JP2855777B2 - 発光分光検出器 - Google Patents
発光分光検出器Info
- Publication number
- JP2855777B2 JP2855777B2 JP10713390A JP10713390A JP2855777B2 JP 2855777 B2 JP2855777 B2 JP 2855777B2 JP 10713390 A JP10713390 A JP 10713390A JP 10713390 A JP10713390 A JP 10713390A JP 2855777 B2 JP2855777 B2 JP 2855777B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- discharge tube
- sample
- measured
- outer tube
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、マイクロ波誘導プラズマを利用して試料中
の元素を分析する発光分光分析装置に関し、更に詳しく
は、保守性に優れ、高感度の測定が可能な発光分光分析
装置に関する。
の元素を分析する発光分光分析装置に関し、更に詳しく
は、保守性に優れ、高感度の測定が可能な発光分光分析
装置に関する。
＜従来の技術＞ 従来から知られている発光分光検出器は、実験的に試
作されて実験室などで使用されているものばかりであ
る。即ち、マイクロ波誘導プラズマを利用して試料中の
元素を分析する発光分光分析計用の発光分光検出器とし
て市販されているは見当たらない。
作されて実験室などで使用されているものばかりであ
る。即ち、マイクロ波誘導プラズマを利用して試料中の
元素を分析する発光分光分析計用の発光分光検出器とし
て市販されているは見当たらない。
＜発明が解決しようとする問題点＞ 本発明は、かかる状況に鑑みてなされたものであり、
その目的は、高感度検出が可能なうえ保守性に優れた発
光分光検出装置を提供することにある。
その目的は、高感度検出が可能なうえ保守性に優れた発
光分光検出装置を提供することにある。
＜問題点を解決するための手段＞ このような目的を達成するために、本発明は、 被測定試料をマイクロ波誘導プラズマを発生させるキ
ャビティに導く二重管構造の放電管、この放電管中に励
起されたプラズマで発光した発光スペクトルを信号処理
する信号処理部を具備し、被測定試料の元素を測定する
発光分光分析装置において、前記放電管の内管と外管を
分離可能とし、前記放電管は前記キャビティから抜き差
し自在に構成すると共に外管側に設けた調整ねじにより
放電管の外管中心と内管中心との位置合わせを行なうよ
うにしたことを特徴としている。
ャビティに導く二重管構造の放電管、この放電管中に励
起されたプラズマで発光した発光スペクトルを信号処理
する信号処理部を具備し、被測定試料の元素を測定する
発光分光分析装置において、前記放電管の内管と外管を
分離可能とし、前記放電管は前記キャビティから抜き差
し自在に構成すると共に外管側に設けた調整ねじにより
放電管の外管中心と内管中心との位置合わせを行なうよ
うにしたことを特徴としている。
また、請求項１記載の発生分光分析装置において、発
光スペクトルを放電管の幅方向に設けられた光学窓から
光ファイバを介して複数の信号処理部に導くようにした
ことを特徴としている。
光スペクトルを放電管の幅方向に設けられた光学窓から
光ファイバを介して複数の信号処理部に導くようにした
ことを特徴としている。
また、請求項１記載の発光分光分析装置において、放
電管に被測定試料を導入するに際しては、放電管の導入
口に接続されたキャピラリーを介して導入するようにし
たことを特徴としている。
電管に被測定試料を導入するに際しては、放電管の導入
口に接続されたキャピラリーを介して導入するようにし
たことを特徴としている。
＜実施例＞ 以下、本発明について図を用いて詳細に説明する。第
１図は本発明実施例の構成説明図であり、図中、1aは例
えば石英管でなる外管、1bはたとえば石英管やステンレ
ス内管でなる内管、１は外管1aと内管１とでなる二重管
構造の放電管、2a〜2cは接手、3a,3bはナット、４は試
料導入口、５はマイクロ波発生器10から供給された例え
ば2.45GHZのマイクロ波を空洞共鳴させて外管1a内にマ
イクロ波誘導プラズマ６を誘起させる例えば円筒型のキ
ャビティ、７は光学窓、８は集光系であって凹面鏡81と
反射鏡82を有している。また、９は信号処理部、11はス
ライダー、12は基台、13は支点、14は調整ネジである。
一方、第２図は調整ネジ14を説明するための断面図であ
り、図中、第１図と同一記号を同一意味をもたせて使用
しここでの重複説明は省略する。
１図は本発明実施例の構成説明図であり、図中、1aは例
えば石英管でなる外管、1bはたとえば石英管やステンレ
ス内管でなる内管、１は外管1aと内管１とでなる二重管
構造の放電管、2a〜2cは接手、3a,3bはナット、４は試
料導入口、５はマイクロ波発生器10から供給された例え
ば2.45GHZのマイクロ波を空洞共鳴させて外管1a内にマ
イクロ波誘導プラズマ６を誘起させる例えば円筒型のキ
ャビティ、７は光学窓、８は集光系であって凹面鏡81と
反射鏡82を有している。また、９は信号処理部、11はス
