JP2882139B2 - Composite floating head slider - Google Patents

Composite floating head slider

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JP2882139B2
JP2882139B2 JP31586691A JP31586691A JP2882139B2 JP 2882139 B2 JP2882139 B2 JP 2882139B2 JP 31586691 A JP31586691 A JP 31586691A JP 31586691 A JP31586691 A JP 31586691A JP 2882139 B2 JP2882139 B2 JP 2882139B2
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negative pressure
floating head
head slider
slider
cross rail
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浩司 梶谷
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Nippon Electric Co Ltd
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  • Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置に用い
る複合浮動ヘッドスライダに関し、特に複合浮動ヘッド
スライダの構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a composite floating head slider used for a magnetic disk drive, and more particularly to a structure of a composite floating head slider.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の磁気ディスク装置では、装置の起
動・停止に殆どコンタクト・スタート・ストップ(CS
S)方式を用いている。これは、磁気ディスクと浮動ヘ
ッドスライダとが接触した状態で磁気ディスク装置の起
動・停止を行なう方式であり、磁気ディスク装置が停止
している状態で浮動ヘッドスライダと磁気ディスクとが
吸着することを避けるために、磁気ディスク面上を適度
に粗す必要があった。このため、浮動ヘッドスライダの
浮上量を必要以上に確保しなけばならず、記録密度向上
の妨げとなっていた。更に、CSSを行う際の摩擦・摩
耗に係わる粉塵の発生も避けられず、装置の信頼性向上
を妨げる要因となっていた。ところが、磁気ディスク装
置の高記録密度化、高速アクセス化及び高転送レート化
の要望は著しく、浮動ヘッドスライダの低浮上化を進め
なければならない状況にある。
2. Description of the Related Art In a conventional magnetic disk drive, a contact start / stop (CS
S) method is used. This is a method in which the magnetic disk drive is started / stopped while the magnetic disk and the floating head slider are in contact with each other, and prevents the floating head slider and the magnetic disk from adsorbing while the magnetic disk drive is stopped. To avoid this, the surface of the magnetic disk had to be appropriately roughened. For this reason, the flying height of the floating head slider has to be secured more than necessary, which hinders an improvement in recording density. Further, the generation of dust related to friction and wear during CSS is inevitable, which is a factor that hinders the improvement of the reliability of the apparatus. However, demands for higher recording density, higher speed access, and higher transfer rate of the magnetic disk device are remarkable, and it is necessary to lower the flying height of the floating head slider.

【0003】また、面記録密度の高密度化や、垂直磁気
記録を実現するために、磁気ヘッドの浮上量は0.05
ミクロン以下に近づこうとしているが、それに伴って浮
動ヘッドスライダの圧力発生面及び磁気ディスク表面の
平滑度を必然的に上げる必要が生じ、その結果、先に述
べた粉塵によるヘッドクラッシュや磁気ディスクと浮動
ヘッドスライダの吸着の危険性が高まっている。浮動ヘ
ッドスライダと磁気ディスクとの吸着の問題を解決する
手段としては、浮動ヘッドスライダと磁気ディスクとを
接触させることなく磁気ディスク装置の起動・停止を行
う浮動ヘッドスライダとロードアンロード機構が開発さ
れてきている。
In order to increase the areal recording density and achieve perpendicular magnetic recording, the flying height of a magnetic head is 0.05.
Although it is approaching a micron or less, it is necessary to increase the smoothness of the pressure generating surface of the floating head slider and the surface of the magnetic disk inevitably. The danger of suction of the floating head slider is increasing. As means for solving the problem of attraction between the floating head slider and the magnetic disk, a floating head slider and a load / unload mechanism for starting and stopping the magnetic disk device without bringing the floating head slider into contact with the magnetic disk have been developed. Is coming.

