JP2942601B2 - 目視・顕微鏡観察装置 - Google Patents
目視・顕微鏡観察装置Info
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- JP2942601B2 JP2942601B2 JP2209470A JP20947090A JP2942601B2 JP 2942601 B2 JP2942601 B2 JP 2942601B2 JP 2209470 A JP2209470 A JP 2209470A JP 20947090 A JP20947090 A JP 20947090A JP 2942601 B2 JP2942601 B2 JP 2942601B2
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- microscope
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- visual
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1306—Details
- G02F1/1309—Repairing; Testing
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、例えば印刷配線基板の表面の傷、塵などの
欠陥を発見、観察に適した目視・顕微鏡観察装置に関す
る。
欠陥を発見、観察に適した目視・顕微鏡観察装置に関す
る。
［従来の技術］ 従来、この種目視・顕微鏡観察装置の一例として、第
４図に示すように構成されたものがある。これは、本体
ベース31と、この本体ベース31の板面端部に固定された
Ｌ字状のアーム32と、このアーム32に支持され接眼レン
ズ34と対物レンズ35を有する顕微鏡本体33と、アーム32
に固定されたステージ支持台36と、このステージ支持台
36にX,Y方向に任意に移動可能に支持され、印刷配線基
板等の試料40を載置するX,Yステージ37と、本体ベース3
1の近傍に配設されるスタンド38に支持され、対物レン
ズ35の近傍に目視観察用照明光を照射する目視観察用照
明装置39から構成されている。
４図に示すように構成されたものがある。これは、本体
ベース31と、この本体ベース31の板面端部に固定された
Ｌ字状のアーム32と、このアーム32に支持され接眼レン
ズ34と対物レンズ35を有する顕微鏡本体33と、アーム32
に固定されたステージ支持台36と、このステージ支持台
36にX,Y方向に任意に移動可能に支持され、印刷配線基
板等の試料40を載置するX,Yステージ37と、本体ベース3
1の近傍に配設されるスタンド38に支持され、対物レン
ズ35の近傍に目視観察用照明光を照射する目視観察用照
明装置39から構成されている。
このような構成のものにおいて、目視観察で試料40に
傷等の欠陥を発見したら対物レンズ35の視野内と思われ
る位置に、該欠陥を位置決めするようにステージ37を移
動させ、低倍率の対物レンズ35で該欠陥を視野内に入
れ、さらに視野中心に位置決めした後、所望の倍率の対
物レンズ35に交換後、試料40の欠陥40xの顕微鏡観察を
行う。
傷等の欠陥を発見したら対物レンズ35の視野内と思われ
る位置に、該欠陥を位置決めするようにステージ37を移
動させ、低倍率の対物レンズ35で該欠陥を視野内に入
れ、さらに視野中心に位置決めした後、所望の倍率の対
物レンズ35に交換後、試料40の欠陥40xの顕微鏡観察を
行う。
［発明が解決しようとする課題］ 第４図に示す従来の目視・顕微鏡観察装置は、次の様
な問題点がある。すなわち、顕微鏡本体33がアーム32に
固定されていることと、対物レンズ35は試料40に対して
少しの上下動は可能であるものの、対物レンズ35と試料
40の離間距離が短いので、目視観察の場所は、対物レン
ズ35から離れた位置にならざるを得ない。このため、目
視観察で発見した欠陥40x、あるいは欠陥らしき場所を
顕微鏡観察するには、先ず欠陥個所40xをステージ37を
移動して対物レンズ35下にもっていく。このときは、す
でに操作者からは、欠陥箇所40xが見えない状態とな
り、勘にたよることになる。続いて、低倍の対物レンズ
で接眼レンズをのぞきながらステージ37を微動送りし、
