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 圧電素子に電極を取り付けて形成した超音波探触子に
関し、 整合層側に取出リード線を設けることなく、整合層側
の電極を折り曲げてバッキング画に折返電極を形成して
溝を設け、振動負荷による悪影響をなくし、左右対称の
音場を生成することを目的とし、 圧電素子の整合層側の電極をバッキング材側にまで折
り曲げた折返電極を形成し、この折返電極と圧電素子の
バッキング材側の電極との間に所定深さの溝を設けて振
動的に分離するように構成する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Summary] Regarding an ultrasonic probe formed by attaching electrodes to a piezoelectric element, an electrode on the matching layer is bent back to a backing image without providing an extraction lead wire on the matching layer side. A groove is formed by forming an electrode and a groove is formed by bending the electrode on the matching layer side of the piezoelectric element to the backing material side to eliminate the adverse effect of vibration load and generate a symmetrical sound field. A groove having a predetermined depth is provided between the folded electrode and the electrode on the backing material side of the piezoelectric element so as to be separated from each other in terms of vibration.

〔産業上の利用分野〕[Industrial applications]

本発明は、圧電素子に電極を取り付けて形成した超音
波探触子に関するものである。
The present invention relates to an ultrasonic probe formed by attaching electrodes to a piezoelectric element.

〔従来の技術と発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by conventional technology and invention]

従来の超音波探触子は、第5図(イ)圧電素子22の1
つの主面に電極24を設け、他の主面に折り返し部分を持
つ電極21を設け、第5図(ロ)に示すように、電極21の
面に整合層、電極24の面にバッキング材を形成し、図示
のように電極24の端部および電極21の折り返し部分にリ
ード線を設けて外部にそれぞれ取り出す。この構成で電
極21と電極24との間に電圧を印加して圧電素子22を駆動
すると、Aの部分の振動が折り返し部分のBに伝達さ
れ、負荷となり、電極21の面に形成した整合層から放射
される超音波の放射特性が第5図(ハ)に示すように左
右非対称になってしまい、望ましくないという問題があ
った。
A conventional ultrasonic probe is shown in FIG.
One main surface is provided with an electrode 24, and the other main surface is provided with an electrode 21 having a folded portion. As shown in FIG. 5 (b), a matching layer is provided on the surface of the electrode 21, and a backing material is provided on the surface of the electrode 24. Then, lead wires are provided at the end of the electrode 24 and the folded portion of the electrode 21 as shown in the figure, and are respectively taken out to the outside. When a voltage is applied between the electrode 21 and the electrode 24 to drive the piezoelectric element 22 in this configuration, the vibration of the portion A is transmitted to the folded portion B and becomes a load, and the matching layer formed on the surface of the electrode 21 As shown in FIG. 5 (c), the radiation characteristics of the ultrasonic waves radiated from the antenna become asymmetric left and right, which is undesirable.

一方、第6図に示すような実用新案公報(実公平1−
9536号)があり、電極リード取付部の形成された面と、
対向する他方の面から所定の切り込み深さの溝5、7を
形成し、重量の大きい電極リード取付け部による大きな
振動負荷による圧電振動子の振動モードの不均一を軽減
するものがある。これは、電極リード取付部と反対側の
圧電素子の面にそれぞれ溝を設けるものであり、いずれ
か一方の面から両者のリード線を取り出し得ないなどの
問題がある。
On the other hand, as shown in FIG.
No. 9536), and the surface on which the electrode lead attachment portion is formed,
There is a case in which grooves 5 and 7 having a predetermined cutting depth are formed from the other opposing surface to reduce the non-uniformity of the vibration mode of the piezoelectric vibrator due to a large vibration load caused by a heavy electrode lead mounting portion. This is because grooves are provided on the surface of the piezoelectric element opposite to the electrode lead attachment portion, and there is a problem that both lead wires cannot be taken out from one of the surfaces.

