JP2821807B2 - Ultrasonic motor drive controller - Google Patents

Ultrasonic motor drive controller

Info

Publication number
JP2821807B2
JP2821807B2 JP2261871A JP26187190A JP2821807B2 JP 2821807 B2 JP2821807 B2 JP 2821807B2 JP 2261871 A JP2261871 A JP 2261871A JP 26187190 A JP26187190 A JP 26187190A JP 2821807 B2 JP2821807 B2 JP 2821807B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ultrasonic motor
frequency
speed
signal
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2261871A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH04140076A (en
Inventor
清史 荒間
孝人 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anritsu Corp
Original Assignee
Anritsu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anritsu Corp filed Critical Anritsu Corp
Priority to JP2261871A priority Critical patent/JP2821807B2/en
Publication of JPH04140076A publication Critical patent/JPH04140076A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2821807B2 publication Critical patent/JP2821807B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 <本発明の産業上の利用分野> 本発明は、超音波モータの駆動制御装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Field of Industrial Application of the Present Invention> The present invention relates to a drive control device for an ultrasonic motor.

<従来技術と解決すべき課題> 近年、磁気発生がなく、小型でトルクが大きいことか
ら、超音波モータが各種の機器の駆動源として用いられ
ている。
<Related Art and Problems to be Solved> In recent years, since there is no generation of magnetism, the size is small, and the torque is large, an ultrasonic motor is used as a drive source of various devices.

超音波モータは、第8図に示すように、中心に回転軸
1を有する円板状の回転子2と、環状に配列された複数
の圧電体31〜3n、41〜4n、5および圧電センサ6の上面
に弾性体7が接着された固定子8とによって構成されて
いる。
Ultrasonic motor, as shown in FIG. 8, a disk-shaped rotor 2 having a rotating shaft 1 to the center, arranged in a ring plurality of piezoelectric 3 1 ~3 n, 4 1 ~4 n, 5 and a stator 8 having an elastic body 7 adhered to the upper surface of the piezoelectric sensor 6.

圧電体31〜3n、41〜4nは、極性が互い違いとなるよう
に並んでおり、第9図に示すように、左側の圧電体31
3nと右側の圧電体41〜4nに対して、圧電体の共振周波数
に近い周波数で90度位相が異なる交流信号を電極9a、9
b、10a、10bより印加すると、圧電体31〜3n、41〜4
nは、円周方向に屈曲振動し、左右の波が中間の圧電体
5を介して干渉し、第10図に示すように、弾性体7の表
面には、円周方向に沿って進行する弾性波が生じる。
The piezoelectric element 3 1 to 3 n, 4 1 to 4 n are aligned so polarities are alternately arranged, as shown in FIG. 9, left piezoelectric member 3 1 -
3 n and against the right side of the piezoelectric element 4 1 ~4 n, 90 ° phase at a frequency close to the resonant frequency of the piezoelectric body is different alternating signal electrodes 9a, 9
b, 10a, is applied from 10b, the piezoelectric 3 1 ~3 n, 4 1 ~4
n vibrates flexurally in the circumferential direction, and the left and right waves interfere with each other via the intermediate piezoelectric body 5, and as shown in FIG. 10, the surface of the elastic body 7 travels along the circumferential direction. Elastic waves are generated.

このため、弾性体7に上方から接している回転子2
は、弾性波の進行する方向と反対の方向に回転駆動され
る。
For this reason, the rotor 2 in contact with the elastic body 7 from above
Is driven to rotate in the direction opposite to the direction in which the elastic wave travels.

なお、回転子2の回転速度は、弾性波の振幅が大きい
程、弾性波の進行速度に対する遅れが少なくなり、弾性
波の振幅は、第11図の特性Aに示すように交流信号の周
波数が圧電体31〜3n、41〜4nの共振周波数F0に近い程大
きくなる。
The rotation speed of the rotor 2 is such that as the amplitude of the elastic wave increases, the delay with respect to the traveling speed of the elastic wave decreases, and the amplitude of the elastic wave decreases as shown by the characteristic A in FIG. closer to the piezoelectric element 3 1 ~3 n, 4 1 ~4 n resonant frequency F 0 of the increase.

したがって、超音波モータに対する交流信号周波数を
例えばFaからFbの範囲で可変すれば、モータ回転速度も
この周波の可変に追従して変化することになる。
Therefore, if the AC signal frequency for the ultrasonic motor is varied in the range of, for example, Fa to Fb, the motor rotation speed also changes following the variation of this frequency.

