JP2892464B2 - Surface defect inspection apparatus and surface defect inspection method - Google Patents
Surface defect inspection apparatus and surface defect inspection methodInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は被検査面に光を照射してその反射光から塗装
欠陥等の表面欠陥の有無を検出する表面欠陥検査装置に
関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a surface defect inspection apparatus that irradiates a surface to be inspected with light and detects the presence or absence of a surface defect such as a coating defect from the reflected light.
(従来の技術) 自動車等の車両の製造ラインにおいては、一般に、車
体の塗装は製造ライン中に設けた塗装ステーションにお
いて行なわれる。2. Description of the Related Art In a production line of a vehicle such as an automobile, painting of a vehicle body is generally performed in a painting station provided in the production line.
ところで、車体の塗装後の塗装欠陥の検査は、従来よ
り、人間の目視検査によって行なわれていた。この検査
では、検査者は塗膜面から微小な欠陥部を発見しなけれ
ばならないため、検査者の神経的負担が大きく、また肉
体的にもきびしい作業が強いられていた。By the way, inspection of paint defects after painting of a vehicle body has been conventionally performed by visual inspection by a human. In this inspection, the inspector must find a minute defect from the surface of the coating film, so that the inspector has a great nervous burden and has to perform physically demanding work.
塗装欠陥の検査におけるこのような事情に鑑みて、物
体の被検査面に光を照射し、その反射光をスクリーン上
に投影させ、その投影像の鮮映度から被検査面の表面欠
陥を自動的に検出するようにした表面検査装置が提案さ
れている(たとえば、特開昭62−233710号公報参照)。In light of such circumstances in inspection of paint defects, light is irradiated to the surface to be inspected of an object, the reflected light is projected on a screen, and surface defects on the surface to be inspected are automatically determined from the sharpness of the projected image. There has been proposed a surface inspection apparatus capable of performing automatic detection (for example, see JP-A-62-233710).
この表面検査装置を車体の塗装欠陥の検出に応用すれ
ば、上記した塗装欠陥の自動検出が可能になり、従来の
目視による検査作業から検査者を解放することができ
る。If this surface inspection apparatus is applied to the detection of a paint defect on a vehicle body, the above-described paint defect can be automatically detected, and the inspector can be released from the conventional visual inspection work.
(発明が解決しようとする課題) ところで、上記の光照射による表面検査技術を車体塗
装の自動検査に応用する場合、第7図に示すように、塗
膜面1の鏡面反射性を利用し、この塗膜面1に光源2か
ら線状(あるいはスポット状)の光を照射して、塗膜面
1に次に述べるビデオカメラ3のカメラ視野Fよりも十
分に小さい光照射領域を作り、この光照射領域からの反
射光をビデオカメラ3により受光する装置が考えられ
る。(Problems to be Solved by the Invention) When the above-described surface inspection technology by light irradiation is applied to an automatic inspection of vehicle body coating, as shown in FIG. The coating film surface 1 is irradiated with linear (or spot-like) light from the light source 2 to form a light irradiation area on the coating film surface 1 that is sufficiently smaller than the camera field of view F of the video camera 3 described below. An apparatus that receives the reflected light from the light irradiation area by the video camera 3 is conceivable.
この装置では、ビデオカメラ3で作成される受光画像
は第8図のようになり、カメラ視野F(第7図参照)を
カバーする全体として暗い受光画像5の中に、塗膜面1
の光照射領域が明るい線画像6となってとらえられる。
そして、この光照射領域中に塗装の欠陥部7(第7図参
照)があった場合、この塗装の欠陥部7において光の正
反射方向が変化し、上記欠陥部7がなければ正常に反射
して上記カメラ視野Fに入るべきはずの光がカメラ視野
Fに入らなくなる。このため、上記の明るい線画像6の
中に黒く欠陥部7(第8図参照)が写ることになる。In this device, the received light image created by the video camera 3 is as shown in FIG. 8, and the coating surface 1 is included in the overall dark received image 5 covering the camera field of view F (see FIG. 7).
Are illuminated as bright line images 6.
When there is a paint defect 7 (see FIG. 7) in the light irradiation area, the specular reflection direction of the light changes at the paint defect 7, and if the defect 7 does not exist, the light is reflected normally. As a result, light that should have entered the camera field of view F does not enter the camera field of view F. As a result, a black defective portion 7 (see FIG. 8) appears in the bright line image 6.
したがって、この黒く写る欠陥部7を画像処理技術に
より識別することによって欠陥部7を検出することがで
きる。また、この装置によれば、塗膜面1を線状に狭く
照射するので、照射光量が少なく、光照射領域に入射す
る光が欠陥部7で正反射方向が変化して、ビデオカメラ
3に入る光量が欠陥部7とそうでない部分とで明瞭に差
ができ、微小な欠陥をも検出することができることにな
る。Therefore, the defective portion 7 can be detected by identifying the black defective portion 7 by the image processing technique. Further, according to this apparatus, since the coating film surface 1 is irradiated narrowly in a linear manner, the irradiation light amount is small, and the light incident on the light irradiation area changes the regular reflection direction at the defect portion 7, and the video camera 3 The amount of incident light is clearly different between the defective portion 7 and the other portion, so that a minute defect can be detected.
しかし、上記装置のように、狭い光照射によれば、カ
メラ視野Fに対して光照射領域が小さすぎ、一方、ビデ
オカメラ3がとらえることができる欠陥部7は光照射領
域(ななわち、受光画像5中の線画像6)の内部か、近
辺でしかないので、常にカメラ視野Fの一部のみを使用
した表面検査しかできず、検査能率に欠けるという問題
があった。However, according to the narrow light irradiation as in the above-described apparatus, the light irradiation area is too small with respect to the camera field of view F, while the defective portion 7 that can be captured by the video camera 3 has a light irradiation area (that is, Since there is only the inside or near the line image 6) in the received light image 5, only the surface inspection using only a part of the camera field of view F can be always performed, and there is a problem that the inspection efficiency is lacking.
また、被検査面が自動車等の車両の車体であるときに
は、第7図の光源2ならびにビデオカメラ3をロボット
装置(図示せず。)で車体表面に沿って移動させながら
検査を行うことになる。When the surface to be inspected is the body of a vehicle such as an automobile, the inspection is performed while moving the light source 2 and the video camera 3 of FIG. 7 along the surface of the vehicle with a robot device (not shown). .
