JP2936984B2 - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JP2936984B2
JP2936984B2 JP32863793A JP32863793A JP2936984B2 JP 2936984 B2 JP2936984 B2 JP 2936984B2 JP 32863793 A JP32863793 A JP 32863793A JP 32863793 A JP32863793 A JP 32863793A JP 2936984 B2 JP2936984 B2 JP 2936984B2
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resin composition
photosensitive resin
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colored
layer
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郁夫 広田
正次 米澤
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Toppan Printing Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、カラー表示用プラズマ
ディスプレイパネルにおけるカラーフィルターパターン
等に適用され、かつ、耐熱性が要求される着色パターン
層の形成方法に係り、特に、上記カラー表示用プラズマ
ディスプレイパネルにおける着色パターン層の形状と形
成位置とを精度良く制御できる形成方法に使用される感
光性樹脂組成物に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION This invention is applied to a color filter pattern or the like in the color display for a plasma display panel, and relates to a method of forming a colored pattern layer heat resistance is required, in particular, the color display plasma
The present invention relates to a photosensitive resin composition used in a formation method capable of controlling the shape and formation position of a colored pattern layer in a display panel with high accuracy.

【0002】[0002]

【従来の技術】上記カラー表示用プラズマディスプレイ
パネルは、一般に、図2に示すように前面側基板aと、
この前面側基板aに対向して配置された背面側基板b
と、前面側基板aと背面側基板bとを互いに周辺部で固
定する低融点ガラスcと、これ等前面側基板a、背面側
基板b並びに低融点ガラスcにより囲まれた放電空間d
内部に充填され希ガスを主成分とする混合ガスとでその
主要部が構成されており、その画面表示領域の詳細は図
3に示されている。
2. Description of the Related Art Generally, a plasma display panel for color display includes a front substrate a as shown in FIG.
A rear substrate b disposed opposite to the front substrate a
A low-melting glass c for fixing the front substrate a and the rear substrate b to each other at the peripheral portion; and a discharge space d surrounded by the front substrate a, the rear substrate b, and the low-melting glass c.
The main part is composed of a mixed gas containing a rare gas as a main component filled therein, and details of the screen display area are shown in FIG.

【0003】すなわち、図3に示すように前面側基板a
は、ガラス基板a1と、このガラス基板a1の内面側の
画素部位に各画素毎設けられ透過光を各色別に着色する
カラーフィルター層Ra、Ga、Baと、このカラーフ
ィルター層Ra、Ga、Ba上に配置された第一放電電
極a3とでその主要部が構成されており、他方、上記背
面側基板bは、ガラス基板b1と、このガラス基板b1
の内面側の画素部位に各画素毎設けられた第二放電電極
b2と、各画素毎分離する土手b4と、上記第一放電電
極a3と対向する第二放電電極b2の交点の周囲部位に
画素毎設けられた蛍光体層b3とでその主要部が構成さ
れている。また、これ等の放電空間である第一放電電極
a3、第二放電電極b2並びに土手b4で囲まれた放電
セルには、放電により紫外線を発生する希ガスを主成分
とする混合ガスがプライミングパスb5から導入されて
いる。
That is, as shown in FIG.
Are formed on a glass substrate a1, color filter layers Ra, Ga, and Ba provided for each pixel in a pixel portion on the inner surface side of the glass substrate a1 and coloring transmitted light for each color, and on the color filter layers Ra, Ga, and Ba. The main part is constituted by the first discharge electrode a3 arranged on the other side, while the back side substrate b is composed of a glass substrate b1 and the glass substrate b1.
A second discharge electrode b2 provided for each pixel in a pixel portion on the inner surface side of the pixel, a bank b4 separating each pixel, and a pixel at a portion around an intersection of the second discharge electrode b2 facing the first discharge electrode a3. The main part is constituted by the phosphor layer b3 provided for each. In a discharge cell surrounded by the first discharge electrode a3, the second discharge electrode b2, and the bank b4, which are these discharge spaces, a mixed gas mainly composed of a rare gas that generates ultraviolet rays by discharge is used as a priming path. introduced from b5.

【0004】そして、このカラー表示用プラズマディス
プレイパネルにおいては表示をしたい画素の上記第一放
電電極a3と第二放電電極b2間で放電させ、希ガスを
主成分とする混合ガスの上記放電により励起された原
子、分子から発生する紫外線を利用し上記蛍光体層b3
を発光させて可視光に変換させている。尚、上記カラー
フィルター層Ra、Ga、Baは、蛍光体層b3から生
じた上記可視光と蛍光体層b3で反射された外来光との
双方から不要な色光成分を除去し、表示画面の色純度を
増大させてそのコントラストを向上させるものである。
In this plasma display panel for color display, a discharge is caused between the first discharge electrode a3 and the second discharge electrode b2 of a pixel to be displayed, and the mixed gas mainly composed of a rare gas is excited by the discharge. The fluorescent layer b3 using ultraviolet rays generated from the generated atoms and molecules.
Is emitted to convert it into visible light. The color filter layers Ra, Ga, and Ba remove unnecessary color light components from both the visible light generated from the phosphor layer b3 and the extraneous light reflected by the phosphor layer b3, and remove the color of the display screen. Purity is increased to improve the contrast.

