JPH10156115A - Case structure of filter unit - Google Patents

Case structure of filter unit

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JPH10156115A
JPH10156115A JP33157696A JP33157696A JPH10156115A JP H10156115 A JPH10156115 A JP H10156115A JP 33157696 A JP33157696 A JP 33157696A JP 33157696 A JP33157696 A JP 33157696A JP H10156115 A JPH10156115 A JP H10156115A
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filter
secondary side
filter unit
housing
primary side
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Hidekatsu Fujita
英克 藤田
Yoshihisa Hosoe
義久 細江
Yoshikazu Koto
良和 厚東
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a case structure of a filter unit capable of preventing leakage of air from a primary side of the filter unit to a secondary side, with a simple structure and high reliability. SOLUTION: A filter frame 21 for attaching an HEDA filter 3 and a secondary side sideplate 22 are formed into one body by a bending work of a metal plate or welding to constitute an independent secondary side case body 20b, and also a primary side case body 20a constituted of both a ceiling 24 and a primary side sideplate 23 is attached to the secondary side case body 20b.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム設
備に配設されるクリーンエアコンユニットにおいて、空
気の温度調節を行う温調ユニットと組み合わせて用いら
れる、空気の除塵を行うHEPAフィルターを備えたフ
ィルターユニットに関し、特に、このフィルターユニッ
トの筺体構造に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a filter unit having a HEPA filter for removing air dust, which is used in combination with a temperature control unit for controlling the temperature of air in a clean air conditioner unit installed in a clean room facility. In particular, the present invention relates to a housing structure of the filter unit.

【0002】[0002]

【従来の技術】クリーンルーム内の空気の温度調節と除
塵を目的としてクリーンルーム設備に配設されるクリー
ンエアコンユニットとして、従来、図3に示すような、
空気の温度調節を行う温調ユニット1と、空気の除塵を
行うHEPAフィルター3を備えたフィルターユニット
2とを組み合わせたクリーンエアコンユニットが用いら
れている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a clean air conditioner unit installed in a clean room facility for the purpose of temperature control of air in a clean room and dust removal, as shown in FIG.
A clean air conditioner unit is used in which a temperature control unit 1 for adjusting the temperature of air and a filter unit 2 having a HEPA filter 3 for removing air dust are combined.

【0003】このクリーンエアコンユニットは、温調ユ
ニット1とフィルターユニット2の接続部に空気の漏洩
を防止するパッキン4を配設して接続するとともに、フ
ィルターユニット2の二次側2b(HEPAフィルター
3により除塵が行われ、浄化された空気の放出側)を空
気の漏洩を防止するパッキン6等を介してクリーンルー
ムの天井面5等に固定することにより、温調ユニット1
の蒸発器11により冷却した空気を、送風機12を介し
てフィルターユニット2内へ送り、HEPAフィルター
3により除塵を行った後、クリーンルームに向けて放出
するようにしている。なお、クリーンルーム内の空気
は、通常、この温調ユニット1及びフィルターユニット
2からなるクリーンエアコンユニットによって循環する
ように構成されている。
In this clean air conditioner unit, a packing 4 for preventing air leakage is arranged and connected to a connection portion between the temperature control unit 1 and the filter unit 2, and a secondary side 2b (HEPA filter 3) of the filter unit 2 is provided. Is fixed to the ceiling surface 5 or the like of the clean room via a packing 6 or the like for preventing air from leaking.
The air cooled by the evaporator 11 is sent into the filter unit 2 through the blower 12, and after the dust is removed by the HEPA filter 3, the air is discharged to the clean room. The air in the clean room is usually circulated by a clean air conditioning unit including the temperature control unit 1 and the filter unit 2.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、このクリー
ンエアコンユニットを構成するフィルターユニット2
は、図4に示すように、その内部に配設したHEPAフ
ィルター3を、清掃や交換する際にクリーンルーム側か
ら取り外すことができるように、中心部に通気口121
aを形成したフィルター枠121に、空気の漏洩を防止
するパッキン31を介して、吊ボルト81、取付金具8
2及びナット83からなる取付部材8により、着脱可能
に取り付けるようにしている。そして、HEPAフィル
ター3を取り付けるフィルター枠121は、フィルター
ユニット筺体120の側板122の内面にパッキン12
3を介してボルト・ナット124により固定した後、フ
ィルターユニット2の一次側2aから二次側2bへの空
気の漏洩を防止するため、フィルター枠121の周囲を
シリコンシール125によってシールするようにしてい
た。また、フィルターユニット筺体120の内面には、
断熱材171,172,173を配設するようにしてい
た。
The filter unit 2 constituting this clean air conditioner unit
As shown in FIG. 4, a vent 121 is provided at the center so that the HEPA filter 3 disposed inside can be removed from the clean room side when cleaning or replacing.
The hanging bolts 81 and the mounting brackets 8 are inserted into the filter frame 121 formed with a through the packing 31 for preventing air from leaking.
An attachment member 8 including a nut 2 and a nut 83 is detachably attached. The filter frame 121 for mounting the HEPA filter 3 is provided on the inner surface of the side plate 122 of the filter unit housing 120 with the packing 12.
After being fixed by bolts and nuts 124 via the filter 3, the periphery of the filter frame 121 is sealed with a silicone seal 125 in order to prevent air from leaking from the primary side 2 a to the secondary side 2 b of the filter unit 2. Was. Also, on the inner surface of the filter unit housing 120,
The heat insulators 171, 172, 173 were provided.

【0005】しかしながら、上記従来のフィルターユニ
ット2においては、パッキン123及びシリコンシール
125によるシール性能が作業者の熟練度等によって左
右されるとともに、運搬・取付時の振動や歪み、長時間
の運転等により、シリコンシール125が剥がれたり、
シリコンシール125に亀裂が入りやすく、シールの信
頼性が低いという問題点を有していた。
However, in the conventional filter unit 2, the sealing performance of the packing 123 and the silicon seal 125 depends on the skill of the operator, vibration and distortion during transportation and installation, long-time operation, and the like. With this, the silicon seal 125 is peeled off,
There was a problem that the silicon seal 125 was easily cracked and the reliability of the seal was low.

【0006】本発明は、上記従来のフィルターユニット
の有する問題点に鑑み、フィルターユニットの一次側か
ら二次側への空気の漏洩を、簡易な構造により、高い信
頼性を以て防止することができるフィルターユニットの
筺体構造を提供することを目的とする。
The present invention has been made in consideration of the above-described problems of the conventional filter unit, and has a simple structure to prevent air from leaking from the primary side to the secondary side of the filter unit with high reliability. It is an object to provide a unit housing structure.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のフィルターユニットの筺体構造は、HEP
Aフィルターを取り付けるフィルター枠と二次側の側板
を、金属板を曲げ加工又は溶接することにより一体化
し、独立した二次側筺体を構成するとともに、該二次側
筺体に一次側筺体を取り付けたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the housing structure of the filter unit according to the present invention comprises a HEP.
The filter frame for attaching the A filter and the secondary side plate were integrated by bending or welding a metal plate to form an independent secondary side housing, and the primary side housing was attached to the secondary side housing. It is characterized by the following.

【0008】フィルター枠と二次側の側板を一体化し、
独立した二次側筺体を構成するようにしているため、フ
ィルターユニットの一次側から二次側への空気の漏洩を
高い信頼性を以て防止することができる。
The filter frame and the secondary side plate are integrated,
Since the independent secondary housing is configured, it is possible to prevent the leakage of air from the primary side to the secondary side of the filter unit with high reliability.

【0009】この場合において、フィルター枠の通気口
の周縁を曲げ加工して起立片を形成することができる。
In this case, the upright pieces can be formed by bending the peripheral edge of the vent of the filter frame.

【0010】これにより、フィルター枠の剛性を高める
ことができ、フィルター枠とHEPAフィルターの密着
性が向上する。
As a result, the rigidity of the filter frame can be increased, and the adhesion between the filter frame and the HEPA filter can be improved.

