JP2858609B2 - Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component - Google Patents

Manufacturing method of multilayer ceramic electronic component

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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、積層チップインダクタ
など積層セラミック電子部品の製造方法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component such as a multilayer chip inductor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、積層セラミック電子部品の製
造方法の一つとして、セラミックグリーンシートに内部
導体パターンを印刷し、これらのシートを積層すること
によって積層体を得るシート法が知られている。このよ
うな従来のシート法を用いた積層セラミック電子部品の
製造方法の一例として、積層セラミックインダクタの製
造方法を以下に示す。
2. Description of the Related Art Heretofore, as one method of manufacturing a laminated ceramic electronic component, there has been known a sheet method in which an internal conductor pattern is printed on ceramic green sheets and a laminate is obtained by laminating these sheets. . As an example of a method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component using such a conventional sheet method, a method of manufacturing a multilayer ceramic inductor will be described below.

【0003】まず、セラミックグリーンシートにおける
所定の位置にスルーホールを形成する。次いで、スルー
ホールを形成したシートの一方の主面に、積層してスル
ーホール接続することによってらせん状のコイルが構成
されるコイル導体パターン(内部導体パターン)を、導
電ペーストにより印刷する。
First, a through hole is formed at a predetermined position in a ceramic green sheet. Next, a coil conductor pattern (inner conductor pattern), which is formed into a helical coil by laminating and connecting through holes, is printed on one main surface of the sheet in which the through holes are formed, using a conductive paste.

【0004】次に、上記スルーホールおよびコイル導体
パターンが形成されたシートを所定の構成で積層し、そ
の上下にスルーホールおよびコイル導体パターンが形成
されていないセラミックグリーンシート(ダミーシー
ト)を積層する。次いで、得られた積層体を圧着した後
焼成し、コイル末端が導出している端面に外部電極を形
成する。
Next, sheets having the through holes and the coil conductor patterns formed thereon are laminated in a predetermined configuration, and ceramic green sheets (dummy sheets) having no through holes and the coil conductor patterns laminated above and below the sheets. . Next, the obtained laminate is pressed and fired, and an external electrode is formed on the end face from which the coil end is led out.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の積層セラミック電子部品の製造方法によると、積層
体の圧着時に発生する積層ズレが大きかったため(図
4)、内部導体が露出したり、得られた電子部品の特性
バラツキが大きくなってしまうという問題点があった。
これは、積層体における内部導体パターン形成部分と、
内部導体パターン未形成部分との積層方向の厚さの違い
から(内部導体パターンの厚さとシートの厚さとはほぼ
同程度である)、積層体における圧力分布にバラツキが
生じてしまうためである。
However, according to the above-mentioned conventional method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, the displacement of the laminate generated during the pressing of the laminate is large (FIG. 4), so that the internal conductor is exposed or obtained. In addition, there is a problem that the characteristic variation of the electronic component is increased.
This is the portion where the internal conductor pattern is formed in the laminate,
This is because, due to the difference in the thickness in the laminating direction from the portion where the internal conductor pattern is not formed (the thickness of the internal conductor pattern and the thickness of the sheet are substantially the same), the pressure distribution in the laminate varies.

【0006】すなわち、積層体の圧着は、まず、下降し
てくる圧着機の加圧板によって積層体を構成する最上層
のシートが加圧され、加圧された最上層のシートが、一
つ下の層のシートを加圧し、この加圧された一つしたの
層のシートがさらに一つ下の層のシートを加圧するとい
うように、順次下層のシートを加圧していくことによっ
て行われるが、これら積層体を構成するシートのうち、
内部導体パターンが形成されたシートの加圧時には、こ
のシートにおける内部導体パターン形成部と未形成部と
の積層方向の厚さの違いから、圧力が局部的に集中(内
部導体パターン形成部に集中)して付加されるため、シ
ートに伸びや変形が生じてしまうのである。
That is, in the pressing of the laminated body, first, the uppermost sheet constituting the laminated body is pressed by the pressing plate of the descending pressing machine, and the pressed uppermost sheet is lowered by one. This is performed by sequentially pressing the lower layer sheets, such as pressing the sheet of the first layer, and pressing the sheet of the next layer to press the sheet of the next lower layer. , Of the sheets constituting these laminates,
When the sheet on which the internal conductor pattern is formed is pressurized, the pressure is locally concentrated due to the difference in the thickness of the sheet in the laminating direction between the portion where the internal conductor pattern is formed and the portion where the internal conductor pattern is not formed. ), The sheet is stretched or deformed.