視野内に欠陥を入れ、さらに視野中心に位置決めする。
その後、所望の倍率の対物レンズ35に交換し観察する。
この様に、顕微鏡に視野内に位置させるのに、勘による
作業がある等の要因でかなりの時間を必要とし、操作者
の眼の疲労等の肉体的苦痛、精神的苦痛が多大である。
な問題点がある。すなわち、顕微鏡本体33がアーム32に
固定されていることと、対物レンズ35は試料40に対して
少しの上下動は可能であるものの、対物レンズ35と試料
40の離間距離が短いので、目視観察の場所は、対物レン
ズ35から離れた位置にならざるを得ない。このため、目
視観察で発見した欠陥40x、あるいは欠陥らしき場所を
顕微鏡観察するには、先ず欠陥個所40xをステージ37を
移動して対物レンズ35下にもっていく。このときは、す
でに操作者からは、欠陥箇所40xが見えない状態とな
り、勘にたよることになる。続いて、低倍の対物レンズ
で接眼レンズをのぞきながらステージ37を微動送りし、
視野内に欠陥を入れ、さらに視野中心に位置決めする。
その後、所望の倍率の対物レンズ35に交換し観察する。
この様に、顕微鏡に視野内に位置させるのに、勘による
作業がある等の要因でかなりの時間を必要とし、操作者
の眼の疲労等の肉体的苦痛、精神的苦痛が多大である。
本発明は、試料の欠陥個所を顕微鏡の視野内への位置
合せが容易に行える目視・顕微鏡観察装置を提供するこ
とを目的とする。
合せが容易に行える目視・顕微鏡観察装置を提供するこ
とを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、前記目的を達成するため、本体ベースに支
持され試料を載置し、水平方向に移動可能なステージ
と、このステージを支持するステージ支持体と、前記ス
テージ支持体に対して相対的に移動可能に支持され、前
記試料の観察位置で位置決めされる顕微鏡と、この顕微
鏡の観察位置での光軸上の試料観察面に指標スポット光
を照射するスポット照射装置と、このスポット照射装置
のスポット光を含む、またはこの近傍に目視観察用照射
光を照射する照明装置とを具備したものである。
持され試料を載置し、水平方向に移動可能なステージ
と、このステージを支持するステージ支持体と、前記ス
テージ支持体に対して相対的に移動可能に支持され、前
記試料の観察位置で位置決めされる顕微鏡と、この顕微
鏡の観察位置での光軸上の試料観察面に指標スポット光
を照射するスポット照射装置と、このスポット照射装置
のスポット光を含む、またはこの近傍に目視観察用照射
光を照射する照明装置とを具備したものである。
［作用］ 本発明によれば、本体ベースに対して顕微鏡本体が所
定軌跡上を移動可能に支持されているので、試料の欠陥
個所を顕微鏡本体の視野内への位置合せが容易に行え、
操作者の肉体的な疲労、精神的苦痛の低減、時間の短縮
による経済的効果が大である。
定軌跡上を移動可能に支持されているので、試料の欠陥
個所を顕微鏡本体の視野内への位置合せが容易に行え、
操作者の肉体的な疲労、精神的苦痛の低減、時間の短縮
による経済的効果が大である。
［実施例］ 以下、本発明の実施例について図面を参照して説明す
る。第１図は本発明による目視・顕微鏡観察装置の一実
施例を示す斜視図である。これは、本体ベース１と、こ
の本体ベース１上に固定されたステージ支持台４と、こ
のステージ支持台４の上にX,Y方向に任意に移動可能に
支持され、試料５を載置し、一方の側面に把持部３を有
するX,Yステージ２と、本体ベース１の上面の一端部の
中央位置と他端部の角部にそれぞれ両端部が固定され、
本体ベース１の板面上方から見て略Ｊ字形であって、か
つ本体ベース１の側面から見てほぼコ字形の支持アーム
６と、この支持アーム６の両側の固定部を除く横脚部に
固定され、かつ一端部にストッパ部8aを有する顕微鏡移
動案内体８と、この顕微鏡移動案内体８に沿って移動可
能に支持され、接眼レンズ10および対物レンズ11ならび
に、例えば写真撮影器あるいは分光装置取付用となるオ
プションポート12を有する顕微鏡本体７と、本体ベース
１の板面の一部に植立されたスタンドに支持固定され、
試料５の欠陥部5xを目視によって観察する際に所望部位
に照射する目視観察用照明装置９とからなっている。
る。第１図は本発明による目視・顕微鏡観察装置の一実
