JP2904453B2 - Method for manufacturing solid electrolytic capacitor - Google Patents

Method for manufacturing solid electrolytic capacitor

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JP2904453B2
JP2904453B2 JP24648291A JP24648291A JP2904453B2 JP 2904453 B2 JP2904453 B2 JP 2904453B2 JP 24648291 A JP24648291 A JP 24648291A JP 24648291 A JP24648291 A JP 24648291A JP 2904453 B2 JP2904453 B2 JP 2904453B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、導電性のポリアニリン
膜上に電解重合による導電性高分子膜を形成して固体電
解質とする固体電解コンデンサの製造方法に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a solid electrolytic capacitor in which a conductive polymer film is formed on a conductive polyaniline film by electrolytic polymerization to form a solid electrolyte.

【0002】[0002]

【従来の技術】弁作用金属表面に誘電体酸化皮膜を形成
し、該誘電体酸化皮膜上に導電性高分子膜を形成して固
体電解質とする構造の固体電解コンデンサが提案されて
いる。誘電体酸化皮膜上に電解重合による導電性高分子
膜を形成するにあたり、誘電体酸化皮膜が絶縁体のた
め、直接電解重合では導電性高分子膜を形成し難いた
め、誘電体酸化皮膜上に導電性のプレコート層として化
学酸化重合による導電性高分子膜を形成した後、該導電
性高分子膜上に電解重合による導電性高分子膜を形成し
て固体電解質とする構造のコンデンサ(特開昭63−1
73313)が開示されている。また、誘電体酸化皮膜
上に導電性のプレコート層として二酸化マンガン等の導
電性金属酸化物の薄膜を形成した後、該薄膜上に電解重
合による導電性高分子膜を形成して固体電解質とする構
造のコンデンサ(特開昭63−158829)が提案さ
れている。これらのコンデンサは従来のコンデンサと較
べ、周波数特性、電気的特性及び耐熱性に優れている。
しかし、化学酸化重合により導電性のプレコート層を形
成する方法では、化学酸化重合時に誘電体酸化皮膜上に
付着しない導電性高分子が副生し無駄となるため改善が
望まれていた。一方、導電性金属酸化物の薄膜のプレコ
ート層を形成する方法では、硝酸マンガン等を高温で加
熱分解する工程が必要となり工程が煩雑となり、また誘
電体酸化皮膜を損傷し易いため改善が望まれていた。
2. Description of the Related Art There has been proposed a solid electrolytic capacitor having a structure in which a dielectric oxide film is formed on the surface of a valve metal and a conductive polymer film is formed on the dielectric oxide film to form a solid electrolyte. In forming a conductive polymer film by electrolytic polymerization on a dielectric oxide film, since the dielectric oxide film is an insulator, it is difficult to form a conductive polymer film by direct electrolytic polymerization. A capacitor having a structure in which a conductive polymer film is formed as a conductive precoat layer by chemical oxidation polymerization, and then a conductive polymer film is formed on the conductive polymer film by electrolytic polymerization to form a solid electrolyte 63-1
73313) is disclosed. Also, after forming a conductive metal oxide thin film such as manganese dioxide as a conductive pre-coat layer on the dielectric oxide film, a conductive polymer film is formed on the thin film by electrolytic polymerization to form a solid electrolyte. A capacitor having a structure (Japanese Patent Laid-Open No. 63-158829) has been proposed. These capacitors have better frequency characteristics, electrical characteristics, and heat resistance than conventional capacitors.
However, in the method of forming a conductive pre-coat layer by chemical oxidative polymerization, there has been a need for an improvement since a conductive polymer that does not adhere to the dielectric oxide film during chemical oxidative polymerization is by-produced and wasted. On the other hand, in the method of forming a precoat layer of a conductive metal oxide thin film, a step of thermally decomposing manganese nitrate or the like at a high temperature is required, which makes the process complicated, and the dielectric oxide film is easily damaged. I was

【0003】導電性高分子の一つであるポリアニリン
は、原料として安価なアニリンを使用するので経済面で
は大変有利であるが、一般に導電性のポリアニリンを合
成するには高濃度の硫酸等のプロトン酸を共存させて反
応させる必要があり、他方、コンデンサに汎用されるア
ルミニウムは酸に極めて弱く、アルミニウム箔上に導電
性のポリアニリン膜を直接形成しようとすると誘電体酸
化皮膜やアルミニウムが損傷されるためコンデンサの固
体電解質にはほとんど利用されなかった。
[0003] Polyaniline, which is one of the conductive polymers, is very economically advantageous because it uses inexpensive aniline as a raw material. However, in general, a high concentration of protons such as sulfuric acid is required for synthesizing conductive polyaniline. It is necessary to react in the coexistence of acid.On the other hand, aluminum, which is widely used for capacitors, is extremely weak to acid, and dielectric oxide film and aluminum are damaged when directly forming conductive polyaniline film on aluminum foil. Therefore, it was hardly used for a solid electrolyte of a capacitor.

【0004】誘電体酸化皮膜上に溶媒可溶性の脱ドープ
されたポリアニリン溶液を塗布乾燥した後、pKa値4.8
以下のプロトン酸をドーピングして導電性ポリアニリン
膜を形成し固体電解質とする固体電解コンデンサ及びそ
の製造方法(特開平3-35516)が提案されてい
る。この方法は、製造工程が簡便であるが、形成された
導電性のポリアニリン膜の電導度が不十分で、かつ弁作
用金属表面に形成されたエッチングピット内への充填も
不十分なため、誘電体酸化皮膜上に導電性のプレコート
層を形成した後、該プレコート層上に電解重合による導
電性高分子膜を形成して固体電解質とする構造のコンデ
ンサの初期特性と較べ、等価直列抵抗、誘電損失が大き
く、また容量含浸率(誘電体酸化皮膜上に電解液を含浸
した時の静電容量に対する固体電解質を形成した時の静
電容量の比を百分率で表示した値)も小さい。
[0004] A solvent-soluble undoped polyaniline solution is coated on a dielectric oxide film and dried to obtain a pKa value of 4.8.
The following solid electrolytic capacitors have been proposed in which a conductive polyaniline film is formed by doping with a protonic acid to form a solid electrolyte and a method for manufacturing the same (Japanese Patent Laid-Open No. 3-35516). This method has a simple manufacturing process, but the conductivity of the formed conductive polyaniline film is insufficient, and the filling into the etching pits formed on the valve metal surface is also insufficient. After forming a conductive precoat layer on the body oxide film, a conductive polymer film is formed on the precoat layer by electrolytic polymerization to form a solid electrolyte. The loss is large and the capacity impregnation rate (the value of the capacitance when the solid electrolyte is formed to the capacitance when the electrolyte is impregnated on the dielectric oxide film expressed in percentage) is small.

【0005】弁作用金属表面は、単位面積当りの静電容
量を大きくするためにエッチング処理が施され拡面化さ
れている。この拡面倍率を大きくするにはエッチングピ
ット径を小さくしてピット数を増やすか、またはエッチ
ングピット長を長くする方法が用いられる。しかし、こ
のような方法で弁作用金属の拡面倍率を大きくした場
合、一般にエッチングピット内の最深部まで固体電解質
が十分に形成され難いため容量含浸率が小さくなってし
まう傾向にある。
[0005] The valve metal surface is subjected to an etching treatment to enlarge the surface area in order to increase the capacitance per unit area. In order to increase the enlargement ratio, a method of reducing the diameter of the etching pits to increase the number of pits or increasing the etching pit length is used. However, when the enlargement ratio of the valve metal is increased by such a method, it is generally difficult to sufficiently form the solid electrolyte to the deepest portion in the etching pit, so that the capacity impregnation ratio tends to decrease.