【0011】また、一次側の側壁と二次側の側壁の外面
に連続して断熱材を配設することができる。
Further, a heat insulating material can be provided continuously on the outer surfaces of the primary side wall and the secondary side wall.

【0012】これにより、断熱材の貼付作業が容易にな
るとともに、一次側の側壁と二次側の側壁の隙間から空
気が外部に漏洩することを防止することができる。
This facilitates the work of attaching the heat insulating material and prevents the air from leaking to the outside from the gap between the primary side wall and the secondary side wall.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明のフィルターユニッ
トの筺体構造の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1〜図2に、フィルターユニットの一実施例を示す。
このフィルターユニット2は、図3に示した従来のフィ
ルターユニット2と同様、クリーンルーム内の空気の温
度調節と除塵を目的としてクリーンルーム設備に配設さ
れるクリーンエアコンユニットとして、空気の温度調節
を行う温調ユニットと組み合わせて用いられるものであ
る。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of a filter unit according to an embodiment of the present invention;
1 and 2 show an embodiment of the filter unit.
This filter unit 2 is a clean air conditioner unit which is disposed in a clean room facility for the purpose of controlling the temperature of air in a clean room and removing dust, similarly to the conventional filter unit 2 shown in FIG. It is used in combination with a key unit.

【0014】このフィルターユニット2は、その内部に
配設したHEPAフィルター3を、清掃や交換する際に
クリーンルーム側から取り外すことができるように、中
心部に通気口21aを形成したフィルター枠21に、空
気の漏洩を防止するパッキン31を介して、吊ボルト8
1、取付金具82及びナット83からなる取付部材8に
より、着脱可能に取り付けるようにしている。
The filter unit 2 is provided with a filter frame 21 having a vent 21a formed in the center thereof so that the HEPA filter 3 disposed therein can be removed from the clean room side when cleaning or replacing. Through the packing 31 for preventing air leakage, the suspension bolt 8
1. The mounting member 8 including the mounting bracket 82 and the nut 83 is detachably mounted.

【0015】そして、HEPAフィルター3を取り付け
るフィルター枠21には、フィルターユニット2の二次
側の側板22を、金属板を曲げ加工又は溶接することに
より一体化し、これにより、下方が開放した独立した二
次側筺体20bを構成するようにする。この場合、二次
側筺体20bを製作するに当たっては、通常、フィルタ
ー枠21の四辺にそれぞれ二次側の側板22を配した金
属板を用意し、これを曲げ加工するとともに、二次側の
側板22の隣接する端縁を溶接する方法、あるいは、フ
ィルター枠21の対向する二辺にそれぞれ二次側の側板
22を配した金属板を用意し、これを曲げ加工するとと
もに、他の対向する二辺にそれぞれ別の二次側の側板2
2となる金属板を用意し、この二次側の側板22とフィ
ルター枠21及び二次側の側板22の隣接する端縁を溶
接する方法を採用することができる。
The secondary side plate 22 of the filter unit 2 is integrated with the filter frame 21 to which the HEPA filter 3 is attached by bending or welding a metal plate. The secondary housing 20b is configured. In this case, when manufacturing the secondary side housing 20b, usually, a metal plate in which the secondary side plates 22 are arranged on the four sides of the filter frame 21, respectively, is prepared and bent, and the secondary side plates are formed. A method of welding adjacent edges of the metal frame 22 or a metal plate having secondary side plates 22 arranged on two opposite sides of the filter frame 21 is prepared and bent, and another metal plate is formed. Separate secondary side plates 2 on each side
2, a method of preparing a metal plate to be used as the second side plate and welding the adjacent side edges of the secondary side plate 22 to the filter frame 21 and the secondary side plate 22 can be adopted.

【0016】この場合において、フィルター枠21の通
気口21aの周縁を曲げ加工して起立片21bを形成す
ることにより、フィルター枠21の剛性を高めることが
できる。
In this case, the rigidity of the filter frame 21 can be increased by bending the periphery of the vent 21a of the filter frame 21 to form the upright piece 21b.

【0017】また、二次側の側板22の下端縁を曲げ加
工して突片22aを形成することにより、二次側筺体2
0bの剛性を高めることができる。この場合、突片22
aは、後述の二次側の側壁の外面に配設する断熱材71
の支持部材として用いることができる。
Further, by forming a protruding piece 22a by bending the lower end edge of the side plate 22 on the secondary side, the secondary side housing 2 is formed.
0b can be increased in rigidity. In this case, the projection 22
a is a heat insulating material 71 disposed on an outer surface of a secondary side wall described later.
Can be used as a supporting member.

【0018】このように構成した二次側筺体20bに一
次側の側板23及び天板24から構成される一次側筺体
20aを取り付けるようにする。一次側筺体20aと二
次側筺体20bの取り付けは、パッキン25等の空気の
漏洩を防止する部材又は材料を介してフィルター枠21
の上面に植設したボルト26に、一次側の側板23を固
定することにより行うようにする。なお、一次側の側板
23と天板24の連結部にも、必要に応じて、パッキン
等の空気の漏洩を防止する部材又は材料を配設すること
ができる。
The primary housing 20a composed of the primary side plate 23 and the top plate 24 is attached to the secondary housing 20b thus configured. The attachment of the primary housing 20a and the secondary housing 20b is performed by using a filter frame 21 or a material such as a packing 25 for preventing air from leaking.
By fixing the primary side plate 23 to the bolts 26 planted on the upper surface of the main body. In addition, a member or a material such as a packing for preventing air from leaking can be provided at the connecting portion between the primary side plate 23 and the top plate 24 as necessary.

【0019】また、一次側の側壁23と二次側の側壁2
2の外面に連続して断熱材71を、天板24の外面に断
熱材72を、それぞれ配設するようにする。
The primary side wall 23 and the secondary side wall 2
The heat insulating material 71 is disposed on the outer surface of the top plate 24, and the heat insulating material 72 is disposed on the outer surface of the top plate 24.

【0020】このフィルターユニット2の筺体構造によ
れば、フィルター枠21と二次側の側板22を一体化
し、独立した二次側筺体20bを構成するようにしてい
るため、HEPAフィルター3が取り付けられる通気口
21aを除いて、一次側2aから二次側2bへ一次側2
aの汚れた空気が侵入する隙間をなくすことができ、こ
れにより、フィルターユニット2の一次側2aから二次
側2bへの空気の漏洩を高い信頼性を以て、容易に防止
することができる。また、これにより、従来のシリコン
シールの作業が不要となるため、生産性を向上させるこ
とができる。また、一次側の側壁23と二次側の側壁2
2の連結部には、パッキン25を配設することにより空
気の漏洩を防止したが、その外面に連続して断熱材71
を配設するようにしているため、一次側の側壁23と二
次側の側壁22の隙間から空気が外部に漏洩することを
二重に防止することができる。
According to the housing structure of the filter unit 2, since the filter frame 21 and the secondary side plate 22 are integrated to constitute an independent secondary housing 20b, the HEPA filter 3 is mounted. Except for the vent 21a, the primary side 2a moves from the primary side 2a to the secondary side 2b.
It is possible to eliminate a gap into which the dirty air of a enters, thereby easily preventing the air from leaking from the primary side 2a to the secondary side 2b of the filter unit 2 with high reliability. In addition, this eliminates the need for a conventional silicon seal operation, thereby improving productivity. Also, the primary side wall 23 and the secondary side wall 2
2 was provided with a packing 25 at the connecting portion to prevent air from leaking.
Is arranged, air can be prevented from leaking outside through a gap between the primary side wall 23 and the secondary side wall 22.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明のフィルターユニットの筺体構造
によれば、フィルター枠と二次側の側板を一体化し、独
立した二次側筺体を構成するようにしているため、従来
のパッキン及びシリコンシールと比較して、作業者の熟
練度、運搬・取付時の振動や歪み、長時間の運転等の影
響を受けにくく、フィルターユニットの一次側から二次
側への空気の漏洩を高い信頼性を以て防止することがで
きる。また、シリコンシールの作業が不要となるため、
生産性を向上することができる。
According to the housing structure of the filter unit of the present invention, since the filter frame and the secondary side plate are integrated to constitute an independent secondary housing, the conventional packing and silicon seal are used. Compared with the filter unit, it is less susceptible to the proficiency of workers, vibration and distortion during transportation and installation, long-time operation, etc., and air leakage from the primary side to the secondary side of the filter unit with high reliability Can be prevented. In addition, since the work of silicon seal is unnecessary,
Productivity can be improved.

【0022】また、フィルター枠の通気口の周縁を曲げ
加工して起立片を形成することにより、フィルター枠の
剛性を高めることができ、フィルター枠とHEPAフィ
ルターの密着性を向上して、フィルターユニットの一次
側から二次側への空気の漏洩をより高い信頼性を以て防
止することができる。
Further, by forming a standing piece by bending the periphery of the ventilation hole of the filter frame, the rigidity of the filter frame can be increased, and the adhesion between the filter frame and the HEPA filter can be improved, and the filter unit can be improved. The air leakage from the primary side to the secondary side can be prevented with higher reliability.

【0023】また、一次側の側壁と二次側の側壁の外面
に連続して断熱材を配設することにより、断熱材の貼付
作業が容易になるため、生産性を向上することができる
とともに、一次側の側壁と二次側の側壁の隙間から空気
が外部に漏洩することを防止することができる。
Further, by continuously disposing the heat insulating material on the outer surfaces of the primary side wall and the secondary side wall, the work of attaching the heat insulating material is facilitated, so that the productivity can be improved. In addition, it is possible to prevent air from leaking to the outside through a gap between the primary side wall and the secondary side wall.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のフィルターユニットの筺体構造の一実
施例を示す正面断面図である。
FIG. 1 is a front sectional view showing one embodiment of a housing structure of a filter unit of the present invention.

【図2】同分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of the same.

【図3】従来のクリーンエアコンユニットの一例を示す
正面断面図である。
FIG. 3 is a front sectional view showing an example of a conventional clean air conditioner unit.

【図4】同フィルターユニットの筺体構造を示す正面断
面図である。
FIG. 4 is a front sectional view showing a housing structure of the filter unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 温調ユニット 2 フィルターユニット 2a 一次側 2b 二次側 20a 一次側筺体 20b 二次側筺体 21 フィルター枠 22 二次側の側板 23 一次側の側板 24 天板 21a 通気口 21b 起立片 3 HEPAフィルター 71 断熱材 72 断熱材 8 取付部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Temperature control unit 2 Filter unit 2a Primary side 2b Secondary side 20a Primary side housing 20b Secondary side housing 21 Filter frame 22 Secondary side side plate 23 Primary side side plate 24 Top plate 21a Vent 21b Standing piece 3 HEPA filter 71 Insulation material 72 Insulation material 8 Mounting member

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 HEPAフィルターを取り付けるフィル
ター枠と二次側の側板を、金属板を曲げ加工又は溶接す
ることにより一体化し、独立した二次側筺体を構成する
とともに、該二次側筺体に一次側筺体を取り付けたこと
を特徴とするフィルターユニットの筺体構造。
1. A filter frame on which a HEPA filter is mounted and a side plate on the secondary side are integrated by bending or welding a metal plate to form an independent secondary side housing, and the primary side is attached to the secondary side housing. The housing structure of the filter unit characterized by attaching the side housing.
【請求項2】 フィルター枠の通気口の周縁を曲げ加工
して起立片を形成したことを特徴とする請求項1記載の
フィルターユニットの筺体構造。
2. The housing structure of a filter unit according to claim 1, wherein an upright piece is formed by bending a periphery of a vent of the filter frame.
【請求項3】 一次側の側板と二次側の側板の外面に連
続して断熱材を配設したことを特徴とする請求項1又は
2記載のフィルターユニットの筺体構造。
3. The filter unit casing according to claim 1, wherein a heat insulating material is continuously provided on the outer surfaces of the primary side plate and the secondary side plate.
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