JP2831081B2 - IC test equipment - Google Patents

IC test equipment

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JP2831081B2
JP2831081B2 JP2040500A JP4050090A JP2831081B2 JP 2831081 B2 JP2831081 B2 JP 2831081B2 JP 2040500 A JP2040500 A JP 2040500A JP 4050090 A JP4050090 A JP 4050090A JP 2831081 B2 JP2831081 B2 JP 2831081B2
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Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明はメモリのようなICが正常に動作するか否か
を試験するIC試験装置に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC test apparatus for testing whether an IC such as a memory operates normally.

「従来の技術」 第3図に従来のIC試験装置の構成を示す。図中10はタ
イミング発生器、20はパターン発生器、30は被試験IC、
40は論理比較器、50は遅延回路をそれぞれ示す。
[Prior Art] FIG. 3 shows a configuration of a conventional IC test apparatus. In the figure, 10 is a timing generator, 20 is a pattern generator, 30 is an IC under test,
Numeral 40 indicates a logical comparator, and numeral 50 indicates a delay circuit.

タイミング発生器10は各種のタイミング信号を出力
し、この各種のタイミング信号がパターン発生器20に与
えられ、パターン発生器20が被試験IC30に印加する試験
パターン信号Paと、論理比較器40に与える期待値パター
ン信号Pbを出力する。
The timing generator 10 outputs various timing signals, the timing signals of the various is provided to the pattern generator 20, a test pattern signal P a of the pattern generator 20 is applied to the tested IC 30, the logic comparator 40 The expected value pattern signal Pb to be given is output.

被試験IC30はパターン発生器20から与えられる試験パ
ターンPaを一時記憶し、その読出出力を論理比較器40に
印加する。
Tested IC30 is temporarily stores the test pattern P a supplied from the pattern generator 20, and applies the read output to the logic comparator 40.

論理比較器40は被試験IC30から出力される応答出力信
号をパターン発生器20から出力される期待値パターン信
号Pbと比較し、出力端子60に良、否の判定結果を出力す
る。
Logic comparator 40 compares the expected value pattern signal P b that is output a response output signal output from the test IC30 from the pattern generator 20, good to the output terminal 60, and outputs-determination results.

以上の説明は被試験IC30を試験する場合の通常の動作
状況である。
The above description is a normal operation situation when the IC under test 30 is tested.

この発明で対象する部分は、パターン発生器20に設け
た期待値パターン発生器20Bに期待値パターンを取り込
む部分の構成である。
The part targeted by the present invention is the configuration of the part that takes in the expected value pattern into the expected value pattern generator 20B provided in the pattern generator 20.

つまり試験開始に先立って、被試験IC30の装着部に予
め試験した結果、良品と判定されたICを装着し、この良
品と判定されたICの読出出力を期待値パターン信号とし
て期待値パターン発生器20Bに取り込む動作(以下コピ
ー動作と称する)を行う。
That is, prior to the start of the test, an IC determined to be non-defective is mounted on the mounting portion of the IC under test 30 in advance, and the read output of the IC determined to be non-defective is used as an expected value pattern signal as an expected value pattern signal. An operation (hereinafter referred to as a copy operation) to be taken into 20B is performed.

以下に期待値パターン信号のコピー動作を説明する。 The copying operation of the expected value pattern signal will be described below.

コピー動作を行うために出力端子60から期待値パター
ン発生器20Bに配線61が設けられ、この配線61を通じて
期待値パターン発生器20Bに論理比較結果を帰還させる
構成になっている。
In order to perform the copy operation, a wiring 61 is provided from the output terminal 60 to the expected value pattern generator 20B, and the logical comparison result is fed back to the expected value pattern generator 20B through the wiring 61.

期待値パターン発生器20Bはコピー動作を行うために
第4図に示すようにメモリデータレジスタ21と、データ
バッファレジスタ22と、これら二つのレジスタ21と22に
ストアされているデータのいずれか一方を選択するマル
チプレクサ23と、このマルチプレクサ23によって選択さ
れたデータを期待値パターンとして記憶する期待値パタ
ーンメモリ24とによって構成される。
As shown in FIG. 4, the expected value pattern generator 20B converts one of the memory data register 21, the data buffer register 22, and one of the data stored in these two registers 21 and 22 to perform the copy operation. It is composed of a multiplexer 23 for selection and an expected value pattern memory 24 for storing data selected by the multiplexer 23 as an expected value pattern.

マルチプレクサ23の制御端子Sには先に説明した配線
61を接続し、論理比較器40の判定出力を供給する。ここ
では論理比較器40が良(一致)の判定結果を出力したと
きL論理を出力し、不良(不一致)の判定結果を出力し
たときH論理を出力するものとする。
The control terminal S of the multiplexer 23 is connected to the wiring described above.
61 is connected to supply the judgment output of the logical comparator 40. Here, it is assumed that when the logical comparator 40 outputs a good (matching) determination result, L logic is output, and when a bad (mismatching) determination result is output, H logic is output.

マルチプレクサ23は論理比較出力が良のとき、メモリ
データレジスタ21を選択し、論理比較出力が不良の場合
はデータバッファレジスタ22を選択し、それぞれにスト
アされているデータを選択して期待値パターンメモリ24
に書き込む動作を行う。
The multiplexer 23 selects the memory data register 21 when the logical comparison output is good, and selects the data buffer register 22 when the logical comparison output is bad, selects the data stored in each, and stores the data in the expected value pattern memory. twenty four
The operation of writing to is performed.

期待値パターンメモリ24の全域には予め被試験IC30に
印加する試験パターン信号を書き込んでおき、その読出
出力を論理比較器40に期待値パターンとして与えると共
に、その出力をメモリデータレジスタ21に帰還させ、メ
モリデータレジスタ21にストアする。
A test pattern signal to be applied to the IC under test 30 is written in advance in the entire area of the expected value pattern memory 24, and its read output is given to the logical comparator 40 as an expected value pattern, and the output is fed back to the memory data register 21. Stored in the memory data register 21.

一方、データバッファレジスタ22には試験パターン信
号とは全く逆のパターン信号をストアしておく、論理比
較器40が不良の判定結果を出力したとき、マルチプレク
サ23はデータバッファレジスタ22を選択し、試験パター
ン信号とは逆の信号をマルチプレクサ23で選択して期待
値パターン信号として期待値パターンメモリ24に書き込
む。
On the other hand, a pattern signal completely opposite to the test pattern signal is stored in the data buffer register 22. When the logical comparator 40 outputs a determination result of failure, the multiplexer 23 selects the data buffer register 22 and performs a test. A signal opposite to the pattern signal is selected by the multiplexer 23 and written into the expected value pattern memory 24 as an expected value pattern signal.

このようにして期待値パターンメモリ24に期待値パタ
ーンをコピーする。
Thus, the expected value pattern is copied to the expected value pattern memory 24.

第5図に期待値パターンメモリ24に期待値を書き込む
場合のタイミングチャートを示す。第5図Aはタイミン
グ発生器10からパターン発生器20に与えられるクロック
CLKを示す。
FIG. 5 shows a timing chart when the expected value is written in the expected value pattern memory 24. FIG. 5A shows a clock supplied from the timing generator 10 to the pattern generator 20.
Indicates CLK.

クロックCLKが与えられることにより、期待値パター
ンメモリ24に与える書込信号WEを生成する。この書込信
号WEはクロックCLKの前縁からDL3の遅延後に発生する。
By receiving the clock CLK, a write signal WE to be supplied to the expected value pattern memory 24 is generated. The write signal WE is generated from the leading edge of the clock CLK after a delay of DL 3.

コピー動作開始時の1回目のクロックCLK1の周期で
は、被試験IC30に試験パターン信号が未だ与えていな
い。このために論理比較器40は比較結果を出力しない。
このため、例えば論理比較器40はその比較出力として第
5図Eに示すようにL論理を出力しているものとすると
期待値パターンメモリ24にはメモリデータレジスタ21に
ストアされたパターン信号が書き込まれるが、このとき
書き込まれたパターン信号は正規のパターン信号として
は取り扱われない。
In the cycle of the first clock CLK1 at the start of the copy operation, the test pattern signal has not been given to the IC under test 30 yet. Therefore, the logical comparator 40 does not output the comparison result.
For this reason, for example, assuming that the logical comparator 40 outputs L logic as its comparison output as shown in FIG. 5E, the pattern signal stored in the memory data register 21 is written in the expected value pattern memory 24. However, the pattern signal written at this time is not handled as a regular pattern signal.

