JP2825731B2 - IC lead frame surface treatment equipment - Google Patents

IC lead frame surface treatment equipment

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JP2825731B2
JP2825731B2 JP12906293A JP12906293A JP2825731B2 JP 2825731 B2 JP2825731 B2 JP 2825731B2 JP 12906293 A JP12906293 A JP 12906293A JP 12906293 A JP12906293 A JP 12906293A JP 2825731 B2 JP2825731 B2 JP 2825731B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ICリードフレームを
コンベヤ(例えばローラコンベヤ)で搬送しながら前処
理,めっき処理等を行う表面処理装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface treatment apparatus for carrying out pretreatment, plating and the like while transporting an IC lead frame by a conveyor (for example, a roller conveyor).

【0002】[0002]

【従来の技術】従来表面処理装置の構成を図3に示す。
図において、1はコンベヤ(ローラコンベヤ)で、所定
ピッチで列配された複数個のローラ2を有している。ま
た、10はオーバーフロー型処理槽、20はオーバーフ
ロー受け槽である。また、25は液循環装置で、供給管
26,回収管27,循環ポンプ28および管理槽29等
からなる。
2. Description of the Related Art The structure of a conventional surface treatment apparatus is shown in FIG.
In the figure, reference numeral 1 denotes a conveyor (roller conveyor) having a plurality of rollers 2 arranged at a predetermined pitch. Reference numeral 10 denotes an overflow type processing tank, and reference numeral 20 denotes an overflow receiving tank. A liquid circulation device 25 includes a supply pipe 26, a recovery pipe 27, a circulation pump 28, a management tank 29, and the like.

【0003】上記液循環装置25の循環ポンプ28を駆
動して、管理槽29内の処理液を供給管26を通して処
理槽10へ循環供給すると、当該処理槽10内には上昇
液流が発生して両堰12,14間に所定高さの盛り上り
処理液Quが形成される。この盛り上り処理液Qu中
に、ローラコンベヤ1の各ローラ2上を搬送されるIC
リードフレームWを連続通過させてその表面処理を行
う。
When the circulating pump 28 of the liquid circulating device 25 is driven to circulate and supply the processing liquid in the control tank 29 to the processing tank 10 through the supply pipe 26, an ascending liquid flow is generated in the processing tank 10. A swelling treatment liquid Qu having a predetermined height is formed between the two weirs 12 and 14. An IC conveyed on each roller 2 of the roller conveyor 1 in the swelling treatment liquid Qu
The surface treatment is performed by continuously passing the lead frame W.

【0004】ところで、ICリードフレームWは、盛り
上り処理液Qu中を搬送される際に処理槽10内の上昇
液流によって不規則的に押し上げられるため、搬送不安
定となり他の構成部品と衝突するなどして円滑に表面処
理することができない事態が生じることがある。
Incidentally, the IC lead frame W is irregularly pushed up by the rising liquid flow in the processing tank 10 when it is transported in the bulging processing solution Qu, so that the transport becomes unstable and collides with other components. In some cases, the surface cannot be smoothly treated.

【0005】すなわち、上昇液流による押上力の作用に
よってICリードフレームWと各ローラ2との接触圧力
が不規則的に減少する結果、当該各ローラ2による送り
付勢が不十分かつ不均一となることがある。また、極端
な場合には、ICリードフレームWが、各ローラ2から
浮き上がってしまい搬送不能となることがある。
That is, the contact pressure between the IC lead frame W and each roller 2 is irregularly reduced by the action of the lifting force due to the rising liquid flow. As a result, the feed bias by each roller 2 becomes insufficient and uneven. May be. In an extreme case, the IC lead frame W may be lifted from each roller 2 and may not be transported.

【0006】特に、現今では所定の処理時間を確保しつ
つICリードフレームWの搬送速度を上げて生産数量を
増大させるために、処理槽10の搬送方向長さが長寸と
なる傾向にある。そのため、ICリードフレームW全体
が盛り上り処理液Qu中に入って搬送されることが多く
なりつつあり、上記不都合が一段と発生しやすくなって
いる。
In particular, at present, the length of the processing tank 10 in the transport direction tends to be long in order to increase the transport rate of the IC lead frame W and increase the production quantity while securing a predetermined processing time. For this reason, the entire IC lead frame W is likely to enter the swelling processing liquid Qu and be transported, and the above-mentioned inconvenience is more likely to occur.