【0005】ところで、このカラー表示用プラズマディ
スプレイパネルは、従来、以下のような工程を経て製造
されている。まず、ガラス基板a1上にカラーフィルタ
ー層Ra、Ga、Baと第一放電電極a3とを順次形成
して前面側基板aを作製する。他方、ガラス基板b1上
に第二放電電極b2、土手b4、及び、蛍光体層b3を
形成して背面側基板bを作製する。そして、これ等前面
側基板aと背面側基板bとを低融点ガラスcを含むガラ
スペーストを介して重ね合わせると共に、このガラスペ
ーストを焼成処理して上記前面側基板aと背面側基板b
とを固定する。最後に、前面側基板a又は背面側基板b
に設けられた導入孔(図示せず)から上記混合ガスを放
電空間内dに導入してカラー表示用プラズマディスプレ
イパネルを製造している。
[0005] The plasma display panel for color display has been conventionally manufactured through the following steps. First, a color filter layer Ra, Ga, Ba and a first discharge electrode a3 are sequentially formed on a glass substrate a1 to produce a front substrate a. On the other hand, a second discharge electrode b2, a bank b4, and a phosphor layer b3 are formed on a glass substrate b1 to produce a rear substrate b. The front substrate a and the rear substrate b are overlapped with each other via a glass paste containing the low-melting glass c, and the glass paste is baked so that the front substrate a and the back substrate b
And fix. Finally, the front substrate a or the rear substrate b
The above-mentioned mixed gas is introduced into the discharge space d through an introduction hole (not shown) provided in the plasma display panel to produce a plasma display panel for color display.

【0006】このようにカラー表示用プラズマディスプ
レイパネルの製造工程中においては低融点ガラスcを含
むガラスペーストの焼成工程が含まれているため、上記
カラーフィルター層Ra、Ga、Baを構成する材料に
はこの焼成工程により変色や変形が生じないような耐熱
性が要求されている。
As described above, since the baking step of the glass paste containing the low melting point glass c is included in the manufacturing process of the plasma display panel for color display, the material constituting the color filter layers Ra, Ga, and Ba is used. Is required to have heat resistance such that discoloration and deformation do not occur in this firing step.

【0007】そこで、従来においては上記カラーフィル
ター層を構成する材料として一般に無機着色顔料を分散
させたガラス材料が適用され、以下のような方法により
形成されている。すなわち、低融点ガラスの粉末と無機
着色顔料とこれ等ガラス粉末並びに無機着色顔料をガラ
ス基板a1に一時的に固定する樹脂バインダーとを主成
分とするペーストを上記ガラス基板a1上の画素部位に
スクリーン印刷し、印刷されたこのペーストを焼成処理
して上記ガラス粉末を溶融させると共に無機着色顔料を
ガラス基板a1に固着し、かつ、樹脂バインダー等のそ
の他の成分を焼失させて上記カラーフィルター層Ra、
Ga、Baを形成している(特開昭61−6150号公
報、及び、特開昭61−6151号公報参照)。
Therefore, conventionally, a glass material in which an inorganic color pigment is dispersed is generally applied as a material constituting the color filter layer, and is formed by the following method. That is, a paste mainly composed of a low melting glass powder, an inorganic color pigment, a resin binder for temporarily fixing the glass powder and the inorganic color pigment to the glass substrate a1 is screened at a pixel portion on the glass substrate a1. After printing, the printed paste is baked to melt the glass powder, fix the inorganic coloring pigment to the glass substrate a1, and burn off other components such as a resin binder to form the color filter layer Ra,
Ga and Ba are formed (see JP-A-61-6150 and JP-A-61-6151).

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記スクリ
ーン印刷法は所定パターンの開口部を有するスクリーン
版上に上記ペーストを供給し、かつ、柔軟性のあるスキ
ージでこすって上記開口部からペーストを押し出してガ
ラス基板a1上に印刷する方式であるため、印刷機周囲
の温度、湿度、スキージに加えられる圧力やスキージの
移動速度等の条件に応じてスクリーン版が伸縮し上記開
口部が変形し易い欠点がある。しかも一回の印刷で形成
できる印刷被膜の厚みは10μmが限界であり、これ以
上の厚みの被膜を形成するためには同一パターンを繰り
返して印刷する必要がある。しかし、印刷の度に上記印
刷条件がばらついて開口部が変形し易いため見当が完全
に一致したパターンを印刷することは通常困難である。
このため、多数回の印刷により得られたカラーフィルタ
ー層Ra、Ga、Baのパターン形状は歪み易いという
問題点があった。
According to the screen printing method, the paste is supplied onto a screen plate having openings of a predetermined pattern, and the paste is extruded from the openings by rubbing with a flexible squeegee. Is a method of printing on the glass substrate a1, and the screen plate expands and contracts depending on conditions such as the temperature and humidity around the printing press, the pressure applied to the squeegee, and the moving speed of the squeegee, so that the opening is easily deformed. There is. In addition, the thickness of a print film that can be formed by one printing is limited to 10 μm, and in order to form a film having a thickness larger than that, it is necessary to repeatedly print the same pattern. However, it is usually difficult to print a pattern whose register is perfectly matched because the above-mentioned printing conditions vary every time printing is performed and the opening is easily deformed.
For this reason, there was a problem that the pattern shape of the color filter layers Ra, Ga, and Ba obtained by printing many times was easily distorted.

【0009】このような技術的背景の下、本発明者等は
カラーフィルター層等の着色パターン層を透明基板上に
そのパターン形状と形成位置並びに厚み精度について高
精度に形成できる方法を本件出願と共に提案している。
Under the above technical background, the present inventors have developed a method capable of forming a colored pattern layer such as a color filter layer on a transparent substrate with high precision with respect to its pattern shape, formation position and thickness accuracy together with the present application. is suggesting.

