JP2914318B2 - How to replace the clean room filter - Google Patents

How to replace the clean room filter

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JP2914318B2 JP8254805A JP25480596A JP2914318B2 JP 2914318 B2 JP2914318 B2 JP 2914318B2 JP 8254805 A JP8254805 A JP 8254805A JP 25480596 A JP25480596 A JP 25480596A JP 2914318 B2 JP2914318 B2 JP 2914318B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム用
フィルターの交換方法に関するものであり、特に、ファ
ンとフィルターとを天井面に用いて室内空間を高度に塵
埃量の制御された清浄空間とした場合のクリーンルーム
用フィルターの交換方法に関するものである。[0001] The present invention relates to a clean room.
The present invention relates to a method of replacing a filter , and particularly relates to a clean room in a case where a fan and a filter are used for a ceiling surface to make the indoor space a clean space with a highly controlled amount of dust.
It relates to a method of replacing a filter for use .

【０００２】[0002]

【従来の技術】周知のように、半導体、液晶等の製造
は、クリーンルームと称される塵埃量の制御された清浄
空間内において行われる。2. Description of the Related Art As is well known, the production of semiconductors, liquid crystals and the like is performed in a clean space in which the amount of dust is controlled, which is called a clean room.

【０００３】クリーンルームにおいては、清浄空間と周
囲空間とを隔離する境界部分にフィルターが使用されて
いる。このフィルターは、定期的に、また、必要に応じ
て、適宜取り替える必要があり、このようなクリーンル
ームのフィルター交換に関する技術は、実開平４−９２
６２８号公報に紹介されている。[0003] In a clean room, a filter is used at a boundary portion separating a clean space and a surrounding space. It is necessary to replace this filter periodically and as needed, as needed.
628 publication.

【０００４】図８は、上記公報記載の図であって、図に
おいて、Ａは清浄とされた室内空間、Ｂは清浄度の低い
メンテナンス空間を示している。この場合、フィルタ１
は、通気孔（図示せず）を有する壁２と、壁２に対して
取り付けられるとともに同じく通気孔（図示せず）を有
する収容壁３と、の間において、上側から差し込まれる
ことにより収容されている。この構成においては、フィ
ルタ１の交換をフィルタの抜き差しによって容易に行え
る利点がある。FIG. 8 is a diagram described in the above-mentioned publication, in which A denotes a clean indoor space, and B denotes a maintenance space with low cleanliness. In this case, filter 1
Is accommodated by being inserted from above between a wall 2 having an air hole (not shown) and a housing wall 3 attached to the wall 2 and also having an air hole (not shown). ing. This configuration has an advantage that the filter 1 can be easily replaced by removing and inserting the filter.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなフィルタの交換であると、交換に際してフィルタ
１を抜き出した場合に、室内空間Ａとメンテナンス空間
Ｂとが通気孔を介して連通してしまい、室内空間の清浄
度が下がってしまうという問題があった。However, if the filter is replaced as described above, the room space A and the maintenance space B communicate with each other via the ventilation hole when the filter 1 is pulled out at the time of replacement. However, there is a problem that the cleanliness of the indoor space is reduced.

【０００６】また、上記フィルタ１は、壁のごく一部分
に設けられたものであり、近年のようにフィルタ面積を
広くとる大規模のクリーンルーム構造、例えば、天井に
ファンとフィルタを載せてフィルタ面積を広くしたクリ
ーンルーム構造に対しては、天井構造が複雑となるた
め、適さない。The filter 1 is provided on a very small portion of a wall, and has a large-scale clean room structure which has a large filter area as in recent years. For example, a fan and a filter are mounted on a ceiling to reduce the filter area. It is not suitable for a large clean room structure because the ceiling structure becomes complicated.

