JP2889976B2 - Polyimide film and method for producing the same - Google Patents

Polyimide film and method for producing the same

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JP2889976B2
JP2889976B2 JP4057337A JP5733792A JP2889976B2 JP 2889976 B2 JP2889976 B2 JP 2889976B2 JP 4057337 A JP4057337 A JP 4057337A JP 5733792 A JP5733792 A JP 5733792A JP 2889976 B2 JP2889976 B2 JP 2889976B2
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polyimide
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はポリイミドフィルムに関
し、特に接着性が改良されたポリイミドフィルムに関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polyimide film, and more particularly to a polyimide film having improved adhesion.

【0002】[0002]

【従来の技術】ポリイミドフィルムは耐熱性、耐寒性、
耐薬品性、電気絶縁性、機械的強度などの優れた諸特性
を有することが知られており、電線の電気絶縁材、断熱
材、フレキシブルプリント配線板(FPC)のベースフ
ィルム、ICのテープオートメーティッドボンディング
(TAB)用キャリアテープのベースフィルム、ICの
リードフレーム固定用テープなどに広く利用されてい
る。このうち、FPC、TAB用キャリアテープ、リー
ドフレーム固定用テープなどの用途においては、通常、
種々の接着剤を介してポリイミドフィルムと銅箔とが接
着されて用いられている。ところが、ポリイミドフィル
ムはその化学構造及び高度な耐薬品(溶剤)安定性によ
り、銅箔との接着性が不十分な場合が多いことから、現
状ではポリイミドフィルムに後処理として各種の表面処
理(たとえばアルカリ処理、カップリング剤塗布処理、
サンドブラスト処理、コロナ放電処理、プラズマ処理な
ど)を施した後、接着している。
2. Description of the Related Art Polyimide film has heat resistance, cold resistance,
It is known to have excellent properties such as chemical resistance, electrical insulation, and mechanical strength. It is known as an electrical insulating material for electric wires, a heat insulating material, a base film for a flexible printed wiring board (FPC), and an IC tape auto manufacturer. It is widely used as a base film for carrier tapes for tied bonding (TAB), tapes for fixing lead frames of ICs, and the like. Of these, in applications such as FPC, TAB carrier tape, and lead frame fixing tape,
A polyimide film and a copper foil are used by being bonded via various adhesives. However, polyimide films often have insufficient adhesion to copper foils due to their chemical structure and high chemical resistance (solvent) stability. At present, various surface treatments (for example, Alkali treatment, coupling agent application treatment,
After performing sandblasting, corona discharge treatment, plasma treatment, etc., they are adhered.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ポリイミドフィルムの
表面処理におけるたとえばアルカリ処理、カップリング
剤塗布処理、サンドブラスト処理などはフィルムの製膜
後、アルカリ処理などの各処理を施した後、更に、洗
浄、乾燥などの別工程を要することから、生産性、安定
性、コストの面だけでなく、環境保全面でも問題を含ん
でいる。一方、コロナ放電処理、プラズマ処理は従来、
紙、プラスチックスなどの表面への印刷性を改善するこ
とを中心に行われて来たものである。そして、周知のご
とく、その装置の簡便さからフィルム製膜装置への組み
込み(インライン化)も可能であり、前述の後処理に比
較し有利な処理である。
In the surface treatment of a polyimide film, for example, an alkali treatment, a coupling agent coating treatment, a sand blasting treatment, etc. are performed after the film is formed, and after each treatment such as an alkali treatment, further washing, Since a separate process such as drying is required, problems are involved not only in terms of productivity, stability and cost, but also in terms of environmental conservation. On the other hand, corona discharge treatment and plasma treatment
It has been mainly performed to improve printability on the surface of paper, plastics, and the like. As is well known, the apparatus can be incorporated (in-line) into a film forming apparatus because of the simplicity of the apparatus, which is an advantageous processing as compared with the above-described post-processing.

【0004】このため、本発明者らはポリイミドフィル
ムに対する接着性を改善するためにコロナ放電処理を検
討した結果、原料の異なる種々のポリイミドフィルムに
おいて、コロナ放電処理により若干の接着性の改善が認
められた。しかし、接着剤としてポリイミド系の接着剤
を用いた場合には接着性の改善は全く認められず、実用
的な処理として問題のあることを見出した。
[0004] Therefore, the present inventors have studied corona discharge treatment to improve the adhesiveness to the polyimide film. As a result, it has been found that the corona discharge treatment slightly improves the adhesiveness of various polyimide films made of different raw materials. Was done. However, when a polyimide-based adhesive was used as the adhesive, no improvement in adhesiveness was observed at all, and it was found that there was a problem as a practical treatment.

