JP2881702B2 - Ultrasound imaging device focusing method and ultrasonic imaging device using this method - Google Patents

Ultrasound imaging device focusing method and ultrasonic imaging device using this method

Info

Publication number
JP2881702B2
JP2881702B2 JP2214765A JP21476590A JP2881702B2 JP 2881702 B2 JP2881702 B2 JP 2881702B2 JP 2214765 A JP2214765 A JP 2214765A JP 21476590 A JP21476590 A JP 21476590A JP 2881702 B2 JP2881702 B2 JP 2881702B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
measurement data
measurement
focusing
ultrasonic probe
subject
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2214765A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0495873A (en
Inventor
裕一 國友
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Construction Machinery Co Ltd filed Critical Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority to JP2214765A priority Critical patent/JP2881702B2/en
Publication of JPH0495873A publication Critical patent/JPH0495873A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2881702B2 publication Critical patent/JP2881702B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、超音波探査映像装置の焦点合わせ方法お
よびこの方法を用いる超音波探査映像装置に関し、詳し
くは、超音波測定に慣れていない人でも焦点型の超音波
探触子(以下プローブ)を所定の深さの検査位置に容易
に焦点合わせすることができるような超音波探査映像装
置の焦点合わせ方法およびこの方法を用いる超音波探査
映像装置に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of focusing an ultrasonic imager and an ultrasonic imager using the method, and more particularly, to a person who is not accustomed to ultrasonic measurement. However, a focusing method of an ultrasonic survey imaging apparatus capable of easily focusing a focus type ultrasonic probe (hereinafter referred to as a probe) to an inspection position of a predetermined depth, and an ultrasonic survey image using this method Related to the device.

[従来の技術] 超音波測定装置の1つである超音波映像探査装置は、
被検体の内部映像としてBスコープ像やCスコープ像を
表示することが可能である。この種の映像装置では、よ
り鮮明な映像を採取するために、プローブの音響特性や
その温度による媒体、被検体内部での音速等の各種の測
定条件に応じて被検体内の所望の深さにプローブの焦点
を設定する焦点合わせ作業が必要である。
[Related Art] An ultrasonic image search device, which is one of the ultrasonic measurement devices,
It is possible to display a B-scope image or a C-scope image as an internal image of the subject. In this type of imaging device, in order to obtain a clearer image, a desired depth in the subject is determined according to various measurement conditions such as the acoustic characteristics of the probe and its temperature, the medium depending on the temperature, and the speed of sound inside the subject. A focusing operation for setting the focus of the probe is required.

その操作として従来は、オシロスコープ等を使用して
被検体からの反射波形(Aスコープ像)を観察し、その
観察波形から測定したい深さ、検出ゲート幅等を設定す
るほか、測定したい深さに焦点を合わせるために、さら
に所望の反射エコーが最大となるように焦点型のプロー
ブを被検体に対して上下移動させてその高さを決める処
理(Z方向の位置決め)が行われている。
Conventionally, as an operation, a reflected waveform (A-scope image) from a subject is observed using an oscilloscope or the like, and a depth to be measured, a detection gate width, and the like are set based on the observed waveform. In order to adjust the focus, a process of moving the focus type probe up and down with respect to the subject so as to maximize the desired reflected echo and determining its height (positioning in the Z direction) is performed.

また、これとは別に被検体の音速等の音響特性値やプ
ローブの水中焦点距離、測定したい深さ、検出ゲート幅
時間等を制御装置に入力すると、測定したい深さに焦点
が合うように演算がなされ、その結果に基づく焦点位置
に焦点型のプローブが移動するというような装置もあ
る。
In addition, when the acoustic characteristics such as the sound velocity of the subject, the underwater focal length of the probe, the depth to be measured, the detection gate width time, etc. are input to the control device, the calculation is performed to focus on the depth to be measured. In some devices, a focus-type probe is moved to a focus position based on the result.

しかし、いずれの場合も超音波測定技術に関する知識
や被検体材料の音響特性に関する知識、さらにはオシロ
スコープ等の操作を含めた電子計測に関する知識が必要
であり、専門家である測定エンジニア以外、この種の超
音波測定装置を使用することが難しいのが現状である。
However, in any case, knowledge of ultrasonic measurement technology, knowledge of the acoustic characteristics of the material being inspected, and knowledge of electronic measurement including the operation of an oscilloscope, etc. are required. At present, it is difficult to use such an ultrasonic measuring device.

[解決しようとする課題] 最近では、各種の検査に超音波映像探査装置が使用さ
れ、携帯可能な装置も製造されいる。その結果、超音波
測定に熟練していない人が検査装置としてこの種の装置
を利用する場合が多くなり、誰でも使用でき、操作のし
易いものを、という要請がある。
[Problem to be Solved] Recently, an ultrasonic imaging apparatus has been used for various inspections, and portable apparatuses have been manufactured. As a result, people who are not skilled in ultrasonic measurement often use this type of device as an inspection device, and there is a demand for a device that can be used and operated easily by anyone.

超音波探査映像装置では、各種の操作についてあらか
じめデータを設定することが可能であるが、操作のうち
特に被検体に応じて行う焦点合わせについてはあらかじ
め設定することができない。そこで、従来、被検体の音
響特性、材質等を理解している技術者が電子計測器を使
用して、必要に応じて被検体内部における超音波の状態
を映像表示して観察しながら測定条件等を考慮して焦点
合わせをしている。
In the ultrasonic imaging apparatus, it is possible to set data in advance for various operations, but it is not possible to set in advance, in particular, focusing performed in accordance with a subject. Therefore, conventionally, a technician who understands the acoustic characteristics, materials, etc. of the subject uses an electronic measuring instrument to display and observe the state of the ultrasonic wave inside the subject as necessary, while observing the measurement conditions. Focusing is performed in consideration of the above factors.

この発明は、前記のような要請に応え、この種の問題
点を解決するものであって、超音波測定に慣れていない
人とか、一般の人が容易に焦点合わせができる超音波探
査映像装置の焦点合わせ方法およびこの方法を用いる超
音波探査映像装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention addresses the above-described demands and solves this kind of problem. An ultrasonic exploration imaging apparatus that can be easily focused by a person who is not accustomed to ultrasonic measurement or a general person. It is an object of the present invention to provide a focusing method and an ultrasonic exploration imaging apparatus using the method.