【0010】すなわち、この形成方法はアクリル系樹
脂、アクリル系モノマー、光照射によりアクリル系モノ
マーの重合を開始させる光重合開始剤、及び、希釈溶媒
を含有する感光性樹脂組成物を透明基板上に塗布し、露
光・現像してパターン化すると共に、パターン化された
感光性樹脂組成物層より成る型枠と透明基板の露出部と
で構成される凹部内に低融点ガラス粉末と着色顔料を含
有する着色ガラスペーストを充填した後、焼成処理によ
上記型枠を除去して透明基板上に着色ガラスペースト
から成るカラー表示用プラズマディスプレイパネルの
色パターン層を形成するものであった。尚、この形成方
法に適用される上記感光性樹脂組成物は、アクリル系樹
脂3.00〜40.00重量%、アクリル系モノマー
1.00〜30.00重量%、光重合開始剤0.30〜
7.50重量%、及び、希釈溶剤10.00〜95.0
0重量%の割合で配合されたものが適用されている。
That is, this method comprises forming a photosensitive resin composition containing an acrylic resin, an acrylic monomer, a photopolymerization initiator for initiating polymerization of the acrylic monomer by light irradiation, and a diluting solvent on a transparent substrate. It is coated, exposed and developed to form a pattern, and the low melting glass powder and the coloring pigment are contained in a concave portion formed by a mold formed of the patterned photosensitive resin composition layer and an exposed portion of the transparent substrate.
After filling colored glass paste having, in the firing process
And remove the above mold to remove the colored glass paste on the transparent substrate.
To form a color pattern layer of a plasma display panel for color display comprising: The photosensitive resin composition applied to this forming method is composed of 3.0 to 40.00% by weight of an acrylic resin, 1.00 to 30.00% by weight of an acrylic monomer, and 0.30% by weight of a photopolymerization initiator. ~
7.50% by weight, and a diluting solvent of 10.00 to 95.0.
What is blended at a ratio of 0% by weight is applied.

【0011】そして、この着色パターン層の形成方法に
よれば、上記感光性樹脂組成物層のパターン化はマスク
を介した露光処理により決定されるため、光学的限界ま
でパターン形状と形成位置とを制御することが可能とな
る。また、パターン化された感光性樹脂組成物層より成
る型枠のパターン形状と形成位置とに対応して着色ガラ
スペースト層の形状と形成位置とが正確に決定されるた
め、カラー表示用プラズマディスプレイパネルにおける
着色パターン層のパターン形状と形成位置を光学的限界
まで精度良く制御することが可能となる。従って、ディ
スプレイパネルの各画素に正確に対応した各色のカラー
フィルター層(着色パターン層)が形成されるため、画
素部位の透過光を十分に着色させることが可能となり表
示画面の色純度の向上が図れる方法であった。
According to this method for forming a colored pattern layer, the patterning of the photosensitive resin composition layer is determined by exposure through a mask. It becomes possible to control. In addition, the colored glass corresponding to the pattern shape and the formation position of the mold formed of the patterned photosensitive resin composition layer.
Since the shape and formation position of the paste layer are accurately determined, it is possible to accurately control the pattern shape and formation position of the colored pattern layer in the plasma display panel for color display up to the optical limit. Become. Therefore , since a color filter layer (colored pattern layer) of each color corresponding to each pixel of the display panel is formed accurately, it is possible to sufficiently color the transmitted light of the pixel portion and to improve the color purity of the display screen. It was a method that could be achieved.

【0012】そこで、本発明の課題とするところは、上
カラー表示用プラズマディスプレイパネルにおける
色パターン層の形成方法に好適に使用される感光性樹脂
組成物を提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition suitably used in the method for forming a color pattern layer in the above-described plasma display panel for color display. .

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】すなわち、請求項1に係
る発明は、アクリル系樹脂、アクリル系モノマー、光照
射によりアクリル系モノマーの重合を開始させる光重合
開始剤、及び、希釈溶媒を含有する感光性樹脂組成物を
透明基板上に塗布し、露光・現像してパターン化すると
共に、パターン化された感光性樹脂組成物層より成る型
枠と透明基板の露出部とで構成される凹部内に低融点ガ
ラス粉末と着色顔料を含有する着色ガラスペーストを充
填した後、焼成処理により上記型枠を除去して透明基板
上に着色ガラスペーストから成るカラー表示用プラズマ
ディスプレイパネルの着色パターン層を形成する方法に
使用される感光性樹脂組成物を前提とし、上記アクリル
系樹脂が、下記化学式(1)で表されるモノマーと下記
化学式(2)で表されるモノマーと下記化学式(3)で
表されるモノマーとの共重合体により構成されているこ
とを特徴とするものである。
That is, the invention according to claim 1 comprises an acrylic resin, an acrylic monomer, a photopolymerization initiator for initiating polymerization of the acrylic monomer by light irradiation, and a diluting solvent. The photosensitive resin composition is applied on a transparent substrate, and is exposed and developed to form a pattern, and the inside of a concave portion formed by a mold formed of the patterned photosensitive resin composition layer and an exposed portion of the transparent substrate. Low melting point
After filling a colored glass paste containing a lath powder and a colored pigment, the mold is removed by a baking treatment , and a plasma for color display comprising a colored glass paste is formed on a transparent substrate.
On the premise of the photosensitive resin composition used in the method for forming a colored pattern layer of a display panel, the acrylic resin is a monomer represented by the following chemical formula (1) and a monomer represented by the following chemical formula (2) And a copolymer of a monomer represented by the following chemical formula (3).

