JP2799629B2 - Manufacturing method of color filter - Google Patents

Manufacturing method of color filter

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JP2799629B2
JP2799629B2 JP21162590A JP21162590A JP2799629B2 JP 2799629 B2 JP2799629 B2 JP 2799629B2 JP 21162590 A JP21162590 A JP 21162590A JP 21162590 A JP21162590 A JP 21162590A JP 2799629 B2 JP2799629 B2 JP 2799629B2
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colored
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【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はカラーフィルターの製造方法に関し、特に着
色樹脂を使用してカラーディスプレイ用のカラーフィル
ターを形成する際の現像方法に関する。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a color filter, and more particularly to a developing method for forming a color filter for a color display using a colored resin.

[従来の技術] 従来、カラーフィルターとしては、基板上にゼラチ
ン、カゼイン、グリューあるいはポリビニルアルコール
などの親水性高分子物質からなる媒染層を設け、その媒
染層を色素で染色して着色層を形成する染色カラーフィ
ルターが知られている。
[Prior art] Conventionally, as a color filter, a mordant layer made of a hydrophilic polymer substance such as gelatin, casein, glue or polyvinyl alcohol is provided on a substrate, and the mordant layer is dyed with a dye to form a colored layer. Staining color filters are known.

このような染色法では、使用可能な染料が多くカラー
フィルターとして要求される分光特性への対応が比較的
容易であるが、媒染層の染色工程に、染料を溶解させた
染色浴中に媒染層を浸漬するというコントロールの難し
い湿式工程を採用しており、また各色毎に防染用の中間
層を設けるという複雑な工程を有するため歩留りが悪く
なる欠点を有している。また、染色可能な色素の耐熱性
が150℃程度以下と比較的低く、該フィルターに熱的処
理を必要とする場合には、使用が困難である上、染色膜
自体の耐熱性、耐光性等の信頼性が劣るという欠点も有
している。
In such a dyeing method, there are many usable dyes and it is relatively easy to cope with the spectral characteristics required as a color filter.However, in the dyeing process of the mordant layer, the mordant layer is dissolved in a dye bath in which the dye is dissolved. This method has a drawback that the yield is poor because a wet process which is difficult to control such as immersion is used, and a complicated process of providing an intermediate layer for resist printing for each color is involved. In addition, the heat resistance of the dye that can be dyed is relatively low at about 150 ° C. or less, and when the filter requires thermal treatment, it is difficult to use, and the heat resistance and light resistance of the dyed film itself are difficult. Also has the drawback of poor reliability.

これに対し、従来、ある種の着色材料が透明樹脂中に
分散されてなる着色樹脂を用いたカラーフィルターが知
られている。
On the other hand, conventionally, a color filter using a coloring resin in which a certain coloring material is dispersed in a transparent resin is known.

例えば、特開昭58−46325号公報,特開昭60−78401号
公報,特開昭60−184202号公報,特開昭60−184203号公
報,特開昭60−184204号公報,特開昭60−184205号公報
等に示されている様に、ポリアミノ系樹脂に着色材料を
混合した着色樹脂膜を用いることを特徴とするカラーフ
ィルターによれば、該ポリアミノ系樹脂自体は、耐熱
性、耐光性等の特性に優れたものであるが、非感光性樹
脂であるためカラーフィルターのパターン形成には、微
細パターンに不利な印刷による方法、あるいは着色樹脂
膜上にレジストによるマスクを設けた後に、該着色樹脂
膜をエッチングするという製造工程の煩雑な方法をとら
なければならなかった。
For example, JP-A-58-46325, JP-A-60-78401, JP-A-60-184202, JP-A-60-184203, JP-A-60-184204, and JP-A-60-184204 According to a color filter characterized by using a colored resin film in which a coloring material is mixed with a polyamino resin, the polyamino resin itself has heat resistance and light resistance as shown in JP-A-60-184205. Although it is excellent in properties such as properties, the pattern formation of the color filter because it is a non-photosensitive resin, a method by printing that is disadvantageous to the fine pattern, or after providing a resist mask on the colored resin film, The complicated process of the manufacturing process of etching the colored resin film had to be taken.