ライダー、12は基台、13は支点、14は調整ネジである。
一方、第２図は調整ネジ14を説明するための断面図であ
り、図中、第１図と同一記号を同一意味をもたせて使用
しここでの重複説明は省略する。
このような構成からなる本発明の実施例において、導
入口４からプラズマガス（例えばＡγやHe）と一緒に導
入された試料（例えば固体パーティクル）は、内管1bを
通って供給され、マイクロ波誘導プラズマ６内で解離さ
れて発光する。この発光スペクトルは、外管1aから軸方
向に取出され光学窓７を介して集光系８内に導かれて集
光され、その後、スリット83を通り信号処理部９で分光
されてのち信号処理され試料中の元素が測定表示され
る。このため、内管1bの外壁の汚れなどに影響されず試
料中の被測定元素を正確に測定できる。
入口４からプラズマガス（例えばＡγやHe）と一緒に導
入された試料（例えば固体パーティクル）は、内管1bを
通って供給され、マイクロ波誘導プラズマ６内で解離さ
れて発光する。この発光スペクトルは、外管1aから軸方
向に取出され光学窓７を介して集光系８内に導かれて集
光され、その後、スリット83を通り信号処理部９で分光
されてのち信号処理され試料中の元素が測定表示され
る。このため、内管1bの外壁の汚れなどに影響されず試
料中の被測定元素を正確に測定できる。
一方、測定終了後や保守作業時などには、次のように
して内管1bの交換が行われる。即ち、スライダー11を第
１図の矢印方向にスライドさせて例えば60mm引出すこと
によって放電管１をキャビティ５から引出し、その後、
支点13を中心にして反時計方向に90゜回転させる。この
ようにすることによって、内管1bが第１図の上方向から
覗けるようになる。また、外管1aを交換した後、第２図
の調整ネジ14a〜14c（第１図の調整ネジ14に相当する）
を調整することにより、外管1aの中心に内管1bの中心を
合わせることができる。
して内管1bの交換が行われる。即ち、スライダー11を第
１図の矢印方向にスライドさせて例えば60mm引出すこと
によって放電管１をキャビティ５から引出し、その後、
支点13を中心にして反時計方向に90゜回転させる。この
ようにすることによって、内管1bが第１図の上方向から
覗けるようになる。また、外管1aを交換した後、第２図
の調整ネジ14a〜14c（第１図の調整ネジ14に相当する）
を調整することにより、外管1aの中心に内管1bの中心を
合わせることができる。
尚、本発明は上述の実施例に限定されることなく種々
の変形が可能であり、例えば導入口４に前処理装置を付
加し、液体，気体，及び固体のいずれの試料をも測定可
能となるようにしてもよい。また、集光系からの光を光
ファイバーを用いて複数の信号処理部に導き試料中に含
まれている複数の元素を同時に測定するようにしても良
い。この場合、集光系で上述のように効率良く光を取出
せるため、光ファイバー内部での感度低下が充分に補え
高感度測定が可能となる。更に、導入口４にキャピラリ
ーを接続し局部（限られた部分）の試料ガスだけをサン
プリングして分析するようにしても良い。
の変形が可能であり、例えば導入口４に前処理装置を付
加し、液体，気体，及び固体のいずれの試料をも測定可
能となるようにしてもよい。また、集光系からの光を光
ファイバーを用いて複数の信号処理部に導き試料中に含
まれている複数の元素を同時に測定するようにしても良
い。この場合、集光系で上述のように効率良く光を取出
せるため、光ファイバー内部での感度低下が充分に補え
高感度測定が可能となる。更に、導入口４にキャピラリ
ーを接続し局部（限られた部分）の試料ガスだけをサン
プリングして分析するようにしても良い。
＜発明の効果＞ 以上詳細に説明したように、本発明の発光分光分析装
置は、放電管の内管と外管を分離可能とし、放電管は前
記キャビティから抜き差し自在に構成すると共に外管側
に設けた調整ねじにより放電管の外管中心と内管中心と
の位置合わせを行なうようにしたので、放電管の中心部
に励起プラズマを発生させることができる。
置は、放電管の内管と外管を分離可能とし、放電管は前
記キャビティから抜き差し自在に構成すると共に外管側
に設けた調整ねじにより放電管の外管中心と内管中心と
の位置合わせを行なうようにしたので、放電管の中心部
に励起プラズマを発生させることができる。
このため、試料を効率よく解離して強い発光強度を得
ることができるうえ、外管の損傷を軽減でき長寿命化が
図れる。また、調整や交換が容易で保守性に優れている
という利点がある。
ることができるうえ、外管の損傷を軽減でき長寿命化が
図れる。また、調整や交換が容易で保守性に優れている
という利点がある。
更に、放電管の軸方向に設けられた光学窓から入射し
た発光スペクトルを集光し、信号処理部に光ファイバを
介して供給するようにしているので、発光スペクトルを
効率よく取り出すことができ、高感度の測定が可能とな
る。
た発光スペクトルを集光し、信号処理部に光ファイバを
介して供給するようにしているので、発光スペクトルを
効率よく取り出すことができ、高感度の測定が可能とな
る。
また、キャピラリーによって、局部より被測定試料を
採取し、放電管に導入できるので、被測定試料の分布に
ついての測定も可能である。
採取し、放電管に導入できるので、被測定試料の分布に
ついての測定も可能である。