施例を示す斜視図である。これは、本体ベース１と、こ
の本体ベース１上に固定されたステージ支持台４と、こ
のステージ支持台４の上にX,Y方向に任意に移動可能に
支持され、試料５を載置し、一方の側面に把持部３を有
するX,Yステージ２と、本体ベース１の上面の一端部の
中央位置と他端部の角部にそれぞれ両端部が固定され、
本体ベース１の板面上方から見て略Ｊ字形であって、か
つ本体ベース１の側面から見てほぼコ字形の支持アーム
６と、この支持アーム６の両側の固定部を除く横脚部に
固定され、かつ一端部にストッパ部8aを有する顕微鏡移
動案内体８と、この顕微鏡移動案内体８に沿って移動可
能に支持され、接眼レンズ10および対物レンズ11ならび
に、例えば写真撮影器あるいは分光装置取付用となるオ
プションポート12を有する顕微鏡本体７と、本体ベース
１の板面の一部に植立されたスタンドに支持固定され、
試料５の欠陥部5xを目視によって観察する際に所望部位
に照射する目視観察用照明装置９とからなっている。
この目視観察用照明装置９は、第３図に示すように、
照明光源91、集光レンズ92、発光ダイオード（LED）か
らなる指標スポット光源93、集光レンズ94、ハーフミラ
ー95とからなり、光源91の光を集光レンズ92を通し、試
料５に照射する。更に、照明光源91の照明光の光路中に
ミラー95を介して指標スポット光源93の光を集光レンズ
94で集光し、試料５に指標スポットを作成するものであ
る。この場合、指標スポット光の当たる位置は、顕微鏡
本体７を操作者側Ａに一杯に移動したときの対物レンズ
11の光軸中心線上に試料５に一致させておく。
照明光源91、集光レンズ92、発光ダイオード（LED）か
らなる指標スポット光源93、集光レンズ94、ハーフミラ
ー95とからなり、光源91の光を集光レンズ92を通し、試
料５に照射する。更に、照明光源91の照明光の光路中に
ミラー95を介して指標スポット光源93の光を集光レンズ
94で集光し、試料５に指標スポットを作成するものであ
る。この場合、指標スポット光の当たる位置は、顕微鏡
本体７を操作者側Ａに一杯に移動したときの対物レンズ
11の光軸中心線上に試料５に一致させておく。
このように構成された本実施例の目視・顕微鏡観察装
置を用いて試料５の欠陥5xを目視・顕微鏡観察するに
は、以下のようにする。
置を用いて試料５の欠陥5xを目視・顕微鏡観察するに
は、以下のようにする。
第１図のように顕微鏡本体７を本体ベース１の奥側す
なわちＡとは遠ざかる方向に移動させる。
なわちＡとは遠ざかる方向に移動させる。
X,Yステージ２を動かし、試料５の観察面を順次目視
観察用照明装置９の照明光源91の照射部へ移動しながら
目視観察する。
観察用照明装置９の照明光源91の照射部へ移動しながら
目視観察する。
試料５の欠陥5xでは、照射光が散乱等で発見できる。
欠陥5xがどのようになっているかは顕微鏡による拡大観
察が必要なので、この欠陥5xを発見したら、その個所を
指標スポット光源93の指標スポット光に一致させる。
欠陥5xがどのようになっているかは顕微鏡による拡大観
察が必要なので、この欠陥5xを発見したら、その個所を
指標スポット光源93の指標スポット光に一致させる。
第２図のように顕微鏡本体７を操作者側Ａに移動し、
ロックする。
ロックする。
このようにすることにより、試料５の欠陥5xが顕微鏡
本体７の視野中心に位置し、顕微鏡観察ができる。
本体７の視野中心に位置し、顕微鏡観察ができる。
前述のように顕微鏡本体７は、支持アーム６に固定さ
れた顕微鏡移動案内体８に沿って移動可能に支持されて
いるので、試料５の欠陥個所を顕微鏡本体７の視野内へ
の位置合せが容易に行え、操作者の肉体的な疲労、精神
的苦痛の低減、時間の短縮による経済的効果が大であ
る。また、目視観察時は、顕微鏡本体７をステージ２の
端部に移動できるので、試料５の観察面の上方に存在す
る障害物が除かれて開放状態となる事から、目視観察が
しやすくなる。
れた顕微鏡移動案内体８に沿って移動可能に支持されて
いるので、試料５の欠陥個所を顕微鏡本体７の視野内へ
の位置合せが容易に行え、操作者の肉体的な疲労、精神
的苦痛の低減、時間の短縮による経済的効果が大であ
る。また、目視観察時は、顕微鏡本体７をステージ２の
端部に移動できるので、試料５の観察面の上方に存在す