一方、特開昭57−16407号公報,特開昭57−74707号公
報,特開昭60−129707号公報等に示されている様に、感
光性樹脂に着色材料を混合した着色樹脂膜を用いること
を特徴とするカラーフィルターによれば、カラーフィル
ターの製造方法によっては一般的なフォトリソ工程のみ
で微細パターン化でき、工程の簡素化は可能となる。
On the other hand, as shown in JP-A-57-16407, JP-A-57-74707, JP-A-60-129707, etc., a colored resin film obtained by mixing a coloring material with a photosensitive resin is used. According to the color filter characterized in that it is used, a fine pattern can be formed only by a general photolithography process depending on the method of manufacturing the color filter, and the process can be simplified.

しかし、この様な感光性樹脂に着色材料を混合した着
色樹脂を用いてカラーフィルターを形成する場合、一般
に露光波長域における着色材料自体の光吸収があるた
め、感光性樹脂の光硬化に必要な露光エネルギーは通常
よりかなり大きなものとなる。
However, when a color filter is formed using a coloring resin obtained by mixing a coloring material with such a photosensitive resin, the coloring material itself generally absorbs light in an exposure wavelength range, and thus is necessary for photo-curing of the photosensitive resin. Exposure energy will be much larger than usual.

一般に、感光性樹脂に対する露光時の光強度は、光照
射面から深さ方向に入っていくに従い、指数関数的に減
少していく。従って、感光性樹脂に、さらに光吸収特性
をもつ着色材料の混入による光照射面から深さ方向に対
する露光時の入射光強度の減衰は、著しく大きくなり、
場合によっては感光性着色樹脂膜の底部に当たる基板と
の界面付近での光硬化が不充分となり、現像時に膜ハガ
レ等を生じることがあった。
In general, the light intensity at the time of exposure to a photosensitive resin decreases exponentially as it enters the depth direction from the light irradiation surface. Therefore, the attenuation of the incident light intensity at the time of exposure from the light irradiation surface to the depth direction due to the incorporation of a coloring material having a light absorbing property into the photosensitive resin is significantly increased,
In some cases, photocuring near the interface with the substrate at the bottom of the photosensitive colored resin film became insufficient, and film peeling occurred during development.

また、この露光時の入射光強度の減衰を補うため、露
光エネルギーを非常に大きくすると、着色材料自身の劣
化を生じることもあった。
Further, if the exposure energy is made extremely large in order to compensate for the attenuation of the incident light intensity at the time of exposure, the coloring material itself may be deteriorated.

さらに、着色樹脂膜表面は、着色材料の混入により、
表面の粗れが生じ、カラーフィルター表面における散乱
を伴ない、カラーフィルターの光学的性能を落とす上、
液晶表示素子内面に構成させる場合では、液晶分子の配
向を乱すこともあった。
Furthermore, the coloring resin film surface is mixed with the coloring material,
In addition to causing surface roughness and scattering on the color filter surface, lowering the optical performance of the color filter,
When the liquid crystal display element is formed on the inner surface, the orientation of liquid crystal molecules may be disturbed.

この様に、感光性樹脂に着色材料を混合した着色樹脂
を用いてカラーフィルターを形成する場合、そのプロセ
スにおけるカラーフィルター膜の安定性、耐久性、そし
てカラーフィルターとしての性能上の問題が残されてい
た。
As described above, when a color filter is formed using a colored resin in which a coloring material is mixed with a photosensitive resin, problems remain in the stability, durability, and performance of the color filter film in the process. I was