2回目のクロックCLK2の発生から時間DL3が経過して
2個目の書込信号WE2が生成され、この書込信号WE2の後
縁のタイミングからDL1の遅延時間後に1サイクル目の
試験パターン信号PA1が第5図Bに示すように試験パタ
ーン発生器20Aから出力され、被試験IC30に印加され
る。
A time DL 3 has elapsed since the second clock CLK 2 was generated, and a second write signal WE 2 is generated. The first cycle is delayed by a delay time DL 1 from the timing of the trailing edge of the write signal WE 2. The test pattern signal P A1 is output from the test pattern generator 20A as shown in FIG. 5B and applied to the IC under test 30.

被試験IC30は試験パターン信号PA1が与えられてから
わずかな時間遅れたタイミングで第5図Cに示す応答信
号PB1を出力する。
Tested IC30 outputs a response signal P B1 shown in FIG. 5 C at timing delayed a short time after the given test pattern signal P A1.

被試験IC30が応答信号PB1を出力し、その応答信号PB1
が安定したタイミングでストローブパルスSTB(第5図
D)が出力され、このストローブパルスSTBが論理比較
器40に与えれ、このストローブパルスSTBの前縁のタイ
ミングで論理比較器40はパターンメモリ24から与えられ
る期待値パターンと、被試験IC30が出力した応答時間P
B1とを比較し、ストローブパルスSTBの前縁からDL2の遅
延時間後に第5図Eに示す1サイクル目の比較結果CPD1
を出力する。
It tested IC30 outputs a response signal P B1, the response signal PB 1
At a stable timing, the strobe pulse STB (FIG. 5D) is output, and the strobe pulse STB is supplied to the logical comparator 40. At the timing of the leading edge of the strobe pulse STB, the logical comparator 40 receives the strobe pulse STB from the pattern memory 24. Expected value pattern and response time P output by IC under test 30
B1 and a comparison result CPD 1 in the first cycle shown in FIG. 5E after a delay time of DL 2 from the leading edge of the strobe pulse STB.
Is output.

この1サイクル目の比較結果CPD1を使って行われる期
待値パターンメモリ24への書き込みは2サイクル目の書
込信号WE2のタイミングで書き込まれる。
Writing to the expected value pattern memory 24 which is performed using the comparison result CPD 1 of the first cycle is written at the timing of the write signal WE 2 in the second cycle.

2サイクル目の比較結果CPD2を使って行われる期待値
パターンメモリ24への書き込みは3サイクル目の書込信
号WE3によって行われる。
Writing to the expected value pattern memory 24 using the comparison result CPD 2 in the second cycle is performed by the write signal WE 3 in the third cycle.

「発明が解決しようとする課題」 上述したように、従来のコピー動作は書込信号WEをク
ロックCLKによって生成しているから、期待値パターン
メモリ24への書き込みのタイミングは1サイクルずつ遅
れる。
"Problems to be Solved by the Invention" As described above, in the conventional copy operation, the write signal WE is generated by the clock CLK, and thus the timing of writing to the expected value pattern memory 24 is delayed by one cycle.

この結果、最終の次のサイクル図の例では4サイクル
目はクロックが出力されないため、書込信号WEが生成で
きなくなり、最後のサイクルの論理比較結果CPD3を使っ
て期待値パターンをコピーすることができない不都合が
生じる。
As a result, in the last example of the next cycle diagram, the clock is not output in the fourth cycle, so that the write signal WE cannot be generated, and the expected value pattern is copied using the logical comparison result CPD 3 in the last cycle. The inconvenience that cannot be done arises.

