JP2822621B2 - Manufacturing method of liquid crystal display element - Google Patents

Manufacturing method of liquid crystal display element

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JP2822621B2 JP17101790A JP17101790A JP2822621B2 JP 2822621 B2 JP2822621 B2 JP 2822621B2 JP 17101790 A JP17101790 A JP 17101790A JP 17101790 A JP17101790 A JP 17101790A JP 2822621 B2 JP2822621 B2 JP 2822621B2
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【発明の詳細な説明】 〔概要〕 液晶表示素子の製造方法に関し、 上下ガラス基板の位置合わせや基板の整形切断の精度
と作業性を改善すると共に、歩留り向上と価格の低減を
行うことを目的とし、 ギャップ状空間を介して対向する2枚のガラス基板間
をシール層で封着し、前記ギャップ状空間に液晶を注入
封止してなる液晶表示素子の製造方法において、前記ガ
ラス基板に透明電極を形成する際に、前記シール層の外
側の基板面に位置認識マークを同時形成し、次いで、配
向膜を形成する際に、前記位置認識マークを覆って平坦
化保護膜を同時形成しておくように液晶表示素子を製造
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Summary] The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display element, which aims to improve the accuracy and workability of alignment of upper and lower glass substrates and shaping and cutting of substrates, and also to improve yield and reduce cost. In a method for manufacturing a liquid crystal display element, two glass substrates facing each other via a gap-shaped space are sealed with a sealing layer, and a liquid crystal is injected and sealed into the gap-shaped space. When forming an electrode, a position recognition mark is simultaneously formed on the substrate surface outside the seal layer, and then, when forming an alignment film, a planarization protective film is formed simultaneously over the position recognition mark. The liquid crystal display device is manufactured as described above.

〔産業上の利用分野〕[Industrial applications]

本発明は液晶表示素子,とくに、液晶注入前の表示用
パネル(空セル)の製造方法に関する。
The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display element, particularly, a display panel (empty cell) before liquid crystal injection.

近年、表示装置の発展は目覚ましく、とくに、平面デ
ィスプレイは薄型・軽量などの点から急速に普及してき
た。中でも、液晶表示装置は駆動電圧が低く、低価格で
あることからパソコンやワープロなどOA機器分野への導
入が活発である。
In recent years, the development of display devices has been remarkable, and in particular, flat displays have rapidly spread in terms of thinness and light weight. Above all, liquid crystal display devices have low drive voltage and are inexpensive, and therefore are actively introduced into OA equipment fields such as personal computers and word processors.

液晶表示素子の大型化,高精細化にともなってその製
造技術はますます高度化してきており、より一層の高精
度,かつ、作業効率のよい製造方法の開発が求められて
いる。
As liquid crystal display elements have become larger and more precise, their manufacturing techniques have become more sophisticated, and there is a demand for the development of manufacturing methods with higher precision and higher working efficiency.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

液晶表示装置,とくに、グラフィック表示の液晶表示
装置はSTN(Super Twisted Nematic)型液晶を用いるこ
とにより、大型化と大容量化が可能になってきている
が、これを製造するためには先ず液晶を注入する前の液
晶表示バネル(空セルと称する)を高精度,かつ、効率
よく製作することが必要である。
The use of STN (Super Twisted Nematic) liquid crystal for liquid crystal display devices, especially liquid crystal display devices for graphics display, has made it possible to increase the size and capacity of liquid crystal display devices. It is necessary to manufacture a liquid crystal display panel (referred to as an empty cell) before injecting with high precision and efficiently.

第4図は液晶表示素子のパネル構成を示す図で、液晶
を注入する前の空セルの状態であり、同図(イ)は上面
図、同図(ロ)は一部拡大図、同図(ハ)は断面図であ
る。
FIG. 4 is a view showing a panel configuration of a liquid crystal display element, showing a state of an empty cell before liquid crystal is injected. FIG. 4 (a) is a top view, FIG. 4 (b) is a partially enlarged view, FIG. (C) is a sectional view.

