JP2875952B2 - レーザ光分岐装置 - Google Patents
レーザ光分岐装置Info
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- JP2875952B2 JP2875952B2 JP6195367A JP19536794A JP2875952B2 JP 2875952 B2 JP2875952 B2 JP 2875952B2 JP 6195367 A JP6195367 A JP 6195367A JP 19536794 A JP19536794 A JP 19536794A JP 2875952 B2 JP2875952 B2 JP 2875952B2
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- laser beam
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ装置から放射さ
れたレーザ光を複数に分岐させるレーザ光分岐装置に関
する。
れたレーザ光を複数に分岐させるレーザ光分岐装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、レーザ装置は各種の産業分野に
おいて広く利用されている。
おいて広く利用されている。
【０００３】例えば、工作機械の分野においては、レー
ザ光をレンズで集束させて被加工物に放射し、高密度の
熱エネルギによって穴あけ、切断、溶接等の加工を行な
う工作機械の１種として利用されている。
ザ光をレンズで集束させて被加工物に放射し、高密度の
熱エネルギによって穴あけ、切断、溶接等の加工を行な
う工作機械の１種として利用されている。
【０００４】更に説明すると、組立てライン等において
レーザ装置を用いた多数のロボットを配置し、各レーザ
装置を工程に沿って稼働させて穴あけ、切断、溶接等の
加工を施して所定の組立てを行なうようにされている。
レーザ装置を用いた多数のロボットを配置し、各レーザ
装置を工程に沿って稼働させて穴あけ、切断、溶接等の
加工を施して所定の組立てを行なうようにされている。
【０００５】また、レーザ加工箇所は複数に亘るものが
多く、１台のレーザ装置によって放射されたレーザ光を
複数の分岐ミラーによって所定の比率に分岐して各レー
ザ加工箇所に導いて、複数位置において同時にレーザ加
工を施すようにしている。また、レーザ光の分岐率の変
更も頻繁に要求されている。例えば、被加工物を変更し
たり、被加工物の材質を変更したり、レーザ光のエネル
ギ量を変更する場合等に、レーザ光の分岐率の変更が必
要とされる。
多く、１台のレーザ装置によって放射されたレーザ光を
複数の分岐ミラーによって所定の比率に分岐して各レー
ザ加工箇所に導いて、複数位置において同時にレーザ加
工を施すようにしている。また、レーザ光の分岐率の変
更も頻繁に要求されている。例えば、被加工物を変更し
たり、被加工物の材質を変更したり、レーザ光のエネル
ギ量を変更する場合等に、レーザ光の分岐率の変更が必
要とされる。
【０００６】図４は従来のレーザ光分岐装置の概要を示
しており、レーザ発振器１から放射されるレーザ光Ｌの
光軸上に、２等分分岐用の分岐ミラー２ａ、２ｂと、４
等分分岐用の分岐ミラー３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄを配設
している。前記分岐ミラー２ａ、２ｂは、それぞれ入射
されるレーザ光量の５０％、１００％を反射するように
形成されている。また、前記分岐ミラー３ａ、３ｂ、３
ｃ、３ｄは、それぞれ入射されるレーザ光量のほぼ２５
％、３３％、５０％、１００％を反射するように形成さ
れている。２等分分岐用の分岐ミラー２ａ、２ｂは、図
４の実線に示すレーザ光Ｌの光軸上の分岐位置と、同図
の鎖線に示す当該光軸を外れた退避位置とを移動自在に
形成されている。２等分分岐用の分岐ミラー２ａ、２ｂ
が分岐位置にある時には、分岐ミラー２ａ、２ｂによっ
てレーザ光は２等分に分岐される。２等分分岐用の分岐
ミラー２ａ、２ｂが退避位置にある時には、分岐ミラー
３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄによってレーザ光は４等分に分
岐される。このようにして４等分に分岐されたレーザ光
は、４本の光ファイバ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄによって
４個の出射ユニット５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄに導かれ
