JP2815941B2 - 光起電力装置 - Google Patents

光起電力装置

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    • Y02E10/548Amorphous silicon PV cells

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Description

【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、複数個の単位発電素子を積層した光起電力
装置に関する。
(ロ)従来に技術 特開昭55−125680号公報等に示された如く、pin、pn-
n+等の半導体接合を有する単位発電素子を2重、3重の
多重に積層した、所謂タンデム構造の光起電力装置は、
既に知られている。このようなタンデム構造の光起電力
装置にあっては、光入射側から見て前段の単位発電素子
において発電に寄与することなく透過した光を、後段の
単位発電素子において吸収し、有効に利用することがで
きるので、入射光の利用効率を高め、トータル的な光電
変換効率の向上を図ることができる。
こうした光起電力装置においては、隣り合う単位発電
素子間の半導体接合が各単位発電素子内の接合と逆接合
となるため、光電変換動作により発生した光キャリアの
移動が阻害され、電流損失を招いてしまう。
そこで、米国特許第4,272,641号明細書並びに図面に
開示された光起電力装置にあっては、逆接合を構成する
単位発電素子の不純物層のドープ量を高くすることが示
唆されると共に、隣り合う単位発電素子間にPtSiO2サー
メットやPt等の高仕事関数の金属層を配挿する構造が開
示されている。
斯る構造によれば、金属層と接する単位発電素子の不
純物層の厚みを厚くすることが必要不可欠となってお
り、上記米国特許によれば、n型層の厚みを約450Åと
している。
(ハ)発明が解決しようとする課題 ところが、光キャリアの発生にほとんど寄与しないn
型層を厚くすることは、このn型層の後段に位置する単
位発電素子への光入射を遮ることになる。よって、入射
光の利用効率は低下し、タンデム構造の採用による光電
変換効率の向上も望めなくなってしまう。
そこで、本発明の目的は、入射光の利用効率を低下さ
せることなく、単位発電素子間の接合特性を向上させる
ことにある。
(ニ)課題を解決するための手段 本発明は、複数個の単位発電素子を積層した光起電力
装置において、隣り合う単位発電素子の間に、周期律表
III族またはV族の元素からなる膜厚0.1〜0.5原子層の
境界層を配挿したことを特徴とする。
(ホ)作用 本発明のよれば、単位発電素子の境界に配挿された境
界層が、単位発電素子の境界の接合特性を向上させる。
(ヘ)実施例 第1図は本発明の第1の形態の実施例を示す概略的断
面図であり、ガラス、耐熱プラスチック等の透光性材料
からなる支持基板1上に形成されたITO、SnO2等の透光
性導電酸化物からなる透明電極2の上に、p型層3p、i
型層3i及びn型層3nから構成される第1単位発電素子3
と、p型層4p、i型層4i及びn型層4nから構成される第
2単位発電素子4とを順次積層形成した構成である。更
に、本発明の特徴として、第1単位発電素子3と第2単
位発電素子4との間に周期律表III族またはV族の元素
から成る境界層5を配挿している。
尚、第2単位発電素子4の背面側には、金属電極6が
形成されている。
第1表は第1の形態の実施例における第1具体例及び
第2具体例の形成条件を示している。同表から分かるよ
うに、各具体例の境界層5は、第1具体例においてP原
子からなり、また第2具体例においてB原子からなって
いる。更に、境界層5の膜厚は0.2原子層である。
ここで、1原子層とは、ある平面の全面に単原子の層
の一層分が存在することを示し、0.2原子層とは、平均
して、ある平面の20%の面に、単原子の層の一層分が存
在することを表す。一般的に言えば、m原子層(0<m
≦1)とは、平均して、ある平面のm×100%の面に、
単原子の層の一層分が存在することを示す。
また、第2表は比較例としての境界層5のない光起電
力装置の形成条件を示している。
一方、第2図は本発明の第2の形態の実施例を示す概
略的断面図であり、この実施例は、上述の第1の形態の
実施例におけるn型層3nに相当するn型層30nが、周期
律表V族の元素からなる層31とノンドープの非晶質シリ
コンからなる層32との多層構造(本実施例では4層構