[課題を解決するための手段] このような目的を達成するためのこの発明の超音波探
査映像装置の焦点合わせ方法の特徴は、被検体の深さZ
方向と被検体の面に沿ったX,Y,R,Θの方向の中から選択
されたいずれか1つの方向との二次元においてZ方向の
所定の位置に超音波探触子を設定して前記の選択された
1つの方向に沿ってエコー発生部が走査される走査をし
て各測定点から得られた測定データからなる測定データ
列をZ方向の位置を変えて繰り返して求め、これら複数
の測定データ列において最大のピーク値の測定データを
基準にして測定データ列の正規化をし、この正規化状態
において複数の各測定データ列におけるピーク値から所
定の割合にある測定点間の距離が最小となる測定データ
列が採取されたときのZ方向の位置に超音波探触子を位
置決めすることによりエコー発生部分に対する焦点合わ
せをするものである。
[Means for Solving the Problems] A feature of the focusing method of the ultrasonic survey imaging apparatus of the present invention for achieving such an object is that the depth Z of the subject is
The ultrasonic probe is set at a predetermined position in the Z direction in two dimensions of the direction and any one of the X, Y, R, and 方向 directions along the surface of the subject. The echo generator is scanned along one of the selected directions, and a measurement data sequence composed of measurement data obtained from each measurement point is repeatedly obtained by changing the position in the Z direction. The measurement data sequence is normalized based on the measurement data of the maximum peak value in the measurement data sequence, and the distance between the measurement points at a predetermined ratio from the peak value in each of the plurality of measurement data sequences in this normalized state The ultrasonic probe is positioned at the position in the Z direction at the time when the measurement data sequence in which is minimized is obtained, thereby focusing on the echo generating portion.

また、この発明の超音波探査映像装置の特徴は、前記
のZ方向と前記の選択されたいずれか1つの方向との二
次元において被検体を超音波探触子により走査する走査
機構と、この走査機構を制御してZ方向の所定の位置に
超音波探触子を設定して選択された前記の1つの方向に
沿ってエコー発生部が走査される走査をして各測定点か
ら測定データを得て、得られた測定データからなる測定
データ列をZ方向の位置を変えて繰り返して複数求めZ
方向の位置との関係において記憶する測定データ採取手
段と、この測定データ採取手段により記憶された複数の
測定データ列において最大のピーク値を得てこの最大ピ
ーク値の測定データを基準にして測定データ列の正規化
をする正規化手段と、この正規化手段により正規化され
た状態において複数の各測定データ列におけるピーク値
から所定の割合にある測定点間の距離が最小となる測定
データ列が採取されたときのZ方向の位置に超音波探触
子を位置決めすることによりエコー発生部分に対する焦
点合わせをする焦点合わせ手段とを備えるものである。
In addition, a feature of the ultrasonic search imaging apparatus of the present invention is that a scanning mechanism that scans a subject with an ultrasonic probe in two dimensions of the Z direction and any one of the selected directions, Controlling the scanning mechanism, setting the ultrasonic probe at a predetermined position in the Z direction, scanning the echo generator along the selected one direction, and measuring data from each measurement point. Is obtained, and a plurality of measurement data strings composed of the obtained measurement data are obtained by repeatedly changing the position in the Z direction.
Measurement data sampling means for storing in relation to the position in the direction; obtaining a maximum peak value in a plurality of measurement data strings stored by the measurement data collection means; and measuring data based on the measurement data of the maximum peak value. A normalization means for normalizing the sequence, and a measurement data sequence in which a distance between measurement points at a predetermined ratio from a peak value in each of the plurality of measurement data sequences in a state normalized by the normalization means is minimum. Focusing means for positioning the ultrasonic probe at the position in the Z direction at the time of sampling to focus on the echo-generated portion.

[作用] このように、被検体の深さ方向と被検体の面方向(面
に沿ったX,Y,R,Θの方向)とに従う二次元で走査をして
各深さ方向の走査位置においてピーク値を面方向の距離
対応に採取することで、焦点合わせ部分に対応する上部
表面位置で最大となるような特性の測定データを得て、
かつ、その測定データを最大ピーク値を基準として正規
化して最小幅の特性の測定データを得るプローブ高さ
(Z座標)を求めるので、その特性がもっとも急峻とな
る合焦点位置のプローブの高さ(Z座標)を検出でき
る。そこで、これにより得たプローブの高さにプローブ
を位置決めすることで自動的に焦点合わせができる。
[Operation] As described above, scanning is performed in two dimensions according to the depth direction of the subject and the surface direction of the subject (the directions of X, Y, R, and 沿 っ along the surface), and the scanning position in each depth direction By collecting the peak value corresponding to the distance in the plane direction, the measurement data of the characteristic that is maximum at the upper surface position corresponding to the focusing portion is obtained,
Further, since the measured data is normalized with reference to the maximum peak value to determine the probe height (Z coordinate) for obtaining the measured data of the characteristic having the minimum width, the height of the probe at the focal point where the characteristic is the steepest is obtained. (Z coordinate) can be detected. Therefore, focusing can be performed automatically by positioning the probe at the height of the probe obtained thereby.

[実施例] 以下、この発明の一実施例について図面を用いて詳細
に説明する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は、この発明の一実施例の超音波探査映像装置
のブロック図であり、第2図は、その焦点合わせ処理の
フローチャート、第3図(a)〜(d)は、その焦点合
わせの原理についての説明図である。
FIG. 1 is a block diagram of an ultrasonic exploration imaging apparatus according to one embodiment of the present invention, FIG. 2 is a flowchart of the focusing process, and FIGS. 3 (a) to (d) are the focusing. FIG. 4 is an explanatory diagram of the principle of FIG.

