JP2917254B1 - 電荷検出プローブ - Google Patents
電荷検出プローブInfo
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Abstract
ときに、測定対象物を変形させたり傷つけたりすること
がないようにするとともに、測定対象物との間の放電を
有効に防止し、かつ電荷検出プローブの耐久性を高め
る。 【解決手段】 スプリング１３を内蔵したバレル１１に
対してプランジャ１２が伸縮するテレスコープ構造とす
る。プランジャ１２は酸化ジルコニウムで製作する。
Description
の測定対象物の電荷量を測定するため、測定対象物に接
触させて電荷を誘導する電荷検出プローブに関する。
蓄積されている電荷量を測定する電荷量測定器として、
金属製プローブを先端に備え、該プローブを測定対象物
に接触させてその電荷を誘導するペン型の検出器と、こ
の検出器からの出力を処理して電荷量を表示する表示器
とからなる携帯型の電荷量測定器を、既に製品として提
供している。
ローブが全一体の単なる金属ピンであり、検出器の先端
に固定されていたため、例えば半導体デバイスのリード
端子にプローブの先端を接触させて半導体デバイス内部
の電荷量を測定する場合、リード端子を曲げたり傷つけ
たりすることがあった。また、材質がステンレス又はタ
ングステンであり、これらの金属は放電したときに摩耗
し易いために発塵し、特に半導体製造工程では、発塵し
た金属粒子が半導体デバイスなどに付着してその品質を
低下させる恐れがあった、更に、プローブとリード端子
との間で金属同士の急速な放電が生じた場合、半導体デ
バイス内部を破壊するとともに人体に電撃を与える危険
性もあった。
対象物に接触させたときに、測定対象物を変形させたり
傷つけたりすることがないようにするとともに、測定対
象物との間の放電を有効に防止し、かつ電荷検出プロー
ブの耐久性を高めることにある。
ブは、スプリングを内蔵したバレルに対してプランジャ
が伸縮するテレスコープ構造としたこと、プランジャを
酸化ジルコニウムで製作したことを特徴とする。
は、固有抵抗値が５ＭΩ／ｃｍ〜２０ＭΩ／ｃｍのもの
が好ましい。
て図面を参照して詳細に説明する。
電荷検出プローブ１０は、ステンレス製パイプであるバ
レル１１に酸化ジルコニウム製ピンであるプランジャ１
２を伸縮できるように摺動自在に嵌装してテレスコープ
構造としたもので、プランジャ１２は、バレル１１に内
蔵されたスプリング１３によりバレル１１に対して所定
長さまで突出する。プランジャ１２は、円錐形状の先端
膨大部１２ａを一体に形成している。
ウムは、耐摩耗性が高い金属である上に、それ自体に比
較的高い固有抵抗があるので、測定対象物との間の放電
を抑制できるとともに、放電しても摩耗が少ない。酸化
ジルコニウムの固有抵抗値が５ＭΩ／ｃｍ未満である
と、放電が生じやすくなり、また２０ＭΩ／ｃｍを越え
ると、電荷の誘導性が悪くなるので、固有抵抗値が５Ｍ
Ω／ｃｍ〜２０ＭΩ／ｃｍの酸化ジルコニウムを選ぶの
が良い。
ペン型検出器１の先端に取り付けて使用される。
で持って操作できる長さ及び太さに作られ、図３に示す
ように、電気絶縁性の円筒形ケース５内に図６に示すよ
うな回路を内蔵し、このケース５の胴部の所要位置に設
けられた孔から押しボタン６を露出させ（ケース５をペ
ンのように摘んだとき押しボタン６を操作し易いとこ
ろ）、ケース５の先端に、樹脂製の先端コーン７を固着
するとともに、ケース５の基端にコード２の基端固定部
２ａを固定している。
に孔８が設けられ、この孔８に、金属製パイプであるソ
ケット９が内外に突出するように貫通固定されている。
そして、このソケット９に本発明による電荷検出プロー
ブ１０が抜き差し自在に挿着される。
ド２を介して表示器３と接続され、これらペン型検出器
１と表示器３とを接続することで電荷量測定器となる。
表示器３は、片手で握れる大きさに作られており、ペン
型検出器１と共に携帯して使用できるようになってい
る。コード２は、ペン型検出器１の基端から引き出さ
れ、コード先端のプラグ４を表示器３の側面に設けられ
ているジャック（図示せず）に差し込むことにより、表
示器３に対してペン型検出器１を分離自在に接続できる
ようになっている。
装した回路基板１４が内蔵されている。図６において、
回路基板１４上には、押しボタン６によりオン・オフさ
れる放電用スイッチ１５、抵抗１６とコンデンサ１７と
による積分回路（電荷蓄積回路）１８、無接点半導体リ
レーであるホトリレー１９、このホトリレー１９の発光
素子１９ａを起動させるトランジスタ２０、インピーダ
ンス変換増幅器２１等が搭載されている。上記ソケット
９は、回路基板１４上で積分回路１８に接続され、ホト
カプラ１９の受光素子１９ｂは、回路基板１４上でコン
デンサ１７と並列接続されている。また、回路基板１４
の一端には、本体である表示器３の内蔵回路とコード２
を介して接続するための入力端子及び出力端子が設けら
れており、放電用スイッチ１５は、表示器３側の放電用
スイッチ（図示せず）と並列接続されている。
出器１からのアナログの検出信号（積分回路１８に蓄電
された電荷量）を増幅する増幅器、その増幅信号をデジ
タル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ等が内蔵されてい
る。また、表示器３の上面には、図４に示すように、Ａ
／Ｄコンバータでデジタルに変換された電荷量をデジタ
ル表示する液晶表示部２２、表示器３側の上記放電用ス
イッチの押しボタン部２３が設けられ、側面には、上記
ジャックの他にアース線を接続するアース端子２４や電