上述の欠点を解消せしめるために、本出願人は既に特
願昭62−22461号(特開昭63−191104号公報)を出願
し、より少ない露光エネルギーで効率的にパターン形成
できると共に、露光時の着色材料自体の劣化を防ぎ、膜
の深さ方向での光硬化のバラツキを減らし、かつ表面状
態のより平滑な着色樹脂膜を有するカラーフィルターを
提案した。このカラーフィルターは、感光性樹脂中に少
なくとも着色材料を分散してなる着色樹脂を用い、フォ
トリソ工程の繰り返しにより形成される複数のパターン
状着色樹脂層を有するカラーフィルターにおいて、該着
色材料を着色樹脂層の表面部から底部にかけて次第に多
く分散させてなるものである。
In order to solve the above-mentioned drawbacks, the present applicant has already filed a Japanese Patent Application No. 62-22461 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-191104), which enables efficient pattern formation with less exposure energy, A color filter having a colored resin film having a smoother surface condition, which prevents deterioration of the colored material itself, reduces variations in photocuring in the depth direction of the film. This color filter uses a colored resin obtained by dispersing at least a coloring material in a photosensitive resin, and in a color filter having a plurality of patterned colored resin layers formed by repeating a photolithography process, the coloring material is used as a colored resin. The layer is gradually dispersed from the surface to the bottom of the layer.

[発明が解決しようとする課題] 上記カラーフィルターを基板上に形成するには、感光
性樹脂中に少なくとも着色材料を分散した着色材料を用
いてフォトリソ工程によりパターニングするが、このパ
ターニングは通常塗布工程として、スピンナー法,印刷
法,ロールコーター法等の手段を用いて着色樹脂を基板
上に塗布し、その後オーブン等を用いて仮硬化(プリベ
ーク)させ、次いでフォトマスクを通して露光し、現像
液に浸漬させて現像してカラーフィルターのパターンを
形成している。
[Problems to be Solved by the Invention] In order to form the above color filter on a substrate, patterning is performed by a photolithography process using a coloring material in which at least a coloring material is dispersed in a photosensitive resin. As a method, a colored resin is applied to a substrate using a method such as a spinner method, a printing method, a roll coater method, and then temporarily cured (prebaked) using an oven or the like, and then exposed through a photomask and immersed in a developer. And developed to form a color filter pattern.

しかしながら、フォトリソ工程において、基板上に塗
布した着色樹脂に露光する時に、着色材料自体の劣化や
表面の粗れがなく、着色樹脂膜の深さ方向にも充分に光
硬化が行なえる適正な露光エネルギーにより露光した
後、現像液により現像する場合においても、室温(21〜
22℃)程度の温度の現像液に浸漬させるのみでは未露光
部の化学的な溶解速度が遅く、浸漬時間をかなり長くし
なければならなかった。
However, in the photolithography process, when exposing the colored resin applied on the substrate to light, there is no deterioration of the colored material itself or surface roughness, and proper exposure that can sufficiently perform photocuring also in the depth direction of the colored resin film. After exposure with energy, even when developing with a developer, room temperature (21 to
Only immersion in a developing solution at a temperature of about 22 ° C.) slows down the chemical dissolution rate of the unexposed portion and requires a considerably longer immersion time.

また、特に基板との界面近くでは、光硬化部の着色樹
脂と基板との密着性を向上させるために着色樹脂中にカ
ップリング剤が含有されていることもあり、そのために
光硬化部の表面に粗れが生じるまで現像液中での浸漬時
間を長くしても、未露光部の着色材料を分散した着色樹
脂を完全に除去することができず、基板との界面に残渣
として残ってしまうという欠点があった。
Also, especially near the interface with the substrate, a coupling agent may be contained in the colored resin in order to improve the adhesion between the colored resin of the photocured portion and the substrate. Even if the immersion time in the developing solution is increased until the surface becomes rough, the colored resin in which the colored material in the unexposed portion is dispersed cannot be completely removed, and remains as a residue at the interface with the substrate. There was a disadvantage.

