JP2858239B2 - Polishing jig cleaning equipment - Google Patents

Polishing jig cleaning equipment

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JP2858239B2
JP2858239B2 JP18514296A JP18514296A JP2858239B2 JP 2858239 B2 JP2858239 B2 JP 2858239B2 JP 18514296 A JP18514296 A JP 18514296A JP 18514296 A JP18514296 A JP 18514296A JP 2858239 B2 JP2858239 B2 JP 2858239B2
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浩二 皆見
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバに固定
されたフェルールの端部を研磨治具に複数保持して研磨
した後に、この研磨治具及びフェルールなどに付着した
研磨粉を清浄する研磨治具の清浄装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing method for holding a plurality of ends of a ferrule fixed to an optical fiber on a polishing jig and polishing the same, and then cleaning the polishing powder attached to the polishing jig and the ferrule. The present invention relates to a jig cleaning device.

【0002】[0002]

【従来の技術】光通信などにおいては、光ファイバ同士
の接続は光コネクタを介して行われることがあるが、こ
の場合、光ファイバの端部には、例えば、ジルコニア製
などのフェルールが設けられる。すなわち、光ファイバ
の端部をフェルールの光ファイバ挿入孔に挿入して接着
剤で接着固定し、そのフェルールの端面を研磨加工する
必要がある。
2. Description of the Related Art In optical communication and the like, optical fibers are sometimes connected to each other via an optical connector. In this case, a ferrule made of, for example, zirconia is provided at an end of the optical fiber. . That is, it is necessary to insert the end of the optical fiber into the optical fiber insertion hole of the ferrule, fix it with an adhesive, and grind the end face of the ferrule.

【0003】図10に一般的な光ファイバ研磨機の概
略、図11に光ファイバが装着された研磨治具の概略、
図12に従来の研磨治具の清浄方法を説明するための概
略を示す。研磨機101において、箱状の本体102上
には表面が凹形状の研磨盤103が回転自在に装着さ
れ、この研磨盤103には図示しない研磨シートが載置
されている。また、本体102は昇降軸104に移動体
105が上下移動自在に支持されており、この移動体1
05には後述する研磨治具201を保持する保持部10
6が取付けられている。そして、本体102の前面部に
は操作盤107が設けられている。
FIG. 10 schematically shows a general optical fiber polishing machine, FIG. 11 schematically shows a polishing jig equipped with an optical fiber,
FIG. 12 schematically illustrates a conventional method for cleaning a polishing jig. In the polishing machine 101, a polishing disk 103 having a concave surface is rotatably mounted on a box-shaped main body 102, and a polishing sheet (not shown) is placed on the polishing disk 103. Further, the main body 102 has a movable body 105 supported by a lifting shaft 104 so as to be vertically movable.
A holder 10 holds a polishing jig 201 described later.
6 are attached. An operation panel 107 is provided on the front surface of the main body 102.

【0004】研磨治具201は六角形の板形状をなし、
上面に円形の取付部202が固定されている。そして、
この研磨治具201の外周面には、光ファイバ301の
端部に固定されたフェルール302が固定治具203に
よって挟持され、この固定治具203はボルト204に
よって研磨治具201に固定されている。
The polishing jig 201 has a hexagonal plate shape.
A circular mounting portion 202 is fixed on the upper surface. And
A ferrule 302 fixed to the end of the optical fiber 301 is held by a fixing jig 203 on the outer peripheral surface of the polishing jig 201, and the fixing jig 203 is fixed to the polishing jig 201 by bolts 204. .

【0005】従って、光ファイバ心線301の端部に取
り付けられたフェルール302の複数個が、研磨治具2
01の外周端面に固定治具203によって固定保持され
る。この状態で、研磨機101の保持部106に研磨治
具201の取付部202を装着し、移動体105と共に
この研磨治具201を下降し、回転駆動する研磨盤10
3の研磨シートに対してフェルール302の端面を押し
付ける。すると、このフェルール302の端面が光ファ
イバの端面とともに球状に研磨される。
Therefore, a plurality of ferrules 302 attached to the end of the optical fiber core 301 are
01 is fixedly held on an outer peripheral end face by a fixing jig 203. In this state, the mounting portion 202 of the polishing jig 201 is attached to the holding portion 106 of the polishing machine 101, and the polishing jig 201 is lowered together with the moving body 105, and the polishing plate 10 is driven to rotate.
The end face of the ferrule 302 is pressed against the polishing sheet 3. Then, the end face of the ferrule 302 is polished spherically together with the end face of the optical fiber.

【0006】ところで、フェルール302は、研磨治具
201に固定された状態でその端面の研磨作業が行われ
ると、研磨治具201の下面や側面及びフェルール30
2の端部などに研磨粉が付着する。この場合、従来は、
図12に示すように、フェルール302を研磨治具20
1に固定保持したままで、この研磨治具201を裏返し
て、蛇口401より吐出される水を所定箇所にかけなが
ら、作業者が清浄ブラシ402を持ってこすることで、
研磨治具201及びフェルール302端部を清浄してい
た。
When the end surface of the ferrule 302 is polished while being fixed to the polishing jig 201, the lower surface and the side surface of the ferrule 302 and the ferrule 30 are fixed.
Abrasive powder adheres to the end of No. 2 and the like. In this case, conventionally,
As shown in FIG. 12, the ferrule 302 is
The operator holds the cleaning brush 402 while turning the polishing jig 201 upside down and holding the water discharged from the faucet 401 at a predetermined location while holding the cleaning brush 402 fixed.
The polishing jig 201 and the end of the ferrule 302 were cleaned.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
研磨治具201の清浄作業にあっては、作業者は清浄ブ
ラシ402によって手作業で行うために清浄作業時間に
長時間を要してしまうばかりでなく、作業者にかかる負
担が大きくなり、作業効率が良くないという問題があっ
た。
However, in such a cleaning operation of the polishing jig 201, since the operator manually performs the cleaning operation with the cleaning brush 402, a long cleaning operation time is required. In addition, there is a problem that the burden on the worker is increased and the working efficiency is not good.