る障害物が除かれて開放状態となる事から、目視観察が
しやすくなる。
本発明は以上述べた実施例に限定されず、種々変形し
て実施できる。例えば、前述の実施例の構成で顕微鏡
本体７の側部にスライドの際に把子を取り付けたり、目
視観察用照明装置のスタンドを本体ベース１ではなく、
支持アーム６に取り付けた場合には、スタンドが短くな
るため、振動に強い構成となる。
て実施できる。例えば、前述の実施例の構成で顕微鏡
本体７の側部にスライドの際に把子を取り付けたり、目
視観察用照明装置のスタンドを本体ベース１ではなく、
支持アーム６に取り付けた場合には、スタンドが短くな
るため、振動に強い構成となる。
以下は、実施例の構成には全く影響されない変形例で
ある。顕微鏡本体７を上方、すなわち、本体ベース１
より遠ざかる方向にはね上げる方式にしたり、支持アー
ム６と顕微鏡本体７を一緒にステージ２に対して水平に
回転するようにしてステージ２から退避させる構成とし
てもよい。
ある。顕微鏡本体７を上方、すなわち、本体ベース１
より遠ざかる方向にはね上げる方式にしたり、支持アー
ム６と顕微鏡本体７を一緒にステージ２に対して水平に
回転するようにしてステージ２から退避させる構成とし
てもよい。
顕微鏡本体７を支持アームとともに、本体ベース１に
対して左右、もしくは前後にスライド可能にして目視観
察用照明装置９の指標スポット光源93の指標スポット光
と顕微鏡光軸が一致する位置でロックするようにしても
良い。
対して左右、もしくは前後にスライド可能にして目視観
察用照明装置９の指標スポット光源93の指標スポット光
と顕微鏡光軸が一致する位置でロックするようにしても
良い。
顕微鏡を固定しておき、ステージ支持体を移動させる
方式にしてもよい。このとき、照明装置はそのスタンド
をステージ支持体に支持する。
方式にしてもよい。このとき、照明装置はそのスタンド
をステージ支持体に支持する。
位置制御可能な電動ステージの場合には、欠陥を所定
位置に位置決め後、予め設定された量だけステージを移
動させ、欠陥を顕微鏡視野内に入れることもできる。
位置に位置決め後、予め設定された量だけステージを移
動させ、欠陥を顕微鏡視野内に入れることもできる。
照明光源91と指標スポット光源93を別体にしたり、透
明な試料５の場合には指標スポット光源93を試料５の底
面より照射したり、指標スポット光源93は発光ダイオー
ドに限らず、照明光源91の光と区別できる光、例えば高
輝度の光、白色光をフィルタを通すようにしても良い。
明な試料５の場合には指標スポット光源93を試料５の底
面より照射したり、指標スポット光源93は発光ダイオー
ドに限らず、照明光源91の光と区別できる光、例えば高
輝度の光、白色光をフィルタを通すようにしても良い。
顕微鏡観察のみならず、顕微鏡のオプションポート等
を使い、分光装置、線幅装置等の各種測定装置と、リペ
ア装置を組合わせても更に有用である。
を使い、分光装置、線幅装置等の各種測定装置と、リペ
ア装置を組合わせても更に有用である。
［発明の効果］ 以上述べた本発明によれば、本体ベースに対して顕微
鏡本体が幅方向に、または所定軌跡上を移動可能に支持
されているので、試料の欠陥個所を顕微鏡本体の視野内
への位置合せが容易に行え、操作者の肉体的な疲労、精
神的苦痛の低減、時間の短縮による経済的効果が大であ
る目視・顕微鏡観察装置を提供できる。
鏡本体が幅方向に、または所定軌跡上を移動可能に支持
されているので、試料の欠陥個所を顕微鏡本体の視野内
への位置合せが容易に行え、操作者の肉体的な疲労、精
神的苦痛の低減、時間の短縮による経済的効果が大であ
る目視・顕微鏡観察装置を提供できる。
第１図は本発明による目視・顕微鏡観察装置の一実施例
の概略構成を示す斜視図、第２図は第１図の顕微鏡本体
を移動させて試料の欠陥位置に対物レンズを一致させ、
該欠陥の顕微鏡観察を行う状態を示す斜視図、第３図は
第１図および第２図の照明装置の概略構成を示す図、第
４図は従来の目視・顕微鏡観察装置の一例の概略構成を
示す斜視図である。 １…本体ベース、２…X,Yステージ、４…ステージ支持
台、５…試料、６…支持アーム、７…顕微鏡本体、８…
顕微鏡移動案内体、９…目視観察用照明装置、12…オプ
ションポート、91…照明光源、92…集光レンズ、93…指
