JP2888448B2 - Optical fiber preform manufacturing equipment - Google Patents

Optical fiber preform manufacturing equipment

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JP2888448B2 JP19865690A JP19865690A JP2888448B2 JP 2888448 B2 JP2888448 B2 JP 2888448B2 JP 19865690 A JP19865690 A JP 19865690A JP 19865690 A JP19865690 A JP 19865690A JP 2888448 B2 JP2888448 B2 JP 2888448B2
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    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
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    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION 【産業上の利用分野】[Industrial applications]

この発明は、光ファイバ母材の製造装置に関し、とく
に、一般に外付け法と呼ばれる方法で光ファイバ母材を
製造する装置の改良に関する。
The present invention relates to an apparatus for manufacturing an optical fiber preform, and more particularly to an improvement in an apparatus for manufacturing an optical fiber preform by a method generally called an external method.

【従来の技術】[Prior art]

一般に外付け法と呼ばれる方法では、ターゲット部材
の周囲にガラス微粒子を堆積させて光ファイバ母材を製
造する。ガラス微粒子はバーナの火炎中で生成され、こ
れがターゲット部材の表面に付着させられる。 これらの方法で光ファイバ母材を製造する場合、バー
ナの火炎中で生成されたガラス微粒子が均一に且つ効率
よくターゲット部材の表面に付着するように、ターゲッ
ト部材及びバーナを排気チャンバで覆って、空気の流れ
を整えるようにしている。 そこで、従来では、これらの方法による光ファイバ母
材の製造装置は、通常、第3図及び第4図のような構造
となっている。第3図は光ファイバ母材の製造装置を上
から見た模式的な平面図であり、第4図は第3図のIV線
矢視断面図である。これらの図において、ターゲット部
材1はガラス旋盤などで両端が保持されて回転させられ
るようになっており、このターゲット部材1の横方向に
バーナ3が配置される。このターゲット部材1は後に除
去されるものであったり、あるいは後に光ファイバのコ
ア部となる石英系のガラス棒であったりする。バーナ3
には燃料ガスと助燃ガスとが供給されて火炎4が生じて
おり、さらにこのバーナ3にガラス原料ガスが供給さ
れ、ガラス原料ガスが火炎4中に導入されることによっ
て、火炎4中で火炎加水分解反応等が生じさせられ、Si
O2等のガラス微粒子が生成させられる。このガラス微粒
子はターゲット部材1の表面に吹き付けられ、ガラス微
粒子がターゲット部材1の表面に付着する。ターゲット
部材1は回転しており、そのターゲット部材1の軸方向
にバーナ3が移動(トラバース)することにより、ター
ゲット部材1の周囲にガラス微粒子堆積層2が円柱状に
形成される。1本のバーナ3を多数回トラバースさせ
て、あるいはこのバーナ3を複数本としこれらを1回ト
ラバースさせることにより、円柱状のガラス微粒子堆積
層2を形成する。排気チャンバ5は、このターゲット部
材1及びバーナ3から生じる火炎4を覆うように形成さ
れ、排気を整流することによりガラス微粒子の流れを整
える。この図では排気チャンバ5は、ターゲット部材1
のガラス微粒子堆積層2が形成される全領域を覆うよう
なものとなっているが、火炎4(ガラス微粒子流)の部
分という狭い領域のみを覆うもので、バーナ3と一体と
なってトラバースするよう構成されることもある。 こうしてガラス微粒子堆積層2が所定の大きさとなっ
たとき堆積が終了し、できあがったターゲット部材1と
ガラス微粒子堆積層2との複合体であるガラス微粒子堆
積体が、後に、高温の炉中で加熱処理され、ガラス微粒
子堆積層2の部分が焼結されて透明ガラス化され、それ
から光ファイバを作るための母材となる。 この排気チャンバ5は、上記のようにガラス微粒子流
の整流用であるが、内面にガラス微粒子などが付着する
と所期の整流作用が得られず、ガラス微粒子の均一な堆
積が達成できないことになるので、1回のガラス微粒子
堆積工程ごとにその内面を掃除する必要がある。そこ
で、その際の扱い易さ、扱い易い重量等を考慮し、この
排気チャンバ5は通常、チタンなどの厚みの薄い(5mm
程度)金属板で構成される。
In a method generally called an external method, glass fine particles are deposited around a target member to produce an optical fiber preform. Glass particles are produced in the flame of the burner and adhere to the surface of the target member. When manufacturing an optical fiber preform by these methods, the target member and the burner are covered with an exhaust chamber so that glass fine particles generated in the flame of the burner uniformly and efficiently adhere to the surface of the target member, I try to regulate the air flow. Therefore, conventionally, an apparatus for manufacturing an optical fiber preform by these methods usually has a structure as shown in FIG. 3 and FIG. FIG. 3 is a schematic plan view of the optical fiber preform manufacturing apparatus as viewed from above, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV of FIG. In these figures, the target member 1 is rotated while its both ends are held by a glass lathe or the like, and a burner 3 is arranged in a lateral direction of the target member 1. The target member 1 may be removed later, or may be a silica-based glass rod that will later become the core of the optical fiber. Burner 3
Is supplied with a fuel gas and an auxiliary combustion gas to generate a flame 4. Further, a glass raw material gas is supplied to the burner 3, and the glass raw material gas is introduced into the flame 4. A hydrolysis reaction is caused, and Si
Glass particles such as O2 are generated. The glass particles are sprayed on the surface of the target member 1, and the glass particles adhere to the surface of the target member 1. The target member 1 is rotating, and the burner 3 moves (traverses) in the axial direction of the target member 1, so that the glass particle deposition layer 2 is formed in a column shape around the target member 1. By traversing one burner 3 many times, or by using a plurality of burners 3 and traversing them once, the columnar glass particle deposition layer 2 is formed. The exhaust chamber 5 is formed so as to cover the flame 4 generated from the target member 1 and the burner 3, and regulates the flow of the glass particles by rectifying the exhaust. In this figure, the exhaust chamber 5 includes the target member 1
Covers the entire area where the glass fine particle deposition layer 2 is formed, but covers only a narrow area of the flame 4 (glass fine particle flow), and traverses integrally with the burner 3. It may be configured as follows. When the glass fine particle deposition layer 2 reaches a predetermined size, the deposition is completed, and the completed glass fine particle deposit, which is a composite of the target member 1 and the glass fine particle deposition layer 2, is later heated in a high-temperature furnace. It is processed, and the portion of the glass particle deposition layer 2 is sintered and turned into a transparent glass, and then becomes a base material for making an optical fiber. The exhaust chamber 5 is used for rectifying the flow of glass particles as described above. However, if glass particles or the like adhere to the inner surface, the desired rectifying action cannot be obtained, and uniform deposition of glass particles cannot be achieved. Therefore, it is necessary to clean the inner surface of each glass particle deposition step. Therefore, in consideration of ease of handling and easy-to-handle weight at that time, the exhaust chamber 5 is usually made of a thin material such as titanium (5 mm).
Degree) It is composed of a metal plate.