本発明は、整合層側に取手リード線を設けることな
く、整合層側の電極を折り曲げてバッキング側に折返電
極を形成して溝を設け、振動負荷による悪影響をなく
し、左右対称の音場を生成することを目的としている。
The present invention provides a groove by bending the electrode on the matching layer side to form a folded electrode on the backing side without providing a handle lead wire on the matching layer side, eliminating the adverse effect of vibration load, and creating a symmetrical sound field. It is intended to generate.

〔課題を解決する手段〕[Means to solve the problem]

第1図は、本発明の原理構成図を示す。 FIG. 1 shows a principle configuration diagram of the present invention.

第1図において、電極1は、圧電素子の整合層側の電
極である。
In FIG. 1, an electrode 1 is an electrode on the matching layer side of the piezoelectric element.

折返電極3は、圧電素子2の整合層側の電極1をバッ
キング材側にまで折り曲げて形成した電極である。
The folded electrode 3 is an electrode formed by bending the electrode 1 on the matching layer side of the piezoelectric element 2 to the backing material side.

電極4は、バッキング材側の電極である。 The electrode 4 is an electrode on the backing material side.

溝5は、振動的に分離するためのものである。 The groove 5 is for vibrationally separating.

〔作用〕[Action]

本発明は、第1図に示すように、圧電素子2の整合層
側の電極1をバッキング材側にまで折り曲げた折返電極
3を形成し、この折返電極3と圧電素子2のバッキング
材側の電極4との間に所定深さの溝5を設けて振動的に
分離し、電極4および折返電極3からそれぞれリード線
を取り出すようにしている。
In the present invention, as shown in FIG. 1, the folded electrode 3 is formed by bending the electrode 1 on the matching layer side of the piezoelectric element 2 to the backing material side, and the folded electrode 3 and the piezoelectric element 2 on the backing material side are formed. A groove 5 having a predetermined depth is provided between the electrode 4 and the electrode 4 so as to be separated from each other by vibration, and lead wires are respectively taken out from the electrode 4 and the folded electrode 3.

従って、整合層側に取手リード線を設けることなく、
整合層側の電極を折り曲げてバッキング材側に折返電極
3を形成し、この折返電極3とバッキング材側の電極4
との間に溝5を設けることにより、振動負荷による悪影
響をなくし、左右対称の音場を生成することが可能とな
る。
Therefore, without providing a handle lead on the matching layer side,
The electrode on the matching layer side is bent to form a folded electrode 3 on the backing material side, and the folded electrode 3 and the electrode 4 on the backing material side are formed.
By providing the groove 5 between the left and right sides, it is possible to eliminate the adverse effect of the vibration load and generate a symmetrical sound field.

〔実施例〕〔Example〕

次に、第1図から第4図を用いて本発明の実施例の構
成および動作を順次詳細に説明する。
Next, the configuration and operation of the embodiment of the present invention will be sequentially described in detail with reference to FIGS.

第1図(イ)において、電極1は、圧電素子2の整合
層側の電極であって、有意な超音波パルスを放射する側
の電極である。
In FIG. 1A, an electrode 1 is an electrode on the matching layer side of the piezoelectric element 2 and emits a significant ultrasonic pulse.

圧電素子2は、電極1および電極4に電圧を印加して
超音波パルスを放射するための素子である。
The piezoelectric element 2 is an element for applying a voltage to the electrodes 1 and 4 to emit an ultrasonic pulse.

折返電極3は、圧電素子2の整合層側の電極1をバッ
キング材側にまで折り曲げて形成した電極であって、リ
ード線を取り付ける電極である。
The folded electrode 3 is an electrode formed by bending the electrode 1 on the matching layer side of the piezoelectric element 2 to the backing material side, and is an electrode to which a lead wire is attached.

電極4は、圧電素子2に電圧を印加するバッキング材
側の電極およびリード線を取り付ける電極である。
The electrode 4 is an electrode on the backing material side for applying a voltage to the piezoelectric element 2 and an electrode for attaching a lead wire.