【0007】そこで、上記搬送不良を解消するために、
処理槽10への循環供給液量を減少して上昇液流による
押上力を小さくすることが考えられる。しかし、これで
はICリードフレームWが安定して搬送できるようにな
ったとしても、盛り上り処理液Quの高さが低くなり円
滑かつ確実に表面処理できなくなってしまう。
Therefore, in order to eliminate the above-mentioned transport failure,
It is conceivable to reduce the push-up force due to the rising liquid flow by reducing the amount of circulating supply liquid to the processing tank 10. However, in this case, even if the IC lead frame W can be stably transported, the height of the swelling treatment liquid Qu becomes low, and the surface treatment cannot be performed smoothly and reliably.

【0008】そこで、ICリードフレームWに、上昇液
流によってある程度の押上力が作用することは受忍しつ
つ当該ICリードフレームWの搬送不良を防止するため
に、図中2点鎖線で示す如く、処理槽10内の各ローラ
2に対応してICリードフレームWを押し付ける押えロ
ーラ5が設けられるのがほとんどである。かかる押えロ
ーラ5により、ICリードフレームWと各ローラ2との
接触圧力の減少が解消され、当該ICリードフレームW
を円滑かつ確実に盛り上り処理液Qu中を搬送通過させ
て完全処理することができる。
Therefore, in order to prevent a poor transport of the IC lead frame W while accepting that a certain amount of lifting force acts on the IC lead frame W by the rising liquid flow, as shown by a two-dot chain line in FIG. In most cases, a pressing roller 5 for pressing the IC lead frame W is provided corresponding to each roller 2 in the processing tank 10. By the pressing roller 5, a decrease in the contact pressure between the IC lead frame W and each roller 2 is eliminated, and the IC lead frame W
Can be smoothly and reliably transported and passed through the treatment liquid Qu to complete the treatment.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、ICリード
フレームWは、現今のICの小型化および高機能化にあ
わせて益々極薄(例えば、厚さ0.075〜0.1m
m)になるとともにリード線が本数増加・細線化されて
弱剛性となってきている。このように、ICリードフレ
ームWが極薄で弱剛性となってくると、押えローラ5を
設けた上記従来構造では当該ICリードフレームWが変
形したり傷ついたりする事態が生じる。このICリード
フレームWの変形は、垂直方向に生じるだけでなく平面
方向にも、すなわち3次元的に生じるのが確認されてい
る。このようにICリードフレームWが変形等すること
は表面処理装置にとっては致命的な欠陥である。
By the way, the IC lead frame W is becoming increasingly thinner (for example, having a thickness of 0.075 to 0.1 m) in accordance with the miniaturization and high performance of current ICs.
m), the number of lead wires has been increased and thinned, resulting in weaker stiffness. As described above, when the IC lead frame W becomes extremely thin and becomes weak in rigidity, the above-described conventional structure provided with the pressing roller 5 may deform or damage the IC lead frame W. It has been confirmed that the deformation of the IC lead frame W occurs not only in the vertical direction but also in the plane direction, that is, three-dimensionally. Such deformation of the IC lead frame W is a fatal defect for the surface treatment apparatus.

【0010】そこで、かかる不都合が生じないように、
押えローラ5の材質や形態を種々変えたり、一段と手間
を掛けて押えローラ5のローラ2に対する圧接量を微調
整してICリードフレームWが搬送不良とならない範囲
で押付力が極力軽減されるようにしてみたが、上記の変
形問題を解消することはできなかった。
Therefore, in order to prevent such inconvenience,
By changing the material and form of the press roller 5 in various ways, and by further increasing the time and finely adjusting the pressure contact amount of the press roller 5 against the roller 2, the pressing force is reduced as much as possible within a range where the IC lead frame W does not cause conveyance failure. However, the above-mentioned deformation problem could not be solved.

【0011】なお、同様な問題は、コンベヤがベルトコ
ンベヤやネットコンベヤ等の場合にも生じる。
A similar problem occurs when the conveyor is a belt conveyor, a net conveyor, or the like.