【発明が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the invention]

しかしながら、このように厚みの薄い金属板で作られ
た排気チャンバは、ガラス微粒子堆積工程での熱で変形
し、チャンバ内の空気の流れが変化し、ガラス微粒子の
均一な堆積の機能を果たさないことがあるという問題が
ある。 すなわち、ガラス微粒子堆積工程においてバーナの火
炎からかなりの熱が発生し、その輻射熱によって排気チ
ャンバが300℃以上に温度上昇することがある。この温
度で金属板は熱変形を起こし、その結果としてチャンバ
の破損や塑性変形などが生じる。このような破損、変形
によりチャンバの一部に隙間ができたりしてチャンバ内
の空気の流れに変化が生じ、所望のガラス微粒子の均一
な堆積ができない結果となるのである。 この発明は上記に鑑み、ガラス微粒子堆積中の熱でチ
ャンバが変形しないようにしてガラス微粒子の均一な堆
積を安定に行うことができるよう改善した、光ファイバ
母材の製造装置を提供することを目的とする。
However, the exhaust chamber made of such a thin metal plate is deformed by heat in the glass particle deposition process, the air flow in the chamber changes, and the function of uniform deposition of glass particles is not performed. There is a problem that there is. That is, considerable heat is generated from the flame of the burner in the glass particle deposition step, and the temperature of the exhaust chamber may rise to 300 ° C. or more due to the radiant heat. At this temperature, the metal plate undergoes thermal deformation, resulting in breakage of the chamber and plastic deformation. Such breakage or deformation may cause a gap in a part of the chamber to cause a change in the air flow in the chamber, resulting in a failure to uniformly deposit the desired glass particles. In view of the above, an object of the present invention is to provide an apparatus for manufacturing an optical fiber preform improved so that the chamber is not deformed by heat during the deposition of glass fine particles so that uniform deposition of glass fine particles can be stably performed. Aim.

