JP2878555B2 - サーボ形容積流量計 - Google Patents
サーボ形容積流量計Info
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Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、サーボ形容積流量計に関し、よ
り詳細には、無差圧駆動形容積流量計の差圧検出器の圧
力導入口の開口位置に関する。
り詳細には、無差圧駆動形容積流量計の差圧検出器の圧
力導入口の開口位置に関する。
【０００２】
【従来技術】周知のように、一対の回転子を有する代表
的な容積流量計は、計量室と計量室内で回転する一対の
回転子を有し、計量室と回転子とで形成される容積を基
準容積として計量室内に流入する流体を回転子の回転に
応じて流出することにより、回転子の回転数から流量を
求める流量計である。すなわち、理想的には、基準容積
に相当する体積の流体が回転子の回転に比例して排出さ
れる。しかし、実際の容積流量計においては、回転子の
回転を可能とするために回転子と計量室との間には、微
小な隙が設けられており、回転子は計量室と接触するこ
となく回転する。また、回転子が回転するためには、機
械的要素の負荷、例えば軸受摩擦や計数部の負荷に打ち
勝つ回転トルクが必要で、この回転トルクを流体が回転
子に作用する流体差圧による回転モーメントにより得て
いる。この結果、回転子と計量室との隙間より計測に係
わらない流体の流出、すなわちスリッペイジ（Slippag
e）が生ずる。このスリッペイジは、理想流量計に対す
る実際の容積流量計の器差となるもので、スリッペイジ
の大きさは流体差圧によるモーメントに対して摩擦トル
クの割合が大きい小流量の範囲で大きく、またその他の
流量域において生ずる差圧の大きさによっても異なり、
更には、全流量域において流体の粘度に逆比例して大き
く変化する。
的な容積流量計は、計量室と計量室内で回転する一対の
回転子を有し、計量室と回転子とで形成される容積を基
準容積として計量室内に流入する流体を回転子の回転に
応じて流出することにより、回転子の回転数から流量を
求める流量計である。すなわち、理想的には、基準容積
に相当する体積の流体が回転子の回転に比例して排出さ
れる。しかし、実際の容積流量計においては、回転子の
回転を可能とするために回転子と計量室との間には、微
小な隙が設けられており、回転子は計量室と接触するこ
となく回転する。また、回転子が回転するためには、機
械的要素の負荷、例えば軸受摩擦や計数部の負荷に打ち
勝つ回転トルクが必要で、この回転トルクを流体が回転
子に作用する流体差圧による回転モーメントにより得て
いる。この結果、回転子と計量室との隙間より計測に係
わらない流体の流出、すなわちスリッペイジ（Slippag
e）が生ずる。このスリッペイジは、理想流量計に対す
る実際の容積流量計の器差となるもので、スリッペイジ
の大きさは流体差圧によるモーメントに対して摩擦トル
クの割合が大きい小流量の範囲で大きく、またその他の
流量域において生ずる差圧の大きさによっても異なり、
更には、全流量域において流体の粘度に逆比例して大き
く変化する。
【０００３】このような容積流量計を理想的な容積流量
計とするために、スリッペイジをなくすことである。サ
ーボ形容積流量計はスリッペイジをなくすため、回転子
の前後流部、すなわち計量室の前後の差圧を零にするサ
ーボ機構を有する無差圧駆動形である。図６は、従来の
サーボ流量計の一例を説明するためのブロック図で、図
中、３０はサーボ流量計、３１は容積流量計、３２は計
量室、３３は第１回転子軸、３４は第２回転子軸、３５
は第１回転子、３６は第２回転子、３７，３８は導圧
管、３９は差圧計、４０はサーボ増幅器、４１はサーボ
モータである。
計とするために、スリッペイジをなくすことである。サ
ーボ形容積流量計はスリッペイジをなくすため、回転子
の前後流部、すなわち計量室の前後の差圧を零にするサ
ーボ機構を有する無差圧駆動形である。図６は、従来の
サーボ流量計の一例を説明するためのブロック図で、図
中、３０はサーボ流量計、３１は容積流量計、３２は計
量室、３３は第１回転子軸、３４は第２回転子軸、３５