【0014】[0014]

【化5】 (但し、式中、R1 は炭素数1〜5のアルキル基を示
す)
Embedded image (Wherein, R1 represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms)

【化6】 Embedded image

【化7】 そして、請求項1記載の発明に係る感光性樹脂組成物に
よれば、アクリル系樹脂が化学式(1)で表されるモノ
マーと化学式(2)で表されるモノマーと化学式(3)
で表されるモノマーとの共重合体であることから、これ
等アクリル系樹脂と上記感光性樹脂組成物中のアクリル
系モノマーとの重合により生じるアクリル系ポリマーが
三次元的に絡み合い上記透明基板との密着力を向上させ
るため、露光部位の感光性樹脂組成物が現像処理中に透
明基板から剥落したりあるいは上記感光性樹脂組成物層
と透明基板との間に隙間ができて型枠形状が変形したり
することを防止することが可能となる。このため、上記
露光パターンに正確に対応した形状の型枠を形成するこ
とができ、また、これに伴い上記型枠と透明基板の露出
部とで構成される凹部内に充填される着色ガラスペース
の形状と形成位置も正確に決定されるため、カラー表
示用プラズマディスプレイパネルにおける着色パターン
層のパターン形状と位置精度の向上を図ることが可能と
なる。更に、上述した共重合体を適用しているため感光
性樹脂組成物層における未露光部位の現像液溶解性が向
上し、これに伴い現像時間を速めに設定することにより
露光部位の膜減を防止でき現像処理後に残存する感光性
樹脂組成物層の膜厚を精度良く制御することが可能とな
る。従って、パターン化された感光性樹脂組成物層より
成る型枠と透明基板の露出部とで構成される凹部の深さ
を高い精度で制御することが可能となり、これに伴い上
記凹部内に充填される着色ガラスペーストの厚み制御も
改善されるため、カラー表示用プラズマディスプレイパ
ネルにおける着色パターン層の厚み精度を向上させるこ
とが可能となる。
Embedded image According to the photosensitive resin composition according to the first aspect of the present invention, the acrylic resin includes a monomer represented by the chemical formula (1), a monomer represented by the chemical formula (2), and a chemical formula (3)
Since it is a copolymer with a monomer represented by, the acrylic resin generated by polymerization of the acrylic resin and the acrylic monomer in the photosensitive resin composition is three-dimensionally entangled with the transparent substrate. In order to improve the adhesive force of the photosensitive resin composition at the exposed site, the photosensitive resin composition may be peeled off from the transparent substrate during the development process, or a gap may be formed between the photosensitive resin composition layer and the transparent substrate. Deformation can be prevented. For this reason, it is possible to form a mold having a shape exactly corresponding to the exposure pattern, and accordingly, a colored glass pace filled in a recess formed by the mold and an exposed portion of the transparent substrate.
The shape and forming position of the bets is also determined accurately, the color table
It is possible to improve the pattern shape and position accuracy of the colored pattern layer in the display plasma display panel . Furthermore, since the above-described copolymer is applied, the solubility of the developer in the unexposed portion of the photosensitive resin composition layer is improved, and accordingly, the film thickness of the exposed portion is reduced by setting the development time earlier. Thus, the thickness of the photosensitive resin composition layer remaining after the development processing can be accurately controlled. Therefore, it is possible to control with high precision the depth of the concave portion formed by the mold formed of the patterned photosensitive resin composition layer and the exposed portion of the transparent substrate, and accordingly, the concave portion is filled in the concave portion. Since the thickness control of the colored glass paste to be used is also improved , the plasma display panel for color display is improved.
It is possible to improve the thickness accuracy of the colored pattern layer in the tunnel.

【0015】このように上記カラー表示用プラズマディ
スプレイパネルにおける着色パターン層の形状、形成位
置、厚み精度が改善され、この着色パターン層の存在す
る部位の光学特性と存在しない部位の光学特性とを精度
良く制御することが可能にな、このカラーフィルター
層の分光透過特性を精度良く制御できることから表示画
面の色純度が向上して色彩豊かな画面表示が可能とな
る。また、上記着色パターン層を構成する着色ガラスペ
ーストは、低融点ガラス粉末と着色顔料の外、これ等ガ
ラス粉末と着色顔料とを透明基板上に一時的に保持する
樹脂バインターとペースト化に必要な溶剤等を含んでい
ても当然のことながらよい。そして、パターン化された
感光性樹脂組成物層より成る型枠と透明基板の露出部と
で構成される凹部内に上記着色ガラスペーストを充填し
た後、焼成処理を施すことにより着色ガラスペースト中
の樹脂バインダーや型枠を構成する感光性樹脂組成物を
焼失させることが可能となり、かつ、低融ガラス粉末が
溶融されて上記着色顔料を透明基板上に固定させること
が可能となる。
As described above , the plasma display for color display is used.
The shape of the colored pattern layer in the spray panel forming position improves the thickness precision This will allow for some possible to accurately control the optical characteristics of the sites that are not present with the optical properties of the site present in the colored pattern layer, the Since the spectral transmission characteristics of the color filter layer can be controlled with high precision, the color purity of the display screen is improved, and a colorful screen display is possible. In addition, the colored glass paste constituting the colored pattern layer is necessary for forming a paste and a resin binder for temporarily holding the glass powder and the colored pigment on a transparent substrate, in addition to the low-melting glass powder and the colored pigment. Naturally, it may contain a solvent or the like. Then, after filling the above-mentioned colored glass paste into a concave portion formed by a mold formed of a patterned photosensitive resin composition layer and an exposed portion of the transparent substrate, a baking treatment is performed, so that the colored glass paste contains The resin binder and the photosensitive resin composition constituting the mold can be burned off, and the low-melting glass powder can be melted to fix the color pigment on the transparent substrate.

【0016】このような技術的手段において上記化学式
(1)で表されるモノマーとしては、例えば、メチルメ
タクリレート、エチルメタクリレート、プロピルメタク
リレート、イソプロピルメタクリレート、ブチルメタク
リレート、イソブチルメタクリレート、アミルメタクリ
レート、イソアミルメタクリレート等が適用できる。
尚、化学式(1)で表されるこのモノマーについては例
示されたモノマーを少なくとも一種適用し、二種以上併
用してもよい。
In such technical means, examples of the monomer represented by the chemical formula (1) include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, amyl methacrylate, and isoamyl methacrylate. Applicable.
In addition, as for this monomer represented by the chemical formula (1), at least one of the exemplified monomers may be used, and two or more monomers may be used in combination.