【0006】特開平3-35516に開示された製造方
法をエッチング箔に適用した場合、容量含浸率が小さ
い。この理由として、強靱なポリアニリン薄膜フィルム
を形成するために用いる高分子量(固有粘度が0.40g/1
00ml以上)の溶媒可溶性ポリアニリンが、エッチングピ
ット内の最深部まで十分に含浸できないことが推定され
る。この問題を解決するには、溶媒可溶性ポリアニリン
の分子量を小さくすることが容易に考えられるが、この
ような低分子量のポリアニリンを用いると充填密度が小
さくなる結果、誘電損失が大きくなり、また耐熱性も乏
しくなり、長時間高温雰囲気下に放置するとコンデンサ
特性の経時変化が大きくなってしまい、解決策が求めら
れていた。
When the manufacturing method disclosed in JP-A-3-35516 is applied to an etching foil, the capacity impregnation rate is small. The reason for this is that the high molecular weight (intrinsic viscosity is 0.40 g / l) used to form a tough polyaniline thin film.
It is presumed that the solvent-soluble polyaniline (00 ml or more) cannot be sufficiently impregnated to the deepest part in the etching pit. In order to solve this problem, it is easy to reduce the molecular weight of the solvent-soluble polyaniline. However, when such a low molecular weight polyaniline is used, the packing density is reduced, resulting in a large dielectric loss and a high heat resistance. If the capacitor is left in a high-temperature atmosphere for a long time, the change over time in the capacitor characteristics becomes large, and a solution has been required.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、弁作
用金属上の誘電体酸化皮膜表面に、導電性高分子膜を形
成した固体電解コンデンサにおいて、製造方法が簡便で
あり、拡面倍率の大きい弁作用金属でも容量含浸率が大
きく、得られたコンデンサの等価直列抵抗、誘電損失の
初期値が小さく、かつ長時間高温雰囲気下に放置しても
コンデンサ特性が劣化しない固体電解コンデンサの製造
方法を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a solid electrolytic capacitor having a conductive polymer film formed on the surface of a dielectric oxide film on a valve metal with a simple manufacturing method and a large area magnification. Manufacture of solid electrolytic capacitors that have a large capacity impregnation rate even for valve-acting metals with large values, low equivalent series resistance and low initial value of dielectric loss of the obtained capacitors, and capacitor characteristics that do not deteriorate even if left in a high-temperature atmosphere for a long time. Is to provide a way.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者らは鋭意検討し
た結果、上記問題を解決しうる固体電解コンデンサの製
造方法を完成するに至った。
As a result of intensive studies, the present inventors have completed a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor which can solve the above-mentioned problems.

【0009】すなわち、弁作用金属上の誘電体酸化皮膜
表面に、N−メチル−2−ピロリドン(以下NMPと略
記)中30℃での固有粘度が0.30g/100ml以上、0.40g/1
00ml未満である溶媒可溶性の脱ドープされたポリアニリ
ン溶液及びナフタレンスルホン酸溶液を接触させて導電
性のポリアニリン膜を形成した後、電解重合による導電
性高分子膜を形成することを特徴とする固体電解コンデ
ンサの製造方法である。以下、本固体電解コンデンサの
製造方法について詳述する。
That is, the intrinsic viscosity at 30 ° C. in N-methyl-2-pyrrolidone (hereinafter abbreviated as NMP) is 0.30 g / 100 ml or more, 0.40 g / 1
Forming a conductive polyaniline film by contacting a solvent-soluble undoped polyaniline solution and a naphthalene sulfonic acid solution of less than 00 ml, and then forming a conductive polymer film by electrolytic polymerization; This is a method for manufacturing a capacitor. Hereinafter, the method for manufacturing the solid electrolytic capacitor will be described in detail.

【0010】弁作用金属としてはアルミニウム、タンタ
ルまたはチタンなどを用い、平板の単板または積層板、
巻回、焼結体などの形状で用いる。次に、本発明を弁作
用金属としてアルミニウムを用いた場合について説明す
る。
As the valve metal, aluminum, tantalum, titanium or the like is used.
It is used in the form of a wound or sintered body. Next, the case where aluminum is used as a valve metal in the present invention will be described.

【0011】アルミニウム箔の表面をエッチングした
後、リードタブを介して陽極リードを接続し、アジピン
酸アンモニウムなどの水溶液中で電解酸化を行い表面に
誘電体酸化皮膜を形成させ素子を得る。
After etching the surface of the aluminum foil, an anode lead is connected through a lead tab, and electrolytic oxidation is performed in an aqueous solution of ammonium adipate or the like to form a dielectric oxide film on the surface to obtain an element.

【0012】アルミニウム箔をエッチングにより拡面化
したときの拡面倍率を表す指標であるアルミニウム箔1
cm角当りのCV積値とは、1cm角のアルミニウム箔を
「V」Vで化成し、電解液を含浸した時の静電容量が「C」
μFの時の「C」と「V」の積であり、これが大きいほど拡
面倍率が大きい。
An aluminum foil 1 which is an index representing a magnification ratio when the aluminum foil is enlarged by etching.
The CV product value per cm square means that a 1 cm square aluminum foil is formed with "V" V, and the capacitance when impregnated with the electrolytic solution is "C".
This is the product of “C” and “V” at μF, and the larger this is, the larger the magnification.

【0013】次に、誘電体酸化皮膜を形成させた素子上
にNMP中30℃での固有粘度が0.30g/100ml以上、0.40
g/100ml未満である溶媒可溶性の脱ドープされたポリア
ニリン溶液を含浸後乾燥する操作を数回繰り返して脱ド
ープされたポリアニリン膜を形成した後、ナフタレンス
ルホン酸溶液を接触させてドーピングを行う操作を数回
繰り返すか、または、該脱ドープされたポリアニリン及
びナフタレンスルホン酸を含む溶液を含浸後乾燥する操
作を数回繰り返すことにより、導電性ポリアニリン膜を
形成する。後者では工程が著しく簡略になる。
Next, the intrinsic viscosity at 30 ° C. in the NMP is 0.30 g / 100 ml or more and 0.40 g / 100 ml on the element on which the dielectric oxide film is formed.
An operation of impregnating a solvent-soluble undoped polyaniline solution having a concentration of less than 100 g / 100 ml and then drying the same is repeated several times to form a undoped polyaniline film, and then performing a doping operation by contacting with a naphthalenesulfonic acid solution. A conductive polyaniline film is formed by repeating the operation several times, or repeating the operation of impregnating the solution containing the undoped polyaniline and naphthalenesulfonic acid and then drying the solution. The latter significantly simplifies the process.

【0014】本発明で用いる溶媒可溶性の脱ドープされ
たポリアニリンは、NMP中30℃での固有粘度が0.30g
/100ml以上、0.40g/100ml未満である。固有粘度が0.3
0g/100ml未満では、ポリアニリンの充填密度が小さく
かつ低分子量であるため、得られたコンデンサの誘電損
失や等価直列抵抗の初期値が大きく、高温雰囲気下に放
置した時の特性の経時変化も大きい。また、0.40g/100
ml以上では、容量含浸率が低下するため誘電体酸化皮膜
の表面積が無駄になるばかりか、エッチングピット内に
固体電解質が形成されない空隙が多いため誘電損失も大
きく高湿度下では水分が入り込むため特性が劣化する。
The solvent-soluble undoped polyaniline used in the present invention has an intrinsic viscosity at 30 ° C. of 0.30 g in NMP.
/ 100ml or more and less than 0.40g / 100ml. 0.3 intrinsic viscosity
If it is less than 0 g / 100 ml, since the packing density of polyaniline is low and the molecular weight is low, the initial value of the dielectric loss and equivalent series resistance of the obtained capacitor is large, and the change over time of the characteristics when left in a high-temperature atmosphere is large. . Also, 0.40g / 100
If it is more than ml, the capacity impregnation rate will decrease and the surface area of the dielectric oxide film will not only be wasted, but also there will be many voids in which no solid electrolyte is formed in the etching pits. Deteriorates.