【0005】更に、本発明者らはポリイミドフィルムに
対する接着性を改善するためにプラズマ処理を検討した
結果、通常のポリイミドフィルム、すなわちピロメリッ
ト酸二無水物と4、4′−ジアミノジフェニルエーテル
とを原料とするポリイミドフィルム、及びビフェニルテ
トラカルボン酸二無水物とパラフェニレンジアミンとを
原料とするポリイミドフィルムなどにおいては、プラズ
マ処理をすることにより若干、接着性が改善するのが認
められた。しかし、同様に、接着剤としてポリイミド系
の接着剤を用いた場合には接着性の改善は全く認められ
ず、実用的な処理として問題のあることを見出した。
Further, the present inventors have studied a plasma treatment to improve the adhesiveness to a polyimide film. As a result, a conventional polyimide film, ie, pyromellitic dianhydride and 4,4'-diaminodiphenyl ether were used as raw materials. In the case of the polyimide film described above, and the polyimide film using biphenyltetracarboxylic dianhydride and paraphenylenediamine as raw materials, it was observed that the plasma treatment slightly improved the adhesiveness. However, similarly, when a polyimide-based adhesive was used as the adhesive, no improvement in adhesiveness was observed at all, and it was found that there was a problem as a practical treatment.

【0006】そこで、本発明者らは上記問題を解決する
ために鋭意研究を重ねた結果、ある特定の構造単位を有
するポリイミドフィルムにプラズマ処理を施すことによ
り、実用的に充分な接着性の改善されたポリイミドフィ
ルムを提供できることを見出し、本発明に至ったのであ
る。
Accordingly, the present inventors have conducted intensive studies in order to solve the above-mentioned problems, and as a result, by applying a plasma treatment to a polyimide film having a specific structural unit, a practically sufficient adhesive property is improved. The inventors have found that a polyimide film can be provided, and have reached the present invention.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明に係るポリイミド
フィルムの要旨とするところは、一般式(1) 化3と一般
式(2) 化4とにより表される構造単位を1分子中に有す
るポリイミドにより成形されたフィルムにプラズマ処理
が施されていることにある。
Means for Solving the Problems The gist of the polyimide film according to the present invention is that the polyimide film has the structural units represented by the general formulas (1) and (2) in one molecule. That is, a film formed of polyimide is subjected to plasma processing.

【化3】 Embedded image

【化4】 (式中、Rは4価の有機基である。)Embedded image (In the formula, R is a tetravalent organic group.)

【0008】かかる本発明のポリイミドフィルムにおい
て、前記プラズマ処理における雰囲気ガスがテトラフル
オルメタン、酸素、窒素、アルゴン、二酸化炭素及びこ
れらの混合気体から選ばれたガスであることにある。
[0008] In the polyimide film of the present invention, the atmosphere gas in the plasma treatment is a gas selected from tetrafluoromethane, oxygen, nitrogen, argon, carbon dioxide and a mixed gas thereof.

【0009】次に、本発明に係るポリイミドフィルムの
製造方法の要旨とするところは、有機テトラカルボン酸
二無水物と、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル及
びパラフェニレンジアミンとから生成されるポリアミド
酸をフィルム状に成形するとともにポリイミドに転化さ
せてポリイミドフィルムを製造した後、該ポリイミドフ
ィルムにプラズマ処理を施すことにある。
Next, the gist of the method for producing a polyimide film according to the present invention is that a polyamic acid produced from an organic tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine is used. After forming into a film and converting it into polyimide to produce a polyimide film, the polyimide film is subjected to a plasma treatment.

【0010】また、かかるポリイミドフィルムの製造方
法において、前記4,4′−ジアミノジフェニルエーテ
ルとパラフェニレンジアミンとの添加割合がモル比で1
0:1〜1:5、より好ましくは5:1〜1:1である
ことにある。
In the method for producing a polyimide film, the addition ratio of 4,4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine is 1 to 1 in molar ratio.
0: 1 to 1: 5, more preferably 5: 1 to 1: 1.

【0011】[0011]

【作用】本発明者らは上記のある特定の分子構造を有す
るポリイミドフィルムにプラズマ処理を施すことによ
り、高接着性のフィルムを得ることを見出したのであ
る。しかし、そのメカニズムは必ずしも明確ではなく、
本発明で用いた特定の分子構造を有するポリイミドフィ
ルムの表面が他の分子構造のポリイミドフィルムと比較
し、その特殊な分子構造を有することに起因してプラズ
マ処理によって改質され易いことにより、本発明の効果
が奏されるものと推定される。
The present inventors have found that a film having high adhesiveness can be obtained by subjecting the above-mentioned polyimide film having a specific molecular structure to plasma treatment. However, the mechanism is not always clear,
The surface of the polyimide film having a specific molecular structure used in the present invention is easily modified by plasma treatment due to having the special molecular structure as compared with the polyimide film having another molecular structure. It is presumed that the effects of the invention are exhibited.