【0008】また、清浄ブラシ402を用いた手作業で
はなく、例えば、超音波洗浄機を用いて清浄する場合も
あるが、この清浄作業では、研磨粉を確実に除去するこ
とができないという問題があった。本発明はこのような
問題点を解決するものであって、作業効率の向上を図る
と共に確実に研磨粉を除去することができる研磨治具の
清浄装置を提供することを課題とする。
In some cases, instead of manual work using the cleaning brush 402, cleaning is performed using, for example, an ultrasonic cleaner. However, in this cleaning work, there is a problem that abrasive powder cannot be reliably removed. there were. An object of the present invention is to solve such a problem, and it is an object of the present invention to provide a cleaning device for a polishing jig capable of improving work efficiency and reliably removing polishing powder.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明は、光ファイバの端部に固定されたフェルールが板形
状をなす研磨治具の外周部に複数保持された状態で、該
光ファイバ及びフェルールの端部を研磨した後に付着し
た研磨粉を清浄する研磨治具の清浄装置において、前記
研磨治具を水平状態で載置保持する装置本体と、該装置
本体に載置された前記研磨治具の下方で回転自在に支持
された回転体と、該回転体を回転させる回転体駆動手段
と、前記回転体の上面部に設けられて前記研磨治具の下
面に接触する清浄ブラシとを具え、前記回転体駆動手段
による前記回転体の回転駆動により回転移動される前記
清浄ブラシの作用により、前記研磨治具の外周部の一部
がその周方向に沿って順次押し上げられて傾斜状態とな
って当該研磨治具の下面部が当該清浄ブラシにより清浄
されることを特徴とする研磨治具の清浄装置にある。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an optical fiber in which a plurality of ferrules fixed to an end of an optical fiber are held on an outer peripheral portion of a plate-shaped polishing jig. A polishing jig cleaning apparatus for cleaning the polishing powder adhered after polishing the end of the ferrule, a device main body for mounting and holding the polishing jig in a horizontal state, and the polishing device mounted on the device main body. A rotating body rotatably supported below the jig, rotating body driving means for rotating the rotating body, and a cleaning brush provided on an upper surface of the rotating body and in contact with a lower surface of the polishing jig. A part of the outer peripheral portion of the polishing jig is sequentially pushed up along the circumferential direction thereof by the action of the cleaning brush rotated by the rotation driving of the rotating body by the rotating body driving means, so as to be in an inclined state. Become the polishing jig The lower surface portion is in the cleaning apparatus of the polishing jig, characterized in that it is cleaned by the cleaning brush.

【0010】この場合、光ファイバ及びフェルールの端
部を研磨した後にこの光ファイバ及びフェルールの端部
と研磨治具に付着した研磨粉を清浄するには、装置本体
に研磨治具を載置保持し、この研磨治具に対して清浄液
を供給しながら、回転体駆動手段によって回転体を回転
すると、清浄ブラシは回転移動して研磨治具の外周部の
一部をその周方向に沿って順次押し上げて傾斜状態とな
ってその下面や側面及びフェルール端部などにランダム
に接触することにやり、清浄が確実に行われる。
In this case, in order to clean the end of the optical fiber and the ferrule and the polishing powder adhering to the polishing jig after polishing the end of the optical fiber and the ferrule, the polishing jig is placed and held on the apparatus body. When the rotating body is rotated by the rotating body driving means while supplying the cleaning liquid to the polishing jig, the cleaning brush rotates and moves a part of the outer peripheral portion of the polishing jig along its circumferential direction. By sequentially pushing up and inclining to make random contact with the lower surface, the side surface, the end of the ferrule, etc., the cleaning is reliably performed.

【0011】ここで、前記装置本体の上部には清浄液供
給部が形成されると共に下部には清浄液排出部が形成さ
れて、これら清浄液供給部および清浄液排出部には清浄
液供給手段が連結されており、該清浄液供給手段は清浄
液供給部から前記装置本体内に清浄液を所定量供給して
前記研磨治具を当該清浄液中に沈め、その後前記清浄液
排出部から当該清浄液を排出する処理を間欠的に行うよ
うにしてもよい。
Here, a cleaning liquid supply section is formed at an upper portion of the apparatus main body, and a cleaning liquid discharge section is formed at a lower portion. The cleaning liquid supply section and the cleaning liquid discharge section have cleaning liquid supply means. The cleaning liquid supply means supplies a predetermined amount of cleaning liquid into the apparatus main body from the cleaning liquid supply unit to sink the polishing jig into the cleaning liquid, and thereafter, the cleaning jig is discharged from the cleaning liquid discharge unit. The process of discharging the cleaning liquid may be performed intermittently.

【0012】この場合、装置本体では、水等の清浄液の
供給による貯溜と排出が間欠的に順次行われることとな
り、研磨治具に付着した研磨粉は確実に除去され、また
この場合、例えば、上部から清浄液を供給しながら清浄
する場合と比較して清浄液の使用量が大幅に低減でき
る。
In this case, the storage and discharge of the cleaning liquid such as water are intermittently and sequentially performed in the main body of the apparatus, so that the polishing powder attached to the polishing jig is reliably removed. In addition, compared with the case where the cleaning is performed while supplying the cleaning liquid from above, the usage amount of the cleaning liquid can be greatly reduced.

【0013】また、前記装置本体には内歯ギヤが固定さ
れる一方、前記回転体には該内歯ギヤと噛み合う少なく
とも一つの第1外歯ギヤが枢着され且つ該第1外歯ギヤ
の少なくとも一つと噛み合う第2外歯ギヤが少なくとも
一つ枢着され、これら第1及び第2外歯ギアに前記清浄
ブラシが装着され、前記回転体駆動手段による前記回転
体の回転駆動により自転しつつ移動される前記清浄ブラ
シの作用により、前記研磨治具の外周部の一部がその周
方向に沿って順次押し上げられて傾斜状態となって当該
研磨治具の下面部が当該清浄ブラシにより清浄されるよ
うにしてもよい。
Further, an internal gear is fixed to the apparatus main body, and at least one first external gear that meshes with the internal gear is pivotally mounted on the rotating body, and the first external gear is At least one second external gear that meshes with at least one external gear is pivotally mounted, and the cleaning brush is attached to the first and second external gears, while rotating by rotating the rotating body by the rotating body driving means. By the action of the cleaning brush being moved, a part of the outer peripheral portion of the polishing jig is sequentially pushed up along its circumferential direction to be in an inclined state, and the lower surface portion of the polishing jig is cleaned by the cleaning brush. You may make it.

【0014】この場合、回転体が回転すると、各外歯ギ
ヤは互いに逆方向に回転することで、清浄ブラシは自転
及び公転しながら研磨治具の清浄部分すべてに接触して
清浄を行うこととなり、研磨治具に付着した研磨粉は確
実に除去される。また、前記清浄ブラシの配置状態は、
例えば、全体的に不均衡であり、線対称軸が二本以上な
いようにする。
In this case, when the rotating body rotates, the external gears rotate in opposite directions, so that the cleaning brush contacts and cleans all the clean portions of the polishing jig while rotating and revolving. Then, the polishing powder attached to the polishing jig is reliably removed. Further, the arrangement state of the cleaning brush is as follows:
For example, overall imbalance and no more than two axes of symmetry.