【0015】脱ドープされたポリアニリン溶液とは、ア
ニリンモノマーを化学酸化重合した後、得られたポリア
ニリンを脱ドープし、有機溶媒に溶解したものである。
アニリンモノマーの化学酸化重合は、アニリン塩をプロ
トン酸の存在下、溶液中で酸化剤により行う。用いるア
ニリン塩としては、通常アニリンの塩酸、硫酸、過塩素
酸、ホウフッ化水素酸等の塩があげられる。また、プロ
トン酸としては、塩酸、硫酸、過塩素酸、ホウフッ化水
素酸、ヘキサフルオロリン酸等を用いる。また、酸化剤
としては、過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム等の過
硫酸塩、過酸化水素、過炭酸ナトリウム、過ホウ酸ナト
リウム等の過酸化物、過マンガン酸カリウム、重クロム
酸カリウム、塩化第二鉄等の高原子価金属化合物などア
ニリンを酸化し得る酸化剤ならいずれも使用できるが、
標準電極電位が0.7V以上、1.8V未満の酸化剤が好まし
い。このような酸化剤としては、第二鉄塩、過塩素酸
塩、塩素酸塩、亜塩素酸塩、過ヨウ素酸塩、ヨウ素酸
塩、過マンガン酸塩、二酸化マンガン、重クロム酸塩、
過炭酸ナトリウム、過ホウ酸ナトリウム等がある。標準
電極電位が0.7V未満では、化学酸化重合が不十分であ
る。また標準電極電位が1.8V以上では、副生物が多
く、得られたコンデンサは高温雰囲気下に放置した時の
特性の経時変化が大きい。該方法で化学酸化重合したポ
リアニリンを、アンモニア、水酸化ナトリウム、アミン
化合物等のアルカリ性溶液と接触させると、脱ドープさ
れたポリアニリンとなり、ジメチルホルムアミド(以下
DMFと略記)、ジメチルスルホキシド(以下DMSO
と略記)、NMP等に可溶性となるので、これらの溶媒
またはこれらと他の溶媒の混合溶媒に溶解することによ
り、脱ドープされたポリアニリン溶液となる。
The undoped polyaniline solution is obtained by chemically oxidizing and polymerizing an aniline monomer and then undoping the obtained polyaniline and dissolving it in an organic solvent.
The chemical oxidative polymerization of an aniline monomer is carried out using an oxidizing agent in a solution of an aniline salt in the presence of a protonic acid. Examples of the aniline salt to be used include salts of aniline such as hydrochloric acid, sulfuric acid, perchloric acid and borofluoric acid. In addition, as the protonic acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, perchloric acid, borofluoric acid, hexafluorophosphoric acid, or the like is used. Examples of the oxidizing agent include persulfates such as ammonium persulfate and potassium persulfate; peroxides such as hydrogen peroxide, sodium percarbonate and sodium perborate; potassium permanganate, potassium dichromate; Any oxidizing agent that can oxidize aniline such as a high-valent metal compound such as iron can be used,
An oxidant having a standard electrode potential of 0.7 V or more and less than 1.8 V is preferable. Such oxidizing agents include ferric salts, perchlorates, chlorates, chlorites, periodates, iodates, permanganates, manganese dioxide, dichromates,
Examples include sodium percarbonate and sodium perborate. When the standard electrode potential is less than 0.7 V, the chemical oxidation polymerization is insufficient. When the standard electrode potential is 1.8 V or more, there are many by-products, and the obtained capacitor has a large change with time in characteristics when left in a high-temperature atmosphere. When the polyaniline chemically oxidized and polymerized by this method is brought into contact with an alkaline solution such as ammonia, sodium hydroxide, an amine compound, etc., it becomes undoped polyaniline, and dimethylformamide (hereinafter abbreviated as DMF), dimethylsulfoxide (hereinafter abbreviated as DMSO)
), And becomes soluble in NMP and the like. By dissolving in these solvents or a mixed solvent of these and other solvents, a undoped polyaniline solution is obtained.

【0016】本発明において、脱ドープされたポリアニ
リンのドーピングは、ナフタレンスルホン酸を用いる。
ナフタレンスルホン酸以外の酸では初期特性が劣るか、
または初期特性に優れていたとしても高温雰囲気下に放
置したとき特性の劣化が著しい。発明で使用するナフタ
レンスルホン酸としては、2−ナフタレンスルホン酸、
1,7−ナフタレンジスルホン酸、2,6−ナフタレンジ
スルホン酸、2,7−ナフタレンジスルホン酸、1,3,
6−ナフタレントリスルホン酸、1,3,5,7−ナフタ
レンテトラスルホン酸等のスルホン酸基を1〜4個置換
したナフタレンスルホン酸のアルキル置換または無置換
体であり、置換アルキル基数は0〜4である。また、ア
ルキル基のアルキル長さは炭素数が1〜24であり、好ま
しくは14〜24の直鎖アルキル基である。これらドーピン
グ剤は、水溶液、またはケトン類、エステル類、アルコ
ール類、芳香族炭化水素、ニトリル類、セルソルブ類、
含チッ素化合物等の単独溶媒または混合溶媒に溶解して
用い、その濃度は1mol/l以下で良い。
In the present invention, the doping of the undoped polyaniline uses naphthalenesulfonic acid.
Acids other than naphthalene sulfonic acid have poor initial properties,
Alternatively, even if the initial characteristics are excellent, the characteristics are significantly deteriorated when left in a high-temperature atmosphere. The naphthalenesulfonic acid used in the present invention includes 2-naphthalenesulfonic acid,
1,7-naphthalenedisulfonic acid, 2,6-naphthalenedisulfonic acid, 2,7-naphthalenedisulfonic acid, 1,3,
It is an alkyl-substituted or unsubstituted form of naphthalenesulfonic acid in which 1 to 4 sulfonic acid groups such as 6-naphthalenetrisulfonic acid and 1,3,5,7-naphthalenetetrasulfonic acid are substituted, and the number of substituted alkyl groups is 0 to 0. 4. The alkyl length of the alkyl group is 1 to 24 carbon atoms, preferably a 14 to 24 linear alkyl group. These doping agents are aqueous solutions or ketones, esters, alcohols, aromatic hydrocarbons, nitriles, cellosolves,
It is used by dissolving it in a single solvent such as a nitrogen-containing compound or a mixed solvent, and its concentration may be 1 mol / l or less.

【0017】誘電体酸化皮膜上に脱ドープされたポリア
ニリン溶液を含浸乾燥する操作を数回繰り返した後、ナ
フタレンスルホン酸溶液を含浸乾燥する操作を数回繰り
返すことにより、導電性のポリアニリン膜を形成する。
含浸時間は数分から数10分で良く、乾燥温度は室温ない
し200℃で行う。または、誘電体酸化皮膜に脱ドープし
たポリアニリン及びナフタレンスルホン酸を、DMF、
DMSO、NMPまたはこれらと他の溶媒の混合溶媒に
溶解した溶液を含浸乾燥する操作を数回繰り返すことに
より、導電性のポリアニリン膜を形成する。接触時間は
数分から数10分で良く、乾燥温度は室温ないし200℃で
行う。
After repeating the operation of impregnating and drying the undoped polyaniline solution on the dielectric oxide film several times, the operation of impregnating and drying the naphthalenesulfonic acid solution is repeated several times to form a conductive polyaniline film. I do.
The impregnation time may be several minutes to several tens of minutes, and the drying temperature is from room temperature to 200 ° C. Alternatively, polyaniline and naphthalene sulfonic acid dedoped in a dielectric oxide film are added to DMF,
An operation of impregnating and drying a solution dissolved in DMSO, NMP or a mixed solvent of these and another solvent is repeated several times to form a conductive polyaniline film. The contact time may be several minutes to several tens of minutes, and the drying temperature is from room temperature to 200 ° C.

【0018】その後、形成した導電性のポリアニリン膜
を陽極とし外部陰極との間で電解重合を行い、電解重合
による導電性高分子膜をポリアニリン膜上に形成する。
電解重合は、支持電解質0.01〜2mol/l及び導電性高分
子モノマー0.01〜5mol/lを含む電解液中で行う。導電
性高分子モノマーとしては、ピロール、チオフェン、フ
ラン、チエニレンビニレンまたはこれらのアルキル置換
体等を用い、導電性高分子の安定性の面から特に好まし
くはピロールを用いる。電解重合による導電性高分子膜
を形成しないでナフタレンスルホン酸をドーピングした
導電性のポリアニリン膜だけのコンデンサでは、固有粘
度や用いる酸化剤の標準電極電位をどのように制御して
も、優れた特性が得られない。
Thereafter, electrolytic polymerization is carried out between the formed conductive polyaniline film as an anode and an external cathode to form a conductive polymer film by electrolytic polymerization on the polyaniline film.
The electrolytic polymerization is performed in an electrolytic solution containing 0.01 to 2 mol / l of a supporting electrolyte and 0.01 to 5 mol / l of a conductive polymer monomer. As the conductive polymer monomer, pyrrole, thiophene, furan, thienylenevinylene, an alkyl-substituted product thereof, or the like is used. From the viewpoint of the stability of the conductive polymer, pyrrole is particularly preferably used. Capacitors made of only a conductive polyaniline film doped with naphthalenesulfonic acid without forming a conductive polymer film by electrolytic polymerization have excellent characteristics regardless of how the intrinsic viscosity and the standard electrode potential of the oxidizing agent used are controlled. Can not be obtained.

