JP2903448B2 - Fourier transform infrared spectrophotometer - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、フーリエ変換赤外分光
光度計（以下、ＦＴＩＲと云う）に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a Fourier transform infrared spectrophotometer (hereinafter, referred to as FTIR).
【０００２】[0002]
【従来の技術】ＦＴＩＲによって得られる赤外吸収スペ
クトルに基づいて気体成分の分析を行う場合、測定試料
とするガスは、セルに導入するのが普通であるが、実際
には、セル以外の光路中に存在する気体成分、通常は大
気中に存在する水蒸気や二酸化炭素によっても赤外光の
吸収が起こる。そのため、測定試料中の低濃度の水蒸気
や二酸化炭素の定量分析などを行う場合、精度の高い分
析結果を得るには、このバックグラウンドの水蒸気や二
酸化炭素の濃度を下げ、かつ、一定レベルで安定させる
必要がある。2. Description of the Related Art When analyzing a gas component based on an infrared absorption spectrum obtained by FTIR, a gas to be measured is usually introduced into a cell, but in practice, an optical path other than the cell is used. Infrared light is also absorbed by gas components present therein, usually water vapor and carbon dioxide present in the atmosphere. Therefore, when performing quantitative analysis of low-concentration water vapor or carbon dioxide in a measurement sample, etc., in order to obtain highly accurate analysis results, lower the background water vapor or carbon dioxide concentration and stabilize it at a certain level. Need to be done.
【０００３】また、主要な赤外吸収領域が水蒸気や二酸
化炭素と重なる気体成分、例えば二酸化窒素などを分析
する場合にも、セル以外の光路中の水蒸気や二酸化炭素
の濃度を下げておくのが望ましい。そこで、従来におい
ては、光源、干渉計などの光学系を気密な室内に収容
し、光学系を真空引きしたり、赤外領域に吸収を持たな
い例えばＮ２ガスなどによってパージを行うようにして
いる。Also, when analyzing a gas component whose main infrared absorption region overlaps water vapor or carbon dioxide, for example, nitrogen dioxide, it is necessary to lower the concentration of water vapor or carbon dioxide in the optical path other than the cell. desirable. Therefore, conventionally, an optical system such as a light source and an interferometer is housed in an airtight room, and the optical system is evacuated or purged with, for example, N 2 gas having no absorption in an infrared region. I have.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、真空引
きを行う場合、真空ポンプを用意したり、その振動対策
を講ずる必要がある。そして、Ｎ２パージを常時行うと
きは、Ｎ２ガスの使用量が多くなり、ランニングコスト
が嵩むと共に、干渉計近傍のガスが乱されるところか
ら、出力が不安定になると云った不都合がある。また、
Ｎ２パージを分析開始前に手動で行うようにしても、そ
の度に開閉弁の開閉を行なわねばならず、大変面倒であ
ると共に、パージ終了後、光学系の温度などの安定に時
間がかかるなどのため、かなりの待ち時間（ロスタイ
ム）が生ずると云った問題点がある。However, when performing vacuum evacuation, it is necessary to prepare a vacuum pump or take measures against vibration. When the N 2 purge is constantly performed, the use amount of the N 2 gas increases, the running cost increases, and the gas near the interferometer is disturbed, so that the output becomes unstable. . Also,
Even if the N 2 purge is performed manually before analysis start, not must perform opening and closing of the valve each time, with a very troublesome, after purging ends, the stabilization time and temperature of the optical system according For this reason, there is a problem that a considerable waiting time (loss time) occurs.
【０００５】さらに、セルが着脱式であったり、検出器
が液体窒素による冷却が必要なＭＣＴ（水銀カドミウム
テルル）検出器である場合、光学系の気密性が上げにく
く、一時的なパージではバックグラウンドが変動しやす
いと云った問題もある。Further, when the cell is detachable, or when the detector is an MCT (mercury cadmium tellurium) detector which requires cooling with liquid nitrogen, the airtightness of the optical system is hardly improved, and backing is not possible with a temporary purge. There is also a problem that the ground fluctuates easily.