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

上記の目的を達成するため、この発明によれば、ター
ゲット棒を回転するように保持する保持装置と、該ター
ゲット棒に対して、その軸方向にトラバースさせられる
ガラス微粒子発生装置と、該ガラス微粒子発生装置から
発生したガラス微粒子流を整流するチャンバとを有する
光ファイバ母材の製造装置において、上記チャンバの内
部に、熱遮蔽板が、それが熱変形してもチャンバの変形
を招かないようチャンバに対してルーズに固定されてい
ることが特徴となっている。
In order to achieve the above object, according to the present invention, a holding device for holding a target rod so as to rotate, a glass particle generating device traversed in the axial direction with respect to the target rod, and a glass particle An apparatus for manufacturing an optical fiber preform having a chamber for rectifying a flow of glass fine particles generated from a generator, wherein a heat shield plate is provided inside the chamber so that the chamber is not deformed even if it is thermally deformed. It is characterized in that it is loosely fixed.

【作用】[Action]

ガラス微粒子流を整流するチャンバの内部には、熱遮
蔽板が設置されている。そのため、ガラス微粒子発生装
置で発生した熱がチャンバの壁部に直接輻射されること
がなくなり、チャンバ壁部の温度上昇を抑えて、温度上
昇によるチャンバの変形をなくすことができる。 また、熱遮蔽板自体は、ガラス微粒子発生装置で発生
した熱により熱せられて熱変形することもあるが、たと
え熱変形したとしても、チャンバの変形を招かないよう
チャンバに対してルーズに固定されている。そのため、
熱遮蔽板が熱変形したとしても、チャンバが変形する不
都合が生じることはない。 そのため、ガラス微粒子堆積中のガラス微粒子発生装
置の熱によってチャンバが変形したり、破損したりし
て、ガラス微粒子の流れが所期のものでなくなる事態が
回避され、安定なガラス微粒子堆積が可能となる。
A heat shield plate is provided inside the chamber for rectifying the glass particle flow. Therefore, the heat generated by the glass particle generator is not directly radiated to the wall of the chamber, and the temperature rise of the chamber wall can be suppressed, and the deformation of the chamber due to the temperature rise can be eliminated. In addition, the heat shield plate itself may be heated and deformed by the heat generated by the glass particle generator, but even if it is thermally deformed, it is loosely fixed to the chamber so as not to cause deformation of the chamber. ing. for that reason,
Even if the heat shielding plate is thermally deformed, there is no disadvantage that the chamber is deformed. Therefore, it is possible to avoid a situation in which the chamber is deformed or damaged due to the heat of the glass particle generator during the deposition of the glass particles, and the flow of the glass particles is not as expected, and stable glass particle deposition is possible. Become.

【実施例】【Example】

以下、この発明の一実施例について図面を参照しなが
ら詳細に説明する。第1図及び第2図はこの発明の一実
施例にかかる光ファイバ母材の製造装置を模式的に示す
もので、第1図は上から見た平面図、第2図は第1図の
II線矢視断面図である。これらの図に示す光ファイバ母
材の製造装置は、基本的には第3図及び第4図に示した
光ファイバ母材の製造装置と同様であり、対応する部分
には対応する番号を付して詳しい説明は省略する。 この発明によると、第1図、第2図に示すように、熱
遮蔽板6が、排気チャンバ5の上面の内面に比較的ルー
ズな状態で吊り下げられている。すなわち、たとえば数
個のスプリングなどで吊り下げられ、あるいは可撓性の
ある細いピンなどを介してチャンバ5の上面の内面に取
り付けられている。この熱遮蔽板6は、バーナ3からの
火炎4によってとくに熱せられるチャンバ5の上面への
熱の伝達を遮断するためのもので、たとえば排気チャン
バ5と同じ材質(たとえばチタン)で同じ厚さ(たとえ
ば5mm)の金属板により構成される。 このように構成された光ファイバ母材の製造装置にお
いて、ターゲット部材1として、後に光ファイバとされ
たときにコア部となる石英系ガラスの棒を用い、その両
端をガラス旋盤のチャックにより把持することにより、
回転させる。ガラス微粒子発生用バーナ3には、燃料ガ
スとしてH2、助燃ガスとしてO2、ガラス原料としてSiCl
4及び不活性ガスとしてArを供給し、火炎加水分解反応
によって火炎4中でガラス微粒子を生成させる。このバ
ーナ3をターゲット部材1の軸方向にトラバースさせ
る。 バーナ3からガラス微粒子を発生させながらバーナ3
を1回トラバースさせて、ターゲット部材1の周囲にガ
ラス微粒子堆積層2を1層形成する。このトラバースを
往復方向に複数回繰り返して、複数層のガラス微粒子堆
積層2を形成し、所定の厚さの円柱状ガラス微粒子堆積
層2が形成されたときに、この堆積工程を終了する。 この堆積工程中、バーナ3の火炎4による熱でとくに
チャンバ5の上面が最も高温になるが、この実施例では
上内面に熱遮蔽板6が吊り下げられているため、この熱
遮蔽板6によって熱の伝達が遮断される。その結果、実
際、ガラス微粒子堆積中、最も高温となるチャンバ5の
上面は150℃程度までしか温度上昇せず、熱変形による
破損や、塑性熱変形を起こすことが観測されなかった。 また、熱遮蔽板6自体は、かなりの熱を受けて熱変形
を起こしたが、ルーズに固定されており、その熱変形に
対して自由度をもたされているため、排気チャンバ5の
壁面に影響を与えることがなく、しかもガラス微粒子堆
積が終了して常温に戻ったときも塑性変形は見られなか
った。 なお、上記の実施例では排気チャンバ5は、ガラス微
粒子堆積層2の全体を覆うほどの長さとなっているが、
ターゲット部材1の軸方向により短いもので、バーナ3
と一体となって、バーナ3とともにトラバースするタイ
プの排気チャンバの場合も、同様に本発明を適用できる
ことはもちろんである。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 and 2 schematically show an apparatus for manufacturing an optical fiber preform according to an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a plan view seen from above, and FIG.
FIG. 2 is a sectional view taken along line II. The apparatus for manufacturing an optical fiber preform shown in these figures is basically the same as the apparatus for manufacturing an optical fiber preform shown in FIGS. 3 and 4, and corresponding portions are denoted by corresponding numbers. And a detailed description is omitted. According to the present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, the heat shield plate 6 is hung on the inner surface of the upper surface of the exhaust chamber 5 in a relatively loose state. That is, it is suspended by, for example, several springs or attached to the inner surface of the upper surface of the chamber 5 via a flexible thin pin or the like. The heat shield plate 6 is used to block the transfer of heat to the upper surface of the chamber 5 that is particularly heated by the flame 4 from the burner 3, and is made of the same material (for example, titanium) and the same thickness (for example, titanium) as the exhaust chamber 5. For example, it is composed of a 5 mm) metal plate. In the optical fiber preform manufacturing apparatus thus configured, a silica-based glass rod serving as a core when later formed into an optical fiber is used as the target member 1, and both ends thereof are gripped by a chuck of a glass lathe. By doing
Rotate. The burner 3 for generating fine glass particles includes H 2 as a fuel gas, O 2 as an auxiliary gas, and SiCl as a glass material.
4 and Ar as an inert gas are supplied, and glass fine particles are generated in the flame 4 by a flame hydrolysis reaction. The burner 3 is traversed in the axial direction of the target member 1. Burner 3 while generating glass particles from burner 3
Is traversed once to form one glass fine particle deposition layer 2 around the target member 1. This traverse is repeated a plurality of times in the reciprocating direction to form a plurality of layers of the glass fine particle deposition layer 2. When the columnar glass fine particle deposition layer 2 having a predetermined thickness is formed, this deposition step is completed. During this deposition process, the heat generated by the flame 4 of the burner 3 causes the upper surface of the chamber 5 to become the highest temperature. In this embodiment, however, the heat shield plate 6 is suspended from the upper inner surface. Heat transfer is interrupted. As a result, the temperature of the upper surface of the chamber 5, which is the highest temperature, actually rises only up to about 150 ° C. during the deposition of the glass particles, and no damage due to thermal deformation or plastic thermal deformation was observed. The heat shield plate 6 itself has undergone considerable heat and has been thermally deformed, but is loosely fixed and has a degree of freedom with respect to the thermal deformation. And no plastic deformation was observed when the temperature was returned to room temperature after the deposition of the fine glass particles was completed. In the above embodiment, the exhaust chamber 5 is long enough to cover the entire glass fine particle deposition layer 2.
It is shorter in the axial direction of the target member 1 and has a burner 3
Of course, the present invention can be similarly applied to an exhaust chamber of a type that traverses together with the burner 3 integrally with the burner 3.

【発明の効果】【The invention's effect】

この発明の光ファイバ母材の製造装置によれば、ガラ
ス微粒子堆積中の熱でチャンバが変形することがなくな
り、その結果、ガラス微粒子流がつねに安定するので、
ガラス微粒子の均一な堆積を安定に行うことができる。
According to the optical fiber preform manufacturing apparatus of the present invention, the chamber is not deformed by the heat during the deposition of the fine glass particles, and as a result, the flow of the fine glass particles is always stabilized.
Uniform deposition of glass particles can be stably performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図及び第2図はこの発明の一実施例にかかる光ファ
イバ母材の製造装置を模式的に示すもので、第1図は上
から見た平面図、第2図は第1図のII線矢視断面図、第
3図及び第4図は従来例の光ファイバ母材の製造装置を
模式的に示すもので、第3図は上から見た平面図、第4
図は第3図のIV線矢視断面図である。 1…ターゲット部材、2…ガラス微粒子堆積層、3…ガ
ラス微粒子発生用バーナ、4…火炎、5…排気チャン
バ、6…熱遮蔽板。
1 and 2 schematically show an apparatus for manufacturing an optical fiber preform according to an embodiment of the present invention. FIG. 1 is a plan view seen from above, and FIG. 3 and 4 schematically show a conventional optical fiber preform manufacturing apparatus, and FIG. 3 is a plan view seen from above, and FIG.
The figure is a sectional view taken along line IV in FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Target member, 2 ... Glass fine particle deposition layer, 3 ... Burner for glass fine particle generation, 4 ... Flame, 5 ... Exhaust chamber, 6 ... Heat shield plate.

フロントページの続き (72)発明者 堀越 雅博 千葉県佐倉市六崎1440番地 藤倉電線株 式会社佐倉工場内 (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) C03B 37/00 - 37/16 Continuation of front page (72) Inventor Masahiro Horikoshi 1440 Mutsuzaki, Sakura-shi, Chiba Pref. Sakura Plant of Fujikura Electric Wire & Cable Co., Ltd. (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) C03B 37/00-37/16

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ターゲット棒を回転するように保持する保
持装置と、該ターゲット棒に対して、その軸方向にトラ
バースさせられるガラス微粒子発生装置と、該ガラス微
粒子発生装置から発生したガラス微粒子流を整流するチ
ャンバとを有する光ファイバ母材の製造装置において、
上記チャンバの内部に、熱遮蔽板が、それが熱変形して
もチャンバの変形を招かないようチャンバに対してルー
ズに固定されていることを特徴とする光ファイバ母材の
製造装置。
1. A holding device for holding a target rod so as to rotate, a glass fine particle generator traversing the target rod in the axial direction, and a glass fine particle flow generated from the glass fine particle generator. An apparatus for manufacturing an optical fiber preform having a rectifying chamber,
An apparatus for manufacturing an optical fiber preform, wherein a heat shield plate is loosely fixed in the chamber so as not to cause deformation of the chamber even if the heat shield is thermally deformed.
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