【0019】本発明の電解重合に用いられる支持電解質
は、アニオンとしては、ヘキサフロロリン、ヘキサフロ
ロヒ素、テトラフロロホウ素、過塩素酸等のハロゲン化
物イオン、ヨウ素、臭素、塩素等のハロゲンイオン、メ
タンスルホン酸、ドデシルスルホン酸等のアルキルスル
ホン酸イオン、ベンゼンスルホン酸、パラトルエンスル
ホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、ベンゼンジスル
ホン酸等のアルキル置換まもしくは無置換のベンゼンモ
ノもしくはジスルホン酸イオン、または2−ナフタレン
スルホン酸、1,7−ナフタレンジスルホン酸等の置換
スルホン酸基数が1〜4のナフタレンスルホン酸のアル
キル基置換もしくは無置換ナフタレンスルホン酸イオ
ン、またはアルキルビフェニルスルホン酸、ビフェニル
ジスルホン酸等のアルキル置換もしくは無置換のビフェ
ニルスルホン酸イオン、ポリスチレンスルホン酸、ナフ
タレンスルホン酸ホルマリン縮合体等の高分子スルホン
酸イオン、ビスサルチレートホウ素、ビスカテコレート
ホウ素等のホウ素化合物イオン、PMo1240等のヘテ
ロポリ酸イオンであり、好ましくはナフタレンスルホン
酸イオンである。また、カチオンとしては、リチウム、
カリウム、ナトリウム等のアルカリ金属イオン、アンモ
ニウム、テトラアルキルアンモニウム等の4級アンモニ
ウムイオンである。化合物としてはLiPF6、LiAsF
6、LiBF4、KI、NaPF6、NaClO4、トルエンス
ルホン酸ナトリウム、トルエンスルホン酸テトラブチル
アンモニウム、1,7−ナフタレンジスルホン酸ナトリ
ウム、N−オクタデシルナフタレンスルホン酸テトラエ
チルアンモニウム、ビスサルチレートホウ素テトラメチ
ルアンモニウム等があげられる。
The supporting electrolyte used in the electropolymerization of the present invention includes, as anions, halide ions such as hexafluoroline, hexafluoroarsenic, tetrafluoroboron, perchloric acid, halogen ions such as iodine, bromine and chlorine, and methane. Alkyl sulfonic acid ions such as sulfonic acid and dodecyl sulfonic acid, alkyl-substituted or unsubstituted benzene mono- or disulfonic acid ions such as benzene sulfonic acid, paratoluene sulfonic acid, dodecyl benzene sulfonic acid and benzene disulfonic acid, or 2-naphthalene Alkyl-substituted or unsubstituted naphthalenesulfonic acid ions of naphthalenesulfonic acid having 1 to 4 substituted sulfonic acid groups, such as sulfonic acid and 1,7-naphthalenedisulfonic acid, or alky such as alkylbiphenylsulfonic acid and biphenyldisulfonic acid. Killed or unsubstituted biphenylsulfonic acid ions, high molecular sulfonic acid ions such as polystyrenesulfonic acid and naphthalenesulfonic acid formalin condensate, boron compound ions such as bissulfylate boron and biscatecholate boron, PMo 12 O 40 and the like And preferably a naphthalenesulfonic acid ion. Further, as the cation, lithium,
These are alkali metal ions such as potassium and sodium, and quaternary ammonium ions such as ammonium and tetraalkylammonium. Compounds include LiPF 6 and LiAsF.
6 , LiBF 4 , KI, NaPF 6 , NaClO 4 , sodium toluenesulfonate, tetrabutylammonium toluenesulfonate, sodium 1,7-naphthalenedisulfonic acid, tetraethylammonium N-octadecylnaphthalenesulfonate, tetramethylammonium bissulfylate Ammonium and the like.

【0020】しかる後、該素子表面にカーボンペースト
及び導電性ペーストにより導電性塗膜を形成し、その一
部より陰極リードを取り出し、樹脂モールドまたは外装
ケースに密封するなどの方法によりコンデンサを得る。
Thereafter, a capacitor is obtained by forming a conductive coating on the element surface with a carbon paste and a conductive paste, taking out a cathode lead from a part of the coating, and sealing the resultant in a resin mold or an outer case.

【0021】本発明によると、誘電体酸化皮膜を形成し
た弁作用金属表面に、含浸などの簡便の方法によりプレ
コート層としての導電性のポリアニリン膜を形成できる
ので製造工程が簡略になり、アニリンモノマーが無駄に
費やされない。また、脱ドープされたポリアニリンのN
MP中30℃での固有粘度を0.30g/100ml以上、0.40g/1
00ml未満に制御することにより、拡面倍率の大きい弁作
用金属でもエッチング孔最深部まで十分含浸でき、容量
含浸率が大きくなる。さらに、ポリアニリンのドーパン
トとしてナフタレンスルホン酸を用い、かつ導電性のポ
リアニリン膜上に電解重合による導電性高分子膜を形成
することにより得られたコンデンサは、等価直列抵抗及
び誘電損失の初期値が小さく、加えて長時間高温雰囲気
に放置しても特性が劣化しない。
According to the present invention, a conductive polyaniline film as a precoat layer can be formed on the valve metal surface on which a dielectric oxide film is formed by a simple method such as impregnation, so that the production process is simplified, and the aniline monomer is simplified. Is not wasted. In addition, N of the undoped polyaniline
Inherent viscosity at 30 ° C in MP is 0.30g / 100ml or more, 0.40g / 1
By controlling the volume to less than 00 ml, even a valve metal having a large enlargement ratio can be sufficiently impregnated to the deepest portion of the etching hole, and the capacity impregnation rate increases. Furthermore, capacitors obtained by using naphthalenesulfonic acid as a dopant for polyaniline and forming a conductive polymer film by electrolytic polymerization on a conductive polyaniline film have low initial values of equivalent series resistance and dielectric loss. In addition, even if left in a high-temperature atmosphere for a long time, the characteristics do not deteriorate.

【0022】[0022]

【実施例】以下、実施例及び比較例により本発明を詳細
に説明する。
The present invention will be described in detail below with reference to examples and comparative examples.

【0023】実施例1 200mlのガラス製反応容器にアニリン4.7g及び濃硫酸2.
5gを含む水溶液30mlをとり、10℃に保持しながら過マ
ンガン酸カリウム(標準電極電位1.5V)3.2gを含む水
溶液30mlを2時間で滴下した後、3時間反応させて化学
酸化重合によるポリアニリンを得た。25wt%アンモニア
水50mlを加え3時間攪ハンした後、遠心分離、水洗し
て、脱ドープされたポリアニリン粉末を得た。該脱ドー
プされたポリアニリンのNMP中30℃での固有粘度は0.
37g/100mlであった。該脱ドープされたポリアニリン0.
3wt%のNMP/DMF(50wt%/50wt%)溶液を得
た。厚み90μm、幅5mmの粗面化したアルミニウムエッ
チング箔を得た。該箔を10mmに切断後加締め付けにより
リードを取りつけ、アジピン酸アンモニウム水溶液中25
Vで化成処理を行い誘電体酸化皮膜を形成した。この素
子のホウ酸5wt%、クエン酸5wt%、アンモニア1.4wt
%の容量測定用電解液に浸漬した静電容量は23.5μFで
あり、CV積値は1175であった。この素子を脱ドープさ
れたポリアニリン溶液に5分含浸後70℃で乾燥する操作
を3回繰り返した後、2−ナフタレンスルホン酸0.2mol
/lのブタノール溶液を20分含浸後100℃で乾燥し、導電
性のポリアニリン膜を形成した。この素子をアジピン酸
アンモニウム水溶液中25Vで再化成した後、ピロールモ
ノマー0.2mol/l及び支持電解質として1,7−ナフタレ
ンジスルホン酸ナトリウム0.2mol/lの水溶液中に浸漬
し、導電性のポリアニリン膜に外部からステンレスワイ
ヤーを接触させて陽極とし、外部電極との間に定電流電
解重合 (0.3mA/個、120分)を行い、電解重合による
ポリピロール膜を形成した。この素子をコロイダルカー
ボンに浸漬し、銀ペーストを塗布して導電性塗膜を形成
し、その一部から対極を取り出した後、エポキシ樹脂で
モールドして定格電圧10V、定格静電容量22μFのコン
デンサを完成した。コンデンサの作成条件を表1に、得
られたコンデンサの初期特性、容量含浸率及び125℃で2
000時間での高温放置寿命試験結果を表3に示す。
Example 1 4.7 g of aniline and concentrated sulfuric acid were placed in a 200 ml glass reaction vessel.
Take 30 ml of an aqueous solution containing 5 g, drop 30 ml of an aqueous solution containing 3.2 g of potassium permanganate (standard electrode potential 1.5 V) over 2 hours while maintaining the temperature at 10 ° C., and react for 3 hours to remove polyaniline by chemical oxidation polymerization. Obtained. After adding 50 ml of 25 wt% ammonia water and stirring for 3 hours, the mixture was centrifuged and washed with water to obtain undoped polyaniline powder. The undoped polyaniline has an intrinsic viscosity of 0.3 in NMP at 30 ° C.
It was 37 g / 100 ml. The undoped polyaniline 0.
A 3 wt% NMP / DMF (50 wt% / 50 wt%) solution was obtained. A roughened aluminum etched foil having a thickness of 90 μm and a width of 5 mm was obtained. After the foil was cut to 10 mm, the lead was attached by caulking, and 25% aqueous ammonium adipate was added.
A chemical conversion treatment was performed with V to form a dielectric oxide film. 5 wt% of boric acid, 5 wt% of citric acid, 1.4 wt% of ammonia
% Was 23.5 μF and the CV product value was 1175. The operation of impregnating the device with a undoped polyaniline solution for 5 minutes and drying at 70 ° C. was repeated three times, and then 0.2 mol of 2-naphthalenesulfonic acid was added.
/ L butanol solution was impregnated for 20 minutes and dried at 100 ° C to form a conductive polyaniline film. This element was reformed at 25 V in an aqueous solution of ammonium adipate, immersed in an aqueous solution of 0.2 mol / l of a pyrrole monomer and 0.2 mol / l of sodium 1,7-naphthalenedisulfonic acid as a supporting electrolyte, and applied to a conductive polyaniline film. A stainless steel wire was contacted from the outside to form an anode, and a constant current electrolytic polymerization (0.3 mA / unit, 120 minutes) was performed between the anode and the external electrode to form a polypyrrole film by electrolytic polymerization. This element is immersed in colloidal carbon, a silver paste is applied to form a conductive coating, a counter electrode is taken out from a part of the element, and then molded with an epoxy resin to form a capacitor having a rated voltage of 10 V and a rated capacitance of 22 μF. Was completed. Table 1 shows the conditions for preparing the capacitors, and the initial characteristics, capacity impregnation rate and
Table 3 shows the results of the high-temperature storage life test at 000 hours.

【0024】実施例2 実施例1において、化学酸化重合の反応温度を20℃にし
た以外は実施例1と同様にして、NMP中30℃での固有
粘度が0.32g/100mlである脱ドープされたポリアニリン
を調製し、実施例1と同様にしてコンデンサを完成し
た。コンデンサの作成条件を表1に、得られたコンデン
サの特性値を表3に示す。
Example 2 The procedure of Example 1 was repeated, except that the reaction temperature of the chemical oxidative polymerization was changed to 20 ° C., and undoped with an intrinsic viscosity at 30 ° C. of 0.32 g / 100 ml in NMP. Polyaniline was prepared, and a capacitor was completed in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 3 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0025】実施例3 200mlのガラス製反応容器にアニリン4.7g及び濃硫酸2.
5gを含む水溶液30mlをとり、5℃に保持しながら過硫酸
アンモニウム(標準電極電位2.06V)11.4gを含む水溶
液 40mlを3時間で滴下した後、3時間反応させて化学
酸化重合によるポリアニリンを得た。25wt%アンモニア
水50mlを加え3時間攪ハンした後、遠心分離、水洗し
て、脱ドープされたポリアニリン粉末を得た。該脱ドー
プされたポリアニリンのNMP中30℃での固有粘度は0.
38g/100mlであった。該脱ドープされたポリアニリン0.
3wt%のNMP/DMF(50wt%/50wt%)溶液を得
た。この脱ドープポリアニリンを用いて実施例1と同様
にしてコンデンサを完成した。コンデンサの作成条件を
表1に、得られたコンデンサの特性値を表3に示す。
EXAMPLE 3 4.7 g of aniline and concentrated sulfuric acid in a 200 ml glass reaction vessel.
30 ml of an aqueous solution containing 5 g was taken, 40 ml of an aqueous solution containing 11.4 g of ammonium persulfate (standard electrode potential 2.06 V) was added dropwise over 3 hours while maintaining at 5 ° C., and then reacted for 3 hours to obtain polyaniline by chemical oxidation polymerization. . After adding 50 ml of 25 wt% ammonia water and stirring for 3 hours, the mixture was centrifuged and washed with water to obtain undoped polyaniline powder. The undoped polyaniline has an intrinsic viscosity of 0.3 in NMP at 30 ° C.
It was 38 g / 100 ml. The undoped polyaniline 0.
A 3 wt% NMP / DMF (50 wt% / 50 wt%) solution was obtained. Using this undoped polyaniline, a capacitor was completed in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 3 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0026】実施例3で得られたコンデンサは、容量含
浸率が大きく初期特性も良好であるが、酸化剤として過
硫酸アンモニウムを使用しているので高温放置寿命試験
での誘電損失、等価直列抵抗の経時変化が若干大きい。
The capacitor obtained in Example 3 has a large capacity impregnation rate and good initial characteristics. However, since ammonium persulfate is used as an oxidizing agent, dielectric loss and equivalent series resistance in a high-temperature standing life test are high. The change over time is slightly large.