【0007】そこで本発明は、上述従来の技術の問題点
を解決し、積層体の圧着時における積層ズレが極めて小
さい積層セラミック電子部品の製造方法を提供すること
を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems of the prior art and to provide a method of manufacturing a laminated ceramic electronic component in which lamination displacement during bonding of a laminate is extremely small.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するために鋭意研究した結果、内部導体パターンを
印刷したセラミックグリーンシートを、平板プレスによ
って一枚ずつプレ・プレスした後積層および圧着するこ
とにより、上記課題が解決されることを見い出し、本発
明に到達した。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventor has found that ceramic green sheets on which an internal conductor pattern is printed are pre-pressed one by one by a flat plate press, and then laminated and stacked. It has been found that the above-mentioned problems can be solved by pressure bonding, and the present invention has been achieved.

【0009】 すなわち、本発明は、内部導体パターン
が印刷されたセラミックグリーンシートを積層および圧
着し、焼成した後外部電極を形成する積層セラミック電
子部品の製造方法であって、前記内部導体パターンが印
刷されたセラミックグリーンシートを、1枚ずつ積層方
向にプレ・プレスした後、すなわち1枚ずつ積層方向に
加圧することにより平滑化した後、積層および圧着する
ことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法を
提供するものである。
That is, the present invention is a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component in which a ceramic green sheet on which an internal conductor pattern is printed is laminated, pressed, fired and then an external electrode is formed, wherein the internal conductor pattern is printed. After pre-pressing the ceramic green sheets one by one in the laminating direction, that is, one by one in the laminating direction
An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, which comprises smoothing by pressing, laminating and pressing.

【0010】[0010]

【作用】本発明の積層セラミック電子部品の製造方法に
よると、内部導体パターンを印刷したセラミックグリー
ンシートを、平板プレスによって積層方向に一枚ずつプ
レ・プレスした後積層および圧着している。
According to the method for manufacturing a laminated ceramic electronic component of the present invention, ceramic green sheets on which internal conductor patterns are printed are pre-pressed one by one in the laminating direction by a flat plate press, and then laminated and pressed.

【0011】本発明法におけるプレ・プレスとは、内部
導体パターンが印刷されたセラミックグリーンシートを
平板によって積層方向に加圧することであって、このよ
うに内部導体パターンが印刷されたセラミックグリーン
シートを積層方向に加圧することにより、シート表面に
おいてシート厚と同等の高さに突出していた内部導体パ
ターンがシート内にめりこみ、内部導体パターンを含む
シート全体の平滑化が図られるのである。
The pre-press in the method of the present invention is to press a ceramic green sheet on which an internal conductor pattern is printed by a flat plate in a laminating direction. By applying pressure in the laminating direction, the internal conductor pattern that has protruded to the same height as the sheet thickness on the sheet surface sinks into the sheet, and the entire sheet including the internal conductor pattern is smoothed.

【0012】このようにプレ・プレスして平滑化された
シートで積層体を構成することにより、積層体の圧着時
にシートにおける内部導体パターン形成部に集中してい
た圧力が分散されるようになる(積層体における圧力分
布が均一になる)。そのため、シートの伸びや変形が防
止され、積層ズレが著しく小さくなるのである。
By forming the laminate with the pre-pressed and smoothed sheet, the pressure concentrated on the internal conductor pattern forming portion of the sheet when the laminate is pressed is dispersed. (The pressure distribution in the laminate becomes uniform). Therefore, elongation and deformation of the sheet are prevented, and lamination displacement is significantly reduced.

【0013】以下、実施例により本発明をさらに詳細に
説明する。しかし本発明の範囲は以下の実施例により制
限されるものではない。
Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples. However, the scope of the present invention is not limited by the following examples.

【0014】[0014]

【実施例1】本発明法の一実施例として、積層セラミッ
クインダクタの製造方法を以下に示す。
Embodiment 1 As one embodiment of the method of the present invention, a method for manufacturing a multilayer ceramic inductor will be described below.

【0015】まず、Ni−Znフェライト粉と、ポリビ
ニルブチラールを主成分とするバインダーとを混合し、
得られたスラリーをドクターブレード法によってシート
状に成形した。次いで、得られたセラミックグリーンシ
ート1における所定の位置にスルーホール5を形成し、
これらのシートに、Ag粉末にエチルセルロースをバイ
ンダーとして混合し(α−ターピネオールおよびブチル
カルビトールアセテートを溶剤として用いた)、ペース
ト状にしたものを用いて図2に示すような形状のコイル
導体パターン2を印刷した(図1(a))。
First, Ni-Zn ferrite powder and a binder containing polyvinyl butyral as a main component are mixed,
The obtained slurry was formed into a sheet by a doctor blade method. Next, through holes 5 are formed at predetermined positions in the obtained ceramic green sheet 1,
These sheets were mixed with Ag powder and ethylcellulose as a binder (using α-terpineol and butyl carbitol acetate as a solvent), and formed into a paste to form a coil conductor pattern 2 having a shape as shown in FIG. Was printed (FIG. 1A).

【0016】次に、上記コイル導体パターン2が印刷さ
れたシート1を、1枚ずつプレス機におけるゴム板4の
上に乗せ、上方から金属板3で加圧(プレ・プレス)し
(図1(b))、コイル導体パターン2を含むシート1
を平滑化した(図1(c))。次いで、上記プレ・プレ
スしたシート1およびダミーシートを、図2に示す態様
で積層し(図1(d))、熱圧着することにより(図1
(e))、フェライト素地6の内部に、らせん状のコイ
ル7が埋設された成形体を得た。
Next, the sheets 1 on which the coil conductor patterns 2 are printed are placed one by one on a rubber plate 4 in a press machine, and pressed (pre-pressed) by a metal plate 3 from above (FIG. 1). (B)) Sheet 1 including coil conductor pattern 2
Was smoothed (FIG. 1 (c)). Next, the pre-pressed sheet 1 and the dummy sheet are laminated in the mode shown in FIG. 2 (FIG. 1 (d)) and thermocompression-bonded (FIG. 1).
(E)) A molded body in which the spiral coil 7 is embedded inside the ferrite substrate 6 was obtained.

【0017】次に、上記のようにして得た成形体を、チ
ップサイズ( 1.6× 0.8mm)に裁断し、脱バインダーし
た後焼成した(図3)。焼成後、得られたインダクタ素
体におけるコイル末端が導出している端面に外部電極用
導電ペーストを塗布し、これを焼き付けて外部電極を形
成し、積層チップインダクタを得た。
Next, the compact obtained as described above was cut into a chip size (1.6 × 0.8 mm), debindered, and fired (FIG. 3). After firing, a conductive paste for an external electrode was applied to the end face of the obtained inductor body from which the coil ends were led out, and baked to form an external electrode, thereby obtaining a multilayer chip inductor.

【0018】上記のようにして製造した積層チップイン
ダクタにおける内部電極の重なりズレ(積層ズレ)は、
平均70μm程度であった。
The overlap displacement (lamination displacement) of the internal electrodes in the multilayer chip inductor manufactured as described above is as follows.
The average was about 70 μm.

【0019】[0019]

【実施例2】コイル導体パターンを印刷したシートのプ
レ・プレスの際、該シートを乗せたプレス機におけるゴ
ム板を金属板としたこと以外は実施例1と同様にして積
層チップインダクタを製造したところ、得られた積層チ
ップインダクタにおける内部電極の重なりズレ(積層ズ
レ)は、平均50μm程度であった。
Example 2 A laminated chip inductor was manufactured in the same manner as in Example 1 except that a rubber plate in a press machine on which the sheet was placed was used as a metal plate when pre-pressing a sheet on which a coil conductor pattern was printed. However, the overlap displacement (lamination displacement) of the internal electrodes in the obtained multilayer chip inductor was about 50 μm on average.