【0012】かかる本発明のポリイミドフィルムは有機
テトラカルボン酸二無水物と、4,4′−ジアミノジフ
ェニルエーテル及びパラフェニレンジアミンとから生成
されるポリアミド酸を転化させて得られる。ここで、
4,4′−ジアミノジフェニルエーテルとパラフェニレ
ンジアミンの添加割合は任意に設定し得るものである
が、好ましくはモル比で10:1〜1:5、より好まし
くは5:1〜1:1であるのが好ましい。本発明に係る
ポリイミドフィルムが用いられる一例であるフレキシブ
ルプリント配線板などにおいては、曲げて使用する時、
硬すぎず且つ柔らかすぎないフィルムが好ましい。一
方、パラフェニレンジアミンの添加割合が多いとポリイ
ミドフィルムは硬くなり、逆に少なくなるとポリイミド
フィルムは柔らかくなる。したがって、かかる添加割合
の範囲にあるとき、上記条件に適合したポリイミドフィ
ルムを得ることができる。
The polyimide film of the present invention is obtained by converting a polyamic acid formed from an organic tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine. here,
The addition ratio of 4,4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine can be arbitrarily set, but is preferably from 10: 1 to 1: 5, more preferably from 5: 1 to 1: 1 in molar ratio. Is preferred. In a flexible printed wiring board or the like which is an example in which the polyimide film according to the present invention is used, when used by bending,
Films that are not too hard and not too soft are preferred. On the other hand, the higher the proportion of paraphenylenediamine, the harder the polyimide film, and the lower the proportion, the softer the polyimide film. Therefore, when the ratio is within the above range, a polyimide film meeting the above conditions can be obtained.

【0013】[0013]

【実施例】次に、本発明に係るポリイミドフィルムの実
施例を詳細に説明する。本発明において、先ず、プラズ
マ処理に供するポリイミドフィルムは、一般式(3) 化5
Next, examples of the polyimide film according to the present invention will be described in detail. In the present invention, first, the polyimide film to be subjected to the plasma treatment has the general formula (3):

【化5】 (式中、Rは4価の有機基である。)で表されるたとえ
ばピロメリット酸二無水物などの有機テトラカルボン酸
二無水物と、4,4′−ジアミノジフェニルエーテル及
びパラフェニレンジアミンとを原料として用いることに
より得られる一般式(1) と一般式(2) とで表される構造
単位を1分子中に有するポリイミドフィルムである。す
なわち、かかるポリイミドフィルムは、有機ジアミンで
ある4,4′−ジアミノジフェニルエーテル及びパラフ
ェニレンジアミンを有機溶媒に溶解させた溶液と、一般
式(3) で表される有機テトラカルボン酸二無水物とを反
応させて得られたポリイミド前駆体であるポリアミド酸
の有機溶媒溶液を公知の製膜法によりフィルム状に成形
した後、公知のポリアミド酸重合法により脱水閉環させ
て得られる。
Embedded image (In the formula, R is a tetravalent organic group.) An organic tetracarboxylic dianhydride such as pyromellitic dianhydride, and 4,4′-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine are represented by the following formula: This is a polyimide film having a structural unit represented by the general formula (1) and the general formula (2) in one molecule obtained by using it as a raw material. That is, such a polyimide film is obtained by dissolving a solution in which organic diamine 4,4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine are dissolved in an organic solvent, and an organic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (3). An organic solvent solution of a polyamic acid, which is a polyimide precursor obtained by the reaction, is formed into a film by a known film-forming method, and is then dehydrated and closed by a known polyamic acid polymerization method.

【0014】ここで、一般式(1) 、一般式(2) 及び一般
式(3) 中の4価の有機基Rは脂肪族基又は化6
Here, the tetravalent organic group R in the general formulas (1), (2) and (3) is an aliphatic group or

【化6】 (式中、R1 及びR2 はそれぞれ水素原子又はメチル基
である。)から選ばれる有機基である。
Embedded image Wherein R 1 and R 2 are each a hydrogen atom or a methyl group.

【0015】また、上記一般式(3) で表される有機テト
ラカルボン酸二無水物の具体例として、ピロメリット酸
二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン
酸二無水物、3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物、3,3′,4,4′−ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレン−1,2,
5,6−テトラカルボン酸二無水物、2,2′,3,
3′−ジフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,
5,6−ピリジンテトラカルボン酸二無水物、2,2−
ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水
物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二
無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸
二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エー
テル二無水物、1,2,4,5−ナフタレンテトラカル
ボン酸二無水物、1,2,5,8−ナフタレンテトラカ
ルボン酸二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキ
シフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(2,3
−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビ
ス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、
ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水
物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無
水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン
二無水物、ベンゼン−1,2,3,4−テトラカルボン
酸二無水物、3,4,3′,4′−ベンゾフェノンテト
ラカルボン酸二無水物などの他、これらの2種以上の混
合物が挙げられる。それらのうちでは特にピロメリット
酸二無水物などが好ましい。
Specific examples of the organic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (3) include pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,2
5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3
3'-diphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3
5,6-pyridinetetracarboxylic dianhydride, 2,2-
Bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, bis (3 4-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 1,2,4,5-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (2 , 3-Dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,3
-Dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride,
Bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, benzene-1,2 And 3,3,4-tetracarboxylic dianhydride, 3,4,3 ', 4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, and a mixture of two or more of these. Among them, pyromellitic dianhydride is particularly preferable.