【０００７】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、室内空間の清浄度を維持したままフィルタ交換を達
成し得るクリーンルーム用フィルターの交換方法を提供
することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a method for replacing a filter for a clean room that can achieve filter replacement while maintaining cleanliness of an indoor space.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項１記載のクリーン
ルーム用フィルターの交換方法においては、躯体フレー
ムにより支持され、通気させることにより塵埃を除去す
るクリーンルーム用フィルターの交換方法において、交
換すべきフィルターと該フィルターを支持する躯体フレ
ームで画定される空間を閉塞治具により閉塞するステッ
プと、前記交換すべきフィルターを前記躯体フレームか
ら取り外すステップと、交換用フィルターを前記躯体フ
レームに取り付けるステップと、前記閉塞治具を前記躯
体フレームから取り外すステップから成ることを特徴と
している。請求項２記載のクリーンルーム用フィルター
の交換方法においては、請求項１記載のクリーンルーム
用フィルターの交換方法において、前記躯体フレームの
前記フィルターの延在面に垂直な側面には凹溝を有し、
かつ、前記閉塞治具は板状の閉塞パネルと、前記溝と係
合する弾性部材から成る係合部とから構成されることを
特徴としている。請求項３記載のクリーンルーム用フィ
ルターの交換方法においては、請求項１記載のクリーン
ルーム用フィルターの交換方法において、前記躯体フレ
ームの前記フィルターの延在面に垂直な側面には段部を
有し、かつ、前記閉塞治具は板状の閉塞パネルと、該閉
塞パネルの延在面に垂直な直立壁と、該直立壁の外周側
面に固定され、前記段部と係合する弾性変形可能なパッ
キンとから構成されることを特徴としている。請求項４
記載のクリーンルーム用フィルターの交換方法において
は、請求項２または３記載のクリーンルーム用フィルタ
ーの交換方法において、前記閉塞治具の前記閉塞パネル
には、該閉塞パネルの延在面に垂直な長尺の操作部材が
設けられていることを特徴としている。Means for solving the problems The clean according to claim 1
When replacing the room filter,
Supported by a ventilation system to remove dust by venting
Replacement method for the clean room filter
Filter to be replaced and the body frame supporting the filter
To close the space defined by the
And the filter to be replaced with the frame
And replacing the replacement filter with the frame
Attaching the closing jig to the frame.
Removing from the body frame . The filter for a clean room according to claim 2.
2. The clean room according to claim 1, wherein
The method for replacing a filter for
The groove has a groove on a side surface perpendicular to the extending surface of the filter,
The closing jig is associated with a plate-shaped closing panel and the groove.
And an engaging portion formed of a resilient member to be combined . The clean room filter according to claim 3.
In the method of replacing a filter, the clean according to claim 1 is used.
In the method for replacing a room filter, the frame frame
A step is provided on the side of the
And the closing jig has a plate-like closing panel and the closing jig.
An upright wall perpendicular to the extending surface of the closing panel, and an outer peripheral side of the upright wall
An elastically deformable package fixed to the surface and engaging the step
And a kin . Claim 4
How to replace the clean room filter described
Is a filter for a clean room according to claim 2 or 3.
In the method of exchanging the lock, the closing panel of the closing jig is used.
Has a long operating member perpendicular to the extending surface of the closing panel.
It is characterized by being provided .

【０００９】本発明によると、フィルタの交換時には、
閉塞治具が交換すべきフィルタの下に位置する開口に対
して適用される。すなわち、閉塞治具が躯体フレームに
対して取り付けられる。よって、天井裏空間と室内空間
とを閉塞治具によって隔離した状況でフィルタ交換がな
され、室内空間の清浄度を維持したままフィルタ交換が
なされる。本発明のある形態においては、閉塞治具を開
口に対して適用するに際して、閉塞治具は、長尺の操作
部材を介して取り扱われる。すなわち、閉塞治具の適用
対象が天井のような高所であっても、閉塞治具は、操作
部材により容易に取り扱われる。本発明の他の形態にお
いては、閉塞治具の係合部が弾性部材から形成されてい
るので、閉塞治具の躯体フレームへの着脱に際し、係合
部の弾性変形、弾性復帰を利用することにより、閉塞治
具の着脱が容易に行われる。本発明のさらに他の形態に
おいては、閉塞治具には、シール部材が設けられている
ので、開口は、閉塞パネルにより気密状態に閉塞され、
室内空間の清浄度の維持が一層確実になされる。According to the present invention , when replacing the filter,
A closing jig is applied to the opening located below the filter to be replaced. In other words, the closing jig is
It is attached to. Therefore, the filter is exchanged in a state where the space above the ceiling and the indoor space are isolated by the closing jig , and the filter is exchanged while maintaining the cleanliness of the indoor space. In an embodiment of the present invention, when the closing jig is applied to the opening, the closing jig is handled via a long operation member. That is, even if the object to which the closing jig is applied is a high place such as a ceiling, the closing jig is easily handled by the operation member. According to another aspect of the present invention,
Since the engaging portion of the closing jig is formed of an elastic member, the attaching and detaching of the closing jig to and from the skeleton frame is performed by utilizing the elastic deformation and elastic return of the engaging portion. It can be easily attached and detached. In still another aspect of the present invention
In the closing jig, since the sealing member is provided, the opening is closed in an airtight state by the closing panel,
The maintenance of the cleanliness of the indoor space is further ensured.

