JP2822735B2 - Stacked oxygen concentration sensor - Google Patents
Stacked oxygen concentration sensorInfo
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は積層型酸素センサ、更に
詳しくはセンサ素子が環状の金属製ホルダーを備えた積
層型酸素センサに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stacked oxygen sensor, and more particularly to a stacked oxygen sensor having a sensor element provided with an annular metal holder.
【0002】[0002]
【従来の技術】積層型酸素センサは、例えば適する支持
体上に所望により電極を設けたセラミックグリーンシー
トを順次積層した後焼成して検出層を形成し、所望によ
り検出層表面に保護層を設けてセンサ素子と成し、次い
でこのセンサ素子を所定のケーシングに組み込み、配線
することにより製造される。センサ素子の形状は特に限
定されないが、平板状(又は角柱状)とすると平らな基
板上にセラミックグリーンシートを順に積層した後焼成
することにより簡単に形成することができるので、製造
が容易で生産性が高い。このため、通常は平板状のセン
サ素子が用いられる。2. Description of the Related Art In a laminated oxygen sensor, for example, ceramic green sheets provided with electrodes as required are sequentially laminated on a suitable support, and then fired to form a detection layer, and a protective layer is provided on the surface of the detection layer as desired. The sensor element is manufactured by incorporating the sensor element into a predetermined casing and wiring. The shape of the sensor element is not particularly limited, but if it is flat (or prismatic), it can be easily formed by sequentially laminating ceramic green sheets on a flat substrate and then firing, so that production is easy and production is easy. High in nature. For this reason, a flat sensor element is usually used.
【0003】ところで、センサ素子をケーシングに組み
込む際にはセンサ素子の位置決め及びセンサ素子とケー
シングとの間のシールが重要となる。特に、センサ素子
が平板状でケーシングが円筒状(この形状が一般的であ
る)である場合には、センサ素子とケーシングとの間の
シールが難しい。When a sensor element is incorporated in a casing, positioning of the sensor element and sealing between the sensor element and the casing are important. In particular, when the sensor element is flat and the casing is cylindrical (this shape is common), it is difficult to seal between the sensor element and the casing.
【0004】センサ素子の位置決めを容易にするため
に、例えば実公昭63−11644号公報にはセンサ素
子に突部を設けた積層型酸素センサが開示されている。
又、センサ素子とケーシングとの間を充分にシールする
ために、センサ素子と同一材料で且つケーシング内周と
ほぼ同じ外周径の突部を平板状のセンサ素子外周部にス
リップキャスティング(鋳込み法)により形成した積層
型酸素センサも提案されている。[0004] In order to facilitate the positioning of the sensor element, for example, Japanese Utility Model Publication No. 63-11644 discloses a stacked oxygen sensor in which a projection is provided on the sensor element.
Also, in order to sufficiently seal the gap between the sensor element and the casing, a projection made of the same material as the sensor element and having substantially the same outer diameter as the inner circumference of the casing is slip-cast on the outer periphery of the flat sensor element (casting method). Has been proposed.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】実公昭63−1164
4号公報に開示された積層型酸素センサにおいては、突
部の役目が位置決めであり、センサ素子とケーシングと
の間のシールは充填材によって行われるため、充填材の
充填工程が必要となり生産性が悪い。又、充填材のシー
ル性は充分ではないので積層型酸素センサの信頼性も低
い。Problems to be Solved by the Invention
In the stacked oxygen sensor disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 4 (1999) -1995, the role of the projection is positioning, and the sealing between the sensor element and the casing is performed by the filler. Is bad. In addition, since the sealing property of the filler is not sufficient, the reliability of the stacked oxygen sensor is low.