【0015】また、例えば、前記第1外歯ギヤ及び前記
第2外歯ギヤにそれぞれ装着された各清浄ブラシの形状
が同一でないようにする。また、例えば、前記第1外歯
ギヤ及び前記第2外歯ギヤにそれぞれ装着された各清浄
ブラシの毛の発生密度が、同一でないようにする。
Further, for example, the shapes of the cleaning brushes mounted on the first external gear and the second external gear are not identical. Also, for example, the density of bristles of the cleaning brushes mounted on the first external gear and the second external gear is not the same.

【0016】また、例えば、前記第1外歯ギヤ及び前記
第2外歯ギヤにそれぞれ装着された各清浄ブラシの毛の
長さが、同一ではないようにする。また、本発明の研磨
治具の清浄装置は、前記第1外歯ギヤの清浄ブラシは前
記第2外歯ギヤの清浄ブラシに対して毛の発生密度が高
いことを特徴とするものである。
Also, for example, the lengths of the bristles of the cleaning brushes mounted on the first external gear and the second external gear are not the same. Further, the cleaning device of the polishing jig of the present invention is characterized in that the cleaning brush of the first external gear has a higher density of bristles than the cleaning brush of the second external gear.

【0017】この場合、回転移動される清浄ブラシによ
って前記研磨治具の外周部の一部を押し上げて傾斜状態
にするので、清浄ブラシは研磨治具の清浄部分すべてに
接触して清浄を行うことができ、研磨治具に付着した研
磨粉は確実に除去される。
In this case, a part of the outer peripheral portion of the polishing jig is pushed up by the cleaning brush which is rotated to be inclined, so that the cleaning brush contacts and cleans all the cleaning portions of the polishing jig. The polishing powder adhered to the polishing jig is reliably removed.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき、本発明の実
施の形態について詳細に説明する。図1に本発明の一実
施形態に係る研磨治具の清浄装置の正面視、図2に研磨
ブラシの概略、図3及び図4に研磨治具の清浄作業を表
す工程、図5に清浄作業における研磨治具の動作を表す
概略、図6に研磨治具の研磨装置及び清浄装置の配置の
概略を示す。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view of a polishing jig cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram of a polishing brush, FIGS. 3 and 4 show a process of cleaning the polishing jig, and FIG. 6 schematically shows the operation of the polishing jig in FIG. 6, and FIG. 6 schematically shows the arrangement of the polishing device and the cleaning device of the polishing jig.

【0019】図6に示すように、本実施形態の研磨治具
の清浄装置11は研磨装置12に隣接して設けられてお
り、両者の間には研磨治具13を移載する移載装置14
が設けられている。この移載装置14は、昇降軸15に
上下動自在で且つ水平旋回自在な支持アーム16を有
し、研磨治具13を保持して移動することができる。従
って、研磨装置12では、光ファイバのフェルールが研
磨治具の外周部に複数保持された状態で回転し、この光
ファイバ及びフェルールの端部が研磨され、その後、移
載装置14の支持アーム16が研磨治具13を保持して
清浄装置11に移載する。そして、この清浄装置11で
は、光ファイバ及びフェルールの端部と研磨治具13に
付着した研磨粉を清浄する。
As shown in FIG. 6, a polishing jig cleaning apparatus 11 of this embodiment is provided adjacent to a polishing apparatus 12, and a transfer apparatus for transferring a polishing jig 13 between them. 14
Is provided. The transfer device 14 has a support arm 16 that is vertically movable and horizontally rotatable on an elevating shaft 15, and can move while holding the polishing jig 13. Therefore, in the polishing apparatus 12, the ferrule of the optical fiber rotates while being held on the outer peripheral portion of the polishing jig, and the ends of the optical fiber and the ferrule are polished. Holds the polishing jig 13 and transfers it to the cleaning device 11. The cleaning device 11 cleans the polishing powder adhering to the optical fiber, the end of the ferrule, and the polishing jig 13.

【0020】図1に示すように、研磨治具の清浄装置1
1において、筒状をなす装置本体21には上部に清浄液
供給部22が形成されると一方、下部に清浄液排出部2
3が形成されており、その中間部には研磨治具13を水
平状態で載置保持するフランジ部24が形成されてい
る。そして、清浄液供給部22には清浄液供給手段とし
て、例えば、図示しない供給ポンプが連結され、清浄液
排出部には図示しない排出管が連結されている。なお、
この研磨治具13は板形状をなし、外周部に複数の光フ
ァイバ心線01の端部に取り付けられたフェルール02
が保持されている。
As shown in FIG. 1, a polishing jig cleaning apparatus 1
In FIG. 1, when a cleaning liquid supply unit 22 is formed in an upper part of a cylindrical apparatus main body 21, a cleaning liquid discharge unit 2 is formed in a lower part.
3 is formed, and a flange portion 24 for placing and holding the polishing jig 13 in a horizontal state is formed at an intermediate portion thereof. For example, a supply pump (not shown) is connected to the clean liquid supply unit 22 as clean liquid supply means, and a discharge pipe (not shown) is connected to the clean liquid discharge unit. In addition,
The polishing jig 13 has a plate shape, and has a ferrule 02 attached to an end of a plurality of optical fiber cores 01 on an outer peripheral portion.
Is held.

【0021】また、この装置本体21内の下部には回転
体25が回転自在に支持されており、この回転体25は
回転体駆動手段としての駆動モータ26の駆動軸27が
固結されて駆動回転可能となっている。そして、装置本
体21にはフランジ部24の下方に位置して円環状の内
歯ギヤ28が固定される一方、回転体25には、この内
歯ギヤ28と噛み合う第1外歯ギヤ29が枢着されると
共に、この第1外歯ギヤ29と噛み合う第2外歯ギヤ3
0が枢着され、また、内歯ギヤ28と噛み合う第3外歯
ギヤ31が枢着されている。この各外歯ギヤ29,3
0,31は、図2に詳細に示すように、回転体25の径
方向に沿ってほぼ一直線上に配設されているが当該直線
方向に沿っては等間隔ではない不均衡に配置されてお
り、上面部にそれぞれ清浄ブラシ32,33,34が固
着されている。なお、各清浄ブラシ32,33,34の
毛の発生密度は、この場合、ほぼ同一である。
A rotatable body 25 is rotatably supported at a lower portion in the apparatus main body 21. The rotatable body 25 is driven by a driving shaft 27 of a driving motor 26 as a rotatable body driving means. It is rotatable. An annular internal gear 28 is fixed to the apparatus body 21 below the flange portion 24, while a first external gear 29 meshing with the internal gear 28 is pivotally mounted on the rotating body 25. The second external gear 3 which is worn and meshes with the first external gear 29
0 is pivotally mounted, and a third external gear 31 that meshes with the internal gear 28 is pivotally mounted. These external gears 29, 3
As shown in detail in FIG. 2, the reference numerals 0 and 31 are arranged substantially in a straight line along the radial direction of the rotating body 25, but are not arranged at equal intervals along the linear direction. The cleaning brushes 32, 33, 34 are fixed to the upper surface, respectively. In this case, the density of bristles of each of the cleaning brushes 32, 33, 34 is almost the same.