は第１回転子、３６は第２回転子、３７，３８は導圧
管、３９は差圧計、４０はサーボ増幅器、４１はサーボ
モータである。
【０００４】図６において、サーボ流量計３０は、容積
流量計３１と差圧計３９とサーボ増幅器４０及びサーボ
モータ４１とからなるサーボ機構により構成される。容
積流量計３１は、本体内に形成された計量室３２と計量
室３２内に固着された第１，第２回転子軸３３，３４の
まわりに回転可能に軸支された第１，第２回転子３５，
３６とからなっている。なお、第１，第２回転子３５，
３６は計量室３２の外部でパイロット歯車３５ａ，３６
ａとで噛合わされ、互いに反対方向に回転可能となって
いる。差圧計３９は導圧管３７，３８を有し、導圧管３
７は流入口３２ａ側の計量室３２の直前の管壁Ｍ部に開
口し、導圧管３８は流出口３２ｂ側の計量室３２直後の
管壁Ｎ部に開口している。サーボ増幅器４０は導線３９
ａから入力する差圧計３９の差圧信号を増幅し、導線４
０ａを介してサーボモータ４１を駆動し、このサーボモ
ータ４１により動力伝達機構４１及びパイロット歯車３
５ａ（或いは３６ａ）を介して第１（或いは第２）回転
子３５（或いは３６）を駆動する。回転子３５の駆動
は、差圧計３９の差圧信号が零となる方向に回転され
る。
流量計３１と差圧計３９とサーボ増幅器４０及びサーボ
モータ４１とからなるサーボ機構により構成される。容
積流量計３１は、本体内に形成された計量室３２と計量
室３２内に固着された第１，第２回転子軸３３，３４の
まわりに回転可能に軸支された第１，第２回転子３５，
３６とからなっている。なお、第１，第２回転子３５，
３６は計量室３２の外部でパイロット歯車３５ａ，３６
ａとで噛合わされ、互いに反対方向に回転可能となって
いる。差圧計３９は導圧管３７，３８を有し、導圧管３
７は流入口３２ａ側の計量室３２の直前の管壁Ｍ部に開
口し、導圧管３８は流出口３２ｂ側の計量室３２直後の
管壁Ｎ部に開口している。サーボ増幅器４０は導線３９
ａから入力する差圧計３９の差圧信号を増幅し、導線４
０ａを介してサーボモータ４１を駆動し、このサーボモ
ータ４１により動力伝達機構４１及びパイロット歯車３
５ａ（或いは３６ａ）を介して第１（或いは第２）回転
子３５（或いは３６）を駆動する。回転子３５の駆動
は、差圧計３９の差圧信号が零となる方向に回転され
る。
【０００５】しかし、差圧計３９の圧力導圧管３７，３
８の開口の位置を回転子の直前、すなわち計量室３２の
直前のＭ,Ｎ位置に開口すると、計測流体の圧力によっ
ては、差圧計３９の差圧信号は零となってもスリッペイ
ジは零とならなかった。この傾向は、計測流体圧力が増
加する程大きくなり、器差はプラス方向に移動した。
８の開口の位置を回転子の直前、すなわち計量室３２の
直前のＭ,Ｎ位置に開口すると、計測流体の圧力によっ
ては、差圧計３９の差圧信号は零となってもスリッペイ
ジは零とならなかった。この傾向は、計測流体圧力が増
加する程大きくなり、器差はプラス方向に移動した。
【０００６】本出願人は、計量室および計量室前後流で
の圧力変化を測定した結果、回転子の回転に伴う本来の
差圧に対して、回転子の回転および流体圧力に対応する
変動圧力が畳重することが確かめられた。差圧計は、こ
の変動圧力を検知するので、計量室の本来の差圧を正確
に検知した圧力ではなく、サーボモータは前記の検出さ
れた圧力信号を零とするように回転子を回転する。この
結果、回転子はオーバドライブしてポンプ作用を生じ、
測定流体の逆リーク現象により器差がプラスになること
が判明した。
の圧力変化を測定した結果、回転子の回転に伴う本来の
差圧に対して、回転子の回転および流体圧力に対応する
変動圧力が畳重することが確かめられた。差圧計は、こ
の変動圧力を検知するので、計量室の本来の差圧を正確
に検知した圧力ではなく、サーボモータは前記の検出さ
れた圧力信号を零とするように回転子を回転する。この
結果、回転子はオーバドライブしてポンプ作用を生じ、
測定流体の逆リーク現象により器差がプラスになること
が判明した。
【０００７】
【目的】本発明は、上述の実情に鑑みてなされたもの
で、測定流体の圧力が変化しても器差特性に影響を与え
ず、しかも理想的な無差圧容積流量計に近づけるように