第1図において、20は、超音波探査映像装置であっ
て、1は、XYZ移動機構を有するその走査機構である。
焦点型のプローブ3は、この走査機構1に取付られてい
て被検体16をX方向に主走査をし、Y方向に副走査し、
Z方向には焦点合わせのための副走査をする。超音波探
査映像装置20は、このXY走査によりそれぞれの測定点で
Aスコープ像を得て、これに基づいてBスコープ像の測
定データやCスコープ像の測定データを生成し、Bスコ
ープ像やCスコープ像を表示する機能を有している。そ
して、被検体16には、表面からある深さ位置に測定対象
あるいは検査対象となるような、例えば、欠陥や接合個
所等のエコー発生部分が存在している。
In FIG. 1, reference numeral 20 denotes an ultrasonic exploration imaging apparatus, and reference numeral 1 denotes a scanning mechanism having an XYZ moving mechanism.
The focus type probe 3 is attached to the scanning mechanism 1 to perform main scanning of the subject 16 in the X direction and sub-scan in the Y direction.
Sub scanning for focusing is performed in the Z direction. The ultrasonic exploration imaging apparatus 20 obtains an A-scope image at each measurement point by this XY scanning, generates measurement data of the B-scope image and measurement data of the C-scope image based on the A-scope image, and generates the B-scope image and the C-scope image. It has a function of displaying a scope image. The subject 16 has an echo-generating portion, such as a defect or a joint, which is to be measured or inspected at a certain depth position from the surface.

走査機構1は、スキャン制御装置2により制御され、
スキャン制御装置2は、インタフェース7を介して画像
処理装置10により制御される。
The scanning mechanism 1 is controlled by a scan control device 2,
The scan control device 2 is controlled by the image processing device 10 via the interface 7.

プローブ3は、超音波探傷器4に接続され、超音波探
傷器4は、パルサー・レシーバ等から構成され、画像処
理装置10からの制御信号に応じて送信端子からプローブ
3に所定の測定周期でパルス信号を送り、パルス信号の
発生に対応して得られるプローブ3からのエコー受信信
号を受信端子で受けてそれを増幅し、さらに検波してピ
ーク検出回路5に送出する。
The probe 3 is connected to an ultrasonic flaw detector 4, and the ultrasonic flaw detector 4 is composed of a pulsar / receiver or the like, and is transmitted from the transmission terminal to the probe 3 at a predetermined measurement cycle in accordance with a control signal from the image processing apparatus 10. A pulse signal is sent, and an echo reception signal from the probe 3 obtained in response to the generation of the pulse signal is received by a reception terminal, amplified, detected, and sent to the peak detection circuit 5.

ピーク検出回路5は、検波されたエコー受信信号から
所定の位置にゲートをかけて必要なエコー部分のピーク
値を検出する。それをA/D変換回路6に出力する。ゲー
ト位置は、インタフェース7を介して画像処理装置10か
ら設定信号として受ける。ピーク検出回路5は、この設
定信号に応じて、例えば、表面エコーを検出して時間カ
ウントをする。そのための回路がここに内蔵されてい
る。
The peak detection circuit 5 gates a predetermined position from the detected echo reception signal to detect a peak value of a necessary echo portion. It is output to the A / D conversion circuit 6. The gate position is received from the image processing device 10 via the interface 7 as a setting signal. The peak detection circuit 5 counts time by detecting, for example, a surface echo according to the setting signal. The circuit for that is built in here.

A/D変換回路6は、画像処理装置10からの制御信号に
応じて得られたピーク値のアナログ信号を、例えば、8
ビット256段階でデジタル値に変換し、画像処理装置10
のマイクロプロセッサ(MPU)8が処理できる入力デー
タ値にしてバス13に送出する。
The A / D conversion circuit 6 converts the analog signal of the peak value obtained according to the control signal from the image processing device 10 into, for example, 8
Converts to a digital value in 256 bits
And sends it to the bus 13 as an input data value that can be processed by the microprocessor (MPU) 8.

その結果、被検体16をプローブ3でX方向に走査した
各測定点ごとにピーク検出回路5でピーク値が検出さ
れ、それがMPU8に渡される。MPU8は、これらピーク値の
データを各測定点対応に順次メモリ9に記憶していく。
As a result, a peak value is detected by the peak detection circuit 5 for each measurement point at which the subject 16 is scanned in the X direction by the probe 3 and is passed to the MPU 8. The MPU 8 sequentially stores the data of these peak values in the memory 9 corresponding to each measurement point.

バス13には、マイクロプロセッサ8のほかに、操作パ
ネル(図示せず)、各種プログラムやデータを記憶した
メモリ9、画像メモリ11、ディスプレイ12、そして、キ
ーボード(図示せず)等が接続されている。また、メモ
リ9にはXZ走査プログラム9aと正規化プログラム9b、焦
点合わせプログラム9c、表示処理プログラム等とが格納
されている。そして、そのパラメータ記憶領域9dには、
測定時に入力されたXZ走査のためのX方向の距離とX方
向,Z方向(プローブの高さ方向)の測定ピッチのデータ
が記憶されていて、焦点合わせデータ記憶領域9eには、
XZ走査プログラム9aにより得られたピーク値がZ座標の
位置対応でかつ各測定点対応に記憶される。
An operation panel (not shown), a memory 9 storing various programs and data, an image memory 11, a display 12, a keyboard (not shown), and the like are connected to the bus 13 in addition to the microprocessor 8. I have. The memory 9 stores an XZ scanning program 9a, a normalization program 9b, a focusing program 9c, a display processing program, and the like. And, in the parameter storage area 9d,
The distance in the X direction and the data of the measurement pitch in the X direction and the Z direction (the height direction of the probe) for the XZ scan input at the time of measurement are stored. The focusing data storage area 9e stores
The peak values obtained by the XZ scanning program 9a are stored corresponding to the position of the Z coordinate and corresponding to each measurement point.

XZ走査プログラム9aは、MPU8がこれを実行することに
より、特に初期位置指定がされていないときには、あら
かじめ走査パネルから入力されたプローブ3の焦点距離
と被検体16との位置関係(通常、所定の水槽の底部に被
検体16は配置されているので、その厚み等が操作パネル
から入力されることで位置関係が決定される。)に応じ
て測定開始点において、まず、被検体16の表面直下に焦
点が位置付けられるようにプローブ3のZ座標位置(高
さ)を算出してプローブ3を位置決めする処理を行う。
この位置が通常のXZ走査の中心位置あるいは基準位置と
なる。そして、測定開始とともにX方向に走査してX方
向の測定点をパラメータ記憶領域9dに記憶されたX方向
の測定ピッチに従って更新して行き、それぞれの測定点
の位置でエコーのピーク値を採取する。これを、パラメ
ータ記憶領域9dに記憶されたX方向の距離分走査した時
点でZ方向のピッチを更新して今度は逆方向にX方向の
走査を行い、同じピッチで測定点を更新し、各測定点対
応にエコーのピーク値を得る。なお、この場合に採取さ
れるエコーは、プローブ3の焦点位置にゲートを設定し
て得たゲート内にあるエコーである。
When the MPU 8 executes the XZ scanning program 9a, the positional relationship between the focal length of the probe 3 previously input from the scanning panel and the subject 16 (usually, a predetermined Since the subject 16 is disposed at the bottom of the water tank, the positional relationship is determined by inputting its thickness and the like from the operation panel.) At the measurement start point, first, immediately below the surface of the subject 16 The position of the probe 3 is calculated by calculating the Z coordinate position (height) of the probe 3 so that the focus is positioned at the position.
This position is the center position or the reference position for normal XZ scanning. Then, at the start of the measurement, scanning is performed in the X direction, the measurement points in the X direction are updated in accordance with the measurement pitch in the X direction stored in the parameter storage area 9d, and the peak value of the echo is collected at the position of each measurement point. . At this point, when scanning is performed for the distance in the X direction stored in the parameter storage area 9d, the pitch in the Z direction is updated, and then scanning in the X direction is performed in the opposite direction, and the measurement points are updated at the same pitch. The peak value of the echo is obtained for each measurement point. Note that the echoes collected in this case are echoes within the gate obtained by setting the gate at the focal position of the probe 3.

第3図(a)は、この場合の測定状態の説明図であっ
て、測定位置Bに欠陥Fや接合個所があるとする。この
場合、欠陥F等の上部表面を含むような形でX方向走査
(第3図(a)参照)をし、そのときのプローブ3の焦
点位置がAあるいはCの位置にあれば、欠陥Fからのエ
コーのピーク値の測定データとX方向の距離との関係
は、欠陥Fの真上の位置を原点として表すと、同図
(b)の特性14に示すように、原点Oを通る縦軸に対称
でかつ原点Oの位置にピークを持つ曲線となる。また、
B点の位置にプローブ3の焦点があるときには、ピーク
がさらに大きくなり、同図の特性15に示すように、その
幅が狭い曲線となる。
FIG. 3A is an explanatory view of the measurement state in this case, and it is assumed that there is a defect F or a joint at the measurement position B. In this case, scanning is performed in the X direction so as to include the upper surface of the defect F (see FIG. 3A), and if the focus position of the probe 3 at that time is at the position A or C, the defect F The relationship between the measurement data of the peak value of the echo from the sensor and the distance in the X direction is expressed by a vertical line passing through the origin O as shown by a characteristic 14 in FIG. The curve is symmetric with respect to the axis and has a peak at the position of the origin O. Also,
When the focus of the probe 3 is at the position of the point B, the peak is further increased, and as shown by a characteristic 15 in FIG.

これら特性14,15の相違から分かるように、プローブ
3の焦点が欠陥の位置に一致しているときには、ある測
定点と次の測定点とのピーク値の変化量が大きくなり、
原点Oを通る縦軸に対する特性曲線の幅は、最も狭くな
り、そのピークは、高く、細い。また、焦点位置から離
れるに従ってある測定点と次の測定点とのピーク値の変
化量が小さくなり、特性曲線の幅は広くなり、そのピー
クは低い。
As can be seen from the difference between these characteristics 14 and 15, when the focus of the probe 3 coincides with the position of the defect, the amount of change in the peak value between a certain measurement point and the next measurement point becomes large,
The width of the characteristic curve with respect to the vertical axis passing through the origin O is the narrowest, and its peak is high and narrow. Further, as the distance from the focal position increases, the amount of change in the peak value between one measurement point and the next measurement point decreases, the width of the characteristic curve increases, and the peak decreases.

これにより、このような特性のうち最も幅が狭い特性
15が得られた位置が合焦点位置であることが判る。そこ
で、Z方向走査における各座標位置に対応してこのよう
な特性のピーク値の測定データを採取するのが、先のXZ
走査プログラム9aであり、得られたピーク値の測定デー
タは、そのプローブ3のZ座標に応じて焦点合わせデー
タ記憶領域9eにX方向の測定点の順に順次記憶されてい
く。
As a result, the narrowest of these characteristics
It can be seen that the position where 15 is obtained is the in-focus position. Therefore, the measurement data of the peak value of such a characteristic corresponding to each coordinate position in the Z-direction scanning is obtained by the above XZ.
This is the scanning program 9a, and the obtained peak value measurement data is sequentially stored in the focusing data storage area 9e in the order of measurement points in the X direction according to the Z coordinate of the probe 3.

しかし、第3図(b)に示すような測定データが得ら
れたとしても、その幅は、測定時の感度によって相違す
る。また、これら図では、説明の都合上、はっきりと相
違させているが、合焦点位置に近づくにつれて見分け難
くなるのが実際である。
However, even if the measurement data as shown in FIG. 3 (b) is obtained, the width varies depending on the sensitivity at the time of measurement. Further, in these drawings, for the sake of explanation, they are clearly different from each other, but it is actually difficult to distinguish them as the focal point position is approached.

正規化プログラム9bは、XZ走査プログラム9aの実行の
後にMPU8により起動され、各測定データを正規化するこ
とで、これらの幅の相違を明確にする。すなわち、この
プログラムをMPU8が実行することにより、MPU8は、ある
Z座標におけるX方向のピーク値の測定データのうち、
その最大値を検索して得る。そして、検索した最大ピー
ク値を100%として、各測定データのピーク値を最大ピ
ーク値からの割合のデータ変換して焦点合わせデータ記
憶領域9eの測定データを書換えていく。これにより、第
3図(c)に点線で示すような幅の広いデータがこれに
より実線で示すようなデータに正規化される。
The normalization program 9b is started by the MPU 8 after the execution of the XZ scanning program 9a, and clarifies the difference between these widths by normalizing each measurement data. In other words, when this program is executed by the MPU 8, the MPU 8 executes the measurement of the peak value in the X direction at a certain Z coordinate.
The maximum value is obtained by searching. Then, assuming that the searched maximum peak value is 100%, the peak value of each measurement data is converted into a data of a ratio from the maximum peak value, and the measurement data in the focusing data storage area 9e is rewritten. Thereby, the wide data as shown by the dotted line in FIG. 3 (c) is thereby normalized to the data as shown by the solid line.