【００１０】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【００１１】〔第１実施形態〕 図１は、本発明に係わるクリーンルームの天井構造を示
すもので、図において、Ｃは天井裏空間、Ｄは室内空間
を示している。クリーンルームの天井構造１０は、躯体
フレーム１１、ファンフィルタユニット１２、閉塞治具
２０を備えて構成されている。[First Embodiment] FIG. 1 shows a ceiling structure of a clean room according to the present invention . In the drawing, C indicates a space above the ceiling, and D indicates an indoor space. The ceiling structure 10 of the clean room includes a skeleton frame 11, a fan filter unit 12, and a closing jig 20.

【００１２】躯体フレーム１１は、天井躯体をなすもの
で、格子状に構成されており、開口１１ａを画成してい
る。The skeleton frame 11 forms a ceiling skeleton, is configured in a lattice shape, and defines an opening 11a.

【００１３】ファンフィルタユニット１２は、フィルタ
１２ａと送風ファン１２ｂとからなるユニットである。
この場合、フィルタ１２ａは、躯体フレーム１１の画成
する開口１１ａを覆った状態で天井裏空間Ｃと室内空間
Ｄとを隔離するよう、躯体フレーム１１上に載置されて
いる。また、ファン１２ｂは、天井裏空間Ｃから室内空
間Ｄに向けてフィルタ１２ａを介して送風を行うことに
より室内空間Ｄを清浄な雰囲気に維持するよう、フィル
タ１１ａの天井裏空間Ｃ側に設置されている。The fan filter unit 12 is a unit including a filter 12a and a blower fan 12b.
In this case, the filter 12a is placed on the skeleton frame 11 so as to isolate the space C above the ceiling and the interior space D while covering the opening 11a defined by the skeleton frame 11. Further, the fan 12b is installed on the side of the space above the ceiling 11C of the filter 11a so that the interior space D is maintained in a clean atmosphere by blowing air from the space above the ceiling C to the room D via the filter 12a. ing.

【００１４】閉塞治具２０は、フィルタ１２ａの交換時
に使用されるものであって、閉塞パネル２１、係合部２
２、操作部材２３、シール部材２４、等を備えて構成さ
れている。The closing jig 20 is used at the time of replacing the filter 12a.
2, the operation member 23, the seal member 24, and the like.

【００１５】閉塞パネル２１は、平板状のものであっ
て、躯体フレーム１１の画成する開口１１ａを閉塞可能
なサイズとされている。The closing panel 21 is of a flat plate shape, and has a size capable of closing the opening 11a defined by the body frame 11.

【００１６】係合部２２は、閉塞パネル２１の端部近傍
に設けられたもので、弾性部材から形成されている。本
実施形態においては、係合部２２は、図２に示すよう
に、湾曲形状にばね性を有して形成されており、躯体フ
レーム１１に形成された凹溝１１ｂと係合するよう構成
されている。この場合、係合部２２の弾性、および、凹
溝１１ｂの深さは、閉塞治具２０の躯体フレーム１１へ
の着脱が容易であるよう調整されている。The engaging portion 22 is provided near the end of the closing panel 21 and is formed of an elastic member. In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the engaging portion 22 is formed to have a spring shape in a curved shape, and is configured to engage with the concave groove 11 b formed in the skeleton frame 11. ing. In this case, the elasticity of the engagement portion 22 and the depth of the concave groove 11b are adjusted so that the closing jig 20 can be easily attached to and detached from the skeleton frame 11.

【００１７】操作部材２３は、閉塞パネル２１の延在面
に直交して図示下向きに突出するよう延在して設けられ
た長尺のものである。The operation member 23 is a long member provided to extend perpendicularly to the extending surface of the closing panel 21 and project downward in the drawing.