器差特性を改善することを目的としてなされたものであ
る。
で、測定流体の圧力が変化しても器差特性に影響を与え
ず、しかも理想的な無差圧容積流量計に近づけるように
器差特性を改善することを目的としてなされたものであ
る。
【０００８】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
流入口および流出口に連通し、ケーシング内に配設され
た計量室と、該計量室内で流体差圧により回転し、流入
した一定体積の流体を流出する対をなす第１および第２
回転子と、該回転子の回転から流量を計測する容積流量
計と；該容積流量計の前記流体差圧を検知する差圧計
と；該差圧計の差圧信号を入力し、該差圧信号を零にす
るように前記第１又は第２回転子の何れかを駆動するサ
ーボ機構とからなり、前記容積流量計は、前記流量室に
連通した、前記第１回転子流入側ラジアル方向の流入側
第１開口と、前記第２回転子流入側ラジアル方向の流入
側第２開口と、前記第１回転子流出側ラジアル方向の流
出側第１開口と、前記第２回転子流出側ラジアル方向の
流出側第２開口とを前記ケーシングに開口し、前記流入
側第１開口と流入側第２開口とを連通する流入側連通管
と、前記流出側第１開口と前記流出側第２開口とを連通
する流出側連通管とを有し、前記差圧計の高圧側圧力導
入口を前記流入側連通管と連通し、低圧側導入口を流出
側連通管に連通したこと、更には、（２）前記（１）に
おいて、前記流入側第１および第２開口と、流出側第１
および第２開口を各々の回転子軸方向に複数配設したこ
と、更には、（３）前記（１）又は（２）において、前
記ケーシングに開口するラジアル方向の角度を、流入口
と流出口とを結ぶ軸線に平行な各々の回転子直径に対
し、略々４５°としたことを特徴とするものである。以
下、本発明の実施例に基いて説明する。
流入口および流出口に連通し、ケーシング内に配設され
た計量室と、該計量室内で流体差圧により回転し、流入
した一定体積の流体を流出する対をなす第１および第２
回転子と、該回転子の回転から流量を計測する容積流量
計と；該容積流量計の前記流体差圧を検知する差圧計
と；該差圧計の差圧信号を入力し、該差圧信号を零にす
るように前記第１又は第２回転子の何れかを駆動するサ
ーボ機構とからなり、前記容積流量計は、前記流量室に
連通した、前記第１回転子流入側ラジアル方向の流入側
第１開口と、前記第２回転子流入側ラジアル方向の流入
側第２開口と、前記第１回転子流出側ラジアル方向の流
出側第１開口と、前記第２回転子流出側ラジアル方向の
流出側第２開口とを前記ケーシングに開口し、前記流入
側第１開口と流入側第２開口とを連通する流入側連通管
と、前記流出側第１開口と前記流出側第２開口とを連通
する流出側連通管とを有し、前記差圧計の高圧側圧力導
入口を前記流入側連通管と連通し、低圧側導入口を流出
側連通管に連通したこと、更には、（２）前記（１）に
おいて、前記流入側第１および第２開口と、流出側第１
および第２開口を各々の回転子軸方向に複数配設したこ
と、更には、（３）前記（１）又は（２）において、前
記ケーシングに開口するラジアル方向の角度を、流入口
と流出口とを結ぶ軸線に平行な各々の回転子直径に対
し、略々４５°としたことを特徴とするものである。以
下、本発明の実施例に基いて説明する。
【０００９】図１は、本発明におけるサーボ流量計の一
実施例を説明するための図で、図中、１は容積流量計、
２はケーシング、３は計量室、４は第１回転子軸、５は
第２回転子軸、６は第１回転子、７は第２回転子、８は
流入側第１開口、９は流入側第２開口、１０は流出側第
１開口、１１は流出側第２開口、１２は流入側連通管、
１３は流出側連通管、１４は上流側圧力導入管、１５は
下流側圧力導入管、１６，１７，１８は弁、１９はバイ
パス管、２０は差圧計、２１はサーボ増幅器、２２はプ
リアンプ、２３はメインアンプ、２４は駆動部、２５は
変速歯車（Ｒ・Ｇ）、２６はサーボモータ（Ｓ・Ｍ）、
２７はタコジェネレータ（Ｔ・Ｇ）である。
実施例を説明するための図で、図中、１は容積流量計、
２はケーシング、３は計量室、４は第１回転子軸、５は
第２回転子軸、６は第１回転子、７は第２回転子、８は