【0012】本発明の目的は、上記事情に鑑み、ICリ
ードフレームが極薄で弱剛性であっても変形・損傷等さ
せることなく円滑搬送して完全処理することができるI
Cリードフレームの表面処理装置を提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above circumstances, it is an object of the present invention to enable an IC lead frame to be transported smoothly and completely processed without being deformed or damaged even if the IC lead frame is extremely thin and weakly rigid.
An object of the present invention is to provide a surface treatment device for a C lead frame.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記各押えローラは盛り
上り処理液中を搬送されるICリードフレームと機械的
に摩擦係合してICリードフレームの自由変位を3次元
的に押さえているため、ICリードフレームは上昇液流
を直接受けて垂直方向に撓み変形することがあるばかり
ではなく、各押えローラの押付力のバラつきや上昇液流
の押圧力の不規則性等に起因して当該リードフレームに
対する送り付勢力が異なる状態が生じると、平面方向に
伸縮され変形してしまうことが各種実験結果より判明し
た。すなわち、押えローラの形態等をいかに変えてみて
もICリードフレームと機械的に摩擦係合して押し付け
る構成ではICリードフレームの変形問題を解消できな
いことが判明した。
Each of the pressing rollers mechanically frictionally engages with the IC lead frame conveyed in the swelling treatment liquid to three-dimensionally suppress the free displacement of the IC lead frame. In addition, the IC lead frame may not only be deformed in the vertical direction by directly receiving the ascending liquid flow, but also may be deformed in the vertical direction, due to variations in the pressing force of each pressing roller and irregularities in the pressing force of the ascending liquid flow. It has been found from various experimental results that when a state in which the feeding biasing force to the lead frame is different occurs, the state is expanded and contracted in a plane direction and deformed. That is, it has been found that no matter how the shape and the like of the pressing roller are changed, the problem of deformation of the IC lead frame cannot be solved by the structure in which the pressing roller is mechanically engaged with the IC lead frame and pressed.

【0014】そこで、処理槽へ循環供給している処理液
に着目し当該処理液の吐出液圧でICリードフレームを
機械的に摩擦係合することなくコンベヤ(ローラコンベ
ヤ)側に押し付けるように形成して前記目的を達成する
ものである。
Therefore, attention is paid to the processing liquid circulated and supplied to the processing tank, and the IC lead frame is pressed against the conveyor (roller conveyor) side without mechanical frictional engagement by the discharge liquid pressure of the processing liquid. Thus, the object is achieved.

【0015】すなわち、本発明に係るICリードフレー
ムの表面処理装置は、オーバーフロー型処理槽の上方に
形成された盛り上り処理液中にコンベヤを用いて搬送さ
れるICリードフレームを通過させつつその表面処理を
行うICリードフレームの表面処理装置において、前記
処理槽の上方でかつ盛り上り処理液が形成される位置に
配設された下面に複数の吐出孔を有する処理液吐出ボッ
クスと、この処理液吐出ボックス内に処理液を加圧供給
する液供給手段とを設け、盛り上り処理液中を通過する
ICリードフレームに向けて該処理液吐出ボックスの各
吐出孔から処理液を吐出してICリードフレームを吐出
液圧で前記コンベヤ側に押付けるように構成したことを
特徴とする。
That is, the surface treatment apparatus for an IC lead frame according to the present invention is characterized in that the surface of the IC lead frame is conveyed by using a conveyor in the swelling processing liquid formed above the overflow type processing tank. In a surface treatment apparatus for an IC lead frame for performing processing, a processing liquid discharge box having a plurality of discharge holes on a lower surface disposed above the processing tank and at a position where a raised processing liquid is formed; A liquid supply means for pressurizing and supplying the processing liquid in the discharge box, and discharging the processing liquid from each discharge hole of the processing liquid discharge box toward the IC lead frame passing through the rising processing liquid; The frame is configured to be pressed against the conveyor side by a discharge liquid pressure.