しかし、この場合には、車体は多くの曲面からなるの
で、これらの曲面部に検査箇所が移動すると、光源2に
よって車体表面にできている線状の照射形状が歪む。こ
のため、ビデオカメラ3の受光画像5中の線画像6も第
9図のように歪み、甚だしい場合にはカメラ視野Fから
逸脱することになる。However, in this case, since the vehicle body has many curved surfaces, when the inspection location moves to these curved surface portions, the linear irradiation shape formed on the vehicle body surface by the light source 2 is distorted. Therefore, the line image 6 in the light-receiving image 5 of the video camera 3 is also distorted as shown in FIG.
以上のような難点を解消するために、第10図に示すよ
うに、塗膜面1を光源2′によってカメラ視野Fと同等
もしくはそれ以上の範囲で広く照射するようにし、この
広い光照射領域をビデオカメラ3によってとらえること
が考えられる。In order to solve the above-mentioned difficulties, as shown in FIG. 10, the coating surface 1 is illuminated widely by the light source 2 ′ in a range equal to or larger than the camera field of view F, and this wide light irradiation area is set. Can be captured by the video camera 3.
しかし、このように広く塗膜面1を照射すると照射光
量が大幅に増加するので、欠陥部7での光のハレーショ
ンを生じてビデオカメラ3が微小な欠陥部7を明確にと
らえることができなくなる。However, when the coating film surface 1 is irradiated widely as described above, the irradiation light amount is greatly increased, so that halation of light at the defective portion 7 occurs, and the video camera 3 cannot clearly detect the minute defective portion 7. .
たとえば光源2′からの光L1,L2は塗膜面1で反射
し、その反射光がビデオカメラ3の受光面に入るが、光
照射領域に欠陥部7がないとすると、受光面に入る光量
はどの部分でも同じであるから、受光画像は一面明るい
画像となっている。For example, the lights L 1 and L 2 from the light source 2 ′ are reflected by the coating film surface 1, and the reflected light enters the light receiving surface of the video camera 3. Since the amount of incident light is the same in any part, the received light image is brighter on one side.
これに対して、光照射領域に欠陥部7があると、この
欠陥部7で上記光照射領域に入射する光の正反射方向が
変化し、欠陥部7に対応する受光面部分の入射光量が減
って黒い点として受光画像中に写るはずである。On the other hand, if there is a defect 7 in the light irradiation area, the regular reflection direction of light incident on the light irradiation area changes at the defect 7, and the amount of incident light on the light receiving surface corresponding to the defect 7 decreases. It should be reduced and appear in the received light image as a black dot.
しかし、光源2′は、上記のように、広く塗膜面1を
照射しているので、光源2′の他の部分からの光L3,L4
が欠陥部7,7で反射して、光量が減少するはずの受光面
部分に入る。However, the light source 2 ', as described above, since the irradiated widely Nurimakumen 1, a light source 2' light L 3 from the other parts of, L 4
Is reflected by the defective portions 7, 7 and enters the light receiving surface portion where the amount of light should decrease.
したがって、受光画像中の明るさが大きくは低下せ
ず、このため、欠陥部7,7が微小であったときには、欠
陥部7,7とそうでない部分との明るさに差が生じにくく
なり、画像処理しても欠陥部7,7を識別することができ
なくなる。Therefore, the brightness in the received image does not significantly decrease, and therefore, when the defective portions 7, 7 are minute, a difference in brightness between the defective portions 7, 7 and the other portions is less likely to occur, Defects 7, 7 cannot be identified even by image processing.
本発明の目的は、被検査面の光照射領域からのカメラ
視野の逸脱がなく、曲面を含む被検査面に存在する欠陥
を効率よく正確に検出することができる表面欠陥検査装
置を提供することである。An object of the present invention is to provide a surface defect inspection apparatus capable of efficiently and accurately detecting a defect present on a surface to be inspected including a curved surface without deviation of a field of view of a camera from a light irradiation area of the surface to be inspected. It is.
(課題を解決するための手段) このため、本発明は、光照射手段から出射する光で被
検査面を照射し、この被検査面から反射する反射光をビ
デオ信号発生手段で受けて被検査面の光照射領域の受光
画像をビデオ信号に変換し、このビデオ信号から上記被
検査面に存在する欠陥を検出する表面欠陥検査装置にお
いて、 上記ビデオ信号発生手段が有しているカメラ視野より
も大きな光照射領域を有し、光の出射面に対して多数の
光源がマトリックス状に配置されて被検査面を照射する
光照射手段と、外部から制御信号を受けて上記各光源か
ら出射する光の光度もしくは波長の少なくとも一方を個
々に変化させる光照射制御手段と、表面欠陥の検査時に
上記光照射手段の光の出射面に予め定められたxy座標の
少なくとも2つの方向に上記光照射手段の光源から出射
する光の光度もしくは波長の少なくとも一方を漸変させ
る制御信号を上記光照射制御手段に出力し、上記2つの
方向の各々について上記カメラ視野内において位置が既
知の少なくとも2つの異なる点に入射する光の明るさも
しくは波長の少なくとも一方を検出し、そのデータから
これらの点にそれぞれ対応する光源の上記xy座標上での
位置を検出し、これら光源の位置からカメラ視野と合致
する上記光照射手段の光源の領域を演算し、この領域の
光源を発光させて上記表面欠陥を検出する画像情報処理
手段とを備えたことを特徴としている。(Means for Solving the Problems) For this reason, the present invention illuminates a surface to be inspected with light emitted from a light irradiating unit, and receives reflected light reflected from the surface to be inspected by a video signal generating unit to be inspected. In a surface defect inspection device that converts a received light image of a light irradiation area on a surface into a video signal and detects a defect existing on the inspection target surface from the video signal, A light irradiating unit having a large light irradiation area, and a plurality of light sources arranged in a matrix on a light emitting surface to irradiate the surface to be inspected; and light emitted from each of the above light sources upon receiving a control signal from the outside Light irradiation control means for individually changing at least one of the luminous intensity or wavelength of the light irradiation means, and the light irradiation means in at least two directions of xy coordinates predetermined on the light emitting surface of the light irradiation means at the time of surface defect inspection A control signal for gradually changing at least one of the luminous intensity or the wavelength of light emitted from the light source is output to the light irradiation control means, and at least two different points whose positions are known in the camera field of view in each of the two directions. Detects at least one of the brightness or wavelength of light incident on the light source, detects the positions on the xy coordinates of the light sources corresponding to these points from the data, and matches the camera view from the positions of these light sources. Image processing means for calculating the area of the light source of the light irradiation means and causing the light source in this area to emit light to detect the surface defect.