【0022】従って、駆動モータ26を駆動して回転体
25を図2矢印方向に回転すると、各外歯ギヤ29,3
0,31も同方向に移動することで公転すると共に、第
1及び第3外歯ギヤ29,31は内歯ギヤ28に噛み合
いながら矢印方向に自転し、且つ、第2外歯ギヤ30は
第1外歯ギヤ29に噛み合いながら矢印方向に自転する
こととなり、各清浄ブラシ32,33,34は自転しな
がら公転することとができる。
Accordingly, when the driving motor 26 is driven to rotate the rotating body 25 in the direction of the arrow in FIG.
Also, the first and third external gears 29 and 31 rotate in the direction of the arrow while engaging with the internal gear 28, and the second external gear 30 moves in the second direction. While rotating with the first external gear 29 in the direction of the arrow, the cleaning brushes 32, 33, and 34 can revolve while rotating.

【0023】ここで、上述した清浄装置11によるフェ
ルール02の端部及び研磨治具13の清浄作業について
説明する。前述したように、研磨治具13に固定された
光ファイバ01のフェルール02の端部の研磨作業が終
了すると、この研磨治具13は移載装置14によって研
磨装置12から清浄装置11に移載される。この清浄装
置11では、図1に示すように、光ファイバ心線01の
フェルール02が多数固定された研磨治具13が装置本
体21のフランジ部に24に水平状態で載置保持され
る。この状態で、図3に示すように、供給ポンプによっ
て研磨治具13に対して清浄液供給部22から清浄液と
して例えば水を供給し、装置本体21内に清浄液を貯溜
する。一方、駆動モータ26を駆動して回転体25を回
転し、各外歯ギヤ29,30,31と共に、各清浄ブラ
シ32,33,34を自転しながら公転させる。
Here, the cleaning operation of the end of the ferrule 02 and the polishing jig 13 by the cleaning device 11 will be described. As described above, when the polishing operation of the end of the ferrule 02 of the optical fiber 01 fixed to the polishing jig 13 is completed, the polishing jig 13 is transferred from the polishing device 12 to the cleaning device 11 by the transfer device 14. Is done. In this cleaning device 11, as shown in FIG. 1, a polishing jig 13 to which a number of ferrules 02 of an optical fiber core 01 are fixed is placed and held on a flange portion 24 of an apparatus main body 21 in a horizontal state. In this state, as shown in FIG. 3, for example, water is supplied as a cleaning liquid from the cleaning liquid supply unit 22 to the polishing jig 13 by the supply pump, and the cleaning liquid is stored in the apparatus main body 21. On the other hand, the driving motor 26 is driven to rotate the rotating body 25, and the cleaning brushes 32, 33, and 34 are revolved along with the external gears 29, 30, 31 while rotating.

【0024】すると、清浄ブラシ32,33,34の配
置のアンバランスから、回転移動する清浄ブラシ32,
33,34の作用により、研磨治具13の外周部の一部
が周方向に沿って順次押し上げられることとなり、研磨
治具13は、図5に示すように、常に何れかの方向に傾
斜状態となりながら上下に揺動を繰り返すこととなる。
従って、各清浄ブラシ32,33,34は外周辺部が上
下に揺動する研磨治具13の下面や側面及び中央の穴内
部、あるいはフェルール02の端部の周面全体などに対
してランダムに接触することとなり、研磨粉の付着部分
全域にわたってこの研磨粉の除去が確実に行われる。
Then, due to the imbalance in the arrangement of the cleaning brushes 32, 33, and 34, the cleaning brushes 32, 33 that rotate and move.
Due to the action of 33, 34, a part of the outer peripheral portion of the polishing jig 13 is sequentially pushed up in the circumferential direction, and the polishing jig 13 is always inclined in any direction as shown in FIG. The rocking motion is repeated up and down as follows.
Accordingly, each of the cleaning brushes 32, 33, and 34 is randomly arranged on the lower surface and the side surface of the polishing jig 13 whose outer peripheral portion swings up and down, the inside of the central hole, or the entire peripheral surface of the end portion of the ferrule 02. As a result, the abrasive powder is reliably removed over the entire area where the abrasive powder adheres.

【0025】この各清浄ブラシ32,33,34による
研磨治具13の清浄作業に伴って、前述したように、装
置本体21内には清浄液供給部22から清浄液が供給さ
れており、そして、装置本体21内に清浄液が所定量に
貯溜されて研磨治具13がこの清浄液に浸漬されると、
清浄液供給部22からの清浄液の供給を停止し、図4に
示すように、清浄液排出部23から清浄液を排出する。
そして、装置本体21内の清浄液が所定量排出される
と、例えば、一定時間経過後あるいは直ぐに、再び清浄
液供給部22から装置本体21内に清浄液を供給して研
磨治具13を浸漬する。従って、装置本体21内には、
間欠的にきれいな清浄液が供給されることとなり、研磨
治具13から除去された研磨粉は確実に装置本体21の
外部に排出され、再び付着することはない。
With the cleaning operation of the polishing jig 13 by the cleaning brushes 32, 33, and 34, the cleaning liquid is supplied from the cleaning liquid supply unit 22 into the apparatus main body 21 as described above. When a predetermined amount of the cleaning liquid is stored in the apparatus body 21 and the polishing jig 13 is immersed in the cleaning liquid,
The supply of the cleaning liquid from the cleaning liquid supply unit 22 is stopped, and the cleaning liquid is discharged from the cleaning liquid discharge unit 23 as shown in FIG.
When a predetermined amount of the cleaning liquid in the apparatus main body 21 is discharged, for example, after a certain period of time or immediately, the cleaning liquid is supplied again from the cleaning liquid supply unit 22 into the apparatus main body 21 to immerse the polishing jig 13. I do. Therefore, in the apparatus main body 21,
A clean cleaning liquid is intermittently supplied, and the polishing powder removed from the polishing jig 13 is reliably discharged to the outside of the apparatus main body 21 and does not adhere again.

【0026】このように装置本体21では、清浄液の供
給よる貯溜と排出が間欠的に順次繰り返して行われる
が、例えば、研磨治具13に清浄液が連続的にかけるよ
うにしてもよいが、本実施例のように間欠的に研磨治具
13を清浄液中に浸漬するようにすると、連続的に清浄
液を流す方法と比較して大幅に少ない清浄液の量で確実
に研磨粉を除去することができる。 本実施の形態の装
置では、このような清浄液の間欠的な注入と上述したよ
うな公転及び自転する清浄ブラシ32,33,34によ
って研磨治具13の所定箇所がすべて清浄されることと
なり、研磨治具13などに付着した研磨粉が確実に除去
される。
As described above, in the apparatus main body 21, the storage and the discharge by the supply of the cleaning liquid are intermittently repeated repeatedly. For example, the cleaning liquid may be continuously applied to the polishing jig 13. However, when the polishing jig 13 is intermittently immersed in the cleaning liquid as in this embodiment, the polishing powder can be reliably removed with a significantly smaller amount of the cleaning liquid as compared with the method of continuously flowing the cleaning liquid. Can be removed. In the apparatus of the present embodiment, all of the predetermined portions of the polishing jig 13 are cleaned by the intermittent injection of the cleaning liquid and the revolving and rotating cleaning brushes 32, 33, and 34 as described above. The polishing powder attached to the polishing jig 13 and the like is reliably removed.

【0027】なお、上述した実施形態において、回転体
25の清浄ブラシ32,33,34の構成はこの構成に
限定されるものではない。例えば、複数の清浄ブラシの
配置あるいは形状を不均一にすることにより、研磨治具
13の外周部の一部が周方向に沿って順次押し上げられ
て研磨治具13が常に何れかの方向に傾斜状態となるよ
うにするためには、複数の清浄ブラシの全体の配置が線
対称軸を2本以上有さないようにすればよい。
In the embodiment described above, the configuration of the cleaning brushes 32, 33, 34 of the rotating body 25 is not limited to this configuration. For example, by making the arrangement or shape of the plurality of cleaning brushes non-uniform, a part of the outer peripheral portion of the polishing jig 13 is sequentially pushed up in the circumferential direction, and the polishing jig 13 is always inclined in any direction. In order to be in the state, the entire arrangement of the plurality of cleaning brushes should not have two or more axes of line symmetry.

【0028】また、例えば、清浄ブラシ32より清浄ブ
ラシ33の方が高く、また、清浄ブラシ33より清浄ブ
ラシ34の方が高くなるようにして各ブラシの毛の発生
密度をを不均一にしてもよく、この場合には、各清浄ブ
ラシの配置が不均一でなくてもよい。
Also, for example, the cleaning brush 33 is higher than the cleaning brush 32, and the cleaning brush 34 is higher than the cleaning brush 33, so that the density of bristles of each brush is not uniform. Often, in this case, the arrangement of each cleaning brush need not be uneven.

【0029】また、例えば、各清浄ブラシの毛の長さを
不均一にしてもよく、この場合には、各清浄ブラシの配
置が不均一でなくてもよい。なお、清浄ブラシの数は少
なくとも3つが好ましいが、その形状等を工夫すれば2
つでも十分な清浄が可能である。
Further, for example, the bristle length of each cleaning brush may be made non-uniform, and in this case, the arrangement of each cleaning brush may not be non-uniform. The number of cleaning brushes is preferably at least three.
At least one can be sufficiently cleaned.

【0030】図7は清浄ブラシが2つの例である。この
場合、配置の一本の線対称軸を有する配置であるが、両
方の清浄ブラシの形状を矩形にしてその長手方向の軸が
互いに直交するようにすることにより、研磨治具の全体
を確実に清浄できるようにしたものである。
FIG. 7 shows an example in which there are two cleaning brushes. In this case, the arrangement has one axis of line symmetry, but by making the shape of both cleaning brushes rectangular so that their longitudinal axes are orthogonal to each other, the entire polishing jig can be surely secured. It is made to be able to clean.

【0031】すなわち、図7に示すものにあっては、図
示しない装置本体に内歯ギヤ41が固定されると共に、
この内歯ギヤ41と同心状に回転体42が回転自在に支
持されており、この回転体42には内歯ギヤ41と噛み
合う第1外歯ギヤ43が枢着されると共に、この第1外
歯ギヤ43と噛み合う第2外歯ギヤ44が枢着されてい
る。そして、この各外歯ギヤ43,44の上面部にそれ
ぞれ矩形の清浄ブラシ45,46がその長手方向の軸が
互いに直交するように固着されている。
That is, in the apparatus shown in FIG. 7, the internal gear 41 is fixed to a device body (not shown),
A rotary body 42 is rotatably supported concentrically with the internal gear 41. A first external gear 43 meshing with the internal gear 41 is pivotally mounted on the rotary body 42, and the first external gear 43 is pivotally connected to the first external gear 43. A second external gear 44 meshing with the tooth gear 43 is pivotally mounted. Then, rectangular cleaning brushes 45 and 46 are fixed to the upper surface portions of the external gears 43 and 44, respectively, such that their longitudinal axes are orthogonal to each other.

【0032】従って、図示しない駆動モータによって回
転体42を図7矢印方向に回転すると、各外歯ギヤ4
3,44も同方向に移動することで公転すると共に、内
歯ギヤ42に噛み合いながら矢印方向に自転することと
なり、各清浄ブラシ43,44は自転しながら回転す
る。そのため、この各清浄ブラシ43,44は図示しな
い研磨治具の外周辺を押し上げて上下に揺動させなが
ら、この研磨治具の下面や側面などに対してランダムに
接触し、研磨粉の付着部分全域にわたってこの研磨粉の
除去が行われる。
Therefore, when the rotating body 42 is rotated in the direction of the arrow in FIG.
The cleaning brushes 43 and 44 also rotate while rotating in the direction of the arrow while engaging with the internal gear 42 while rotating in the same direction. For this reason, the cleaning brushes 43 and 44 push up the outer periphery of the polishing jig (not shown) and swing up and down, and come into random contact with the lower surface and side surfaces of the polishing jig, so that the polishing powder adheres to the polishing jig. This polishing powder is removed over the entire area.

【0033】また、図8には清浄ブラシが2つの他の例
を示す。この場合、各ブラシの形状は円形で同一である
が、配置は線対称軸がない不均一な配置となっている。
図8に示すものにあっては、図示しない装置本体に内歯
ギヤ51が固定されると共に、この内歯ギヤ51と同心
状に回転体52が回転自在に支持されており、この回転
体52には内歯ギヤ51と噛み合う第1外歯ギヤ53及
び第2外歯ギヤ54が枢着されると共に、第2外歯ギヤ
54と噛み合う第3外歯ギヤ55が枢着されている。そ
して、この各外歯ギヤ53,55の上面部にそれぞれ清
浄ブラシ56,57が固着されている。
FIG. 8 shows another example having two cleaning brushes. In this case, the shape of each brush is circular and identical, but the arrangement is non-uniform with no axis of symmetry.
8, an internal gear 51 is fixed to a device body (not shown), and a rotating body 52 is rotatably supported concentrically with the internal gear 51. A first external gear 53 and a second external gear 54 meshing with the internal gear 51 are pivotally mounted, and a third external gear 55 meshing with the second external gear 54 is pivotally mounted. Cleaning brushes 56 and 57 are fixed to the upper surfaces of the external gears 53 and 55, respectively.

【0034】従って、図示しない駆動モータによって回
転体52を図8矢印方向に回転すると、各外歯ギヤ5
3,54,55も同方向に移動することで公転すると共
に、第1及び第2外歯ギヤ53,54は内歯ギヤ52に
噛み合いながら矢印方向に自転し、且つ、第3外歯ギヤ
55は第2外歯ギヤ54に噛み合いながら矢印方向に自
転することとなり、各清浄ブラシ56,57は自転しな
がら公転する。そのため、この各清浄ブラシ56,57
は図示しない研磨治具の外周辺を押し上げて上下に揺動
させながら、この研磨治具の下面や側面などに対してラ
ンダムに接触し、研磨粉の付着部分全域にわたってこの
研磨粉の除去が行われる。
Therefore, when the rotating body 52 is rotated in the direction of the arrow in FIG.
The first and second external gears 53 and 54 rotate in the direction of the arrow while meshing with the internal gear 52, and revolve in the same direction. Rotates in the direction of the arrow while meshing with the second external gear 54, and the cleaning brushes 56 and 57 revolve while rotating. Therefore, each of the cleaning brushes 56, 57
While pushing up the outer periphery of the polishing jig (not shown) and swinging it up and down, the polishing jig comes into random contact with the lower surface and side surfaces of the polishing jig, and the polishing powder is removed over the entire area where the polishing powder adheres. Will be

【0035】また、図9に示す例は、各清浄ブラシの配
置及び形状は線対称軸を多数有するものであるが、ブラ
シの発生密度を不均一とすることにより、研磨治具の全
体を確実に清浄できるようにしたものである。図9に示
すものにあっては、図示しない装置本体に内歯ギヤ61
が固定されると共に、この内歯ギヤ61と同心状に回転
体62が回転自在に支持されており、この回転体62に
は内歯ギヤ61と噛み合う第1外歯ギヤ63と第2外歯
ギヤ64と第3外歯ギヤ65とが枢着されると共に、各
外歯ギヤ63,64,65と噛み合う第4外歯ギヤ66
と第5外歯ギヤ67と第6外歯ギヤ68とが枢着されて
いる。そして、この第4、第5、第6外歯ギヤ66,6
7,68の上面部にそれぞれ清浄ブラシ69,70,7
1がそれぞれ固着されている。ここで、清浄ブラシ69
及び71の毛の発生密度より清浄ブラシ70の毛の発生
密度を小さくしている。
In the example shown in FIG. 9, the arrangement and the shape of each cleaning brush have many axisymmetric axes. However, by making the generation density of the brushes non-uniform, the entire polishing jig can be secured. It is made to be able to clean. In the apparatus shown in FIG. 9, an internal gear 61
Are fixed, and a rotating body 62 is rotatably supported concentrically with the internal gear 61. The rotating body 62 has a first external gear 63 and a second external gear that mesh with the internal gear 61. The gear 64 and the third external gear 65 are pivotally connected, and the fourth external gear 66 meshes with each of the external gears 63, 64, 65.
, The fifth external gear 67 and the sixth external gear 68 are pivotally connected. The fourth, fifth, and sixth external gears 66, 6
Cleaning brushes 69, 70, 7 on the upper surface of
1 are respectively fixed. Here, the cleaning brush 69
And 71, the generation density of the bristles of the cleaning brush 70 is made smaller.

【0036】従って、図示しない駆動モータによって回
転体62を図9矢印方向に回転すると、第1、第2、第
3外歯ギヤ63,64,65も同方向に移動することで
公転すると共に内歯ギヤ62に噛み合いながら矢印方向
に自転し、また、第4、第5、第6外歯ギヤ66,6
7,68は第1、第2、第3外歯ギヤ63,64,65
に噛み合いながら矢印方向に自転することとなり、各清
浄ブラシ69,70,71は自転しながら公転する。こ
こで、各清浄ブラシ69,70,71がブラシの毛の発
生密度が異なることにより全体として不均一となってい
るため、この各清浄ブラシ69,70,71は図示しな
い研磨治具の外周辺を押し上げて上下に揺動させなが
ら、この研磨治具の下面や側面などに対してランダムに
接触し、研磨粉の付着部分全域にわたってこの研磨粉の
除去が行われる。
Therefore, when the rotating body 62 is rotated in the direction of the arrow in FIG. 9 by a drive motor (not shown), the first, second, and third external gears 63, 64, and 65 also move in the same direction to revolve and move inward. It rotates in the direction of the arrow while meshing with the tooth gear 62, and the fourth, fifth, and sixth external gears 66, 6
7, 68 are first, second, and third external gears 63, 64, 65.
And the cleaning brushes 69, 70, 71 revolve while rotating. Here, since the cleaning brushes 69, 70, and 71 are non-uniform as a whole due to the difference in the density of the bristles of the brushes, the cleaning brushes 69, 70, and 71 are located around the outer periphery of a polishing jig (not shown). While being raised and swung up and down, the polishing jig comes into random contact with the lower surface and side surfaces of the polishing jig, and the polishing powder is removed over the entire area where the polishing powder adheres.

【0037】以上各実施形態に示すように、清浄ブラシ
の配置及び形状を不均一にしたり、毛の密度を不均一と
したり、毛の長さを不均一にすることにより、各清浄ブ
ラシ回転移動するときに研磨治具の外周部の一部を周方
向に沿って順次押し上げることができ、研磨治具を傾斜
状態で上下に揺動を繰り返しながら清浄を行うことがで
きる。
As shown in the above embodiments, the cleaning brush is rotated and moved by making the arrangement and the shape of the cleaning brush nonuniform, making the density of the hair nonuniform, and making the length of the hair nonuniform. In this case, a part of the outer peripheral portion of the polishing jig can be sequentially pushed up in the circumferential direction, and the cleaning can be performed while repeatedly swinging the polishing jig up and down in an inclined state.

【0038】[0038]

【発明の効果】以上、実施形態において詳細に説明した
ように、本発明の研磨治具の清浄装置によれば、光ファ
イバのフェルールが固定された研磨治具を水平状態で載
置保持する装置本体を設け、この装置本体にこの研磨治
具の下方に位置して回転体駆動手段によって回転体を回
転自在に支持し、この回転体の上面部に研磨治具の下面
に接触する清浄ブラシを設け、装置本体に保持された前
記研磨治具に対して清浄液を供給すると共に回転体が回
転するときに清浄ブラシが研磨治具の外周部の一部をそ
の周方向に沿って順次押し上げて研磨治具を常に傾斜状
態として清浄を行うようにしたので、清浄ブラシは外周
辺部が上下に揺動する研磨治具の下面や側面及びフェル
ールの端部などに対してランダムに接触することとな
り、研磨粉の付着部分全域にわたってこの研磨粉の除去
を確実に行うことができ、作業効率の向上を図ることが
できる。
As described above in detail in the embodiment, according to the apparatus for cleaning a polishing jig of the present invention, an apparatus for placing and holding a polishing jig to which a ferrule of an optical fiber is fixed in a horizontal state. A main body is provided, and the rotating body is rotatably supported by the rotating body driving means positioned below the polishing jig in the apparatus body, and a cleaning brush contacting the lower surface of the polishing jig is provided on the upper surface of the rotating body. The cleaning brush is provided to supply a cleaning liquid to the polishing jig held by the apparatus body and to sequentially push up a part of the outer peripheral portion of the polishing jig along its circumferential direction when the rotating body rotates. The cleaning jig is always tilted for cleaning, so the cleaning brush comes in random contact with the lower and side surfaces of the polishing jig, whose outer periphery swings up and down, and the end of the ferrule. , Attached part of abrasive powder Can make removal of the abrasive powder reliably over the entire area, it is possible to improve the work efficiency.

【0039】また、本発明の研磨治具の清浄装置によれ
ば、清浄液供給手段が清浄液供給部から装置本体内に清
浄液を所定量供給して貯溜してその後清浄液の供給を停
止して清浄液排出部から清浄液を排出するというよう
に、清浄液を献血的に供給して研磨治具の清浄を行うよ
うにしたので、清浄液の供給および排出を常時行う場合
と比較して清浄液の使用量が著しく低減され、且つ研磨
治具は常にきれいな清浄液によって清浄されることとな
り、除去された研磨粉は確実に外部に排出され、研磨治
具への再付着を防止することができる。
Further, according to the polishing jig cleaning apparatus of the present invention, the cleaning liquid supply means supplies a predetermined amount of the cleaning liquid from the cleaning liquid supply section into the apparatus main body, and then stops the supply of the cleaning liquid. The cleaning jig is cleaned by supplying the cleaning liquid in a blood donation manner, such as discharging the cleaning liquid from the cleaning liquid discharge section, so that the cleaning liquid is always supplied and discharged. As a result, the amount of cleaning liquid used is significantly reduced, and the polishing jig is always cleaned with a clean cleaning liquid, and the removed abrasive powder is reliably discharged to the outside to prevent re-attachment to the polishing jig. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る研磨治具の清浄装置
の正面図である。
FIG. 1 is a front view of an apparatus for cleaning a polishing jig according to an embodiment of the present invention.

【図2】研磨ブラシの概略図である。FIG. 2 is a schematic view of a polishing brush.

【図3】研磨治具の清浄作業を表す工程図である。FIG. 3 is a process chart showing a cleaning operation of the polishing jig.

【図4】研磨治具の清浄作業を表す工程図である。FIG. 4 is a process diagram showing a cleaning operation of the polishing jig.

【図5】清浄作業における研磨治具の動作を表す概略図
である。
FIG. 5 is a schematic view showing the operation of a polishing jig in a cleaning operation.

【図6】研磨治具の研磨装置及び清浄装置の配置の概略
図である。
FIG. 6 is a schematic view of an arrangement of a polishing device and a cleaning device of a polishing jig.

【図7】他の清浄ブラシの構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram of another cleaning brush.

【図8】他の清浄ブラシの構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram of another cleaning brush.

【図9】他の清浄ブラシの構成図である。FIG. 9 is a configuration diagram of another cleaning brush.

【図10】一般的な光ファイバ研磨機の概略図である。FIG. 10 is a schematic view of a general optical fiber polishing machine.

【図11】光ファイバが装着された研磨治具の概略図で
ある。
FIG. 11 is a schematic view of a polishing jig on which an optical fiber is mounted.

【図12】従来の研磨治具の清浄方法を説明するための
概略図である。
FIG. 12 is a schematic view for explaining a conventional method for cleaning a polishing jig.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

01 光ファイバ心線 02 フェルール 11 清浄装置 12 研磨装置 13 研磨治具 21 装置本体 22 清浄液供給部 23 清浄液排出部 24 フランジ部 25 回転体 26 駆動モータ(回転駆動手段) 28 内歯ギヤ 29 第1外歯ギヤ 30 第2外歯ギヤ 31 第3外歯ギヤ 32,33,34 清浄ブラシ 41 内歯ギヤ 42 回転体 43,44 外歯ギヤ 45,46 清浄ブラシ 51 内歯ギヤ 52 回転体 53,54,55 外歯ギヤ 56,57 清浄ブラシ 61 内歯ギヤ 62 回転体 63,64,65,66,67,68 外歯ギヤ 69,70,71 清浄ブラシ REFERENCE SIGNS LIST 01 Optical fiber core wire 02 Ferrule 11 Cleaning device 12 Polishing device 13 Polishing jig 21 Device body 22 Cleaning liquid supply unit 23 Cleaning liquid discharge unit 24 Flange unit 25 Rotating body 26 Drive motor (rotation drive unit) 28 Internal gear 29 1 external gear 30 second external gear 31 third external gear 32, 33, 34 cleaning brush 41 internal gear 42 rotating body 43, 44 external gear 45, 46 cleaning brush 51 internal gear 52 rotating body 53, 54, 55 External gear 56, 57 Cleaning brush 61 Internal gear 62 Rotating body 63, 64, 65, 66, 67, 68 External gear 69, 70, 71 Cleaning brush

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−166960(JP,A) 特開 昭62−203746(JP,A) 実開 昭63−41456(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B24B 55/12 G02B 6/36──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (56) References JP-A-62-166960 (JP, A) JP-A-62-203746 (JP, A) Actually open JP-A-63-41456 (JP, U) (58) Field (Int.Cl. 6 , DB name) B24B 55/12 G02B 6/36

Claims (7)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 光ファイバの端部に固定されたフェルー
ルが研磨治具に複数保持された状態で、該光ファイバ及
びフェルールの端部を研磨した後に付着した研磨粉を清
浄する研磨治具の清浄装置において、前記研磨治具を水
平状態で載置保持する装置本体と、該装置本体に載置さ
れた前記研磨治具の下方で回転自在に支持された回転体
と、該回転体を回転させる回転体駆動手段と、前記回転
体の上面部に設けられて前記研磨治具の下面に接触する
清浄ブラシとを具え、前記回転体駆動手段による前記回
転体の回転駆動により回転移動される前記清浄ブラシの
作用により、前記研磨治具の外周部の一部がその周方向
に沿って順次押し上げられて傾斜状態となって当該研磨
治具の下面部が当該清浄ブラシにより清浄されることを
特徴とする研磨治具の清浄装置。
1. A ferrule fixed to an end of an optical fiber.
A plurality of polishing jigs are held in a polishing jig, and in a polishing jig cleaning apparatus for cleaning polishing powder adhering after polishing the ends of the optical fiber and the ferrule, the polishing jig is placed in a horizontal state. An apparatus body for holding, a rotating body rotatably supported below the polishing jig placed on the apparatus body, rotating body driving means for rotating the rotating body, and an upper surface of the rotating body. A cleaning brush provided in contact with the lower surface of the polishing jig, and an outer peripheral portion of the polishing jig is formed by the action of the cleaning brush rotated by the rotation driving of the rotating body by the rotating body driving means. A cleaning device for a polishing jig, wherein a part of the polishing jig is sequentially pushed up in a circumferential direction to be in an inclined state, and a lower surface of the polishing jig is cleaned by the cleaning brush.
【請求項2】 請求項1において、前記装置本体の上部
には清浄液供給部が形成されると共に下部には清浄液排
出部が形成されて、これら清浄液供給部および清浄液排
出部には清浄液供給手段が連結されており、該清浄液供
給手段は清浄液供給部から前記装置本体内に清浄液を所
定量供給して前記研磨治具を当該清浄液中に沈め、その
後前記清浄液排出部から当該清浄液を排出する処理を間
欠的に行うことを特徴とする研磨治具の清浄装置。
2. The apparatus according to claim 1, wherein a cleaning liquid supply section is formed at an upper portion of the apparatus main body, and a cleaning liquid discharge section is formed at a lower portion. A cleaning liquid supply unit is connected, the cleaning liquid supply unit supplies a predetermined amount of a cleaning liquid from the cleaning liquid supply unit into the apparatus main body, submerges the polishing jig in the cleaning liquid, and then sets the cleaning liquid A cleaning device for a polishing jig, wherein a process of discharging the cleaning liquid from a discharge unit is performed intermittently.
【請求項3】 請求項1または2において、前記装置本
体には内歯ギヤが固定される一方、前記回転体には該内
歯ギヤと噛み合う少なくとも一つの第1外歯ギヤが枢着
され且つ該第1外歯ギヤの少なくとも一つと噛み合う第
2外歯ギヤが少なくとも一つ枢着され、これら第1及び
第2外歯ギアに前記清浄ブラシが装着され、前記回転体
駆動手段による前記回転体の回転駆動により自転しつつ
移動される前記清浄ブラシの作用により、前記研磨治具
の外周部の一部がその周方向に沿って順次押し上げられ
て傾斜状態となって当該研磨治具の下面部が当該清浄ブ
ラシにより清浄されることを特徴とする研磨治具の清浄
装置。
3. The device according to claim 1, wherein an internal gear is fixed to the apparatus main body, and at least one first external gear that meshes with the internal gear is pivotally attached to the rotating body. At least one second external gear that meshes with at least one of the first external gears is pivotally mounted, and the cleaning brush is mounted on the first and second external gears, and the rotating body is driven by the rotating body driving means. Due to the action of the cleaning brush, which is rotated and rotated by the rotation of the polishing jig, a part of the outer peripheral portion of the polishing jig is sequentially pushed up along the circumferential direction to be in an inclined state, and the lower surface portion of the polishing jig is inclined. Cleaning apparatus for cleaning a polishing jig, wherein the cleaning brush is cleaned by the cleaning brush.
【請求項4】 請求項1〜3の何れかにおいて、前記清
浄ブラシの配置状態が全体的に不均衡であり、線対称軸
が二本以上ないことを特徴とする研磨治具の清浄装置。
4. A polishing jig cleaning apparatus according to claim 1, wherein the cleaning brushes are imbalanced as a whole and have no more than two axes of line symmetry.
【請求項5】 請求項1〜4の何れかにおいて、前記第
1外歯ギヤ及び前記第2外歯ギヤにそれぞれ装着された
各清浄ブラシの形状が同一でないことを特徴とするも研
磨治具の清浄装置。
5. The polishing jig according to claim 1, wherein the shape of each of the cleaning brushes mounted on the first external gear and the second external gear is not the same. Cleaning equipment.
【請求項6】 請求項1〜5の何れかにおいて、前記第
1外歯ギヤ及び前記第2外歯ギヤにそれぞれ装着された
各清浄ブラシの毛の発生密度が、同一でないことを特徴
とするも研磨治具の清浄装置。
6. The cleaning brush according to claim 1, wherein the density of bristles of each of the cleaning brushes mounted on the first external gear and the second external gear is not the same. Also a polishing jig cleaning device.
【請求項7】 請求項1〜6の何れかにおいて、前記第
1外歯ギヤ及び前記第2外歯ギヤにそれぞれ装着された
各清浄ブラシの毛の長さが、同一ではないことを特徴と
する研磨治具の清浄装置。
7. The cleaning brush according to claim 1, wherein the lengths of the bristles of the cleaning brushes mounted on the first external gear and the second external gear are not the same. Polishing jig cleaning equipment.
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