図中、1a,1bは透明なガラス基板で、その上に,たと
えば、公知のITO(In2O3−SnO2)からなるストライプ状
の透明電極2aおよび2bが形成されている。表示領域内の
透明電極2a,2bの上には、それぞれ配向膜3a,3bが形成さ
れている。配向膜は,たとえば、ポリイミド樹脂膜をコ
ートしたあとナイロンなどの布地でラビングして配向処
理を行ったものである。
In the figure, reference numerals 1a and 1b denote transparent glass substrates, on which are formed transparent electrodes 2a and 2b made of, for example, known ITO (In 2 O 3 —SnO 2 ). Alignment films 3a and 3b are formed on the transparent electrodes 2a and 2b in the display area, respectively. The alignment film is obtained by, for example, coating a polyimide resin film and then rubbing with a cloth such as nylon to perform an alignment treatment.

このように形成された2枚のガラス基板1a,1bを図示
したごとく配向膜3a,3bが対面し,かつ、前記それぞれ
の透明電極1a,1bがマトリクス交点を形成するように直
交配置させ、両基板間にスペーサ4,たとえば、ポリエス
テル樹脂製の小球を挟み接着剤からなるシール層5で封
着する。シール層5の一部には、のちに液晶を注入する
液晶注入口50が設けられている。
The two glass substrates 1a and 1b thus formed are arranged orthogonally so that the alignment films 3a and 3b face each other as shown in the figure and the respective transparent electrodes 1a and 1b form a matrix intersection. A spacer 4, for example, a small ball made of polyester resin is sandwiched between the substrates, and sealed with a seal layer 5 made of an adhesive. A liquid crystal injection port 50 for injecting a liquid crystal later is provided in a part of the seal layer 5.

60は位置認識マークで,たとえば、図示したごとき2
重四角形をなしており、,たとえば、上側のガラス基板
1aには外側の四角形60aが、下側のガラス基板1bには内
側の四角形60bが設けられている。これらの位置認識マ
ーク60はそれぞれの基板に透明電極2a,2bを形成する際
に,たとえば、図示したごとく基板の対角線のコーナ
に,少なくとも、2個を同時形成してある。
60 is a position recognition mark, for example, as shown in FIG.
A double square, for example, an upper glass substrate
1a is provided with an outer square 60a, and the lower glass substrate 1b is provided with an inner square 60b. When the transparent electrodes 2a and 2b are formed on the respective substrates, at least two of these position recognition marks 60 are simultaneously formed, for example, at diagonal corners of the substrate as shown in the figure.

位置認識マーク60は2枚のガラス基板1a,1bを上記の
配置で貼り合わせるときに,たとえば、上側の基板の位
置認識マーク60aの大きな四角形の中に、下側の基板の
位置認識マーク60bの小さな四角形を顕微鏡下で手動で
位置合わせするか,あるいは、TVモニタを用いた画像認
識位置合わせ装置で自動的に位置合わせして、機械的に
クランプするか,あるいは、紫外線硬化樹脂などを用い
て仮接着したあと、シール層5を加熱接着硬化して空セ
ルを形成する。位置認識マーク60は反射率がガラス基板
と異なっていることを利用して認識可能である。
When the two glass substrates 1a and 1b are bonded together in the above arrangement, for example, the position recognition mark 60 is placed in the large square of the position recognition mark 60a of the upper substrate, Manually align the small squares under a microscope, or automatically align them with an image recognition alignment device using a TV monitor and mechanically clamp them, or use an ultraviolet curable resin or the like. After temporary bonding, the sealing layer 5 is heat-bonded and cured to form empty cells. The position recognition mark 60 can be recognized using the fact that the reflectance is different from that of the glass substrate.

なお、両基板の貼り合わせののち、必要によりガラス
基板1の整形切断を行う場合には,たとえば、自動切断
装置で位置認識マーク60を読み取り、位置認識マーク60
とシール層5との位置関係から各切断ライン,たとえ
ば、上部基板は一点鎖線X1−X1,X2−X2,および、下部基
板は点線Y1−Y1,Y2−Y2を決定し、その各ラインに沿っ
て自動的にガラス基板1aおよび1bをスクライブ切断して
表示用の空パネルを作製し、液晶注入口50から,たとえ
ば、STN液晶を注入したあと液晶注入口50を密閉封止し
て表示用液晶表示素子を製造している。
When the glass substrate 1 is shaped and cut as necessary after bonding the two substrates, for example, the position recognition mark 60 is read by an automatic cutting device, and the position recognition mark 60 is read.
Each cutting line, for example, the dash-dot lines X 1 -X 1 and X 2 -X 2 for the upper substrate, and the dotted lines Y 1 -Y 1 and Y 2 -Y 2 for the lower substrate from the positional relationship between After the determination, the glass substrates 1a and 1b are automatically scribed along each line to produce an empty panel for display, and, for example, after the STN liquid crystal is injected from the liquid crystal injection port 50, the liquid crystal injection port 50 is It manufactures liquid crystal display elements for display by hermetically sealing.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be solved by the invention]

しかし、上記従来の位置認識マーク6(6a,6b)は,
たとえば、ITOからなる透明電極2(2a,2b)と同時形成
されているので、通常100〜200nmの厚みを持っており、
配向膜3(3a,3b)の配向処理の際にその段差のために
ラビング布その他のゴミが付着する場合がある。
However, the conventional position recognition mark 6 (6a, 6b)
For example, since it is formed simultaneously with the transparent electrode 2 (2a, 2b) made of ITO, it usually has a thickness of 100 to 200 nm,
During the alignment treatment of the alignment film 3 (3a, 3b), rubbing cloth or other dust may adhere due to the steps.

第3図は従来の位置認識マークにゴミが付着した例を
示す図で、同図(a)は上面図,同図(b)は断面図で
ある。こゝには図示してないシール層5の内側の表示領
域の透明電極上には,たとえば、ポリイミド樹脂膜から
なる配向膜3(3a,3b)が施されている。図中、80は上
部ガラス基板1aの位置認識マーク6aに付着した,たとえ
ば、ラビング布の繊維クズであり、90は下部ガラス基板
1bの位置認識マーク6bに付着した,たとえば、同じくラ
ビング布の繊維クズである。
FIG. 3 is a view showing an example in which dust adheres to a conventional position recognition mark. FIG. 3 (a) is a top view and FIG. 3 (b) is a sectional view. Here, an alignment film 3 (3a, 3b) made of, for example, a polyimide resin film is provided on the transparent electrode in the display area inside the seal layer 5 (not shown). In the figure, reference numeral 80 denotes fiber scraps of a rubbing cloth attached to the position recognition mark 6a of the upper glass substrate 1a, and reference numeral 90 denotes a lower glass substrate.
For example, the rubbing cloth fiber scraps attached to the position recognition mark 6b of 1b.

なお、前記の図面で説明したものと同等の部分につい
ては同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明は
省略する。
The same parts as those described in the above drawings are denoted by the same reference numerals, and the description of the same parts will be omitted.

このように、位置認識マーク6にゴミ80あるいは90が
付着すると、位置認識装置の画像認識が不正確になった
り不可能になったりして、基板の貼り合わせ精度や基板
の整形切断精度が低下して、製品の品質・歩留りの劣化
をきたすなどの問題が生じ、その解決が求められてい
た。
As described above, if the dust 80 or 90 adheres to the position recognition mark 6, the image recognition of the position recognition device becomes inaccurate or impossible, and the accuracy of bonding the substrates and the accuracy of cutting and shaping the substrates are reduced. As a result, problems such as deterioration of product quality and yield have arisen, and solutions have been required.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

上記の課題は、ギャップ状空間を介して対向する2枚
のガラス基板間をシール層で封着し、前記ギャップ状空
間に液晶を注入封止してなる液晶表示素子の製造方法に
おいて、前記ガラス基板に透明電極を形成する際に、前
記シール層の外側の基板面に位置認識マークを同時形成
し、次いで、配向膜を形成する際に、前記位置認識マー
クを覆って平坦化保護膜を同時形成しておくように液晶
表示素子を製造することで解決することができる。
The above object is achieved by a method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising sealing a glass layer facing two glass substrates via a gap-like space with a sealing layer and injecting and sealing a liquid crystal into the gap-like space. When forming a transparent electrode on the substrate, a position recognition mark is simultaneously formed on the substrate surface outside the seal layer, and then, when forming an alignment film, a flattening protective film covering the position recognition mark is simultaneously formed. The problem can be solved by manufacturing a liquid crystal display element so as to be formed.

〔作用〕[Action]

本発明方法によれば配向膜3を形成する際に、それぞ
れのガラス基板1の,たとえば、シール層4の外側の基
板のコーナに設けられた少なくとも2つの位置認識マー
ク6を覆って平坦化保護膜7が同時形成されているの
で、位置認識マーク6には何ら段差が生じておらずラビ
ングによる配向処理を行ってもラビング布のクズなどの
ゴミ80や90が付着することがなく、精度よく容易に位置
合わせを行うことができるのである。
According to the method of the present invention, at the time of forming the alignment film 3, at least two position recognition marks 6 provided on the corners of the respective glass substrates 1, for example, on the substrate outside the sealing layer 4, are planarized and protected. Since the film 7 is formed at the same time, there is no step in the position recognition mark 6 and no dust 80 or 90 such as rubbing cloth dust adheres even when the alignment treatment by rubbing is performed. Positioning can be easily performed.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明の実施例方法を示す図で、同図(イ)
はガラス基板1a(たとえば,上部基板),同図(ロ)は
ガラス基板1b(たとえば,下部基板),同図(ハ)は上
下基板を位置合わせして貼り合わせた状態を示してい
る。なお、(a)はそれぞれの上面図,(b)はそれぞ
れの断面図である。
FIG. 1 is a diagram showing a method of an embodiment of the present invention.
Indicates a glass substrate 1a (for example, an upper substrate), FIG. 12B shows a state in which the glass substrate 1b (for example, a lower substrate) is aligned, and FIG. (A) is a top view of each, and (b) is a cross-sectional view of each.

図中、6a,6bは位置認識マークで,たとえば、ITO(In
2O3−SnO2)からなり、ガラス基板1a,1b上のシール層5
の外側の適当な位置,たとえば、基板対角線上のコーナ
に少なくとも2個を、こゝには図示してないストライプ
状の透明電極と同時形成したもので、厚さは,たとえ
ば、100〜200nm、外径寸法は0.2mm(6a)〜0.1mm(6b)
程度である。
In the figure, 6a and 6b are position recognition marks, for example, ITO (In)
2 O 3 —SnO 2 ), and the sealing layer 5 on the glass substrates 1 a and 1 b
At least two of them are formed at appropriate positions on the outer side of the substrate, for example, at the corners on the diagonal line of the substrate, at the same time as the transparent electrodes in the form of stripes not shown here. Outer diameter is 0.2mm (6a)-0.1mm (6b)
It is about.

7a,7bは平坦化保護膜で、こゝには図示していない配
向膜,たとえば、ポリイミド樹脂膜と同時形成されてお
り,たとえば、大きさ5mmφの円形をなし、その中央部
分において各位置認識マーク6a,6bを厚さ100nm程度の膜
で覆うように,たとえば、転写印刷により配向膜と同時
形成したものである。
Reference numerals 7a and 7b denote flattening protective films, which are formed simultaneously with an alignment film (not shown), for example, a polyimide resin film, and have a circular shape with a size of, for example, 5 mmφ. The marks 6a and 6b are formed simultaneously with the alignment film by transfer printing, for example, so as to cover the marks 6a and 6b with a film having a thickness of about 100 nm.

同図(イ),(ロ)の断面図でわかるように、位置認
識マーク6a,6bの段差は平坦化保護膜7a,7bによりなだら
かに覆われているので、ラビングによる配向処理を行っ
ても位置認識マーク自体にゴミなどが付着することは全
く生じない。したがって、位置認識マークを透過光ある
いは反射光で観察しながらTVモニタを用いた画像認識位
置合わせ装置によって自動的に位置合わせすることが、
高精度,かつ、短時間内で容易に可能となり、基板の貼
り合わせ精度や基板の整形切断精度が従来例に比較して
大巾に向上すると共に作業能率も大巾に改善された。
As can be seen from the cross-sectional views of FIGS. 7A and 7B, the steps of the position recognition marks 6a and 6b are gently covered by the flattening protective films 7a and 7b. No dust or the like adheres to the position recognition mark itself. Therefore, the position recognition mark can be automatically aligned by the image recognition alignment device using the TV monitor while observing the transmitted light or the reflected light,
It is possible to achieve high precision and easily within a short period of time, so that the bonding accuracy of the substrate and the shaping and cutting accuracy of the substrate have been greatly improved as compared with the conventional example, and the working efficiency has been greatly improved.

第2図は本発明の他の実施例方法を示す図で、同図
(イ),(ロ)に2つの変形例を示した。
FIG. 2 is a view showing a method of another embodiment of the present invention. FIGS. 2A and 2B show two modified examples.

同図(イ)では平坦化保護膜7′a,7′bガ円形でな
く角形をなし,また、同図(ロ)では位置認識マーク
6′a,6′bが四角形の代わりに円形のものを用いてい
る。以上何れも本発明方法の趣旨を満たし前記の実施例
と同様の効果をもたらすことは明らかである。
5A, the flattening protective films 7'a, 7'b are not circular but are square, and in FIG. 4B, the position recognition marks 6'a, 6'b are circular instead of square. Use something. It is clear that any of the above satisfies the purpose of the method of the present invention and has the same effect as the above-mentioned embodiment.

なお、前記の諸図面で説明したものと同等の部分につ
いては同一符号を付し、かつ、同等部分についての説明
は省略する。
The same parts as those described in the above drawings are denoted by the same reference numerals, and the description of the same parts will be omitted.

また、位置認識マーク6は上記の形状に限定されるも
のではなく、十字形や星型や三角形など使い易いものを
適宜使用してもよいことは言うまでもない。
Further, the position recognition mark 6 is not limited to the above-mentioned shape, and it goes without saying that an easy-to-use mark such as a cross, a star, or a triangle may be used as appropriate.

さらに、位置認識マーク6の位置は基板のコーナとは
限らず、表示画面外,すなわち、シール層5の外側の適
当な場所に施せばよく、位置認識マーク6の数も,少な
くとも、2個あれば両基板の位置合わせや各切断ライン
の位置決定が可能であるが、必要によって3個以上にし
てもよいことは勿論である。
Further, the position of the position recognition mark 6 is not limited to the corner of the substrate, but may be provided outside the display screen, that is, at an appropriate place outside the seal layer 5, and the number of the position recognition marks 6 may be at least two. If it is possible to align the two substrates and determine the position of each cutting line, it is needless to say that three or more substrates may be used if necessary.