【００１８】シール部材２４は、図２に示すように、閉
塞パネル２１の端部近傍に設けられたもので、閉塞パネ
ル２１に対して気密状態での閉塞性を付与するという機
能を有している。As shown in FIG. 2, the sealing member 24 is provided near the end of the closing panel 21 and has a function of providing the closing panel 21 with a sealing property in an airtight state. I have.

【００１９】次に、図３〜図６を参照して、本発明のク
リーンルームの天井構造におけるフィルタの交換手順に
ついて説明する。Next, with reference to FIGS. 3 to 6, a procedure for replacing a filter in a ceiling structure of a clean room according to the present invention will be described.

【００２０】フィルタ１２ａの交換に際しては、まず、
交換すべきフィルタ１２ａの下方より、閉塞治具２０を
図３に示すように取り付ける。すなわち、作業者が交換
すべきフィルタ１２ａの下に位置する開口１１ａのとこ
ろに閉塞部材２０をもっていき、閉塞部材２０を下方側
から押し込む。すると、係合部２２がしなって凹溝１１
ｂ内に嵌まり込み、閉塞部材２０が躯体フレーム１１に
対してしっかりと固定される。これにより、閉塞パネル
２１が開口１１ａを閉塞することになる。この場合、閉
塞は、シール部材２４の介在により気密状態になされ
る。When replacing the filter 12a, first,
The closing jig 20 is attached from below the filter 12a to be replaced as shown in FIG. That is, the operator brings the closing member 20 to the opening 11a located below the filter 12a to be replaced, and pushes the closing member 20 from below. Then, the engaging portion 22 is bent and the concave groove 11 is formed.
b, and the closing member 20 is firmly fixed to the frame 11. As a result, the closing panel 21 closes the opening 11a. In this case, the blockage is made airtight by the interposition of the seal member 24.

【００２１】そして、天井裏空間Ｃの作業者が、図４に
示すように、交換すべきフィルタ１２ａおよびその上に
位置するファンを取り外す。この場合、開口１１ａが閉
塞パネル２１により閉塞されているため、開口１１ａを
通して天井裏空間Ｃと室内空間Ｄとが連通されることは
なく、室内空間Ｄの清浄度が維持される。Then, as shown in FIG. 4, the worker in the space C above the ceiling removes the filter 12a to be replaced and the fan located thereon. In this case, since the opening 11a is closed by the closing panel 21, the space C between the ceiling and the interior space D is not communicated through the opening 11a, and the cleanness of the interior space D is maintained.

【００２２】それから、作業中に閉塞パネル２１上に落
下付着した塵埃３０を除去した後、図５に示すように、
新たなフィルタ１２ａを取り付け、さらに、ファン１２
ｂを元の位置に戻す。[0022] Then, after removing the dust 30 dropped deposited on closure panel 21 while working, as shown in FIG. 5,
Attach a new filter 12a, and
Return b to its original position.

【００２３】最後に、図６に示すように、閉塞治具２０
を取り外して、フィルター１２ａの交換作業を完了す
る。Finally, as shown in FIG.
Is removed to complete the replacement work of the filter 12a.

【００２４】上記のようなクリーンルームの天井構造１
０においては、閉塞治具２０が係合部２２と閉塞パネル
２１とを備えているので、フィルタ１２ａの交換時に
は、閉塞治具２０を交換すべきフィルタ１２ａの下に位
置する開口１１ａに対して適用することにより、すなわ
ち、開口１１ａを閉塞パネル２１により閉塞した状態
で、閉塞治具２０を係合部２２を介して躯体フレーム１
１に対して取り付ることにより、天井裏空間Ｃと室内空
間Ｄとを閉塞パネル２１で隔離した状況でフィルタ交換
を行うことができる。したがって、室内空間Ｄの清浄度
を維持したままフィルタ交換を達成することができる。
よって、クリーンルームの運転を停止することなく、稼
動状態でフィルター交換を問題なく行うことができる。
すなわち、クリーンルームの停止、再稼動には相当の時
間、工数が必要であり、またその間の生産の停止による
損害は甚大である。本発明においては、こうした損害を
防止できるという大きな利点がある。The above-described clean room ceiling structure 1
0, since the closing jig 20 includes the engaging portion 22 and the closing panel 21, when the filter 12 a is replaced, the closing jig 20 needs to be removed from the opening 11 a located below the filter 12 a to be replaced. By applying, that is, in a state where the opening 11a is closed by the closing panel 21, the closing jig 20 is
By attaching to the space 1, the filter exchange can be performed in a state where the space C above the ceiling and the room space D are isolated by the closing panel 21. Therefore, filter replacement can be achieved while maintaining the cleanliness of the indoor space D.
Therefore, the filter can be replaced without any problem in the operating state without stopping the operation of the clean room.
That is, it takes a considerable amount of time and man-hours to stop and restart the clean room, and the damage caused by stopping the production during that time is enormous. The present invention has a great advantage that such damage can be prevented.