本発明は、この様な従来技術の欠点を改善するために
なされたものであり、フォトリソ工程における現像液に
よるウェット現像の際に、速い現像速度で未露光部の着
色樹脂の残渣を完全に除去し、生産効率を向上させたカ
ラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする
ものである。
The present invention has been made in order to improve such disadvantages of the prior art, and completely removes the residue of the colored resin in the unexposed portion at a high developing speed during wet development with a developer in a photolithographic process. It is another object of the present invention to provide a method for manufacturing a color filter with improved production efficiency.

[課題を解決するための手段] 即ち、本発明は、感光性樹脂中に少なくとも着色材料
を分散してなる着色樹脂を基板上に塗布し、加熱して仮
硬化した後、フォトリソ工程によりパターニングしてカ
ラーフィルターを形成する方法において、フォトリソ工
程の現像液によるウェット現像時に周波数0.8〜1.5MHz
の超音波振動を相乗させた現像液を基板上の着色樹脂に
吹きつけて現像することを特徴とするカラーフィルター
の製造方法である。
[Means for Solving the Problems] That is, according to the present invention, a colored resin obtained by dispersing at least a colored material in a photosensitive resin is applied on a substrate, heated and temporarily cured, and then patterned by a photolithography process. In the method of forming a color filter, a frequency of 0.8 to 1.5 MHz during wet development with a developer in a photolithographic process.
A method for producing a color filter, characterized by spraying a developing solution obtained by synergizing the ultrasonic vibration of the above with a colored resin on a substrate for development.

本発明のカラーフィルターの製造方法においては、フ
ォトリソ工程の現像液によるウェット現像時に、超音波
振動を照射して現像を行なうが、超音波振動の周波数は
通常20KHz〜1.5KHz、好ましくは26KHz〜1.1MHzの範囲の
ものが望ましく、20KHz〜1.5MHzの超音波振動を照射す
ることにより、現像液に物理的な力が付加され、更に未
露光部の着色樹脂の除去スピードが速くなり、しかも基
板との界面に至るまで未露光部の着色樹脂の残渣を完全
に除去することができる。
In the color filter manufacturing method of the present invention, during wet development with a developer in the photolithography step, development is performed by irradiating ultrasonic vibration, the frequency of the ultrasonic vibration is usually 20 kHz to 1.5 kHz, preferably 26 kHz to 1.1 kHz. The range of MHz is desirable, and by irradiating ultrasonic vibration of 20 KHz to 1.5 MHz, a physical force is added to the developer, and the removal speed of the colored resin in the unexposed portion is further increased, and furthermore, the Unexposed portions of the colored resin residue can be completely removed up to the interface.

また、本発明においては、カラーフィルターをフォト
リソ工程によりパターニングする際の現像液によるウェ
ット現像時に、現像液を25〜30℃に加温するのが好まし
く、加温することにより未露光部の着色樹脂の溶解が促
進されて除去スピードが速くなる。
Further, in the present invention, it is preferable to heat the developing solution to 25 to 30 ° C. during wet development with the developing solution when patterning the color filter by the photolithography process, and by heating, the unexposed portion of the colored resin is heated. Dissolution is promoted and the removal speed is increased.

また、超音波振動を照射する方法としては、少なくと
も2つ以上の互に周波数の異なる超音波振動を、同時
に、基板に対し垂直に照射して現像するのが好ましい。
Further, as a method of irradiating the ultrasonic vibration, it is preferable that at least two or more ultrasonic vibrations having different frequencies are simultaneously irradiated perpendicularly to the substrate for development.

また、他の超音波振動を照射する方法としては、周波
数0.8〜1.5MHzの超音波振動を相乗させた現像液を基板
上の着色樹脂に吹きつけて現像することもできる。
As another method of irradiating the ultrasonic vibration, a developing solution in which ultrasonic vibration having a frequency of 0.8 to 1.5 MHz is synergistically sprayed onto the colored resin on the substrate to perform development.

[実施例] 以下、実施例を示し本発明をさらに具体的に説明す
る。
[Example] Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples.