焦点合わせプログラム9cは、正規化プログラム9bの実
行の後にMPU8により起動され、これをMPU8が実行するこ
とにより、MPU8は、正規化された焦点合わせデータ記憶
領域9eの各Z座標において50%の位置にあるデータの測
定点を検索して、その測定点からそのX方向の座標x1,x
2を算出し、さらに、これらの差Δx=|x2−x1|の値
を各Z座標対応に算出して、それぞれのZ座標対応に焦
点合わせデータ記憶領域9eに記憶する。この場合に得ら
れたΔxについて、合焦点位置を原点OとしてZ方向の
距離との関係を示すのが第3図(d)であり、合焦点位
置でその値が最小値になっている。そこで、このプログ
ラムを実行することで、MPU8は、前記Δxが最小となる
Z座標値を求めて、それを焦点合わせ位置としてプロー
ブ3をこのZ座標に位置決めする。
The focusing program 9c is started by the MPU 8 after the execution of the normalization program 9b, and when the MPU 8 executes the MPU 8, the MPU 8 moves the 50% position in each Z coordinate of the normalized focusing data storage area 9e. Search for the measurement point of the data located in the X direction and the coordinates x 1 , x in the X direction from the measurement point.
2 are calculated, and the value of the difference Δx = | x 2 −x 1 | is calculated for each Z coordinate, and stored in the focusing data storage area 9e for each Z coordinate. FIG. 3 (d) shows the relationship between Δx obtained in this case and the distance in the Z direction with the focal point at the origin O, and the value is the minimum value at the focal point. Therefore, by executing this program, the MPU 8 obtains a Z coordinate value at which the Δx is minimized, and positions the probe 3 at the Z coordinate as a focusing position.

次に、画像処理装置10の焦点合わせの全体的な処理に
ついて第2図に従って説明する。
Next, the overall focusing process of the image processing apparatus 10 will be described with reference to FIG.

まず、ステップで操作パネルからプローブ3の焦点
距離と被検体16の厚さ等の初期情報、そして、焦点合わ
せのためのXZ走査における走査開始座標やX方向の測定
ピッチPx,Z方向の測定ピッチPz、焦点合わせのためのX
方向の測定距離Xm等を入力する。なお、このときには、
焦点合わせを行うためにエコーを発生する欠陥あるいは
接合個所等の位置は前記の測定距離Xmの内部に含まれて
いるものとする。また、超音波探傷器4の送信パルスの
発生周期やピーク検出回路5のゲート幅等は、あらかじ
め超音波探査映像装置として最もよく使われる設定値に
なるように設定するデータがメモリ9の所定領域に記憶
されていて、それらのデータが参照されてMPU8によりイ
ンタフェース7を介して設定される。例えば、ピーク検
出のゲート幅は、0.1μsから数μs程度の期間に設定
されている。これらの設定値は可変であるが、設定値を
変えなくても機能上、問題はないので、特定の技術知識
がない限り、設定操作の必要がない。また、ゲート位置
は、プローブ3の焦点位置に合わせて行われ、表面エコ
ーを検出してからの時間として設定される。設定される
時間は、Z方向の走査に応じて各測定位置(それぞれの
Z座標)から焦点位置を割出して時間を算出するもので
あって、この処理がメモリ9に記憶されているゲート設
定処理プログラム(図示せず)に従って行われ、MPU8に
よりインタフェース7を介して演算結果がピーク検出回
路5に与えられる。
First, in a step, initial information such as the focal length of the probe 3 and the thickness of the subject 16 from the operation panel, the scanning start coordinates in the XZ scan for focusing, and the measurement pitch Px in the X direction and the measurement pitch in the Z direction Pz, X for focusing
Enter the measurement distance Xm in the direction. In this case,
It is assumed that the position of a defect or a joint that generates an echo for performing focusing is included in the above-described measurement distance Xm. Further, data for setting the generation cycle of the transmission pulse of the ultrasonic flaw detector 4, the gate width of the peak detection circuit 5, and the like in advance so as to have the most frequently used setting values for the ultrasonic inspection imaging apparatus are stored in a predetermined area of the memory 9. The data is referred to and set by the MPU 8 via the interface 7. For example, the gate width for peak detection is set to a period of about 0.1 μs to several μs. Although these set values are variable, there is no functional problem even if the set values are not changed, so that there is no need for a setting operation unless specific technical knowledge is given. Further, the gate position is set in accordance with the focal position of the probe 3, and is set as the time after detecting the surface echo. The set time is to calculate the time by calculating the focus position from each measurement position (each Z coordinate) according to the scanning in the Z direction. This processing is performed by the gate setting stored in the memory 9. The calculation is performed according to a processing program (not shown), and the calculation result is provided to the peak detection circuit 5 via the interface 7 by the MPU 8.

次のステップにおいて、XZ走査プログラム9aが起動
され、焦点合わせを行う測定開始位置にまずプローブ3
が位置付けられ、MPU8は、このプログラムを実行してプ
ローブ3の高さ方向(Z方向)の基準位置としてプロー
ブ3の焦点がその表面直下に来る距離と等しくなるよう
に被検体16とプローブ3との間隔を設定する。
In the next step, the XZ scanning program 9a is started, and the probe 3 is moved to the measurement start position for focusing.
The MPU 8 executes this program and executes the program so that the subject 16 and the probe 3 are positioned as a reference position in the height direction (Z direction) of the probe 3 so that the focal point of the probe 3 is equal to the distance directly below the surface. Set the interval of.

ステップで、操作パネル上の測定開始キーの入力待
ちループに入り、走査開始か否かをそのキー入力により
検出する。キーが入力されると、次のステップにおい
て、入力された測定ピッチPx,測定ピッチPz,X方向の測
定距離Xmに従って、XZ走査測定が開始され、MPU8のXZ走
査プログラム9aの実行により被検体16は、X方向の測定
点更新(測定位置の更新)ともにZ方向にも走査され
る。その結果、各Z座標の位置においてX方向の測定点
対応にピーク値の測定データが得られ、それが焦点合わ
せデータ記憶領域9eに記憶される。
In a step, the process enters a loop for waiting for the input of a measurement start key on the operation panel, and detects whether or not to start scanning by inputting the key. When the key is input, in the next step, the XZ scan measurement is started according to the input measurement pitch Px, measurement pitch Pz, and measurement distance Xm in the X direction, and the MPU 8 executes the XZ scan program 9a to execute the XZ scan measurement. Is also scanned in the Z direction together with the update of the measurement point in the X direction (update of the measurement position). As a result, measured data of the peak value is obtained at the position of each Z coordinate corresponding to the measurement point in the X direction, and is stored in the focusing data storage area 9e.