て、４箇所の加工位置において被加工物６に対して所定
の加工を施すようにされている。２等分に分岐されたレ
ーザ光により加工を行なう場合には、２本の光ファイバ
４ａ、４ｂを分岐ミラー３ａ、３ｂから分岐ミラー２
ａ、２ｂに接続するように取替えて、所定の加工を行な
うようにする。
しており、レーザ発振器１から放射されるレーザ光Ｌの
光軸上に、２等分分岐用の分岐ミラー２ａ、２ｂと、４
等分分岐用の分岐ミラー３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄを配設
している。前記分岐ミラー２ａ、２ｂは、それぞれ入射
されるレーザ光量の５０％、１００％を反射するように
形成されている。また、前記分岐ミラー３ａ、３ｂ、３
ｃ、３ｄは、それぞれ入射されるレーザ光量のほぼ２５
％、３３％、５０％、１００％を反射するように形成さ
れている。２等分分岐用の分岐ミラー２ａ、２ｂは、図
４の実線に示すレーザ光Ｌの光軸上の分岐位置と、同図
の鎖線に示す当該光軸を外れた退避位置とを移動自在に
形成されている。２等分分岐用の分岐ミラー２ａ、２ｂ
が分岐位置にある時には、分岐ミラー２ａ、２ｂによっ
てレーザ光は２等分に分岐される。２等分分岐用の分岐
ミラー２ａ、２ｂが退避位置にある時には、分岐ミラー
３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄによってレーザ光は４等分に分
岐される。このようにして４等分に分岐されたレーザ光
は、４本の光ファイバ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄによって
４個の出射ユニット５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄに導かれ
て、４箇所の加工位置において被加工物６に対して所定
の加工を施すようにされている。２等分に分岐されたレ
ーザ光により加工を行なう場合には、２本の光ファイバ
４ａ、４ｂを分岐ミラー３ａ、３ｂから分岐ミラー２
ａ、２ｂに接続するように取替えて、所定の加工を行な
うようにする。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のレーザ光分岐装置においては、２等分分岐用の分岐
ミラー２ａ、２ｂと、４等分分岐用の分岐ミラー３ａ、
３ｂ、３ｃ、３ｄとを１直線上に配設しているために、
レーザ発振器１から最遠部の分岐ミラー３ｄまでの光路
長が長くなり、各分岐ミラーによる分岐率のバランスが
取り難くなってしまったり、全体構成が長尺で大型なも
のとなってしまうものであった。また、加工箇所を同一
に保持したままで、分岐率を変更する場合には、前述し
たように２本の光ファイバ４ａ、４ｂを分岐ミラー３
ａ、３ｂと分岐ミラー２ａ、２ｂとの間で接続を取替え
る必要がある。この取替え作業には時間がかかり、しか
も、光ファイバ４ａ、４ｂの入射側の接続を変えると、
各分岐ミラー２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂからのレーザ光Ｌ
が正確に光ファイバ４ａ、４ｂの入射側端面に入射され
るように入射調整する必要があり、ますます時間がかか
り、迅速な取替えができなかった。
来のレーザ光分岐装置においては、２等分分岐用の分岐
ミラー２ａ、２ｂと、４等分分岐用の分岐ミラー３ａ、
３ｂ、３ｃ、３ｄとを１直線上に配設しているために、
レーザ発振器１から最遠部の分岐ミラー３ｄまでの光路
長が長くなり、各分岐ミラーによる分岐率のバランスが
取り難くなってしまったり、全体構成が長尺で大型なも
のとなってしまうものであった。また、加工箇所を同一
に保持したままで、分岐率を変更する場合には、前述し
たように２本の光ファイバ４ａ、４ｂを分岐ミラー３
ａ、３ｂと分岐ミラー２ａ、２ｂとの間で接続を取替え
る必要がある。この取替え作業には時間がかかり、しか
も、光ファイバ４ａ、４ｂの入射側の接続を変えると、
各分岐ミラー２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂからのレーザ光Ｌ
が正確に光ファイバ４ａ、４ｂの入射側端面に入射され
るように入射調整する必要があり、ますます時間がかか
り、迅速な取替えができなかった。
【０００８】本発明は、これらの点に鑑みてなされたも
のであり、分岐率のバランスを簡単に適正なものとする
ことができ、光ファイバの接続状態を取替えないで分岐
率の変更を行なうことができ、しかも分岐率の変更を迅