【0016】[0016]

【作用】上記構成による本発明では、ICリードフレー
ムはコンベヤ上を処理槽へ向けて搬送される。このIC
リードフレームが、入槽し盛り上り処理液中を搬送させ
られるようになると、当該ICリードフレームは処理槽
内の上昇液流によって押し上げられるとともに、処理液
吐出ボックスの吐出孔から吐出された処理液の液圧によ
ってコンベヤ側に押し付けられる。
According to the present invention, the IC lead frame is transported on the conveyor to the processing tank. This IC
When the lead frame enters the tank and can be transported through the processing liquid, the IC lead frame is pushed up by the rising liquid flow in the processing tank and the processing liquid discharged from the discharge hole of the processing liquid discharge box. Is pressed against the conveyor side by the liquid pressure of.

【0017】この際、吐出液圧による押付力が上昇液流
による押上力よりも大きくなるように調整しておくこと
により、ICリードフレームの浮き上りを防止して円滑
搬送することができる。また、上昇液流の不規則性等に
より当該リードフレームに対する送り付勢力が不均等と
なったとしても、当該吐出処理液はICリードフレーム
と機械的に摩擦係合していないので当該ICリードフレ
ームの平面方向の自由変位を拘束しない。したがって、
ICリードフレームが、極薄で弱剛性であっても変形し
たり傷ついたりすることはない。
At this time, by adjusting the pressing force by the discharge liquid pressure to be larger than the lifting force by the rising liquid flow, the IC lead frame can be prevented from floating and can be smoothly transported. Even if the urging force for the lead frame becomes uneven due to irregularities in the rising liquid flow, etc., the discharge processing liquid is not mechanically frictionally engaged with the IC lead frame. Does not constrain the free displacement in the plane direction. Therefore,
Even if the IC lead frame is extremely thin and has a low rigidity, it is not deformed or damaged.

【0018】[0018]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。本ICリードフレームの表面処理装置は、図1お
よび図2に示す如く、基本的構成〔ローラコンベヤ
(1),処理槽10,オーバーフロー受け槽20,液循
環装置25等〕が従来例(図3)と同様とされており、
処理液吐出ボックス30から供給される吐出液圧で処理
槽10上の盛り上り処理液Qu中を搬送通過されるIC
リードフレームWを機械的に摩擦係合することなくコン
ベヤ(1)側に押し付けることにより、変形等させるこ
となく送り付勢力の減少を補えるように形成されてい
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the surface treatment apparatus of the present IC lead frame has a basic configuration (a roller conveyor (1), a processing tank 10, an overflow receiving tank 20, a liquid circulation device 25, etc.) as a conventional example (FIG. 3). )
An IC that is transported and passed through the processing liquid Qu on the processing tank 10 by the discharge liquid pressure supplied from the processing liquid discharge box 30.
By pressing the lead frame W against the conveyor (1) without mechanical frictional engagement, the lead frame W is formed so as to compensate for a decrease in the feed urging force without deformation.

【0019】なお、従来例(図3)と共通する構成要素
については同一の符号を付し、その説明を省略もしくは
簡略化する。
The same components as those in the conventional example (FIG. 3) are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted or simplified.

【0020】具体的には、本表面処理装置は、処理液吐
出ボックス30と、この処理液吐出ボックス30内に処
理液を加圧供給する液供給手段40とを設け、コンベヤ
(本実施例ではローラコンベヤ1)で搬送され盛り上り
処理液Qu中を通過するICリードフレームWに向けて
当該ボックス30の各吐出孔(31)から処理液を吐出
して当該ICリードフレームWを吐出液圧でコンベヤ
(1)側に押付ける構成とされている。
More specifically, the surface treatment apparatus is provided with a processing liquid discharge box 30 and a liquid supply means 40 for supplying a processing liquid to the processing liquid discharge box 30 by pressurization. The processing liquid is discharged from each of the discharge holes (31) of the box 30 toward the IC lead frame W conveyed by the roller conveyor 1) and passing through the rising processing liquid Qu, and the IC lead frame W is discharged by the discharge liquid pressure. It is configured to be pressed against the conveyor (1).

【0021】まず、処理液吐出ボックス30の吐出孔
は、ICリードフレームWの表面全体を均等な力で押圧
してローラコンベヤ1側に押し付けることができるよう
に、ICリードフレームWの搬送方向に所定ピッチで列
配された同一形状のスリット31より形成されている。
各スリット31は、ICリードフレームWの幅寸法相当
の長さを有しその幅は一定とされている。また、処理液
吐出ボックス30は、液供給手段40から加圧供給され
た処理液を各吐出孔(31)から安定的に一定圧力で吐
出できるような容積を有するものとされている。
First, the discharge holes of the processing liquid discharge box 30 are moved in the transport direction of the IC lead frame W so that the entire surface of the IC lead frame W can be pressed with uniform force and pressed against the roller conveyor 1. The slits 31 have the same shape and are arranged at a predetermined pitch.
Each slit 31 has a length equivalent to the width of the IC lead frame W, and has a constant width. The processing liquid discharge box 30 has a capacity such that the processing liquid supplied under pressure from the liquid supply means 40 can be stably discharged from each of the discharge holes (31) at a constant pressure.

【0022】また、液供給手段40は、処理液吐出ボッ
クス30内に処理液を加圧供給する手段である。本実施
例では、液供給手段40は、処理液の同質化を図りかつ
部品の共用化により小型化・コスト低減も達成できるよ
うに、液循環装置25の管理槽29等を積極的に利用し
て構成されている。
The liquid supply means 40 is means for supplying the processing liquid into the processing liquid discharge box 30 under pressure. In this embodiment, the liquid supply means 40 actively uses the management tank 29 and the like of the liquid circulation device 25 so as to achieve the homogenization of the processing liquid and to achieve downsizing and cost reduction by sharing parts. It is configured.

【0023】すなわち、液供給手段40は、液循環装置
25の供給管26の循環ポンプ28配設部分より下流側
部分と一端部が接続されかつ他端部が処理液吐出ボック
ス30の液供給口32に接続された連結管41を有して
おり、循環ポンプ28を駆動することにより連結管41
等を介して管理槽29内の処理液が液供給口32からボ
ックス30内へ加圧した状態で供給される。
That is, the liquid supply means 40 has one end connected to a portion of the supply pipe 26 of the liquid circulation device 25 downstream of the circulation pump 28 and the other end connected to the liquid supply port of the processing liquid discharge box 30. 32, and is driven by the circulating pump 28 so that the connection pipe 41 is connected.
The processing liquid in the management tank 29 is supplied from the liquid supply port 32 into the box 30 in a state where the processing liquid is pressurized.

【0024】より具体的には、連結管41には圧力調整
弁(図示省略)が配設されており、当該圧力調整弁によ
り吐出液圧による押圧力が上昇液流による押圧力よりも
若干大きくなるように圧力調整される構成とされてい
る。
More specifically, a pressure regulating valve (not shown) is provided in the connecting pipe 41, and the pressure due to the discharge hydraulic pressure is slightly larger than the pressure due to the rising liquid flow by the pressure regulating valve. The pressure is adjusted so as to be adjusted.

【0025】この処理液吐出ボックス30の各吐出孔
(31)から吐出された処理液は盛り上り処理液Quの
一部を形成するので、処理槽10内へ供給管26を介し
て循環供給する処理液量を少なくして上昇液流による押
上力を小さくすることができる。そのため、ICリード
フレームWと各ローラ2との接触圧力減少をより一層押
さえることができ、一段と円滑搬送を達成することがで
きる。また、液供給手段40の駆動源として循環ポンプ
28を使用しても格別容量を大きくする必要はなくな
る。
The processing liquid discharged from each of the discharge holes (31) of the processing liquid discharge box 30 forms a part of the raised processing liquid Qu, and is circulated and supplied into the processing tank 10 through the supply pipe 26. The pushing-up force due to the rising liquid flow can be reduced by reducing the amount of the processing liquid. Therefore, the decrease in contact pressure between the IC lead frame W and each roller 2 can be further suppressed, and smoother transport can be achieved. Further, even if the circulation pump 28 is used as a driving source of the liquid supply means 40, it is not necessary to particularly increase the capacity.

【0026】次に、本実施例の作用について説明する。
ICリードフレームWは、ローラコンベヤ1の各ローラ
2上を処理槽10へ向けて搬送される。このICリード
フレームWが、入槽し盛り上り処理液Qu中を搬送させ
られるようになると、当該ICリードフレームWは処理
槽10内の上昇液流によって押し上げられるとともに、
処理液吐出ボックス30の吐出孔(31)から吐出され
た処理液の液圧によってローラコンベヤ1側に押し付け
られる。
Next, the operation of this embodiment will be described.
The IC lead frame W is transported on the rollers 2 of the roller conveyor 1 toward the processing tank 10. When the IC lead frame W enters the tank and is transported in the processing liquid Qu, the IC lead frame W is pushed up by the rising liquid flow in the processing tank 10, and
The processing liquid discharged from the discharge hole (31) of the processing liquid discharge box 30 is pressed against the roller conveyor 1 by the liquid pressure.