参考例1 第1図は本発明のカラーフィルターの製造方法の一参
考例を示す説明図であり、カラーフィルターパターニン
グの際の現像工程の概要を示している。
Reference Example 1 FIG. 1 is an explanatory view showing one reference example of a method for manufacturing a color filter of the present invention, and shows an outline of a developing step in patterning a color filter.

同図に於いて、1は板厚1.1mmのガラス基板であり、
その片面上に感光性樹脂に着色材料を分散してなる着色
樹脂(PA−1012R,PA−1012G,PA−1012B、宇部興産社
製)2が形成されている。着色樹脂膜の形成は、フレキ
ソ印刷法又はスピンナー法、ロールコーター法等により
ガラス基板1上に着色樹脂2を塗布した後、ホットプレ
ートオーブン等を用いて仮硬化(プリベーク)を行って
膜厚1.6±0.1μmに全面に均一に形成した。次いで、フ
ォトマスクを用いて波長365mmにピークをもつUV光で400
〜800mJのエネルギーで露光し、光硬化がなされた部分
と光硬化がなされていない部分(未露光部)とを形成し
た。3は着色樹脂の未露光の光硬化がなされていない部
分(未露光部)を溶解させるための現像液(PA−AD宇部
興産社製)であり、4はその現像液槽である。5は現像
液3を加温し、温度を制御するための恒温槽である。
In the figure, 1 is a glass substrate having a thickness of 1.1 mm,
A colored resin (PA-1002R, PA-1002G, PA-1002B, manufactured by Ube Industries, Ltd.) 2 formed by dispersing a coloring material in a photosensitive resin is formed on one surface thereof. The colored resin film is formed by applying a colored resin 2 on a glass substrate 1 by a flexographic printing method, a spinner method, a roll coater method, or the like, and then temporarily curing (pre-baking) using a hot plate oven or the like to form a film having a thickness of 1.6. It was formed uniformly over the entire surface to ± 0.1 μm. Then, using a photomask, UV light having a peak at a wavelength of 365 mm
Exposure was performed at an energy of about 800 mJ to form a light-cured portion and a non-light-cured portion (unexposed portion). Reference numeral 3 denotes a developer (PA-AD Ube Industries, Ltd.) for dissolving the unexposed portions of the colored resin that have not been photocured (unexposed portions), and 4 denotes a developer tank thereof. Reference numeral 5 denotes a constant temperature bath for heating the developer 3 and controlling the temperature.

また、6,6aは26KHz及び40KHzの超音波振動を照射する
ための各々の超音波振動子であり、7はそれらの発振器
である。
Reference numerals 6 and 6a denote respective ultrasonic vibrators for irradiating ultrasonic vibrations of 26 KHz and 40 KHz, and reference numeral 7 denotes an oscillator thereof.

本参考例のカラーフィルターの製造方法は、上記の装
置において、先ず恒温槽5によって25〜30℃に加温し制
御された現像液3に、UV光を照射して露光までなされた
着色樹脂2が片面に形成されたガラス基板1を、約60秒
〜300秒間浸漬させたところ、着色樹脂2の未露光部は
かなり溶解が進んだが、ガラス基板1との界面に至るま
で完全には除去されていなかった。
The method for manufacturing a color filter according to the present embodiment is based on the above-described apparatus. First, the colored resin 2 is heated to 25 to 30 ° C. in the thermostat 5 and irradiated with UV light to the controlled developer 3. When the glass substrate 1 formed on one side is immersed for about 60 to 300 seconds, the unexposed portion of the colored resin 2 considerably dissolves, but is completely removed up to the interface with the glass substrate 1. I didn't.