【0017】また、上記化学式(2)で表されるモノマ
ーとしてはメタクリル酸が適用でき、化学式(3)で表
されるモノマーとしてはヒドロキシエチルメタクリレー
トが適用できる。
Also, methacrylic acid can be used as the monomer represented by the chemical formula (2), and hydroxyethyl methacrylate can be used as the monomer represented by the chemical formula (3).

【0018】そして、請求項1に係る発明において上記
化学式(1)で表されるモノマー15〜85重量部に対
し、上記化学式(2)で表されるモノマーを15〜35
重量部、上記化学式(3)で表されるモノマーを5〜1
5重量部の割合で共重合させることが望ましい。
In the invention according to claim 1, the monomer represented by the formula (2) is added to the monomer represented by the formula (2) in an amount of 15 to 35 parts by weight based on 15 to 85 parts by weight of the monomer represented by the formula (1).
Parts by weight of the monomer represented by the chemical formula (3)
It is desirable to copolymerize at 5 parts by weight.

【0019】尚、請求項1に係る発明において、光照射
により重合する上記アクリル系モノマーが下記化学式
(4)で表される官能基を有する場合、上記アクリル系
モノマーが露光重合した後における感光性樹脂組成物層
の露光部位の耐現像液性が優れている。従って、現像処
理による膜減が少なくなるためパターン化された感光性
樹脂組成物層から成る型枠の精度が更に改善され、これ
に伴い着色パターン層の厚みを更に精度良く制御するこ
とが可能となる。請求項2に係る発明はこのような理由
に基づいてなされたものである。
In the invention according to the first aspect, when the acrylic monomer polymerized by light irradiation has a functional group represented by the following chemical formula (4), the photosensitivity after the acrylic monomer is exposed and polymerized. The exposed portion of the resin composition layer has excellent developer resistance. Therefore, since the film loss due to the development treatment is reduced, the precision of the mold formed of the patterned photosensitive resin composition layer is further improved, and accordingly, the thickness of the colored pattern layer can be controlled more accurately. Become. The invention according to claim 2 has been made based on such a reason.

【0020】すなわち、請求項2に係る発明は、請求項
1記載の発明に係る感光性樹脂組成物層を前提とし、光
照射により重合する上記アクリル系モノマーが、下記化
学式(4)で表される官能基を有することを特徴とする
ものである。
That is, the invention according to claim 2 is based on the photosensitive resin composition layer according to the invention according to claim 1, and the acrylic monomer polymerized by light irradiation is represented by the following chemical formula (4). It is characterized by having a functional group.

【0021】[0021]

【化8】 尚、上記アクリル系モノマーが化学式(4)で表される
官能基を二以上有する二官能モノマー又は多官能モノマ
ーである場合、これ等モノマーが三次元的に重合して透
明基板との密着力が更に増大する。
Embedded image When the acrylic monomer is a bifunctional monomer or a polyfunctional monomer having two or more functional groups represented by the chemical formula (4), these monomers are three-dimensionally polymerized and the adhesion to the transparent substrate is reduced. Further increase.

【0022】このような二官能モノマーとしては、例え
ば、エチレングリコールジアクリレート、ジアクリレー
ト、トリエチレングリコールジアクリレート等が使用で
き、多官能アクリレートとしては、トリメチロールプロ
パントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアク
リレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート等が適
用できる。
As such a bifunctional monomer, for example, ethylene glycol diacrylate, diacrylate, triethylene glycol diacrylate and the like can be used. As the polyfunctional acrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, diacrylate Pentaerythritol hexaacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate and the like can be applied.

【0023】また、請求項1〜2に係る発明において上
記光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン、ベ
ンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール、トリアジン
等が利用できる。また、希釈溶剤としては、例えば、エ
チルセルソルブ、シクロヘキサノン等が利用できるが、
アクリル系樹脂の溶解性等に優れる点でシクロヘキサノ
ンが好ましい。
In the invention according to claims 1 and 2, as the photopolymerization initiator, for example, acetophenone, benzophenone, benzyldimethyl ketal, triazine and the like can be used. As the diluting solvent, for example, ethyl cellosolve, cyclohexanone, etc. can be used,
Cyclohexanone is preferred in that it is excellent in solubility and the like of the acrylic resin.

【0024】また、本発明に係る着色パターン層として
は、カラー表示用プラズマディスプレイパネルのカラー
フィルター層に適用できる他、画素と画素との間の部位
(画素間部位)に設けられるブラックマトリックス等の
遮光層に適用してもよい。
The colored pattern layer according to the present invention can be applied to a color filter layer of a plasma display panel for color display, and can be a black matrix provided at a portion between pixels (inter-pixel portion). You may apply to a light shielding layer.

【0025】[0025]