つまり、第5図に示すように、3サイクルの試験パタ
ーンを出力したとすると、クロックはCLK3までしか発生
されない。このため最終の書込信号WE4が生成されない
から、3サイクル目の比較結果を使う期待値パターンの
コピー動作ができない欠点がある。
That is, as shown in FIG. 5, assuming that outputs a test pattern of 3 cycles, the clock only be generated until CLK 3. Therefore since the last write signal WE 4 is not generated, there is a drawback that can not be copy operation expected value pattern using the comparison result of the third cycle.

この発明はこの欠点を一掃し、最後のサイクルのコピ
ー動作も行うことができるIC試験装置を提供しようとす
るものである。
It is an object of the present invention to eliminate this disadvantage and to provide an IC test apparatus capable of performing a copy operation in the last cycle.

「課題を解決するための手段」 この発明では欠陥のないICに試験パターンを与え、そ
の応答出力と期待値パターンとを論理比較器において比
較し、その比較結果の一致、不一致に応じて試験パター
ン信号と同じパターンを期待値パターンとしてコピーす
るか、試験パターンとは逆のパターンを期待値パターン
としてコピーするかを選択して期待値パターンを得る構
造のIC試験装置において、 論理比較器に与える比較指令信号に同期してコピー動
作を行わせるように構成したIC試験装置を提案するもの
である。
[Means for Solving the Problems] In the present invention, a test pattern is given to an IC having no defect, a response output of the test pattern is compared with an expected value pattern in a logical comparator, and a test pattern is determined in accordance with a match or mismatch of the comparison result. Comparison between the logic comparator and the IC tester that obtains the expected value pattern by selecting whether to copy the same pattern as the signal as the expected value pattern or to copy the pattern opposite to the test pattern as the expected value pattern The present invention proposes an IC test apparatus configured to perform a copy operation in synchronization with a command signal.

この発明によるIC試験装置によれば、コピー動作を論
理比較器に与える比較指令信号に同期させて実行するか
ら最後のサイクルのコピー動作も確実に実行することが
できる利点が得られる。
According to the IC test apparatus of the present invention, since the copy operation is executed in synchronization with the comparison command signal given to the logical comparator, there is an advantage that the copy operation in the last cycle can be executed reliably.

「実施例」 第1図にこの発明の一実施例を示す。図中第3図と対
応する部分には同一符号を付して示す。
FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In the figure, parts corresponding to those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals.

この発明においては、遅延回路50を通じて論理比較器
40に与える比較指令信号STBをパターン発生器20にも与
え、比較指令信号STBに同期させて期待値パターン発生
器20Bに取り込む動作、いわゆるコピー動作を行わせ
る。
In the present invention, the logic comparator
The comparison command signal STB given to 40 is also given to the pattern generator 20, and an operation of taking in the expected value pattern generator 20B in synchronization with the comparison command signal STB, ie, a so-called copy operation is performed.

第2図A,Bに示すように、1サイクル目のクロックCLK
1が与えられてから遅延時間DL1経過したタイミングで被
試験IC30に1サイクル目の試験パターン信号が与えら
れ、被試験IC30から第2図Cに示す1サイクル目の応答
信号が出力される。
As shown in FIGS. 2A and 2B, the clock CLK in the first cycle
1 test pattern signal in the first cycle to be tested IC30 is given at a timing delay time DL 1 elapsed since given, the response signal of the first cycle shown under test IC30 in Figure 2 C is output.

応答信号が安定したタイミングで比較指令信号STBが
タイミング発生器10から論理比較器40に与えられる。
The comparison command signal STB is supplied from the timing generator 10 to the logical comparator 40 at a timing when the response signal is stabilized.

比較指令信号STBの前縁から遅延時間DL2の経過後に1
サイクル目の比較結果CPD1が論理比較器40から出力さ
れ、その比較結果CPD1がパターン発生器20に帰還され
る。
1 after the lapse of delay time DL 2 from the leading edge of comparison command signal STB
The comparison result CPD 1 in the cycle is output from the logical comparator 40, and the comparison result CPD 1 is fed back to the pattern generator 20.