源スイッチ２５等が設けられている。
は、図５に示すように、電荷検出プローブ１０のプラン
ジャ１２の先端膨大部１２ａを測定対象物、例えば半導
体デバイスのリード端子に接触させる。このとき、プラ
ンジャ１２は、スプリング１３による弾性を受けながら
収縮するので、リード端子を変形させたり傷つけること
がないとともに、リード端子にほぼ一定の圧力で接触さ
せることができる。また、プランジャ１２は、固有抵抗
値が５ＭΩ／ｃｍ〜２０ＭΩ／ｃｍの酸化ジルコニウム
で製作されているので、リード端子とプランジャ１２と
の間の放電を防止できる。電荷検出プローブ１０は、図
１に示すようにソケット９から抜出して容易に交換でき
る。
は、導体であるリード端子から電荷検出プローブ１０及
びソケット９を通じて積分回路１８へ誘導され、コンデ
ンサ１７に蓄電される。そして、その蓄電による電気信
号は、ペン型検出器１からコード２を通じて表示器３へ
送られ、表示器３内の増幅器で増幅されてから、Ａ／Ｄ
コンバータでデジタルに変換され、液晶表示部２２によ
り測定対象物の電荷量が数字で表示される。
ン６を押して放電用スイッチ１５をオンにすると、トラ
ンジスタ２０がオンとなってホトリレー１９の発光素子
１９ａが発光し、受光素子１９ｂがオンとなって積分回
路１８のコンデンサ１７が短絡され、積分回路１８に蓄
積されていた電荷が表示器３側においてアースへ放電さ
れる。このアースへの放電は、ホトリレー１９の高速ス
イッチング動作により瞬時に行われるので、電荷量の測
定を高速で繰り返し行うことができる。積分回路１８の
放電は、表示器３側で押しボタン部２３を押して表示器
３内の放電用スイッチをオンにすることによっても行え
る。
材質を、固有抵抗値が５ＭΩ／ｃｍ〜２０ＭΩ／ｃｍの
酸化ジルコニウムとしたので、図６に示した回路を測定
対象物からの放電に対して保護することもできる。
定対象物に接触させたとき、電荷検出プローブのプラン
ジャが、スプリングによる弾性を受けながら収縮するの
で、測定対象物を変形させたり傷つけることがないとと
もに、測定対象物にほぼ一定の圧力で接触させることが
できる。
ので、次のような効果がある。 プランジャの材質として、固有抵抗値が比較的高い
金属である酸化ジルコニウムを選んだので、プランジャ
の抵抗値によって、測定対象物との間の放電を抑制でき
る。 酸化ジルコニウムは耐摩耗性が高いため、たとえ放
電しても摩耗による金属粒子の発塵が殆ど無い。 酸化ジルコニウムは強度も高いため、耐久性が増
す。 酸化ジルコニウムの中でも固有抵抗値が５ＭΩ／ｃ
ｍ〜２０ＭΩ／ｃｍの酸化ジルコニウムを選べば、測定
対象物からの電荷の誘導性を確保しながら放電を有効に
防止できる。
するペン型検出器の一部分の斜視図である。
視図である。
子に接触させて検出を行う状態の斜視図である。
である。
Claims (2)
- 【請求項１】スプリングを内蔵したバレルに対してプラ
ンジャが伸縮するテレスコープ構造としたこと、前記プ
ランジャを酸化ジルコニウムで製作したことを特徴とす
る電荷検出プローブ。 - 【請求項２】プランジャを固有抵抗値が５ＭΩ／ｃｍ〜
２０ＭΩ／ｃｍの酸化ジルコニウムで製作したことを特
徴とする請求項１記載の電荷検出プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10165587A JP2917254B1 (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 電荷検出プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10165587A JP2917254B1 (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 電荷検出プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2917254B1 true JP2917254B1 (ja) | 1999-07-12 |
| JPH11352146A JPH11352146A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15815197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10165587A Expired - Fee Related JP2917254B1 (ja) | 1998-06-12 | 1998-06-12 | 電荷検出プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2917254B1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4089976B2 (ja) * | 2004-05-17 | 2008-05-28 | リーノ アイエヌディー．インコーポレイテッド | 大電流用プローブ |
| CN103616536A (zh) * | 2013-11-01 | 2014-03-05 | 三亚雷声船舶维修实业有限公司 | 测量仪器表笔 |
-
1998
- 1998-06-12 JP JP10165587A patent/JP2917254B1/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11352146A (ja) | 1999-12-24 |
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