【０００６】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、光学系のパージを簡
単に行うことができ、しかも、常に安定した状態で分析
を行うことができるフーリエ変換赤外分光光度計を提供
することにある。The present invention has been made in consideration of the above-mentioned matters, and an object of the present invention is to make it possible to easily purify an optical system and to always perform analysis in a stable state. An object of the present invention is to provide a Fourier transform infrared spectrophotometer which can be used.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明においては、光源、干渉計などの光学系の組
と、セルおよび検出器の組とを区画された気密な室内に
それぞれ収容し、この各室にパージガス供給路を接続し
たフーリエ変換赤外分光光度計であって、前記各パージ
ガス供給路に設けられる開閉弁の開閉をコンピュータ上
で制御し、前記各室内のパージを自動で行うことができ
るようにし、更に、このパージガス自動供給を、前記セ
ルおよび検出器を収容する室では常時行う一方、前記光
学系を収容する室では分析開始時までに行えるよう構成
し、しかも前記セルおよび検出器を収容する室には、前
記検出器への液体窒素の補給などのために前記セルおよ
び検出器を収容する室の扉などを開けた直後やパージ開
始直後に、一時的により多い流量のパージガスを自動供
給するように構成している。In order to achieve the above object, according to the present invention, a set of an optical system such as a light source and an interferometer and a set of a cell and a detector are housed in an airtight room which is partitioned. A Fourier transform infrared spectrophotometer in which a purge gas supply path is connected to each of the chambers, wherein the opening and closing of an on-off valve provided in each of the purge gas supply paths is controlled on a computer, and the purging of each of the chambers is automatically performed. In addition, the automatic supply of the purge gas is always performed in the chamber accommodating the cell and the detector, while the automatic supply of the purge gas is performed in the chamber accommodating the optical system by the start of analysis. and the chamber housing the detector, before
The above cell and other components for supplying liquid nitrogen to the detector, etc.
Immediately after opening the door of the
Immediately after the start, the system is configured to automatically supply a temporarily higher purge gas flow rate.
【０００８】[0008]
【作用】区画された２つの室の両方が常に安定した状態
となるように２つの室のパージを開閉弁を介してコンピ
ュータにより制御するように構成したものであり、分析
開始までの間に２つの室のパージを無人で行うものであ
る。つまり、光源、干渉計などの光学系は気密性が上げ
易いので、パージガスを分析開始時までに供給するだけ
で光学系を安定させておくことができる。従って、光学
系のパージを簡単に行うことができる。一方、セルや検
出器は気密性が上げにくいので、パージガスを常時供給
して室内を安定状態に維持する。特に、検出器への液体
窒素の補給などのために室の扉などを開けた直後は気密
性が崩れるけれども、この場合は、一時的により多い流
量のパージガスを自動供給してできるだけ早く安定した
状態で分析できるようになる。このように、常にバック
グラウンドの水蒸気や二酸化炭素などの濃度が低い状態
で精度の高い分析を行うことができる。また、待ち時間
がないので、分析効率が向上する。The purge of the two chambers is controlled by a computer via an on-off valve so that both of the two compartments are always in a stable state. The purging of two chambers is performed unattended. In other words, the optical system such as the light source and the interferometer is easily airtight, so that the optical system can be stabilized only by supplying the purge gas before the start of analysis . Therefore, the purging of the optical system can be easily performed. On the other hand, since the airtightness of the cell and the detector is hard to increase, the purge gas is constantly supplied to maintain the room in a stable state. In particular, the airtightness is lost immediately after opening the door of the chamber to supply liquid nitrogen to the detector, etc. Will be able to analyze. As described above, highly accurate analysis can always be performed in a state where the concentration of background water vapor or carbon dioxide is low. Further, since there is no waiting time, the analysis efficiency is improved.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１０】図１は、本発明に係るＦＴＩＲの分析部の