溝5は、電極4と折返電極3との間を振動的に分離す
るための切り込んだ溝であって、図中Bの折り返し部分
が負担とならないようにAの部分から分離する溝であ
る。この溝5を折返電極3と電極(バッキング材側)4
との間に設けることにより、電極4と電極1との間に電
圧を印加したときの圧電素子2の部分Aの振動が、部分
Bに伝達されず、負荷にならない。
The groove 5 is a cut groove for vibratingly separating the electrode 4 and the folded electrode 3 from each other, and is a groove separated from the portion A so that the folded portion in FIG. The groove 5 is provided with the folded electrode 3 and the electrode (backing material side) 4
The vibration of the portion A of the piezoelectric element 2 when a voltage is applied between the electrode 4 and the electrode 1 is not transmitted to the portion B and does not become a load.

第1図(ロ)は、第1図原理構成を実際の構成にした
ものを示す。
FIG. 1B shows an actual configuration of the principle configuration of FIG.

第1図(ロ)において、リード線6は、電極4から取
り出すリード線である。
In FIG. 1B, a lead wire 6 is a lead wire taken out from the electrode 4.

リード線7は、折返電極3から取り出すリード線であ
って、ここでは圧電素子2を複数に分割した各素子の整
合層側の電極1のリード線である。これらリード線6と
リード線7との間に電圧パルスを印加して圧電素子2を
振動させても、溝5があるため、折返電極3の部分が負
荷とならず、整合層5から第1図(ハ)に示すように、
左右対称の超音波パルスが放射されることとなる。
The lead wire 7 is a lead wire extracted from the folded electrode 3, and here is a lead wire of the electrode 1 on the matching layer side of each element obtained by dividing the piezoelectric element 2 into a plurality. Even if a voltage pulse is applied between these lead wires 6 and 7 to vibrate the piezoelectric element 2, the groove 5 has the groove 5, so that the folded electrode 3 does not become a load and the matching layer 5 As shown in Figure (c),
A symmetrical ultrasonic pulse will be emitted.

第1図(ハ)は、第1図(ロ)構成の圧電素子2から
整合層5を通って放射される音場特性例を示す。これ
は、既述したように第1図(イ)、(ロ)で溝5を設け
て折返電極3の部分Bを分離して負荷とならないように
構成して得られた音場特性例を示す。
FIG. 1 (c) shows an example of a sound field characteristic radiated from the piezoelectric element 2 having the configuration of FIG. 1 (b) through the matching layer 5. This is an example of the sound field characteristic obtained by providing the groove 5 in FIGS. 1 (a) and 1 (b) to separate the portion B of the folded electrode 3 so as not to become a load as described above. Show.

第2図は、本発明の他の実施例構成図を示す。これ
は、第1図(ロ)溝5に対して、更に対称の位置に所定
の深さに切り込んだ溝5−1を設け、有効開口の中心を
整合層5によって構成される音響レンズの中心に合わせ
てものである。これにより、第1図(ロ)構成に比し、
更に放射される超音波の音場特性を左右対称にすること
ができる。ここで、Cは、同じ長さであって、有効開口
の中心を音響レンズの中心に位置づけるようにしてい
る。
FIG. 2 shows another embodiment of the present invention. This is because a groove 5-1 cut to a predetermined depth is further provided at a symmetrical position with respect to the groove 5 in FIG. 1 (b), and the center of the effective aperture is the center of the acoustic lens formed by the matching layer 5. It is a thing to match. As a result, compared to the configuration shown in FIG.
Furthermore, the sound field characteristics of the emitted ultrasonic waves can be made symmetrical. Here, C has the same length, and the center of the effective aperture is positioned at the center of the acoustic lens.