速に行なうことができ、全体構成も小型に形成すること
ができるレーザ光分岐装置を提供することを目的とす
る。
のであり、分岐率のバランスを簡単に適正なものとする
ことができ、光ファイバの接続状態を取替えないで分岐
率の変更を行なうことができ、しかも分岐率の変更を迅
速に行なうことができ、全体構成も小型に形成すること
ができるレーザ光分岐装置を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のレーザ光分岐装置は、レーザ光の光軸上に
レーザ光を分岐する複数の分岐位置にそれぞれ分岐ミラ
ーを配設したレーザ光分岐装置において、前記分岐ミラ
ーは、前記全分岐位置中の一部の複数の分岐位置におい
て、分岐ミラーを移動させるミラーシフトユニットによ
って、それぞれ少なくとも２個の分岐率が異なる分岐ミ
ラーを当該一部の複数の各分岐位置に対してそれぞれが
互いに同時に位置交換自在に配設されているとともに、
前記全分岐位置中の前記一部の複数の分岐位置を除いた
他の分岐位置において固定的に配設されていることを特
徴とする。
に、本発明のレーザ光分岐装置は、レーザ光の光軸上に
レーザ光を分岐する複数の分岐位置にそれぞれ分岐ミラ
ーを配設したレーザ光分岐装置において、前記分岐ミラ
ーは、前記全分岐位置中の一部の複数の分岐位置におい
て、分岐ミラーを移動させるミラーシフトユニットによ
って、それぞれ少なくとも２個の分岐率が異なる分岐ミ
ラーを当該一部の複数の各分岐位置に対してそれぞれが
互いに同時に位置交換自在に配設されているとともに、
前記全分岐位置中の前記一部の複数の分岐位置を除いた
他の分岐位置において固定的に配設されていることを特
徴とする。
【００１０】
【作用】本発明によれば、分岐ミラーを移動させるミラ
ーシフトユニットによって、一部の複数の分岐位置にお
いて、それぞれ少なくとも２個の分岐率が異なる分岐ミ
ラーを当該一部の複数の各分岐位置に対してそれぞれが
互いに同時に位置交換することにより、他の固定的に配
設されている分岐ミラーとあいまって、光ファイバの接
続を取替えないで、分岐率を簡単に変更することができ
る。
ーシフトユニットによって、一部の複数の分岐位置にお
いて、それぞれ少なくとも２個の分岐率が異なる分岐ミ
ラーを当該一部の複数の各分岐位置に対してそれぞれが
互いに同時に位置交換することにより、他の固定的に配
設されている分岐ミラーとあいまって、光ファイバの接
続を取替えないで、分岐率を簡単に変更することができ
る。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１から図３に示す
実施例について説明する。
実施例について説明する。
【００１２】図１から図３は本発明の１実施例を示す。
【００１３】本実施例においては、レーザ装置の本体１
１に例えばＹＡＧレーザを発生させるレーザ発振器１２
を設け、このレーザ発振器１２から放射されるレーザ光
Ｌを最大で４等分に分岐できるように形成されている。
すなわち、レーザ発振器１２から放射されるレーザ光Ｌ
の光軸上に４箇所の分岐位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、
１３ｄを設定し、レーザ発振器１２に近い２箇所の分岐
位置１３ａ、１３ｂには、２等分分岐用の分岐ミラー１
４ａ、１４ｂと、４等分分岐用の分岐ミラー１５ａ、１
５ｂ、１５ｃ、１５ｄのうちの手前側の２個の分岐ミラ
ー１５ａ、１５ｂとを位置交換自在に配設している。他
の２箇所の分岐位置１３ｃ、１３ｄには、４等分分岐用
の分岐ミラー１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄのうちの
奥側の２個の分岐ミラー１５ｃ、１５ｄを固定的に設置
している。前記分岐ミラー１４ａ、１４ｂは、それぞれ
入射されるレーザ光量の５０％、１００％を反射するよ
うに形成されている。また、前記分岐ミラー１５ａ、１
５ｂ、１５ｃ、１５ｄは、それぞれ入射されるレーザ光
量のほぼ２５％、３３％、５０％、１００％を反射する
ように形成されている。前記２等分分岐用の分岐ミラー
１４ａ、１４ｂと、４等分分岐用の分岐ミラー１５ａ、
１５ｂとは、これらを２箇所の分岐位置１３ａ、１３ｂ
に位置交換させるミラーシフトユニット１６の略矩形の
移動体１７上に、各分岐位置１３ａ、１３ｂを通り、か
つ、光軸に対して左側に４５度に傾斜している線分（以
下、シフト方向という）に沿って設置されている。この
移動体１７はシフト方向に平行に配設されている２本の
レール１８、１８上を当該シフト方向に往復移動自在に