【0027】この際、吐出液圧による押付力が上昇液流
による押上力よりも若干大きくなるように調整されてい
るので、ICリードフレームWと各ローラ2との接触圧
力の減少を防止して円滑搬送することができる。また、
上昇液流の不規則性等により各ローラ2における送り付
勢力が不均一となったとしても、当該吐出処理液はIC
リードフレームWと機械的に摩擦係合していないので当
該ICリードフレームWの平面方向の自由変位を拘束し
ない。したがって、ICリードフレームWが、極薄で弱
剛性であっても変形したり傷ついたりすることはない。
At this time, since the pressing force due to the discharge liquid pressure is adjusted to be slightly larger than the lifting force due to the rising liquid flow, it is possible to prevent the contact pressure between the IC lead frame W and each roller 2 from decreasing. It can be transported smoothly. Also,
Even if the urging force of each roller 2 becomes non-uniform due to irregularities in the rising liquid flow, etc., the discharge processing liquid is
Since there is no mechanical frictional engagement with the lead frame W, the free displacement of the IC lead frame W in the planar direction is not restricted. Therefore, even if the IC lead frame W is extremely thin and has low rigidity, it is not deformed or damaged.

【0028】なお、処理液吐出ボックス30から吐出さ
れた処理液は、盛り上り処理液Quの一部を形成するの
で、ICリードフレームWを一段と円滑かつ確実に表面
処理することができる。
Since the processing liquid discharged from the processing liquid discharge box 30 forms a part of the raised processing liquid Qu, the surface of the IC lead frame W can be processed more smoothly and reliably.

【0029】しかして、この実施例によれば、処理液吐
出ボックス30と当該ボックス30に処理液を加圧供給
する液供給手段40とを設け、ローラコンベヤ1を用い
て搬送され処理槽10上の盛り上り処理液Qu中を通過
するICリードフレームWに向けて当該ボックス30の
吐出孔(31)から処理液を吐出して当該フレームWを
吐出液圧でローラーコンベヤ1側に押付ける構成とした
ので、ICリードフレームWが極薄で弱剛性であっても
変形・損傷等させることなく円滑搬送して表面処理する
ことができる。
According to this embodiment, the processing liquid discharge box 30 and the liquid supply means 40 for supplying the processing liquid to the box 30 under pressure are provided. A processing liquid is discharged from the discharge hole (31) of the box 30 toward the IC lead frame W passing through the processing liquid Qu, and the frame W is pressed against the roller conveyor 1 by the discharge liquid pressure. Therefore, even if the IC lead frame W is extremely thin and has a low rigidity, the IC lead frame W can be smoothly transported and surface-treated without being deformed or damaged.

【0030】また、処理液吐出ボックス30から吐出さ
れた処理液は、盛り上り処理液Quの一部を形成するの
で、処理槽10へ循環供給する処理液量を少なくして上
流液流による押上力を小さくできる。そのため、ICリ
ードフレームWと各ローラ2との接触圧力の減少を一段
と効果的に押さえることができ、より一層の搬送の安定
化を達成することができる。また、液供給手段40の駆
動源としての循環ポンプ28を大容量とする必要はなく
なる。
The processing liquid discharged from the processing liquid discharge box 30 forms a part of the swelling processing liquid Qu. Therefore, the amount of the processing liquid circulated to the processing tank 10 is reduced, and the processing liquid is pushed up by the upstream liquid flow. Power can be reduced. Therefore, the decrease in the contact pressure between the IC lead frame W and each of the rollers 2 can be more effectively suppressed, and the conveyance can be further stabilized. Further, it is not necessary to increase the capacity of the circulation pump 28 as a driving source of the liquid supply means 40.

【0031】また、処理液吐出ボックス30の各吐出孔
(31)をスリット状としICリードフレーム搬送方向
に所定ピッチで複数個形成したので、盛り上り処理液Q
u中のICリードフレームWの表面全体を均一な力でロ
ーラコンベヤ1側に押し付けることができる。したがっ
て、極薄で弱剛性のICリードフレームWを変形等を防
止しつつ一段と円滑に搬送できる。
Further, since each of the discharge holes (31) of the processing liquid discharge box 30 is formed in a slit shape and is formed at a predetermined pitch in the IC lead frame transport direction, the swelling processing liquid Q is formed.
The entire surface of the IC lead frame W in u can be pressed against the roller conveyor 1 with a uniform force. Therefore, the ultra-thin and weakly rigid IC lead frame W can be transported more smoothly while preventing deformation and the like.

【0032】また、処理液吐出ボックス30の各吐出孔
(31)からの吐出液圧は盛り上り処理液Qu中を通過
されるICリードフレームWの搬送不良を阻止可能な圧
力範囲内で最小となるように調整されているので、当該
吐出液圧によってICリードフレームWが変形等するよ
うなことはない。
The pressure of the liquid discharged from each of the discharge holes (31) of the processing liquid discharge box 30 is minimized within a pressure range which can prevent the transfer failure of the IC lead frame W passing through the processing liquid Qu. As a result, the IC lead frame W is not deformed by the discharge liquid pressure.

【0033】さらに、処理液吐出ボックス30の各吐出
孔(31)から吐出された処理液によってICリードフ
レームWの全面を均等な力でローラコンベヤ1に押し付
けることができるので、各ローラ2との間の接触圧力を
極力均一にすることができ、平面方向力の発生が押さえ
られる。したがって、ICリードフレームWを搬送方向
に正確に搬送できる。
Further, the entire surface of the IC lead frame W can be pressed against the roller conveyor 1 with a uniform force by the processing liquid discharged from each of the discharge holes (31) of the processing liquid discharge box 30. The contact pressure therebetween can be made as uniform as possible, and the generation of a planar force can be suppressed. Therefore, the IC lead frame W can be accurately transported in the transport direction.

【0034】さらにまた、液供給手段40を液循環装置
25を積極的に利用して構成したので、装置の小型化・
コスト低減化を図ることができる。
Further, since the liquid supply means 40 is constructed by positively utilizing the liquid circulation device 25, the size of the device can be reduced.
Cost can be reduced.

【0035】なお、上記実施例では、処理液吐出ボック
ス30の各吐出孔をスリット状に形成したが、盛り上り
処理液Qu中を通過するICリードフレームWを吐出液
圧でローラコンベヤ1側に押し付けて上昇液流により両
者の接触圧力の減少を補うことができれば、どのように
形成してもよい。例えば、処理液吐出ボックス30の各
吐出孔を、図1中左右方向および図中紙面と直交する方
向に所定ピッチで設けられた円形状の孔より形成しても
よい。
In the above embodiment, each discharge hole of the processing liquid discharge box 30 is formed in a slit shape. However, the IC lead frame W passing through the swelling processing liquid Qu is discharged to the roller conveyor 1 side by the discharge liquid pressure. Any structure can be used as long as the decrease in the contact pressure between the two can be compensated for by the rising liquid flow by pressing. For example, each discharge hole of the processing liquid discharge box 30 may be formed by a circular hole provided at a predetermined pitch in the left-right direction in FIG. 1 and the direction perpendicular to the paper surface in FIG.

【0036】また、コンベヤとしてローラコンベヤ1を
用いたが、他のコンベヤ(ベルトコンベヤ,ネットコン
ベヤ等)を用いてもよい。
Although the roller conveyor 1 is used as the conveyor, another conveyor (belt conveyor, net conveyor, etc.) may be used.

【0037】[0037]

【発明の効果】本発明によれば、処理液吐出ボックスと
当該処理液吐出ボックスに処理液を加圧供給する液供給
手段とを設け、処理槽上の盛り上り処理液中を通過する
ICリードフレームに向けて当該ボックスの吐出孔から
処理液を吐出して当該フレームを吐出液圧でコンベヤ側
に押付ける構成としたので、ICリードフレームが極薄
で弱剛性であったとしても変形や傷をつけることなく円
滑に盛り上り処理液中を搬送させることができる。
According to the present invention, a processing liquid discharge box and a liquid supply means for supplying a processing liquid to the processing liquid discharge box by pressurizing the processing liquid are provided, and an IC lead which passes through the raised processing liquid on the processing tank is provided. Since the processing liquid is discharged from the discharge holes of the box toward the frame and the frame is pressed against the conveyor with the discharge liquid pressure, even if the IC lead frame is extremely thin and weak, it may be deformed or damaged. The swelling can be carried smoothly through the processing solution without adding a mark.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例の要部を説明するための図であ
る。
FIG. 1 is a diagram for explaining a main part of an embodiment of the present invention.