この発明においては、第2図DとFに示すように比較
指令信号STBの前縁からDL3の遅延時間後に書込信号WE1
を発生させる、 つまり、比較指令信号STBに同期して書込信号WE1〜WE
3を生成させ、この書込信号WE1〜WE3を使ってコピー動
作を行う。
In the present invention, as shown in FIGS. 2D and 2F, the write signal WE 1 is delayed after a delay time of DL 3 from the leading edge of the comparison command signal STB.
Are generated, that is, the write signals WE 1 to WE are synchronized with the comparison command signal STB.
3 to generate, copying operation with the write signal WE 1 ~WE 3.

コピー動作は従来の技術で説明したと同様に論理比較
の結果が良(一致)であれば、第4図に示したメモリデ
ータレジスタ21にストアされる試験パターン信号と同じ
パターンを期待値パターンとして期待値パターンメモリ
24にコピーすると共に、論理比較の結果が否(不一致)
であれば、データバッファレジスタ22(第4図参照)に
ストアした試験パターン信号とは逆パターン信号を期待
値パターンメモリ24にコピーする。この選択切換えは第
4図の構成で行われる。
In the copy operation, if the result of the logical comparison is good (coincidence) as described in the background art, the same pattern as the test pattern signal stored in the memory data register 21 shown in FIG. Expected value pattern memory
24 and the result of the logical comparison is not correct (mismatch)
If so, a pattern signal reverse to the test pattern signal stored in the data buffer register 22 (see FIG. 4) is copied to the expected value pattern memory 24. This selection switching is performed by the configuration shown in FIG.

「発明の効果」 上述したように、この発明によれば書込信号WE1〜WE3
を比較指令信号STBに同期して生成したから、パターン
発生周期の最後の周期でも書込信号WE3と生成すること
ができる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the write signals WE 1 to WE 3
Because it was generated in synchronization with the comparison instruction signal STB, and may generate a write signal WE 3 at the end of the period of the pattern generation cycle.

従って、この発明によれば先頭から最後の試験パター
ンに対応して全ての期待値パターンをコピーすることが
できる。よって、試験の結果を余すことなく全て得るこ
とができる利点が得られる。
Therefore, according to the present invention, all expected value patterns can be copied corresponding to the test pattern from the head to the last. Therefore, there is an advantage that all the results of the test can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第2図
はこの発明の動作を説明するための波形図、第3図は従
来の技術を説明するためのブロック図、第4図は期待値
パターンのコピー動作を説明するためのブロック図、第
5図は従来の技術の動作を説明するための波形図であ
る。 10:タイミング発生器、20:パターン発生器、20A:試験パ
ターン発生器、20B:期待値パターン発生器、30:被試験I
C、40:論理比較器、50:遅延回路。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a waveform diagram for explaining the operation of the present invention, FIG. 3 is a block diagram for explaining a conventional technique, and FIG. FIG. 5 is a block diagram for explaining the expected value pattern copying operation, and FIG. 5 is a waveform diagram for explaining the operation of the conventional technique. 10: Timing generator, 20: Pattern generator, 20A: Test pattern generator, 20B: Expected value pattern generator, 30: I under test
C, 40: logic comparator, 50: delay circuit.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】A.予め良品と判定されたICに試験パターン
信号を与え、その応答出力信号と期待値パターンとして
用意した試験パターン信号と同じパターン信号とを論理
比較器において比較し、その比較結果が良のときは試験
パターン信号を期待値パターンとしてコピーするととも
に、比較結果が否のとき、試験パターン信号の逆パター
ンを期待値パターンとしてコピーする機能を具備したIC
試験装置において、 B.上記論理比較器に与える比較指令信号に同期して上記
コピー動作させるように構成したことを特徴とするIC試
験装置。
A. A test pattern signal is given to an IC which has been previously determined to be a non-defective product, a response output signal thereof is compared with the same pattern signal as a test pattern signal prepared as an expected value pattern in a logical comparator, and the comparison is performed. An IC with a function to copy the test pattern signal as an expected value pattern when the result is good, and to copy the reverse pattern of the test pattern signal as the expected value pattern when the comparison result is negative.
B. An IC test apparatus characterized in that the test apparatus is configured to perform the copy operation in synchronization with a comparison command signal given to the logical comparator.
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