載置されている。この移動体１７の駆動は、手動によっ
て行なってもよく、また、電磁アクチュエータ、空気圧
シリンダ等の機械的駆動機構（図示せず）により駆動す
るようにしてもよい。また、２箇所の分岐位置１３ａ、
１３ｂと各分岐ミラー１４ａ、１４ｂ、１５ａ、１５ｂ
とが正確に合致したことを検出するフォトダイオード等
の確認センサ１９を設けて、この確認センサ１９から検
出信号が発せられた時に、前記移動体１７の移動を停止
させるようにするとよい。各分岐位置１３ａ、１３ｂ、
１３ｃ、１３ｄにおいて光路を９０度変更するように反
射されたレーザ光は、それぞれ集光レンズ２０ａ、２０
ｂ、２０ｃ、２０ｄによって各入射ユニット２１ａ、２
１ｂ、２１ｃ、２１ｄに接続されている各光ファイバ２
２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄの端面に収束させられる
ように形成されている。各分岐ミラー１４ａ、１４ｂ、
１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄおいて反射されて各集
光レンズ２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに向かうレー
ザ光の光路には、レーザ光のエネルギ量のバランスを調
整するための減衰板２３ａ、２３ｂ、２４ａ、２４ｂ、
２４ｃ、２４ｄが設置されている。４個の減衰板２３
ａ、２３ｂ、２４ａ、２４ｂは前記移動体１７上に設置
されている。更に詳しく説明すると、各減衰板は、例え
ば図３に代表して示す減衰板２３ａのように、レーザ光
の光軸に対して傾斜するようにして移動体１７上に固着
されている保持ブラケット２５の透孔２６に装着されて
おり、減衰板２３ａからの反射光を分岐ミラー１４ａに
戻さずに、下方に反射させて、反射光が分岐ミラー１４
ａに戻ることによる不都合を解消するようにしている。
反射光が分岐ミラー１４ａに戻ると、レーザ系の外部に
漏れて人体に触れたり、レーザ発信器１２のセンサユニ
ットまで戻って出力異常を発生させることがあったが、
本実施例によればこれらの不都合は全く発生しない。減
衰板２３ａから下方に反射されたレーザ光は、同様に移
動体１７上に固着された遮光板２７によってその先への
進行を阻止される。この遮光板２７に代えて光吸収体を
設けて、反射されたレーザ光を吸収して、前記不都合の
発生を阻止するようにしてもよい。各光ファイバ２２
ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄの他端には、それぞれレン
ズ（図示せず）が内蔵されている出射ユニット２８ａ、
２８ｂ、２８ｃ、２８ｄが接続されている。各出射ユニ
ット２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄは固定的に設置さ
れたり、工業用ロボットの可動アームの先端等に設置さ
れている。
１に例えばＹＡＧレーザを発生させるレーザ発振器１２
を設け、このレーザ発振器１２から放射されるレーザ光
Ｌを最大で４等分に分岐できるように形成されている。
すなわち、レーザ発振器１２から放射されるレーザ光Ｌ
の光軸上に４箇所の分岐位置１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、
１３ｄを設定し、レーザ発振器１２に近い２箇所の分岐
位置１３ａ、１３ｂには、２等分分岐用の分岐ミラー１
４ａ、１４ｂと、４等分分岐用の分岐ミラー１５ａ、１
５ｂ、１５ｃ、１５ｄのうちの手前側の２個の分岐ミラ
ー１５ａ、１５ｂとを位置交換自在に配設している。他
の２箇所の分岐位置１３ｃ、１３ｄには、４等分分岐用
の分岐ミラー１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄのうちの
奥側の２個の分岐ミラー１５ｃ、１５ｄを固定的に設置
している。前記分岐ミラー１４ａ、１４ｂは、それぞれ
入射されるレーザ光量の５０％、１００％を反射するよ
うに形成されている。また、前記分岐ミラー１５ａ、１
５ｂ、１５ｃ、１５ｄは、それぞれ入射されるレーザ光
量のほぼ２５％、３３％、５０％、１００％を反射する
ように形成されている。前記２等分分岐用の分岐ミラー
１４ａ、１４ｂと、４等分分岐用の分岐ミラー１５ａ、
１５ｂとは、これらを２箇所の分岐位置１３ａ、１３ｂ
に位置交換させるミラーシフトユニット１６の略矩形の
移動体１７上に、各分岐位置１３ａ、１３ｂを通り、か
つ、光軸に対して左側に４５度に傾斜している線分（以