標スポット光源、94…集光レンズ、95…ハーフミラー。
の概略構成を示す斜視図、第２図は第１図の顕微鏡本体
を移動させて試料の欠陥位置に対物レンズを一致させ、
該欠陥の顕微鏡観察を行う状態を示す斜視図、第３図は
第１図および第２図の照明装置の概略構成を示す図、第
４図は従来の目視・顕微鏡観察装置の一例の概略構成を
示す斜視図である。 １…本体ベース、２…X,Yステージ、４…ステージ支持
台、５…試料、６…支持アーム、７…顕微鏡本体、８…
顕微鏡移動案内体、９…目視観察用照明装置、12…オプ
ションポート、91…照明光源、92…集光レンズ、93…指
標スポット光源、94…集光レンズ、95…ハーフミラー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 茨木 秀文 東京都八王子市大和田町２丁目５番７号 オリンパスエンジニアリング株式会社 内 (56)参考文献 特開 昭63−64257（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−73711（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G02B 21/00 G02B 21/06 G02B 21/26
Claims (1)
- 【請求項１】本体ベースに支持され試料を載置し、水平
方向に移動可能なステージと、 このステージを支持するステージ支持体と、 前記ステージ支持体に対して相対的に移動可能に支持さ
れ、前記試料の観察位置で位置決めされる顕微鏡と、 この顕微鏡の観察位置での光軸上の試料観察面に指標ス
ポット光を照射するスポット照射装置と、 このスポット照射装置のスポット光を含む、またはこの
近傍に目視観察用照明光を照射する照明装置とを具備し
た目視・顕微鏡観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2209470A JP2942601B2 (ja) | 1990-08-07 | 1990-08-07 | 目視・顕微鏡観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2209470A JP2942601B2 (ja) | 1990-08-07 | 1990-08-07 | 目視・顕微鏡観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0495913A JPH0495913A (ja) | 1992-03-27 |
| JP2942601B2 true JP2942601B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=16573396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2209470A Expired - Fee Related JP2942601B2 (ja) | 1990-08-07 | 1990-08-07 | 目視・顕微鏡観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2942601B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6671041B2 (en) | 1997-09-24 | 2003-12-30 | Olympus Optical Co., Ltd. | Apparatus for inspecting a substrate |
| JP4166340B2 (ja) * | 1997-09-24 | 2008-10-15 | オリンパス株式会社 | 基板検査装置 |
-
1990
- 1990-08-07 JP JP2209470A patent/JP2942601B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0495913A (ja) | 1992-03-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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