造)からなっている点に特徴とする。
更に、第3図は本発明の第3の形態の実施例を示す概
略的断面図であり、この実施例は、上述の第1の形態の
実施例におけるp型層4に相当するp型層40pが、ノン
ドープの非晶質シリコンからなる層41と周期律表III族
の元素からなる層42との多層構造(本実施例では4層構
造)からなっている点に特徴としている。
なお、これら第2及び第3の形態の実施例において、
n型層30n及びp型層40p以外の構成は第1の形態の実施
例と同一であり、同番号を付して説明を省略する。
第3表は第2及び第3の形態の実施例に対する第3具
体例のn型層30nの層31、32及び第4具体例のp型層40p
の層41、42の形成条件を示す。尚、これら第3及び第4
具体例の他の層の形成条件は、第1及び第2具体例と全
く同じである。
第4表は、本発明の光起電力装置の第1乃至第4具体
例及び従来の光起電力装置の比較例の開放電圧(Vo
c)、短絡電流(Isc)、曲線因子(F.F.)及び変換効率
(η)の測定結果を示している。
第4表から明らかなように、本発明によれば、単位発
電素子3と4との間に境界層5を配挿したので、各発電
素子3及び4間に良好な接合特性が得られ、開放電圧の
向上を図ることができる。
また、第1実施例では単位発電素子3のn型層3nのド
ープ量及び膜厚を、また第2実施例では単位発電素子4
のp型層4pのドープ量及び膜厚を、夫々比較例に比して
減らしてこれら各層における光吸収を減少させることが
でき、単位発電素子4のi型層4iへの入射光量を増大さ
せ、短絡電流の改善を図ることができる。
更に、第3及び第4具体例においては、上述の第1及
び第2具体例における効果が大きくなっており、開放電
圧の向上及び短絡電流の改善をより一層図ることがで
き、優れた変換効率を得ることができる。
ところで、上記各具体例においては、境界層5の膜厚
は、0.2原子層に限定されるものでない。但し、薄すぎ
ると効果がなく、また厚すぎると層内欠陥による悪影響
や境界層での光吸収が増大する。従って、0.1〜0.5原子
層とすることが好ましい。
また、境界層5としてはP原子に代えてAs、Sbを、ま
たB原子に代えてAl、Ga、Inを用いてもよい。
更に、境界層5として、上述の実施例では周期率表II
I族またはV族の元素からなる1つの層を形成しただけ
であるが、n型層3nと接する側に周期律表V属の元素か
ら成る層を、及びp形層4pと接する側に周期律表III族
からなる層を形成する構成としてもよい。
(ト)発明の効果 本発明は、複数の単位発電素子を積層した光起電力装
置において、隣り合う単位発電素子の間に、少なくとも
周期律表III族またはV族の元素からなる膜厚0.1〜0.5
原子層の境界層を配挿したことを特徴とするので、単位
発電素子の境界部の接合特性を改善することができ、装
置の出力特性を大きく向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第3図は、夫々本発明の実施例を示す概略的
断面図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−91974(JP,A) 特開 昭61−183974(JP,A) 特開 昭62−51272(JP,A) 特開 昭62−112383(JP,A) 特開 昭64−77180(JP,A) 特開 平1−100976(JP,A) 実開 昭63−50149(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 31/04

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数個の単位発電素子を積層した光起電力
    装置において、隣り合う単位発電素子の間に、周期律表
    IIIまたはV族の元素からなる膜厚0.1〜0.5原子層の境
    界層を配挿したことを特徴とする光起電力装置。
  2. 【請求項2】上記単位発電素子は非晶質シリコンを主体
    としたことを特徴とする請求項1記載の光起電力装置。
  3. 【請求項3】上記境界層と隣り合う単位発電素子の不純
    物層の少なくとも一方は、周期律表III属またはV族か
    らなる層と非晶質シリコンからなる層との多層構造であ
    ることを特徴とする請求項2記載の光起電力装置。
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