構成を概略的に示し、この図において、１は分析部のハ
ウジング、その内部は隔壁２によって２つの室３，４に
区画されている。そして、各室３，４は、それぞれ気密
に構成されている。第１の室３には、パージガスＰＧ
（後述する）を導入するためのチェック弁５，６が設け
られている。そして、この第１の室３内には、赤外光を
発する光源７と干渉計８とからなる光学系９が設けられ
ている。干渉計８は、ビームスプリッター１０、固定ミ
ラー１１、可動ミラー１２などよりなる。なお、１３は
光路調整用のミラー体である。FIG. 1 schematically shows the structure of an analysis section of an FTIR according to the present invention. In this figure, reference numeral 1 denotes a housing of the analysis section, and the inside thereof is divided into two chambers 3 and 4 by a partition 2. I have. Each of the chambers 3 and 4 is configured to be airtight. The first chamber 3 contains a purge gas PG
Check valves 5 and 6 for introducing (described later) are provided. An optical system 9 including a light source 7 that emits infrared light and an interferometer 8 is provided in the first chamber 3. The interferometer 8 includes a beam splitter 10, a fixed mirror 11, a movable mirror 12, and the like. Reference numeral 13 denotes a mirror for adjusting an optical path.
【００１１】第２の室４には、パージガス（後述する）
を導入するための導入口１４と排出口１５とが設けられ
ている。そして、この第２の室４の内部には、光路側の
両端部に赤外線透過性材料よりなる透過窓（図外）を備
えた測定試料または比較試料を収容するためのセル１６
が設けられていると共に、例えばＭＣＴ検出器よりなる
検出器１７が設けられている。なお、１８は光路調整用
のミラー体である。The second chamber 4 contains a purge gas (to be described later).
An inlet 14 and an outlet 15 for introducing the gas are provided. A cell 16 for accommodating a measurement sample or a comparison sample having a transmission window (not shown) made of an infrared transmitting material at both ends on the optical path side is provided inside the second chamber 4.
Is provided, and a detector 17 composed of, for example, an MCT detector is provided. Reference numeral 18 denotes an optical path adjusting mirror.
【００１２】そして、隔壁２の光路に臨む部分には、赤
外線透過性材料よりなる透過窓１９が形成されている。
また、２０はコンピュータで、前記検出器１７から出力
されるインターフェログラムを高速でフーリエ変換し、
さらに、このフーリエ変換出力として得られる吸収スペ
クトルに基づいて分析したい成分の濃度演算などを行う
と共に、後述する開閉弁２２，２３，２９，３８，４
１，４４やポンプ３０（図２参照）などに対する指令を
発するように構成されている。つまり、このコンピュー
タ２０は、分析のための演算処理やデータの記憶などの
他、サンプリング系やパージ系などを制御する機能を備
えている。A transmission window 19 made of an infrared transmitting material is formed in a portion of the partition 2 facing the optical path.
Reference numeral 20 denotes a computer which performs a Fourier transform on the interferogram output from the detector 17 at high speed,
Further, the concentration of the component to be analyzed is calculated based on the absorption spectrum obtained as the Fourier transform output, and the on-off valves 22, 23, 29, 38, and 4 described later are performed.
It is configured to issue a command to the pumps 1 and 44 and the pump 30 (see FIG. 2). That is, the computer 20 has a function of controlling a sampling system, a purge system, and the like, in addition to an arithmetic operation for analysis and storage of data.
【００１３】次に、上記構成の分析部に対するサンプリ
ング系およびパージ系の構成について、図２を参照しな
がら説明する。Next, the configuration of a sampling system and a purge system for the analyzing section having the above configuration will be described with reference to FIG.
【００１４】図２において、２１はセル１６に対して測
定試料（サンプルガス）ＳＧまたは比較試料（リファレ
ンスガス）ＲＧ（例えばＮ２ガス）を供給するためのガ
ス供給路で、その上流側には、電磁弁などの開閉弁２
２，２３をそれぞれ備えたサンプルガス供給路２４、リ
ファレンスガス供給路２５が互いに並列に接続されてい
る。２６はニードル弁などの流量調節弁である。また、
２７は流量調節弁２８、開閉弁２９、吸引ポンプ３０、
流量計３１などを備えたガス排出路である。In FIG. 2, reference numeral 21 denotes a gas supply passage for supplying a measurement sample (sample gas) SG or a comparison sample (reference gas) RG (for example, N 2 gas) to the cell 16, and an upstream side thereof. Valves, such as solenoid valves and solenoid valves 2
A sample gas supply path 24 and a reference gas supply path 25 respectively provided with 2 and 23 are connected in parallel with each other. 26 is a flow control valve such as a needle valve. Also,
27 is a flow control valve 28, an on-off valve 29, a suction pump 30,
This is a gas discharge path provided with a flow meter 31 and the like.
【００１５】３２はパージガスＰＧ（例えばＮ２ガス）
を供給する流路で、レギュレータ３３と圧力センサ３４
とを備えると共に、圧力センサ３４の下流側において２
つのパージガス供給路３５，３６（以下、第１のパージ
ガス供給路３５、第２のパージガス供給路３６と云う）
に分岐している。なお、圧力センサ３４は、パージガス
供給路３２に所定の圧力がかかっていない（つまり、パ
ージのされない状態である）ことを検知して、アラーム
を出すなどをするためのものである。Reference numeral 32 denotes a purge gas PG (for example, N 2 gas)
The regulator 33 and the pressure sensor 34
At the downstream side of the pressure sensor 34.
Two purge gas supply paths 35 and 36 (hereinafter, referred to as a first purge gas supply path 35 and a second purge gas supply path 36)
Has branched to. The pressure sensor 34 detects that a predetermined pressure is not applied to the purge gas supply path 32 (that is, the purge gas is not purged) and issues an alarm.
【００１６】第１のパージガス供給路３５は、光学系９
を収容した第１の室３にパージガスとしてＮ２ガスを供
給するもので、ニードル弁のような流量調整弁３７と電
磁弁のような開閉弁３８と流量計３９とを備えている。
また、第２のパージガス供給路３６は、セル１６および
検出器１７を収容した第２の室４にパージガスとしてＮ
２ガスを供給するもので、ニードル弁のような流量調整
弁４０と電磁弁のような開閉弁４１と流量計４２とを備
えている。そして、第２のパージガス供給路３６には、
ニードル弁のような流量調整弁４３と電磁弁のような開
閉弁４４とを備えた分岐流路４４が流量調整弁４０と開
閉弁４１とを跨ぐようにして設けられている。The first purge gas supply passage 35 is connected to the optical system 9.
It supplies N 2 gas as a purge gas to the first chamber 3 containing a gas, and includes a flow regulating valve 37 such as a needle valve, an on-off valve 38 such as an electromagnetic valve, and a flow meter 39.
In addition, the second purge gas supply path 36 supplies N 2 as a purge gas to the second chamber 4 containing the cell 16 and the detector 17.
It supplies two gases and includes a flow control valve 40 such as a needle valve, an on-off valve 41 such as an electromagnetic valve, and a flow meter 42. And, in the second purge gas supply path 36,
A branch flow path 44 having a flow control valve 43 such as a needle valve and an on-off valve 44 such as an electromagnetic valve is provided so as to straddle the flow control valve 40 and the on-off valve 41.