【0016】有機ジアミンのうち本発明に用いられる
4,4′−ジアミノジフェニルエーテル又はパラフェニ
レンジアミンは有機溶媒に溶解させて用いられる。4,
4′−ジアミノジフェニルエーテルとパラフェニレンジ
アミンは予めそれぞれの所定量を有機溶媒に溶解させて
おき、その溶液に有機テトラカルボン酸二無水物を添加
して、所定の粘度を有するポリアミド酸溶液を得ても良
いが、4,4′−ジアミノジフェニルエーテルとパラフ
ェニレンジアミンのうちいずれか一方を有機溶媒に溶解
させておき、この溶液に有機テトラカルボン酸二無水物
を添加して攪拌した後、他方の有機ジアミンを添加して
所定の粘度を有するポリアミド酸溶液を得るようにして
も良い。
Among the organic diamines, 4,4'-diaminodiphenyl ether or paraphenylenediamine used in the present invention is used after being dissolved in an organic solvent. 4,
A predetermined amount of each of 4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine is previously dissolved in an organic solvent, and an organic tetracarboxylic dianhydride is added to the solution to obtain a polyamic acid solution having a predetermined viscosity. Alternatively, one of 4,4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine is dissolved in an organic solvent, an organic tetracarboxylic dianhydride is added to this solution, and the mixture is stirred. A diamine may be added to obtain a polyamic acid solution having a predetermined viscosity.

【0017】ここで、4,4′−ジアミノジフェニルエ
ーテルとパラフェニレンジアミンの添加割合は特に限定
されるものではなく、少なくとも両者が添加されている
ことを要する。ただし、4,4′−ジアミノジフェニル
エーテルとパラフェニレンジアミンの添加割合は、パラ
フェニレンジアミンの添加割合が多くなるとポリイミド
フィルムは硬くなり、逆にパラフェニレンジアミンの添
加割合が少なくなるとポリイミドフィルムは柔らかくな
る。このため、ポリイミドフィルムの用途に応じて両者
の添加割合を設定するのが好ましい。たとえば、得られ
たポリイミドフィルムをフレキシブルプリント配線板な
どに用いる場合、フィルムの特性として硬すぎず且つ柔
らかすぎないのが好ましく、かかる条件に適合するポリ
イミドフィルムを得るには、4,4′−ジアミノジフェ
ニルエーテルとパラフェニレンジアミンの添加割合が1
0:1〜1:5、より好ましくは5:1〜1:1の範囲
にあるのが好ましい。
Here, the addition ratio of 4,4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine is not particularly limited, and it is necessary that at least both are added. However, as for the addition ratio of 4,4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine, the polyimide film becomes harder when the addition ratio of paraphenylenediamine increases, and conversely, the polyimide film becomes softer when the addition ratio of paraphenylenediamine decreases. For this reason, it is preferable to set the addition ratio of both depending on the use of the polyimide film. For example, when the obtained polyimide film is used for a flexible printed wiring board or the like, it is preferable that the characteristics of the film be neither too hard nor too soft. To obtain a polyimide film that meets such conditions, it is necessary to use 4,4'-diamino. The addition ratio of diphenyl ether and paraphenylenediamine is 1
It is preferably in the range of 0: 1 to 1: 5, more preferably 5: 1 to 1: 1.

【0018】本発明に用いられる有機溶媒はたとえば、
N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセ
トアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジ
エチルアセトアミド、N,N−ジメチルメトキシアセト
アミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルホスホル
アミド、N−メチル−2−ピロリドン、ジメチルスルホ
ンなどの他、これらの2種以上の混合物、あるいはこれ
らの溶媒とベンゼン、トルエン、キシレン、ベンゾニト
リル、ジオキサン、シクロヘキサンなどとを適宜混合さ
せたものなどが挙げられる。それらのうちで、4,4′
−ジアミノジフェニルエーテル及びパラフェニレンジア
ミンに対して良好な溶媒であるとともに上記一般式(3)
で表される有機テトラカルボン酸二無水物及び生成する
ポリアミド酸に対しても良好な溶媒であることが必要で
あることから、特にN,N−ジメチルホルムアミド、
N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシ
ド、N−メチル−2−ピロリドン又はこれらの2種以上
の混合物が好ましく、更に有機極性溶媒がより好まし
い。
The organic solvent used in the present invention is, for example,
N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylformamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylmethoxyacetamide, dimethylsulfoxide, hexamethylphosphoramide, N-methyl-2 -In addition to pyrrolidone, dimethyl sulfone, and the like, a mixture of two or more of these, or a mixture of these solvents and benzene, toluene, xylene, benzonitrile, dioxane, cyclohexane, or the like as appropriate is exemplified. Among them, 4,4 '
A good solvent for diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine and the above general formula (3)
Since it is necessary that the organic tetracarboxylic acid dianhydride represented by and a generated polyamic acid be a good solvent, particularly, N, N-dimethylformamide,
N, N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, N-methyl-2-pyrrolidone or a mixture of two or more thereof is preferred, and an organic polar solvent is more preferred.