【００２５】また、閉塞治具２０には、長尺の操作部材
２３が設けられているので、閉塞治具２０を開口１１ａ
に対して適用するに際して、閉塞治具２０を操作部材２
３を介して取り扱うことにより、閉塞治具２０を容易に
取り扱うことができる。すなわち、閉塞治具２０の適用
対象が天井のような高所であっても、閉塞治具２０を容
易に取り扱うことができる。Since the closing jig 20 is provided with the long operating member 23, the closing jig 20 is opened through the opening 11a.
When applying to the operating member 2
By handling through the third jig 3, the closing jig 20 can be easily handled. That is, even when the object to which the closing jig 20 is applied is a high place such as a ceiling, the closing jig 20 can be easily handled.

【００２６】さらに、閉塞治具２０の係合部２２が弾性
部材から形成されているので、閉塞治具２０の躯体フレ
ーム１１への着脱に際し、係合部２２の弾性変形、弾性
復帰を利用することにより、閉塞治具２０の着脱を容易
に達成することができる。Further, since the engaging portion 22 of the closing jig 20 is formed from an elastic member, the elastic deformation and return of the engaging portion 22 are used when the closing jig 20 is attached to and detached from the frame 11. Thereby, attachment and detachment of the closing jig 20 can be easily achieved.

【００２７】しかも、閉塞治具２０には、シール部材２
４が設けられているので、開口１１ａを閉塞パネル２１
により気密状態に閉塞することができ、室内空間Ｄの清
浄度の維持を一層確実に行うことができる。Moreover, the sealing member 2 is attached to the closing jig 20.
4, the opening 11a is closed by the closing panel 21.
Accordingly, the airtight state can be closed, and the cleanliness of the indoor space D can be maintained more reliably.

【００２８】〔第２実施形態〕 図７は、本発明に係わる他のクリーンルームの天井構造
を示すもので、本実施形態が上記第１実施形態と相違す
るのは、躯体フレーム１１および係合部２２の構造のみ
であり、他の構成は同様である。よって、相違部分につ
いてのみ説明し、他の説明は省略する。[Second Embodiment] FIG. 7 shows a ceiling structure of another clean room according to the present invention, and the present embodiment is different from the first embodiment in that a frame 11 is used. Only the structure of the engaging portion 22 is the same, and other configurations are the same. Therefore, only the differences will be described, and the other description will be omitted.

【００２９】躯体フレーム１１には、凹溝１１ｂに代え
て段部１１ｃが形成されている。The frame 11 has a step 11c instead of the groove 11b.

【００３０】係合部２２は、直立壁２２ａと、この直立
壁２２ａの外周部に固定された弾性変形可能なパッキン
２２ｂと、から構成されている。The engaging portion 22 is composed of an upright wall 22a and an elastically deformable packing 22b fixed to the outer periphery of the upright wall 22a.

【００３１】本実施形態においては、上記第１実施形態
と同様に、係合部２２を段部１１ｃに対して自在に係合
させることができ、閉塞部材２０の躯体フレーム１１へ
の取付を容易に行うことができる。とりわけ、本実施形
態においては、係合部２２および段部１１ｃの製作加工
が容易であるという利点がある。他の作用効果について
は、上記第１実施形態と同様である。In the present embodiment, similarly to the first embodiment, the engaging portion 22 can be freely engaged with the step portion 11c, and the mounting of the closing member 20 to the frame 11 is easy. Can be done. In particular, in the present embodiment, there is an advantage that the manufacturing process of the engaging portion 22 and the step portion 11c is easy. Other functions and effects are the same as those in the first embodiment.