上記表面欠陥検査装置においては、光照射制御手段
が、同一の行又は列の光源から出射する光の光度又は波
長を同一とし、異なる行又は列の光源から出射する光の
光度又は波長を漸変させるようになっているのが好まし
い。In the above-mentioned surface defect inspection apparatus, the light irradiation control means sets the same luminous intensity or wavelength of light emitted from the same row or column of light sources, and gradually changes the luminous intensity or wavelength of light emitted from different row or column of light sources. Preferably, it is adapted to be
また、本発明は、もう1つの態様においては、光照射
手段から出射する光で被検査面を照射し、この被検査面
から反射する反射光をビデオ信号発生手段で受けて被検
査面の光照射領域の受光画像をビデオ信号に変換し、こ
のビデオ信号から上記被検査面に存在する欠陥を検出す
るようにした表面欠陥検査方法において、ビデオ信号発
生手段が有しているカメラ視野よりも大きな光照射領域
を有し、光の出射面に対して多数の光源がマトリックス
状に配置されている光照射手段を用いて被検査面を照射
し、外部から受ける制御信号に基づいて、上記各光源か
ら出射する光の光度もしくは波長の少なくとも一方を個
々に変化させ、表面欠陥の検査時に上記光照射手段の光
の出射面に予め定められたxy座標の少なくとも2つの方
向に上記光照射手段の光源から出射する光の光度もしく
は波長の少なくとも一方を漸変させ、上記2つの方向の
各々について上記カメラ視野内において位置が既知の少
なくとも2つの異なる点に入射する光の明るさもしくは
波長の少なくとも一方を検出し、そのデータからこれら
の点にそれぞれ対応する光源の上記xy座標上での位置を
検出し、これら光源の位置からカメラ視野と合致する上
記光照射手段の光源の領域を演算し、この領域の光源を
発光させて上記表面欠陥を検出するようにしたことを特
徴としている。According to another aspect of the present invention, a surface to be inspected is illuminated with light emitted from a light irradiating unit, and reflected light reflected from the surface to be inspected is received by a video signal generating unit, and the light on the surface to be inspected is received. In a surface defect inspection method in which a light reception image of an irradiation area is converted into a video signal and a defect existing on the inspection surface is detected from the video signal, the surface defect inspection method is larger than a camera field of view of a video signal generation unit. A light irradiating area, and irradiating the surface to be inspected with light irradiating means in which a large number of light sources are arranged in a matrix on a light emitting surface; At least one of the luminous intensity or wavelength of light emitted from the light irradiating means is individually changed in at least two directions of predetermined xy coordinates on the light emitting surface of the light irradiating means at the time of inspecting a surface defect. At least one of the luminous intensity or the wavelength of the light emitted from the light source is gradually changed, and at least one of the brightness and the wavelength of the light incident on at least two different points whose positions are known in the camera field of view in each of the two directions. From the data, the positions of the light sources corresponding to these points on the xy coordinates are detected, and from the positions of the light sources, the area of the light source of the light irradiation means that matches the camera field of view is calculated. The surface defect is detected by causing the light source in the region to emit light.
上記表面欠陥検査方法においては、同一の行又は列の
光源から出射する光の光度又は波長を同一とし、異なる
行又は列の光源から出射する光の光度又は波長を漸変さ
せるのが好ましい。In the above surface defect inspection method, it is preferable that the luminous intensity or the wavelength of the light emitted from the light source in the same row or column is the same, and the luminous intensity or the wavelength of the light emitted from the light source in a different row or column is gradually changed.
(作用) 上記画像情報処理手段は、表面欠陥の検査時に、光照
射手段の光の出射面に予め設定されたxy座標上でのカメ
ラ視野内において位置が既知の少なくとも2つの点に対
応する光照射手段の光源の位置を検出する。これら光源
のxy座標上での位置から、上記画像情報処理手段は、カ
メラ視野と合致する領域の光源を検出し、この領域の光
源を発光させる制御信号を上記光照射制御手段に出力す
る。したがって、上記ビデオ信号発生手段には、常に、
そのカメラ視野に対応する領域の光源の光の被検査面か
らの反射光のみが入射することになる。(Operation) The image information processing means, at the time of inspecting a surface defect, detects light corresponding to at least two points whose positions are known in the camera field of view on the xy coordinate set in advance on the light emission surface of the light irradiation means. The position of the light source of the irradiation means is detected. From the positions of these light sources on the xy coordinates, the image information processing means detects a light source in an area that matches the field of view of the camera, and outputs a control signal for causing the light source in this area to emit light to the light irradiation control means. Therefore, the video signal generating means always includes
Only the reflected light from the inspection surface of the light of the light source in the area corresponding to the camera field of view is incident.
上記表面欠陥検査装置において、光照射制御手段が、
同一の行又は列の光源から出射する光の光度又は波長を
同一とし、異なる行又は列の光源から出射する光の光度
又は波長を漸変させるようになっている場合は、欠陥部
での光度又は光の色の順序の変化により、欠陥部が検出
される。In the above-described surface defect inspection apparatus, the light irradiation control unit includes:
If the luminous intensity or wavelength of the light emitted from the light source in the same row or column is the same and the luminous intensity or wavelength of the light emitted from the light source in a different row or column is gradually changed, the luminous intensity at the defective portion Alternatively, a defective portion is detected by a change in the order of light colors.
上記表面欠陥検査方法においても、前記の表面欠陥検
査装置の場合と同様に、ビデオ信号発生手段には、常
に、そのカメラ視野に対応する領域の光源の光の被検査
面からの反射光のみが入射することになる。In the above-described surface defect inspection method, as in the case of the above-described surface defect inspection apparatus, the video signal generating means always receives only the reflected light from the inspection surface of the light of the light source in the area corresponding to the camera field of view. Will be incident.
また、上記表面欠陥検査方法において、同一の行又は
列の光源から出射する光の光度又は波長を同一とし、異
なる行又は列の光源から出射する光の光度又は波長を漸
変させるようにした場合は、欠陥部での光度又は光の色
の順序の変化により、欠陥部が検出される。Further, in the surface defect inspection method, when the light intensity or wavelength of light emitted from the same row or column of light sources is the same, and the light intensity or wavelength of light emitted from a different row or column of light sources is gradually changed. In the method, a defective portion is detected by a change in the luminous intensity or the color order of light at the defective portion.
(発明の効果) 本発明によれば、ビデオ信号発生手段には、常に、そ
のカメラ視野に対応する領域の光照射手段の光源から出
射した光の被検査面からの反射光のみが入射するので、
被検査面の光照射領域からのカメラ視野の逸脱がないう
えに、ビデオ信号発生手段にはほかからの光の入射がな
くなり、ハレーションのない受光画像により、曲面を含
む被検査面に存在する欠陥部をカメラ視野全体を使用し
て、効率よく、しかも正確に検出することができる。(Effects of the Invention) According to the present invention, only the reflected light from the surface to be inspected of the light emitted from the light source of the light irradiation means in the area corresponding to the camera field of view is always incident on the video signal generation means. ,
There is no deviation of the camera's field of view from the light irradiation area of the inspection surface, and no light is incident on the video signal generation means. The part can be efficiently and accurately detected using the entire camera field of view.
上記表面欠陥検査装置において、光照射制御手段が同
一の行又は列の光源から出射する光の光度又は波長を同
一とし、異なる行又は列の光源から出射する光の光度又
は波長を漸変させるようになっている場合は、欠陥部で
の光度又は光の色の順序の変化により欠陥部が検出され
るので、欠陥部の検出精度が高められる。In the above-described surface defect inspection apparatus, the light irradiation control means may make the light intensity or wavelength of light emitted from the same row or column of light sources the same, and gradually change the light intensity or wavelength of light emitted from different row or column light sources. In the case of, since the defective portion is detected by a change in the luminous intensity or the order of the light color at the defective portion, the detection accuracy of the defective portion is improved.
上記表面欠陥検査方法においても、前記の表面欠陥検
査装置の場合と同様に、曲面を含む被検査面に存在する
欠陥部をカメラ視野全体を使用して、効率よく、しかも
正確に検出することができる。In the above-described surface defect inspection method, similarly to the case of the above-mentioned surface defect inspection apparatus, it is possible to efficiently and accurately detect a defect existing on a surface to be inspected including a curved surface using the entire camera field of view. it can.
また、上記表面欠陥検査方法において、同一の行又は
列の光源から出射する光の光度又は波長を同一とし、異
なる行又は列の光源から出射する光の光度又は波長を漸
変させるようにした場合は、欠陥部での光度又は光の色
の順序の変化により欠陥部が検出されるので、欠陥部の
検出精度が高められる。Further, in the surface defect inspection method, when the light intensity or wavelength of light emitted from the same row or column of light sources is the same, and the light intensity or wavelength of light emitted from a different row or column of light sources is gradually changed. Since the defective portion is detected by the change in the luminous intensity or the order of the light color at the defective portion, the detection accuracy of the defective portion is improved.
(実施例) 以下に、添付の図面を参照して本発明の実施例を説明
する。Embodiment An embodiment of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
まず、本発明に係る表面欠陥検査装置を自動車の車体
の塗装欠陥の検査に適用した一つの実施例の全体構成を
第1図に示す。First, FIG. 1 shows an overall configuration of one embodiment in which a surface defect inspection apparatus according to the present invention is applied to inspection of a coating defect of a car body.
第1図に示すように、車体の塗装検査ステーション20
には、台座Bに乗ったロボット装置21が装備される。As shown in FIG.
Is equipped with a robot device 21 on a pedestal B.
上記ロボット装置21には、その先端アーム22に光照射
手段23と、ビデオ信号発生手段としてのCCDカメラ24と
が支持金具25を介して取り付けられる。ロボット装置21
のこれら光照射手段23とCCDカメラ24とは、塗装検査ス
テーション20に搬入された車体26の塗膜面27をトレース
し、その際、光照射手段23によって照射された光が、車
体26の表面の塗膜面27で反射してCCDカメラ24に入射す
る。In the robot device 21, a light irradiating means 23 and a CCD camera 24 as a video signal generating means are attached to a tip arm 22 thereof via a support fitting 25. Robot equipment 21
The light irradiating means 23 and the CCD camera 24 trace the coating film surface 27 of the vehicle body 26 carried into the coating inspection station 20, and the light radiated by the light irradiating means 23 The light is reflected by the coating film surface 27 and enters the CCD camera 24.
また、このような光照射手段23とCCDカメラ24による
塗装欠陥検査においては、ホストコンピュータ31によっ
て与えられる指令によって、ロボットコントローラ32が
駆動される。そして、それによるロボットコントローラ
32の信号がロボット装置21に送られる。In the coating defect inspection by the light irradiation unit 23 and the CCD camera 24, the robot controller 32 is driven by a command given by the host computer 31. And by that the robot controller
32 signals are sent to the robot device 21.
上記ロボット装置21は、内蔵されている図示しないア
クチュエータが作動し、これにより、ロボット装置21は
光照射手段23およびCCDカメラ24が車体26の表面をなぞ
るように、これら光照射手段23およびCCDカメラ24を移
動させる。The robot device 21 operates a built-in actuator (not shown), whereby the robot device 21 causes the light irradiating means 23 and the CCD camera 24 to trace the surface of the vehicle body 26. Move 24.
上記光照射手段23は、第2図に示すように、ボックス
41の内部にタングステンランプ等の多数の光源42,42,…
がマトリックス状に装置されてなるものである。この光
照射手段23には、多数の光源42,42,…が形成する光の出
射面43に、たとえば第2図に示すように、光源42,42,…
の配列の行および列方向にx軸およびy軸を設定したxy
座標が予め設定されている。The light irradiating means 23 includes a box as shown in FIG.
Numerous light sources 42, 42, ...
Are arranged in a matrix. The light irradiating means 23 has a light emitting surface 43 formed by a large number of light sources 42, 42,..., For example, as shown in FIG.
Xy with x and y axes set in row and column directions of array
The coordinates are set in advance.
上記光照射手段23の各光源42から出射する光の光度
は、第1図のホストコンピュータ31からの制御信号を受
けて、光照射制御手段としての光照射手段コントローラ
34により、上記xy座標の任意の方向に漸変するように制
御可能となっている。The luminous intensity of the light emitted from each light source 42 of the light irradiating means 23 receives a control signal from the host computer 31 shown in FIG.
With 34, the xy coordinates can be controlled so as to gradually change in any direction.
上記光照射手段23の全ての光源42,42,…により照射さ
れる車体26の塗膜面27の光照射領域S(第3図(a)、
第3図(b)参照)はCCDカメラ24のカメラ視野Fより
も大きい。The light irradiation area S of the coating surface 27 of the vehicle body 26 which is irradiated by all the light sources 42, 42,.
3 (b) is larger than the camera field of view F of the CCD camera 24.