【００１７】上記構成のフーリエ変換赤外分光光度計に
おいては、コンピュータ２０内のタイマーを用いて、分
析を行っていないときに、第１のパージガス供給路３５
の開閉弁３８を所定時間だけ開くようにする。これによ
って、光源７、干渉計８などの光学系９が収容されてい
る第１の室３に例えば１０１／ｍｉｎのパージガスＰＧ
（Ｎ２ガス）が１０分間程度供給され、第１の室３内が
Ｎ２ガスで置換される。そして、第１の室３内のガス圧
が予め設定された圧力にまで下がると逆止弁６が閉じる
ため、第１の室３内にＮ２ガスを自動的に封じ込めるこ
とができる。この操作は例えば１日１回でよい。In the Fourier transform infrared spectrophotometer configured as described above, the first purge gas supply passage 35 is used when the analysis is not performed using the timer in the computer 20.
Is opened only for a predetermined time. Thereby, the purge gas PG of, for example, 101 / min is stored in the first chamber 3 in which the optical system 9 such as the light source 7 and the interferometer 8 is housed.
(N 2 gas) is supplied for about 10 minutes, and the inside of the first chamber 3 is replaced with N 2 gas. Then, when the gas pressure in the first chamber 3 decreases to a preset pressure, the check valve 6 closes, so that the N 2 gas can be automatically sealed in the first chamber 3. This operation may be performed once a day, for example.
【００１８】前記パージガスＰＧの供給により、分析開
始までの間に光学系９のパージを無人で行い、光学系９
を安定させておくことができ、光学系９のパージを簡単
に行うことができる。なお、分析中にパージが始まるの
を避けるために、パージ開始の一定時間（例えば３０
分）前にアラームを出すか、あるいは、コンピュータ２
０によるインターフェログラムの取込み中やサンプリン
グ系の動作中は、パージが開始されないようにしてもよ
い。By supplying the purge gas PG, the optical system 9 is purged unattended before the start of analysis, and the optical system 9 is purged.
Can be kept stable, and the optical system 9 can be easily purged. In order to prevent the purge from starting during the analysis, a certain period of time (for example, 30
Minutes) before the alarm is issued or the computer 2
Purging may not be started during the acquisition of the interferogram by 0 or during the operation of the sampling system.
【００１９】そして、コンピュータ２０の指令によっ
て、第２のパージガス供給路３６の開閉弁４１を常時開
状態にすることにより、メンテナンスの必要な検出器１
７およびセル１６が収容されている第２の室４に例えば
０．５１／ｍｉｎのパージガスＰＧ（Ｎ２ガス）を常時
供給する。これによって、第２の室４内が常時パージさ
れる。また、検出器１７への液体窒素の補給などのため
に第２の室４の扉などを開けた直後やパージ開始直後
は、開閉弁４４をも開状態にすることで、一時的により
多い流量、例えば１０１／ｍｉｎで１０分間Ｎ２ガスを
供給する。これによって、第２の室５内のガスの置換を
早め、より安定した状態での分析が可能になる。The on / off valve 41 of the second purge gas supply passage 36 is normally opened in accordance with a command from the computer 20, so that the detector 1 requiring maintenance is required.
A purge gas PG (N 2 gas) of, for example, 0.51 / min is constantly supplied to the second chamber 4 in which the chamber 7 and the cell 16 are housed. As a result, the inside of the second chamber 4 is constantly purged. In addition, immediately after opening the door of the second chamber 4 or the like immediately after the opening of the second chamber 4 to supply liquid nitrogen to the detector 17 or the like, the on-off valve 44 is also opened to temporarily increase the flow rate. For example, N 2 gas is supplied at 101 / min for 10 minutes. Thereby, the replacement of the gas in the second chamber 5 is accelerated, and the analysis in a more stable state becomes possible.
【００２０】そして、コンピュータ２０の指令によっ
て、開閉弁２２，２３を適宜オンオフ制御することによ
って、セル１６に対して測定試料ＳＧまたは比較試料Ｒ
Ｇが供給され、所定の分析が行われる。The on / off valves 22 and 23 are appropriately turned on / off in accordance with a command from the computer 20 so that the measurement sample SG or the comparison sample R
G is supplied and a predetermined analysis is performed.
【００２１】本発明は、上述の実施例に限られるもので
はなく、例えば開閉弁２２，２３，２９，３８，４１，
４４は空気制御弁であってもよい。また、検出器１７と
してＭＣＴ検出器以外の液体窒素の補給を必要としない
検出器〔例えばＴＧＳ（三硫化グリシン）検出器〕を用
いた場合、第２の室４の気密性が向上する。さらに、分
析対象とする試料は、気体に限らず、液体や固体であっ
てもよい。The present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, on-off valves 22, 23, 29, 38, 41,
44 may be an air control valve. When a detector that does not require replenishment of liquid nitrogen (for example, a TGS (glycine trisulfide) detector) other than the MCT detector is used as the detector 17, the airtightness of the second chamber 4 is improved. Furthermore, the sample to be analyzed is not limited to a gas, but may be a liquid or a solid.
【００２２】[0022]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
分析開始時までに光源、干渉計などの光学系を収容する
室とセルおよび検出器を収容する室のパージを無人で行
うものである。つまり、光源、干渉計などの光学系は気
密性が上げ易いので、パージガスを分析開始時までに供
給するだけで光学系を安定させておくことができる。従
って、常にバックグラウンドの水蒸気や二酸化炭素の濃
度が低い状態で分析を行うことができ、測定精度を高め
ることができると共に、待ち時間がないので、分析効率
が向上する。また、光学系を収容する室の気密性を高め
ておくことにより、パージに要する時間やパージガスの
使用量を大幅に低減でき、非常に経済的でパージ効率も
向上すると共に、常にバックグランドの安定した状態で
分析できる。As described above, according to the present invention,
Until the start of the analysis, the purging of the chamber accommodating the optical system such as the light source and the interferometer and the chamber accommodating the cell and the detector are performed unattended. That is, since the optical system such as the light source and the interferometer is easily airtight, the optical system can be stabilized by merely supplying the purge gas before the start of the analysis . Therefore, the analysis can be always performed in a state where the concentration of the background water vapor or carbon dioxide is low, the measurement accuracy can be improved, and there is no waiting time, so that the analysis efficiency is improved. In addition, by increasing the airtightness of the chamber that houses the optical system, the time required for purging and the amount of purge gas used can be significantly reduced, making it extremely economical and improving the purging efficiency, and always keeping the background stable. It can be analyzed in a state where it is done.
【００２３】また、メンテナンスの必要なセルや検出器
は気密性が上げにくいので、パージガスを常時供給する
ことにより、同様の効果が得られる。さらに、検出器へ
の液体窒素の補給などのために室の扉などを開けた直後
は気密性が崩れるけれども、この場合は、一時的により
多い流量のパージガスを自動供給して、できるだけ早く
安定した状態での分析が可能になる。これらの制御はコ
ンピュータによって行われるので、操作も簡便である。Further, since cells and detectors requiring maintenance are hardly airtight, a similar effect can be obtained by constantly supplying a purge gas. Furthermore, immediately after opening the chamber door for replenishing the detector with liquid nitrogen, etc., the airtightness is lost, but in this case, the purge gas with a temporarily higher flow rate is automatically supplied and stable as soon as possible. Analysis in the state becomes possible. Since these controls are performed by a computer, the operation is simple.
【００２４】特に、ガス分析計においては、パージガス
としてＮ２ガスを用いた場合、このＮ２ガスは比較試料
として使用されることが多いので、供給元を共用するこ
とができ、専用の真空ポンプを設ける場合に比べて、装
置全体をコンパクトに構成できる。さらに、水蒸気や二
酸化炭素以外の未知のガスが雰囲気中に漏れていた場合
にも、その影響を排除できると云った効果がある。In particular, in a gas analyzer, when N 2 gas is used as a purge gas, this N 2 gas is often used as a comparative sample, so that the supply source can be shared and a dedicated vacuum pump is used. , The entire apparatus can be made more compact. Furthermore, even when an unknown gas other than water vapor or carbon dioxide leaks into the atmosphere, the effect can be eliminated.
【図１】本発明に係るＦＴＩＲの分析部の構成を概略的
に示す図である。FIG. 1 is a diagram schematically showing a configuration of an FTIR analysis unit according to the present invention.
【図２】前記分析部に対するサンプリング系およびパー
ジ系の構成を概略的に示す図である。FIG. 2 is a diagram schematically showing a configuration of a sampling system and a purge system for the analysis unit.
３，４…２つの室、７…光源、８…干渉計、９…光学
系、１６…セル、１７…検出器、２０…コンピュータ、
３５，３６…パージガス供給路、３８，４１，４４…開
閉弁。3, 4 two chambers, 7 light source, 8 interferometer, 9 optical system, 16 cell, 17 detector, 20 computer
35, 36 ... purge gas supply path, 38, 41, 44 ... open / close valve.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01J 3/45 G01J 3/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01J 3/45 G01J 3/02
Claims (1)
および検出器の組とを区画された気密な室内にそれぞれ
収容し、この各室にパージガス供給路を接続したフーリ
エ変換赤外分光光度計であって、前記各パージガス供給
路に設けられる開閉弁の開閉をコンピュータ上で制御
し、前記各室内のパージを自動で行うことができるよう
にし、更に、このパージガス自動供給を、前記セルおよ
び検出器を収容する室では常時行う一方、前記光学系を
収容する室では分析開始時までに行えるよう構成し、し
かも前記セルおよび検出器を収容する室には、前記検出
器への液体窒素の補給などのために前記セルおよび検出
器を収容する室の扉などを開けた直後やパージ開始直後
に、一時的により多い流量のパージガスを自動供給する
ように構成したことを特徴とするフーリエ変換赤外分光
光度計。1. A Fourier transform infrared system in which a set of an optical system such as a light source and an interferometer and a set of a cell and a detector are housed in partitioned airtight chambers, and a purge gas supply path is connected to each of the chambers. In a spectrophotometer, the opening and closing of an on-off valve provided in each of the purge gas supply paths is controlled on a computer so that purging in each of the chambers can be automatically performed. while performing in the chamber for accommodating the cell and detector always in the chamber for accommodating the optical system configured to perform the time of start of the analysis, moreover the chamber accommodating the cell and the detector, the detector
The cell and detection for replenishing liquid nitrogen to the vessel
Immediately after opening the door of the chamber that houses the container or immediately after purging starts
To temporarily Fourier transform infrared spectrophotometer, characterized by being configured to automatically provide a greater flow rate of the purge gas.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4116855A JP2903448B2 (en) | 1992-04-08 | 1992-04-08 | Fourier transform infrared spectrophotometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4116855A JP2903448B2 (en) | 1992-04-08 | 1992-04-08 | Fourier transform infrared spectrophotometer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05288606A JPH05288606A (en) | 1993-11-02 |
| JP2903448B2 true JP2903448B2 (en) | 1999-06-07 |
Family
ID=14697299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4116855A Expired - Fee Related JP2903448B2 (en) | 1992-04-08 | 1992-04-08 | Fourier transform infrared spectrophotometer |
Country Status (1)
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Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
| JP2007108151A (en) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Junzo Umemura | Fourier transform infrared spectrophotometer without spectrum noise by steam or carbon dioxide gas |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6192836U (en) * | 1984-11-21 | 1986-06-16 | ||
| JP2661082B2 (en) * | 1987-12-14 | 1997-10-08 | キヤノン株式会社 | Laser wavelength control apparatus and exposure apparatus using the same |
-
1992
- 1992-04-08 JP JP4116855A patent/JP2903448B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05288606A (en) | 1993-11-02 |
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