JP2798051B2 - Field effect transistor - Google Patents
Field effect transistorInfo
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はGaAs等の化合物
半導体を用いた電界効果トランジスタに関する。The present invention relates to a field effect transistor using a compound semiconductor such as GaAs.
【0002】[0002]
【従来の技術】高出力増幅素子としてGaAs電界効果
トランジスタが用いられている。図2に従来のGaAs
電界効果トランジスタを示す(参照:特開平3−201
448号公報)。なお、図2において、(A)は全体平
面図、(B)は(A)のB部分の拡大平面図、(C)は
(B)の断面図である。図2において、チップ1の半絶
縁性GaAs基板2上にキャリア走行層であるN型Ga
As電子走行層3を形成してあり、その一部にリセス領
域4が形成されている。また、N型GaAs電子走行層
3上のリセス領域4にはゲート電極5が形成され、N型
GaAs電子走行層3上のリセス領域4の両側にはソー
ス電極6及びドレイン電極7が形成されている。さら
に、ゲート電極5、ソース電極6及びドレイン電極7に
は、ゲートパッド8、ソースパッド9及びドレインパッ
ド10が接続されている。2. Description of the Related Art A GaAs field-effect transistor is used as a high-power amplifier. FIG. 2 shows a conventional GaAs.
1 shows a field effect transistor (refer to Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-201)
448). 2A is an overall plan view, FIG. 2B is an enlarged plan view of a portion B of FIG. 2A, and FIG. 2C is a cross-sectional view of FIG. In FIG. 2, an N-type Ga as a carrier transit layer is provided on a semi-insulating GaAs substrate 2 of a chip 1.
An As electron transit layer 3 is formed, and a recess region 4 is formed in a part thereof. A gate electrode 5 is formed in the recess region 4 on the N-type GaAs electron transit layer 3, and a source electrode 6 and a drain electrode 7 are formed on both sides of the recess region 4 on the N-type GaAs electron transit layer 3. I have. Further, a gate pad 8, a source pad 9, and a drain pad 10 are connected to the gate electrode 5, the source electrode 6, and the drain electrode 7, respectively.
【0003】図3は図2のドレインパッド10から見た
シンピータンスの等価回路図であって、ゲート電極5、
ソース電極6及びドレイン電極7の各パターンによるイ
ンダクタンスL及びキャパシタンスCとGaAs電界効
果トランジスタである負性抵抗Rとが直列接続されてお
り、この直列回路に負荷抵抗RLが並列接続されて同調
回路を構成している。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of the simplicity viewed from the drain pad 10 of FIG.
A negative resistance R by the respective patterns of the source electrode 6 and drain electrode 7 is the inductance L and capacitance C and GaAs field-effect transistor are connected in series, a load resistance R L is connected in parallel with tuned circuit in this series circuit Is composed.
【0004】図3の同調回路においては、 RL<|R| の場合には、信号がドレインパッド10に入力されても
同調回路の損失によって減衰振動となり、従って、不要
発振は発生しない。In the tuning circuit of FIG. 3, when R L <| R |, even if a signal is input to the drain pad 10, the tuning circuit loses the oscillation due to the loss of the tuning circuit, so that unnecessary oscillation does not occur.
【0005】他方、図3の同調回路において、 RL≧|R| の場合には、信号がドレインパッド10に入力される
と、同調回路の損失を負性抵抗Rで補償するので、不要
発振は発生する。ここで、図3のインダクタンスL及び
キャパシタンスCは不要発振の周波数条件、利得、正帰
還量を決定するパラメータである。たとえば、不要発振
の周波数は、ドレインパッド10から見たインピーダン
スの抵抗分が負となりかつインピーダンスのリアクタン
スが零となったときの周波数である。また、電界効果ト
ランジスタの利得と、インダクタンスL及びキャパシタ
ンスCによるドレイン電極7からゲート電極5への正帰
還量(同相帰還量)との積が1以上のときに、ドレイン
パッド10から見たインピーダンスは負となる。なお、
図2に示すごとく、マルチフィンガのフィン数が増大
し、各電極パターンの引き回しが大きくなる程、インダ
クタンスL及びキャパシタンスCは大きくなり、この結
果、正帰還の不要発振の周波数は低域へシフトする。On the other hand, in the tuning circuit of FIG. 3, when R L ≧ | R |, when a signal is input to the drain pad 10, the loss of the tuning circuit is compensated by the negative resistance R. Occurs. Here, the inductance L and the capacitance C in FIG. 3 are parameters for determining the frequency condition, the gain, and the positive feedback amount of the unnecessary oscillation. For example, the frequency of the unnecessary oscillation is a frequency when the resistance of the impedance viewed from the drain pad 10 becomes negative and the reactance of the impedance becomes zero. When the product of the gain of the field effect transistor and the amount of positive feedback (in-phase feedback) from the drain electrode 7 to the gate electrode 5 due to the inductance L and the capacitance C is 1 or more, the impedance seen from the drain pad 10 is Becomes negative. In addition,
As shown in FIG. 2, as the number of fins of the multi-finger increases and the layout of each electrode pattern increases, the inductance L and the capacitance C increase. .