以上述べた実施例方法は例を示したもので、本発明の
趣旨に添うものである限り、使用する素材や構成など適
宜好ましいもの,あるいは、その組み合わせを用いてよ
いことは言うまでもない。
The method of the embodiment described above is an example, and it is needless to say that materials and configurations to be used may be suitably used or a combination thereof may be used as long as the method of the present invention is followed.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上説明したように本発明方法によれば、配向膜3を
形成する際に、それぞれのガラス基板1の,たとえば、
シール層5の外側の基板のコーナに設けられた少なくと
も2つの位置認識マーク6を覆って平坦化保護膜7が同
時形成されているので、位置認識マーク6には何ら段差
が生じておらず、ラビングによる配向処理を行ってもラ
ビング布の繊維クズなどのゴミ80や90が付着することが
ない。
As described above, according to the method of the present invention, when forming the alignment film 3, for example,
Since at least two position recognition marks 6 provided at the corners of the substrate outside the seal layer 5 are simultaneously formed with the flattening protective film 7, there is no step in the position recognition marks 6. Even when the orientation treatment by rubbing is performed, dusts 80 and 90 such as fiber scraps of the rubbing cloth do not adhere.

したがって、高精度,かつ、短時間内で位置合わせが
容易に可能となり、基板の貼り合わせ精度や基板の整形
切断精度が従来例に比較して大巾に向上すると共に作業
能率も大巾に改善され、液晶表示素子の品質,歩留りの
向上と低価格化に寄与するところが極めて大きい。
Therefore, high-precision positioning can be easily performed within a short period of time, and the bonding accuracy of the substrate and the shaping and cutting accuracy of the substrate are greatly improved as compared with the conventional example, and the work efficiency is also greatly improved. This greatly contributes to improving the quality and yield of the liquid crystal display element and reducing the price.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明の実施例方法を示す図、 第2図は本発明の他の実施例方法を示す図、 第3図は従来の位置認識マークにゴミが付着した例を示
す図、 第4図は液晶表示素子のパネル構成を示す図である。 図において、 1(1a,1b)はガラス基板、 2(2a,2b)は透明電極、 3(3a,3b)は配向膜、 4はスペーサ、 5はシール層、 6(6a,6b),6′(6′a,6′b)は位置認識マーク、 7(7a,7b),7′(7′a,7′b)は平坦化保護膜、 80,90はゴミである。
1 is a diagram showing a method of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a diagram showing a method of another embodiment of the present invention, FIG. 3 is a diagram showing an example in which dust adheres to a conventional position recognition mark, FIG. 4 is a diagram showing a panel configuration of the liquid crystal display element. In the figure, 1 (1a, 1b) is a glass substrate, 2 (2a, 2b) is a transparent electrode, 3 (3a, 3b) is an alignment film, 4 is a spacer, 5 is a sealing layer, 6 (6a, 6b), 6 '(6'a, 6'b) is a position recognition mark, 7 (7a, 7b) and 7'(7'a,7'b) are flattening protective films, and 80 and 90 are dust.

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02F 1/13 G02F 1/1333 G02F 1/1337Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G02F 1/13 G02F 1/1333 G02F 1/1337

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ギャップ状空間を介して対向する2枚のガ
ラス基板(1)間をシール層(5)で封着し、前記ギャ
ップ状空間に液晶を注入封止してなる液晶表示素子の製
造方法において、 前記ガラス基板(1)に透明電極(2)を形成する際
に、前記シール層(5)の外側の基板面に位置認識マー
ク(6)を同時形成し、 次いで、配向膜(3)を形成する際に、前記位置認識マ
ーク(6)を覆って平坦化保護膜(7)を同時形成して
おくことを特徴とした液晶表示素子の製造方法。
1. A liquid crystal display device comprising two glass substrates (1) opposed to each other with a gap-shaped space therebetween sealed with a sealing layer (5), and liquid crystal is injected and sealed into the gap-shaped space. In the manufacturing method, when forming the transparent electrode (2) on the glass substrate (1), a position recognition mark (6) is simultaneously formed on the substrate surface outside the sealing layer (5). A method for manufacturing a liquid crystal display element, wherein a flattening protective film (7) is simultaneously formed covering the position recognition mark (6) when forming 3).
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