流入側第１開口、９は流入側第２開口、１０は流出側第
１開口、１１は流出側第２開口、１２は流入側連通管、
１３は流出側連通管、１４は上流側圧力導入管、１５は
下流側圧力導入管、１６，１７，１８は弁、１９はバイ
パス管、２０は差圧計、２１はサーボ増幅器、２２はプ
リアンプ、２３はメインアンプ、２４は駆動部、２５は
変速歯車（Ｒ・Ｇ）、２６はサーボモータ（Ｓ・Ｍ）、
２７はタコジェネレータ（Ｔ・Ｇ）である。
【００１０】図１のサーボ流量計は、容積流量計２と差
圧計２０とサーボ増幅器２１および駆動部２４とからな
るサーボ機構とで構成される。容積流量計２は、流入口
２ａと流出口２ｂに連通し、ケーシング２に形成された
計量室３と、この計量室３内に固着された第１回転子軸
４及び第２回転子軸５に各々軸支された第１回転子６及
び第２回転子７とからなっている。第１回転子６及び第
２回転子７には本体外部、すなわち計量室３外部のパイ
ロット歯車６ａと７ａとの噛合により、互いに反対方向
に同期回転可能で、パイロット歯車６ａは駆動部２４が
接合されている。駆動部２４は変速無車（Ｒ・Ｇ）２５
とサーボモータ２６及びタコジェネレータ（Ｔ・Ｇ）２
７とからなり、それぞれは縦接続されている。なお、計
量室３は説明の都合上２分割し、第１回転子６側を第１
計量室３ａ，第２回転子７側を第２計量室３ｂと呼ぶ。
圧計２０とサーボ増幅器２１および駆動部２４とからな
るサーボ機構とで構成される。容積流量計２は、流入口
２ａと流出口２ｂに連通し、ケーシング２に形成された
計量室３と、この計量室３内に固着された第１回転子軸
４及び第２回転子軸５に各々軸支された第１回転子６及
び第２回転子７とからなっている。第１回転子６及び第
２回転子７には本体外部、すなわち計量室３外部のパイ
ロット歯車６ａと７ａとの噛合により、互いに反対方向
に同期回転可能で、パイロット歯車６ａは駆動部２４が
接合されている。駆動部２４は変速無車（Ｒ・Ｇ）２５
とサーボモータ２６及びタコジェネレータ（Ｔ・Ｇ）２
７とからなり、それぞれは縦接続されている。なお、計
量室３は説明の都合上２分割し、第１回転子６側を第１
計量室３ａ，第２回転子７側を第２計量室３ｂと呼ぶ。
【００１１】ケーシング２には、第１回転子６軸方向の
中間部の位置で、ラジアル方向に各々計量室３ａに開口
する流入側第１開口８と流出側第１開口１０が穿孔さ
れ、第２回転子の軸方向の中間部の位置で、ラジアル方
向に各々計量室３ｂに開口する流入側第２開口９と流出
側第２開口１１が穿孔されている。また、流入側第１開
口８と流入側第２開口９とは、流入側連通管１２で連通
し、流出側第１開口１０と流出側第２開口１１とは、流
出側連通管１３と連通している。
中間部の位置で、ラジアル方向に各々計量室３ａに開口
する流入側第１開口８と流出側第１開口１０が穿孔さ
れ、第２回転子の軸方向の中間部の位置で、ラジアル方
向に各々計量室３ｂに開口する流入側第２開口９と流出
側第２開口１１が穿孔されている。また、流入側第１開
口８と流入側第２開口９とは、流入側連通管１２で連通
し、流出側第１開口１０と流出側第２開口１１とは、流
出側連通管１３と連通している。
【００１２】差圧計２０は、上流側導圧管１４を介して
上流側連通管１２と下流側導圧管１５を介して下流側連
通管１３に連通している。また、上、下流側導圧管１
４,１５とには各々弁１６，１７が配設され、更に、上
下流側導圧管１４,１５には弁１８を有する差圧計２０
のバイパス管１９が連通している。差圧計２０の差圧信
号は、導線２０ａを介してサーボ増幅器２１のプリアン
プ２２に入力し、プリアンプ２２はメインアンプ２３の
入力端２３ａに接続されている。該メインアンプ２３
は、導線２３ａを介してサーボモータ２６に接続し、サ
ーボモータ２６に連動するタコジェネレータ２７からは
メインアンプ２３の入力端２３ｂに速度帰還され応答性
を高めている。
上流側連通管１２と下流側導圧管１５を介して下流側連
通管１３に連通している。また、上、下流側導圧管１
４,１５とには各々弁１６，１７が配設され、更に、上
下流側導圧管１４,１５には弁１８を有する差圧計２０
のバイパス管１９が連通している。差圧計２０の差圧信
号は、導線２０ａを介してサーボ増幅器２１のプリアン