【0027】実施例4 200mlのガラス製反応容器にアニリン4.7g及び濃硫酸2.
5gを含む水溶液30mlをとり、15℃に保持しながらペル
オクソ炭酸ナトリウム(標準電極電位0.88V)16.6gを
含む水溶液 50mlを4時間で滴下した後、5時間反応さ
せて化学酸化重合によるポリアニリンを得た。25wt%ア
ンモニア水50mlを加え3時間攪ハンした後、遠心分離、
水洗して、脱ドープされたポリアニリン粉末を得た。該
脱ドープされたポリアニリンのNMP中30℃での固有粘
度は0.35g/100mlであった。該脱ドープされたポリアニ
リン0.2wt%のNMP/エタノール(90wt%/10wt%)
溶液を得た。厚み90μm、幅5mmの粗面化したアルミニ
ウムエッチング箔を得た。該箔を10mmに切断後加締め付
けによりリードを取りつけ、アジピン酸アンモニウム水
溶液中50Vで化成処理を行い誘電体酸化皮膜を形成し
た。この素子をホウ酸5wt%、クエン酸5wt%、アンモ
ニア1.4wt%の容量測定用電解液に浸漬した静電容量は
5.2μFであり、CV積値は520であった。この素子を脱
ドープされたポリアニリン溶液に5分含浸後70℃で乾燥
する操作を3回繰り返した後、n−オクタデシルナフタ
レンスルホン酸0.2mol/lのブタノール溶液に20分含浸
後100℃で乾燥し、導電性のポリアニリン膜を形成し
た。この素子をアジピン酸アンモニウム水溶液中50Vで
再化成した後、ピロールモノマー0.2mol/l及び支持電
解質として2−ナフタレンスルホン酸ナトリウム0.2mol
/lを含む水/エタノール(60wt%/40wt%)溶液中に
浸漬し、導電性のポリアニリン膜に外部からステンレス
ワイヤーを接触させて陽極とし、外部電極との間に定電
流電解重合 (0.3mA/個、120分)を行い、電解重合に
よるポリピロール膜を形成した。この素子をコロイダル
カーボンに浸漬し、銀ペーストを塗布して導電性塗膜を
形成し、その一部から対極を取り出した後エポキシ樹脂
でモールドして定格電圧16V、定格静電容量4.7μFの
コンデンサを完成した。コンデンサの作成条件を表1
に、得られたコンデンサの特性値を表3に示す。
Example 4 4.7 g of aniline and concentrated sulfuric acid were placed in a 200 ml glass reaction vessel.
Take 30 ml of an aqueous solution containing 5 g, add 50 ml of an aqueous solution containing 16.6 g of sodium peroxocarbonate (standard electrode potential 0.88 V) over 4 hours while maintaining the temperature at 15 ° C., and react for 5 hours to obtain polyaniline by chemical oxidation polymerization. Was. After adding 50ml of 25wt% ammonia water and stirring for 3 hours, centrifugation
After washing with water, undoped polyaniline powder was obtained. The intrinsic viscosity of the undoped polyaniline in NMP at 30 ° C. was 0.35 g / 100 ml. 0.2% by weight of the undoped polyaniline in NMP / ethanol (90% by weight / 10% by weight)
A solution was obtained. A roughened aluminum etched foil having a thickness of 90 μm and a width of 5 mm was obtained. After cutting the foil to 10 mm, a lead was attached by crimping, and a chemical conversion treatment was performed at 50 V in an aqueous solution of ammonium adipate to form a dielectric oxide film. The capacitance of this element immersed in an electrolytic solution for measuring capacity of 5 wt% of boric acid, 5 wt% of citric acid, and 1.4 wt% of ammonia is as follows:
It was 5.2 μF and the CV product value was 520. The operation of impregnating the device with the undoped polyaniline solution for 5 minutes and drying at 70 ° C. was repeated three times, and then impregnated with a 0.2 mol / l n-octadecylnaphthalenesulfonic acid butanol solution for 20 minutes and dried at 100 ° C. Then, a conductive polyaniline film was formed. This element was re-formed at 50 V in an aqueous solution of ammonium adipate, and then 0.2 mol / l of a pyrrole monomer and 0.2 mol of sodium 2-naphthalenesulfonate as a supporting electrolyte.
/ L containing water / ethanol (60wt% / 40wt%) solution, contact stainless steel wire from outside with conductive polyaniline film to make anode, and constant current electrolytic polymerization between external electrode (0.3mA) / Piece, 120 minutes) to form a polypyrrole film by electrolytic polymerization. This element is immersed in colloidal carbon, a silver paste is applied to form a conductive coating film, a counter electrode is taken out from a part of the element, and then molded with epoxy resin to form a capacitor with a rated voltage of 16 V and a rated capacitance of 4.7 μF. Was completed. Table 1 shows the conditions for making capacitors.
Table 3 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0028】実施例5 200mlのガラス製反応容器にアニリン4.7g及び濃硫酸2.
5gを含む水溶液30mlをとり、15℃に保持しながら50wt
%の過ヨウ素酸(標準電極電位1.59V)4.0gを含む水
溶液50mlを4時間で滴下した後、5時間反応させて化学
酸化重合によるポリアニリンを得た。25wt%アンモニア
水50mlを加え3時間攪ハンした後、遠心分離、水洗し
て、脱ドープされたポリアニリン粉末を得た。該脱ドー
プされたポリアニリンのNMP中30℃での固有粘度は0.
31g/100mlであった。該脱ドープされたポリアニリン0.
2wt%のNMP/エタノール(90wt%/10wt%)溶液を
得た。厚み90μm、幅10mmの粗面化したアルミニウムエ
ッチ箔を得た。該箔を10mmに切断後加締め付けによりリ
ードを取りつけ、アジピン酸アンモニウム水溶液中100
Vで化成処理を行って誘電体酸化皮膜を形成した。この
素子をホウ酸5wt%、クエン酸5wt%、アンモニア1.4w
t%の容量測定用電解液に浸漬して静電容量を測定した
ところ0.1μFであり、CV積値は10であった。この素
子を脱ドープされたポリアニリン溶液に5分浸漬後70℃
で乾燥する操作を3回繰り返した後、ジセカンダリーブ
チルナフタレンスルホン酸0.2mol/lのブタノール溶液
に20分浸漬後100℃で乾燥し、導電性のポリアニリン膜
を形成した。この素子をアジピン酸アンモニウム水溶液
中70Vで再化成した後、ピロールモノマー0.2mol/l及
び支持電解質として2−ナフタレンスルホン酸ナトリウ
ム0.2mol/lを含む水/エタノール(60wt%/40wt%)
溶液中に浸漬し、導電性のポリアニリン膜に外部からス
テンレスワイヤーを接触させて陽極とし、外部電極との
間に定電流電解重合(0.6mA/個、120分)を行い、電
解重合によるポリピロール膜を形成した。この素子をコ
ロイダルカーボンに浸漬し、銀ペーストを塗布して導電
性塗膜を形成し、その一部から対極を取り出した後エポ
キシ樹脂でモールドして定格電圧25V、定格静電容量0.
1μFのコンデンサを完成した。コンデンサの作成条件
を表1に、得られたコンデンサの特性値を表3に示す。
EXAMPLE 5 4.7 g of aniline and concentrated sulfuric acid were placed in a 200 ml glass reaction vessel.
Take 30 ml of an aqueous solution containing 5 g, and keep at 50
Then, 50 ml of an aqueous solution containing 4.0 g of periodic acid (standard electrode potential 1.59 V) was added dropwise over 4 hours, and the mixture was reacted for 5 hours to obtain polyaniline by chemical oxidation polymerization. After adding 50 ml of 25 wt% ammonia water and stirring for 3 hours, the mixture was centrifuged and washed with water to obtain undoped polyaniline powder. The undoped polyaniline has an intrinsic viscosity of 0.3 in NMP at 30 ° C.
It was 31 g / 100 ml. The undoped polyaniline 0.
A 2 wt% NMP / ethanol (90 wt% / 10 wt%) solution was obtained. A roughened aluminum etch foil having a thickness of 90 μm and a width of 10 mm was obtained. After the foil was cut to 10 mm, a lead was attached by crimping, and 100% aqueous ammonium adipate was added.
A chemical conversion treatment was performed with V to form a dielectric oxide film. This element was mixed with 5 wt% of boric acid, 5 wt% of citric acid, and 1.4 w of ammonia.
The capacitance was measured by immersion in a t% electrolytic solution for capacitance measurement. The capacitance was 0.1 μF, and the CV product value was 10. This device was immersed in a undoped polyaniline solution for 5 minutes and then heated to 70 ° C.
Was repeated three times, then immersed in a butanol solution of 0.2 mol / l of disecondary-butylnaphthalenesulfonic acid for 20 minutes and dried at 100 ° C. to form a conductive polyaniline film. This element was reformed at 70 V in an aqueous ammonium adipate solution, and then water / ethanol (60 wt% / 40 wt%) containing 0.2 mol / l of a pyrrole monomer and 0.2 mol / l of sodium 2-naphthalenesulfonate as a supporting electrolyte was used.
Immerse in a solution, contact stainless steel wire from outside with conductive polyaniline film to form an anode, conduct constant current electrolytic polymerization (0.6 mA / piece, 120 minutes) with external electrode, and polypyrrole film by electrolytic polymerization Was formed. This element is immersed in colloidal carbon, a silver paste is applied to form a conductive coating film, a counter electrode is taken out from a part of the element, and then molded with epoxy resin to obtain a rated voltage of 25 V and a rated capacitance of 0.
A 1 μF capacitor was completed. Table 1 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 3 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0029】実施例6 実施例1において、脱ドープされたポリアニリンのドー
ピング剤として2−ナフタレンスルホン酸0.2mol/lの
ブタノール溶液の代りに2,6−ナフタレンジスルホン
酸0.2mol/lのブタノール溶液を使用する以外は実施例
1と同様にしてコンデンサを完成した。コンデンサの作
成条件を表1に、得られたコンデンサの特性値を表3に
示す。
Example 6 In Example 1, a 0.2 mol / l butanol solution of 2,6-naphthalenedisulfonic acid was used instead of a 0.2 mol / l solution of 2-naphthalenesulfonic acid as a doping agent for the undoped polyaniline. A capacitor was completed in the same manner as in Example 1 except that the capacitor was used. Table 1 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 3 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0030】実施例7 実施例1において、支持電解質として1,7−ナフタレ
ンジスルホン酸ナトリウムの代わりにn−オクタデシル
ナフタレンスルホン酸テトラエチルアンモニウムを使用
する以外は実施例1と同様にしてコンデンサを完成し
た。コンデンサの作成条件を表1に、得られたコンデン
サの特性値を表3に示す。
Example 7 A capacitor was completed in the same manner as in Example 1, except that tetraethylammonium n-octadecylnaphthalenesulfonate was used instead of sodium 1,7-naphthalenedisulfonic acid as the supporting electrolyte. Table 1 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 3 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0031】比較例1 実施例1において、化学酸化重合の反応温度を4℃にし
た以外は実施例1と同様にして、NMP中30℃での固有
粘度が0.45g/100mlである脱ドープされたポリアニリン
を調製し、実施例1と同様にしてコンデンサを完成し
た。コンデンサの作成条件を表2に、得られたコンデン
サの特性値を表4に示す。
Comparative Example 1 The procedure of Example 1 was repeated, except that the reaction temperature of the chemical oxidative polymerization was changed to 4 ° C., and undoped with an intrinsic viscosity at 30 ° C. of 0.45 g / 100 ml in NMP. Polyaniline was prepared, and a capacitor was completed in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 4 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0032】比較例1で得られたコンデンサは、固有粘
度が大きいため容量含浸率が小さくなり、誘電損失の初
期値が大きく、高温放置寿命試験において誘電損失、等
価直列抵抗の経時変化も大きい。さらに、高湿度雰囲気
に放置すると誘電損失が著しく増大した。
The capacitor obtained in Comparative Example 1 has a large intrinsic viscosity, a small capacity impregnation rate, a large initial value of dielectric loss, and a large change with time in dielectric loss and equivalent series resistance in a high-temperature storage life test. Furthermore, when left in a high humidity atmosphere, the dielectric loss increased significantly.

【0033】比較例2 実施例1において、化学酸化重合の反応温度を25℃と
し、過マンガン酸カリウム水溶液の滴下時間を1時間と
する以外は実施例1と同様にしてNMP中30℃での固有
粘度が0.28g/100mlである脱ドープされたポリアニリン
を調製し、実施例1と同様にしてコンデンサを完成し
た。コンデンサの作成条件を表2に、得られたコンデン
サの特性値を表4に示す。
Comparative Example 2 The procedure of Example 1 was repeated, except that the reaction temperature of the chemical oxidative polymerization was 25 ° C. and the time of dropping the aqueous solution of potassium permanganate was 1 hour. Dedoped polyaniline having an intrinsic viscosity of 0.28 g / 100 ml was prepared, and a capacitor was completed in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 4 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0034】比較例2で得られたコンデンサは、固有粘
度が小さいため容量含浸率は大きいが、誘電損失及び等
価直列抵抗の初期値が大きい。また、ポリアニリンの分
子量が小さいのため高温放置寿命試験において誘電損失
及び等価直列抵抗の経時変化が大きい。
The capacitor obtained in Comparative Example 2 has a large capacity impregnation rate due to a small intrinsic viscosity, but has a large initial value of dielectric loss and equivalent series resistance. Further, since the molecular weight of polyaniline is small, the dielectric loss and the equivalent series resistance change over time in a high-temperature storage life test.