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上述のごとく、負性抵
抗特性を示す電界効果トランジスタにおいては、不要発
振が発生するという課題があった。従って、本発明の目
的は、不要発振を抑制した負性抵抗特性を有する電界効
果トランジスタを提供することにある。As described above, the field effect transistor having the negative resistance characteristic has a problem that unnecessary oscillation occurs. Therefore, an object of the present invention is to provide a field effect transistor having a negative resistance characteristic in which unnecessary oscillation is suppressed.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明は、負性抵抗特性を有する電界効果トランジ
スタにおいて、電界効果トランジスタのドレインパッド
に不要発振周波数の波長の1/4の長さの先端開放スタ
ブを接続したものである。According to the present invention, there is provided a field effect transistor having a negative resistance characteristic, wherein a drain pad of the field effect transistor has a length of 1 / of the wavelength of the unnecessary oscillation frequency. A stub with an open end is connected.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】図1は本発明に係るGaAs電界
効果トランジスタの実施の形態を示す。なお、図1にお
いて、(A)は全体平面図、(B)は(A)のB部分の
拡大平面図、(C)は(B)の断面図である。図1にお
いては、図2のドレインパッド10に先端開放スタブ1
1を接続してある。この先端開放スタブ11の長さa+
bは不要発振周波数の波長(λS)の1/4とする。これ
により、先端開放スタブ11の終端Xでは開放状態、ド
レインパッド10の端Yでは短絡状態となり、従って、
図3の負荷抵抗RLを小さくすることができる。この結
果、不要発振の発生を抑制できる。FIG. 1 shows an embodiment of a GaAs field effect transistor according to the present invention. 1A is an overall plan view, FIG. 1B is an enlarged plan view of a portion B of FIG. 1A, and FIG. 1C is a cross-sectional view of FIG. In FIG. 1, the open-end stub 1 is connected to the drain pad 10 of FIG.
1 is connected. Length a + of this open end stub 11
b is 1 / of the wavelength (λ S ) of the unnecessary oscillation frequency. As a result, the open end at the end X of the open end stub 11 is in an open state, and the end Y of the drain pad 10 is in a short circuit state.
The load resistance R L of FIG. 3 can be reduced. As a result, occurrence of unnecessary oscillation can be suppressed.
【0009】[0009]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、不
要発振の発生を抑制できる。As described above, according to the present invention, occurrence of unnecessary oscillation can be suppressed.
【図1】本発明に係るGaAs電界効果トランジスタの
実施の形態を示し、(A)は全体平面図、(B)は
(A)のB部分の拡大平面図、(C)は(B)の断面図
である。1A and 1B show an embodiment of a GaAs field effect transistor according to the present invention, wherein FIG. 1A is an overall plan view, FIG. 1B is an enlarged plan view of a portion B of FIG. 1A, and FIG. It is sectional drawing.
【図2】従来のGaAs電界効果トランジスタを示し、
(A)は全体平面図、(B)は(A)のB部分の拡大平
面図、(C)は(B)の断面図である。FIG. 2 shows a conventional GaAs field effect transistor;
(A) is an overall plan view, (B) is an enlarged plan view of a B portion of (A), and (C) is a cross-sectional view of (B).