プ２２に入力し、プリアンプ２２はメインアンプ２３の
入力端２３ａに接続されている。該メインアンプ２３
は、導線２３ａを介してサーボモータ２６に接続し、サ
ーボモータ２６に連動するタコジェネレータ２７からは
メインアンプ２３の入力端２３ｂに速度帰還され応答性
を高めている。
【００１３】図１のサーボ流量計は、まず、弁１６，１
７を閉止してバイパス管１９の弁１８を開弁し、差圧計
２０の零調整を行う。零調整が完了してからバイパス管
１９の弁１８を閉止し、弁１６，１７を開弁して差圧計
２０を作動させる。測定流体が矢印Ｑ方向に流れた状態
では、差圧計２０の差圧信号は増加するが、サーボ増幅
２１と駆動部２４とからなるサーボ機構を駆動すること
により、サーボ機構は変速歯車２５を介して差圧計２０
の差圧が零となるように第１回転子６を駆動する。
７を閉止してバイパス管１９の弁１８を開弁し、差圧計
２０の零調整を行う。零調整が完了してからバイパス管
１９の弁１８を閉止し、弁１６，１７を開弁して差圧計
２０を作動させる。測定流体が矢印Ｑ方向に流れた状態
では、差圧計２０の差圧信号は増加するが、サーボ増幅
２１と駆動部２４とからなるサーボ機構を駆動すること
により、サーボ機構は変速歯車２５を介して差圧計２０
の差圧が零となるように第１回転子６を駆動する。
【００１４】図２は、本発明に係る容積流量計の差圧導
入管の構造を説明するための立体斜視図で、８ｉ（ｉ＝
１,２…ｎ）は流入側第１開口、９ｉ（ｉ＝１,２…ｎ）
は流入側第２開口、１０ｉ（ｉ＝１,２…ｎ）は流出側
第１開口、１１ｉ（ｉ＝１,２…ｎ）は流出側第２開
口、２８は流入側連通管、２９は流出側連通管で、図１
と同じ作用をする部分には、図１と同一の参照番号を付
している。
入管の構造を説明するための立体斜視図で、８ｉ（ｉ＝
１,２…ｎ）は流入側第１開口、９ｉ（ｉ＝１,２…ｎ）
は流入側第２開口、１０ｉ（ｉ＝１,２…ｎ）は流出側
第１開口、１１ｉ（ｉ＝１,２…ｎ）は流出側第２開
口、２８は流入側連通管、２９は流出側連通管で、図１
と同じ作用をする部分には、図１と同一の参照番号を付
している。
【００１５】図２に示した差圧計２０への差圧導入管１
４，１５は、ケーシング２の第１及び第２回転子６,７
ラジアル方向に計量室３に開口した図１の流入側第１開
口８，流入側第２開口９，流出側第１開口１０および流
出側第２開口１１を各々回転子軸方向直線状に複数配設
したもので、計量室３内の一定の回転子回転角度におけ
る圧力の平均値を出力することを目的としており、複数
の流入側第１開口８ｉと流入側第２開口９ｉとは流入側
連通管２８により連通されて、流入側の平均圧力が出力
される。同様に、流出側連通管２９には流出側の平均圧
力が出力される。この結果、回転子の回転による変動圧
力も平均化され、回転子の回転に影響されない安定した
差圧信号が得られる。
４，１５は、ケーシング２の第１及び第２回転子６,７
ラジアル方向に計量室３に開口した図１の流入側第１開
口８，流入側第２開口９，流出側第１開口１０および流
出側第２開口１１を各々回転子軸方向直線状に複数配設
したもので、計量室３内の一定の回転子回転角度におけ
る圧力の平均値を出力することを目的としており、複数
の流入側第１開口８ｉと流入側第２開口９ｉとは流入側
連通管２８により連通されて、流入側の平均圧力が出力
される。同様に、流出側連通管２９には流出側の平均圧
力が出力される。この結果、回転子の回転による変動圧
力も平均化され、回転子の回転に影響されない安定した
差圧信号が得られる。
【００１６】図３は、本発明に係る容積流量計の圧力取
出し開口位置の角度関係を説明するための図で、図１と
同じ作用をする部分には、図１と同一の参照番号を付し
ている
出し開口位置の角度関係を説明するための図で、図１と
同じ作用をする部分には、図１と同一の参照番号を付し
ている
【００１７】流出口２ａと流出口２ｂとは軸Ｘ−Ｘ′と
同軸である。該軸Ｘ−Ｘ′に平行で、第１回転子軸４の
中心Ｏ1を通る直径に対して、流入側第１開口８の中心
角をθ1とし、流出側第２開口１０の中心角θ3とする。
同様に、第２回転子に関しても流入側第２開口９の中心
角をθ2、流出側第２開口１１の中心角をθ4とすると、