【0006】突部をスリップキャスティングにより形成
した積層型酸素センサは、センサ素子とケーシングとの
間のシール性は充分である。しかし平板状のセンサ素子
外周部に円筒状の突部を形成した後焼成する際、平板状
部分と円筒状突部の両方を有する形態のものを均一に収
縮させるには焼成温度、温度分布、素子の保持方法等の
点で最適条件を予め決定する必要があり、センサ素子の
生産性が低く、平板状のセンサ素子を備えた積層型酸素
センサの利点である高い生産性を損なう恐れがある。A stacked oxygen sensor having a projection formed by slip casting has a sufficient sealing property between the sensor element and the casing. However, when baking after forming a cylindrical projection on the outer periphery of the flat sensor element, firing temperature, temperature distribution, and the like, in order to uniformly shrink the form having both the flat portion and the cylindrical projection, It is necessary to determine in advance the optimum conditions in terms of the element holding method and the like, and the productivity of the sensor element is low, which may impair the high productivity that is an advantage of the stacked oxygen sensor having the flat sensor element. .
【0007】本発明は前記従来技術の問題点を解決する
ためのものであり、その目的とするところはセンサ素子
とケーシングとの間のシール性が優れ、製造が容易で生
産性が高く、且つセンサ素子固定部分の設計の自由度が
大きい積層型酸素センサを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and has as its object to provide an excellent sealing property between a sensor element and a casing, easy production and high productivity, and An object of the present invention is to provide a stacked oxygen sensor having a high degree of freedom in designing a sensor element fixing portion.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明のセンサ素子と該
センサ素子に嵌合された環状の金属製ホルダーとを備え
た積層型酸素濃度センサにおいて、前記センサ素子の外
周部を取り巻く金属層を前記センサ素子に設け、該金属
層と前記金属製ホルダーとをロウ付け固定してなること
を特徴とする。According to the present invention, there is provided a stacked oxygen concentration sensor comprising a sensor element according to the present invention and an annular metal holder fitted to the sensor element, wherein a metal layer surrounding an outer peripheral portion of the sensor element is provided. The sensor element is provided, and the metal layer and the metal holder are fixed by brazing.
【0009】センサ素子の作動形態は特に限定されず、
例えば酸素イオン透過型のセンサ素子であってもよい
し、又は酸化物半導体型のセンサ素子であってもよい。
又、センサ素子の形状も特に限定されず、例えば平板
状、角柱状、円柱状、円筒状等であってよい。平板状の
センサ素子は製造が容易であるので好ましい。センサ素
子の製造には酸素濃度センサの製造において慣用の材料
例えばセラミック材料としてはジルコニア、アルミナ、
チタニア等を単独又は組み合わせて用いることができ
る。又、電極は白金ペーストなどを用いて印刷法により
形成してよい。The operation mode of the sensor element is not particularly limited.
For example, an oxygen ion permeable sensor element or an oxide semiconductor sensor element may be used.
Also, the shape of the sensor element is not particularly limited, and may be, for example, a flat plate, a prism, a column, a cylinder, or the like. A flat sensor element is preferable because it is easy to manufacture. In the manufacture of the sensor element, materials commonly used in the manufacture of oxygen concentration sensors, such as zirconia, alumina,
Titania or the like can be used alone or in combination. The electrodes may be formed by a printing method using a platinum paste or the like.
【0010】金属層は例えばタングステンペーストや銀
ペーストをスクリーン印刷することにより形成すること
ができ、通常線状又は帯状である。線状又は帯状の金属
層は一本でもよいが、二本以上設けてもよい。金属層を
設ける位置は適宜選択する。The metal layer can be formed, for example, by screen-printing a tungsten paste or a silver paste, and usually has a linear or band shape. The number of linear or band-shaped metal layers may be one, but two or more may be provided. The position where the metal layer is provided is appropriately selected.