【0020】[0020]

【比較例】コイル導体パターンを印刷したシートのプレ
・プレス工程を削除したこと以外は実施例1と同様にし
て積層チップインダクタを製造したところ、得られた積
層チップインダクタにおける内部電極の重なりズレ(積
層ズレ)は、平均 120μm程度であった。
[Comparative Example] A multilayer chip inductor was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the pre-pressing step of the sheet on which the coil conductor pattern was printed was omitted. Lamination displacement) was about 120 μm on average.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明法の開発により、積層体の圧着時
に発生する内部導体の重なりズレ(積層ズレ)が著しく
小さくなったため、内部導体の露出が防止され、インダ
クタンス等の電子部品の特性バラツキが小さくなった。
したがって、本発明法によって積層セラミック電子部品
を製造することにより、歩留りが飛躍的に向上するよう
になる。
According to the development of the method of the present invention, the overlapping displacement (lamination displacement) of the internal conductors generated when the laminate is crimped is significantly reduced, so that the exposure of the internal conductors is prevented, and the characteristics of electronic components such as inductance are varied. Has become smaller.
Therefore, by manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to the method of the present invention, the yield is dramatically improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明法の一実施例である積層セラミックイン
ダクタの製造時におけるプレ・プレス工程および積層・
圧着工程の説明図であって、(a)はコイル導体パター
ンが印刷されたシートを示す側断面図、(b)は(a)
のシートをプレス機におけるゴム板と金属板の間に挟ん
でプレ・プレスしている際の態様を示す側断面図、
(c)はプレ・プレス後の平滑化されたシートを示す側
断面図、(d)は(c)のシートを積層した際の態様を
示す側断面図、(e)は(d)の積層体を圧着した際の
態様を示す側断面図である。
FIG. 1 shows a pre-pressing process and a laminating / stacking process during the production of a multilayer ceramic inductor according to an embodiment of the present invention.
It is explanatory drawing of a crimping process, (a) is sectional drawing which shows the sheet | seat in which the coil conductor pattern was printed, (b) is (a).
Side cross-sectional view showing the state when pre-pressing the sheet between the rubber plate and the metal plate in the press machine,
(C) is a side cross-sectional view showing a smoothed sheet after pre-pressing, (d) is a side cross-sectional view showing a state when the sheets of (c) are stacked, and (e) is a lamination of (d). It is a sectional side view which shows the aspect at the time of crimping a body.

【図2】本発明の一実施例である積層セラミックインダ
クタの製造工程において得られる積層体の分解斜視図で
ある。
FIG. 2 is an exploded perspective view of a laminate obtained in a manufacturing process of the multilayer ceramic inductor according to one embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例である積層セラミックインダ
クタの製造工程において得られる積層チップインダクタ
素体を積層方向に切断した側断面図である。
FIG. 3 is a side sectional view of a multilayer chip inductor element body obtained in a manufacturing process of a multilayer ceramic inductor according to an embodiment of the present invention, which is cut in a laminating direction.

【図4】従来の方法で製造された積層チップインダクタ
素体を積層方向に切断したの側断面図である。
FIG. 4 is a side sectional view of a multilayer chip inductor body manufactured by a conventional method, which is cut in a stacking direction.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1‥‥‥セラミックグリーンシート 2‥‥‥コイル導体パターン 3‥‥‥金属板 4‥‥‥ゴム板 5‥‥‥スルーホール 6‥‥‥フェライト素地 7‥‥‥コイル 1 Ceramic green sheet 2 Coil conductor pattern 3 Metal plate 4 Rubber plate 5 Through hole 6 Ferrite base 7 Coil

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 内部導体パターンが印刷されたセラミッ
クグリーンシートを積層および圧着し、焼成した後外部
電極を形成する積層セラミック電子部品の製造方法であ
って、前記内部導体パターンが印刷されたセラミックグ
リーンシートを、1枚ずつ積層方向に加圧することによ
り平滑化した後、積層および圧着することを特徴とする
積層セラミック電子部品の製造方法。
1. A method of manufacturing a laminated ceramic electronic component, comprising forming an external electrode after laminating, pressing and firing a ceramic green sheet on which an internal conductor pattern is printed, wherein the ceramic green sheet is printed with the internal conductor pattern. By pressing the sheets one by one in the laminating direction
A method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, comprising laminating and pressing after smoothing .
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