ところが、この超音波モータは、電源供給がなされて
いないときでも、固定子8の弾性体7に回転子2が圧接
しているため、起動時にいきなり共振周波数F0に近い交
流信号を印加しても、円滑に起動が起こらない場合が多
い。
However, this ultrasonic motor, even when the power supply is not performed, since the rotor 2 in the elastic body 7 of the stator 8 is pressed, by applying a sudden alternating signal close to the resonance frequency F 0 at start In many cases, startup does not occur smoothly.

このため、超音波モータの駆動制御装置では、起動時
に、交流信号の周波数を、定常回転時の周波数より高い
周波数FcからFb側へ所定速度で掃引して、低速回転から
徐々に高速回転へと円滑な起動をさせるようにしてい
る。
For this reason, in the drive control device of the ultrasonic motor, at startup, the frequency of the AC signal is swept from the frequency Fc higher than the frequency at the time of steady rotation to the Fb side at a predetermined speed, and gradually changes from low-speed rotation to high-speed rotation. I try to make it start smoothly.

しかしながら、超音波モータの共振特性は、周囲温度
によって大きく変化し、特に低温になると、第11図の常
温での特性Aは、F0より高い共振周波数F0′でカーブが
急峻な特性Bのように偏移してしまう。
However, the resonance characteristics of the ultrasonic motor greatly change depending on the ambient temperature, and especially at low temperatures, the characteristic A at normal temperature in FIG. 11 shows the characteristic B having a sharper curve at a resonance frequency F 0 ′ higher than F 0 . It shifts like this.

機械的にも低温における起動性が低い超音波モータに
対して、このような低温時に、常温時と同じ掃引速度で
起動をかけた場合、モータの動作が追い付かず、交流信
号の周波数が共振周波数を越えてしまい、起動できなか
った。
If an ultrasonic motor with low mechanical startability at low temperature is started at the same sweep speed as at room temperature at such low temperature, the operation of the motor cannot catch up, and the frequency of the AC signal becomes the resonance frequency. And could not be started.

本発明は、この課題を解決した超音波モータの駆動制
御装置を提供することを目的としている。
An object of the present invention is to provide a drive control device for an ultrasonic motor that solves this problem.

<課題を解決するための手段> 前記課題を解決するため、本発明の超音波モータの駆
動制御装置は、 起動時の交流信号の周波数掃引速度を、温度センサに
よって検出される前記超音波モータの周囲温度の高低に
応じて可変制御するようにしている。
<Means for Solving the Problems> In order to solve the above problems, a drive control apparatus for an ultrasonic motor according to the present invention includes a drive control device for an ultrasonic motor, which detects a frequency sweep speed of an AC signal at startup by a temperature sensor. Variable control is performed according to the level of the ambient temperature.

<作用> したがって、低温起動時における交流信号の周波数掃
引は、高温起動時における周波数掃引よりも遅い速度で
なされる。
<Operation> Therefore, the frequency sweep of the AC signal at the time of low temperature startup is performed at a lower speed than the frequency sweep at the time of high temperature startup.

<本発明の実施例> 以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説明する。Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第2図は、一実施例の超音波モータの駆動制御装置
(以下、駆動制御装置と記す)20の構成を示すブロック
図である。
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a drive control device (hereinafter referred to as a drive control device) 20 for an ultrasonic motor according to one embodiment.

第2図において、21は、後述するCPU30からの出力デ
ータに対応した電圧を出力するDA変換器、24は、DA変換
器21の出力電圧の変化に対して逆方向に周波数変化する
信号を発振出力するVCO(電圧制御発振器)である。
In FIG. 2, reference numeral 21 denotes a DA converter that outputs a voltage corresponding to output data from the CPU 30 described later, and 24 oscillates a signal whose frequency changes in a direction opposite to a change in the output voltage of the DA converter 21. It is a VCO (voltage controlled oscillator) to output.

23は、VCO22からの出力信号を1/4分周することによ
り、90度位相の異なる交流信号を発生する移相回路であ
る。
Reference numeral 23 denotes a phase shift circuit that generates an AC signal having a phase difference of 90 degrees by dividing the output signal from the VCO 22 by 1/4.

24、25は、移相回路23の出力を増幅して超音波モータ
Mの圧電体31〜3n、41〜4nにそれぞれ印加するドライバ
である。
24 and 25 is a driver for applying each amplify the output of the phase shift circuit 23 to the piezoelectric member 3 1 ~3 n, 4 1 ~4 n of the ultrasonic motor M.

超音波モータMの回転子2には、回転子2の回転速度
に比例した周波数のパルス信号を出力するロータリエン
コーダ26が連結されている。
A rotary encoder 26 that outputs a pulse signal having a frequency proportional to the rotation speed of the rotor 2 is connected to the rotor 2 of the ultrasonic motor M.

27は、超音波モータMの周囲温度に応じた信号を出力
する温度センサ、28は、温度センサ27の出力を受け、検
出された温度の範囲に応じて第3図に示す2ビットの温
度データを出力するAD変換器である。
27 is a temperature sensor that outputs a signal corresponding to the ambient temperature of the ultrasonic motor M, and 28 is the 2-bit temperature data shown in FIG. 3 according to the range of the detected temperature, receiving the output of the temperature sensor 27. Is an AD converter that outputs.

29は、超音波モータMの定常速度(目標速度)を設定
するための速度設定器であり、超音波モータMが目標速
度で回転するときの、ロータリエンコーダ26のパルス周
期Tが設定される。
Reference numeral 29 denotes a speed setting device for setting a steady speed (target speed) of the ultrasonic motor M, and sets a pulse period T of the rotary encoder 26 when the ultrasonic motor M rotates at the target speed.

CPU30は、第4図に示すように、AD変換器28からの温
度データに対応する係数値A1〜A4(ただし、0<A1<A2
<A3<A4)をメモリ31に記憶しており、起動信号が“H"
レベルになると、そのときの温度データに対する係数値
に基づいて、VCO22の掃引を行なって超音波モータMを
起動させる。
As shown in FIG. 4, the CPU 30 calculates the coefficient values A 1 to A 4 (where 0 <A 1 <A 2) corresponding to the temperature data from the AD converter 28.
<A 3 <A 4 ) is stored in the memory 31 and the activation signal is “H”
When the level is reached, the VCO 22 is swept to start the ultrasonic motor M based on the coefficient value for the temperature data at that time.

第1図は、CPU30の起動処理を示すフローチャートで
あり、以下、このフローチャートに従って、駆動制御装
置20の動作を説明する。
FIG. 1 is a flowchart showing the startup processing of the CPU 30, and the operation of the drive control device 20 will be described below according to this flowchart.

CPU30に対して起動信号が“H"レベルになると、AD変
換器28からの温度データに対する係数がA1〜A4のいずれ
かに決定される(ステップ1、2)。
When the activation signal goes "H" level for CPU 30, the coefficient for the temperature data from the AD converter 28 is determined to be any one of A 1 to A 4 (Step 1).

次に、DA変換器21に対する電圧データDが初期値D0
設定される(ステップ3)。
Next, voltage data D for the DA converter 21 is set to an initial value D 0 (Step 3).

このため、電圧データD0に対応した周波数(例えば第
11図のFc)の2相の交流信号が超音波モータMに印加さ
れる。
Therefore, the frequency corresponding to the voltage data D 0 (e.g. the
The two-phase AC signal of Fc) in FIG. 11 is applied to the ultrasonic motor M.

この交流信号の印加により、超音波モータMが徐々に
回転し、ロータリエンコーダ26からは、周期の長いパル
ス信号が出力され、その周期tが測定される(ステップ
4)。
The application of the AC signal causes the ultrasonic motor M to gradually rotate, and a pulse signal having a long cycle is output from the rotary encoder 26, and the cycle t is measured (step 4).

次に、測定された周期tから、予め速度設定器29に設
定された周期Tを減算した値に係数Aを乗算して得た結
果分だけ、電圧データDが増加され、新たな電圧データ
D+A(t−T)に対応した周波数の交流信号による駆
動がなされる(ステップ5)。
Next, the voltage data D is increased by a value obtained by multiplying the value obtained by subtracting the period T set in the speed setting unit 29 in advance from the measured period t by the coefficient A, and new voltage data D + A Driving is performed by an AC signal having a frequency corresponding to (t-T) (step 5).

次に2つの周期t、Tの大小比較がなされ、ロータリ
エンコーダ26の出力パルスの周期tが、設定された周期
Tより長いときは、ステップ4に戻る(ステップ6)。
以下、ロータリエンコーダ26の出力パルスの周期tが設
定周期より短かくなる、即ち、超音波モータMの回転速
度が目標速度に達するまでは、同様の処理(ステップ4
〜6)がなされる。
Next, the two periods t and T are compared in magnitude. If the period t of the output pulse of the rotary encoder 26 is longer than the set period T, the process returns to step 4 (step 6).
Hereinafter, the same processing (step 4) until the cycle t of the output pulse of the rotary encoder 26 becomes shorter than the set cycle, that is, until the rotation speed of the ultrasonic motor M reaches the target speed.
6) are performed.

このとき、電圧データの毎回の変化幅、即ち、交流信
号の周波数の変化幅は、周囲温度に対応した係数Aが小
さい程少なくなるため、低温時に起動された場合の周波
数掃引速度は高温時より遅くなり、モータ動作はこの駆
動に遅れることなく、確実に起動がなされる。
At this time, the change width of the voltage data every time, that is, the change width of the frequency of the AC signal is smaller as the coefficient A corresponding to the ambient temperature is smaller, so that the frequency sweeping speed when started at a low temperature is higher than that at a high temperature. As a result, the motor operation is reliably started without delaying this driving.

このようにして、超音波モータMが目標速度まで起動
されると、CPU30は、定速制御処理に移行する。
In this way, when the ultrasonic motor M is started up to the target speed, the CPU 30 shifts to a constant speed control process.

第5図は、この定速制御処理を示すフローチャートで
あり、起動処理後に、起動信号のレベル判定が行なわ
れ、“H"レベルのままであれば、ロータリエンコーダ26
の出力パルスの周期tが測定され、測定された周期tと
設定周期との大小比較がなされる(ステップ7〜9)。
FIG. 5 is a flowchart showing the constant speed control process. After the start-up process, the level of the start-up signal is determined.
Is measured, and the magnitude of the measured cycle t is compared with the set cycle (steps 7 to 9).

ここで、t=Tであれば、回転速度が目標速度に等し
いと判断され、ステップ8に戻り、t<Tであれば、回
転速度が目標速度より速いと判断されて、電圧データが
A・Pだけ減算更新され(Pは定数)、交流信号の周波
数が高くなる(ステップ10)。
Here, if t = T, it is determined that the rotation speed is equal to the target speed, and the process returns to step 8. If t <T, it is determined that the rotation speed is higher than the target speed, and the voltage data is A ·. The value is subtracted and updated by P (P is a constant), and the frequency of the AC signal is increased (step 10).

また、t>Tであれば、回転速度が目標速度より遅い
と判断され、電圧データがA・Pだけ加算更新され、交
流信号の周波数が低くなる(ステップ11)。
If t> T, it is determined that the rotation speed is lower than the target speed, the voltage data is added and updated by A and P, and the frequency of the AC signal decreases (step 11).

したがって、起動後の超音波モータMの回転速度は、
常に目標速度に定速制御されることになる。
Therefore, the rotation speed of the ultrasonic motor M after starting is
The constant speed control is always performed at the target speed.

<本発明の他の実施例> なお、前記実施例では、ロータリエンコーダ26の出力
パルスの周期を測定して、CPU30による速度制御を行な
っていたが、アナログ式の制御部を有する駆動制御装置
についても本発明を適用できる。
<Another embodiment of the present invention> In the above embodiment, the cycle of the output pulse of the rotary encoder 26 is measured and the speed control is performed by the CPU 30. However, a drive control device having an analog control unit is described. The present invention can also be applied.

第6図は、本発明をアナログ式の制御回路35に適用し
た場合を示す回路図である。
FIG. 6 is a circuit diagram showing a case where the present invention is applied to an analog control circuit 35.

この制御回路35では、ロータリエンコーダ26の出力パ
ルスに同期した所定幅のパルスをワンショットマルチ回
路36から出力させ、この出力を積分回路37で積分するこ
とにより、周波数電圧変換を行ない、この変換出力Va
と、可変抵抗器38からの基準電圧Vrとをアナログ加算器
39で加算した電圧V0でVCO22の発振周波数を制御するよ
うに構成されており、超音波モータMの回転速度が、目
標速度(基準電圧Vrに対応している)より速い場合は、
VCO22の発振周波数を高くし、逆に遅い場合は、VCO22の
発振周波数を低くして、常に目標速度に近づける。
In the control circuit 35, a pulse of a predetermined width synchronized with the output pulse of the rotary encoder 26 is output from the one-shot multi-circuit 36, and the output is integrated by an integration circuit 37, thereby performing frequency-voltage conversion. Va
And the reference voltage Vr from the variable resistor 38 as an analog adder
It is configured to control the oscillation frequency of the VCO 22 with the voltage V 0 added in 39, and when the rotation speed of the ultrasonic motor M is higher than the target speed (corresponding to the reference voltage Vr),
If the oscillation frequency of the VCO 22 is increased, and conversely, if it is slow, the oscillation frequency of the VCO 22 is decreased to always approach the target speed.

アナログ加算器39の入出力間に設けられたコンデンサ
C1、C2、C3は、VCO22の入力電圧V0に対する出力の応答
速度を決めるためのコンデンサであり、前記実施例の係
数A1〜A4に相当する(ただし、C1<C2<C3)。
Capacitor provided between input and output of analog adder 39
C 1 , C 2 , and C 3 are capacitors for determining the response speed of the output with respect to the input voltage V 0 of the VCO 22, and correspond to the coefficients A 1 to A 4 in the embodiment (where C 1 <C 2 <C 3).

コンデンサC2、C3の接続は、AD変換器28からの温度デ
ータの“0"でオンするスイッチ40、41によってなされ、
第7図に示すように、低温になる程、並列容量が大きく
なるように接続される。
The connection of the capacitors C 2 and C 3 is made by switches 40 and 41 which are turned on when the temperature data from the AD converter 28 is “0”,
As shown in FIG. 7, the connection is made such that the parallel capacitance increases as the temperature decreases.

したがって、例えば、−20度の低温時に、モータ起動
(電源投入時)がなされた場合、基準電圧Vrのみがアナ
ログ加算器39に加えられ、その出力は、C1+C2+C3の容
量による遅い応答速度でゆっくりと変化するため、超音
波モータMに印加される交流信号の周波数掃引速度も遅
く、モータ起動が確実になされる。
Therefore, for example, when the motor is started (when power is turned on) at a low temperature of −20 degrees, only the reference voltage Vr is applied to the analog adder 39, and the output is slow due to the capacitance of C 1 + C 2 + C 3. Since the response speed changes slowly, the frequency sweeping speed of the AC signal applied to the ultrasonic motor M is also low, and the motor is reliably started.

この起動によって、モータ回転速度が目標速度に近づ
き、ループがほぼ平衡状態となり、定速制御状態にな
る。
With this start, the motor rotation speed approaches the target speed, the loop becomes substantially equilibrium, and a constant speed control state is set.

この状態でも、積分回路37の出力電圧Vaの変化に対す
るアナログ加算器39の出力変化は、温度が低い程遅いた
め、回転速度の変化率は、全温度域にわたってほぼ均一
となる。
Even in this state, the output change of the analog adder 39 with respect to the change of the output voltage Va of the integration circuit 37 is slower as the temperature is lower, so that the rate of change of the rotation speed is almost uniform over the entire temperature range.