第１図は本発明実施例の構成説明図、第２図は調整ネジ
を説明するための断面図である。 １……放電管、1a……外管、2b……内管、５……キャビ
ティ、７……光学窓、８……集光系、81……凹面鏡、82
……反射鏡、83……スリット、９……信号処理部、11…
…スライダー、12……基台、13……支点、14……調整ネ
ジ
を説明するための断面図である。 １……放電管、1a……外管、2b……内管、５……キャビ
ティ、７……光学窓、８……集光系、81……凹面鏡、82
……反射鏡、83……スリット、９……信号処理部、11…
…スライダー、12……基台、13……支点、14……調整ネ
ジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−165600（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−225933（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−113945（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−90524（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 21/71 - 21/74 H05H 1/26
Claims (3)
- 【請求項１】被測定試料をマイクロ波誘導プラズマを発
生させるキャビティに導く二重管構造の放電管、この放
電管中に励起されたプラズマで発光した発光スペクトル
を信号処理する信号処理部を具備し、被測定試料の元素
を測定する発光分光分析装置において、前記放電管の内
管と外管を分離可能とし、前記放電管は前記キャビティ
から抜き差し自在に構成すると共に外管側に設けた調整
ねじにより放電管の外管中心と内管中心との位置合わせ
を行なうようにしたことを特徴とした発光分光分析装
置。 - 【請求項２】発光スペクトルを放電管の軸方向に設けら
れた光学窓から光ファイバを介して複数の信号処理部に
導くようにしたことを特徴とする請求項１記載の発光分
光分析装置。 - 【請求項３】放電管に被測定試料を導入するに際して
は、放電管の導入口に接続されたキャピラリーを介して
導入するようにしたことを特徴とする請求項１記載の発
光分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10713390A JP2855777B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 発光分光検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10713390A JP2855777B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 発光分光検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH045555A JPH045555A (ja) | 1992-01-09 |
| JP2855777B2 true JP2855777B2 (ja) | 1999-02-10 |
Family
ID=14451340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10713390A Expired - Lifetime JP2855777B2 (ja) | 1990-04-23 | 1990-04-23 | 発光分光検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2855777B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101268567A (zh) | 2005-09-15 | 2008-09-17 | 出光兴产株式会社 | 非对称芴系衍生物以及应用该衍生物的有机电致发光元件 |
| US20080007160A1 (en) | 2006-02-28 | 2008-01-10 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Organic electroluminescent device using fluoranthene derivative and indenoperylene derivative |
| EP1933397A4 (en) | 2006-05-25 | 2008-12-17 | Idemitsu Kosan Co | ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DEVICE AND COLOR LIGHT EMITTING DEVICE |
-
1990
- 1990-04-23 JP JP10713390A patent/JP2855777B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH045555A (ja) | 1992-01-09 |
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