【0019】4,4′−ジアミノジフェニルエーテル及
びパラフェニレンジアミンと上記一般式(3) で表される
有機テトラカルボン酸二無水物とから得られたポリアミ
ド酸を公知の重合法により重合させてポリイミドに転化
させる。ポリアミド酸をポリイミドに転化させる方法は
たとえばポリアミド酸を加熱して脱水閉環させたり、脱
水閉環剤又は脱水閉環剤と触媒をポリアミド酸溶液に添
加して化学的に脱水閉環させたり、あるいはこれらを組
み合わせて脱水閉環させる方法が、通常用いられる。な
お、得られるポリイミドフィルムの機械的性質などを更
に改善するために、種々の添加剤をポリアミド酸溶液に
加えても良く、何ら限定されるものではない。
Polyamide acid obtained from 4,4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine and the organic tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (3) is polymerized by a known polymerization method to obtain a polyimide. Invert. Methods for converting polyamic acid to polyimide include, for example, heating polyamic acid to effect dehydration ring closure, or adding a dehydration ring closure agent or a dehydration ring closure agent and a catalyst to a polyamic acid solution to chemically dehydrate ring closure, or a combination thereof. A dehydration ring closure method is usually used. In order to further improve the mechanical properties and the like of the obtained polyimide film, various additives may be added to the polyamic acid solution, and there is no particular limitation.

【0020】ここで、脱水閉環剤としては、たとえば有
機カルボン酸無水物、N,N′−ジアルキルカルボジイ
ミド類、低級脂肪酸ハロゲン化物、ハロゲン化低級脂肪
酸ハロゲン化物、ハロゲン化低級脂肪酸無水物、アリル
ホスホン酸ジハロゲン化物などの他、これらの混合物が
挙げられる。それらのうちでは特に無水酢酸が好まし
く、その他好ましい脱水閉環剤としてはケテンや安息香
酸無水物などが挙げられる。また、触媒としては、ピリ
ジン、イソキノリン又は第三級アミン類が挙げられる。
その具体例として、3,4−ルチジン、3,5−ルチジ
ン、4−メチルピリジン、4−イソプロピルピリジン、
N−ジメチルベンジルアミン、4−ベンジルピリジン又
は4−ジメチルドデシルアミン、ピコリン類、トリエチ
ルアミンなどが挙げられる。それらのうちではイソキノ
リンが特に好ましい。
Examples of the dehydrating ring-closing agent include organic carboxylic acid anhydrides, N, N'-dialkylcarbodiimides, lower fatty acid halides, halogenated lower fatty acid halides, halogenated lower fatty acid anhydrides, allylphosphonic acid In addition to dihalides and the like, mixtures thereof can be mentioned. Among them, acetic anhydride is particularly preferable, and other preferable dehydration ring-closing agents include ketene and benzoic anhydride. Examples of the catalyst include pyridine, isoquinoline and tertiary amines.
Specific examples thereof include 3,4-lutidine, 3,5-lutidine, 4-methylpyridine, 4-isopropylpyridine,
N-dimethylbenzylamine, 4-benzylpyridine or 4-dimethyldodecylamine, picolines, triethylamine and the like can be mentioned. Among them, isoquinoline is particularly preferred.

【0021】得られたポリイミド前駆体であるポリアミ
ド酸の溶液は粘性が高いことから、通常キャスティング
ドラムあるいはエンドレスベルトの上にポリアミド酸溶
液をフィルム状に押出しあるいは流延塗布し、そのドラ
ム又はベルトの上で脱水閉環させてポリイミドに転化さ
せる。ポリイミドに転化させられたフィルムを少なくと
も自己支持性を備える程度に硬化させた後、そのポリイ
ミドフィルムをドラムあるいはベルトから剥離して、ポ
リイミドフィルムを製造する。製造されたポリイミドフ
ィルムは更に必要に応じて熱処理などが施され、安定な
ポリイミドフィルムにして、用いられる。
Since the obtained solution of the polyamic acid as the polyimide precursor has a high viscosity, the polyamic acid solution is usually extruded or cast onto a casting drum or an endless belt to form a film. The above is subjected to dehydration ring closure to convert to polyimide. After curing the film converted to polyimide to at least a degree having self-supporting property, the polyimide film is peeled off from a drum or a belt to produce a polyimide film. The manufactured polyimide film is further subjected to a heat treatment or the like, if necessary, to be used as a stable polyimide film.

【0022】次に、本発明におけるプラズマ処理の方法
はグロー放電などの公知の方法が採用される。また、プ
ラズマ処理の条件は任意に選択することが可能である
が、グロー放電によるプラズマ処理の場合、放電出力2
0〜2000W・min/m2 、圧力1Torr以下が好まし
い。プラズマ処理の雰囲気ガスも任意に選択することが
可能であるが、好ましくはテトラフルオルメタンCF4
酸素、窒素、アルゴン、二酸化炭素又はこれらの2種以
上の混合気体など、非反応性ガスあるいは反応性ガスが
採用される。プラズマ処理はポリイミドフィルムの片面
にのみ施しても良いが、両面に施しておいても良く、何
ら限定されない。また、プラズマ処理を施した後、ポリ
イミドフィルムに帯電した静電気を除去するように、静
電気とは逆極性のイオンをフィルム表面に当てても良
い。
Next, a known method such as a glow discharge is employed as a plasma processing method in the present invention. The condition of the plasma processing can be arbitrarily selected.
The pressure is preferably 0 to 2000 W · min / m 2 and the pressure is 1 Torr or less. The atmosphere gas for the plasma treatment can also be arbitrarily selected, but is preferably tetrafluoromethane CF 4 ,
A non-reactive gas or a reactive gas such as oxygen, nitrogen, argon, carbon dioxide, or a mixed gas of two or more thereof is employed. The plasma treatment may be performed only on one side of the polyimide film, but may be performed on both sides, and there is no limitation. After the plasma treatment, ions of the opposite polarity to the static electricity may be applied to the film surface so as to remove the static electricity charged on the polyimide film.

【0023】次に、本発明を実施例により具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。
Next, the present invention will be described specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0024】実施例におけるポリアミド酸の粘度はB型
粘度計での測定による。また、本発明における接着強度
はIPC−FC−241Aの方法に基づき、ポリイミド
フィルムと銅箔とを公知の熱可塑性ポリイミド接着剤で
接着し、硬質板上にフィルム面を固定し測定した。
The viscosity of the polyamic acid in the examples is measured by a B-type viscometer. Further, the adhesive strength in the present invention was measured by bonding a polyimide film and a copper foil with a known thermoplastic polyimide adhesive based on the method of IPC-FC-241A and fixing the film surface on a hard plate.

【0025】実施例 1 N,N−ジメチルホルムアミド815gにODA(4,
4′−ジアミノジフェニルエーテル)70.28gを溶
解し、これにPMDA(ピロメリット酸二無水物)10
2.07gを添加して1時間攪拌した後、p−PDA
(パラフェニレンジアミン)約12.65gを加え、粘
度を2500poise に調整したポリアミド酸溶液を得
た。添加した有機ジアミンのモル比はODA:p−PD
A=3:1である。このポリアミド酸溶液を用い、公知
の方法により厚み25μmのポリイミドフィルムを得
た。
Example 1 815 g of N, N-dimethylformamide was added to ODA (4,4).
70.28 g of 4'-diaminodiphenyl ether) was dissolved, and PMDA (pyromellitic dianhydride) 10
After adding 2.07 g and stirring for 1 hour, p-PDA was added.
About 12.65 g of (paraphenylenediamine) was added to obtain a polyamic acid solution whose viscosity was adjusted to 2500 poise. The molar ratio of the added organic diamine is ODA: p-PD
A = 3: 1. Using this polyamic acid solution, a 25 μm-thick polyimide film was obtained by a known method.

【0026】得られたポリイミドフィルムにプラズマ処
理を、気圧10-1Torr、アルゴン雰囲気下で放電出力1
000W・min/m2 のグロー放電により施した。得られ
たフィルムの接着強度は表1に示す通りであった。
The obtained polyimide film was subjected to a plasma treatment under a pressure of 10 -1 Torr and an argon output in an argon atmosphere.
Glow discharge of 000 W · min / m 2 was performed. The adhesive strength of the obtained film was as shown in Table 1.

【0027】実施例 2 N,N−ジメチルホルムアミド815gにODA(4,
4′−ジアミノジフェニルエーテル)63.70gを溶
解し、これにPMDA(ピロメリット酸二無水物)10
4.09gを添加して1時間攪拌した後、p−PDA
(パラフェニレンジアミン)約17.20gを加え、粘
度を2500poise に調整したポリアミド酸溶液を得
た。添加した有機ジアミンのモル比はODA:p−PD
A=2:1である。このポリアミド酸溶液を用い、公知
の方法により厚み25μmのポリイミドフィルムを得
た。
Example 2 815 g of N, N-dimethylformamide was added to ODA (4,4).
63.70 g of 4'-diaminodiphenyl ether) was dissolved therein, and PMDA (pyromellitic dianhydride) 10
After adding 4.09 g and stirring for 1 hour, p-PDA was added.
Approximately 17.20 g of (paraphenylenediamine) was added to obtain a polyamic acid solution whose viscosity was adjusted to 2500 poise. The molar ratio of the added organic diamine is ODA: p-PD
A = 2: 1. Using this polyamic acid solution, a 25 μm-thick polyimide film was obtained by a known method.

【0028】得られたポリイミドフィルムにプラズマ処
理を、気圧10-1Torr、アルゴン雰囲気下で放電出力1
000W・min/m2 のグロー放電により施した。得られ
たフィルムの接着強度は表1に示す通りであった。
The obtained polyimide film was subjected to a plasma treatment under a pressure of 10 -1 Torr under an argon atmosphere with a discharge output of 1.
Glow discharge of 000 W · min / m 2 was performed. The adhesive strength of the obtained film was as shown in Table 1.

【表1】 [Table 1]

【0029】比較例 1 実施例1と同様にして、厚み25μmのポリイミドフィ
ルムを得た。但し、プラズマ処理は施さなかった。得ら
れたフィルムの接着強度は表1に示す通りであり、実施
例1と比較して大幅に劣っていた。
Comparative Example 1 A polyimide film having a thickness of 25 μm was obtained in the same manner as in Example 1. However, no plasma treatment was performed. The adhesive strength of the obtained film was as shown in Table 1, and was significantly inferior to Example 1.

【0030】比較例 2 実施例2と同様にして、厚み25μmのポリイミドフィ
ルムを得た。但し、プラズマ処理は施さなかった。得ら
れたフィルムの接着強度は表1に示す通りであり、実施
例2と比較して大幅に劣っていた。
Comparative Example 2 In the same manner as in Example 2, a polyimide film having a thickness of 25 μm was obtained. However, no plasma treatment was performed. The adhesive strength of the obtained film was as shown in Table 1, and was significantly inferior to Example 2.

【0031】比較例 3 N,N−ジメチルホルムアミド815gにODA(4,
4′−ジアミノジフェニルエーテル)88.37gを溶
解し、これにPMDA(ピロメリット酸二無水物)9
4.33gを添加して、粘度を2500poise に調整し
たポリアミド酸溶液を得た。このポリアミド酸溶液を用
い、公知の方法により厚み25μmのポリイミドフィル
ムを得た。得られたフィルムの接着強度は表1に示す通
りであった。
Comparative Example 3 815 g of N, N-dimethylformamide was added to ODA (4,
88.37 g of 4'-diaminodiphenyl ether) was dissolved therein, and PMDA (pyromellitic dianhydride) 9 was added thereto.
4.33 g was added to obtain a polyamic acid solution whose viscosity was adjusted to 2500 poise. Using this polyamic acid solution, a 25 μm-thick polyimide film was obtained by a known method. The adhesive strength of the obtained film was as shown in Table 1.

【0032】比較例 4 比較例3と同様にして、厚み25μmのポリイミドフィ
ルムを得た。得られたポリイミドフィルムにプラズマ処
理を、気圧10-1Torr、アルゴン雰囲気下で放電出力1
000W・min/m2 のグロー放電により施した。得られ
たフィルムの接着強度は表1に示す通りであった。比較
例3と比較して接着強度が若干改善されたが、p−PD
Aを添加した実施例1や実施例2と比較して接着強度が
大幅に劣っていた。
Comparative Example 4 In the same manner as in Comparative Example 3, a polyimide film having a thickness of 25 μm was obtained. The obtained polyimide film was subjected to a plasma treatment under a pressure of 10 -1 Torr and an argon atmosphere in a discharge output of 1.
Glow discharge of 000 W · min / m 2 was performed. The adhesive strength of the obtained film was as shown in Table 1. Although the adhesive strength was slightly improved as compared with Comparative Example 3, p-PD
The adhesive strength was significantly inferior to Examples 1 and 2 to which A was added.

【0033】比較例 5 N,N−ジメチルホルムアミド815gにp−PDA4
4.58gを溶解し、これにビフェニルテトラカルボン
酸二無水物129.45gを添加して、粘度を2500
poise に調整したポリアミド酸溶液を得た。このポリア
ミド酸溶液を用い、公知の方法により厚み25μmのポ
リイミドフィルムを得た。得られたフィルムの接着強度
は表1に示す通りであった。
Comparative Example 5 p-PDA4 was added to 815 g of N, N-dimethylformamide.
4.58 g was dissolved, and to this was added 129.45 g of biphenyltetracarboxylic dianhydride to increase the viscosity to 2500.
A polyamic acid solution adjusted to poise was obtained. Using this polyamic acid solution, a 25 μm-thick polyimide film was obtained by a known method. The adhesive strength of the obtained film was as shown in Table 1.

【0034】比較例 6 比較例5と同様にして、厚み25μmのポリイミドフィ
ルムを得た。得られたポリイミドフィルムにプラズマ処
理を、気圧10-1Torr、アルゴン雰囲気下で放電出力1
000W・min/m2 のグロー放電により施した。得られ
たフィルムの接着強度は表1に示す通りであった。比較
例5と比較して接着強度が若干改善されたが、ODAを
添加した実施例1や実施例2と比較して接着強度が大幅
に劣っていた。
Comparative Example 6 In the same manner as in Comparative Example 5, a polyimide film having a thickness of 25 μm was obtained. The obtained polyimide film was subjected to a plasma treatment under a pressure of 10 -1 Torr and an argon atmosphere in a discharge output of 1.
Glow discharge of 000 W · min / m 2 was performed. The adhesive strength of the obtained film was as shown in Table 1. Although the adhesive strength was slightly improved as compared with Comparative Example 5, the adhesive strength was significantly inferior as compared with Examples 1 and 2 to which ODA was added.

【0035】[0035]

【発明の効果】表1から明らかな通り、本発明によるポ
リイミドフィルムは、プラズマ処理を施さないフィルム
及び他の分子構造のポリイミドフィルムに対し、接着性
が顕著に向上する。したがって、フレキシブルプリント
配線板への用途など、広い分野で好適に使用できる。
As is clear from Table 1, the polyimide film according to the present invention has remarkably improved adhesiveness to a film not subjected to the plasma treatment and a polyimide film having another molecular structure. Therefore, it can be suitably used in a wide range of fields such as applications to flexible printed wiring boards.

【0036】また、かかるポリイミドフィルムを4,
4′−ジアミノジフェニルエーテルとパラフェニレンジ
アミンとの添加割合がモル比で10:1〜1:5、より
好ましくは5:1〜1:1の範囲に設定して製造するこ
とにより、フレキシブルプリント配線板などにとって硬
すぎず且つ柔らかすぎない最適の特性を備えたポリイミ
ドフィルムを製造することができる。
Further, such a polyimide film is
The flexible printed wiring board is manufactured by setting the molar ratio of 4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine in the range of 10: 1 to 1: 5, more preferably 5: 1 to 1: 1. It is possible to produce a polyimide film having optimal characteristics that are not too hard and not too soft for the like.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C08J 5/00 - 5/02 C08J 5/12 - 5/22 C08G 73/10 C08J 7/00 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) C08J 5/00-5/02 C08J 5/12-5/22 C08G 73/10 C08J 7/00

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 一般式(1) 化1と一般式(2) 化2とによ
り表される構造単位を1分子中に有するポリイミドによ
り成形されたフィルムにプラズマ処理が施されているこ
とを特徴とするポリイミドフィルム。 【化1】 【化2】 (式中、Rは4価の有機基である。)
1. A film formed of a polyimide having a structural unit represented by the general formula (1) and the general formula (2) in a molecule is subjected to a plasma treatment. Polyimide film. Embedded image Embedded image (In the formula, R is a tetravalent organic group.)
【請求項2】 前記プラズマ処理における雰囲気ガスが
テトラフルオルメタン、酸素、窒素、アルゴン、二酸化
炭素及びこれらの混合気体から選ばれるガスであること
を特徴とする請求項1に記載するポリイミドフィルム。
2. The polyimide film according to claim 1, wherein an atmosphere gas in the plasma treatment is a gas selected from tetrafluoromethane, oxygen, nitrogen, argon, carbon dioxide, and a mixed gas thereof.
【請求項3】 有機テトラカルボン酸二無水物と、4,
4′−ジアミノジフェニルエーテル及びパラフェニレン
ジアミンとから生成されるポリアミド酸をフィルム状に
成形するとともにポリイミドに転化させてポリイミドフ
ィルムを製造した後、該ポリイミドフィルムにプラズマ
処理を施すことを特徴とするポリイミドフィルムの製造
方法。
3. An organic tetracarboxylic dianhydride, 4,
Polyimide acid produced from 4'-diaminodiphenyl ether and paraphenylenediamine is formed into a film and converted into polyimide to produce a polyimide film, and then the polyimide film is subjected to plasma treatment. Manufacturing method.
【請求項4】 前記4,4′−ジアミノジフェニルエー
テルとパラフェニレンジアミンとの添加割合がモル比で
10:1〜1:5、より好ましくは5:1〜1:1であ
ることを特徴とする請求項3に記載するポリイミドフィ
ルムの製造方法。
4. The method according to claim 1, wherein the molar ratio of 4,4'-diaminodiphenyl ether to paraphenylenediamine is from 10: 1 to 1: 5, more preferably from 5: 1 to 1: 1. The method for producing a polyimide film according to claim 3.
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