JP2910329B2 - Manufacturing method of high heat resistant gasket - Google Patents
Manufacturing method of high heat resistant gasketInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本考案は例えば、セラミックガス
タ−ビンの高温部（1000℃以上）のフランジ部の気密性
を保持するのに適した高耐熱性ガスケットの製造方法に
関する。INVENTION The present invention relates example, ceramic Antofagasta - about manufacturing method of the high heat resistant gasket suitable for holding the airtightness of the flange portion of the high temperature of the bottle (1000 ° C. or higher).
【０００２】[0002]
【従来の技術】自動車用エンジンの将来型の一つとし
て、燃料消費率の低下、低公害性、燃料の多様化の利点
を期待して、主要先進国で自動車用ガスタ−ビンが開発
されている。この背景には、十数年前から注目されだし
た新材料であるセラミックスが耐熱性に優れ、従来の耐
熱鋼を上回る優れた特性を保持していることから、セラ
ミックスを使用したセラミックガスタ−ビンが開発され
ている。2. Description of the Related Art As one of the future types of automobile engines, automobile gas turbines have been developed in major developed countries in view of the advantages of reduced fuel consumption, low pollution, and diversification of fuel. I have. Behind this is the fact that ceramics, a new material that has been attracting attention for more than a decade, have excellent heat resistance and retain superior properties over conventional heat-resistant steel. Is being developed.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】また、熱力学の原理か
ら、サイクル温度を高くすればサイクル熱効率は向上す
ることから、耐熱性の優れたセラミックスの利用により
1000℃以上の高温化を図って燃料消費率の向上を図ろう
としている。According to the principle of thermodynamics, if the cycle temperature is increased, the cycle thermal efficiency is improved.
The aim is to raise the fuel consumption rate by raising the temperature to over 1000 ° C.
【０００４】このような高温の雰囲気中において使用さ
れるセラミックガスタ−ビンのフランジ部の気密性を保
持するために、耐熱鋼をガスケットとして使用すること
が考えられる。In order to maintain the airtightness of the flange portion of the ceramic gas turbine used in such a high-temperature atmosphere, it is conceivable to use heat-resistant steel as a gasket.
【０００５】しかし、この耐熱鋼を冷却する必要がある
ことから装置が大型化するという問題のみならず、耐熱
鋼は弾性を持っていないため、1000℃以上の高温部で使
用されるガスケットとしては十分なシ−ル性を発揮する
ことができないという問題点があった。However, the necessity of cooling the heat-resistant steel causes not only the problem of increasing the size of the apparatus, but also the heat-resistant steel having no elasticity. There was a problem that sufficient sealing properties could not be exhibited.
【０００６】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的は例えばセラミックガスタ−ビンのような
1000℃以上の高温中にさらされる装置のフランジ部の気
密性を保持するのに十分な耐熱性及び弾性を有する高耐
熱性ガスケットの製造方法を提供することにある。The present invention has been made in view of the above points, and has as its object the purpose of, for example, a ceramic gas turbine.
And to provide a high heat resistance gasket manufacturing method of having sufficient heat resistance and elastic to hold the airtightness of the flange portion of the device exposed to a high temperature of 1000 ° C. or higher.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】請求項第１項に係わる発
明は化学気相析出法により基板上にセラミック製マイク
ロばねを形成する工程と、上記セラミック製マイクロば
ねをフュ−ジョンボンディングにより重ね合わせる工程
とを具備したことを特徴とする高耐熱性ガスケットの製
造方法である。According to the first aspect of the present invention, a ceramic microspring is formed on a substrate by a chemical vapor deposition method, and the ceramic microspring is overlapped by fusion bonding. And a process for producing a highly heat-resistant gasket.
【０００８】[0008]
【作用】請求項第１項において、化学気相析出法により
基板上にセラミック製マイクロばねを形成し、上記セラ
ミック製マイクロばねにSiC の粉末を塗して温度を上げ
てSiC を溶融させることによるフュ−ジョンボンディン
グにより上記セラミック製マイクロばねを重ね合わせて
フェルト状シ−トを形成している。According to the first aspect , a ceramic microspring is formed on a substrate by a chemical vapor deposition method, and SiC powder is applied to the ceramic microspring to raise the temperature to melt the SiC. The above-mentioned ceramic microsprings are overlapped by fusion bonding to form a felt-like sheet.
【０００９】[0009]
【実施例】以下図面を参照して本発明の一実施例に係わ
る高耐熱性ガスケットの製造方法に図１を参照しながら
説明する。図１（ａ）に示すように、石英製反応管（図
示しない）の中央部にFeのような不純物１１を塗布した
グラファイト基板１２を吊し、Si2 Cl6 ＋NH3 ＋H 2 ＋
Arの混合ガス中、1200℃で反応を行う。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for manufacturing a high heat resistant gasket according to one embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. As shown in FIG. 1A, a graphite substrate 12 coated with an impurity 11 such as Fe is suspended at the center of a quartz reaction tube (not shown), and Si 2 Cl 6 + NH 3 + H 2 +
The reaction is performed at 1200 ° C. in a mixed gas of Ar.
【００１０】この結果、化学気相析出（ＣＶＤ）法によ
り、基板１２上に図１（ｂ）に示すようなコイル状Si3
N 4 ファイバ−１３が成長する。そして、このように成
長したSi3 N 4 ファイバ−１３に図１（ｃ）に示すよう
にSiC の粉末１４を塗して温度を上げると、SiC が溶融
し、Si3 N 4 ファイバ−１３が互いに結合（フュ−ジョ
ンボンディング）され、図１（ｄ）に示すようにフェル
ト状シ−ト１５が形成される。[0010] As a result, a coiled Si 3 O 3 as shown in FIG.
N 4 fiber -13 to grow. As shown in FIG. 1 (c), when the SiC powder 14 is applied to the Si 3 N 4 fiber 13 thus grown and the temperature is raised, the SiC is melted and the Si 3 N 4 fiber 13 is melted. They are bonded to each other (fusion bonding) to form a felt-like sheet 15 as shown in FIG.
【００１１】つまり、このフェルト状シ−ト１５内には
無数のセラミック製マイクロばね１６が重ね合わされて
構成されている。従って、このフェルト状シ−ト１５は
セラミックの高耐熱性及びマイクロばね１６の弾性を兼
ね備えている。That is, countless ceramic microsprings 16 are superposed in the felt sheet 15. Therefore, the felt sheet 15 has both high heat resistance of ceramic and elasticity of the micro spring 16.
【００１２】このようにして形成されたフェルト状シ−
ト１５をセラミックガスタ−ビンのような1000℃以上の
高温中にさらされる装置のフランジ部の気密性を保持す
るためのガスケットとして使用すれば、該フェルト状シ
−トは十分な耐熱性及び弾性を有するので、気密性を十
分に保持することができる。The felt-like sheet thus formed
If the sheet 15 is used as a gasket for maintaining the airtightness of the flange portion of a device such as a ceramic gas turbine which is exposed to a high temperature of 1000 ° C. or more, the felt sheet has sufficient heat resistance and elasticity. , Airtightness can be sufficiently maintained.
【００１３】なお、不純物１１はNiであっても良い。上
記実施例ではフェルト状シ−トをフランジ部のガスケッ
トに使用したが、加圧高温炉のガスケット等にも使用す
ることができる。The impurity 11 may be Ni. In the above embodiment, the felt-like sheet is used for the gasket of the flange portion, but it can also be used for the gasket of the pressurized high temperature furnace.
【００１４】[0014]
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、高
温中にさらされる部位の気密性を保持するのに十分な耐
熱性及び弾性を有する高耐熱性ガスケットの製造方法を
提供することができる。According to the present invention as described in detail above, providing a high heat resistance gasket manufacturing method of having sufficient heat resistance and elastic to hold the airtightness of the portion exposed to a high temperature can do.
【図１】本発明の一実施例に係わる高耐熱性ガスケット
の製造方法を示す図。FIG. 1 is a view showing a method of manufacturing a high heat resistant gasket according to one embodiment of the present invention.
１１…不純物、１２…グラファイト基板、１３…Si3 N
4 ファイバ−、１４…粉末、１５…フェルト状シ−ト。11: impurity, 12: graphite substrate, 13: Si 3 N
4 fiber, 14 ... powder, 15 ... felt sheet.
Claims (1)
ク製マイクロばねを形成する工程と、上記セラミック製
マイクロばねをフュ−ジョンボンディングにより重ね合
わせる工程とを具備したことを特徴とする高耐熱性ガス
ケットの製造方法。A high heat resistance comprising a step of forming a ceramic microspring on a substrate by chemical vapor deposition and a step of superposing the ceramic microspring by fusion bonding. Gasket manufacturing method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3169917A JP2910329B2 (en) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | Manufacturing method of high heat resistant gasket |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3169917A JP2910329B2 (en) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | Manufacturing method of high heat resistant gasket |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0518467A JPH0518467A (en) | 1993-01-26 |
| JP2910329B2 true JP2910329B2 (en) | 1999-06-23 |
Family
ID=15895352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3169917A Expired - Fee Related JP2910329B2 (en) | 1991-07-10 | 1991-07-10 | Manufacturing method of high heat resistant gasket |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2910329B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004054467A1 (en) | 2002-12-18 | 2004-07-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | System for removably joining a driven member to a driven member with workpiece |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0269175U (en) * | 1988-11-14 | 1990-05-25 |
-
1991
- 1991-07-10 JP JP3169917A patent/JP2910329B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0518467A (en) | 1993-01-26 |
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