JP2899508B2 - Filtration device - Google Patents

Filtration device

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JP2899508B2
JP2899508B2 JP20384093A JP20384093A JP2899508B2 JP 2899508 B2 JP2899508 B2 JP 2899508B2 JP 20384093 A JP20384093 A JP 20384093A JP 20384093 A JP20384093 A JP 20384093A JP 2899508 B2 JP2899508 B2 JP 2899508B2
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秀明 佐藤
雅博 土井
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OKAMOTO KOSAKU KIKAI SEISAKUSHO KK
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、工作機械における切削
加工用の加工液、潤滑油等の液体をフィルタエレメント
により濾過する濾過装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a filtering device for filtering a liquid such as a working fluid or a lubricating oil for cutting in a machine tool by a filter element.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、工作機械において切削加工に使
用される加工液を濾過する濾過方法としては、加工液に
含まれる金属の切り屑をマグネットにより除去し、ま
た、加工する材料を問わずフィルタエレメントにより加
工液を濾過することが行われ、さらには遠心分離機によ
り加工液と切り屑とを分離することが行われている。
2. Description of the Related Art For example, as a filtering method for filtering a machining fluid used for cutting in a machine tool, a metal chip contained in the machining fluid is removed by a magnet, and a filter is used regardless of a material to be machined. The processing fluid is filtered by the element, and further, the processing fluid and the chips are separated by a centrifugal separator.

【0003】フィルタエレメントにより加工液を濾過す
る方法としては、円筒形のフィルタエレメントの外周に
沿って加工液を高速で流通させ、フィルタエレメントの
内側に流れて濾過された加工液を工作機械に供給するよ
うにした、所謂クロスフロー濾過方法がある。
[0003] As a method of filtering a machining fluid with a filter element, a machining fluid is circulated at high speed along the outer periphery of a cylindrical filter element, and the machining fluid which flows inside the filter element and is filtered is supplied to a machine tool. There is a so-called cross-flow filtration method.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】切削条件、切削する材
料によっては、加工時に生ずる切り屑の大きさや形状は
は一様ではなく、微細な切り屑によりフィルタエレメン
トに目詰まりが生じ易い。特に、近来は半導体の製造分
野においては、硬脆性材料のセラミックス等をスライシ
ングマシンや放電加工機により加工することが多く、切
り屑はより微細となり、フィルタエレメントの目詰まり
がひどくなる。
Depending on the cutting conditions and the material to be cut, the size and shape of the chips generated during processing are not uniform, and the fine elements tend to cause clogging of the filter element. Particularly, in recent years, in the field of semiconductor manufacturing, ceramics and the like, which are hard and brittle materials, are often processed by a slicing machine or an electric discharge machine, so that chips become finer and clogging of filter elements becomes severe.

【0005】そこで、日本機械学会論文集(B編)58
巻546号(1992−2)に、「精密ろ過膜による加
工液のろ過」なる題名で発表されているように、加工液
に乱流を生じさせることによりフィルタエレメントの目
詰まりを軽減する試みがなされているが、加工液に乱流
を起こすために撹拌装置を用いているため、この撹拌装
置を駆動する駆動源を必要とし、また装置も大掛かりと
なる。
Therefore, the Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers (B) 58
No. 546 (1992-2), an attempt to reduce clogging of a filter element by generating turbulent flow in a working fluid, as disclosed in the title of "Filtration of Working Fluid by Microfiltration Membrane". However, since a stirrer is used to cause a turbulent flow in the working fluid, a drive source for driving the stirrer is required, and the device is also large-scale.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】相対向するフランジで外
側円筒と多数の通孔が形成された内側円筒との両端を保
持して前記外側円筒と前記内側円筒との間に工作機械の
液体排出口に接続される液体導入流路を形成し、前記内
側円筒の内面に接して前記内側円筒の長手方向に沿って
所定長さを有する筒状のフィルタエレメントを挿入して
このフィルタエレメントの内方に前記工作機械の液体供
給口に接続される液体排出流路を形成し、前記流体導入
流路の入口側に前記フィルタエレメントの端部から前記
内側円筒の外周方向に前記外側円筒の内面にまで達しな
い高さで突出する環状の抵抗体を設けた。
SUMMARY OF THE INVENTION A machine tool is provided between the outer cylinder and the inner cylinder by holding both ends of an outer cylinder and an inner cylinder having a large number of through holes at opposite flanges .
Form a liquid introduction flow path connected to the liquid outlet , along the longitudinal direction of the inner cylinder in contact with the inner surface of the inner cylinder
A cylindrical filter element having a predetermined length is inserted, and a liquid supply of the machine tool is inserted inside the filter element.
To form a liquid discharge flow path connected to the supply port, wherein the ends of the filter element to the inlet side of the fluid introducing passage
Do not reach the inner surface of the outer cylinder in the outer circumferential direction of the inner cylinder.
An annular resistor projecting at a high height was provided.

【0007】[0007]

【作用】抵抗体によりフィルタエレメントの膜面に乱流
を生じさせることができ、この乱流により液体に含まれ
る切り屑等の異物がフィルタエレメントに付着すること
を抑制し、これにより、フィルタエレメントの目詰まり
を軽減することが可能となる。しかも、駆動源を必要と
しない抵抗体で乱流を発生させることができるため、装
置の小型化及びコストダウンを図ることが可能となる。
A turbulent flow can be generated on the membrane surface of the filter element by the resistor, and foreign matter such as chips contained in the liquid is prevented from adhering to the filter element due to the turbulent flow. Clogging can be reduced. Moreover, since turbulence can be generated by a resistor that does not require a driving source, it is possible to reduce the size and cost of the device.

【0008】[0008]

【実施例】本発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。まず、本発明の濾過装置1の一例を図1に示す。相
対向するフランジ2,3に外側円筒4と内側円筒5との
両端が保持されている。内側円筒5は外周に多数の通孔
を有しその内面には筒状のフィルタエレメント6が保持
されている。外側円筒4と内側円筒5との間には液体導
入流路7が形成され、フィルタエレメント6の内方には
液体排出流路8が形成されている。そして、流体導入流
路7の入口側にはフィルタエレメント6の端部から外周
方向に突出する環状の抵抗体9が設けられている。ま
た、液体導入流路7に接続された接続口10,11がフ
ランジ2,3の外周部に形成され、液体排出流路8に接
続された接続口12がフランジ3の中心に形成されてい
る。
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. First, an example of the filtration device 1 of the present invention is shown in FIG. Opposite flanges 2 and 3 hold both ends of outer cylinder 4 and inner cylinder 5. The inner cylinder 5 has a large number of through holes on the outer periphery, and a cylindrical filter element 6 is held on the inner surface. A liquid introduction passage 7 is formed between the outer cylinder 4 and the inner cylinder 5, and a liquid discharge passage 8 is formed inside the filter element 6. An annular resistor 9 is provided on the inlet side of the fluid introduction channel 7 so as to protrude from the end of the filter element 6 in the outer peripheral direction. Further, connection ports 10 and 11 connected to the liquid introduction flow path 7 are formed on the outer peripheral portions of the flanges 2 and 3, and a connection port 12 connected to the liquid discharge flow path 8 is formed at the center of the flange 3. .

【0009】次に、濾過装置1の実装状態について説明
する。13は例えばスライシングマシン等の工作機械
で、この工作機械13は加工液タンク14を有する。こ
の加工液タンク14に形成された第一の槽15と第二の
槽16とは丈の低い仕切板17により仕切られている。
そして、第二の槽16(工作機械13)の液体排出口1
3aと濾過装置1の接続口10とを接続する排出管路1
8には、ポンプ19とバルブ20と圧力計21とが設け
られている。また、ポンプ19とバルブ20との間にお
ける排出管路18から分岐されて第二の槽16の上部に
開口するバイパス管路22にはバルブ23が設けられて
いる。さらに、濾過装置1の接続口12と工作機械13
の液体供給口13bとを接続する供給管路24にはバル
ブ25が設けられ、接続口11と第一の槽15とを接続
する循環路26にはバルブ27が設けられている。さら
に、第一の槽15の底部には不純物の多い加工液28を
排出するバルブ27aが接続されている。
Next, the mounting state of the filtration device 1 will be described. Reference numeral 13 denotes a machine tool such as a slicing machine. The machine tool 13 has a working fluid tank 14. The first tank 15 and the second tank 16 formed in the working fluid tank 14 are separated by a short partition plate 17.
Then, the liquid outlet 1 of the second tank 16 (machine tool 13)
Discharge line 1 connecting 3a and connection port 10 of filtration device 1
8, a pump 19, a valve 20, and a pressure gauge 21 are provided. A valve 23 is provided in a bypass pipe 22 branched from the discharge pipe 18 between the pump 19 and the valve 20 and opened to the upper part of the second tank 16. Further, the connection port 12 of the filtration device 1 and the machine tool 13
A valve 25 is provided in the supply pipe line 24 connecting the liquid supply port 13b of the above, and a valve 27 is provided in a circulation path 26 connecting the connection port 11 and the first tank 15. Further, a valve 27a for discharging a processing liquid 28 containing a large amount of impurities is connected to the bottom of the first tank 15.

【0010】このような構成において、切削加工時に用
いられた加工液28は第一の槽15に排出されるが、こ
の加工液28に含まれる切り屑29は底部に沈殿する。
第一の槽15における加工液28のレベルを仕切板17
を越えると、比較的きれいではあるが沈殿し得ない微細
な切り屑を含む加工液28が仕切板17の上から第二の
槽16に流れる。第二の槽16の加工液28はポンプ1
9により濾過装置1の液体導入流路7に送られ、フィル
タエレメント6で濾過されて液体排出流路8に流れた加
工液28は工作機械13の液体供給口13bに供給され
る。フィルタエレメント6を通らない加工液28は循環
路26により第一の槽15に戻される。
In such a configuration, the working fluid 28 used during the cutting process is discharged to the first tank 15, but the chips 29 contained in the working fluid 28 settle at the bottom.
The level of the working fluid 28 in the first tank 15 is
Is exceeded, the working fluid 28 containing fine chips that are relatively clean but cannot be settled flows from the partition plate 17 into the second tank 16. The processing liquid 28 in the second tank 16 is pump 1
The processing liquid 28 sent to the liquid introduction channel 7 of the filtration device 1 by the filter element 9, filtered by the filter element 6 and flowing to the liquid discharge channel 8 is supplied to the liquid supply port 13 b of the machine tool 13. The working fluid 28 that does not pass through the filter element 6 is returned to the first tank 15 by the circulation path 26.

【0011】ここで、液体導入流路7における加工液2
8の流れについて説明する。図2に矢印をもって示すよ
うに、加工液28は抵抗体9から抵抗を受けるため、フ
ィルタエレメント6の膜面に渦巻状の乱流が生じ、その
乱流が生ずる部分と整流部分との間に剥離剪断層30が
形成される。これにより、フィルタエレメント6の内周
面における加工液28の流れの乱れが大きくなり、ケー
ク層の生成が抑制される。すなわち、加工液28に含ま
れる微細な切り屑等の異物がフィルタエレメント6に付
着することを抑制することができる。これにより、フィ
ルタエレメント6の目詰まりを軽減することが可能とな
る。
Here, the processing liquid 2 in the liquid introduction flow path 7
8 will be described. As indicated by an arrow in FIG. 2, since the working fluid 28 receives resistance from the resistor 9, a spiral turbulent flow is generated on the film surface of the filter element 6, and the turbulent flow is generated between the rectifying portion and the turbulent flow. A peel shear layer 30 is formed. Thereby, the turbulence of the flow of the working fluid 28 on the inner peripheral surface of the filter element 6 increases, and the generation of the cake layer is suppressed. That is, it is possible to prevent foreign matter such as fine chips contained in the working liquid 28 from adhering to the filter element 6. Thereby, clogging of the filter element 6 can be reduced.

【0012】ここで、フィルタエレメント6の外周から
外側円筒4の内周までの高さをH、フィルタエレメント
6の外周からの抵抗体9の突出高さをBとすると、抵抗
体9による液体導入流路7の閉塞率Cは、B/Hにより
表され、このBを大きくすると加工液28の乱れは大き
くなるが圧力損失が大きくなるため、濾過にとっては不
利となる。以下、実験の結果を示す。
Here, assuming that the height from the outer periphery of the filter element 6 to the inner periphery of the outer cylinder 4 is H and the height of the protrusion of the resistor 9 from the outer periphery of the filter element 6 is B, liquid introduction by the resistor 9 is performed. The closing rate C of the flow path 7 is represented by B / H. If B is increased, the turbulence of the working fluid 28 increases, but the pressure loss increases, which is disadvantageous for filtration. The results of the experiment are shown below.

【0013】ここで、 C:閉塞率 J:フィルタエレメント6を透過する加工液28の流束
(膜透過流束)V/AT m3/m2/s V:フィルタエレメント6を透過する加工液28の流量
3 A:フィルタエレメント6の断面積 m2 T:濾過時間 s P:フィルタエレメント6の内外の差圧(膜間差圧)
Pa Q:加工液28の循環流量 リットル/min Cb:加工液28のバルク(切り屑等の不純物)濃度
g/リットル とすると、図3は抵抗体9を設置しない従来の構成によ
る実験結果、図4及び図5は抵抗体9を設置した本発明
の構成による実験結果である。何れも縦軸に膜透過流束
Jをとり、横軸に濾過時間Tをとって示す。
Here, C: blockage ratio J: flux of the working fluid 28 permeating the filter element 6 (membrane permeation flux) V / AT m 3 / m 2 / s V: working fluid permeating the filter element 6 Flow rate of 28 m 3 A: Cross-sectional area of filter element 6 m 2 T: Filtration time s P: Differential pressure inside and outside filter element 6 (transmembrane pressure)
Pa Q: Circulating flow rate of working fluid 28 l / min Cb: Bulk (impurities such as chips) concentration of working fluid 28
Assuming g / liter, FIG. 3 shows the results of an experiment using the conventional configuration without the resistor 9, and FIGS. 4 and 5 show the results of the experiment with the configuration of the present invention in which the resistor 9 was installed. In each case, the vertical axis indicates the membrane permeation flux J, and the horizontal axis indicates the filtration time T.

【0014】まず、図3について考察する。パラメータ
は加工液28のバルク濃度Cbである。この場合、濾過
時間Tの増加とともに膜透過流束Jは減少していき、一
定の値に近づくようになる。Tの変化に伴うJの変化
は、Tが初期における程大きい。また、バルク濃度Cb
が高い条件程Jは減少する。何れの条件においても、T
=60min において、Jは一定の値になっている。
First, consider FIG. The parameter is the bulk concentration Cb of the working fluid 28. In this case, as the filtration time T increases, the membrane permeation flux J decreases and approaches a constant value. The change in J accompanying the change in T is larger as T is in the initial stage. Also, the bulk concentration Cb
The J decreases as the condition increases. Under any conditions, T
At = 60 min, J has a constant value.

【0015】図4はCb=10g/リットル、図5はC
b=15g/リットルとし、何れも閉塞率Cをパラメー
タとして示す。図4及び図5の条件では、何れも濾過時
間Tの増加とともに膜透過流束Jは減少していき、一定
の値に近づくようになる。Tの変化に伴うJの変化は、
Tが初期における程大きい。また、図4及び図5の条件
では、Cbの値に拘らず、C=0.45の場合にJは最
大の値を示した。
FIG. 4 shows Cb = 10 g / liter, and FIG.
b = 15 g / liter, and the blocking rate C is shown as a parameter in each case. 4 and 5, the membrane permeation flux J decreases as the filtration time T increases and approaches a constant value. The change in J with the change in T is
T is larger in the early stage. Further, under the conditions of FIGS. 4 and 5, J showed the maximum value when C = 0.45 regardless of the value of Cb.

【0016】次に、濾過時間T=60min 、Cbをパラ
メータとした場合の平均膜透過流束J と閉塞率Cと
の関係(実験値及び計算値)を図6に示す。特定のCに
おいては平均膜透過流束J は極大値を示す。この傾
向はCbが低い程明確に表われている。すなわち、Cb
=10g/リットル及び12.5g/リットルの場合、
C=0.45においてはJ は極大値を示している
が、Cb=15g/リットル、20g/リットルと高く
なると、特定のCにおいては平均膜透過流束Jが極大
値を示すと言う傾向は明確には表われなくなる。これ
は、Cが大きくなるとフィルタエレメント6の膜面での
加工液28の乱れが大きくなり、ケーク層が生成し難く
なるために膜透過流束が増加するものと考えられるが、
その反面、抵抗体9を設置した場合、加工液28の流れ
に圧力損失を生じ、Cが大きくなる程フィルタエレメン
ト9の膜面上に作用する圧力(静圧)は低下するため、
膜透過流束は減少するものと考えられる。このため、加
工液28のバルク濃度Cbの変化に応じて最適な閉塞率
Cが存在するものと考えられる。
[0016] Next, the filtration time T = 60min, the average membrane permeation flow relationship between the flux J and the closing rate C in the case of the the Cb parameters (experimental values and calculated values) in Fig. At a specific C, the average membrane permeation flux J∞ shows a maximum value. This tendency is clearly shown as Cb is lower. That is, Cb
= 10 g / l and 12.5 g / l,
Although the C = 0.45 is J indicates a maximum value, Cb = 15 g / liter, the higher the 20 g / liter, say shows a maximum value average membrane permeation flux J in particular C The trend becomes less apparent. This is thought to be because when C becomes large, the turbulence of the working fluid 28 on the membrane surface of the filter element 6 becomes large, and it becomes difficult to form a cake layer, so that the membrane permeation flux increases.
On the other hand, when the resistor 9 is installed, a pressure loss occurs in the flow of the machining liquid 28, and the pressure (static pressure) acting on the membrane surface of the filter element 9 decreases as C increases,
It is believed that the membrane flux is reduced. For this reason, it is considered that an optimum closing ratio C exists according to the change in the bulk concentration Cb of the working fluid 28.

【0017】また、実験で選択したCbのパラメータの
範囲では、閉塞率Cの値の変化に拘らず、膜透過流束が
増加する結果が得られた。しかも、駆動源を必要としな
い抵抗体9で乱流を発生させることができるため、装置
の小型化及びコストダウンを図ることが可能となる。な
お、抵抗体9は環状の円板形状のものとして説明した
が、加工液28の流れに抵抗するものであれば形状は限
定されるものではない。また、本発明は、用途を加工液
28の濾過に限定されるものではなく、潤滑油の濾過に
も適用されるものである。
In the range of the Cb parameter selected in the experiment, a result was obtained in which the membrane permeation flux increased irrespective of the change in the value of the occlusion ratio C. Moreover, since turbulence can be generated by the resistor 9 that does not require a driving source, it is possible to reduce the size and cost of the device. Although the resistor 9 has been described as having an annular disk shape, the shape is not limited as long as it resists the flow of the working liquid 28. Further, the present invention is not limited to the use of filtering the working fluid 28, but is also applicable to the filtration of lubricating oil.

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明は、相対向するフランジで外側円
筒と多数の通孔が形成された内側円筒との両端を保持し
て前記外側円筒と前記内側円筒との間に工作機械の液体
排出口に接続される液体導入流路を形成し、前記内側円
筒の内面に接して前記内側円筒の長手方向に沿って所定
長さを有する筒状のフィルタエレメントを挿入してこの
フィルタエレメントの内方に前記工作機械の液体供給口
に接続される液体排出流路を形成し、前記流体導入流路
の入口側に前記フィルタエレメントの端部から前記内側
円筒の外周方向に前記外側円筒の内面にまで達しない高
さで突出する環状の抵抗体を設けたので、抵抗体により
フィルタエレメントの膜面に乱流を生じさせることがで
き、この乱流により液体に含まれる切り屑等の異物がフ
ィルタエレメントに付着することを抑制し、これによ
り、フィルタエレメントの目詰まりを軽減することがで
き、しかも、駆動源を必要としない抵抗体で乱流を発生
させることができるため、装置の小型化及びコストダウ
ンを図ることができる。
According to the present invention, a liquid for a machine tool is held between the outer cylinder and the inner cylinder by holding both ends of the outer cylinder and the inner cylinder having a large number of through-holes at opposite flanges.
Forming a liquid introduction flow path connected to the discharge port, contacting the inner surface of the inner cylinder and predetermined along the longitudinal direction of the inner cylinder
A cylindrical filter element having a length is inserted, and a liquid supply port of the machine tool is inserted inside the filter element.
Forming a liquid discharge flow path connected to an inner side of the filter element at an inlet side of the fluid introduction flow path from an end of the filter element.
A height that does not reach the inner surface of the outer cylinder in the outer circumferential direction of the cylinder
Since the annular resistor protruding is provided, turbulence can be generated on the membrane surface of the filter element by the resistor, and foreign matter such as chips contained in the liquid adheres to the filter element due to the turbulence. Therefore, clogging of the filter element can be reduced, and turbulence can be generated by a resistor that does not require a driving source, thereby reducing the size and cost of the device. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す縦断正面図である。FIG. 1 is a vertical sectional front view showing an embodiment of the present invention.

【図2】抵抗体の作用を示す一部の縦断正面図である。FIG. 2 is a partial vertical front view showing the operation of a resistor.

【図3】抵抗体を設置しない場合における加工液中のバ
ルク濃度をパラメータとして濾過時間と膜透過流束との
関係を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing a relationship between a filtration time and a membrane permeation flux using a bulk concentration in a working fluid as a parameter when a resistor is not installed.

【図4】抵抗体による閉塞率をパラメータとして濾過時
間と膜透過流束との関係を示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing a relationship between a filtration time and a membrane permeation flux using a blockage rate by a resistor as a parameter.

【図5】抵抗体による閉塞率をパラメータとして濾過時
間と膜透過流束との関係を示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing a relationship between a filtration time and a membrane permeation flux using a blocking rate by a resistor as a parameter.

【図6】加工液中のバルク濃度をパラメータとして抵抗
体による閉塞率と膜透過流束との関係を示すグラフであ
る。
FIG. 6 is a graph showing a relationship between a closing rate by a resistor and a membrane permeation flux using a bulk concentration in a working fluid as a parameter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6 フィルタエレメント 7 液体導入流路 8 液体排出流路 9 抵抗体 13 工作機械 13a 液体排出口 13b 液体供給口 Reference Signs List 6 filter element 7 liquid introduction flow path 8 liquid discharge flow path 9 resistor 13 machine tool 13a liquid discharge port 13b liquid supply port

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B01D 35/02 B24B 55/03 B01D 61/00 - 71/82 B23Q 11/00 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) B01D 35/02 B24B 55/03 B01D 61/00-71/82 B23Q 11/00

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 相対向するフランジで外側円筒と多数の
通孔が形成された内側円筒との両端を保持して前記外側
円筒と前記内側円筒との間に工作機械の液体排出口に接
続される液体導入流路を形成し、前記内側円筒の内面に
接して前記内側円筒の長手方向に沿って所定長さを有す
筒状のフィルタエレメントを挿入してこのフィルタエ
レメントの内方に前記工作機械の液体供給口に接続され
液体排出流路を形成し、前記流体導入流路の入口側に
前記フィルタエレメントの端部から前記内側円筒の外周
方向に前記外側円筒の内面にまで達しない高さで突出す
る環状の抵抗体を設けたことを特徴とする濾過装置。
At least two ends of an outer cylinder and an inner cylinder having a plurality of through-holes are held by opposed flanges to contact a liquid discharge port of a machine tool between the outer cylinder and the inner cylinder.
Forming a continuous liquid introduction flow path, and on the inner surface of the inner cylinder
Has a predetermined length along the longitudinal direction of the inner cylinder
A cylindrical filter element is inserted and connected to the liquid supply port of the machine tool inside the filter element.
That the liquid discharge flow path is formed, the fluid introduction flow path inlet side of the annular resistor from the end of the filter element projecting in the height does not reach the inner surface of the outer cylinder of the outer circumference of the inner cylinder A filtration device comprising:
JP20384093A 1993-08-18 1993-08-18 Filtration device Expired - Lifetime JP2899508B2 (en)

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