JP2926806B2 - サーマルインクジェットヘッド - Google Patents
サーマルインクジェットヘッドInfo
- Publication number
- JP2926806B2 JP2926806B2 JP32389489A JP32389489A JP2926806B2 JP 2926806 B2 JP2926806 B2 JP 2926806B2 JP 32389489 A JP32389489 A JP 32389489A JP 32389489 A JP32389489 A JP 32389489A JP 2926806 B2 JP2926806 B2 JP 2926806B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- heater
- channel plate
- long
- head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、サーマルインクジェットヘッド、特に長尺
型のサーマルインクジェットヘッドに関するものであ
る。
型のサーマルインクジェットヘッドに関するものであ
る。
（従来の技術） 長尺型サーマルインクジェットヘッドは、プリンタシ
ステムの高速化等の点で、短尺型のヘッドに比較して優
位である。従来の長尺型ヘッドは、短尺型ヘッドを長手
方向に並べて貼り合わせる方法により作成されていた。
第４図は、従来の短尺型インクジェットヘッドを用いて
長尺型インクジェットヘッドの作製方法を示すものであ
る。第４図において、（Ａ）図は、チャンネルプレー
ト、（Ｂ）図は、ヒータープレートの斜視図であり、
（Ｃ）図は、両者を貼り合わせた長尺型インクジェット
ヘッドの一部分としての短尺型のヘッドの斜視図であ
る。図中、１はチャンネルプレート、２はヒータープレ
ートで、チャンネルプレート１は、基板３にインクの突
出方向を規定するための一定サイズの溝４を設けて構成
されており、ヒータープレート２は、基板５のチャンネ
ルプレート１の溝４に対応する部位に、ヒーター６を設
けて構成されている。これら２枚のプレートを貼り合わ
せ（Ｃ）図に示すような短尺のヘッドが形成される。上
述した基板3,5は、各々Siウエハで作られており、それ
をウエハ状態で貼り合わせた後、支持板７の上に並べて
貼り合わせていた。したがって、長尺化を図ると、チャ
ンネルプレート、ヒータープレートのサイズが大きいも
のが必要となる。チャンネルプレートは、その作製プロ
セスが容易なため、プレートサイズの増大に対し、良品
率が低下することはほとんどない。しかしながら、ヒー
タープレートは作製プロセスがLSIの作製プロセスと同
等以上の技術レベル、ならびに工程数を必要とするた
め、サイズの増大は、その良品率を著しく低下させる。
したがって、（Ｄ）図に示すように、短尺のヘッドを複
数個並べて長尺の支持体７の上に長手方向に並べて貼り
合わせる方法がとられていた。しかしながら、この方法
によると、インク突出方向を規定するチャンネルプレー
トのアライメント及び貼り合わせのズレのため、ヘッド
ごとにインクの吐出方向に方向バラツキを生ずる問題が
あった。
ステムの高速化等の点で、短尺型のヘッドに比較して優
位である。従来の長尺型ヘッドは、短尺型ヘッドを長手
方向に並べて貼り合わせる方法により作成されていた。
第４図は、従来の短尺型インクジェットヘッドを用いて
長尺型インクジェットヘッドの作製方法を示すものであ
る。第４図において、（Ａ）図は、チャンネルプレー
ト、（Ｂ）図は、ヒータープレートの斜視図であり、
（Ｃ）図は、両者を貼り合わせた長尺型インクジェット
ヘッドの一部分としての短尺型のヘッドの斜視図であ
る。図中、１はチャンネルプレート、２はヒータープレ
ートで、チャンネルプレート１は、基板３にインクの突
出方向を規定するための一定サイズの溝４を設けて構成
されており、ヒータープレート２は、基板５のチャンネ
ルプレート１の溝４に対応する部位に、ヒーター６を設
けて構成されている。これら２枚のプレートを貼り合わ
せ（Ｃ）図に示すような短尺のヘッドが形成される。上
述した基板3,5は、各々Siウエハで作られており、それ
をウエハ状態で貼り合わせた後、支持板７の上に並べて
貼り合わせていた。したがって、長尺化を図ると、チャ
ンネルプレート、ヒータープレートのサイズが大きいも
のが必要となる。チャンネルプレートは、その作製プロ
セスが容易なため、プレートサイズの増大に対し、良品
率が低下することはほとんどない。しかしながら、ヒー
タープレートは作製プロセスがLSIの作製プロセスと同
等以上の技術レベル、ならびに工程数を必要とするた
め、サイズの増大は、その良品率を著しく低下させる。
したがって、（Ｄ）図に示すように、短尺のヘッドを複
数個並べて長尺の支持体７の上に長手方向に並べて貼り
合わせる方法がとられていた。しかしながら、この方法
によると、インク突出方向を規定するチャンネルプレー
トのアライメント及び貼り合わせのズレのため、ヘッド
ごとにインクの吐出方向に方向バラツキを生ずる問題が