表面欠陥の検査時には、光照射手段コントローラ34
は、ホストコンピュータ31から制御信号を受けて、たと
えば第3図(a)に示すように、上記光の出射面43上に
設定した上記xy座標のすべてのx座標に関して、同一の
y座標値を有する光源42,42,…の光度は等しく、異なる
y座標値を有する点での光度が漸変するように、光照射
手段23の各光源42(第2図参照)の光度を制御する。こ
の状態で光照射領域Sの画像がCCDカメラ24で撮像され
る。When inspecting surface defects, the light irradiation means controller 34
Receives a control signal from the host computer 31 and, for example, as shown in FIG. 3 (a), assigns the same y-coordinate value to all the x-coordinates of the xy coordinates set on the light exit surface 43. The light intensity of each light source 42 (see FIG. 2) of the light irradiation means 23 is controlled such that the light intensity of the light sources 42, 42,. In this state, an image of the light irradiation area S is captured by the CCD camera 24.
このときの第4図(a)に示すカメラ視野Fにおいて
位置が既知の少なくとも2つの点、たとえば片対角線h
の頂点P1およびP2の各輝度データが、第1図に示す画像
処理プロッセッサ33からホストコンピュータ31に入力さ
れ、その位置にそれぞれ対応する光源42(第2図参照)
の各y座標(マトリックス状に配列された光源42,42,…
の行)が演算される。At this time, at least two points whose positions are known in the camera field of view F shown in FIG.
Light source 42 to the luminance data of the vertices P 1 and P 2 is inputted from the image processing Purossessa 33 shown in FIG. 1 to the host computer 31, corresponding respectively to the position (see FIG. 2)
Y coordinates (light sources 42, 42, ... arranged in a matrix)
Is calculated.
ついで、上記光照射手段コントローラ34は、ホストコ
ンピュータ31からの制御信号により、第3図(b)に示
すように、その光源42,42,…の明暗方向を90度位相回転
させ、上記光の出射面43上に設定した上記xy座標のすべ
てのy座標について同一のx座標値を有する光源42,42,
…の光度は等しく、異なるx座標値を有する点での光度
が漸変するように、光照射手段23の各光源42(第2図参
照)の光度を制御する。この状態で光照射領域Sの画像
がCCDカメラ24で撮像される。Then, the light irradiation means controller 34 rotates the light and dark directions of the light sources 42, 42,... By 90 degrees by a control signal from the host computer 31 as shown in FIG. Light sources 42, 42, having the same x-coordinate value for all y-coordinates of the xy-coordinates set on the emission surface 43
Are equal, and the light intensity of each light source 42 (see FIG. 2) of the light irradiation means 23 is controlled so that the light intensity at points having different x-coordinate values gradually changes. In this state, an image of the light irradiation area S is captured by the CCD camera 24.
このときの第4図(b)に示すカメラ視野Fの片対角
線hの上記頂点P1およびP2の各輝度データが、第1図に
示す画像処理プロッセッサ33からホストコンピュータ31
に入力され、その位置にそれぞれ対応する光源42(第2
図参照)のx座標(マトリックス状に配列された光源4
2,42,…の列)が演算される。Each luminance data of FIG. 4 above the apex of the strip diagonals h of the camera field of view F shown in (b) P 1 and P 2 at this time, the host computer 31 from the image processing Purossessa 33 shown in Figure 1
And the light sources 42 (second
Light source 4 arranged in an x-coordinate (see matrix)
2,42, ...) are calculated.
これにより、カメラ視野F上において位置が既知の点
である、上記片対角線hの頂点P1,P2にそれぞれ対応す
る光源42,42の上記xy座標上での位置が求まる。As a result, the positions on the xy coordinates of the light sources 42 and 42 corresponding to the vertices P 1 and P 2 of the one-diagonal line h, whose positions are known points in the camera field of view F, are determined.
上記ホストコンピュータ31は、この位置情報と、上記
片対角線hの頂点P1,P2のカメラ視野Fにおける既知の
位置情報に基づいて、上記光照射手段23により照射され
る光照射領域S内のカメラ視野Fに合致する領域の光源
42,42,…の位置を演算する。Based on this position information and the known position information of the vertices P 1 and P 2 of the one-diagonal h in the camera field of view F, the host computer 31 detects the light irradiation area S in the light irradiation area S irradiated by the light irradiation means 23. Light source in the area that matches the camera field of view F
The positions of 42, 42, ... are calculated.
この演算により求められた光照射領域S内のカメラ視
野Fに合致する領域の第2図の光源42,42,…により、塗
膜面27に存在する欠陥部が、以下に説明するようにして
検出される。The light sources 42, 42,... Shown in FIG. 2 in the area corresponding to the camera field of view F in the light irradiation area S obtained by this calculation cause the defect existing on the coating film surface 27 to be explained as follows. Is detected.
第5図(a)および第6図(a)は塗膜面27に凸状の
欠陥部11を有する場合を示し、第5図(b)および第6
図(b)は塗膜面27に凹状の欠陥部11を有する場合を示
す。FIGS. 5 (a) and 6 (a) show a case where the coating film surface 27 has a convex defect portion 11, and FIGS.
FIG. 2B shows a case where the coating film surface 27 has a concave defect portion 11.
光照射手段23は、第1図の光照射手段コントローラ34
からの制御信号を受けて、上記光照射手段23の光の出射
面43から出射する光の光度(線mの長さで表されてい
る。)が、この出射面43の矢印A1で示す一つの方向に強
から弱に変化させ、このときに上記CCDカメラ24の四角
形状のカメラ視野Fの一つの辺に沿う矢印A2で示す方向
に強から弱に光度が変化するように第1図の光照射手段
23の各光源42の光度が制御される。The light irradiation means 23 is a light irradiation means controller 34 shown in FIG.
Receives a control signal from, (represented by the length of the line m.) Light intensity to be emitted from the emission surface 43 of the light of the light irradiation means 23, indicated by arrow A 1 in the exit surface 43 varied Tsuyokara weak in one direction, the first such light intensity changes Tsuyokara weak in the direction indicated in this case by the arrow a 2 along the one side of the rectangular camera view F of the CCD camera 24 Light irradiation means as shown
The light intensity of each of the 23 light sources 42 is controlled.
これにより、塗膜面27には上記光度変化に対応した、
上記矢印A1に対応する方向に、照度の変化を有する光照
射領域Sが生じる。この光照射領域Sは、既に述べたよ
うに、CCDカメラ24のカメラ視野Fと合致する。Thereby, the coating film surface 27 corresponding to the luminous intensity change,
In a direction corresponding to the arrow A 1, the light irradiation area S having a change in illuminance occurs. This light irradiation area S matches the camera field of view F of the CCD camera 24 as described above.
このような状態において、塗膜面27に欠陥部11が生じ
ていると、この欠陥部11で光照射手段23からの光の正反
射方向が変化する。この光の正反射方向の変化により、
CCDカメラ24の受光画像12は、照度が矢印A2で示す方向
に一様に変化する状態で、上記欠陥部11の明るさの変化
状態がほかの部分とは異なり、一様に変化しない画面と
なる。In such a state, if the defective portion 11 occurs on the coating film surface 27, the regular reflection direction of the light from the light irradiation means 23 changes at the defective portion 11. Due to the change in the specular direction of this light,
Receiving image 12 of the CCD camera 24, in a state in which the illuminance is changed uniformly in the direction indicated by arrow A 2, unlike the brightness change state rest of the defect portion 11 uniformly invariant screen Becomes
そして上記欠陥部11が、第5図(a)に示すように、
凸状のものである場合には、光照射手段23の上記出射面
43の光度の大きい位置13からの光が主として上記出射面
43と対向する欠陥部11の面11aに当たって正反射方向が
変化し、その一部がCCDカメラ24に入射する。しかし、
出射面43に関する上記欠陥部11の背後側の面11bには、
出射面43の光度が比較的小さい位置14からの光しか入射
せず、CCDカメラ24には、欠陥部11の上記背後側の面11b
からの反射光は殆ど入射しない。Then, as shown in FIG. 5 (a),
In the case of a convex shape, the emission surface of the light irradiation means 23
The light from the position 13 with a high luminous intensity of 43 is mainly the above-mentioned exit surface
The specular reflection direction changes on the surface 11a of the defective portion 11 facing the surface 43, and a part of the light enters the CCD camera 24. But,
On the surface 11b behind the defect portion 11 with respect to the emission surface 43,
Only the light from the position 14 where the luminous intensity of the emission surface 43 is relatively small enters, and the CCD camera 24 has the above-described rear surface 11b of the defect portion 11.
The reflected light from is hardly incident.
したがって、CCDカメラ24の受光画像12は、第6図
(a)に示すように、欠陥部11が凸状のものでは、CCD
カメラ24の受光画像12の明るいところから暗いところに
向かう矢印A2で示す方向で、欠陥部11がはじめに他の部
分によりも明るくなり、この明るい部分を過ぎると他の
部分よりも暗くなる。Therefore, as shown in FIG. 6A, the received light image 12 of the CCD camera 24 has a CCD
In the direction indicated by the arrow A 2 toward the dark from where bright light image 12 of the camera 24, becomes brighter by the other part at the beginning is the defect portion 11 becomes darker than the other portions After this bright part.
上記欠陥部11が凹状のものである場合には、光照射手
段23の上記出射面43の光度の大きい位置13からの光が主
として上記欠陥部11の出射面43と対向する側の面11cに
当たって正反射方向が変化し、その一部がCCDカメラ24
に入射する。しかし、欠陥部11の上記面11cと反対側の
面11dには、上記出射面43の光度が比較的小さい位置14
からの光しか入射せず、CCDカメラ24には、欠陥部11の
上記反対側の面11dからは光が殆ど入射しない。When the defect portion 11 is concave, light from the position 13 having a large luminous intensity of the emission surface 43 of the light irradiation means 23 mainly hits the surface 11c on the side facing the emission surface 43 of the defect portion 11. The specular reflection direction changes, and a part of it changes
Incident on. However, on the surface 11d of the defect portion 11 opposite to the surface 11c, a position 14 where the luminous intensity of the emission surface 43 is relatively small.
From the surface 11d of the defect portion 11 on the opposite side.
したがって、CCDカメラ24の受光画像12は、第6図
(b)に示すように、欠陥部11が凹状のものでは、CCD
カメラ24の受光画像12の明るいところから暗いところに
向かう矢印A2で示す方向で、欠陥部11がはじめに他の部
分よりも暗くなり、この暗い部分を過ぎると他の部分よ
りも明るくなる。Therefore, as shown in FIG. 6 (b), the received image 12 of the CCD camera 24 has a CCD
In the direction indicated by the arrow A 2 toward the dark from where bright light image 12 of the camera 24, become darker than other portions Introduction defective portion 11 becomes brighter than other portions After this dark portion.
ビデオカメラ15はその上記受光画像12の明るさの変化
に応じて変化するビデオ信号を第1図の画像処理プロセ
ッサ33に出力する。The video camera 15 outputs a video signal that changes in accordance with the change in the brightness of the received light image 12 to the image processor 33 shown in FIG.
画像処理プロセッサ33にこのビデオ信号が入力する
と、画像処理プロセッサ33は欠陥部11の存在によるCCD
カメラ24から出力するビデオ信号を処理し、その値、た
とえばこのビデオ信号の微分信号が予め設定した値を越
えるビデオ信号の走査線、この走査線上で微分信号が上
記しきい値を越えるタイミング、およびこのタイミング
近傍での上記微分信号の符号の変化を検出する。これに
より、受光画像12内での欠陥部11の位置および欠陥部11
の凹凸状態等を検出する。この検出データとロボット装
置21の先端アーム22の位置をメモリに記憶する。When this video signal is input to the image processor 33, the image processor 33
A video signal output from the camera 24 is processed, and its value, for example, a scanning line of a video signal in which a differential signal of the video signal exceeds a predetermined value, a timing on the scanning line where the differential signal exceeds the threshold value, and A change in the sign of the differential signal near this timing is detected. Thereby, the position of the defective portion 11 in the received light image 12 and the defective portion 11
And the like. This detection data and the position of the tip arm 22 of the robot device 21 are stored in the memory.
そして、補修時には、車体26の塗装面27に存在する塗
装の欠陥部11の凹凸に応じた補修が行われ、次に述べる
ように、欠陥部11が凸状であるときは、その突出部分は
小さく削り取られ、上記欠陥部11が凹状であるときは、
この欠陥部11を含んで比較的広い範囲で塗膜が削り取ら
れる。Then, at the time of repair, repair is performed according to the unevenness of the paint defect portion 11 present on the paint surface 27 of the vehicle body 26, and as described below, when the defect portion 11 is convex, the protruding portion is When it is scraped small and the defective part 11 is concave,
The coating film is scraped off in a relatively wide range including the defect portion 11.
この補修は、人手により行うこともできるが、上記ロ
ボット装置21もしくはそれとは別に設けた図示しない補
修用のロボット装置により、自動的に行われる。This repair can be performed manually, but is automatically performed by the robot device 21 or a repair robot device (not shown) provided separately therefrom.
上記から、塗膜面27を面的に照射しても、光のハレー
ションをなくして、欠陥部11を周囲とは明るさに差があ
る明瞭な画像としてとらえることができる。As described above, even when the coating film surface 27 is irradiated in a plane, halation of light is eliminated and the defective portion 11 can be regarded as a clear image having a difference in brightness from the surroundings.
また、上記したように欠陥部11の存在によるCCDカメ
ラ24から出力するビデオ信号を処理した値、たとえばこ
のビデオ信号の微分信号が予め設定した値を越えるビデ
オ信号の走査線、この走査線上で微分信号が上記しきい
値を越えるタイミング、およびこのタイミング近傍での
上記微分信号の符号の変化等を検出することにより、受
光画像12内での欠陥部11の位置および欠陥部11の凹凸状
態等を検出することができ、欠陥部11が微小であって
も、確実に欠陥部11としてとらえることができる。In addition, as described above, a value obtained by processing a video signal output from the CCD camera 24 due to the presence of the defective portion 11, for example, a scanning line of a video signal in which a differentiated signal of the video signal exceeds a preset value, By detecting the timing at which the signal exceeds the threshold value and a change in the sign of the differential signal near this timing, the position of the defective portion 11 in the received light image 12 and the unevenness of the defective portion 11 can be determined. The defect can be detected, and even if the defect 11 is minute, it can be reliably detected as the defect 11.
以上では、光照射手段23は、その光源42,42,…の光度
を漸変させて欠陥部11を検出する場合の実施例について
説明したが、光源42,42,…の光度を変化させるかわり
に、光度もしくは波長の少なくとも一方、たとえば同一
行もしくは同一列の光源から出射する光の色(波長)は
同じで、異なる行もしくは列の光源の色(波長)が漸変
するようにしても、欠陥部11での光の色の順序の変化に
より、欠陥部11を検出することもできる。In the above, the light irradiating means 23 has described the embodiment in which the luminous intensity of the light sources 42, 42,... Is gradually changed to detect the defective portion 11, but instead of changing the luminous intensity of the light sources 42, 42,. In addition, at least one of the luminous intensity and the wavelength, for example, the color (wavelength) of light emitted from the light source in the same row or column is the same, and the color (wavelength) of the light source in a different row or column gradually changes. The defect 11 can also be detected by a change in the order of the light colors at the defect 11.
また、上記では、欠陥部11の検出を画像処理プロセッ
サ33により行う実施例について説明したが、上記CCDカ
メラ24からのビデオ信号を検査者がモニタテレビをモニ
タすることにより、欠陥部11の検出とその記録装置への
記録を行うようにすることもできる。Further, in the above, the embodiment in which the detection of the defective portion 11 is performed by the image processor 33 has been described, but the video signal from the CCD camera 24 is monitored by the inspector on the monitor television, so that the detection of the defective portion 11 is performed. It is also possible to perform recording on the recording device.
本発明は、自動車の車体の塗装欠陥の検査装置に限ら
ず、表面欠陥検査装置に広く適用することができる。INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely applied to not only an inspection apparatus for a paint defect of a vehicle body but also a surface defect inspection apparatus.
第1図は表面欠陥検査装置の一実施例の全体構成図、 第2図は光照射手段の斜視図、 第3図(a)および第3図(b)はそれぞれカメラ視野
位置の検出の説明図、 第4図(a)および第4図(b)はそれぞれ第3図
(a)および第3図(b)のカメラ視野の説明図、 第5図(a)および第5図(b)はそれぞれ表面欠陥の
検出の説明図、 第6図(a)および第6図(b)はそれぞれ被検査面に
凸状および凹状の欠陥があるときのカメラの画面の説明
図、 第7図は従来の表面欠陥検査装置の説明図、 第8図は第7図の表面欠陥検査装置のカメラにより得ら
れる画像の説明図、 第9図は被検査面が曲面のときにカメラにより得られる
画像の説明図、 第10図は従来のいま一つの表面欠陥検査装置の説明図で
ある。 S……光照射領域,F……カメラ視野, 11……欠陥部,12……受光画面, 13……光度の大きい位置, 14……光度の小さい位置, 20……塗装検査ステーション, 21……ロボット装置,23……光照射手段, 24……CCDカメラ,25……支持金具,26……車体, 27……塗膜面,31……ホストコンピュータ, 32……ロボットコントローラ, 33……画像処理プロッセッサ, 34……光照射手段コントローラ,42……光源, 43……光の出射面。1 is an overall configuration diagram of an embodiment of a surface defect inspection apparatus, FIG. 2 is a perspective view of a light irradiation unit, and FIGS. 3 (a) and 3 (b) each explain detection of a camera visual field position. FIGS. 4 (a) and 4 (b) are explanatory views of the camera field of view of FIGS. 3 (a) and 3 (b), respectively. FIGS. 5 (a) and 5 (b) 6 (a) and 6 (b) are explanatory views of a camera screen when a surface to be inspected has convex and concave defects, respectively. FIG. 8 is an explanatory view of a conventional surface defect inspection apparatus, FIG. 8 is an explanatory view of an image obtained by a camera of the surface defect inspection apparatus of FIG. 7, and FIG. 9 is an image of an image obtained by the camera when the surface to be inspected is a curved surface. FIG. 10 is an explanatory view of another conventional surface defect inspection apparatus. S: Light irradiation area, F: Camera field of view, 11: Defect part, 12: Light receiving screen, 13: High light intensity position, 14: Low light intensity position, 20: Painting inspection station, 21 ... ... Robot device, 23 ... Light irradiation means, 24 ... CCD camera, 25 ... Support bracket, 26 ... Car body, 27 ... Coating surface, 31 ... Host computer, 32 ... Robot controller, 33 ... Image processing processor, 34: Light irradiation means controller, 42: Light source, 43: Light emission surface.
フロントページの続き (72)発明者 宇都宮 昭則 広島県安芸郡府中町新地3番1号 マツ ダ株式会社内 (56)参考文献 特開 平1−210806(JP,A) 特開 昭62−233710(JP,A) 特開 昭64−79685(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 11/00 - 11/30 G01N 21/84 - 21/91 Continuation of front page (72) Inventor Akinori Utsunomiya 3-1, Shinchi, Fuchu-cho, Aki-gun, Hiroshima Mazda Co., Ltd. (56) References JP-A 1-210806 (JP, A) JP-A 62-233710 ( JP, A) JP-A-64-79685 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G01B 11/00-11/30 G01N 21/84-21/91
Claims (4)
射し、この被検査面から反射する反射光をビデオ信号発
生手段で受けて被検査面の光照射領域の受光画像をビデ
オ信号に変換し、このビデオ信号から上記被検査面に存
在する欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、 上記ビデオ信号発生手段が有しているカメラ視野よりも
大きな光照射領域を有し、光の出射面に対して多数の光
源がマトリックス状に配置されて被検査面を照射する光
照射手段と、外部から制御信号を受けて上記各光源から
出射する光の光度もしくは波長の少なくとも一方を個々
に変化させる光照射制御手段と、表面欠陥の検査時に上
記光照射手段の光の出射面に予め定められたxy座標の少
なくとも2つの方向に上記光照射手段の光源から出射す
る光の光度もしくは波長の少なくとも一方を漸変させる
制御信号を上記光照射制御手段に出力し、上記2つの方
向の各々について上記カメラ視野内において位置が既知
の少なくとも2つの異なる点に入射する光の明るさもし
くは波長の少なくとも一方を検出し、そのデータからこ
れらの点にそれぞれ対応する光源の上記xy座標上での位
置を検出し、これら光源の位置からカメラ視野と合致す
る上記光照射手段の光源の領域を演算し、この領域の光
源を発光させて上記表面欠陥を検出する画像情報処理手
段とを備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。An object to be inspected is illuminated with light emitted from light irradiating means, and reflected light reflected from the surface to be inspected is received by a video signal generating means, and a light-receiving image of a light irradiation area of the surface to be inspected is converted into a video signal. In the surface defect inspection apparatus for detecting a defect present on the surface to be inspected from the video signal, the surface defect inspection apparatus has a light irradiation area larger than a camera field of view of the video signal generation means, and emits light. A large number of light sources are arranged on the surface in a matrix to irradiate the surface to be inspected, and at least one of the luminous intensity or the wavelength of the light emitted from each of the light sources is individually changed by receiving a control signal from the outside. Light irradiation control means for causing a light intensity or a wave of light emitted from a light source of the light irradiation means in at least two directions of predetermined xy coordinates on a light emission surface of the light irradiation means at the time of inspecting a surface defect. Is output to the light irradiation control means, and the brightness or wavelength of light incident on at least two different points at known positions in the camera field of view in each of the two directions is output. At least one is detected, the position of the light source corresponding to each of these points on the xy coordinate is detected from the data, and the light source area of the light irradiation unit that matches the camera field of view is calculated from the position of the light source. A surface defect inspection apparatus, comprising: an image information processing unit that emits a light source in this area to detect the surface defect.
光源から出射する光の光度又は波長を同一とし、異なる
行又は列の光源から出射する光の光度又は波長を漸変さ
せるようになっていることを特徴とする、請求項1に記
載された表面欠陥検査装置。2. The light irradiation control means according to claim 1, wherein light intensity or wavelength of light emitted from the same row or column of light sources is the same, and light intensity or wavelength of light emitted from different row or column of light sources is gradually changed. The surface defect inspection apparatus according to claim 1, wherein:
射し、この被検査面から反射する反射光をビデオ信号発
生手段で受けて被検査面の光照射領域の受光画像をビデ
オ信号に変換し、このビデオ信号から上記被検査面に存
在する欠陥を検出するようにした表面欠陥検査方法にお
いて、 ビデオ信号発生手段が有しているカメラ視野よりも大き
な光照射領域を有し、光の出射面に対して多数の光源が
マトリックス状に配置されている光照射手段を用いて被
検査面を照射し、 外部から受ける制御信号に基づいて、上記各光源から出
射する光の光度もしくは波長の少なくとも一方を個々に
変化させ、 表面欠陥の検査時に上記光照射手段の光の出射面に予め
定められたxy座標の少なくとも2つの方向に上記光照射
手段の光源から出射する光の光度もしくは波長の少なく
とも一方を漸変させ、 上記2つの方向の各々について上記カメラ視野内におい
て位置が既知の少なくとも2つの異なる点に入射する光
の明るさもしくは波長の少なくとも一方を検出し、 そのデータからこれらの点にそれぞれ対応する光源の上
記xy座標上での位置を検出し、 これら光源の位置からカメラ視野と合致する上記光照射
手段の光源の領域を演算し、 この領域の光源を発光させて上記表面欠陥を検出するよ
うにしたことを特徴とする表面欠陥検査方法。3. A surface to be inspected is illuminated with light emitted from a light irradiating means, and reflected light reflected from the surface to be inspected is received by a video signal generating means, and a light receiving image of a light irradiation area of the surface to be inspected is converted into a video signal. In the surface defect inspection method for detecting a defect present on the surface to be inspected from the video signal, the surface defect inspection method has a light irradiation area larger than a camera field of view of the video signal generation means, A plurality of light sources are illuminated on the surface to be inspected using a light irradiating means in which a plurality of light sources are arranged in a matrix with respect to the emission surface of the light source. Based on a control signal received from the outside, the luminous intensity or wavelength of the light emitted from each of the light sources At least one of them is individually changed, and the light intensity of the light emitted from the light source of the light irradiating unit in at least two directions of the predetermined xy coordinate on the light emitting surface of the light irradiating unit at the time of inspecting the surface defect is also changed. Or at least one of the wavelengths is gradually changed, and in each of the two directions, at least one of the brightness or the wavelength of light incident on at least two different points whose positions are known in the camera field of view is detected, and the data is detected. From the positions of the light sources corresponding to these points on the xy coordinates are detected, and the light source area of the light irradiation unit that matches the camera field of view is calculated from the positions of the light sources, and the light sources in this area are caused to emit light. A surface defect inspection method, wherein the surface defect is detected.
度又は波長を同一とし、異なる行又は列の光源から出射
する光の光度又は波長を漸変させるようにしたことを特
徴とする、請求項3に記載された表面欠陥検査方法。4. The light intensity or wavelength of light emitted from light sources in the same row or column is made equal, and the light intensity or wavelength of light emitted from light sources in different rows or columns is gradually changed. A surface defect inspection method according to claim 3.
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1990
- 1990-08-29 JP JP22880390A patent/JP2892464B2/en not_active Expired - Fee Related
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