次いで、現像液3に浸漬させたままの状態で、超音波
振動子6,6aより26KHz,40KHzの2周波数の超音波振動を
各々現像液3を介して着色樹脂2が形成されたガラス基
板1に約30sec〜120sec間照射したところ、現像液3中
に発生したキャビテーションの作用により、着色樹脂2
の未露光部はガラス基板1との界面に至るまで全面にム
ラなく完全に除去された。この時の着色樹脂2の光硬化
がなされた部分はその表面に粗れが生じることもなく所
定のパターンが残った。この後、リンス、水洗、乾燥を
行ったところ、きれいなカラーフィルターを形成するこ
とができた。
Next, while being immersed in the developing solution 3, ultrasonic vibrations of two frequencies of 26 KHz and 40 KHz are respectively applied from the ultrasonic vibrators 6 and 6 a via the developing solution 3 to the glass substrate 1 on which the colored resin 2 is formed. Is irradiated for about 30 seconds to 120 seconds, the cavitation generated in the developer 3 causes the colored resin 2
The unexposed portion was completely and completely removed up to the interface with the glass substrate 1 without unevenness. At this time, in the portion of the colored resin 2 which has been photocured, a predetermined pattern remained without any surface roughness. After that, rinsing, washing, and drying were performed, so that a clean color filter could be formed.

実施例1 第2図は本発明のカラーフィルターの製造方法の実施
例を示す説明図であり、第3図は第2図の側面を表わす
説明図である。第2図は前記実施例1と同じくカラーフ
ィルターパターニングの際の現像工程の概要を示してい
る。
Example 1 FIG. 2 is an explanatory view showing an example of a method for manufacturing a color filter of the present invention, and FIG. 3 is an explanatory view showing a side view of FIG. FIG. 2 shows an outline of a developing step at the time of color filter patterning as in the first embodiment.

同図においても、1はガラス基板であり、その上面に
参考例1と同じ工程で露光までなされた感光性樹脂に着
色材料を分散してなる着色樹脂(PA−1012R,PA−1012G,
PA−1012B、宇部興産社製)2が形成されている。ま
た、3は現像液(PA−AD宇部興産社製)、8は現像液3
を供給するためのポンプであり、9は現像液3を吹きつ
けるためのノズルである。また、6は0.8〜1.5MHzの超
音波振動を照射するための超音波振動子であり、7はそ
の発振器であり、10は発生した超音波振動を集束させる
ためのホーンである。
In the same figure, reference numeral 1 denotes a glass substrate, on the upper surface of which a colored resin (PA-1002R, PA-1002G,
PA-1012B, manufactured by Ube Industries, Ltd.) 2. 3 is a developer (PA-AD Ube Industries), 8 is a developer 3
And 9 is a nozzle for spraying the developer 3. Reference numeral 6 denotes an ultrasonic vibrator for irradiating ultrasonic vibrations of 0.8 to 1.5 MHz, reference numeral 7 denotes an oscillator thereof, and reference numeral 10 denotes a horn for converging the generated ultrasonic vibrations.

同図において、まず参考例1と同様に、露光までなさ
れた着色樹脂2が片面に形成されたガラス基板1を、25
〜30℃に加温された現像液3中に1〜2分間浸漬させて
着色樹脂2の未露光部をある程度溶解させた。
In the same figure, first, as in Reference Example 1, the glass substrate 1 on which one side of the colored resin
The unexposed portion of the colored resin 2 was dissolved to some extent by being immersed in the developing solution 3 heated to -30 ° C for 1 to 2 minutes.

次いで、第2図に示す様に、現像液3をポンプ8によ
って供給し、超音波振動子6より0.8〜1.5MHzの超音波
を発生させて超音波振動を相乗させ、更に超音波ホーン
10によって超音波振動を集束させた現像液3を、ノズル
9より直接ガラス基板1上の着色樹脂2に約10〜15mmの
距離から全面的に約1分間吹きつけたところ、現像液3
中に広がった強大な加速度による圧力により、着色樹脂
2の未露光部はガラス基板1との界面に至るまで完全に
除去された。この時も着色樹脂2の光硬化がなされた部
分は、その表面に粗れが生じることもなく所定のパター
ンが残った。この後、リンス、水洗、乾燥を行ったとこ
ろきれいなカラーフィルターを形成することができた。
Next, as shown in FIG. 2, the developing solution 3 is supplied by a pump 8, an ultrasonic wave of 0.8 to 1.5 MHz is generated from the ultrasonic vibrator 6, and the ultrasonic vibration is synergized.
The developer 3 having the ultrasonic vibration focused by 10 is sprayed from the nozzle 9 directly onto the colored resin 2 on the glass substrate 1 from a distance of about 10 to 15 mm for about 1 minute.
The unexposed portion of the colored resin 2 was completely removed up to the interface with the glass substrate 1 by the pressure due to the strong acceleration spread inside. At this time, in the portion of the colored resin 2 where the photo-curing was performed, a predetermined pattern remained without any surface roughness. Thereafter, rinsing, washing and drying were performed, whereby a clean color filter was formed.

[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、感光性樹脂中
に少なくとも着色材料を分散してなる着色樹脂を基板上
に塗布し、加熱して仮硬化し、露光した後、現像液によ
るウェット現像時に周波数0.8〜1.5MHzの超音波振動を
相乗させた現像液を基板上の着色樹脂に吹きつけて現像
することにより、現像速度が速くなり、生産効率が向上
する。また、未露光部の着色樹脂の残渣を完全に除去す
ることができるので、ディスプレイに用いたときの表示
品位等も良くなる効果がある。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, a colored resin obtained by dispersing at least a colored material in a photosensitive resin is applied on a substrate, temporarily cured by heating, and exposed, By spraying a developing solution in which ultrasonic vibration having a frequency of 0.8 to 1.5 MHz is synergistically applied to the colored resin on the substrate during wet development with the developing solution, development speed is increased, and production efficiency is improved. Further, since the residue of the colored resin in the unexposed portion can be completely removed, there is an effect that the display quality and the like when used for a display are improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明のカラーフィルターの製造方法の参考例
を示す説明図、第2図は本発明のカラーフィルターの製
造方法の実施例を示す説明図、第3図は第2図の側面を
表わす説明図である。 1……ガラス基板、2……着色樹脂 3……現像液、4……現像液槽 5……恒温槽、6……超音波振動子 7……超音波発振器、8……ポンプ 9……ノズル、10……超音波ホーン
FIG. 1 is an explanatory view showing a reference example of a method for manufacturing a color filter of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view showing an embodiment of a method for manufacturing a color filter of the present invention, and FIG. 3 is a side view of FIG. FIG. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Glass substrate, 2 ... Coloring resin 3 ... Developer, 4 ... Developer tank 5 ... Constant temperature bath, 6 ... Ultrasonic vibrator 7 ... Ultrasonic oscillator, 8 ... Pump 9 ... Nozzle, 10 ... ultrasonic horn

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−124002(JP,A) 特開 平2−176602(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G02B 5/20────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-63-124002 (JP, A) JP-A-2-176602 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G02B 5/20

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】感光性樹脂中に少なくとも着色材料を分散
してなる着色樹脂を基板上に塗布し、加熱して仮硬化し
た後、フォトリソ工程によりパターニングしてカラーフ
ィルターを形成する方法において、フォトリソ工程の現
像液によるウェット現像時に周波数0.8〜1.5MHzの超音
波振動を相乗させた現像液を基板上の着色樹脂に吹きつ
けて現像することを特徴とするカラーフィルターの製造
方法。
1. A method for forming a color filter by applying a colored resin obtained by dispersing at least a colored material in a photosensitive resin onto a substrate, heating and temporarily curing the resin, and then performing patterning by a photolithography process to form a color filter. A method for producing a color filter, comprising spraying a developing solution obtained by synergizing ultrasonic vibrations having a frequency of 0.8 to 1.5 MHz on a colored resin on a substrate during wet development with a developing solution in a step, for development.
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