【図2】同じく、処理液吐出ボックスと処理槽との位置
関係を説明するための斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view for explaining a positional relationship between a processing liquid discharge box and a processing tank.

【図3】従来のICリードフレームの表面処理装置の構
成を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a conventional IC lead frame surface treatment apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ローラコンベヤ(コンベヤ) 10 処理槽 30 処理液吐出ボックス 31 スリット(吐出孔) 40 液供給手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Roller conveyor (conveyor) 10 Processing tank 30 Processing liquid discharge box 31 Slit (discharge hole) 40 Liquid supply means

フロントページの続き (72)発明者 湯口 紀之 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 林 琢哉 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 大森 照雄 東京都稲城市平尾3−6−1 三友エン ジニアリング株式会社内 (72)発明者 倉地 章五 東京都稲城市平尾3−6−1 三友エン ジニアリング株式会社内 (72)発明者 松下 哲夫 東京都稲城市平尾3−6−1 三友エン ジニアリング株式会社内 (56)参考文献 特開 昭58−125857(JP,A) 特開 平2−73658(JP,A) 特開 平6−283643(JP,A) 特開 平6−295969(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 23/50 C25D 17/00,17/06 H01L 21/50Continuing on the front page (72) Inventor Noriyuki Yuguchi 1-1-1, Ichigaya-Kaga-cho, Shinjuku-ku, Tokyo Inside Dai Nippon Printing Co., Ltd. (72) Inventor Takuya Hayashi 1-1-1-1, Ichigaga-cho, Shinjuku-ku, Tokyo Inside Dai Nippon Printing Co., Ltd. (72) Inventor Teruo Omori 3-6-1 Hirao, Inagi-shi, Tokyo Inside Mitomo Engineering Co., Ltd. (72) Inventor Shogo Kurachi 3-6-1 Hirao, Inagi-shi, Tokyo Mitomo En Inside Engineering Co., Ltd. (72) Inventor Tetsuo Matsushita 3-6-1 Hirao, Inagi-shi, Tokyo Inside Mitomo Engineering Co., Ltd. (56) References JP-A-58-125857 (JP, A) JP-A-2- 73658 (JP, A) JP-A-6-283643 (JP, A) JP-A-6-295969 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) H01L 23/50 C25D 17 / 00,17 / 06 H01L 21/50

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 オーバーフロー型処理槽の上方に形成さ
れた盛り上り処理液中にコンベヤを用いて搬送されるI
Cリードフレームを通過させつつその表面処理を行うI
Cリードフレームの表面処理装置において、 前記処理槽の上方でかつ盛り上り処理液が形成される位
置に配設された下面に複数の吐出孔を有する処理液吐出
ボックスと、この処理液吐出ボックス内に処理液を加圧
供給する液供給手段とを設け、盛り上り処理液中を通過
するICリードフレームに向けて処理液吐出ボックスの
各吐出孔から処理液を吐出してICリードフレームを吐
出液圧で前記コンベヤ側に押付けるように構成したこと
を特徴とするICリードフレームの表面処理装置。
1. A conveyer using a conveyor in a raised processing liquid formed above an overflow type processing tank.
C surface treatment while passing through a lead frame
In a surface treatment apparatus for a C lead frame, a processing liquid discharge box having a plurality of discharge holes on a lower surface disposed above the processing tank and at a position where a raised processing liquid is formed; And a liquid supply means for supplying the processing liquid under pressure. The processing liquid is discharged from each discharge hole of the processing liquid discharge box toward the IC lead frame passing through the rising processing liquid to discharge the IC lead frame. A surface treatment apparatus for an IC lead frame, wherein the apparatus is configured to press against the conveyor side with pressure.
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