【００３２】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではなく、以下の形態とすることもできる。 ａ）躯体フレーム１１を格子状に構成することに代え
て、任意形状に構成すること。 ｂ）閉塞パネル２１の形状を平板状とすることに代え
て、開口１１ａを閉塞し得る任意形状とすること。 ｃ）係合部２２を図示形状に構成することに代えて、任
意形状に構成すること。The present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be configured as follows. a) Instead of forming the frame 11 in a lattice shape, the frame 11 is formed in an arbitrary shape. b) Instead of making the shape of the closing panel 21 flat, an arbitrary shape that can close the opening 11a is used. c) Instead of forming the engaging portion 22 into the illustrated shape, the engaging portion 22 may be formed into an arbitrary shape.

【００３３】[0033]

【発明の効果】本発明のクリーンルーム用フィルターの
交換方法によれば、以下の効果を奏する。本発明によれ
ば、フィルタの交換時には、閉塞治具を躯体フレームに
対して取り付ることにより、天井裏空間と室内空間とを
閉塞治具によって隔離した状況でフィルタ交換を行うこ
とができる。したがって、室内空間の清浄度を維持した
ままフィルタ交換を達成することができる。よって、ク
リーンルームの運転を停止することなく、稼動状態でフ
ィルター交換を問題なく行うことができる。本発明のあ
る形態によれば、閉塞治具には、長尺の操作部材が設け
られているので、閉塞治具を開口に対して適用するに際
して、閉塞治具を操作部材を介して取り扱うことによ
り、閉塞治具を容易に取り扱うことができる。すなわ
ち、閉塞治具の適用対象が天井のような高所であって
も、閉塞治具を容易に取り扱うことができる。本発明の
他の形態によれば、閉塞治具の係合部が弾性部材から形
成されているので、閉塞治具の躯体フレームへの着脱に
際し、係合部の弾性変形、弾性復帰を利用することによ
り、閉塞治具の着脱を容易に達成することができる。本
発明のさらに他の形態によれば、閉塞治具には、シール
部材が設けられているので、開口を閉塞パネルにより気
密状態に閉塞することができ、室内空間の清浄度の維持
を一層確実に行うことができる。According to the present invention, there is provided a filter for a clean room of the present invention.
According to the replacement method , the following effects are obtained. According to the present invention
For example, when replacing the filter, attach the closing jig to the frame
By installing it, the space between the ceiling and the room
Do not replace the filter in a situation where the filter is
Can be. Therefore, the cleanliness of the indoor space was maintained
Filter replacement can be achieved as it is. Therefore, the filter can be replaced without any problem in the operating state without stopping the operation of the clean room. Of the present invention
According to this embodiment , the closing jig is provided with a long operating member. Therefore, when the closing jig is applied to the opening, the closing jig is handled through the operating member, so that the closing jig is closed. The jig can be handled easily. That is, even when the object to which the closing jig is applied is a high place such as a ceiling, the closing jig can be easily handled. Of the present invention
According to another aspect , since the engaging portion of the closing jig is formed of an elastic member, the elastic deformation of the engaging portion and the elastic return of the engaging portion are used when attaching / detaching the closing jig to / from the frame. The attachment and detachment of the closing jig can be easily achieved. Book
According to still another aspect of the invention, since the sealing member is provided in the closing jig, the opening can be closed in an airtight state by the closing panel, and the maintenance of the cleanliness of the indoor space is more reliably maintained. It can be carried out.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】 本発明に係わるクリーンルームの天井構造を
示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a ceiling structure of a clean room according to the present invention .

【図２】 図１に示すクリーンルームの天井構造におけ
る領域IIを拡大して示す断面図である。FIG. 2 is an enlarged sectional view showing a region II in the ceiling structure of the clean room shown in FIG.

【図３】 図１に示すクリーンルームの天井構造におけ
るフィルタの交換手順の説明図であって、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は断面図である。3A and 3B are explanatory views of a filter replacement procedure in the ceiling structure of the clean room shown in FIG. 1, wherein FIG. 3A is a perspective view and FIG. 3B is a cross-sectional view.

【図４】 図１に示すクリーンルームの天井構造におけ
るフィルタの交換手順の説明図であって、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は断面図である。FIGS. 4A and 4B are explanatory views of a filter replacement procedure in the ceiling structure of the clean room shown in FIG. 1, wherein FIG. 4A is a perspective view and FIG.