θ1＝θ2＝θ3＝θ4であり、θ＝４５°の位置は、第
１，第２計量室３ａ，３ｂ内の中心位置となっている。
同軸である。該軸Ｘ−Ｘ′に平行で、第１回転子軸４の
中心Ｏ1を通る直径に対して、流入側第１開口８の中心
角をθ1とし、流出側第２開口１０の中心角θ3とする。
同様に、第２回転子に関しても流入側第２開口９の中心
角をθ2、流出側第２開口１１の中心角をθ4とすると、
θ1＝θ2＝θ3＝θ4であり、θ＝４５°の位置は、第
１，第２計量室３ａ，３ｂ内の中心位置となっている。
【００１８】図４は従来サーボ形容積流量計の流量−器
差特性、図５は本発明のサーボ形容積流量計の流量−器
差特性を示す試験結果である。横軸に流量、縦軸に器差
を示し、基準音速ノズルを基準流量として比較してい
る。測定流体は空気で、圧力は絶対圧１ｋ，４ｋ，６ｋ
で試験される。従来のサーボ容積流量計では、図４に示
すように、器差は高圧になると、大流量側がプラスにシ
フトしている。これに対して、本発明によるサーボ容積
流量計では、全流量範囲に亘って圧力変動影響が殆んど
なく、各々の流体圧力では全流量範囲に亘って理想に近
い直線的な流量−器差特性となっている。
差特性、図５は本発明のサーボ形容積流量計の流量−器
差特性を示す試験結果である。横軸に流量、縦軸に器差
を示し、基準音速ノズルを基準流量として比較してい
る。測定流体は空気で、圧力は絶対圧１ｋ，４ｋ，６ｋ
で試験される。従来のサーボ容積流量計では、図４に示
すように、器差は高圧になると、大流量側がプラスにシ
フトしている。これに対して、本発明によるサーボ容積
流量計では、全流量範囲に亘って圧力変動影響が殆んど
なく、各々の流体圧力では全流量範囲に亘って理想に近
い直線的な流量−器差特性となっている。
【００１９】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明のサー
ボ形容積流量計によれば、回転子の同じ回転位相角での
圧力の平均値を求めて得られた流入側と流出側の差圧を
検出したので、回転子の回転による変動圧力の影響は小
さくなり、測定流体の圧力による影響の小さい理想的な
流量計の流量−器差特性が得られる。
ボ形容積流量計によれば、回転子の同じ回転位相角での
圧力の平均値を求めて得られた流入側と流出側の差圧を
検出したので、回転子の回転による変動圧力の影響は小
さくなり、測定流体の圧力による影響の小さい理想的な
流量計の流量−器差特性が得られる。
【図１】 本発明におけるサーボ流量計の一実施例を説
明するための図である。
明するための図である。
【図２】 本発明に係る容積流量計の差圧導入管の構造
を説明するための立体斜視図である。
を説明するための立体斜視図である。
【図３】 本発明に係る容積流量計の圧力取出し開口位
置の角度関係を説明するための図である。
置の角度関係を説明するための図である。
【図４】 従来サーボ形容積流量計の流量−器差特性を
示す図である。
示す図である。
【図５】 本発明のサーボ形容積流量計の流量−器差特
性を示す試験結果である。
性を示す試験結果である。
【図６】 従来のサーボ流量計の一例を説明するための
ブロック図である。
ブロック図である。
１…容積流量計、２…ケーシング、３…計量室、４…第
１回転子軸、５…第２回転子軸、６…第１回転子、７…
第２回転子、８…流入側第１開口、９…流入側第２開
口、１０…流出側第１開口、１１…流出側第２開口、１
２…流入側連通管、１３…流出側連通管、１４…上流側
圧力導入管、１５…下流側圧力導入管、１６，１７，１
８…弁、１９…バイパス管、２０…差圧計、２１…サー
ボ増幅器、２２…プリアンプ、２３…メインアンプ、２
４…駆動部、２５…変速歯車（Ｒ・Ｇ）、２６…サーボ
モータ（Ｓ・Ｍ）、２７…タコジェネレータ（Ｔ・
Ｇ）。
１回転子軸、５…第２回転子軸、６…第１回転子、７…
第２回転子、８…流入側第１開口、９…流入側第２開
口、１０…流出側第１開口、１１…流出側第２開口、１
２…流入側連通管、１３…流出側連通管、１４…上流側
圧力導入管、１５…下流側圧力導入管、１６，１７，１
８…弁、１９…バイパス管、２０…差圧計、２１…サー
ボ増幅器、２２…プリアンプ、２３…メインアンプ、２