【作用】請求項1に係る発明によれば、アクリル系樹脂
が上記化学式(1)で表されるモノマーと化学式(2)
で表されるモノマーと化学式(3)で表されるモノマー
との共重合体であることから、これ等アクリル系樹脂と
上記感光性樹脂組成物中のアクリル系モノマーとの重合
により生じるアクリル系ポリマーが三次元的に絡み合い
上記透明基板との密着力を向上させるため、露光部位の
感光性樹脂組成物が現像処理中に透明基板から剥落した
りあるいは上記感光性樹脂組成物層と透明基板との間に
隙間ができて型枠形状が変形したりすることを防止する
ことが可能となる。従って、上記露光パターンに正確に
対応した形状の型枠を形成することができ、また、これ
に伴い上記型枠と透明基板の露出部とで構成される凹部
内に充填される着色ガラスペーストの形状と形成位置も
正確に決定されるため、カラー表示用プラズマディスプ
レイパネルにおける着色パターン層のパターン形状と位
置精度の向上を図ることが可能となる。更に、上述した
共重合体を適用しているため感光性樹脂組成物層におけ
る未露光部位の現像液溶解性が向上し、これに伴い現像
時間を速めに設定することにより露光部位の膜減を防止
でき現像処理後に残存する感光性樹脂組成物層の膜厚を
精度良く制御することが可能となる。従って、パターン
化された感光性樹脂組成物層より成る型枠と透明基板の
露出部とで構成される凹部の深さを高い精度で制御する
ことが可能となり、これに伴い上記凹部内に充填される
着色ガラスペーストの厚み制御も改善されるため、カラ
ー表示用プラズマディスプレイパネルにおける着色パタ
ーン層の厚み精度を向上させることが可能となる。
According to the first aspect of the present invention, the acrylic resin comprises a monomer represented by the chemical formula (1) and a monomer represented by the chemical formula (2).
Is a copolymer of the monomer represented by the formula (3) and the monomer represented by the chemical formula (3), so that the acrylic polymer formed by polymerization of the acrylic resin and the acrylic monomer in the photosensitive resin composition is used. Is three-dimensionally entangled to improve the adhesive strength with the transparent substrate, the photosensitive resin composition at the exposed site may be peeled off from the transparent substrate during the development process or the photosensitive resin composition layer and the transparent substrate It is possible to prevent the form shape from being deformed due to a gap therebetween. Therefore , it is possible to form a mold having a shape exactly corresponding to the above-mentioned exposure pattern, and accordingly , a colored glass paste to be filled in a recess formed by the mold and the exposed portion of the transparent substrate. Since the shape and formation position are accurately determined , the plasma display for color display is used.
It is possible to improve the pattern shape and position accuracy of the colored pattern layer in the ray panel . Furthermore, since the above-described copolymer is applied, the solubility of the developer in the unexposed portion of the photosensitive resin composition layer is improved, and accordingly, the film thickness of the exposed portion is reduced by setting the development time earlier. Thus, the thickness of the photosensitive resin composition layer remaining after the development processing can be accurately controlled. Therefore, it is possible to control with high precision the depth of the concave portion formed by the mold formed of the patterned photosensitive resin composition layer and the exposed portion of the transparent substrate, and accordingly, the concave portion is filled. since the thickness control of the colored glass pastes are improved, color
-It is possible to improve the thickness accuracy of the colored pattern layer in the display plasma display panel .

【0026】また、請求項2に係る発明によれば、光照
射により重合するアクリル系モノマーが上記化学式
(4)で表される官能基を有しており、このこの官能基
を有するアクリル系モノマーが露光重合した後における
感光性樹脂組成物層の露光部位の耐現像液性は良好にな
るため、現像処理による膜減が少なくなりパターン化さ
れた感光性樹脂組成物層から成る型枠の精度が更に改善
され、これに伴いカラー表示用プラズマディスプレイパ
ネルにおける着色パターン層の厚みを更に精度良く制御
することが可能となる。
According to the second aspect of the present invention, the acrylic monomer polymerized by light irradiation has a functional group represented by the chemical formula (4), and the acrylic monomer having this functional group Since the developing solution resistance of the exposed portion of the photosensitive resin composition layer after the exposure polymerization is improved, the film loss due to the development process is reduced, and the accuracy of the mold formed of the patterned photosensitive resin composition layer is improved. Has been further improved, and a plasma display panel for color display has been
It is possible to control the thickness of the colored pattern layer in the tunnel more accurately.

【0027】[0027]

【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を更に詳
細に説明する。
Embodiments of the present invention will be described below in more detail with reference to the drawings.

【0028】まず、ブチルメタクリレート6.98重量
部、メチルメタクリレート1.75重量部、メタクリル
酸1.75重量部、ヒドロキシエチルメタクリレート
1.16重量部を共重合させてアクリル樹脂を調製し
た。そして、このアクリル樹脂を使用し以下の配合割合
で感光性樹脂組成物を調整した。
First, an acrylic resin was prepared by copolymerizing 6.98 parts by weight of butyl methacrylate, 1.75 parts by weight of methyl methacrylate, 1.75 parts by weight of methacrylic acid, and 1.16 parts by weight of hydroxyethyl methacrylate. Then, a photosensitive resin composition was prepared using the acrylic resin at the following compounding ratio.

【0029】 (感光性樹脂組成物) アクリル樹脂 11.64重量% アクリル系モノマー ジペンタエリスリトールペンタアクリレート 2.79重量% ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 4.19重量% 光重合開始剤 トリアジン 1.40重量% 希釈溶剤 シクロヘキサノン 79.98重量% この感光性樹脂組成物を、縦100mm×横100mm
の矩形状開口部が形成された300メッシュ、版厚83
μmのステンレス製スクリーン版を使用して、透明ガラ
ス基板1上にスクリーン印刷し、常温で5分間放置して
膜表面が乾燥した後、更にもう一度印刷を繰り返し、7
0℃、20分間乾燥して、感光性樹脂組成物層2を形成
した(図1A参照)。得られた感光性樹脂組成物層2の
厚みは15μmで全面一様な値を有していた。
(Photosensitive resin composition) Acrylic resin 11.64% by weight Acrylic monomer 2.79% by weight of dipentaerythritol pentaacrylate 4.19% by weight of dipentaerythritol hexaacrylate 1.40% by weight of photopolymerization initiator triazine Diluent solvent: cyclohexanone 79.98% by weight This photosensitive resin composition was prepared by adding 100 mm in length × 100 mm in width.
300 mesh with a rectangular opening of
Using a stainless steel screen plate of μm, screen printing was performed on the transparent glass substrate 1 and left at room temperature for 5 minutes to dry the film surface.
Drying was performed at 0 ° C. for 20 minutes to form a photosensitive resin composition layer 2 (see FIG. 1A). The thickness of the obtained photosensitive resin composition layer 2 was 15 μm and had a uniform value over the entire surface.

【0030】次に、縦50μm×横50μmの矩形状パ
ターンがピッチ100μmで繰り返し形成された遮光膜
3yを有するフォトマスク3を上記感光性樹脂組成物層
2に密着し、超高圧水銀灯により、露光量40mJ/cm
2 の条件で密着露光した(図1B参照)。露光に続い
て、アルカリ現像液により現像して未露光部位の感光性
樹脂組成物層2を除去しガラス基板1を露出させた。
尚、この現像処理の際、上記感光性樹脂組成物層2の剥
離や現像残り等の現象は確認されなかった。次に、23
0℃、1時間の条件で加熱処理して露光部位に残存する
感光性樹脂組成物層2を完全硬化させた(図1C参
照)。加熱硬化後の残存感光性樹脂組成物層2の厚みは
12μmであった。
Next, a photomask 3 having a light-shielding film 3y in which a rectangular pattern of 50 μm × 50 μm is repeatedly formed at a pitch of 100 μm is brought into close contact with the photosensitive resin composition layer 2 and exposed with an ultra-high pressure mercury lamp. 40mJ / cm
Contact exposure was performed under the conditions of 2 (see FIG. 1B). Subsequent to exposure, the glass substrate 1 was exposed by developing with an alkaline developer to remove the photosensitive resin composition layer 2 at the unexposed portions.
During the development process, phenomena such as peeling of the photosensitive resin composition layer 2 and residual development were not observed. Next, 23
Heat treatment was performed at 0 ° C. for 1 hour to completely cure the photosensitive resin composition layer 2 remaining at the exposed site (see FIG. 1C). The thickness of the remaining photosensitive resin composition layer 2 after the heat curing was 12 μm.

【0031】次に、この残存感光性樹脂組成物層2上に
着色ガラスペースト4’を供給し、柔軟性のあるシリコ
ンゴム製スキージ5をガラス基板1に対し水平方向に移
動させて型枠としての感光性樹脂組成物層2とガラス基
板1の露出部とで構成された凹部に上記着色ガラスペー
スト4’を充填した(図1D参照)。尚、上記着色ガラ
スペースト4’としては、低融点ガラス粉末と青色の無
機着色顔料とを樹脂バインターと共に混練して得られた
ものが適用されている。
Next, a colored glass paste 4 ′ is supplied onto the remaining photosensitive resin composition layer 2, and a flexible silicon rubber squeegee 5 is moved in a horizontal direction with respect to the glass substrate 1 to form a mold. The colored glass paste 4 ′ was filled in a concave portion formed by the photosensitive resin composition layer 2 and the exposed portion of the glass substrate 1 (see FIG. 1D). As the colored glass paste 4 ', a paste obtained by kneading a low-melting glass powder and a blue inorganic coloring pigment together with a resin binder is used.

【0032】次に、上記着色ガラスペースト4’を、1
20℃、20分間乾燥し、最高温度580℃、焼成時間
10分間の条件で焼成処理して、着色ガラスペースト
4’中の低融点ガラス粉末を溶融させ無機着色顔料を固
定してカラーフィルター層4を形成すると共に、その他
の成分(例えば、着色ガラスペースト4’中の樹脂バイ
ンターや残存感光性樹脂組成物層2)を焼失させた(図
1E参照)。
Next, the colored glass paste 4 'is
After drying at 20 ° C. for 20 minutes, firing at a maximum temperature of 580 ° C. for a firing time of 10 minutes, the low melting glass powder in the colored glass paste 4 ′ is melted, and the inorganic color pigment is fixed to fix the color filter layer 4. And other components (for example, resin binder and the remaining photosensitive resin composition layer 2 in the colored glass paste 4 ′) were burned off (see FIG. 1E).

【0033】こうして形成されたカラーフィルター層4
の形状は縦50μm×横50μmの矩形状パターンがピ
ッチ100μmで繰返されたもので、そのパターン形
状、形成位置共に上記フォトマスク3の遮光膜3yパタ
ーンを正確に反映したものであった。また、その厚みは
9μmで全面均一な値を有していた。
The color filter layer 4 thus formed
Is a pattern in which a rectangular pattern having a length of 50 μm and a width of 50 μm is repeated at a pitch of 100 μm, and both the pattern shape and the formation position accurately reflect the pattern of the light-shielding film 3 y of the photomask 3. Further, the thickness was 9 μm and had a uniform value over the entire surface.

【0034】請求項1に係る発明によれば、アクリル系
樹脂が上記化学式(1)で表されるモノマーと化学式
(2)で表されるモノマーと化学式(3)で表されるモ
ノマーとの共重合体であることから、露光パターンに正
確に対応した形状の感光性樹脂組成物層から成る型枠を
形成することが可能となり、これに伴い上記型枠と透明
基板の露出部とで構成される凹部内に充填される着色
ラスペーストの形状と形成位置も正確に決定されるた
め、カラー表示用プラズマディスプレイパネルにおける
着色パターン層のパターン形状と位置精度の向上が図れ
る効果を有している。
According to the first aspect of the present invention, the acrylic resin is a copolymer of the monomer represented by the chemical formula (1), the monomer represented by the chemical formula (2), and the monomer represented by the chemical formula (3). Since it is a polymer, it is possible to form a mold made of a photosensitive resin composition layer having a shape exactly corresponding to the exposure pattern, and thus it is composed of the mold and the exposed portion of the transparent substrate. Colored gas filled in the recess
Since the shape and formation position of the lath paste are also accurately determined, there is an effect that the pattern shape and position accuracy of the colored pattern layer in the plasma display panel for color display can be improved.

【0035】また、上述した共重合体を適用しているた
め感光性樹脂組成物層における未露光部位の現像液溶解
性が向上し、これに伴い現像時間を速めに設定すること
により露光部位の膜減を防止でき現像処理後に残存する
感光性樹脂組成物層の膜厚を精度良く制御することが可
能となる。従って、パターン化された感光性樹脂組成物
層より成る型枠と透明基板の露出部とで構成される凹部
の深さを高精度で制御でき、これに伴い上記凹部内に充
填される着色ガラスペーストの厚み制御も改善されるた
め、カラー表示用プラズマディスプレイパネルにおける
着色パターン層の厚み精度を向上できる効果を有してい
る。
Further, since the copolymer described above is applied, the solubility of the unexposed portion in the photosensitive resin composition layer in the developing solution is improved, and accordingly, the developing time is set to be shorter so that the exposed portion can be reduced. The film thickness can be prevented and the thickness of the photosensitive resin composition layer remaining after the development processing can be accurately controlled. Therefore, it is possible to control the depth of the concave portion formed by the mold formed of the patterned photosensitive resin composition layer and the exposed portion of the transparent substrate with high precision, and accordingly, the colored glass filled in the concave portion is formed. Since the control of the thickness of the paste is also improved, there is an effect that the thickness accuracy of the colored pattern layer in the plasma display panel for color display can be improved.

【0036】また、請求項2に係る発明によれば、光照
射により重合するアクリル系モノマーが上記化学式
(4)で表される官能基を有しており、この官能基を有
するアクリル系モノマーが露光重合した後における感光
性樹脂組成物層の露光部位の耐現像液性は良好になるた
め、現像処理による膜減が少なくなりパターン化された
感光性樹脂組成物層から成る型枠の精度がより改善さ
れ、上記カラー表示用プラズマディスプレイパネルにお
ける着色パターン層の厚み精度を更に向上できる効果を
有している。
According to the second aspect of the present invention, the acrylic monomer polymerized by light irradiation has a functional group represented by the chemical formula (4), and the acrylic monomer having this functional group is Since the developing solution resistance of the exposed portion of the photosensitive resin composition layer after the exposure polymerization becomes good, the film loss due to the development processing is reduced, and the accuracy of the mold formed of the patterned photosensitive resin composition layer is improved. The plasma display panel for color display
Has the effect of kick can be further improved thickness precision color pattern layers.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例に係るカラーフィルターの製造工程を示
す説明図。
FIG. 1 is an explanatory view showing a process of manufacturing a color filter according to an embodiment.

【図2】カラー表示用プラズマディスプレイパネルの概
略断面図。
FIG. 2 is a schematic sectional view of a plasma display panel for color display.

【図3】図4のIII−III面断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along the line III-III of FIG. 4;

【図4】カラー表示用プラズマディスプレイパネルにお
ける背面側基板の表示領域を示す概略平面図。
FIG. 4 is a schematic plan view showing a display area of a rear substrate in a color plasma display panel.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ガラス基板 2 感光性樹脂組成物層 3 フォトマスク 3y 遮光膜 4’ 着色ガラスペースト 4 カラーフィルター層 5 スキージ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass substrate 2 Photosensitive resin composition layer 3 Photomask 3y Light shielding film 4 'Colored glass paste 4 Color filter layer 5 Squeegee

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G03F 7/033 G03F 7/004 G03F 7/027 G03F 7/40 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G03F 7/033 G03F 7/004 G03F 7/027 G03F 7/40

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】アクリル系樹脂、アクリル系モノマー、光
照射によりアクリル系モノマーの重合を開始させる光重
合開始剤、及び、希釈溶媒を含有する感光性樹脂組成物
を透明基板上に塗布し、露光・現像してパターン化する
と共に、パターン化された感光性樹脂組成物層より成る
型枠と透明基板の露出部とで構成される凹部内に低融点
ガラス粉末と着色顔料を含有する着色ガラスペースト
充填した後、焼成処理により上記型枠を除去して透明基
板上に着色ガラスペーストから成るカラー表示用プラズ
マディスプレイパネルの着色パターン層を形成する方法
に使用される感光性樹脂組成物において、 上記アクリル系樹脂が、下記化学式(1)で表されるモ
ノマーと下記化学式(2)で表されるモノマーと下記化
学式(3)で表されるモノマーとの共重合体により構成
されていることを特徴とする感光性樹脂組成物。 【化1】 (但し、式中、R1 は炭素数1〜5のアルキル基を示
す) 【化2】 【化3】
A photosensitive resin composition containing an acrylic resin, an acrylic monomer, a photopolymerization initiator for initiating polymerization of an acrylic monomer by light irradiation, and a diluting solvent is coated on a transparent substrate, and exposed to light. Developing and patterning, and having a low melting point in a concave portion formed by a mold formed of a patterned photosensitive resin composition layer and an exposed portion of a transparent substrate;
After filling a colored glass paste containing a glass powder and a colored pigment, the mold is removed by a baking treatment , and a color display plate comprising a colored glass paste is formed on a transparent substrate.
In a photosensitive resin composition used for a method of forming a colored pattern layer of a display panel, the acrylic resin is a monomer represented by the following chemical formula (1) and a monomer represented by the following chemical formula (2): A photosensitive resin composition comprising a copolymer with a monomer represented by the following chemical formula (3). Embedded image (Wherein, R1 represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms). Embedded image
【請求項2】光照射により重合する上記アクリル系モノ
マーが、下記化学式(4)で表される官能基を有するこ
とを特徴とする請求項1記載の感光性樹脂組成物。 【化4】
2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the acrylic monomer polymerized by light irradiation has a functional group represented by the following chemical formula (4). Embedded image
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