【0035】比較例3 実施例1において、脱ドープされたポリアニリンのドー
ピング剤として2−ナフタレンスルホン酸0.2mol/lの
ブタノール溶液の代わりに硫酸0.2mol/lのブタノール
溶液を用いた以外は、実施例1と同様にしてコンデンサ
を完成した。コンデンサの作成条件を表2に、得られた
コンデンサの特性値を表4に示す。
Comparative Example 3 The procedure of Example 1 was repeated, except that a 0.2 mol / l butanol solution of sulfuric acid was used instead of a 0.2 mol / l solution of 2-naphthalenesulfonic acid as a doping agent for the undoped polyaniline. A capacitor was completed in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 4 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0036】比較例3で得られたコンデンサは、容量含
浸率が大きく初期特性も比較的良好であるが、硫酸を使
用しているため高温放置寿命試験において誘電損失及び
等価直列抵抗の経時変化が大きい。
The capacitor obtained in Comparative Example 3 has a large capacity impregnation ratio and relatively good initial characteristics. However, since sulfuric acid is used, the dielectric loss and the equivalent series resistance change over time in a high-temperature storage life test. large.

【0037】比較例4 実施例1において、脱ドープされたポリアニリンのドー
ピング剤として2−ナフタレンスルホン酸0.2mol/lの
ブタノール溶液の代わりに過塩素酸0.2mol/lのブタノ
ール溶液を用いた以外は、実施例1と同様にしてコンデ
ンサを完成した。コンデンサの作成条件を表2に、得ら
れたコンデンサの特性値を表4に示す。
Comparative Example 4 In Example 1, except that a 0.2 mol / l butanol solution of perchloric acid was used instead of a 0.2 mol / l solution of 2-naphthalenesulfonic acid as a doping agent for the undoped polyaniline. A capacitor was completed in the same manner as in Example 1. Table 2 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 4 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0038】比較例4で得られたコンデンサは、容量含
浸率が大きく初期特性も比較的良好であるが、過塩素酸
を使用しているため高温放置寿命試験において誘電損失
及び等価直列抵抗の経時変化が大きい。
The capacitor obtained in Comparative Example 4 has a large capacity impregnation ratio and relatively good initial characteristics. However, since perchloric acid is used, the loss of dielectric loss and equivalent series resistance in a high-temperature storage life test was evaluated. The change is large.

【0039】比較例5 実施例1において、脱ドープされたポリアニリンのドー
ピング剤として2−ナフタレンスルホン酸0.2mol/lの
ブタノール溶液の代わりにポリビニルスルホン酸0.2mol
/lのブタノール溶液を用いた以外は、実施例1と同様
にしてコンデンサを完成した。コンデンサの作成条件を
表2に、得られたコンデンサの特性値を表4に示す。
COMPARATIVE EXAMPLE 5 In Example 1, 0.2 mol of polyvinyl sulfonic acid was used as a doping agent for undoped polyaniline instead of 0.2 mol / l of 2-naphthalene sulfonic acid in butanol.
A capacitor was completed in the same manner as in Example 1 except that a butanol solution of / l was used. Table 2 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 4 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0040】比較例5で得られたコンデンサは、容量含
浸率は大きいが初期の誘電損失及び等価直列抵抗が大き
い。また、ポリビニルスルホン酸を使用しているので高
温放置寿命試験において誘電損失及び等価直列抵抗の経
時変化が大きい。
The capacitor obtained in Comparative Example 5 has a large capacitance impregnation rate but a large initial dielectric loss and an equivalent series resistance. In addition, since polyvinyl sulfonic acid is used, a change with time in dielectric loss and equivalent series resistance is large in a high-temperature storage life test.

【0041】比較例6 200mlのガラス製反応容器にアニリン4.7g及び濃硫酸5.
0gを含む水溶液30mlをとり、−4℃に保持しながら過硫
酸アンモニウム(標準電極電位2.06V)11.4gを含む水
溶液30mlを3時間で滴下した後、3時間反応させて化学
酸化重合によるポリアニリンを合成し、濾別、水洗、乾
燥した。このポリアニリン4gに2規定アンモニア水50
mlを加え5時間攪ハンした後、濾別、水洗して、脱ドー
プされたポリアニリン粉末を得た。該脱ドープされたポ
リアニリンのNMP中30℃での固有粘度は0.76g/100ml
であった。該脱ドープされたポリアニリン0.3wt%のN
MP溶液を得た。この脱ドープされたポリアニリンを用
いて、以下、実施例4と同様にしてコンデンサを完成し
た。コンデンサの作成条件を表2に、得られたコンデン
サの特性値を表4に示す。
Comparative Example 6 4.7 g of aniline and 5.25 g of concentrated sulfuric acid were placed in a 200 ml glass reaction vessel.
Take 30 ml of an aqueous solution containing 0 g, and add 30 ml of an aqueous solution containing 11.4 g of ammonium persulfate (standard electrode potential 2.06 V) over 3 hours while maintaining the temperature at -4 ° C, and then react for 3 hours to synthesize polyaniline by chemical oxidation polymerization. The mixture was filtered, washed with water and dried. Add 2N ammonia water 50g to 4g of this polyaniline.
The mixture was stirred for 5 hours, filtered and washed with water to obtain a undoped polyaniline powder. The intrinsic viscosity of the undoped polyaniline in NMP at 30 ° C. is 0.76 g / 100 ml
Met. The undoped polyaniline 0.3 wt% N
An MP solution was obtained. Using this undoped polyaniline, a capacitor was completed in the same manner as in Example 4. Table 2 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 4 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0042】比較例6で用いたアルミ箔は比較的CV積
値が小さいにも関わらず、得られたコンデンサは容量含
浸率が小さいため、誘電損失及び等価直列抵抗の初期値
も大きく、高温放置寿命試験において誘電損失及び等価
直列抵抗の経時変化が若干大きい。また、高湿度雰囲気
に放置したところ、誘電損失が著しく増大した。
Although the aluminum foil used in Comparative Example 6 had a relatively small CV product value, the resulting capacitor had a low capacitance impregnation rate, so that the initial values of dielectric loss and equivalent series resistance were large, and the capacitor was left at high temperature. In the life test, the time-dependent changes in the dielectric loss and the equivalent series resistance are slightly large. Further, when left in a high humidity atmosphere, the dielectric loss increased remarkably.

【0043】比較例7 200mlのガラス製反応容器にアニリン4.7g及び濃硫酸5.
0gを含む水溶液30mlをとり、これを−4℃に保持しなが
ら過硫酸アンモニウム(標準電極電位2.06V)11.4gを
含む水溶液30mlを3時間で滴下した後、3時間反応させ
て化学酸化重合によるポリアニリンを合成し、濾別、水
洗、乾燥した。このポリアニリン4gに2規定アンモニ
ア水50mlを加え5時間攪ハンした後、濾別、水洗して、
脱ドープされたポリアニリン粉末を得た。該脱ドープさ
れたポリアニリンのNMP中30℃での固有粘度は0.76g
/100mlであった。該脱ドープされたポリアニリン3wt
%のNMP溶媒溶液を得た。厚み90μm、幅10mmの粗面
化したアルミニウムエッチング箔を得た。該箔を10mmに
切断後加締め付けによりリードを取りつけ、アジピン酸
アンモニウム水溶液中100Vで化成処理を行い誘電体酸
化皮膜を形成した。この素子をホウ酸5wt%、クエン酸
5wt%、アンモニア1.4wt%の容量測定用電解液に浸漬
した静電容量は0.1μFであり、CV積値は10であっ
た。この素子を、脱ドープされたポリアニリン溶液に5
分浸漬後70℃で乾燥する操作を10回繰り返した後、硫酸
0.2mol/lのブタノール溶液に20分浸漬後100℃で乾燥
し、導電性のポリアニリン膜を形成した。この素子をコ
ロイダルカーボンに浸漬し、銀ペーストを塗布して導電
性塗膜を形成し、その一部から対極を取り出した後エポ
キシ樹脂でモールドして定格電圧25V、定格静電容量0.
1μFのコンデンサを完成した。コンデンサの作成条件
を表2に、得られたコンデンサの特性値を表4に示す。
Comparative Example 7 4.7 g of aniline and 5.
A 30 ml aqueous solution containing 1 g of ammonium persulfate (standard electrode potential 2.06 V) was added dropwise over 3 hours while maintaining the solution at −4 ° C. over 30 ml of an aqueous solution containing 0 g, and then reacted for 3 hours to obtain polyaniline by chemical oxidation polymerization. Was synthesized, filtered, washed with water and dried. To 4 g of this polyaniline was added 50 ml of 2N ammonia water, and the mixture was stirred for 5 hours.
An undoped polyaniline powder was obtained. The intrinsic viscosity of the undoped polyaniline in NMP at 30 ° C. is 0.76 g.
/ 100 ml. The undoped polyaniline 3wt
% NMP solvent solution was obtained. A roughened aluminum etched foil having a thickness of 90 μm and a width of 10 mm was obtained. After cutting the foil to 10 mm, a lead was attached by crimping, and a chemical conversion treatment was performed at 100 V in an aqueous solution of ammonium adipate to form a dielectric oxide film. This element was immersed in an electrolytic solution for measuring capacity of 5 wt% of boric acid, 5 wt% of citric acid, and 1.4 wt% of ammonia, and had a capacitance of 0.1 μF and a CV product value of 10. This device was added to the undoped polyaniline solution for 5 minutes.
After repeating the operation of immersion for 10 minutes and drying at 70 ° C 10 times, sulfuric acid
After being immersed in a 0.2 mol / l butanol solution for 20 minutes, it was dried at 100 ° C. to form a conductive polyaniline film. This element is immersed in colloidal carbon, a silver paste is applied to form a conductive coating film, a counter electrode is taken out from a part of the element, and then molded with epoxy resin to obtain a rated voltage of 25 V and a rated capacitance of 0.
A 1 μF capacitor was completed. Table 2 shows the conditions for forming the capacitors, and Table 4 shows the characteristic values of the obtained capacitors.

【0044】比較例7で得られたコンデンサは、アルミ
ニウム箔のCV積値が小さいので初期の容量含浸率は比
較的大きいが、誘電損失及び等価直列抵抗の初期値が大
きく、特に誘電損失が著しく大きい。また高温放置寿命
試験において等価直列抵抗及び誘電損失の増大が著し
い。
The capacitor obtained in Comparative Example 7 has a relatively high initial capacity impregnation ratio because the CV product value of the aluminum foil is small, but has a large initial value of dielectric loss and equivalent series resistance, and particularly has a remarkable dielectric loss. large. In a high-temperature storage life test, the equivalent series resistance and the dielectric loss are remarkably increased.

【0045】実施例のコンデンサの作成条件を表1に、
比較例の作成条件を表2に示す。表中略号で記している
ポリアニリンドーピング剤の化学名を以下に示す。 2−NS : 2−ナフタレンスルホン酸 n−ODNS : n−オクタデシルナフタレンスルホ
ン酸 DsBNS : ジセカンダリーブチルナフタレンス
ルホン酸 2,6−DNS : 2,6−ナフタレンジスルホン酸 2−NS : 2−ナフタレンスルホン酸 PVS : ポリビニルスルホン酸
Table 1 shows the conditions for forming the capacitor of the embodiment.
Table 2 shows the preparation conditions of the comparative example. The chemical names of the polyaniline doping agents indicated by the abbreviations in the table are shown below. 2-NS: 2-naphthalene sulfonic acid n-ODNS: n-octadecyl naphthalene sulfonic acid DsBNS: disecondary butyl naphthalene sulfonic acid 2,6-DNS: 2,6-naphthalene sulfonic acid 2-NS: 2-naphthalene sulfonic acid PVS : Polyvinyl sulfonic acid

【0046】[0046]

【表1】 [Table 1]

【0047】[0047]

【表2】 [Table 2]

【0048】実施例のコンデンサ特性結果を表3に、比
較例の結果を表4に示す。静電容量(C)及び誘電損失
(tanδ)は120Hzでの測定値を、等価直列抵抗(ES
R)は100kHzでの測定値を表す。
Table 3 shows the results of the capacitor characteristics of the example, and Table 4 shows the results of the comparative example. The capacitance (C) and the dielectric loss (tan δ) were measured at 120 Hz, and the equivalent series resistance (ES
R) represents the measured value at 100 kHz.

【0049】[0049]

【表3】 [Table 3]

【0050】脱ドープされたポリアニリンのNMP中30
℃での固有粘度が0.3g/100ml以上、0.4g/100ml未満
(実施例1、実施例7)の時は、容量含浸率が大きく、
初期特性も優れている。しかし、酸化剤の標準電極電位
が1.8V以上(実施例3)の時は、高温放置寿命試験に
おいて特性の経時変化が若干大きい。
Dedoped polyaniline in NMP 30
When the intrinsic viscosity at ° C is 0.3 g / 100 ml or more and less than 0.4 g / 100 ml (Examples 1 and 7), the volume impregnation rate is large,
The initial properties are also excellent. However, when the standard electrode potential of the oxidizing agent is 1.8 V or more (Example 3), the time-dependent change in characteristics in the high-temperature storage life test is slightly large.

【0051】[0051]

【表4】 [Table 4]

【0052】[0052]

【発明の効果】本発明の固体電解コンデンサの製造方法
によると、誘電体酸化皮膜を形成した弁作用金属表面
に、含浸などの簡便の方法によりプレコート層としての
導電性のポリアニリン膜を形成できるので製造工程が簡
略になり、またアニリンモノマーが無駄に費やされない
ので製造コストが低減できる。脱ドープされた可溶性ポ
リアニリンのNMP中30℃での固有粘度を0.30g/100ml
以上、0.40g/100ml未満に制御することにより、拡面倍
率の大きい弁作用金属でもエッチング孔最深部まで十分
に含浸でき、容量含浸率が大きくなり、誘電体酸化皮膜
表面積を有効に利用でき、かつ長時間高温雰囲気下に放
置しても特性が劣化しない。さらに、ポリアニリンのド
ーピング剤としてナフタレンスルホン酸を用い、かつ導
電性のポリアニリン膜上に電解重合による導電性高分子
膜を形成することにより、得られたコンデンサは等価直
列抵抗、誘電損失の初期値が小さく、長時間高温雰囲気
に放置しても特性が劣化しない。
According to the method for manufacturing a solid electrolytic capacitor of the present invention, a conductive polyaniline film as a precoat layer can be formed on a valve metal surface having a dielectric oxide film formed thereon by a simple method such as impregnation. The production process is simplified, and the production cost can be reduced because the aniline monomer is not wasted. The intrinsic viscosity of the undoped soluble polyaniline at 30 ° C. in NMP is 0.30 g / 100 ml
As described above, by controlling to less than 0.40 g / 100 ml, even a valve action metal having a large surface enlargement ratio can be sufficiently impregnated to the deepest portion of the etching hole, the capacity impregnation ratio becomes large, and the dielectric oxide film surface area can be effectively used. The characteristics do not deteriorate even when left in a high-temperature atmosphere for a long time. Furthermore, by using naphthalenesulfonic acid as a doping agent for polyaniline and forming a conductive polymer film by electrolytic polymerization on a conductive polyaniline film, the obtained capacitor has an initial value of equivalent series resistance and dielectric loss. It is small and its characteristics do not deteriorate even if it is left in a high temperature atmosphere for a long time.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01G 9/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H01G 9/02

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 弁作用金属上の誘電体酸化皮膜表面に、
N−メチル−2−ピロリドン中30℃での固有粘度が0.30
g/100ml以上、0.40g/100ml未満である溶媒可溶性の脱
ドープされたポリアニリン溶液及びナフタレンスルホン
酸溶液を接触させて導電性のポリアニリン膜を形成した
後、電解重合による導電性高分子膜を形成することを特
徴とする固体電解コンデンサの製造方法。
1. The method according to claim 1, wherein the surface of the dielectric oxide film on the valve metal is
Intrinsic viscosity at 30 ° C. of 0.30 in N-methyl-2-pyrrolidone
A conductive polyaniline film is formed by contacting a solvent-soluble undoped polyaniline solution and a naphthalene sulfonic acid solution having a g / 100 ml or more and less than 0.40 g / 100 ml to form a conductive polymer film by electrolytic polymerization. A method for manufacturing a solid electrolytic capacitor.
【請求項2】 脱ドープされたポリアニリンが、標準電
極電位が0.7V以上、1.8V未満の酸化剤を用いてアニリ
ンモノマーを化学酸化重合したポリアニリンを脱ドープ
したことを特徴とする請求項1記載の固体電解コンデン
サの製造方法。
2. The undoped polyaniline obtained by chemically oxidizing and polymerizing an aniline monomer using an oxidizing agent having a standard electrode potential of 0.7 V or more and less than 1.8 V is undoped. Method for manufacturing solid electrolytic capacitor.
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