【0004】一方、高速アクセスを実現するために、ア
クセス時の加速度が増大しているが、最大加減速時にお
ける浮動ヘッドスライダの姿勢変動を極力抑えると共
に、磁気ディスクとの接触を避けるために浮動ヘッドス
ライダの小型化をはかり、重心まわりの慣性モーメント
を提言する傾向にある。
On the other hand, the acceleration at the time of access is increasing in order to realize high-speed access. However, the fluctuation of the attitude of the floating head slider at the time of maximum acceleration / deceleration is suppressed as much as possible, and the floating head slider is moved in order to avoid contact with the magnetic disk. There is a tendency to reduce the size of the head slider and to propose a moment of inertia around the center of gravity.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】磁気ヘッドの浮上量が
0.05ミクロン以下の領域では、磁気ディスク表面の
保護膜や潤滑剤を考慮すると、浮動ヘッドスライダと磁
気ディスクとはトラッキング時においても断続的に接触
している可能性が高く、アクセス時においては更にその
可能性が高くなる。そのため、接触による磁気ヘッドの
破損や磁気ディスク表面のスクラッチ等の発生を最小限
度に抑えるには、浮動ヘッドスライダを小型にすること
が望ましい。この小型化は先に述べたように、高速アク
セスを実現するためにも好都合である。ところが、浮動
ヘッドスライダの小型化,低浮上化の過程において、浮
動ヘッドスライダにロードスプリング等によって加えら
れる荷重は相当減少する。このためロードスプリングの
曲げ加工による荷重制御が困難になってくる。
In the region where the flying height of the magnetic head is 0.05 μm or less, the floating head slider and the magnetic disk are intermittent even during tracking in consideration of the protective film and the lubricant on the surface of the magnetic disk. There is a high possibility that they are in contact with each other, and the possibility is further increased during access. Therefore, in order to minimize the occurrence of damage to the magnetic head and scratches on the surface of the magnetic disk due to contact, it is desirable to make the floating head slider small. This miniaturization is convenient for realizing high-speed access as described above. However, in the process of reducing the size and lowering the flying height of the floating head slider, the load applied to the floating head slider by a load spring or the like is considerably reduced. For this reason, it becomes difficult to control the load by bending the load spring.

【0006】更に、浮動ヘッドスライダそのものが小型
になっているため、サスペンションに正確に取り付ける
ことも困難になる。また、先に述べたように、磁気ディ
スク装置の停止時において、浮動ヘッドスライダと磁気
ディスクとの吸着を避ける目的でロードアンロード機構
を使用する場合、正圧利用浮動ヘッドスライダでは、小
型化によって正圧発生力が減少しているため、浮動ヘッ
ドスライダを磁気ディスク表面に接近させ、定常浮上状
態にするロード時において、磁気ディスクと浮動ヘッド
スライダとの接触の危険性が非常に高くなる。次に、負
圧利用浮動ヘッドスライダでは、流体アクチュエータ作
用によって自発的にロードされる浮上隙間まで浮動ヘッ
ドスライダをロードアンロード機構によってロードする
必要があるが、やはり浮動ヘッドスライダの小型化によ
って負圧発生力が減少しているため、ロード開始時の浮
上隙間はサブミクロン程度になり、浮動ヘッドスライダ
と磁気ディスクとをその間隔に近づけるよう制御するこ
とは決して容易でない。
Further, since the floating head slider itself is small, it is difficult to accurately attach the floating head slider to the suspension. Also, as described above, when the load / unload mechanism is used to prevent the floating head slider from adhering to the magnetic disk when the magnetic disk device is stopped, the floating head slider using positive pressure requires a reduction in size. Since the positive pressure generating force is reduced, the risk of contact between the magnetic disk and the floating head slider becomes extremely high at the time of loading in which the floating head slider approaches the surface of the magnetic disk and is brought into a steady flying state. Next, in the negative pressure utilizing floating head slider, it is necessary to load the floating head slider by the load / unload mechanism to the floating gap which is spontaneously loaded by the action of the fluid actuator. Since the generated force is reduced, the flying clearance at the start of loading is on the order of submicrons, and it is not easy to control the floating head slider and the magnetic disk to approach the distance.

【0007】本発明の目的は以上の問題点を解決し、磁
気ヘッドを搭載する浮動ヘッドスライダの小型化を容易
にし、磁気ディスクと浮動ヘッドスライダの吸着及び接
触を抑制し、更に、アクセス中のヘッドディスクインタ
フェースの信頼性を向上しつつ、サブサブミクロン領域
の浮上量を実現する複合浮動ヘッドスライダを提供する
ことにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, to facilitate the miniaturization of a floating head slider on which a magnetic head is mounted, to suppress suction and contact between a magnetic disk and a floating head slider, An object of the present invention is to provide a composite floating head slider which achieves a flying height in a sub-submicron region while improving the reliability of a head disk interface.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の複合浮動ヘッド
スライダは、双胴型の正圧空気軸受面とこの正圧空気軸
受面に囲まれた負圧発生面と負圧力を発生させるクロス
レールとこのクロスレールを昇降させる制御機構とを有
し、かつ磁気ヘッドを搭載する第1の負圧利用浮動ヘッ
ドスライダと、この第1の負圧利用浮動ヘッドスライダ
を支持するサスペンション機構と、このサスペンション
機構を支持する第2の負圧利用浮動ヘッドスライダとを
備え、前記第1及び第2の負圧利用浮動ヘッドスライダ
及び前記サスペンション機構が一体成形され、かつ前記
サスペンション機構は前記第1の負圧利用浮動ヘッドス
ライダの正圧空気軸受面の外周部分、及び前記第2の負
圧利用浮動ヘッドスライダの正圧空気軸受面に囲まれた
負圧発生面の内周部分において一体構造をなすと共に、
前記第1及び第2の負圧利用浮動ヘッドスライダの正圧
空気軸受面が同一平面上に形成してなることを特徴とす
る。また、この複合浮動ヘッドスライダに前記第1の負
圧利用浮動ヘッドスライダに搭載し前記クロスレールを
駆動する圧電素子、もしくはピエゾバイモルフを備えて
もよい。
SUMMARY OF THE INVENTION A composite floating head slider according to the present invention has a double-body type positive pressure air bearing surface, a negative pressure generating surface surrounded by the positive pressure air bearing surface, and a cross rail for generating a negative pressure. And a control mechanism for raising and lowering the cross rail, and a first negative pressure utilizing floating head slider on which a magnetic head is mounted, a suspension mechanism supporting the first negative pressure utilizing floating head slider, and the suspension A second negative pressure utilizing floating head slider supporting the mechanism, wherein the first and second negative pressure utilizing floating head sliders and the suspension mechanism are integrally formed, and the suspension mechanism is provided with the first negative pressure utilizing An outer peripheral portion of the positive pressure air bearing surface of the utilization floating head slider, and an inner periphery of a negative pressure generating surface surrounded by the positive pressure air bearing surface of the second negative pressure utilization floating head slider. Together form a unitary structure in minutes,
The positive pressure air bearing surfaces of the first and second negative pressure utilizing floating head sliders are formed on the same plane. The composite floating head slider may include a piezoelectric element mounted on the first negative pressure utilizing floating head slider and driving the cross rail, or a piezo bimorph.

【0009】[0009]

【実施例】次に、本発明について図面を用いて説明す
る。
Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

【0010】図1は本発明の第1の実施例を示す平面図
であり、図2はその斜視図である。
FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view thereof.

【0011】本実施例の複合浮動ヘッドスライダ1は、
大小2つの負圧利用浮動ヘッドスライダから構成されて
おり、フロントリセス2,3、テーパ4〜7、クロスレ
ール8、可動クロスレール9、正圧発生レール10〜1
3及び負圧発生リセス14,15から構成され、また、
サスペンション16は磁気ヘッド搭載スライダ17の正
圧空気軸受面の外周部分と、もう1つの負圧利用浮動ス
ライダの正圧空気受面に囲まれた負圧発生面の内周部分
とに接合されて一体構造をなすと共に、これら大小2つ
の負圧利用浮動スライダの正圧空気軸受面が同一平面上
に形成されている。そして、このサスペンション16は
磁気ヘッド搭載スライダ17のピッチ及びロール方向の
運動を抑制する効果を備えている。
The composite floating head slider 1 according to the present embodiment comprises:
It is composed of two large and small negative pressure utilizing floating head sliders, front recesses 2 and 3, tapers 4 to 7, cross rail 8, movable cross rail 9, and positive pressure generating rails 10 to 1.
3 and negative pressure generating recesses 14 and 15;
The suspension 16 is joined to the outer peripheral portion of the positive pressure air bearing surface of the magnetic head mounted slider 17 and the inner peripheral portion of the negative pressure generating surface surrounded by the positive pressure air receiving surface of another negative pressure utilizing floating slider. In addition to forming an integral structure, the positive pressure air bearing surfaces of these two large and small negative pressure utilizing floating sliders are formed on the same plane. The suspension 16 has the effect of suppressing the movement of the magnetic head mounted slider 17 in the pitch and roll directions.

【0012】次に、ロードアンロード機構を用いて複合
浮動ヘッドスライダを定常浮上状態へロードする動作を
図3及び図4を用いて説明する。
Next, the operation of loading the composite floating head slider to the steady flying state using the load / unload mechanism will be described with reference to FIGS.

【0013】複合浮動ヘッドスライダ1において負圧利
用大スライダ20の定常浮上量は、0.2〜0.3ミク
ロン程度、また、負圧利用小スライダ21は、0.03
〜0.05ミクロン程度に設定されている。ロードサス
ペンション23は曲げ荷重なしで使用するため、まず、
ロードアンロード機構24が、負圧利用大スライダ20
を支持するロードサスペンション23を矢印で示す磁気
ディスク25の表面の方向へ押し下げ、負圧利用大スラ
イダ20に生じる負圧発生力がロードサスペンション2
3の反力より大きくなる位置まで負圧利用大スライダ2
0を移動させる。
In the composite floating head slider 1, the steady flying height of the negative pressure utilizing large slider 20 is about 0.2 to 0.3 microns, and the negative pressure utilizing small slider 21 is 0.03 microns.
It is set to about 0.05 micron. Since the load suspension 23 is used without bending load, first,
The load / unload mechanism 24 is provided with the negative pressure utilizing large slider 20.
Is pushed down in the direction of the surface of the magnetic disk 25 indicated by the arrow, and the negative pressure generating force generated in the large negative pressure utilizing slider 20 is reduced by the load suspension 2.
Large slider 2 utilizing negative pressure up to a position larger than the reaction force 3
Move 0.

【0014】その後、負圧利用大スライダ20は、回転
する磁気ディスク25との間を流れる空気流と負圧利用
大スライダ20下面の形状とによって生じる負圧力によ
る流体アクチュエータ作用により、ロードサスペンショ
ン23の反力と負圧力とが釣り合う定常浮上状態へ自発
的に移行する。図4(a)及び同図(b)は負圧利用小
スライダ21がロードされる様子を示す部分側面図であ
って、ここでは可動クロスレール駆動機構としてリニア
モータを使用した例を示している。図4(a)は初期状
態において、可動クロスレール9が負圧リセス15と同
一平面上にありり、負圧利用小スライダ21が正圧利用
スライダとして作用している状態を示す。また、図4
(b)はロードを行う場合であって、可動クロスレール
9のテーパ部分をリニアモータ26が押し、可動クロス
レール9が下げていくことによって徐々に負圧が発生し
ていき、負圧利用小スライダ21が磁気ディスク25上
にロードされ、負圧利用小スライダ21を支持するサス
ペンション16の反力と負圧力とが釣り合う定常浮上状
態へ移行し、完全にリードライトが行える状態になる。
Thereafter, the large negative pressure utilizing slider 20 causes the load suspension 23 to be driven by the fluid actuator action by the negative pressure generated by the airflow flowing between the rotating magnetic disk 25 and the shape of the lower surface of the large negative pressure utilizing slider 20. It shifts spontaneously to a steady levitation state in which the reaction force and the negative pressure are balanced. FIGS. 4A and 4B are partial side views showing how the small slider 21 utilizing negative pressure is loaded. Here, an example in which a linear motor is used as a movable cross rail drive mechanism is shown. . FIG. 4A shows a state in which the movable cross rail 9 is on the same plane as the negative pressure recess 15 in the initial state, and the negative pressure utilizing small slider 21 acts as a positive pressure utilizing slider. FIG.
(B) shows a case in which loading is performed, and the linear motor 26 pushes the tapered portion of the movable cross rail 9 and lowers the movable cross rail 9 to gradually generate a negative pressure. The slider 21 is loaded on the magnetic disk 25, and the state shifts to a steady floating state where the reaction force of the suspension 16 supporting the small slider 21 utilizing negative pressure and the negative pressure are balanced, so that the read / write operation can be completely performed.

【0015】アンロードについては、まず、リニアモー
タ26を戻すと、可動クロスレール9が板ばね27の反
力で上がり、負圧発生力が減少するため、負圧利用小ス
ライダ21が吸引される力が減少し、その結果、負圧利
用小スライダ21のレールには正圧のみが発生し、アン
ロードが完了する。そして、負圧利用大スライダ20の
アンロードは、磁気ディスク25の回転数を下げ、負圧
発生力を減少させサスペンション16の反力でアンロー
ドを行う。
For unloading, first, when the linear motor 26 is returned, the movable cross rail 9 is raised by the reaction force of the leaf spring 27, and the negative pressure generating force is reduced. As a result, only positive pressure is generated on the rail of the small slider 21 utilizing negative pressure, and the unloading is completed. When the negative pressure utilizing large slider 20 is unloaded, the rotation speed of the magnetic disk 25 is reduced, the negative pressure generating force is reduced, and the unloading is performed by the reaction force of the suspension 16.

【0016】図5(a)及び同図(b)は本発明の第2
の実施例を示す部分側面図である。ここでは可動クロス
レール9の駆動機構として積層圧電素子28を使用して
いる。図5(a)は負圧小スライダがロードされていな
い状態であって、積層圧電素子28は一端を固定台29
に固着され、他端は可動クロスレール9のテーパ部に当
接している。また、板ばね27は一端が可動クロスレー
ル9に接合され、他端は負圧小スライダ21に当接して
いる。図5(b)はロードを行なう場合の状態を示す。
FIGS. 5A and 5B show a second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a partial side view showing the embodiment of FIG. Here, a laminated piezoelectric element 28 is used as a drive mechanism of the movable cross rail 9. FIG. 5A shows a state in which the negative pressure small slider is not loaded, and one end of the laminated piezoelectric element 28 has a fixed base 29.
The other end is in contact with the tapered portion of the movable cross rail 9. The leaf spring 27 has one end joined to the movable cross rail 9 and the other end in contact with the negative pressure small slider 21. FIG. 5B shows a state when loading is performed.

【0017】まず、積層圧電素子28に電圧を印加して
伸長させ、可動クロスレール9のテーパ部分を押し下げ
て負圧発生面に負圧力を発生させ、負圧利用小スライダ
21を磁気ディスク25上にロードする。アンロードは
積層圧電素子28に印加されている電圧を取り除くと、
積層圧電素子28が元の状態(大きさ)に戻り、板バネ
27の反力によって可動クロスレール9が持ち上がり、
負圧力が減少してアンロードを行う。
First, a voltage is applied to the laminated piezoelectric element 28 to expand it, and the tapered portion of the movable cross rail 9 is depressed to generate a negative pressure on the negative pressure generating surface. To load. Unloading removes the voltage applied to the laminated piezoelectric element 28,
The laminated piezoelectric element 28 returns to the original state (size), and the movable cross rail 9 is lifted by the reaction force of the leaf spring 27,
Unloading is performed by reducing the negative pressure.

【0018】図6(a)及び同図(b)は本発明の第3
の実施例を示す部分側面図である。ここでは可動クロス
レール9の駆動機構としてピエゾバイモルフ30を使用
している。図6(a)はロードしていない状態であっ
て、ピエゾバイモルフ30の一端は支持台29に固定さ
れ、他端は可動クロスレール9a上に当接している。そ
して、ロードする場合は、ピエゾバイモルフ30に電圧
を引火して歪ませることにより可動クロスレール9aを
押し下げ、負圧発生面に負圧力を発生させて負圧利用小
スライダ21を磁気ディスク25上にロードする。ま
た、アンロードする場合は、ピエゾバイモルフ30に印
加していた電圧を取り除いて歪を取り去ると、可動クロ
スレール9aは板バネ27の反力で持ち上がり、負圧力
が減少して負圧利用小スライダ21はアンロードを行
う。
FIGS. 6A and 6B show a third embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a partial side view showing the embodiment of FIG. Here, a piezo bimorph 30 is used as a drive mechanism of the movable cross rail 9. FIG. 6A shows a state in which the piezo bimorph 30 is not loaded. One end of the piezo bimorph 30 is fixed to the support base 29, and the other end is in contact with the movable cross rail 9a. When loading, the movable crossrail 9a is pushed down by igniting and distorting the voltage to the piezo bimorph 30 to generate a negative pressure on the negative pressure generating surface, and the negative pressure utilizing small slider 21 is placed on the magnetic disk 25. To load. In the case of unloading, when the voltage applied to the piezo bimorph 30 is removed to remove the distortion, the movable cross rail 9a is lifted by the reaction force of the leaf spring 27, the negative pressure is reduced, and the negative pressure utilizing small slider is used. 21 performs unloading.

【0019】以上、本発明の実施例について詳細に述べ
たが、ロードアンロード機構や一体形成されたサスペン
ションについては、所定の特性を有するものであれば変
更が可能であり、これらの変更は本発明の趣旨を逸脱し
ない範囲で行なってもよく、以上の記述が本発明の範囲
を限定するものではない。
Although the embodiments of the present invention have been described in detail, the load / unload mechanism and the integrally formed suspension can be changed as long as they have predetermined characteristics. The description may be made without departing from the spirit of the invention, and the above description does not limit the scope of the invention.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、現
在用いられているスライダと同程度のスライダ中に磁気
ヘッドを搭載した負圧力を制御可能な機構を備えた負圧
浮動ヘッド機構を内包することにより、磁気ヘッドと同
程度の大きさのスライダを容易にサブサブミクロン浮上
させることができ、また、ロードアンロード機構と組み
合わせることによって浮動ヘッドスライダと磁気ディス
クとの吸着を避けることができる。更に、アクセス時や
記録再生以外の時に磁気ヘッドの浮上量を高くすること
ができるため、結果として、高記録密度で信頼性の高い
磁気ディスク装置を得ることができる。
As described above, according to the present invention, there is provided a negative pressure floating head mechanism having a mechanism capable of controlling a negative pressure in which a magnetic head is mounted in a slider at the same level as a slider currently used. By including the slider, a slider of the same size as the magnetic head can be easily levitated by sub-submicron, and by combining with the load / unload mechanism, the suction between the floating head slider and the magnetic disk can be avoided. . Further, the flying height of the magnetic head can be increased at the time of access or other than recording / reproducing. As a result, a highly reliable magnetic disk device having a high recording density can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施例を示す部分斜視図であ
る。
FIG. 2 is a partial perspective view showing the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1の実施例において負圧利用大スラ
イダがロードされる状態を示す側面図である。
FIG. 3 is a side view showing a state where a negative pressure utilizing large slider is loaded in the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第1の実施例において負圧利用小スラ
イダのアンロード時及びロード時の状態を示す部分側面
図である。
FIG. 4 is a partial side view showing a state where the negative pressure utilizing small slider is unloaded and loaded in the first embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第2の実施例において負圧利用小スラ
イダのアンロード時及びロード時の状態を示す斜視図で
ある。
FIG. 5 is a perspective view showing a state in which a small slider utilizing negative pressure is unloaded and loaded in a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3実施例において負圧利用小スライ
ダのアンロード時及びロード時の状態を示す斜視図であ
る。
FIG. 6 is a perspective view showing a state where a negative pressure utilizing small slider is unloaded and loaded in a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】 1 複合浮動ヘッドスライダ 2,3 フロントリセス 4〜7 テーパ 8 クロスレール 9,9a 可動クロスレール 10〜13 正圧発生レール 14,15 負圧発生リセス 16 サスペンション 17 磁気ヘッド搭載スライダ 18 磁気ヘッド 20 負圧利用大スライダ 21 負圧利用小スライダ 23 ロードサスペンション 24 ロードアンロード機構 25 磁気ディスク 26 リニアモータ 27 板ばね 28 積層圧電素子 29 固定台 30 ピエゾバイモルフ[Description of Signs] 1 Composite floating head slider 2, 3 Front recess 4-7 Taper 8 Cross rail 9, 9a Movable cross rail 10-13 Positive pressure generating rail 14, 15 Negative pressure generating recess 16 Suspension 17 Magnetic head mounted slider 18 Magnetic head 20 Negative pressure utilizing large slider 21 Negative pressure utilizing small slider 23 Load suspension 24 Load unloading mechanism 25 Magnetic disk 26 Linear motor 27 Leaf spring 28 Multilayer piezoelectric element 29 Fixed table 30 Piezo bimorph

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 双胴型の正圧空気軸受面とこの正圧空気
軸受面に囲まれた負圧発生面と負圧力を発生させるクロ
スレールとこのクロスレールを昇降させる制御機構とを
有し、かつ磁気ヘッドを搭載する第1の負圧利用浮動ヘ
ッドスライダと、この第1の負圧利用浮動ヘッドスライ
ダを支持するサスペンション機構と、このサスペンショ
ン機構を支持する第2の負圧利用浮動ヘッドスライダと
を備え、前記第1及び第2の負圧利用浮動ヘッドスライ
ダ及び前記サスペンション機構が一体成形され、かつ前
記サスペンション機構は前記第1の負圧利用浮動ヘッド
スライダの正圧空気軸受面の外周部分、及び前記第2の
負圧利用浮動ヘッドスライダの正圧空気軸受面に囲まれ
た負圧発生面の内周部分において一体構造をなすと共
に、前記第1及び第2の負圧利用浮動ヘッドスライダの
正圧空気軸受面が同一平面上に形成してなることを特徴
とする複合浮動ヘッドスライダ。
A catamaran type positive pressure air bearing surface, a negative pressure generating surface surrounded by the positive pressure air bearing surface, a cross rail for generating a negative pressure, and a control mechanism for raising and lowering the cross rail. And a first negative pressure utilizing floating head slider on which a magnetic head is mounted, a suspension mechanism supporting the first negative pressure utilizing floating head slider, and a second negative pressure utilizing floating head slider supporting the suspension mechanism Wherein the first and second negative pressure utilizing floating head sliders and the suspension mechanism are integrally formed, and the suspension mechanism comprises an outer peripheral portion of a positive pressure air bearing surface of the first negative pressure utilizing floating head slider. And an integral structure at the inner peripheral portion of the negative pressure generating surface surrounded by the positive pressure air bearing surface of the second negative pressure utilizing floating head slider, and the first and second Wherein the positive pressure air bearing surface of the negative pressure utilizing floating head slider is formed on the same plane.
【請求項2】 請求項1記載の複合浮動ヘッドスライダ
において、前記第1の負圧利用浮動ヘッドスライダに搭
載し前記クロスレールを駆動する圧電素子を備えること
を特徴とする複合浮動ヘッドスライダ。
2. The composite floating head slider according to claim 1, further comprising a piezoelectric element mounted on said first negative pressure utilizing floating head slider and driving said cross rail.
【請求項3】 請求項1記載の複合浮動ヘッドスライダ
において、前記第1の負圧利用浮動ヘッドスライダに搭
載し前記クロスレールを駆動するピエゾバイモルフを備
えることを特徴とする複合浮動ヘッドスライダ。
3. The composite floating head slider according to claim 1, further comprising a piezo bimorph mounted on said first negative pressure utilizing floating head slider and driving said cross rail.
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