次に、ステップで正規化プログラム9bがMPU8により
実行されて焦点合わせデータ記憶領域9eのピーク値の測
定データが正規化され、ステップで、正規化されたピ
ーク値の測定データのうちから50%のピーク値おけるX
方向の座標値の差Δxが算出され、ステップでその最
小値の位置のZ座標にプローブ3が位置決めされる。
Next, in a step, the normalization program 9b is executed by the MPU 8 to normalize the measured data of the peak value in the focusing data storage area 9e, and in the step, 50% of the measured data of the normalized peak value is measured. X at peak value
The difference Δx between the coordinate values in the directions is calculated, and the probe 3 is positioned at the Z coordinate of the position of the minimum value in the step.

この位置決めが終了した時点で焦点合わせが完了し、
次のステップで、操作パネル上の走査測定開始キーの
入力待ちループにより走査開始か否かを検出する。ここ
で、測定開始キーが入力されると、次のステップにお
いて平面走査プログラムが実行され、あらかじめ入力さ
れた測定条件に基づいて、MPU8は、前記の焦点合わせが
された高さに固定されたプローブ3により測定開始位置
から通常のXY走査による平面走査を行う。この平面走査
測定によって得られる平面映像は、測定したい深さに焦
点に合った鮮明な映像になる。そして、最後にステップ
で測定終了か否かを終了キー入力等により判定する。
Focusing is completed when this positioning is completed,
In the next step, whether or not scanning is started is detected by a loop waiting for input of a scan measurement start key on the operation panel. Here, when the measurement start key is input, the plane scanning program is executed in the next step, and based on the measurement conditions input in advance, the MPU 8 sets the probe fixed to the above-mentioned focused height. By 3, plane scanning by ordinary XY scanning is performed from the measurement start position. The plane image obtained by this plane scanning measurement becomes a clear image focused on the depth to be measured. Finally, in a step, it is determined whether or not the measurement is completed by inputting an end key or the like.

このようにして、ここでは、焦点合わせをしなくて
も、被検体16の接合個所等のエコーが得られる位置に自
動的に焦点合わせができるので、オペレータは、焦点合
わせの特別な操作をしなくても済む。したがって、超音
波や電子計測器等に関する特定の技術知識がなくても、
極めて簡単に超音波探査映像装置により欠陥検査やその
他の測定ができる。
In this way, since the focus can be automatically adjusted to a position at which an echo is obtained, such as a joint of the subject 16 without focusing, the operator performs a special operation for focusing. You don't have to. Therefore, even without specific technical knowledge about ultrasonics, electronic measuring instruments, etc.
Defect inspection and other measurements can be performed very easily with an ultrasonic imaging device.

ところで、ステップにおいては、自動的に50%のピ
ーク値おけるX方向の座標値の差Δxが算出され、ステ
ップでは、その最小値の位置のZ座標にプローブ3が
位置決めされるようになっていて自動焦点合わせができ
るが、第3図(d)のグラフをディスプレイ12の画面上
に表示して最小値のZ座標を表示することで、マニュア
ルにてプローブ3の位置を合焦点位置に位置決めしても
よい。また、前記のX方向の座標値の差Δxを算出して
ディスプレイ12の画面上に表示するようにし、さらに、
XZ走査のうちZ方向の位置決めをマニュアルで行うよう
にして前記Δxが最小になるようなプローブ3の高さを
求めてもよい。
By the way, in the step, the difference Δx of the coordinate value in the X direction at the peak value of 50% is automatically calculated, and in the step, the probe 3 is positioned at the Z coordinate of the position of the minimum value. Automatic focusing can be performed, but the graph of FIG. 3D is displayed on the screen of the display 12 to display the minimum Z coordinate, thereby manually positioning the position of the probe 3 at the focused position. You may. Further, the difference Δx between the coordinate values in the X direction is calculated and displayed on the screen of the display 12, and further,
The height of the probe 3 that minimizes the Δx may be obtained by manually performing the positioning in the Z direction in the XZ scan.

以上説明してきたが、実施例では、焦点合わせにXZ方
向で走査をしているが、これは、YZ方向であってもよい
ことはもちろんである。
As described above, in the embodiment, the scanning is performed in the XZ direction for focusing, but it is needless to say that the scanning may be performed in the YZ direction.

また、実施例では、測定データに対して正規化した
後、50%の位置でX方向の座標値の差Δxを算出するよ
うにしているが、その割合は、50%に限定されるもので
はなく、0%と100%を除けば、理論的には、どのよう
な割合を採ってもよい。また、%で示しているが、ピー
ク値の最大値を100%とすることなく、100%に対応する
特定の値を設定してその値で各測定データを正規化して
も同様である。
Further, in the embodiment, after normalizing the measurement data, the difference Δx between the coordinate values in the X direction at the position of 50% is calculated, but the ratio is not limited to 50%. Theoretically, any ratio except for 0% and 100% may be adopted. In addition, although shown in%, the same applies when a specific value corresponding to 100% is set without normalizing the maximum value of the peak value, and each measured data is normalized by that value.

実施例では、XY平面走査を前提としてXZ走査で焦点合
わせをしているが、R,Θの回転走査ではRZ走査あるいは
ΘZ走査をすればよく、この発明は、このような走査で
も同様に適用可能であって、走査の形態には限定されな
い。
In the embodiment, focusing is performed by XZ scanning on the premise of XY plane scanning, but RZ or ΘZ scanning may be performed in R, 回 転 rotation scanning, and the present invention is similarly applied to such scanning. It is possible and is not limited to the form of scanning.

また、実施例では、欠陥の位置1点だけを指定してそ
こに焦点合わせをしているが、多数の欠陥や接合個所が
あった場合には、それぞれにおいてXZ,YZ走査をすれ
ば、被検体内部の深さ方向の複数個所において順次焦点
合わせを行うことができる。
In the embodiment, only one defect position is designated and focused there. However, if there are many defects or joints, XZ and YZ scans can be performed on each of them to obtain a defect. Focusing can be performed sequentially at a plurality of locations in the depth direction inside the sample.

[発明の効果] 以上の説明から理解できるように、この発明にあって
は、被検体の深さ方向と被検体の面方向(面に沿ったX,
Y,R,Θの方向)とに従う二次元で走査をして各深さ方向
の走査位置においてピーク値を面方向の距離対応に採取
することで、焦点合わせ部分に対応する上部表面位置で
最大となるような特性の測定データを得て、かつ、その
測定データを最大ピーク値を基準として正規化して最小
幅の特性の測定データを得るプローブ高さ(Z座標)を
求めるので、その特性がもっとも急峻となる合焦点位置
のプローブの高さ(Z座標)を検出できる。そこで、こ
れにより得たプローブの高さにプローブを位置決めする
ことで自動的に焦点合わせができる。
[Effects of the Invention] As can be understood from the above description, in the present invention, the depth direction of the subject and the surface direction of the subject (X,
(Y, R, Θ directions), and by scanning in two dimensions according to the distance, and collecting the peak value at each scanning position in the depth direction corresponding to the distance in the plane direction, the maximum value is obtained at the upper surface position corresponding to the focusing part. The probe height (Z coordinate) for obtaining the measurement data of the characteristic having the minimum width is obtained by obtaining the measurement data of the characteristic that satisfies the following, and normalizing the measurement data with reference to the maximum peak value. The height (Z coordinate) of the probe at the steepest in-focus position can be detected. Therefore, focusing can be performed automatically by positioning the probe at the height of the probe obtained thereby.

その結果、超音波測定に熟知していない人であっても
簡単に焦点合わせができ、合焦点状態で正確な測定がで
きる。
As a result, even a person who is not familiar with ultrasonic measurement can easily perform focusing, and can perform accurate measurement in a focused state.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、この発明の一実施例の超音波探査映像装置の
ブロック図であり、第2図は、その焦点合わせ処理のフ
ローチャート、第3図(a),(b),(c)及び
(d)は、それぞれその焦点合わせの原理についての説
明図である。 1……走査機構、2……スキャン制御装置、3……プロ
ーブ、4……超音波探傷器、5……エコー幅検出回路、
6……時間計測回路、7……インタフェース、8……マ
イクロプロセッサ(MPU)、9……メモリ、9a……XZ走
査プログラム、9b……正規化プログラム、9c……焦点合
わせプログラム、9d……パラメータ記憶領域、9e……焦
点合わせデータ記憶領域、10……画像処理装置、11……
画像メモリ、12……ディスプレイ、13……バス、16……
被検体、20……超音波測定装置。
FIG. 1 is a block diagram of an ultrasonic exploration imaging apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a flowchart of the focusing process, and FIGS. 3 (a), (b), (c) and (D) is an explanatory view of the principle of focusing. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Scanning mechanism 2 ... Scan control device 3 ... Probe 4 ... Ultrasonic flaw detector 5 ... Echo width detection circuit
6 Time measurement circuit 7 Interface 8 Microprocessor (MPU) 9 Memory 9a XZ scanning program 9b Normalization program 9c Focusing program 9d Parameter storage area 9e Focusing data storage area 10 Image processing device 11
Image memory, 12 ... Display, 13 ... Bus, 16 ...
Subject, 20 ... Ultrasonic measurement device.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01N 29/00 - 29/28 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G01N 29/00-29/28

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】所定の深さにエコー発生部分を有する被検
体に対して前記エコー発生部分に焦点型の超音波探触子
の焦点を合わせて探傷を行い、その映像を表示する超音
波探査映像装置の焦点合わせ方法において、前記被検体
の深さZ方向と前記被検体の面に沿ったX,Y,R,Θの方向
の中から選択されたいずれか1つの方向との二次元にお
いて前記Z方向の所定の位置に前記超音波探触子を設定
して前記選択された前記1つの方向に沿って前記エコー
発生部が走査される走査をして各測定点から得られた測
定データからなる測定データ列を前記Z方向の位置を変
えて繰り返して求め、これら複数の前記測定データ列に
おいて最大のピーク値の測定データを基準にして前記測
定データ列の正規化をし、この正規化状態において複数
の各前記測定データ列におけるピーク値から所定の割合
にある測定点間の距離が最小となる前記測定データ列が
採取されたときの前記Z方向の位置に前記超音波探触子
を位置決めすることにより前記エコー発生部分に対する
焦点合わせをすることを特徴とする超音波探査映像装置
の焦点合わせ方法。
1. An ultrasonic probe for a subject having an echo generating portion at a predetermined depth, performing flaw detection by focusing a focus type ultrasonic probe on the echo generating portion and displaying an image thereof. In the focusing method of the imaging apparatus, in two dimensions of a depth Z direction of the subject and any one direction selected from X, Y, R, and 方向 directions along the surface of the subject. The ultrasonic probe is set at a predetermined position in the Z direction, and the echo generator is scanned along the selected one direction. The measurement data obtained from each measurement point. Is repeatedly obtained by changing the position in the Z direction, and the measurement data sequence is normalized with reference to the measurement data of the maximum peak value in the plurality of measurement data sequences. A plurality of each said measurement data in the state By positioning the ultrasonic probe at the position in the Z direction when the measurement data sequence in which the distance between the measurement points at a predetermined ratio from the peak value is minimum is sampled, A focusing method for an ultrasonic exploration imaging apparatus, comprising: focusing.
【請求項2】前記正規化された状態における複数の前記
測定データ列のそれぞれの前記測定点間の距離とこの距
離に対応する前記測定データ列が採取されたときの前記
Z方向の位置とがディスプレイ上に表示され、表示され
た距離が最小となる前記Z方向の位置が選択され、この
Z方向の位置に前記超音波探触子を位置決めすることに
よりエコー発生部分に対して焦点合わせをすることを特
徴とする請求項1記載の超音波探査映像装置の焦点合わ
せ方法。
2. The distance between each of the measurement points of the plurality of measurement data strings in the normalized state and the position in the Z direction when the measurement data string corresponding to this distance is collected. The position in the Z direction which is displayed on the display and at which the displayed distance is minimized is selected, and the ultrasonic probe is positioned at the position in the Z direction to focus on the echo generating portion. The method of claim 1, wherein:
【請求項3】前記超音波探触子の前記Z方向の位置決め
がマニュアルにて行われることを特徴とする請求項2記
載の超音波探査映像装置の焦点合わせ方法。
3. The method of claim 2, wherein the positioning of the ultrasonic probe in the Z direction is performed manually.
【請求項4】所定の深さにエコー発生部分を有する被検
体に対して前記エコー発生部分に焦点型の超音波探触子
の焦点を合わせて探傷を行い、その映像を表示する超音
波探査映像装置において、前記被検体の深さZ方向と前
記被検体の面に沿ったX,Y,R,Θの方向の中から選択され
たいずれか1つの方向との二次元において前記被検体を
前記超音波探触子により走査する走査機構と、 この走査機構を制御して前記Z方向の所定の位置に前記
超音波探触子を設定して前記選択された前記1つの方向
に沿って前記エコー発生部が走査される走査をして各測
定点から測定データを得て、得られた前記測定データか
らなる測定データ列を前記Z方向の位置を変えて繰り返
して複数求め前記Z方向の位置との関係において記憶す
る測定データ採取手段と、 この測定データ採取手段により記憶された複数の前記測
定データ列において最大のピーク値を得てこの最大ピー
ク値の前記測定データを基準にして前記測定データ列の
正規化をする正規化手段と、 この正規化手段により正規化された状態において複数の
各前記測定データ列におけるピーク値から所定の割合に
ある測定点間の距離が最小となる前記測定データ列が採
取されたときの前記Z方向の位置に前記超音波探触子を
位置決めすることにより前記エコー発生部分に対する焦
点合わせをする焦点合わせ手段とを備えることを特徴す
る超音波探査映像装置。
4. An ultrasonic probe which performs flaw detection on an object having an echo generating portion at a predetermined depth by focusing a focus type ultrasonic probe on the echo generating portion, and displays an image thereof. In the imaging apparatus, the subject is defined in two dimensions: a depth Z direction of the subject and one of X, Y, R, and 方向 directions along the surface of the subject. A scanning mechanism that scans with the ultrasonic probe, and controls the scanning mechanism to set the ultrasonic probe at a predetermined position in the Z direction and to set the ultrasonic probe along the selected one direction. The echo generating unit performs scanning to obtain measurement data from each measurement point, and repeatedly obtains a plurality of measurement data strings including the obtained measurement data while changing the position in the Z direction. Means for collecting measurement data stored in relation to Normalization means for obtaining a maximum peak value in the plurality of measurement data strings stored by the measurement data collection means, and normalizing the measurement data string based on the measurement data having the maximum peak value; The position in the Z direction when the measurement data sequence in which the distance between the measurement points at a predetermined ratio from the peak value in each of the plurality of measurement data sequences is minimized in a state normalized by the normalization means is sampled. And a focusing means for focusing on the echo generating portion by positioning the ultrasound probe.
【請求項5】さらに、プロセッサとメモリとディスプレ
イとを有し、前記測定データ採取手段と前記正規化手段
と前記焦点合わせ手段の少なくとも一部は前記メモリに
記憶されたプログラムを前記プロセッサが実行すること
で実現され、前記プロセッサの制御により正規化された
状態における複数の前記測定データ列のそれぞれの前記
測定点間の距離とこの距離に対応する前記測定データ列
が採取されたときの前記Z方向の位置とが前記ディスプ
レイ上に表示される請求項4記載の超音波探査映像装
置。
5. The processor further includes a processor, a memory, and a display, and at least a part of the measurement data collection unit, the normalization unit, and the focusing unit execute a program stored in the memory by the processor. The distance between the measurement points of the plurality of measurement data strings in a state normalized by the control of the processor and the Z direction when the measurement data string corresponding to this distance is sampled The ultrasonic search and imaging device according to claim 4, wherein the position and the position are displayed on the display.
JP2214765A 1990-08-14 1990-08-14 Ultrasound imaging device focusing method and ultrasonic imaging device using this method Expired - Fee Related JP2881702B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2214765A JP2881702B2 (en) 1990-08-14 1990-08-14 Ultrasound imaging device focusing method and ultrasonic imaging device using this method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2214765A JP2881702B2 (en) 1990-08-14 1990-08-14 Ultrasound imaging device focusing method and ultrasonic imaging device using this method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0495873A JPH0495873A (en) 1992-03-27
JP2881702B2 true JP2881702B2 (en) 1999-04-12

Family

ID=16661169

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2214765A Expired - Fee Related JP2881702B2 (en) 1990-08-14 1990-08-14 Ultrasound imaging device focusing method and ultrasonic imaging device using this method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2881702B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110220981B (en) * 2019-06-18 2024-06-18 武汉工程大学 Positioning instrument for ultrasonic scanning microscope
CN112630306B (en) * 2020-08-20 2023-08-01 中国科学院大学 Automatic focusing method and system based on ultrasonic microscope point focusing transducer

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0495873A (en) 1992-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1342079B1 (en) Frequency domain processing of acoustic micro imaging signals
KR0171606B1 (en) Ultrasonic inspection and imaging instrument
US5750895A (en) Method and apparatus for dual amplitude dual time-of-flight ultrasonic imaging
JP3499747B2 (en) Portable ultrasonic flaw detector
JP2881702B2 (en) Ultrasound imaging device focusing method and ultrasonic imaging device using this method
KR0171605B1 (en) Ultrasonic inspection and imaging instrument
JP3171340B2 (en) Ultrasound imaging device
US6073477A (en) Digital bond tester
JP2640878B2 (en) Ultrasound imaging equipment
JP3212541B2 (en) Ultrasonic flaw detector and ultrasonic flaw detection method
JP2824860B2 (en) Ultrasonic surface condition measuring device
JP2755651B2 (en) Ultrasonic flaw detector
JP2824846B2 (en) Ultrasonic measurement method
JP3263530B2 (en) Ultrasonic inspection equipment
JP2970816B2 (en) Ultrasonic measuring device
JPS61266907A (en) Detector for surface condition
JPS61151458A (en) C-scanning ultrasonic flaw detection method and apparatus thereof
JP3040051B2 (en) Ultrasound imaging equipment
JPH06213878A (en) Supersonic image inspector
JP2021139642A (en) Ultrasonic inspection device for welded portion
JPS6234101B2 (en)
JP3154269B2 (en) Ultrasonic imaging device image creation method
JP2631783B2 (en) Ultrasound imaging equipment
JP2784206B2 (en) Ultrasonic inspection equipment
JPH06213879A (en) Ultrasonic image inspecting device

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees