JP2892266B2 - Imaging device - Google Patents
Imaging deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は光プリンタヘッド等の画
像形成装置やイメージセンサ等の画像読み取り装置等に
使用される画像装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image forming apparatus such as an optical printer head or an image reading apparatus such as an image sensor.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の画像装置、例えば光プリンタヘッ
ド等の画像形成装置に使用される画像装置は通常、複数
個のレンズを所定の間隔で直線状に配列支持したポリカ
ーボネート等の樹脂から成るレンズプレートと、多数の
発光ダイオード素子アレイが直線状に配列実装されたポ
リカーボネート等の樹脂から成るベースペレートとを一
対の支持体に各レンズと各発光ダイオード素子アレイと
が1対1 に対応するように併設固定させた構造を有して
おり、各発光ダイオード素子アレイの各発光ダイオード
素子を外部電気信号に対応させて個々に選択的に発光さ
せるとともに、該発光ダイオード素子が発光した光をレ
ンズを介して外部の感光体に結像させ、感光体に潜像を
形成させることによって画像形成装置として機能する。2. Description of the Related Art A conventional image apparatus, for example, an image apparatus used for an image forming apparatus such as an optical printer head, is usually a lens made of a resin such as polycarbonate in which a plurality of lenses are linearly supported at predetermined intervals. A plate and a base plate made of a resin such as polycarbonate in which a number of light emitting diode element arrays are linearly arranged and mounted on a pair of supports so that each lens and each light emitting diode element array correspond one to one. The light emitting diode elements of each light emitting diode element array are selectively and individually lit according to an external electric signal, and the light emitted by the light emitting diode elements is transmitted to a lens. An image is formed on an external photoconductor via the photoconductor and a latent image is formed on the photoconductor, thereby functioning as an image forming apparatus.
【0003】尚、前記ベースプレート上に直線状に配列
実装される発光ダイオード素子アレイは一般にその内部
に64個の発光ダイオード素子が直線状に配列されて構成
されており、B4サイズの画像形成装置に使用する場合
には前記発光ダイオード素子アレイはその32個が各々を
各レンズに1 対1 に対応するようにしてベースプレート
上に載置されることとなる。A light emitting diode element array linearly arranged and mounted on the base plate generally includes 64 light emitting diode elements linearly arranged therein, and is used in a B4 size image forming apparatus. When used, the light emitting diode element array is mounted on the base plate such that 32 light emitting diode elements correspond to the respective lenses one by one.
【0004】また前記各発光ダイオード素子アレイはそ
の下面に共通電極を有しており、該共通電極をベースプ
レートの上面に予め被着形成させておいた共通電極配線
に例えば、エポキシ樹脂に銀粉末等を添加した導電性樹
脂接着剤を介し接着することによって共通電極を共通電
極配線に電気的接続させつつベースプレート上に実装さ
れる。Each of the light emitting diode element arrays has a common electrode on the lower surface thereof. The common electrode is formed on a common electrode wiring previously formed on the upper surface of the base plate, for example, epoxy resin or silver powder. The common electrode is mounted on the base plate while electrically connecting the common electrode to the common electrode wiring by bonding via a conductive resin adhesive to which is added.
【0005】更に前記ベースプレートの上面に実装され
ている各発光ダイオード素子アレイはその個別電極がベ
ースプレートの上面に被着形成されている個別電極配線
にボンディングワイヤを介して電気的に接続されてお
り、ベースプレート上面の共通電極配線及び個別電極配
線を外部電気回路に接続することによって発光ダイオー
ド素子アレイの各発光ダイオード素子は外部電気回路と
電気的に接続されるようになっている。Further, each light-emitting diode element array mounted on the upper surface of the base plate has its individual electrode electrically connected to an individual electrode wiring formed on the upper surface of the base plate via a bonding wire. By connecting the common electrode wiring and the individual electrode wiring on the upper surface of the base plate to an external electric circuit, each light emitting diode element of the light emitting diode element array is electrically connected to the external electric circuit.
【0006】しかしながら、この従来の画像装置におい
ては、発光ダイオード素子アレイに設けた個別電極がベ
ースプレートの個別電極配線にボンディングワイヤを介
して接続されており、発光ダイオード素子アレイの個別
電極は数千と極めて多いことから発光ダイオード素子ア
レイの個別電極をベースプレートの個別電極配線に電気
的接続するのに長時間が必要で、画像装置の製造作業性
が悪く、製品としての画像装置を高価とする欠点を有し
てた。However, in this conventional image device, the individual electrodes provided on the light emitting diode element array are connected to the individual electrode wirings of the base plate via bonding wires, and the individual electrodes of the light emitting diode element array are several thousand. Since it is extremely large, it takes a long time to electrically connect the individual electrodes of the light emitting diode element array to the individual electrode wirings of the base plate, and the workability of the image device is poor, and the image device as a product is expensive. I had.
【0007】尚、上述の実施例においては光プリンタヘ
ッド等の画像形成装置に使用される画像装置を例に採っ
て説明したが、固体撮像素子アレイ(CCD素子アレイ) を
用いたイメージセンサ等の画像読み取り装置等に使用さ
れる画像装置においても同様の欠点を有する。In the above-described embodiment, an image apparatus used for an image forming apparatus such as an optical printer head has been described as an example. However, an image sensor using a solid-state image sensor array (CCD element array) or the like has been described. An image device used for an image reading device or the like has the same disadvantage.
【0008】そこで上記欠点を解消するために本願出願
人は先に画像素子アレイを、共通電極配線を有する第1
基板と、個別電極配線及び窓部を有する第2基板との間
に、各画像素子アレイの受発光部が窓部と対向するよう
に配置させ、各画像素子アレイの共通電極を第1基板の
共通電極配線に接続するとともに個別電極を第2基板の
個別電極配線にフリップチップ接続により接続させた画
像装置を提案した。In order to solve the above-mentioned drawbacks, the applicant of the present application firstly changed the image element array to a first element having a common electrode wiring.
A light emitting / receiving unit of each image element array is arranged between the substrate and the second substrate having the individual electrode wiring and the window so as to face the window, and a common electrode of each image element array is provided on the first substrate. An image device was proposed in which the individual electrodes were connected to the individual electrode wires of the second substrate by flip-chip connection while being connected to the common electrode wires.
【0009】かかる画像装置によれば画像素子アレイに
設けた個別電極が第2基板の個別電極配線にフリップチ
ップ接続により接続されることから個別電極の数が数千
あるとしてもそのすべてが第2基板の個別電極配線に一
度に、且つ強固に電気的接続されることとなり、その結
果、画像装置の生産性及び信頼性が極めて優れたものと
なる。According to such an image apparatus, since the individual electrodes provided on the image element array are connected to the individual electrode wirings of the second substrate by flip-chip connection, even if there are thousands of individual electrodes, all of them are the second electrodes. The individual electrode wirings of the substrate are electrically connected at once and firmly, and as a result, the productivity and reliability of the image device become extremely excellent.
【0010】尚、この画像装置は第2基板がガラスエポ
キシ基板に銅箔を所定パターンに取着させたプリント基
板を使用しており、該プリント基板は不透明であること
から画像素子アレイとレンズとの間に光の通路を形成す
るため第2基板の画像素子アレイの受発光部が対向する
領域には100 μm 以下の幅の窓部が形成されている。In this image apparatus, a second substrate uses a printed board in which a copper foil is attached to a glass epoxy board in a predetermined pattern, and the printed board is opaque. A window having a width of 100 μm or less is formed in a region of the second substrate facing the light emitting / receiving portion of the image element array to form a light passage therebetween.
【0011】またこの画像装置では一般に画像素子アレ
イの受発光部と個別電極の距離が約100 μm であり、第
2基板の窓部に画像素子アレイの受発光部を対向させた
状態で画像素子アレイの個別電極を第2基板の個別電極
配線にフリップチップ接続させるため第2基板の個別電
極配線はその一端が窓部のエッジより50μm 以内の範囲
に形成されている。In this image apparatus, the distance between the light emitting / receiving section of the image element array and the individual electrode is generally about 100 μm, and the image element is arranged with the light emitting / receiving section of the image element array facing the window of the second substrate. One end of the individual electrode wiring of the second substrate is formed within a range of 50 μm or less from the edge of the window in order to flip-chip connect the individual electrodes of the array to the individual electrode wiring of the second substrate.
【0012】[0012]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この画
像装置では画像素子アレイとレンズとの間に光の通路を
形成するため第2基板に約100 μm 程度の幅の穴を形成
しなければならず、該第2基板は低剛性で曲げ等の変形
を発生し易いプリント基板により形成されていること及
び穴開け加工具にふらつきがあること等からプリント基
板に幅が約100 μm 程度の細い穴を形成するには極めて
高度な技術を必要とすることとなり、その結果、画像装
置の生産性、歩留まりが大きく低下し、製品としての画
像装置を極めて高価なものとする欠点が誘発される。However, in this image apparatus, a hole having a width of about 100 μm must be formed in the second substrate in order to form a light path between the image element array and the lens. Since the second substrate is formed of a printed circuit board having low rigidity and easy to generate deformation such as bending and the like, and a boring tool has a wobble, a small hole having a width of about 100 μm is formed in the printed circuit board. In order to form the image device, an extremely advanced technique is required. As a result, the productivity and the yield of the image device are greatly reduced, and a disadvantage that the image device as a product is extremely expensive is induced.
【0013】またプリント基板から成る第2基板に幅が
100 μm 程度の穴を形成したとしても該穴はプリント基
板が低剛性で曲げ等の変形を発生し易いことからプリン
ト基板に僅かな変形が生じると穴寸法にバラツキが発生
してしまい、その結果、穴の幅が狭くなると画像素子ア
レイとレンズとの間に光の通路が形成されなくなって発
光ダイオード素子の発する光をレンズを介して感光体に
照射し、感光体に潜像を形成したり、固体撮像素子アレ
イにレンズを介して外部画像情報を照射し、固体撮像素
子アレイに外部画像情報に対応する電気信号を発生させ
るのが不可となり、また幅が広くなると第2基板の個別
電極配線に画像素子アレイの個別電極をフリップチップ
接続することができないという欠点が誘発される。Further, the width of the second substrate made of a printed circuit board is
Even if a hole with a size of about 100 μm is formed, the hole has a low rigidity and is easily deformed by bending or the like. When the width of the hole is reduced, a light path is not formed between the image element array and the lens, and the light emitted from the light emitting diode element is irradiated on the photosensitive member through the lens to form a latent image on the photosensitive member. It is impossible to irradiate the solid-state imaging device array with external image information through a lens, and to generate an electric signal corresponding to the external image information to the solid-state imaging device array. The disadvantage is that the individual electrodes of the image element array cannot be flip-chip connected.
【0014】[0014]
【発明の目的】本発明は上記諸欠点に鑑み案出されたも
ので、その目的は発光ダイオード素子が発する光をレン
ズを介して感光体面に正確に照射し、感光体に画像品質
の高い潜像を形成することができる、或いは外部画像情
報をレンズを介して固体撮像素子アレイに正確に結像さ
せ、固体撮像素子アレイに外部画像情報に対応する正確
な電気信号を発生させることができる生産性の良い、安
価な画像装置を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been devised in view of the above-mentioned drawbacks, and has as its object to accurately irradiate light emitted from a light-emitting diode element onto a photoreceptor surface through a lens, and to provide a latent image having high image quality to the photoreceptor. Production that can form an image or accurately form external image information on a solid-state image sensor array via a lens and generate an accurate electric signal corresponding to the external image information on the solid-state image sensor array An object of the present invention is to provide a good and inexpensive image device.
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】本発明は複数個のレンズ
から成るレンズ部材と、多数の画像素子アレイを有する
画像素子部材とを併設固定させて成る画像装置であっ
て、前記画像素子部材は共通電極配線を有する第1基板
と、個別電極配線及び窓部を有する第2基板との間に複
数個の画像素子アレイを、該画像素子アレイの受発光部
が窓部と対向するように配するとともに各画像素子アレ
イの共通電極を第1基板の共通電極配線に接続し、個別
電極を第2基板の個別電極配線にフリップチップ接続に
より接続させて形成され、且つ前記第2基板は2枚の基
板を間に窓部となる間隙を設けて配置させるとともに該
間隙内に充填された透明接着剤で接着することによって
形成されていることを特徴とするものである。According to the present invention, there is provided an image apparatus in which a lens member comprising a plurality of lenses and an image element member having a large number of image element arrays are fixedly provided side by side. A plurality of image element arrays are arranged between the first substrate having the common electrode wiring and the second substrate having the individual electrode wiring and the window, such that the light emitting / receiving portion of the image element array faces the window. And the common electrodes of each image element array are connected to the common electrode wiring of the first substrate, and the individual electrodes are connected to the individual electrode wiring of the second substrate by flip-chip connection. The substrate is formed by providing a gap serving as a window between them, and bonding the substrates with a transparent adhesive filled in the gap.
【0016】[0016]
【作用】本発明の画像装置によれば、画像素子アレイの
個別電極を第2基板に設けた個別電極配線にフリップチ
ップ接続により電気的接続したことから各画像素子アレ
イの個別電極が数千あるとしてもその全てが第2基板の
個別電極配線に一度に、且つ強固に電気的接続されるこ
ととなり、その結果、画像装置の生産性及び信頼性が極
めて優れたものとなる。According to the image device of the present invention, since the individual electrodes of the image element array are electrically connected to the individual electrode wiring provided on the second substrate by flip-chip connection, there are thousands of individual electrodes of each image element array. However, all of them can be electrically connected to the individual electrode wirings of the second substrate at once and firmly, and as a result, the productivity and reliability of the image device become extremely excellent.
【0017】また本発明の画像装置によれば、第2基板
の窓部を、2枚の基板を間に所定間隙(例えば、100 μ
m)を形成するよう平行に配置させることによって形成し
たことから、窓部を極めて高精度に、且つ簡単に形成す
ることができ、これによっても画像装置の生産性及び歩
留まりが極めて優れたものとなる。According to the image apparatus of the present invention, the window portion of the second substrate is provided with a predetermined gap (for example, 100 μm) between the two substrates.
m) is formed by arranging the windows in parallel, so that the windows can be formed with extremely high precision and easily, which also makes the productivity and yield of the image apparatus extremely excellent. Become.
【0018】更に本発明の画像装置によれば、第2基板
の窓部となる2枚の基板間の間隙内に透明接着剤が充填
されていることから間隙(窓部)の幅が常に一定とな
り、その結果、画像素子アレイの個別電極を第2基板に
設けた個別電極配線に正確にフリップチップ接続するこ
とができるとともにこの画像装置を光プリンタヘッド等
の画像形成装置に使用した場合、発光ダイオード素子が
発する光をレンズを介して感光体面に正確に照射し、感
光体に画像品質の高い潜像を形成することができ、また
イメージセンサ等の画像読み取り装置等に使用した場合
には外部画像情報をレンズを介して固体撮像素子アレイ
に正確に結像させ、固体撮像素子アレイに外部画像情報
に対応する正確な電気信号を発生させることができる。Further, according to the image apparatus of the present invention, since the transparent adhesive is filled in the gap between the two substrates serving as the windows of the second substrate, the width of the gap (window) is always constant. As a result, the individual electrodes of the image element array can be accurately flip-chip connected to the individual electrode wirings provided on the second substrate, and when this image device is used in an image forming apparatus such as an optical printer head, the light emission occurs. The light emitted from the diode element can be accurately irradiated on the surface of the photoreceptor via a lens to form a latent image with high image quality on the photoreceptor. The image information can be accurately formed on the solid-state imaging device array via the lens, and the solid-state imaging device array can generate an accurate electric signal corresponding to the external image information.
【0019】[0019]
【実施例】次に本発明を添付図面に基づき詳細に説明す
る。図1乃至図4は本発明の画像装置を画像形成装置と
しての光プリンタヘッドに採用した場合の一実施例を示
し、1 は画像素子部材、5 はレンズ部材、8 は支持体で
ある。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. FIGS. 1 to 4 show an embodiment in which the image apparatus of the present invention is applied to an optical printer head as an image forming apparatus, wherein 1 is an image element member, 5 is a lens member, and 8 is a support.
【0020】前記画像素子部材1は第1基板2 と複数個
の発光ダイオード素子アレイ3 と中央部に窓部4aを有す
る第2基板4 とから構成されている。The image element member 1 comprises a first substrate 2, a plurality of light emitting diode element arrays 3, and a second substrate 4 having a window 4a in the center.
【0021】前記画像素子部材1 の第1基板2 は発光ダ
イオード素子アレイ3 を支持する支持部材として作用
し、その上面には複数個の発光ダイオード素子アレイ3
が直線状に配列実装されている。The first substrate 2 of the image element member 1 functions as a supporting member for supporting the light emitting diode element array 3, and a plurality of light emitting diode element arrays 3
Are mounted in a linear array.
【0022】前記第1基板2 は酸化アルミニウム質焼結
体や結晶化ガラス、石英等から成り、例えば、酸化アル
ミニウム質焼結体から成る場合は、アルミナ、シリカ、
カルシア、マグネシア等の原料粉末に適当な有機溶剤、
溶媒を添加混合して泥漿状となすとともにこれを従来周
知のドクターブレード法やカレンダロール法等を採用す
ることによってセラミックグリーンシート( セラミック
生シート) を得、しかる後、前記セラミックグリーンシ
ートを所定形状に打ち抜き加工するとともに高温( 約15
00℃) で焼成することによって製作される。The first substrate 2 is made of an aluminum oxide sintered body, crystallized glass, quartz or the like. For example, when the first substrate 2 is made of an aluminum oxide sintered body, alumina, silica,
Organic solvent suitable for raw material powder such as calcia, magnesia,
A solvent is added and mixed to form a slurry, and a ceramic green sheet (ceramic green sheet) is obtained by adopting a conventionally known doctor blade method, calendar roll method, or the like. And high temperature (about 15
(00 ° C.).
【0023】また前記第1基板2 上に実装される発光ダ
イオード素子アレイ3 は複数個の発光ダイオード素子3a
から成り、該発光ダイオード素子3aは外部電気信号に対
応して個々に選択的に発光し、発光した光を感光体P 表
面に照射することによって感光体P に画像を形成するた
めの潜像を形成する。The light emitting diode element array 3 mounted on the first substrate 2 has a plurality of light emitting diode elements 3a.
The light emitting diode element 3a selectively emits light individually in response to an external electric signal, and irradiates the emitted light to the surface of the photoconductor P to form a latent image for forming an image on the photoconductor P. Form.
【0024】前記発光ダイオード素子3aはGaAsP 系、Ga
P 系の発光ダイオードが使用され、例えば、GaAsP 系の
発光ダイオードの場合には、まずGaAsの基板を炉中にて
高温に加熱するとともにAsH 3 ( アルシン) とPH3 ( ホ
スヒン) とGa( ガリウム) を適量に含むガスを接触させ
て基板表面にn 型半導体のGaAsP(ガリウムー砒素ーリ
ン) の単結晶を成長させ、次にGaAsP 単結晶表面にSi3
N 4 ( 窒化シリコン) の窓付膜を被着させるとともに該
窓部にZn( 亜鉛) のガスをさらし、n 型半導体のGaAsP
単結晶の一部にZnを拡散させてp 型半導体を形成し、pn
接合をもたすことによって形成される。The light emitting diode element 3a is of GaAsP type, Ga
P-based light-emitting diodes are used.For example, in the case of GaAsP-based light-emitting diodes, first, a GaAs substrate is heated to a high temperature in a furnace, and AsH 3 (arsine), PH 3 (phosphine), and Ga (gallium) are used. ) Is brought into contact with a gas containing an appropriate amount of GaAsP (gallium-arsenide-phosphorus) single crystal on the substrate surface, and then Si 3 O 4 is grown on the GaAsP single crystal surface.
An N 4 (silicon nitride) film with a window is deposited, and the window is exposed to a gas of Zn (zinc).
Zn is diffused into a part of the single crystal to form a p-type semiconductor, and pn
It is formed by having a bond.
【0025】尚、前記発光ダイオード素子3aはB4サイ
ズの光プリンタヘッドの場合、2048個(1mm当たり8 個)
が直線状に配列されており、具体的には64個の発光ダイ
オード素子3aを一単位とした発光ダイオード素子アレイ
3 を32個、直線状に配列することによって2048個の発光
ダイオード素子3aが第1基板2 上に配列されている。In the case of an optical printer head of B4 size, the number of the light emitting diode elements 3a is 2048 (8 per 1 mm).
Are linearly arranged, specifically, a light emitting diode element array in which 64 light emitting diode elements 3a are one unit.
By arranging 32 pieces of 3 in a straight line, 2048 light emitting diode elements 3a are arranged on the first substrate 2.
【0026】また前記第1基板2 上への発光ダイオード
素子アレイ3 の実装は、図3 に示す如く、第1基板2 の
上面に予め所定パターンの共通電極配線2aを被着形成し
ておくとともに該共通電極配線2aに発光ダイオード素子
アレイ3 下面の共通電極31を半田Sを介し接合させるこ
とによって行われる。この場合、半田Sは短時間で溶融
固化するとともにセルフアライメント効果、即ち、第1
基板2 に被着させた共通電極配線2aと発光ダイオード素
子アレイ3 の共通電極31とを互いに対向するよう引き寄
せる効果があるため発光ダイオード素子アレイ3 は第1
基板2 に被着させた共通電極配線2aの所定位置に極めて
正確に実装されることとなり、その結果、これを画像形
成装置として使用に供した際、発光ダイオード素子アレ
イ3 の中心を常に後述する各レンズ7 の中心に位置さ
せ、各発光ダイオード素子アレイ3の発光ダイオード素
子3aが発する光を感光体P の全面に良好に照射させるこ
とが可能となる。As shown in FIG. 3, the light emitting diode element array 3 is mounted on the first substrate 2 by forming a common electrode wiring 2a of a predetermined pattern on the upper surface of the first substrate 2 in advance. This is performed by bonding the common electrode 31 on the lower surface of the light emitting diode element array 3 to the common electrode wiring 2a via the solder S. In this case, the solder S is melted and solidified in a short time, and the self-alignment effect, that is, the first
Since the common electrode wiring 2a attached to the substrate 2 and the common electrode 31 of the light emitting diode element array 3 are attracted so as to face each other, the light emitting diode element array 3
It will be mounted very accurately at a predetermined position of the common electrode wiring 2a attached to the substrate 2, and as a result, when this is used as an image forming apparatus, the center of the light emitting diode element array 3 will always be described later. It is possible to irradiate the light emitted from the light emitting diode elements 3a of each light emitting diode element array 3 onto the entire surface of the photoconductor P satisfactorily, being located at the center of each lens 7.
【0027】更に前記第1基板2 に被着形成された共通
電極配線2aと発光ダイオード素子アレイ3 の共通電極31
とを半田接合させ、第1基板2 上に発光ダイオード素子
アレイ3 を実装させる場合、第1基板2 に被着された共
通電極配線2aの表面に予め半田Sをメッキ法により被着
させておくと第1基板2 に被着された共通電極配線2a
の上部に共通電極31が接触するように発光ダイオード
素子アレイ3 を載置させるととも該載置部に熱を印加す
るという簡単な作業で両者の接合が可能となり、また同
時に共通電極配線2aの表面に予めメッキ法により被着さ
せた半田Sを使用して第1基板2 上に複数個の発光ダイ
オード素子アレイ3 を直線状に実装させると共通電極配
線2a表面のメッキ法により被着された半田Sはその量、
高さが均一であるため各発光ダイオード素子アレイ3 も
第1基板2 上に強固、且つ同一高さに実装されることと
なり、第1基板2 上に実装された各発光ダイオード素子
アレイ3 とレンズ7 との距離を全て均等として各発光ダ
イオード素子アレイ3 の発光ダイオード素子3aが発する
光を感光体P の全面に均一、且つ良好に照射させること
も可能となる。従って、第1基板2 上に発光ダイオード
素子アレイ3 を半田Sを介して実装させる場合、半田は
第1基板2 に被着形成された共通電極配線2aの表面に予
めメッキ法により被着させておくことが好ましい。Further, the common electrode wiring 2a formed on the first substrate 2 and the common electrode 31 of the light emitting diode element array 3
When the light emitting diode element array 3 is mounted on the first substrate 2 by soldering, the solder S is previously deposited on the surface of the common electrode wiring 2a deposited on the first substrate 2 by plating. And the common electrode wiring 2a attached to the first substrate 2
The light-emitting diode element array 3 is mounted so that the common electrode 31 is in contact with the upper part of the device, and the two can be joined by a simple operation of applying heat to the mounting portion. When a plurality of light emitting diode element arrays 3 are linearly mounted on the first substrate 2 using the solder S previously deposited on the surface by plating, the common electrode wiring 2a is deposited on the surface by plating. The amount of solder S is
Since the heights are uniform, each light emitting diode element array 3 is also firmly mounted on the first substrate 2 and is mounted at the same height, and each light emitting diode element array 3 mounted on the first substrate 2 and a lens 7, the light emitted from the light emitting diode elements 3a of each light emitting diode element array 3 can be uniformly and satisfactorily applied to the entire surface of the photoconductor P. Therefore, when the light emitting diode element array 3 is mounted on the first substrate 2 via the solder S, the solder is previously deposited on the surface of the common electrode wiring 2a deposited on the first substrate 2 by plating. Preferably.
【0028】尚、前記第1基板2 に被着形成されている
共通電極配線2aは第1基板2 の上面にアルミニウムや銅
等の導電性材料を蒸着法やスパッタリング法等により所
定厚みに被着させるとともにこれをエッチング法により
所定パターンに加工し、しかる後、表面にニッケルメッ
キや金メッキを施すことによって第1基板2 の上面に被
着形成される。The common electrode wiring 2a formed on the first substrate 2 is formed by depositing a conductive material such as aluminum or copper on the upper surface of the first substrate 2 to a predetermined thickness by vapor deposition or sputtering. At the same time, this is processed into a predetermined pattern by an etching method, and thereafter, the surface is nickel-plated or gold-plated to be formed on the upper surface of the first substrate 2.
【0029】また前記第1 基板2 上に実装された発光ダ
イオード素子アレイ3 の上面には、例えばガラスエポキ
シ基板等を用いたプリント基板から成り、中央部に発光
ダイオード素子アレイ3 とレンズ7 との光の通路を形成
するための約100 μm 程度の幅の窓部4aを有し、下面に
個別電極配線4bが被着された第2基板4 が接合固定され
ている。On the upper surface of the light emitting diode element array 3 mounted on the first substrate 2, a printed circuit board using, for example, a glass epoxy substrate or the like is formed. A second substrate 4 having a window 4a having a width of about 100 μm for forming a light path and having an individual electrode wiring 4b adhered to the lower surface is fixedly joined.
【0030】前記第2基板4 は各発光ダイオード素子3a
の個別電極32を外部電気回路に電気的に接続する作用を
為し、図3 に示す如く、第2基板4 の下面に被着させた
個別電極配線4bに各発光ダイオード素子3aの個別電極32
をフリップチップ接続、具体的には各発光ダイオード素
子アレイ3 の上面に第2基板4 を、該発光ダイオード素
子アレイ3 に設けた各発光ダイオード素子3aの個別電極
32と第2基板4 下面に被着させた個別電極配線4bとが間
に半田バンプを挟み対向するようにして載置させ、しか
る後、前記半田バンプを加熱溶融させ、各発光ダイオー
ド素子3aの個別電極32と第2基板4 の個別電極配線4bと
を半田接合することによって各発光ダイオード素子3aの
個別電極32は外部電気回路に接続される第2基板4 の個
別電極配線4bに電気的に接続されることとなる。この場
合、各発光ダイオード素子3aの個別電極32はその総数が
数千と多いもののその全てが第の基板4 の下面に被着さ
せた個別電極配線4bに一度に、且つ強固に電気的接続さ
れることとなり、その結果、画像装置の生産性及び信頼
性が極めて優れたものとなる。The second substrate 4 is provided with each light emitting diode element 3a.
The individual electrodes 32 of each light emitting diode element 3a are electrically connected to an external electric circuit, and as shown in FIG.
Are connected in a flip-chip manner, specifically, a second substrate 4 is provided on the upper surface of each light emitting diode element array 3, and individual electrodes of each light emitting diode element 3a provided in the light emitting diode element array 3 are connected.
32 and the individual electrode wirings 4b attached to the lower surface of the second substrate 4 are placed so as to face each other with a solder bump interposed therebetween. Thereafter, the solder bump is heated and melted, and each of the light emitting diode elements 3a is melted. By soldering the individual electrode 32 and the individual electrode wiring 4b of the second substrate 4, the individual electrode 32 of each light emitting diode element 3a is electrically connected to the individual electrode wiring 4b of the second substrate 4 connected to an external electric circuit. It will be connected. In this case, although the total number of the individual electrodes 32 of each light emitting diode element 3a is as large as several thousands, all of them are electrically connected at once and firmly to the individual electrode wiring 4b adhered to the lower surface of the first substrate 4. As a result, the productivity and reliability of the image device become extremely excellent.
【0031】前記第2基板4 はまた図4 に示す如く、2
枚の基板41,41 を間に窓部4aとなる間隙を設けて配置さ
せるとともに該間隙内に充填された透明接着剤42で接着
することによって形成されており、窓部4aが2枚の基板
41,41 を間に所定間隙(例えば、100 μm)を形成するよ
う平行に配置させることによって形成されることから窓
部4aを極めて高精度に、且つ簡単に形成することがで
き、これによっても画像装置の生産性及び歩留まりが極
めて優れたものとなる。As shown in FIG. 4, the second substrate 4 is
The substrates 41, 41 are formed by arranging and providing a gap between them as the window 4a and bonding them with a transparent adhesive 42 filled in the gap.
Since the windows 4a are formed by arranging them in parallel so as to form a predetermined gap (for example, 100 μm) therebetween, the window 4a can be formed extremely accurately and easily. The productivity and yield of the imaging device are extremely excellent.
【0032】更に前記2枚の基板41,41 間に形成される
間隙( 窓部4a) には透明接着剤42が充填されているため
間隙(窓部4a)の幅が常に一定となり、その結果、発光
ダイオード素子アレイ3 の各発光ダイオード素子3aが発
する光を窓部4aの透明接着剤42及びレンズ7 を介して感
光体P 面に正確に照射し、感光体P に画像品質の高い潜
像を形成することができるとともに第2基板の個別電極
配線4bの位置を常に所定位置として、該個別電極配線4b
に発光ダイオード素子アレイ3 の個別電極32を正確、且
つ確実にフリップチップ接続することができる。Further, since the gap (window 4a) formed between the two substrates 41, 41 is filled with the transparent adhesive 42, the width of the gap (window 4a) is always constant. Then, the light emitted from each light emitting diode element 3a of the light emitting diode element array 3 is accurately irradiated on the surface of the photoconductor P via the transparent adhesive 42 and the lens 7 of the window 4a, and the latent image of high image quality is formed on the photoconductor P. Can be formed, and the position of the individual electrode wiring 4b on the second substrate is always set to a predetermined position, and the individual electrode wiring 4b
The individual electrodes 32 of the light emitting diode element array 3 can be flip-chip connected accurately and reliably.
【0033】尚、前記第2基板4 となる2 枚の基板41,4
1 は例えば、ガラスエポキシ基板に個別電極配線4bとな
る所定パターンの銅箔等を接着させたプリント基板から
成り、該ガラスエポキシ基板から成るプリント基板は例
えば、ガラス繊維中にゾル状としたエポキシ樹脂を流し
込み、しかる後、前記エポキシ樹脂を熱硬化させること
よって製作される。The two substrates 41 and 4 serving as the second substrate 4 are used.
1 is, for example, a printed circuit board in which a predetermined pattern of copper foil or the like serving as an individual electrode wiring 4b is adhered to a glass epoxy board, and the printed circuit board made of the glass epoxy board is, for example, an epoxy resin made into a sol in glass fiber. And then the epoxy resin is cured by heat.
【0034】また前記第1基板2 、発光ダイオード素子
アレイ3 及び第2基板4 から成る画像素子部材1 はその
上部に一定距離を隔ててレンズ部材5 が併設されてい
る。The image element member 1 composed of the first substrate 2, the light emitting diode element array 3 and the second substrate 4 is provided with a lens member 5 on the upper part thereof at a predetermined distance.
【0035】前記レンズ部材5 は複数個の穴6aが直線状
に配列形成されているレンズプレート6 と複数個のレン
ズ7 とから成り、レンズプレート6 に設けた穴6aにレン
ズ7を当接させるとともに接着剤を介し接着固定するこ
とによって形成されている。The lens member 5 comprises a lens plate 6 in which a plurality of holes 6a are linearly arranged and a plurality of lenses 7. The lens 7 is brought into contact with the holes 6a provided in the lens plate 6. It is formed by bonding and fixing through an adhesive.
【0036】前記レンズ部材5 のレンズプレート6 は上
面に複数個のレンズ7 を所定の間隔で支持する支持部材
として作用し、また穴6aは発光ダイオード素子アレイ3
の各発光ダイオード素子3aが発する光をレンズ7 へ透過
させる作用を為す。The lens plate 6 of the lens member 5 functions as a support member for supporting a plurality of lenses 7 at predetermined intervals on the upper surface.
The light emitted from each of the light emitting diode elements 3a is transmitted to the lens 7.
【0037】前記レンズプレート6 は、例えば結晶化ガ
ラスや石英等の発光ダイオード素子アレイ3 が実装され
る第1基板2 と同じ材質で形成されており、レンズプレ
ート6 を第1基板2 と同じ材質で形成しておくと画像形
成装置として使用に供した際、レンズプレート6 と第1
基板2 の両者に熱が印加されてもレンズプレート6 と第
1基板2 とは略同一の量だけ熱膨張してレンズプレート
6 に支持されている各レンズ7 と第1基板2 に実装され
ている各発光ダイオード素子アレイ3 との間に位置ズレ
が発生することはなく、その結果、各発光ダイオード素
子3aが発する光はレンズ7 を介して感光体P 面に正確、
且つ鮮明に結像し、感光体P により高品質の潜像を形成
させることが可能となる。The lens plate 6 is formed of the same material as the first substrate 2 on which the light emitting diode element array 3 is mounted, such as crystallized glass or quartz. When used as an image forming apparatus, the lens plate 6 and the first
Even if heat is applied to both of the substrates 2, the lens plate 6 and the first substrate 2 thermally expand by substantially the same amount and the lens plate 6
There is no displacement between each lens 7 supported by 6 and each light emitting diode element array 3 mounted on the first substrate 2, and as a result, the light emitted from each light emitting diode element 3a Accurately on the photoconductor P surface via lens 7,
In addition, a clear image is formed, and a high-quality latent image can be formed by the photoconductor P.
【0038】また前記レンズプレート6 に支持された各
レンズ7 は各発光ダイオード素子3aが発する光を感光体
P 面に照射させる作用を為し、アクリル樹脂やポリカー
ボネート樹脂等の透明樹脂、或いはガラス等の透明無機
物で形成されたレンズが好適に使用される。Each of the lenses 7 supported on the lens plate 6 receives light emitted from each of the light emitting diode elements 3a.
A lens formed of a transparent resin such as an acrylic resin or a polycarbonate resin or a transparent inorganic material such as a glass, which has a function of irradiating the P-plane, is preferably used.
【0039】尚、前記各レンズ7 はその外表面の一部を
レンズプレート6 にエポキシ樹脂系の弾性接着剤を介し
接着することによってレンズプレート6 に所定間隔で直
線状に接着される。Each lens 7 is linearly bonded to the lens plate 6 at predetermined intervals by bonding a part of the outer surface of the lens 7 to the lens plate 6 via an epoxy resin-based elastic adhesive.
【0040】更に前記画像素子部材1 及びレンズ部材5
はその各々を一対の支持体8 、8 に固定させることによ
って各発光ダイオード素子アレイ3 と各レンズ7 とが所
定距離を隔てて1 対1 に対応するように併設されてい
る。Further, the image element member 1 and the lens member 5
By fixing each of them to a pair of supports 8, 8, each light emitting diode element array 3 and each lens 7 are provided side by side so as to correspond one to one with a predetermined distance.
【0041】前記一対の支持体8 、8 はその上部に第 1
の基準面8aを、下部に第2 の基準面8bを有しており、支
持体8 の第1 基準面8aにレンズ部材5 のレンズプレート
6 を、支持体8 の第2 基準面8bに画像素子部材1 の第1
基板2 を当接固定させることによって各発光ダイオード
素子アレイ3 と各レンズ7 とは間に所定距離を隔てて1
対1 に対応するようになっている。この場合、支持体8
の第2 基準面8bに当接される画像素子部材1 の第1基板
2 を酸化アルミニウム質焼結体等の変形を発生し難い高
剛性の材質で形成しておくと支持体8 に画像素子部材1
を固定させる際等において第1基板2 に外力や熱応力が
印加されても第1基板2 には反りやねじれ等の変形が発
生することはなく、その結果、第1基板2 に実装されて
いる各発光ダイオード素子アレイ3 を常に各レンズ7 に
正確に対向させることができる。The pair of supports 8, 8 are provided with a first
And a second reference surface 8b at the bottom, and a first reference surface 8a of the support 8 has a lens plate 5
6 on the second reference surface 8b of the support 8
By fixing the substrate 2 in contact, each light emitting diode element array 3 and each lens 7 are separated from each other by a predetermined distance.
It corresponds to one-to-one. In this case, the support 8
Of the image element member 1 contacting the second reference surface 8b of the first substrate
2 is made of a highly rigid material such as an aluminum oxide sintered body which is unlikely to be deformed.
Even when external force or thermal stress is applied to the first substrate 2 when fixing the first substrate 2, the first substrate 2 does not deform such as warping or twisting. As a result, the first substrate 2 is mounted on the first substrate 2. Each of the light emitting diode element arrays 3 can always accurately face each lens 7.
【0042】かくして、本発明の画像装置によれば画像
素子部材1 の各発光ダイオード素子3aに所定の電力を印
加して各発光ダイオード素子3aを個別に選択的に発光さ
せ、該各発光ダイオード素子3aが発光した光をレンズ部
材5 のレンズ7 を介して外部の感光体P 面に結像させ、
感光体P に所定の潜像を形成することによって画像形成
装置として機能する。Thus, according to the image apparatus of the present invention, a predetermined power is applied to each of the light emitting diode elements 3a of the image element member 1 to cause each of the light emitting diode elements 3a to selectively emit light individually. The light emitted by 3a is imaged on the external photoconductor P surface via the lens 7 of the lens member 5,
By forming a predetermined latent image on the photoconductor P, it functions as an image forming apparatus.
【0043】尚、本発明は上述の実施例に限定されもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々
の変更は可能であり、例えば画像素子部材1 とレンズ部
材5との間で、且つ隣接する発光ダイオード素子アレイ3
間に遮光板9 を配しておくと、各発光ダイオード素子
アレイ3 の発光ダイオード素子3aが発する光は隣接する
発光ダイオード素子アレイ3 側に漏れようとしてもその
漏れは前記遮光板9 で完全に遮断され、その結果、各発
光ダイオード素子アレイ3 の発光ダイオード素子3aが発
する光はそれに1 対1 で対応するレンズ7 を介してのみ
感光体P に照射結像され、感光体P には不要な光の照射
によるにじみ等が皆無となって、極めて鮮明な潜像を形
成することが可能となる。従って、前記画像素子部材1
とレンズ部材5 との間で、且つ隣接する発光ダイオード
素子アレイ3 間には遮光板9 を配しておくことが好まし
い。It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various changes can be made without departing from the scope of the present invention. For example, the distance between the image element member 1 and the lens member 5 can be changed. And adjacent light emitting diode element array 3
If the light-shielding plate 9 is arranged between the light-emitting diodes 3, the light emitted from the light-emitting diode elements 3a of each of the light-emitting diode element arrays 3 will leak to the adjacent light-emitting diode element array 3 even if the light is completely leaked by the light-shielding plate 9. As a result, the light emitted from the light emitting diode elements 3a of each light emitting diode element array 3 is irradiated and imaged on the photoconductor P only through the corresponding lens 7 on a one-to-one basis, and is unnecessary for the photoconductor P. There is no bleeding or the like due to light irradiation, and an extremely clear latent image can be formed. Therefore, the image element member 1
Preferably, a light-shielding plate 9 is provided between the light-emitting diode element array 3 and the lens member 5 and between adjacent light-emitting diode element arrays 3.
【0044】また上述の実施例ではレンズ部材5 として
複数個の穴6aが直線状に配列形成されているレンズプレ
ート6 に複数個のレンズ7 を接着固定させたものを使用
したが、これを棒状セルフフォーカシングレンズを多数
配列させた、所謂、セルフォックレンズに変えてもよ
い。In the above-described embodiment, a lens member 5 is used in which a plurality of lenses 7 are bonded and fixed to a lens plate 6 in which a plurality of holes 6a are linearly arranged. It may be changed to a so-called selfoc lens in which a number of self-focusing lenses are arranged.
【0045】更に上述の実施例では光プリンタヘッド等
の画像形成装置に使用する場合を例に採って説明した
が、発光ダイオード素子アレイを固体撮像素子アレイに
変えてイメージセンサ等の画像読み取り装置にも使用可
能である。Further, in the above-described embodiment, the case where the present invention is used for an image forming apparatus such as an optical printer head has been described as an example. However, the light emitting diode element array is changed to a solid-state image sensor array and the image reading apparatus such as an image sensor is used. Can also be used.
【0046】[0046]
【発明の効果】本発明の画像装置によれば、画像素子ア
レイの個別電極を第2基板に設けた個別電極配線にフリ
ップチップ接続により電気的接続したことから各画像素
子アレイの個別電極が数千あるとしてもその全てが第2
基板の個別電極配線に一度に、且つ強固に電気的接続さ
れることとなり、その結果、画像装置の生産性及び信頼
性が極めて優れたものとなる。According to the image device of the present invention, the individual electrodes of the image element array are electrically connected to the individual electrode wirings provided on the second substrate by flip-chip connection. Even if there are a thousand, all of them are second
The individual electrode wirings of the substrate are electrically connected at once and firmly, and as a result, the productivity and reliability of the image device become extremely excellent.
【0047】また本発明の画像装置によれば、第2基板
の窓部を、2枚の基板を間に所定間隙(例えば、100 μ
m)を形成するよう平行に配置させることによって形成し
たことから、窓部を極めて高精度に、且つ簡単に形成す
ることができ、これによっても画像装置の生産性及び歩
留まりが極めて優れたものとなる。According to the image apparatus of the present invention, the window of the second substrate is provided with a predetermined gap (for example, 100 μm) between the two substrates.
m) is formed by arranging the windows in parallel, so that the windows can be formed with extremely high precision and easily, which also makes the productivity and yield of the image apparatus extremely excellent. Become.
【0048】更に本発明の画像装置によれば、第2基板
の窓部となる2枚の基板間の間隙内に透明接着剤が充填
されていることから間隙(窓部)の幅が常に一定とな
り、その結果、画像素子アレイの個別電極を第2基板に
設けた個別電極配線に正確にフリップチップ接続するこ
とができるとともにこの画像装置を光プリンタヘッド等
の画像形成装置に使用した場合、発光ダイオード素子が
発する光をレンズを介して感光体面に正確に照射し、感
光体に画像品質の高い潜像を形成することができ、また
イメージセンサ等の画像読み取り装置等に使用した場合
には外部画像情報をレンズを介して固体撮像素子アレイ
に正確に結像させ、固体撮像素子アレイに外部画像情報
に対応する正確な電気信号を発生させることができる。Further, according to the image apparatus of the present invention, since the transparent adhesive is filled in the gap between the two substrates serving as the windows of the second substrate, the width of the gap (window) is always constant. As a result, the individual electrodes of the image element array can be accurately flip-chip connected to the individual electrode wirings provided on the second substrate, and when this image device is used in an image forming apparatus such as an optical printer head, the light emission occurs. The light emitted from the diode element can be accurately irradiated on the surface of the photoreceptor via a lens to form a latent image with high image quality on the photoreceptor. The image information can be accurately formed on the solid-state imaging device array via the lens, and the solid-state imaging device array can generate an accurate electric signal corresponding to the external image information.
【図1】本発明の画像装置を画像形成装置としての光プ
リンタヘッドに採用した場合の一実施例を示す断面図で
ある。FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an embodiment in which an image forming apparatus according to the present invention is applied to an optical printer head as an image forming apparatus.
【図2】図1のXーX線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line XX of FIG.
【図3】図1に示す画像装置の画像素子部材を説明する
ための要部拡大断面図である。FIG. 3 is an enlarged sectional view of a main part for describing an image element member of the image device shown in FIG.
【図4】図1に示す画像装置の第2基板の平面図であ
る。FIG. 4 is a plan view of a second substrate of the image device shown in FIG.
1・・・・画像素子部材 2・・・・第1基板 2a・・・共通電極配線 3・・・・発光ダイオード素子アレイ 3a・・・発光ダイオード素子 4・・・・第2基板 4a・・・窓部 4b・・・個別電極配線 5・・・・レンズ部材 6・・・・レンズプレート 7・・・・レンズ 31・・・共通電極 32・・・個別電極 41・・・第2基板となる基板 42・・・透明接着剤 S・・・・半田 1 ... image element member 2 ... first substrate 2a ... common electrode wiring 3 ... light emitting diode element array 3a ... light emitting diode element 4 ... second substrate 4a ... Window 4b Individual electrode wiring 5 Lens member 6 Lens plate 7 Lens 31 Common electrode 32 Individual electrode 41 Second substrate Substrate 42: transparent adhesive S: solder
Claims (1)
数の画像素子アレイを有する画像素子部材とを併設固定
させて成る画像装置であって、前記画像素子部材は共通
電極配線を有する第1基板と、個別電極配線及び窓部を
有する第2基板との間に複数個の画像素子アレイを、該
画像素子アレイの受発光部が窓部と対向するように配す
るとともに各画像素子アレイの共通電極を第1基板の共
通電極配線に接続し、個別電極を第2基板の個別電極配
線にフリップチップ接続により接続させて形成され、且
つ前記第2基板は2枚の基板を間に窓部となる間隙を設
けて配置させるとともに該間隙内に充填された透明接着
剤で接着することによって形成されていることを特徴と
する画像装置。1. An image apparatus comprising: a lens member comprising a plurality of lenses; and an image element member having a large number of image element arrays. The image element member has a first electrode having a common electrode wiring. A plurality of image element arrays are arranged between the substrate and the second substrate having the individual electrode wiring and the window so that the light emitting / receiving portion of the image element array faces the window, and The common electrode is formed by connecting the common electrode to the common electrode wiring of the first substrate, and the individual electrode is connected to the individual electrode wiring of the second substrate by flip-chip connection, and the second substrate has a window between the two substrates. The image device is formed by arranging and providing a gap as follows and bonding with a transparent adhesive filled in the gap.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP5317760A JP2892266B2 (en) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | Imaging device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP5317760A JP2892266B2 (en) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | Imaging device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07177301A JPH07177301A (en) | 1995-07-14 |
JP2892266B2 true JP2892266B2 (en) | 1999-05-17 |
Family
ID=18091743
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|
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