【図3】図2のドレインパッド10から見たインピータ
ンスの等価回路図である。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of impedance as viewed from a drain pad 10 of FIG. 2;
1…チップ 2…半絶縁性GaAs基板 3…N型GaAs電子走行層 4…リセス領域 5…ゲート電極 6…ソース電極 7…ドレイン電極 8…ゲートパッド 9…ソースパッド 10…ドレインパッド 11…先端開放スタブ L…電極パターンによるインダクタンス C…電極パターンによるキャパシタンス R…負性抵抗 RL…負荷抵抗DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Chip 2 ... Semi-insulating GaAs substrate 3 ... N-type GaAs electron transit layer 4 ... Recess area 5 ... Gate electrode 6 ... Source electrode 7 ... Drain electrode 8 ... Gate pad 9 ... Source pad 10 ... Drain pad 11 ... Open end Stub L ... Inductance due to electrode pattern C ... Capacitance due to electrode pattern R ... Negative resistance RL ... Load resistance
Claims (4)
ンダクタンス、キャパシタンス及び負性抵抗よりなる直
列回路と、該直列回路に並列接続された負荷抵抗とによ
り構成された同調回路となる電界効果トランジスタであ
って、 前記ドレインパッド不要発振周波数の波長の1/4の長
さの先端開放スタブを直接接続した 電界効果トランジス
タ。1. An equivalent circuit viewed from a drain pad, comprising :
A series consisting of conductance, capacitance and negative resistance
A column circuit and a load resistor connected in parallel to the series circuit.
Field-effect transistor that is a tuning circuit
Thus, the length of the wavelength of the drain pad unnecessary oscillation frequency is 4.
Field-effect transistor with an open-end stub directly connected .
上である請求項1に記載の電界効果トランジスタ。 2. The method according to claim 1, wherein the load resistance is equal to or less than an absolute value of the negative resistance.
The field effect transistor according to claim 1, being above.
ッドから見たインピーダンスの抵抗分が負となりかつ前
記インピーダンスのリアクタンスが零となるときの周波
数である請求項1に記載の電界効果トランジスタ。 3. The method of claim 2, wherein the unnecessary oscillation frequency is equal to the drain frequency.
The impedance of the impedance seen from the pad becomes negative and
The frequency at which the reactance of the impedance becomes zero
2. The field effect transistor according to claim 1, which is a number.
リア走行層と、 該キャリア走行層のリセス領域上に設けられたゲート電
極と、 前記キャリア走行層のリセス領域を挟むように前記キャ
リア走行層上に設けられたソース電極及びドレイン電極
と を具備し、 前記ドレインパッドが前記ドレイン電極に接続された請
求項1に記載の 電界効果トランジスタ。 4. A tuning circuit, comprising : a semi-insulating substrate; and a capacitor provided on the semi-insulating substrate and having a recess region.
A rear transit layer and a gate electrode provided on a recess region of the carrier transit layer.
Pole and the carrier so as to sandwich the recess region of the carrier transit layer.
Source and drain electrodes provided on the rear transit layer
Comprising the door, the drain pad is connected to the drain electrode請
The field-effect transistor according to claim 1.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP8103519A JP2798051B2 (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Field effect transistor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8103519A JP2798051B2 (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Field effect transistor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH09270432A JPH09270432A (en) | 1997-10-14 |
JP2798051B2 true JP2798051B2 (en) | 1998-09-17 |
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ID=14356197
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP8103519A Expired - Lifetime JP2798051B2 (en) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | Field effect transistor |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2798051B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7566952B2 (en) * | 2005-01-05 | 2009-07-28 | International Business Machines Corporation | On-chip circuit pad structure |
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JPS6254968A (en) * | 1985-09-04 | 1987-03-10 | Nec Corp | Field effect-transistor |
JPH01273404A (en) * | 1988-04-26 | 1989-11-01 | Mitsubishi Electric Corp | High frequency semiconductor device |
JPH03214632A (en) * | 1990-01-19 | 1991-09-19 | Fujitsu Ltd | Microwave and millimeter-wave circuit |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP8103519A patent/JP2798051B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP3467871A4 (en) * | 2016-06-02 | 2019-07-03 | Mitsubishi Electric Corporation | Power converter |
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