４…駆動部、２５…変速歯車（Ｒ・Ｇ）、２６…サーボ
モータ（Ｓ・Ｍ）、２７…タコジェネレータ（Ｔ・
Ｇ）。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01F 3/10
Claims (3)
- 【請求項１】 流入口および流出口に連通し、ケーシン
グ内に配設された計量室と、該計量室内で流体差圧によ
り回転し、流入した一定体積の流体を流出する対をなす
第１および第２回転子と、該回転子の回転から流量を計
測する容積流量計と；該容積流量計の前記流体差圧を検
知する差圧計と；該差圧計の差圧信号を入力し、該差圧
信号を零にするように前記第１又は第２回転子の何れか
を駆動するサーボ機構とからなり、前記容積流量計は、
前記流量室に連通した、前記第１回転子流入側ラジアル
方向の流入側第１開口と、前記第２回転子流入側ラジア
ル方向の流入側第２開口と、前記第１回転子流出側ラジ
アル方向の流出側第１開口と、前記第２回転子流出側ラ
ジアル方向の流出側第２開口とを前記ケーシングに開口
し、前記流入側第１開口と流入側第２開口とを連通する
流入側連通管と、前記流出側第１開口と前記流出側第２
開口とを連通する流出側連通管とを有し、前記差圧計の
高圧側圧力導入口を前記流入側連通管と連通し、低圧側
導入口を流出側連通管に連通したことを特徴とするサー
ボ形容積流量計。 - 【請求項２】 前記流入側第１および第２開口と、流出
側第１および第２開口を各々の回転子軸方向に複数配設
したことを特徴とする請求項１記載のサーボ形容積流量
計。 - 【請求項３】 前記ケーシングに開口するラジアル方向
の角度を、流入口と流出口とを結ぶ軸線に平行な各々の
回転子直径に対し、略々４５°としたことを特徴とする
請求項１又は２記載のサーボ形容積流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9669993A JP2878555B2 (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | サーボ形容積流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9669993A JP2878555B2 (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | サーボ形容積流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06288807A JPH06288807A (ja) | 1994-10-18 |
| JP2878555B2 true JP2878555B2 (ja) | 1999-04-05 |
Family
ID=14172017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9669993A Expired - Fee Related JP2878555B2 (ja) | 1993-03-30 | 1993-03-30 | サーボ形容積流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2878555B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002095340A1 (fr) * | 2001-05-21 | 2002-11-28 | Oval Corporation | Debitmetre volumetrique asservi |
| JP4246237B2 (ja) * | 2007-02-05 | 2009-04-02 | 株式会社オーバル | ポンプユニット式サーボ型容積流量計 |
-
1993
- 1993-03-30 JP JP9669993A patent/JP2878555B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06288807A (ja) | 1994-10-18 |
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