下、シフト方向という）に沿って設置されている。この
移動体１７はシフト方向に平行に配設されている２本の
レール１８、１８上を当該シフト方向に往復移動自在に
載置されている。この移動体１７の駆動は、手動によっ
て行なってもよく、また、電磁アクチュエータ、空気圧
シリンダ等の機械的駆動機構（図示せず）により駆動す
るようにしてもよい。また、２箇所の分岐位置１３ａ、
１３ｂと各分岐ミラー１４ａ、１４ｂ、１５ａ、１５ｂ
とが正確に合致したことを検出するフォトダイオード等
の確認センサ１９を設けて、この確認センサ１９から検
出信号が発せられた時に、前記移動体１７の移動を停止
させるようにするとよい。各分岐位置１３ａ、１３ｂ、
１３ｃ、１３ｄにおいて光路を９０度変更するように反
射されたレーザ光は、それぞれ集光レンズ２０ａ、２０
ｂ、２０ｃ、２０ｄによって各入射ユニット２１ａ、２
１ｂ、２１ｃ、２１ｄに接続されている各光ファイバ２
２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄの端面に収束させられる
ように形成されている。各分岐ミラー１４ａ、１４ｂ、
１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄおいて反射されて各集
光レンズ２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに向かうレー
ザ光の光路には、レーザ光のエネルギ量のバランスを調
整するための減衰板２３ａ、２３ｂ、２４ａ、２４ｂ、
２４ｃ、２４ｄが設置されている。４個の減衰板２３
ａ、２３ｂ、２４ａ、２４ｂは前記移動体１７上に設置
されている。更に詳しく説明すると、各減衰板は、例え
ば図３に代表して示す減衰板２３ａのように、レーザ光
の光軸に対して傾斜するようにして移動体１７上に固着
されている保持ブラケット２５の透孔２６に装着されて
おり、減衰板２３ａからの反射光を分岐ミラー１４ａに
戻さずに、下方に反射させて、反射光が分岐ミラー１４
ａに戻ることによる不都合を解消するようにしている。
反射光が分岐ミラー１４ａに戻ると、レーザ系の外部に
漏れて人体に触れたり、レーザ発信器１２のセンサユニ
ットまで戻って出力異常を発生させることがあったが、
本実施例によればこれらの不都合は全く発生しない。減
衰板２３ａから下方に反射されたレーザ光は、同様に移
動体１７上に固着された遮光板２７によってその先への
進行を阻止される。この遮光板２７に代えて光吸収体を
設けて、反射されたレーザ光を吸収して、前記不都合の
発生を阻止するようにしてもよい。各光ファイバ２２
ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄの他端には、それぞれレン
ズ（図示せず）が内蔵されている出射ユニット２８ａ、
２８ｂ、２８ｃ、２８ｄが接続されている。各出射ユニ
ット２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄは固定的に設置さ
れたり、工業用ロボットの可動アームの先端等に設置さ
れている。
【００１４】次に、本実施例の作用を説明する。
【００１５】まず、レーザ発振器１２により放射された
レーザ光を２等分して所定のレーザ加工を施す場合に
は、図１に示すように、２等分分岐用の分岐ミラー１４
ａ、１４ｂを２つの分岐位置１３ａ、１３ｂに合致させ
るように移動体１７を移動させて、固定する。
レーザ光を２等分して所定のレーザ加工を施す場合に
は、図１に示すように、２等分分岐用の分岐ミラー１４
ａ、１４ｂを２つの分岐位置１３ａ、１３ｂに合致させ
るように移動体１７を移動させて、固定する。
【００１６】この状態でレーザ発振器１２によりレーザ
光を放射させると、レーザ光は２個の分岐ミラー１４
ａ、１４ｂにより光量を２等分に分岐され、その後、各
減衰板２３ａ、２３ｂ、各集光レンズ２０ａ、２０ｂお
よび各光ファイバ２２ａ、２２ｂを順に通して各出射ユ
ニット２８ａ、２８ｂに導かれ、２個の出射ユニット２
８ａ、２８ｂによる同時のレーザ加工に供される。本実
施例においては、図示しない２軸ロボットにより治具２
９に保持した被加工物３０をｘ−ｙ方向に移動させて、
溶接等のレーザ加工を施すように形成されている。
光を放射させると、レーザ光は２個の分岐ミラー１４
ａ、１４ｂにより光量を２等分に分岐され、その後、各
減衰板２３ａ、２３ｂ、各集光レンズ２０ａ、２０ｂお
よび各光ファイバ２２ａ、２２ｂを順に通して各出射ユ
ニット２８ａ、２８ｂに導かれ、２個の出射ユニット２
８ａ、２８ｂによる同時のレーザ加工に供される。本実
施例においては、図示しない２軸ロボットにより治具２
９に保持した被加工物３０をｘ−ｙ方向に移動させて、
溶接等のレーザ加工を施すように形成されている。
【００１７】一方、レーザ発振器１２により放射された
レーザ光を４等分して所定のレーザ加工を施す場合に
は、図２に示すように、４等分分岐用の分岐ミラー１５
ａ、１５ｂを２つの分岐位置１３ａ、１３ｂに合致させ
るように移動体１７を移動させて、固定する。
レーザ光を４等分して所定のレーザ加工を施す場合に
は、図２に示すように、４等分分岐用の分岐ミラー１５
ａ、１５ｂを２つの分岐位置１３ａ、１３ｂに合致させ
るように移動体１７を移動させて、固定する。
【００１８】この状態でレーザ発振器１２によりレーザ
光を放射させると、レーザ光は４個の分岐ミラー１５
ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄにより光量を４等分に分岐
され、その後、各減衰板２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４
ｄ、各集光レンズ２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄおよ
び各光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄを順に
通して各出射ユニット２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ
に導かれ、４個の出射ユニット２８ａ、２８ｂ、２８
ｃ、２８ｄによる同時のレーザ加工に供される。
光を放射させると、レーザ光は４個の分岐ミラー１５
ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄにより光量を４等分に分岐
され、その後、各減衰板２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４
ｄ、各集光レンズ２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄおよ
び各光ファイバ２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄを順に
通して各出射ユニット２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、２８ｄ
に導かれ、４個の出射ユニット２８ａ、２８ｂ、２８
ｃ、２８ｄによる同時のレーザ加工に供される。
【００１９】このように本実施例によれば、レーザ光の
分岐率を変更しても、光ファイバ２２ａ、２２ｂの接続
状態を変更することなく、同一の出射ユニット２８ａ、
２８ｂにレーザ光を導くことができ、分岐率の変更を迅
速に行なうことができる。また、レーザ発振器１２から
放出されたレーザ光の光軸上には４個の分岐位置１３
ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄのみしか設けていないため
に、前記従来例に比較して２個分の分岐ミラーを設置す
るスペースを小型にすることができ、しかも分岐率のバ
ランスも調整しやすくなり、簡単に適正な分岐率を得る
ことができる。
分岐率を変更しても、光ファイバ２２ａ、２２ｂの接続
状態を変更することなく、同一の出射ユニット２８ａ、
２８ｂにレーザ光を導くことができ、分岐率の変更を迅
速に行なうことができる。また、レーザ発振器１２から
放出されたレーザ光の光軸上には４個の分岐位置１３
ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄのみしか設けていないため
に、前記従来例に比較して２個分の分岐ミラーを設置す
るスペースを小型にすることができ、しかも分岐率のバ
ランスも調整しやすくなり、簡単に適正な分岐率を得る
ことができる。
【００２０】なお、前記実施例においては、２箇所の分
岐位置１３ａ、１３ｂに、２個の２等分分岐用の分岐ミ
ラー１４ａ、１４ｂと、２個の４等分分岐用の分岐ミラ
ー１５ａ、１５ｂとを位置交換自在に配設しているが、
１個若しくは３個以上の分岐ミラーを同様にして位置交
換自在に配設してもよい。
岐位置１３ａ、１３ｂに、２個の２等分分岐用の分岐ミ
ラー１４ａ、１４ｂと、２個の４等分分岐用の分岐ミラ
ー１５ａ、１５ｂとを位置交換自在に配設しているが、
１個若しくは３個以上の分岐ミラーを同様にして位置交
換自在に配設してもよい。