【0011】センサ素子に金属層を設ける方法は、所定
性能のセンサ素子を得ることができるようにセンサ素子
の性状に応じて適宜選択する。例えばセンサ素子に金属
層を直接設けてもよいし、又は例えば適当なセラミック
グリンーンシート表面に金属層を設けた後、このセラミ
ックグリーンシートを金属層を設けた側を表面側として
センサ素子を取り巻くようにセンサ素子に貼付し、次い
で焼成固着してもよい。The method of providing a metal layer on the sensor element is appropriately selected according to the properties of the sensor element so that a sensor element having predetermined performance can be obtained. For example, a metal layer may be directly provided on the sensor element, or, for example, after a metal layer is provided on the surface of an appropriate ceramic green sheet, the sensor element may be provided with the ceramic green sheet having the metal layer on the surface side. It may be attached to the sensor element so as to surround it, and then fixed by firing.
【0012】金属製ホルダーは耐蝕性金属材料例えばス
テンレススチール、ニッケル等を慣用の加工法例えば機
械加工を用いて製造することができ、中央部にセンサ素
子と嵌合し得る貫通孔を有する環状のものである。金属
製ホルダーの大きさや形状はセンサ素子及びケーシング
の大きさや形状を考慮して適宜選択する。The metal holder can be made of a corrosion-resistant metal material, such as stainless steel, nickel, or the like, using a conventional processing method, for example, machining, and has a ring-shaped center portion having a through hole that can be fitted with the sensor element. Things. The size and shape of the metal holder are appropriately selected in consideration of the size and shape of the sensor element and the casing.
【0013】金属製ホルダーを金属層部分にロウ付け固
定するためのロウ材は金属製ホルダー及び金属層の材料
に応じて、これらの間に強固な接着性が得られるように
選択する。通常例えばニッケル系ロウ材や銅系ロウ材を
使用することができる。[0013] The brazing material for brazing and fixing the metal holder to the metal layer portion is selected according to the material of the metal holder and the metal layer so as to obtain strong adhesion between them. Usually, for example, a nickel brazing material or a copper brazing material can be used.
【0014】金属製ホルダーと金属層部分とのロウ付け
は、慣用の方法例えば電気炉中で加熱することにより行
うことができる。The brazing between the metal holder and the metal layer can be performed by a conventional method, for example, by heating in an electric furnace.
【0015】[0015]
【作用】センサ素子及び金属製ホルダーの形状の異同に
係わらず、例えばセンサ素子が平板状である場合でも、
金属層部分で環状の金属製ホルダーがセンサ素子に強固
にロウ付け固定される。In spite of the difference in shape between the sensor element and the metal holder, for example, even when the sensor element is flat,
At the metal layer portion, an annular metal holder is firmly brazed and fixed to the sensor element.
【0016】[0016]
【実施例】以下の実施例により、本発明を更に詳細に説
明する。The present invention will be described in more detail with reference to the following examples.
【0017】図1に本発明の積層型ジルコニア酸素濃度
センサのセンサ素子の一例を示す。図1(a)はセンサ
素子1の上面図、図1(b)はセンサ素子1の部分破断
正面図である。センサ素子1は、内部にセンサ素子1を
適温に加熱するためのヒーター7を有するセラミック基
板11と両面にスクリーン印刷法により白金電極5,6
を形成したジルコニアシート9とを大気導入部8を設け
て積層し、ジルコニアシート9の白金電極5側の表面に
保護層12を設けることにより形成した。又、ジルコニ
アシート9の外周部には金属層(図示せず)を設けたア
ルミナシート2を巻き付け、アルミナシート2に金属製
ホルダー3をロウ付け部4(金属層部分)でロウ付け固
定した。10は電極取り出し部であり、白金電極5,6
とジルコニアシート9,保護層12に設けたピンホール
部により電気的に接続した。本センサ素子1は、被測定
ガス例えば自動車排気ガスが当たる白金電極5側と大気
側(基準)の白金電極6との間の酸素濃度差により前記
排気ガス中の酸素濃度を測定するものである。FIG. 1 shows an example of a sensor element of the laminated zirconia oxygen concentration sensor of the present invention. FIG. 1A is a top view of the sensor element 1, and FIG. 1B is a partially broken front view of the sensor element 1. The sensor element 1 includes a ceramic substrate 11 having a heater 7 therein for heating the sensor element 1 at an appropriate temperature, and platinum electrodes 5 and 6 on both surfaces by screen printing.
The zirconia sheet 9 on which the zirconia sheet 9 is formed is laminated by providing an air introduction portion 8, and a protective layer 12 is provided on the surface of the zirconia sheet 9 on the platinum electrode 5 side. An alumina sheet 2 provided with a metal layer (not shown) was wound around the outer periphery of the zirconia sheet 9, and a metal holder 3 was fixed to the alumina sheet 2 by brazing at a brazing portion 4 (metal layer portion). Reference numeral 10 denotes an electrode take-out portion, and platinum electrodes 5, 6
And the zirconia sheet 9 and the protective layer 12 were electrically connected by pinholes. The sensor element 1 measures the oxygen concentration in the exhaust gas based on the oxygen concentration difference between the platinum electrode 5 side to which a gas to be measured, for example, an automobile exhaust gas is applied, and the platinum electrode 6 on the atmosphere side (reference). .
【0018】図2はセンサ素子1を用いた本発明の積層
型ジルコニア酸素濃度センサの一実施例を示す。この酸
素濃度センサは、金属製ホルダー3のテーパ部をセンサ
ホルダー13の内壁テーパ部に密着させ、例えばタルク
などの充填材14をセンサ素子1とセンサホルダー13
との隙間に入れ、ばね15で固定し更にかしめ部16を
設けてセンサ素子1を組付ける。なお、17はリード線
取り出し部、18はリード線、19はブッシュ、20は
外筒を示す。使用に際しては、センサホルダー13を例
えば自動車の排気管21にねじ止めし、保護カバー22
の孔23を通ってセンサ素子1に当たる排気ガスの酸素
濃度を測定する。FIG. 2 shows an embodiment of the laminated zirconia oxygen concentration sensor of the present invention using the sensor element 1. In this oxygen concentration sensor, the tapered portion of the metal holder 3 is brought into close contact with the tapered portion of the inner wall of the sensor holder 13, and a filler 14 such as talc is applied to the sensor element 1 and the sensor holder 13.
The sensor element 1 is assembled by fixing it with a spring 15 and further providing a caulking portion 16. In addition, 17 is a lead wire take-out part, 18 is a lead wire, 19 is a bush, and 20 is an outer cylinder. In use, the sensor holder 13 is screwed to, for example, an exhaust pipe 21 of an automobile, and the protective cover 22
The oxygen concentration of the exhaust gas impinging on the sensor element 1 through the hole 23 is measured.
【0019】図3に本発明の積層型ジルコニア酸素濃度
センサのセンサ素子の製造方法の一例を示す。図3
(a)に示す電極取り出し部10を設けたグリーンシー
ト成形体24に図3(b)の如くアルミナグリーンシー
ト25を巻き付ける。この際、アルミナグリーンシート
25のグリーンシート成形体24に当接する側と反対側
の所定部分には、金属ペースト(例えばタングステンペ
ースト又は銀ペースト)を用いてスクリーン印刷法によ
り予め金属層26を設けておく。アルミナグリーンシー
ト25を巻き付けたグリーンシート成形体24を所定の
焼成条件にて炉で焼成すると、図3(c)に示すセンサ
素子1を得る。次いで図3(d)の如く、金属製ホルダ
ー3をアルミナシート2に嵌合させ、金属層26の上に
配置し、ロウ材27(例えばニッケル系ロウ材又は銅系
ロウ材)を金属層26と金属製ホルダー3の隙間に充填
する。次いで図3(e)の如く、炉28内の空間部29
にセンサ素子1を入れ、パッキン30により空間部29
を密閉し、真空ポンプ31で所定条件に減圧する。次い
で、ヒーター32により加熱してロウ材27を溶融さ
せ、ロウ付け部4によって金属層26部分に金属製ホル
ダー3をロウ付け固定する。FIG. 3 shows an example of a method for manufacturing a sensor element of the laminated zirconia oxygen concentration sensor of the present invention. FIG.
As shown in FIG. 3B, an alumina green sheet 25 is wound around a green sheet molded body 24 provided with the electrode take-out part 10 shown in FIG. At this time, a metal layer 26 is provided in advance on a predetermined portion of the alumina green sheet 25 opposite to the side in contact with the green sheet molded body 24 by a screen printing method using a metal paste (for example, a tungsten paste or a silver paste). deep. When the green sheet molded body 24 around which the alumina green sheet 25 is wound is fired in a furnace under predetermined firing conditions, the sensor element 1 shown in FIG. 3C is obtained. Next, as shown in FIG. 3D, the metal holder 3 is fitted to the alumina sheet 2 and placed on the metal layer 26, and the brazing material 27 (for example, a nickel-based brazing material or a copper-based brazing material) is And the gap between the metal holder 3 is filled. Next, as shown in FIG.
The sensor element 1 is put into the
Is closed, and the pressure is reduced to a predetermined condition by the vacuum pump 31. Next, the brazing material 27 is melted by heating by the heater 32, and the metal holder 3 is brazed and fixed to the metal layer 26 by the brazing portion 4.
【0020】本実施例では、アルミナグリーンシート2
5をグリーンシート成形体24に巻き付けた(ジルコニ
アは真空中で加熱されると還元されてジルコニウムが析
出する)が、センサ素子がアルミナ基板で構成されてい
る場合には本実施例の如くアルミナグリーンシート25
をグリーンシート成形体24に巻き付ける必要はなく、
金属層26を直接センサ素子にセンサ素子の長さ方向と
直交する方向に外周部を取り巻くように設けてよい。In this embodiment, the alumina green sheet 2
5 was wound around a green sheet molded body 24 (zirconia is reduced when heated in vacuum to deposit zirconium), but when the sensor element is formed of an alumina substrate, the alumina green is used as in this embodiment. Sheet 25
Need not be wound around the green sheet molded body 24,
The metal layer 26 may be provided directly on the sensor element so as to surround the outer peripheral portion in a direction orthogonal to the length direction of the sensor element.
【0021】[0021]
【発明の効果】本発明の積層型酸素濃度センサは、セン
サ素子の外周部を取り巻く金属層をセンサ素子に設け、
金属層と金属製ホルダーとをロウ付け固定してなるた
め、センサ素子及び金属製ホルダーの形状の異同に係わ
らず金属製ホルダーをセンサ素子に強固にロウ付け固定
することができる。このため、センサ素子が製造が容易
で生産性が高い平板状で金属製ホルダーが環状である場
合にも、センサ素子に何らの加工をすることなく、又、
センサ素子の焼成若しくは脱脂等の条件に制限を加える
ことなく、加工性に優れた金属を用いて形成した環状の
ホルダーを容易にシール性を高く保持して固着すること
できる。According to the stacked oxygen concentration sensor of the present invention, a metal layer surrounding the outer periphery of the sensor element is provided on the sensor element.
Since the metal layer and the metal holder are brazed and fixed, the metal holder can be firmly brazed and fixed to the sensor element regardless of the shape of the sensor element and the metal holder. For this reason, even when the sensor element is easy to manufacture and has a flat shape with high productivity and the metal holder is annular, without any processing of the sensor element,
An annular holder formed using a metal having excellent workability can be easily fixed with high sealing performance without limiting the conditions such as firing or degreasing of the sensor element.
【0022】又、本発明の積層型酸素濃度センサにおい
ては熱伝導性及び加工性に優れた金属製ホルダーを用い
ることができるのでホルダー部分の設計の自由度が増大
し、例えばセンサ使用時にホルダー部分からの熱引けの
程度を調整することによりセンサ素子の熱変動を抑え、
センサ特性を良好な状態に保持することができる。Further, in the stacked oxygen concentration sensor of the present invention, since a metal holder having excellent heat conductivity and workability can be used, the degree of freedom in designing the holder part is increased. By adjusting the degree of heat sink from the sensor, the heat fluctuation of the sensor element is suppressed,
Sensor characteristics can be maintained in a good state.