【図５】 図１に示すクリーンルームの天井構造におけ
るフィルタの交換手順の説明図であって、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は断面図である。5A and 5B are explanatory diagrams of a filter replacement procedure in the ceiling structure of the clean room shown in FIG. 1, wherein FIG. 5A is a perspective view and FIG. 5B is a cross-sectional view.

【図６】 図１に示すクリーンルームの天井構造におけ
るフィルタの交換手順の説明図であって、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は断面図である。6A and 6B are explanatory views of a filter replacement procedure in the ceiling structure of the clean room shown in FIG. 1, wherein FIG. 6A is a perspective view and FIG. 6B is a cross-sectional view.

【図７】 本発明に係わる他のクリーンルームの天井構
造の一部を拡大して示す断面図である。FIG. 7 shows a ceiling structure of another clean room according to the present invention .
It is sectional drawing which expands and shows a part of structure .

【図８】 従来のクリーンルームにおけるフィルタまわ
りの構造を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a structure around a filter in a conventional clean room.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０ クリーンルームの天井構造 １１ 躯体フレーム １１ａ 開口 １２ａ フィルタ １２ｂ ファン ２０ 閉塞治具 ２１ 閉塞パネル ２２ 係合部 ２３ 操作部材 ２４ シール部材 Ｃ 天井裏空間 Ｄ 室内空間 Reference Signs List 10 ceiling structure of clean room 11 skeleton frame 11a opening 12a filter 12b fan 20 closing jig 21 closing panel 22 engaging portion 23 operating member 24 sealing member C under ceiling space D indoor space

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 躯体フレームにより支持され、通気させ
ることにより塵埃を除去するクリーンルーム用フィルタ
ーの交換方法において、交換すべきフィルターと該フィ
ルターを支持する躯体フレームで画定される空間を閉塞
治具により閉塞するステップと、前記交換すべきフィル
ターを前記躯体フレームから取り外すステップと、交換
用フィルターを前記躯体フレームに取り付けるステップ
と、前記閉塞治具を前記躯体フレームから取り外すステ
ップから成ることを特徴とするクリーンルーム用フィル
ターの交換方法。 1. The method according to claim 1, wherein said frame is supported by a frame and is ventilated.
Clean room filter that removes dust by removing
The filter to be replaced and the filter
Blocks the space defined by the frame supporting the luter
Closing with a jig;
Removing the unit from the frame,
Attaching an application filter to the skeleton frame
Removing the closing jig from the frame.
For a clean room characterized by comprising
How to replace the tar. 【請求項２】 前記躯体フレームの前記フィルターの延
在面に垂直な側面には凹溝を有し、かつ、前記閉塞治具
は板状の閉塞パネルと、前記溝と係合する弾性部材から
成る係合部とから構成されることを特徴とする請求項１
記載のクリーンルーム用フィルターの交換方法。 2. An extension of the filter of the frame.
A side surface perpendicular to the existing surface having a concave groove, and the closing jig
Is from a plate-shaped closure panel and an elastic member engaged with the groove.
2. An engaging part comprising:
How to replace the clean room filter described. 【請求項３】 前記躯体フレームの前記フィルターの延
在面に垂直な側面には段部を有し、かつ、前記閉塞治具
は板状の閉塞パネルと、該閉塞パネルの延在面に垂直な
直立壁と、該直立壁の外周側面に固定され、前記段部と
係合する弾性変形可能なパッキンとから構成されること
を特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用フィルタ
ーの交換方法。 3. An extension of the filter of the frame.
A side surface perpendicular to the existing surface, having a step portion, and the closing jig;
Is a plate-shaped closing panel, and a vertical
An upright wall, the stepped portion being fixed to an outer peripheral side surface of the upright wall;
And an elastically deformable packing for engaging
The filter for a clean room according to claim 1, wherein
How to exchange 【請求項４】 前記閉塞治具の前記閉塞パネルには、該
閉塞パネルの延在面に垂直な長尺の操作部材が設けられ
ていることを特徴とする請求項２または３記載のクリー
ンルーム用フィルターの交換方法。 4. The closing panel of the closing jig is provided with
A long operating member perpendicular to the extending surface of the closing panel is provided.
4. The creep according to claim 2, wherein
How to change the room filter.
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