第3図は、本発明の他の実施例構成図を示す。これ
は、第3図(イ)の切り込みを入れた溝5の部分を拡大
した第3図(ロ)に示すように、溝5に対応する電極1
の部分に半田で盛り上げたり、金属箔を半田づけしたり
したものである。これにより、製造時に放射面側の電極
が折れた場合でも電極として使用が可能である。
FIG. 3 shows a configuration diagram of another embodiment of the present invention. This is because the electrode 1 corresponding to the groove 5 is formed as shown in FIG.
Are raised with solder or metal foil is soldered. Thereby, even if the electrode on the radiation surface side is broken during manufacturing, it can be used as an electrode.

第4図は、本発明の他の実施例構成図を示す。これ
は、第4図(イ)の切り込みを入れた溝5の部分を拡大
した第4図(ロ)に示すように、溝5に対応する部分に
ついて、圧電素子2を切断するまで切り込みを入れてこ
の部分に不導体物質などを充填した後、半田で盛り上げ
たり、金属箔を半田づけしたりしたものである。これに
より、折り返し部分の影響を完全になくすことができ
る。
FIG. 4 shows a configuration diagram of another embodiment of the present invention. This is because, as shown in FIG. 4 (B), which is an enlarged view of the groove 5 where the cut is made in FIG. 4 (A), the cut corresponding to the groove 5 is cut until the piezoelectric element 2 is cut. The lever is filled with a non-conductive substance or the like, and then raised with solder, or a metal foil is soldered. Thereby, the influence of the folded portion can be completely eliminated.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように、本発明によれば、整合層側に取
出リード線を設けることなく、整合層側の電極1を折り
曲げてバッキング材側に折返電極3を形成し、この折返
電極3とバッキング材側の電極4との間に溝5を設け、
この折返電極3および電極4からリード線を取り出す構
成を採用しているため、振動負荷による悪影響をなく
し、左右対称の音場を生成することができる。
As described above, according to the present invention, the electrode 1 on the matching layer side is bent to form the folded electrode 3 on the backing material side without providing an extraction lead wire on the matching layer side, and the folded electrode 3 and the backing electrode 3 are formed. A groove 5 is provided between the material 4 and the electrode 4;
Since the configuration in which the lead wire is taken out from the folded electrode 3 and the electrode 4 is adopted, an adverse effect due to the vibration load can be eliminated, and a symmetrical sound field can be generated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の1実施例構成図、第2図、第3図、第
4図は本発明の他の実施例構成図、第5図、第6図は従
来技術の説明図を示す。 図中、1は電極(整合層側)、2は圧電素子、3は折返
電極、4は電極(バッキング材側)、5、5−1は溝、
6、7はリード線を表す。
1 is a block diagram of one embodiment of the present invention, FIGS. 2, 3 and 4 are block diagrams of another embodiment of the present invention, and FIGS. 5 and 6 are explanatory diagrams of the prior art. . In the figure, 1 is an electrode (matching layer side), 2 is a piezoelectric element, 3 is a folded electrode, 4 is an electrode (backing material side), 5 and 5-1 are grooves,
Reference numerals 6 and 7 represent lead wires.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−36196(JP,A) 特開 昭57−123796(JP,A) 実開 昭58−136116(JP,U) 実公 平1−9536(JP,Y2) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H04R 17/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-64-36196 (JP, A) JP-A-57-123796 (JP, A) JP-A-58-136116 (JP, U) 9536 (JP, Y2) (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) H04R 17/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】圧電素子に電極を取り付けて形成した超音
波探触子において、 圧電素子の整合層側の電極をバッキング材側にまで折り
曲げた折返電極を形成し、この折返電極と圧電素子のバ
ッキング材側の電極との間に所定深さの溝を設けて振動
的に分離し、整合層側から放射される超音波の放射特性
を左右対称にするように構成したことを特徴とする超音
波探触子。
In an ultrasonic probe formed by attaching electrodes to a piezoelectric element, a folded electrode is formed by bending an electrode on a matching layer side of a piezoelectric element to a backing material side. A groove having a predetermined depth is provided between the electrode on the backing material side and vibrationally separated, and the radiation characteristics of ultrasonic waves radiated from the matching layer side are symmetrical. Sonic probe.
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