【００２１】また、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、必要に応じて変更することができる。
のではなく、必要に応じて変更することができる。
【００２２】
【発明の効果】このように本発明のレーザ光分岐装置は
構成され、作用するものであるから、分岐率のバランス
を簡単に適正なものとすることができ、光ファイバの接
続状態を取替えないで分岐率の変更を行なうことがで
き、しかも分岐率の変更を迅速に行なうことができ、更
に全体構成も小型に形成することができる等の効果を奏
する。
構成され、作用するものであるから、分岐率のバランス
を簡単に適正なものとすることができ、光ファイバの接
続状態を取替えないで分岐率の変更を行なうことがで
き、しかも分岐率の変更を迅速に行なうことができ、更
に全体構成も小型に形成することができる等の効果を奏
する。
【図１】本発明のレーザ光分岐装置を適用したレーザ装
置の２等分の分岐状態を示す平面図
置の２等分の分岐状態を示す平面図
【図２】４等分の分岐状態を示す図１と同様の図
【図３】減衰板の実施例を示す側面図
【図４】従来のレーザ光分岐装置を示す平面図
１２ レーザ光発振器 １３ａ〜ｄ 分岐位置 １４ａ、ｂ、１５ａ〜ｄ 分岐ミラー １６ ミラーシフトユニット
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ光の光軸上にレーザ光を分岐する
複数の分岐位置にそれぞれ分岐ミラーを配設したレーザ
光分岐装置において、 前記分岐ミラーは、前記全分岐位置中の一部の複数の分
岐位置において、分岐ミラーを移動させるミラーシフト
ユニットによって、それぞれ少なくとも２個の分岐率が
異なる分岐ミラーを当該一部の複数の各分岐位置に対し
てそれぞれが互いに同時に位置交換自在に配設されてい
るとともに、前記全分岐位置中の前記一部の複数の分岐
位置を除いた他の分岐位置において固定的に配設されて
いることを特徴とするレーザ光分岐装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6195367A JP2875952B2 (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | レーザ光分岐装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6195367A JP2875952B2 (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | レーザ光分岐装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0857677A JPH0857677A (ja) | 1996-03-05 |
| JP2875952B2 true JP2875952B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=16340003
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6195367A Expired - Lifetime JP2875952B2 (ja) | 1994-08-19 | 1994-08-19 | レーザ光分岐装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2875952B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015145609A1 (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-01 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置 |
-
1994
- 1994-08-19 JP JP6195367A patent/JP2875952B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015145609A1 (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-01 | 株式会社島津製作所 | レーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0857677A (ja) | 1996-03-05 |
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