【0023】更に、センサ素子の組付けの際に金属製ホ
ルダーをセンサホルダーに直接押圧することができるの
で、従来センサ素子の組付けの際に使用されていたシー
ルリングなどのシール及び緩衝のための部材が不要とな
り、センサ素子の組付けが簡単になった。Further, since the metal holder can be pressed directly onto the sensor holder when the sensor element is mounted, the metal holder can be used for sealing and cushioning the seal ring and the like which have been conventionally used for mounting the sensor element. This member is unnecessary, and the assembly of the sensor element is simplified.
【図1】本発明の積層型ジルコニア酸素濃度センサのセ
ンサ素子の一例の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of an example of a sensor element of a laminated zirconia oxygen concentration sensor of the present invention.
【図2】本発明の積層型ジルコニア酸素濃度センサの一
実施例の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of one embodiment of the laminated zirconia oxygen concentration sensor of the present invention.
【図3】本発明の積層型ジルコニア酸素濃度センサのセ
ンサ素子の一例の製造工程の説明図である。FIG. 3 is an explanatory view of a manufacturing process of an example of the sensor element of the laminated zirconia oxygen concentration sensor of the present invention.
1 センサ素子 2 アルミナシ
ート 3 金属製ホルダー 4 ロウ付け部 5,6 白金電極 7,32 ヒー
ター 8 大気導入部 9 ジルコニア
シート 10 電極取り出し部 11 セラミッ
ク基板 12 保護層 13 センサホ
ルダー 14 充填材 15 ばね 16 かしめ部 17 リード線
取り出し部 18 リード線 19 ブッシュ 20 外筒 21 排気管 22 保護カバー 23 孔 24 グリーンシート成形体 25 アルミナ
グリーンシート 26 金属層 27 ロウ材 28 炉 29 空間部 30 パッキン 31 真空ポン
プDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sensor element 2 Alumina sheet 3 Metal holder 4 Brazing part 5, 6 Platinum electrode 7, 32 Heater 8 Atmospheric introduction part 9 Zirconia sheet 10 Electrode extraction part 11 Ceramic substrate 12 Protective layer 13 Sensor holder 14 Filler 15 Spring 16 Caulking Part 17 Lead wire take-out part 18 Lead wire 19 Bush 20 Outer cylinder 21 Exhaust pipe 22 Protective cover 23 Hole 24 Green sheet molding 25 Alumina green sheet 26 Metal layer 27 Brazing material 28 Furnace 29 Space part 30 Packing 31 Vacuum pump
Claims (1)
環状の金属製ホルダーとを備えた積層型酸素濃度センサ
において、前記センサ素子の外周部を取り巻く金属層を
前記センサ素子に設け、該金属層と前記金属製ホルダー
とをロウ付け固定してなることを特徴とする積層型酸素
濃度センサ。In a stacked oxygen concentration sensor comprising a sensor element and an annular metal holder fitted to the sensor element, a metal layer surrounding an outer peripheral portion of the sensor element is provided on the sensor element. A stacked oxygen concentration sensor, wherein a metal layer and the metal holder are fixed by brazing.
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JP3319876A JP2822735B2 (en) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | Stacked oxygen concentration sensor |
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JP3319876A JP2822735B2 (en) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | Stacked oxygen concentration sensor |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH05126787A JPH05126787A (en) | 1993-05-21 |
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JP4068426B2 (en) * | 2002-09-30 | 2008-03-26 | 日本特殊陶業株式会社 | Sensor and sensor manufacturing method |
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1991
- 1991-11-07 JP JP3319876A patent/JP2822735B2/en not_active Expired - Fee Related
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