あった。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は、複数個のヘットを支持体の上に長手方向に
並べて貼り合わせて構成した従来のサーマルインクジェ
ットヘッドにおいて、ヘッドごとにインクの突出方向に
バラツキが生ずる問題点を解決するためになされたもの
で、１枚のチャンネルプレートにチャンネルプレートよ
り短い複数枚のヒータープレートを並べて配置すること
によって、１枚のチャンネルプレートに形成されたイン
ク吐出溝に依存してインクの突出方向を決定できるサー
マルインクジェットヘッドを提供することを目的とする
ものである。
並べて貼り合わせて構成した従来のサーマルインクジェ
ットヘッドにおいて、ヘッドごとにインクの突出方向に
バラツキが生ずる問題点を解決するためになされたもの
で、１枚のチャンネルプレートにチャンネルプレートよ
り短い複数枚のヒータープレートを並べて配置すること
によって、１枚のチャンネルプレートに形成されたイン
ク吐出溝に依存してインクの突出方向を決定できるサー
マルインクジェットヘッドを提供することを目的とする
ものである。
（課題を解決するための手段） 本発明は、インク吐出溝を有する１枚のチャンネルプ
レートにヒーターを有する複数枚のヒータープレートを
前記インク吐出溝と前記ヒーターとを対向するように配
置したサーマルインクジェットヘッドにおいて、前記ヒ
ータープレートのヒーターが並ぶ方向の長さは、前記チ
ャンネルプレートのインク吐出溝が並ぶ方向の長さより
短く、かつ、前記ヒータープレートの複数枚は、ヒータ
ーの並ぶ方向に並べられて配置されていることを特徴と
するものである。
レートにヒーターを有する複数枚のヒータープレートを
前記インク吐出溝と前記ヒーターとを対向するように配
置したサーマルインクジェットヘッドにおいて、前記ヒ
ータープレートのヒーターが並ぶ方向の長さは、前記チ
ャンネルプレートのインク吐出溝が並ぶ方向の長さより
短く、かつ、前記ヒータープレートの複数枚は、ヒータ
ーの並ぶ方向に並べられて配置されていることを特徴と
するものである。
チャンネルプレートの長さは、プリントする用紙の紙
幅に対応させることができる。
幅に対応させることができる。
チャンネルプレートは、Si、もしくは、Siプレートに
それ以外のプレートの重ねて形成することができる。
それ以外のプレートの重ねて形成することができる。
チャンネルプレートの基板は、CZ法のSi結晶引き上げ
軸を含む｛100｝面、もしくは、それに平行な面でスラ
イスされたプレートにより作成することができる。
軸を含む｛100｝面、もしくは、それに平行な面でスラ
イスされたプレートにより作成することができる。
この場合、結晶引き上げ軸は、＜110＞軸とすること
ができる。
ができる。
ヒーターを有する複数枚のヒータープレートに対向さ
せたインク突出溝を有する１枚の長尺のチャンネルプレ
ートを、複数用いてさらに長尺のサーマルインクジェッ
トヘッドを構成してもよい。
せたインク突出溝を有する１枚の長尺のチャンネルプレ
ートを、複数用いてさらに長尺のサーマルインクジェッ
トヘッドを構成してもよい。
（作 用） 本発明は、チャンネルプレートを長尺のものとし、こ
れに短尺のヒータープレートを貼り合わせるもので、イ
ンクの突出方向は１枚のチャンネルプレートで定まるた
め、短尺のヘッドを並べて張り合わせた場合の突出方向
のバラツキが生じることがない。
れに短尺のヒータープレートを貼り合わせるもので、イ
ンクの突出方向は１枚のチャンネルプレートで定まるた
め、短尺のヘッドを並べて張り合わせた場合の突出方向
のバラツキが生じることがない。
（実施例） 第１図は、本発明のサーマルインクジェットヘッドの
一実施例の長尺型サーマルインクジェットヘッドを説明
するためのものである。（Ａ）図は、チャンネルプレー
トの一部の斜視図、（Ｂ）図は、ヒータープレートの斜
視図、（Ｃ）図は、長尺ヘッドの一部の斜視図である。
第４図と同様な部分には同じ符号を付してある。チャン
ネルプレート１は長尺のものであり、その上に従来のよ
うな短尺のヒータープレート２を貼り合わせて構成され
る。したがって、チャンネルプレートは長尺のものを用
いるから、チャンネル溝はすべてにわたって均一に作成
でき、ヒータープレートの位置合わせもさほどの厳密さ
を要求しないから組み立ても容易となる。
一実施例の長尺型サーマルインクジェットヘッドを説明
するためのものである。（Ａ）図は、チャンネルプレー
トの一部の斜視図、（Ｂ）図は、ヒータープレートの斜
視図、（Ｃ）図は、長尺ヘッドの一部の斜視図である。
第４図と同様な部分には同じ符号を付してある。チャン
ネルプレート１は長尺のものであり、その上に従来のよ
うな短尺のヒータープレート２を貼り合わせて構成され
る。したがって、チャンネルプレートは長尺のものを用
いるから、チャンネル溝はすべてにわたって均一に作成
でき、ヒータープレートの位置合わせもさほどの厳密さ
を要求しないから組み立ても容易となる。
サーマルインクジェットヘッドの長さを、印字する用
紙の紙幅とすると、印字の際にヘッドを移動する必要が
ないから、高速印字が可能となる。あるいは、用紙を固
定して、ヘッドを移動するようにすれば、Ｘ−Ｙ記録を
行なうこともできる。
紙の紙幅とすると、印字の際にヘッドを移動する必要が
ないから、高速印字が可能となる。あるいは、用紙を固
定して、ヘッドを移動するようにすれば、Ｘ−Ｙ記録を
行なうこともできる。
なお、より長尺のサーマルインクジェットヘッドを構
成する場合は、上述した長尺型のものを複数用い、基板
に固定するようにしてもよい。
成する場合は、上述した長尺型のものを複数用い、基板
に固定するようにしてもよい。
チャンネルプレートの製法を第２図により説明する。
（Ａ）図に示すようにSi基板21上に熱酸化膜22を約5000
Åの厚みに成長させ、フォト・リソグラフィにより短尺
寸法のヒータープレート用のアライメントマーク及びチ
ャンネル溝４を開口したレジストパターン23を形成し、
開口部の熱酸化膜22をエッチングして（Ｂ）図のよう
に、溝が形成される部分の熱酸化膜を除去する。つぎ
に、KOH溶液中で異方性エッチングを行ない、（Ｃ）図
のように、上記のパターンの溝24をSi基板上に形成し、
熱酸化膜22を除いて、（Ｄ）図のチャンネルプレートを
得る。次に、あらかじめダイシンクされた短尺ヒーター
プレート２を長尺のチャンネルプレートのマークを基準
としてアライメントし、貼り合わせていく。この時、ヒ
ータープレートのノズル面（インクが突出する側の面）
は、実際の位置まで少なくとも数百μｍ程度の切りしろ
をもったところで仮ダイシングされているものとする。
貼り合わせた後、ヒータープレート及びチャンネルプレ
ートのノズル面側を一度ダイシンクし、ノズル面を形成
する。また、他の面を同時にカットし、分離し、長尺ヘ
ッドを完成する。
（Ａ）図に示すようにSi基板21上に熱酸化膜22を約5000
Åの厚みに成長させ、フォト・リソグラフィにより短尺
寸法のヒータープレート用のアライメントマーク及びチ
ャンネル溝４を開口したレジストパターン23を形成し、
開口部の熱酸化膜22をエッチングして（Ｂ）図のよう
に、溝が形成される部分の熱酸化膜を除去する。つぎ
に、KOH溶液中で異方性エッチングを行ない、（Ｃ）図
のように、上記のパターンの溝24をSi基板上に形成し、
熱酸化膜22を除いて、（Ｄ）図のチャンネルプレートを
得る。次に、あらかじめダイシンクされた短尺ヒーター
プレート２を長尺のチャンネルプレートのマークを基準
としてアライメントし、貼り合わせていく。この時、ヒ
ータープレートのノズル面（インクが突出する側の面）
は、実際の位置まで少なくとも数百μｍ程度の切りしろ
をもったところで仮ダイシングされているものとする。
貼り合わせた後、ヒータープレート及びチャンネルプレ
ートのノズル面側を一度ダイシンクし、ノズル面を形成
する。また、他の面を同時にカットし、分離し、長尺ヘ
ッドを完成する。
なお、チャンネルプレートは、Si、もしくは、Siプレ
ートにそれ以外のプレートを重ねて形成することができ
る。
ートにそれ以外のプレートを重ねて形成することができ
る。
第３図は、Si基板の製法を説明するための概略図であ
る。（Ａ）図に示すように、＜110＞を結晶引き上げ軸
とする。Siインゴット31を用い、軸に垂直な面でカット
する。次に、例えばＸ線回折法により、結晶軸を含む
｛100｝面を求め、スライスして（Ｂ）図に示すような
基板32が得られる。このようにして形成されたSi基板
は、＜100＞で囲まれた｛100｝面を有する長方形基板と
なる。この長方形基板の長手方向は、引き上げ軸と平行
になるため、その長さを自在にでき、長尺ヘッド用のチ
ャンネルプレート基板の長いものが作製できる。しか
も、上記方法を用いると、従来からのKOHによるチャン
ネル形成法をそのまま適用できる利点がある。つまり、
この矩形ウエハは、＜110＞で囲まれているため、KOHに
よるチャンネルは、縦横に走り、かつ、面方位が｛10
0｝であるため、このチャンネルの形状は、（Ｃ）図に
示すように、従来通りのＶ形の溝となる。
る。（Ａ）図に示すように、＜110＞を結晶引き上げ軸
とする。Siインゴット31を用い、軸に垂直な面でカット
する。次に、例えばＸ線回折法により、結晶軸を含む
｛100｝面を求め、スライスして（Ｂ）図に示すような
基板32が得られる。このようにして形成されたSi基板
は、＜100＞で囲まれた｛100｝面を有する長方形基板と
なる。この長方形基板の長手方向は、引き上げ軸と平行
になるため、その長さを自在にでき、長尺ヘッド用のチ
ャンネルプレート基板の長いものが作製できる。しか
も、上記方法を用いると、従来からのKOHによるチャン
ネル形成法をそのまま適用できる利点がある。つまり、
この矩形ウエハは、＜110＞で囲まれているため、KOHに
よるチャンネルは、縦横に走り、かつ、面方位が｛10
0｝であるため、このチャンネルの形状は、（Ｃ）図に
示すように、従来通りのＶ形の溝となる。
（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、サ
イズの増大によって著しく歩留まりが低下するヒーター
プレートを、従来の高い歩留まりに保ちつつ、かつ、イ
ンク突出方向を規定するチャンネルプレートを長尺方向
に一体で形成するため、インクの突出方向が１枚のチャ
ンネルプレートにおけるインク吐出溝の方向で決まり、
短尺のヘッドを並べて張り合わせた場合の突出方向のバ
ラツキが生じることがないという効果がある。
イズの増大によって著しく歩留まりが低下するヒーター
プレートを、従来の高い歩留まりに保ちつつ、かつ、イ
ンク突出方向を規定するチャンネルプレートを長尺方向
に一体で形成するため、インクの突出方向が１枚のチャ
ンネルプレートにおけるインク吐出溝の方向で決まり、
短尺のヘッドを並べて張り合わせた場合の突出方向のバ
ラツキが生じることがないという効果がある。
第１図は、本発明のサーマルインクジェットヘッドの一
実施例を示すもので、（Ａ）図はチャンネルプレート、
（Ｂ）図はヒータープレート、（Ｃ）図は両者を貼り合
わせたサーマルインクジェットヘッドの一部分の各斜視
図、第２図は、チャンネルプレートの製造工程の説明
図、第３図は、チャンネルプレートの基板の製造工程の
説明図、第４図は、従来の長尺型サーマルインクジェッ
トヘッドの一例を示すもので、（Ａ）図はチャンネルプ
レート、（Ｂ）図はヒータープレート、（Ｃ）図は両者
を貼り合わせた短尺型サーマルインクジェットヘッド、
（Ｄ）図は長尺型サーマルインクジェットヘッドの一部
分の各斜視図である。 １……チャンネルプレート、２……ヒータープレート、
３……基板、４……溝、５……基板、６……ヒーター。
実施例を示すもので、（Ａ）図はチャンネルプレート、
（Ｂ）図はヒータープレート、（Ｃ）図は両者を貼り合
わせたサーマルインクジェットヘッドの一部分の各斜視
図、第２図は、チャンネルプレートの製造工程の説明
図、第３図は、チャンネルプレートの基板の製造工程の
説明図、第４図は、従来の長尺型サーマルインクジェッ
トヘッドの一例を示すもので、（Ａ）図はチャンネルプ
レート、（Ｂ）図はヒータープレート、（Ｃ）図は両者
を貼り合わせた短尺型サーマルインクジェットヘッド、
（Ｄ）図は長尺型サーマルインクジェットヘッドの一部
分の各斜視図である。 １……チャンネルプレート、２……ヒータープレート、
３……基板、４……溝、５……基板、６……ヒーター。
Claims (1)
- 【請求項１】インク吐出溝を有する１枚のチャンネルプ
レートにヒーターを有する複数枚のヒータープレートを
前記インク吐出溝と前記ヒーターとを対向するように配
置したサーマルインクジェットヘッドにおいて、前記ヒ
ータープレートのヒーターが並ぶ方向の長さは、前記チ
ャンネルプレートのインク吐出溝が並ぶ方向の長さより
短く、かつ、前記ヒータープレートの複数枚は、ヒータ
ーの並ぶ方向に並べられて配置されていることを特徴と
するサーマルインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32389489A JP2926806B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | サーマルインクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32389489A JP2926806B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | サーマルインクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03184860A JPH03184860A (ja) | 1991-08-12 |
| JP2926806B2 true JP2926806B2 (ja) | 1999-07-28 |
Family
ID=18159800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32389489A Expired - Fee Related JP2926806B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | サーマルインクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2926806B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07290711A (ja) * | 1994-03-04 | 1995-11-07 | Canon Inc | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドカートリッジ、インクジェットヘッドキット、インクジェット記録装置、インクジェットヘッドの製造方法およびインクの注入方法 |
| SG44309A1 (en) * | 1994-03-04 | 1997-12-19 | Canon Kk | An ink jet recording apparatus |
| JP3376188B2 (ja) * | 1994-11-07 | 2003-02-10 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録方法およびインクジェット記録装置 |
| JP2000351217A (ja) * | 1999-06-11 | 2000-12-19 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットヘッドの製造方法 |
-
1989
- 1989-12-15 JP JP32389489A patent/JP2926806B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03184860A (ja) | 1991-08-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0430593B1 (en) | Method of cutting a silicon wafer by orientation dependent etching | |
| JP2597447B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
| US4851371A (en) | Fabricating process for large array semiconductive devices | |
| EP0322228B1 (en) | Large array thermal ink jet printhead | |
| EP0359417B1 (en) | Fabrication of silicon structures by single side, multiple step etching process | |
| US5098503A (en) | Method of fabricating precision pagewidth assemblies of ink jet subunits | |
| JP2957003B2 (ja) | 印字ヘッドチップの精密な接合縁を作る方法 | |
| US5041190A (en) | Method of fabricating channel plates and ink jet printheads containing channel plates | |
| US4639748A (en) | Ink jet printhead with integral ink filter | |
| US6533391B1 (en) | Self-aligned modules for a page wide printhead | |
| JP5264327B2 (ja) | ダイモジュールアレイの位置決め方法 | |
| JP2549762B2 (ja) | アライメント基板の製造方法 | |
| JPH02229050A (ja) | インクジェットプリントヘッドを製造する方法 | |
| JPH01166965A (ja) | インク・ジェット印字ヘッド製造方法 | |
| US5870123A (en) | Ink jet printhead with channels formed in silicon with a (110) surface orientation | |
| US10029466B2 (en) | Ink-jet recording head, recording element substrate, method for manufacturing ink-jet recording head, and method for manufacturing recording element substrate | |
| JP2926806B2 (ja) | サーマルインクジェットヘッド | |
| US6623110B2 (en) | Ink jet recording head and production methods therefor and printer apparatus therewith | |
| JP3239274B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JP3230017B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| US8268647B2 (en) | Method of manufacturing an ink jet print head | |
| JP3053936B2 (ja) | 液体噴射記録ヘッド用基体、該基体の製造方法、該基体を用いた液体噴射記録ヘッド、該記録ヘッドの製造方法及び該記録ヘッドを具備する記録装置 | |
| JP2010240825A (ja) | 均一な膜を備えたｍｅｍｓデバイス及びその製造方法 | |
| JPH04107155A (ja) | サーマルヘッドの製造方法 | |
| JP2533964Y2 (ja) | サーマルインクジェットヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |