JPH04140077A - Drive control of ultrasonic motor - Google Patents

Drive control of ultrasonic motor

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JPH04140077A
JPH04140077A JP2261872A JP26187290A JPH04140077A JP H04140077 A JPH04140077 A JP H04140077A JP 2261872 A JP2261872 A JP 2261872A JP 26187290 A JP26187290 A JP 26187290A JP H04140077 A JPH04140077 A JP H04140077A
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JP
Japan
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frequency
ultrasonic motor
voltage
level
motor
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JP2261872A
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Japanese (ja)
Inventor
Seishi Arama
荒間 清史
Takahito Sasaki
佐々木 孝人
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Anritsu Corp
Original Assignee
Anritsu Corp
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Publication date
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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

PURPOSE:To make a smooth start-up of a motor at all times by a method wherein the frequency of a.c. signals which are applied at the time of motor start-up is so swept that it may come near the resonance frequency of a piezoelectric body and the sweeping is stopped when the level of signals detected by a piezoelectric sensor gets larger than the specified value during sweeping. CONSTITUTION:When start up signals are inputted, the output of a start up timer 23 comes to the 'H' level. Therefore, the sweeping voltage of a start voltage Vs is inputted into VOC 30 from a voltage sweep circuit 24 and the frequency of a.c. signals applied to an ultrasonic motor M is swept toward the resonance frequency accordingly. Along with this, an elastic wave amplitude of the ultrasonic motor M increases and the level of signals detected by a piezoelectric sensor 6 increases, too. The actual rotation speed of the motor increases slowly. However, when the level of the signals detected by the piezoelectric sensor 6 exceeds a reference voltage Vr at time t2, the start-up sweep circuit 24 stops sweeping, keeping a voltage Vc inputted into the VCO 30 at a value Vp and the frequency of the a.c. signals applied to the ultrasonic motor M at a value fp.

Description

【発明の詳細な説明】 く本発明の産業上の利用分野〉 本発明は、超音波モータの駆動11J II I置に関
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Industrial Application Field of the Present Invention The present invention relates to an ultrasonic motor drive device.

く従来技術〉 近年、従来の直流モータに代えて、小型でトルクが大き
く、磁気発生のない超音波モータが多く利用されている
Prior Art> In recent years, ultrasonic motors, which are small, have large torque, and do not generate magnetism, have been widely used in place of conventional DC motors.

超音波モータは、第4図に示すように、中心に回転軸1
を有する円板状の回転子2ど、環状に配列された複数の
圧電体31〜3n 、’!11〜4n、5および圧電セ
ンサ6の上面に弾性体7が接着された固定子8とによっ
て構成されている。
As shown in Fig. 4, the ultrasonic motor has a rotating shaft 1 at the center.
A disk-shaped rotor 2 having a plurality of piezoelectric bodies 31 to 3n arranged in an annular shape,'! 11 to 4n, 5 and a stator 8 having an elastic body 7 adhered to the upper surface of the piezoelectric sensor 6.

圧電体31〜3n 、41〜4nは、極性が互い違いと
なるように並んでおり、第5図に示すように、左側の圧
電体31〜3nと右側の圧電体41〜4nに対して、圧
電体の共振周波数に近い周波数で90度位相が興なる交
流信号を電極9a、9b、10a、10bより印加する
と、圧電体3】〜3n 、41〜4nは円周方向に屈曲
振動し、左右の波が中間の圧電体5を介して干渉し、第
6図に示すように、弾性体7の表面には、円周方向に沿
って進行する弾性波が生じる。
The piezoelectric bodies 31 to 3n and 41 to 4n are arranged so that their polarities are alternated, and as shown in FIG. When an AC signal with a 90 degree phase at a frequency close to the resonance frequency of the body is applied from the electrodes 9a, 9b, 10a, 10b, the piezoelectric bodies 3] to 3n and 41 to 4n bend and vibrate in the circumferential direction, causing left and right vibrations. The waves interfere through the intermediate piezoelectric body 5, and as shown in FIG. 6, an elastic wave is generated on the surface of the elastic body 7 that travels along the circumferential direction.

このため、弾性体7に上方から圧接している回転子2は
、弾性波の進行する方向と反対の方向に回転駆動される
Therefore, the rotor 2, which is in pressure contact with the elastic body 7 from above, is driven to rotate in a direction opposite to the direction in which the elastic waves travel.

なお、回転子20回転速度は、弾性波の振幅が大きい程
、弾性波の進行速度に対する理れが少なくなって速くな
り、弾性波の振幅は、第7図に示すように、印加される
交流信号の周波数が圧電体31〜3n141〜4nの共
振周波数fOに近い程大きくなる。
Note that the rotation speed of the rotor 20 becomes faster as the amplitude of the elastic wave becomes larger, as the speed of the elastic wave becomes less dependent on the traveling speed of the elastic wave.As shown in FIG. The closer the frequency of the signal is to the resonance frequency fO of the piezoelectric bodies 31-3n141-4n, the higher it becomes.

したがって、第8図に示す駆動制御装置のように、可変
抵抗器11の電圧Vcに比例した周波数で発振する電圧
制御発振器(VCO)12からの信号を、移相113で
90度位相が異なる交流信号にして超音波モータMの圧
電体31〜3n、41〜4nに印加するように構成すれ
ば、電圧Vcの値に応じた回転速度で超音波モータMを
回転させることができる。
Therefore, as in the drive control device shown in FIG. If the signal is applied as a signal to the piezoelectric bodies 31 to 3n and 41 to 4n of the ultrasonic motor M, the ultrasonic motor M can be rotated at a rotational speed corresponding to the value of the voltage Vc.

なお、超音波モータMに印加される交流信号の周波数は
、一般に第7図の共振周波数fOより高い方のfj”f
2の周波数範囲が用いられており。
Note that the frequency of the AC signal applied to the ultrasonic motor M is generally fj"f, which is higher than the resonance frequency fO in FIG.
Two frequency ranges are used.

電圧VCを高くすると交流信号の周波数が高くなってモ
ータの回転速度は遅くなり、逆に電圧VCを低くすれば
回転速度は速くなる。
If the voltage VC is increased, the frequency of the alternating current signal becomes higher, and the rotational speed of the motor becomes slower. Conversely, if the voltage VC is lowered, the rotational speed becomes faster.

く解決しようとする課題〉 しかしながら、前記のような駆動制御[IH置で超音波
モータMを起動する場合、定常周波数の回転速度に対応
した電圧でいきなり起動させることは、モータ寿命を知
かくし、モータに駆動される機械系の円滑な動きを妨げ
る場合がある。
Problems to be Solved> However, when starting the ultrasonic motor M in an IH setting using the drive control described above, suddenly starting it with a voltage corresponding to the rotation speed of the steady frequency will shorten the life of the motor. This may interfere with the smooth movement of the mechanical system driven by the motor.

このため、モータ起動時には、電圧VCを高い値から低
い値へ変化させて、超音波モータMを遅い回転速度で起
動して、徐々に速くしていく方法が考えられる。
Therefore, when starting the motor, a method can be considered in which the voltage VC is changed from a high value to a low value to start the ultrasonic motor M at a slow rotational speed and gradually increase the rotational speed.

ところが、超音波モータMは、前述したように回転子2
が固定子8に圧接しているため、回転子2が弾性体7表
面にくい込んでしまう状態がケじ、この状態からモータ
起動した場合、印加する交流信号の周波数変化の速度に
対するモータ回転速度の追従が極端に遅れてしまう。
However, the ultrasonic motor M has a rotor 2 as described above.
Since the rotor 2 is in pressure contact with the stator 8, the state in which the rotor 2 is buried in the surface of the elastic body 7 is inevitable. When the motor is started from this state, the motor rotation speed is Tracking is extremely slow.

このため、印加する交流信号の周波数が圧電体の共振周
波数f、以下となる範囲まで電圧VCの可変がなされて
しまい、モータを起動させることができなくなる。
For this reason, the voltage VC is varied to the extent that the frequency of the applied alternating current signal is equal to or less than the resonant frequency f of the piezoelectric body, making it impossible to start the motor.

この場合、再び交流信号の周波数を、共振周波数fOよ
り高い所定周波数へ戻して、起動をやり直すという煩雑
な作業や制御が必要となる。
In this case, the complicated work and control of returning the frequency of the alternating current signal to a predetermined frequency higher than the resonant frequency fO and starting again is required.

本発明は、この課題を解決した超音波モータの駆動制御
装置を提供することを目的としている。
An object of the present invention is to provide a drive control device for an ultrasonic motor that solves this problem.

<1!題を解決するための手段〉 前記課題を解決するため、本発明の超音波モータの駆動
制御@置は、 圧電体に印加される交流信号で生じた弾性波により回転
駆動され、弾性波振動を検出する圧電センサを有する超
音波モータを、周波数が可変できる交流信号で駆動する
超音波モータの駆動制御装置において、 超音波モータの起!lJ時に、交流信号の周波数を圧電
体の共振周波数方向に掃引する起動掃引手段と、 圧電センサからの信号レベルを検出するレベル検出器と
、 レベル検出器で検出された信号レベルが、交流信号の掃
引中に所定値より大きくなったことを検知する比較器と
、 比較器からの検知信号を受け、起動線引手段による交流
信号の周波数の究明を視制する線引規制手段とを備えて
いる。
<1! Means for Solving the Problem> In order to solve the above problem, the drive control @ of the ultrasonic motor of the present invention is as follows. In an ultrasonic motor drive control device that drives an ultrasonic motor with a piezoelectric sensor for detection using an alternating current signal whose frequency can be varied, the ultrasonic motor starts! At 1J, a starting sweep means sweeps the frequency of the AC signal in the direction of the resonant frequency of the piezoelectric body, a level detector detects the signal level from the piezoelectric sensor, and the signal level detected by the level detector is set to the AC signal. It is equipped with a comparator that detects when the frequency becomes larger than a predetermined value during sweeping, and a line-drawing regulating means that receives the detection signal from the comparator and visually controls the investigation of the frequency of the AC signal by the starting line-drawing means. .

く作用〉 したがって、モータ起動時に、印加される交流信号の周
波数が、圧電体の共振周波数方向に掃引され、この掃引
中に、圧電センサから検出された信号レベルが、所定値
より大きくなると、この揺引が短詞される。
Therefore, when starting the motor, the frequency of the applied AC signal is swept in the direction of the resonant frequency of the piezoelectric body, and during this sweep, if the signal level detected from the piezoelectric sensor becomes larger than a predetermined value, this Yuibiki is abbreviated.

〈本発明の実施例〉 以下、図面に基づいて、本発明の一実施例を説明する。<Example of the present invention> Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on the drawings.

第1図は、本発明の一実施例の超音波モータの駆動側w
J装@(以下、駆動制御l装置と略記する)2oの構成
を示すブロック図である。
FIG. 1 shows the drive side w of an ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of a J device (hereinafter abbreviated as a drive control device) 2o.

第1図において、21は、超音波モータMの起動後の回
転速度を設定するスピード設定回路であり、設定速度に
対応した電圧Vaを出力する。
In FIG. 1, 21 is a speed setting circuit that sets the rotational speed of the ultrasonic motor M after starting, and outputs a voltage Va corresponding to the set speed.

22は起動掃引回路であり、起動信号を受けると“H”
レベルのタイマ信号を所定時間■出力する起動タイマ2
3と、伴用制御スイッチ25を介してタイマ信号を受け
ている間、所定のスタート電圧VSから所定速度で低下
する掃引電圧vbを出力する電圧掃引回路24で構成さ
れている。
22 is a startup sweep circuit, which turns “H” upon receiving a startup signal.
Start-up timer 2 that outputs a level timer signal for a predetermined time
3, and a voltage sweep circuit 24 that outputs a sweep voltage vb that decreases at a predetermined speed from a predetermined start voltage VS while receiving a timer signal via the companion control switch 25.

このスタート電圧Vsは、印加する交流信号の周波数が
第7図に示した周波数f2より高い周波数fsとなる電
圧に予め設定されている。
This start voltage Vs is preset to a voltage at which the frequency of the applied AC signal becomes a frequency fs higher than the frequency f2 shown in FIG. 7.

26は、スピード設定回路21の電圧Vaと電圧掃引回
路24の掃引電圧vbのいずれかを、■co3oに対す
る制wJ電圧VCとして選択する切換スイッチであり、
タイマ信号が“H″レベル間は、出力電圧vbを選択し
、“L″レベル間は、出力電圧Vaを選択する。
26 is a changeover switch that selects either the voltage Va of the speed setting circuit 21 or the sweep voltage Vb of the voltage sweep circuit 24 as the control wJ voltage VC for co3o;
While the timer signal is at "H" level, the output voltage vb is selected, and while the timer signal is at "L" level, the output voltage Va is selected.

VCO30は、入力される制御ip雷電圧aの変化に比
例して周波数変化するパルス信号を移相回路31へ出力
する。
The VCO 30 outputs to the phase shift circuit 31 a pulse signal whose frequency changes in proportion to a change in the input control IP lightning voltage a.

移相回路31は、入力されたパルス信号を1/4分周す
ることにより、90度位相の興なる2相信号を出力する
The phase shift circuit 31 divides the frequency of the input pulse signal by 1/4 and outputs a two-phase signal with a 90-degree phase.

32.33は、2相信号によってトランス34.35の
一次コイル34a、35aを電流駆動するドライバであ
り、トランス34.35の2次コイル34b、35bで
所定の電圧まで電圧された2相の交流信号は、超音波モ
ータMの各圧電体31〜3n、41〜4nに出力されて
いる。
32.33 is a driver that drives the primary coils 34a, 35a of the transformer 34.35 with current using a two-phase signal, and the secondary coils 34b, 35b of the transformer 34.35 drive the two-phase alternating current to a predetermined voltage. The signal is output to each piezoelectric body 31-3n, 41-4n of the ultrasonic motor M.

4oは、超音波モータMの圧電センサ6で検出される信
号のレベルを検出するレベル検出回路、41は、レベル
検出回路40で検出されるレベルが所定の基準電圧V「
より大きいとき、“H″レベル信号を出力するコンパレ
ータである。
4o is a level detection circuit that detects the level of the signal detected by the piezoelectric sensor 6 of the ultrasonic motor M, and 41 is a level detection circuit that detects the level detected by the level detection circuit 40 at a predetermined reference voltage V.
This is a comparator that outputs an "H" level signal when the signal is larger than the current value.

このコンパレータ41の“H″レベル出力、起動掃引回
路22の掃引制卸スイッチ25をオフさせ、電圧掃引回
路24の掃引を停止させる。
The "H" level output of this comparator 41 turns off the sweep control switch 25 of the startup sweep circuit 22, and the sweep of the voltage sweep circuit 24 is stopped.

42は、コンパレータ41に基準電圧Vrを出力する基
準電圧発生器であり、超音波モータMが、スピード設定
回路21から出力される電圧Vaに対応した移相器31
の出力周波数で定常回転しているときのレベル検出回路
40の出力レベルより、僅かに高い基準電圧Vrを常に
出力する。
42 is a reference voltage generator that outputs a reference voltage Vr to the comparator 41, and the ultrasonic motor M is connected to a phase shifter 31 corresponding to the voltage Va output from the speed setting circuit 21.
It always outputs a reference voltage Vr that is slightly higher than the output level of the level detection circuit 40 when it is rotating steadily at an output frequency of .

次にこの駆動制御1装置の動作について説明する。Next, the operation of this drive control 1 device will be explained.

第2図の(a)に示す起動信号がt1時に入力されると
、起動タイマ23の出力が同図の(b)に示すように1
時間“Hルーベルとなる。
When the activation signal shown in (a) of FIG. 2 is input at time t1, the output of the activation timer 23 becomes 1 as shown in (b) of the same figure.
Time becomes “H Rubel”.

このため、VOC30には、同図の(C)に示すように
、スタート電圧VSの掃引電圧が電圧掃引回路24から
入力され、超音波モータMに印加される交流信号の周波
数も、この電圧罫引に対応して、同図の(d)に示すよ
うに周波数fsから共振周波数方向へ掃引される。
Therefore, as shown in FIG. In response to the pull, the frequency is swept from the frequency fs in the direction of the resonance frequency, as shown in (d) of the figure.

この周波数掃引にともなって、超音波モータMの弾性波
振幅は増大し、圧電センサ6からの検出信号のレベルも
同図の(e)に示すように増大する。
Along with this frequency sweep, the elastic wave amplitude of the ultrasonic motor M increases, and the level of the detection signal from the piezoelectric sensor 6 also increases as shown in (e) of the figure.

このレベル増大に対して、実際のモータ回転速度は、回
転子2と固定子8の圧接状態により、同図の(f)に示
すように緩慢に増加するが、t2時に圧電センサ6から
の検出信号のレベルが基準電圧V「を越えると、起動掃
引回路24の掃引が停止し、VCO30に入力される電
圧VCは、■pで保持され、超音波モータMに印加され
る交流信号の周波数もfpで保持される。
In response to this level increase, the actual motor rotation speed increases slowly as shown in (f) in the figure due to the pressure contact state of the rotor 2 and stator 8. When the level of the signal exceeds the reference voltage V', the sweep of the startup sweep circuit 24 is stopped, the voltage VC input to the VCO 30 is held at ■p, and the frequency of the AC signal applied to the ultrasonic motor M also increases. It is held in fp.

この状態は、起動タイマ22のタイマ時間中継続するが
、この間に、超音波モータMの回転速度は、交流信号の
周波数fpに対応した速度Spに遠し、タイマ時間が終
了する13時には、スピード設定回路21からの電圧■
aに対応した周波数(fpより優かに高い周波数)の交
流信号が印加される。
This state continues during the timer time of the startup timer 22, but during this time, the rotational speed of the ultrasonic motor M approaches the speed Sp corresponding to the frequency fp of the AC signal, and at 13:00 when the timer time ends, the rotational speed of the ultrasonic motor M approaches the speed Sp. Voltage from setting circuit 21■
An alternating current signal of a frequency corresponding to a (frequency much higher than fp) is applied.

したがって、超音波モータMの回転速度は、優かに遅く
なり、電圧■aに対応した速度Saとなる。
Therefore, the rotational speed of the ultrasonic motor M becomes slightly slower, reaching a speed Sa corresponding to the voltage (a).

このように定常回転している状態でスピード設定回路2
1の出力型Eを可変すれば、モータ回転速度は、この電
圧の可変に追従して円滑に変化する。
In this state of steady rotation, the speed setting circuit 2
If the first output type E is varied, the motor rotational speed will smoothly change following the variation of this voltage.

なお、定常回転に移行したときは、常に超音波モータM
の回転速度が優かに遅くなるため、レベル検出回路40
からのレベルが基準電圧■「を越えることがなく、起動
状態に戻る恐れはない。
In addition, when shifting to steady rotation, the ultrasonic motor M
Since the rotation speed of the level detection circuit 40 becomes slightly slower, the level detection circuit 40
The level from the voltage will not exceed the reference voltage, and there is no risk of returning to the activated state.

く本発明の他の実施例〉 なお、前記実施例では、定常回転時のモータ回転速度を
可変できる駆動制′a装置について説明したが、定常時
のモータ回転速度が固定である場合は、基準電圧■「を
スピード設定回路21の設定電圧に連動させる必要はな
い。
Other Embodiments of the Present Invention In the above embodiments, a drive control device that can vary the motor rotation speed during steady rotation has been described. However, if the motor rotation speed during steady rotation is fixed, the standard There is no need to link the voltage "■" to the set voltage of the speed setting circuit 21.

また、前記実施例では、起動タイマにより起動時間を設
定するようにしていたが、第3図に示すように、コンパ
レータ41への基準電圧■「として、所望の定常回転速
度時の検出レベルに等しい電圧Vr−をスピード設定口
M21’から出力させ、起動信号でセットされるフリッ
プフロップ45の出力により電圧掃引回路24の掃引を
制縄するようにしてもよい。
In addition, in the above embodiment, the startup time was set by the startup timer, but as shown in FIG. The voltage Vr- may be output from the speed setting port M21', and the sweep of the voltage sweep circuit 24 may be controlled by the output of the flip-flop 45 set by the activation signal.

この場合、前記実施例のように定常回転中に速度の変更
はできないが、コンパレータ41出力の立上りでフリッ
プフロップ45をリセットするように構成すれば、交流
信号の周波数は、所望の回転速度を与える周波数まで掃
引されて固定されるため、回転子の回転起動が極端に遅
い場合にも対応することができる。
In this case, the speed cannot be changed during steady rotation as in the above embodiment, but if the flip-flop 45 is configured to be reset at the rise of the output of the comparator 41, the frequency of the AC signal will give the desired rotation speed. Since the frequency is swept and fixed, it is possible to cope with cases where the rotation start of the rotor is extremely slow.

く本発明の効果〉 本発明の超音波モータの駆動側′a装置は、前記説明の
ように、モータ起動時に、印加する交流信号の周波数を
、圧電体の共振周波数に近づけるように掃引し、この掃
引中に圧電センサからの検出信号のレベルが所定値より
大きくなると、この掃引を規制するように構成されてい
るため、掃引過剰によるモータ起動の失敗がなく、常に
円滑な起動を行なうことができる。
Effects of the Present Invention> As described above, the ultrasonic motor drive side 'a device of the present invention sweeps the frequency of the applied alternating current signal so as to approach the resonant frequency of the piezoelectric body when starting the motor, If the level of the detection signal from the piezoelectric sensor becomes higher than a predetermined value during this sweep, this sweep is regulated, so there is no failure to start the motor due to excessive sweeping, and smooth startup is always possible. can.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明の一実施例の構成を示すブロック図、
第2図は、一実施例の動作を説明するためのタイミング
図、第3図は、本発明の他の実施例の構成を示すブロッ
ク図である。 第4図は、超音波モータの構成を示す斜視図、第5図は
、超音波モータの要部の正面図、第6図は、超音波モー
タの動作を説明するための概略図、第7図は、超音波モ
ータの印加周波数に対する弾性波振幅の変化を示す特性
図、第8図は、従来装置の構成を示すブロック図である
。 M・・・・・・超音波モータ、33〜3n、4r〜4n
・・・・・・圧電体、6・・・・・・圧電センサ、7・
・・・・・弾性体、2o・・・・・・超音波モータの駆
動制御l装置、21・・・・・・スピード設定回路、2
2・・・・・・起動掃引回路、23・・・・・・起動タ
イマ、24・・・・・・電圧掃引回路、25・・・・・
・掃引制御スイッチ、26・・・・・・切換スイッチ、
30・・・・・・■C0131・・・・・・移相回路、
40・・・・・・レベル検出回路、41・・・・・・コ
ンパレータ、42・・・・・・1準電圧発生器。 第4 図 第5図 第6図 第7図 第8 図 手続補正書(自発) 平成2年12月3日 特許庁長官 柚 松   敏 殿 1、事件の表示 平成2年 特許願 第261872号 2、発明の名称  超音波モータの駆動制御装置3、補
正をする者 事件との関係  特許出願人 住所 東京都港区南麻布5丁目10番27号名称 (0
57)アンリツ株式会社 代表者  菅 居 紳 至 4、代理人〒141  電話490−4516住所 東
京部品用区大崎1−17−5 6、補正の内容
FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a timing diagram for explaining the operation of one embodiment, and FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of the ultrasonic motor, FIG. 5 is a front view of the main parts of the ultrasonic motor, FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the operation of the ultrasonic motor, and FIG. The figure is a characteristic diagram showing changes in elastic wave amplitude with respect to the applied frequency of an ultrasonic motor, and FIG. 8 is a block diagram showing the configuration of a conventional device. M... Ultrasonic motor, 33~3n, 4r~4n
...Piezoelectric body, 6...Piezoelectric sensor, 7.
...Elastic body, 2o...Ultrasonic motor drive control device, 21...Speed setting circuit, 2
2... Start sweep circuit, 23... Start timer, 24... Voltage sweep circuit, 25...
・Sweep control switch, 26...changeover switch,
30...■C0131... Phase shift circuit,
40...Level detection circuit, 41...Comparator, 42...1 quasi-voltage generator. Figure 4 Figure 5 Figure 6 Figure 7 Figure 8 Procedural amendment (voluntary) December 3, 1990 Director General of the Patent Office Toshi Yuzu 1, Indication of the case 1990 Patent Application No. 261872 2, Title of the invention: Ultrasonic motor drive control device 3, relationship with the person making the amendment case Patent applicant address: 5-10-27 Minami-Azabu, Minato-ku, Tokyo Name (0
57) Anritsu Corporation Representative: Shinto Sugai 4, Agent: 141 Telephone: 490-4516 Address: 1-17-5 Osaki, Parts Ward, Tokyo 6. Contents of amendment

Claims (1)

【特許請求の範囲】  圧電体に印加される交流信号で生じた弾性波により回
転駆動され、前記弾性波振動を検出する圧電センサを有
する超音波モータを、周波数が可変できる交流信号で駆
動する超音波モータの駆動制御装置において、 前記超音波モータの起動時に、前記交流信号の周波数を
前記圧電体の共振周波数方向に掃引する起動掃引手段と
、 前記圧電センサからの信号レベルを検出するレベル検出
器と、 前記レベル検出器で検出された信号レベルが、前記交流
信号の掃引中に所定値より大きくなつたことを検知する
比較器と、 前記比較器からの検知信号を受け、前記起動掃引手段に
よる前記交流信号の周波数の掃引を規制する掃引規制手
段とを備えたことを特徴とする超音波モータの駆動制御
装置。
[Scope of Claims] An ultrasonic motor that is rotationally driven by an elastic wave generated by an alternating current signal applied to a piezoelectric body and has a piezoelectric sensor that detects the elastic wave vibration is driven by an alternating current signal whose frequency can be varied. In the drive control device for a sonic motor, the ultrasonic motor includes: a starting sweep means for sweeping the frequency of the alternating current signal in the direction of the resonance frequency of the piezoelectric body when starting the ultrasonic motor; and a level detector for detecting the signal level from the piezoelectric sensor. and a comparator for detecting that the signal level detected by the level detector becomes larger than a predetermined value during the sweep of the alternating current signal; A drive control device for an ultrasonic motor, comprising: a sweep regulating means for regulating the frequency sweep of the alternating current signal.
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