<本発明の効果> 以上説明したように、本発明の超音波モータの駆動制
御装置は、超音波モータに印加する交流信号の起動時に
おける周波数掃引の速度を、温度センサで検出されたモ
ータ周囲温度の高低に応じて可変できるようにしたの
で、周囲温度に関係なく常に確実なモータ起動を行なう
ことができる。
<Effects of the Present Invention> As described above, the drive control apparatus for an ultrasonic motor according to the present invention controls the speed of frequency sweeping at the time of starting an AC signal applied to the ultrasonic motor by detecting the speed around the motor detected by the temperature sensor. Since it can be changed according to the level of the temperature, the motor can always be started reliably regardless of the ambient temperature.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、本発明の一実施例の起動制御の処理手順を示
すフローチャート、第2図は、一実施例の構成を示すブ
ロック図、第3図および第4図は、一実施例の要部の動
作を説明するための対応図、第5図は、一実施例の定速
度制御の処理手順を示すフローチャートである。 第6図は、本発明の他の実施例の制御部を示す回路図、
第7図は、第6図の実施例の要部の動作を説明するため
の対応図である。 第8図は、超音波モータの構成を示す概略斜視図、第9
図は、超音波モータの要部の正面図、第10図は、超音波
モータの動作を説明するための概略図である。 第11図は、超音波モータの駆動周波数に対する弾性波振
幅の特性を示す図である。 20……超音波モータの駆動制御装置、22……VCO、23…
…移相回路、26……ロータリエンコーダ、27……温度セ
ンサ、29……速度設定器、30……CPU、M……超音波モ
ータ。
FIG. 1 is a flowchart showing a procedure of a startup control according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of the embodiment, and FIGS. FIG. 5 is a flow chart showing the processing procedure of the constant speed control of one embodiment. FIG. 6 is a circuit diagram showing a control unit according to another embodiment of the present invention,
FIG. 7 is a correspondence diagram for explaining the operation of the main part of the embodiment of FIG. FIG. 8 is a schematic perspective view showing the configuration of an ultrasonic motor, and FIG.
The figure is a front view of a main part of the ultrasonic motor, and FIG. 10 is a schematic view for explaining the operation of the ultrasonic motor. FIG. 11 is a diagram showing characteristics of an elastic wave amplitude with respect to a driving frequency of an ultrasonic motor. 20 …… Ultrasonic motor drive controller, 22 …… VCO, 23…
... Phase shift circuit, 26 ... Rotary encoder, 27 ... Temperature sensor, 29 ... Speed setting device, 30 ... CPU, M ... Ultrasonic motor.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】超音波モータに印加する交流信号の周波数
を、該超音波モータの固定子を構成する圧電体の共振周
波数方向に掃引して、該超音波モータを起動させる超音
波モータの駆動制御装置において、 前記起動時の交流信号の周波数掃引速度を、温度センサ
によって検出される前記超音波モータの周囲温度の高低
に応じて可変制御することを特徴とする超音波モータの
駆動制御装置。
1. A drive of an ultrasonic motor for starting an ultrasonic motor by sweeping a frequency of an AC signal applied to the ultrasonic motor in a resonance frequency direction of a piezoelectric body constituting a stator of the ultrasonic motor. A control device for an ultrasonic motor, wherein the control device variably controls a frequency sweep speed of the AC signal at the time of starting according to a level of an ambient temperature of the ultrasonic motor detected by a temperature sensor.
JP2261871A 1990-09-29 1990-09-29 Ultrasonic motor drive controller Expired - Fee Related JP2821807B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2261871A JP2821807B2 (en) 1990-09-29 1990-09-29 Ultrasonic motor drive controller

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2261871A JP2821807B2 (en) 1990-09-29 1990-09-29 Ultrasonic motor drive controller

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04140076A JPH04140076A (en) 1992-05-14
JP2821807B2 true JP2821807B2 (en) 1998-11-05

Family

ID=17367919

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2261871A Expired - Fee Related JP2821807B2 (en) 1990-09-29 1990-09-29 Ultrasonic motor drive controller

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2821807B2 (en)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04140076A (en) 1992-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2863280B2 (en) Driving method of ultrasonic motor
EP0693821B1 (en) A method for driving an ultrasonic motor
US6031316A (en) Vibration actuator apparatus
US9148076B2 (en) Method for driving ultrasonic motor, ultrasonic motor, and robot arm
JP2821807B2 (en) Ultrasonic motor drive controller
JP2814147B2 (en) Ultrasonic motor drive controller
JP2003021780A (en) Camera apparatus
US20020089257A1 (en) Ultrasonic-motor control system
JP2814148B2 (en) Ultrasonic motor drive controller
JP2819437B2 (en) Ultrasonic motor drive controller
JP2003033056A (en) Ultrasonic motor control circuit
JPH0461593B2 (en)
JPH09163765A (en) Driving method and driving circuit of ultrasonic motor
KR100382899B1 (en) Ultrasonic Motor Control Method and Control Device
JP2832755B2 (en) Ultrasonic motor drive controller
JPH09294384A (en) Driving controller of vibration wave driving equipment
JP3226411B2 (en) Ultrasonic motor drive circuit
JP4958342B2 (en) Ultrasonic motor control circuit
JPH02303378A (en) Driver for ultrasonic motor
JPH04251580A (en) Drive controller of ultrasonic motor
JPH04251582A (en) Drive controller of ultrasonic motor
JP2003021779A (en) Camera apparatus
JPH04140077A (en) Drive control of ultrasonic motor
JP2605333B2 (en) Ultrasonic motor drive
JPH10191661A (en) Oscillating device and apparatus provided with it

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees