【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ光により記録、再生、および消去が
可能な高密度メモリとしての光磁気記録媒体に関するも
のである。
〔従来の技術〕
近年、高度情報化に伴い、レーザ光によって記録、再
生、および消去が可能な光記録媒体としての光磁気ディ
スクが高密度メモリとして注目されている。
この光磁気記録媒体としては、最も実用に近いものと
して、希土類−遷移金属系非晶質膜からなる光磁気ディ
スクが知られている。この種の光磁気記録媒体は、例え
ば第７図に示すように、基板１に、透明の誘電体膜２と
希土類遷移金属系非晶質膜３と透明の誘電体膜２とが、
この順に積層された構造をなしている。このような光磁
気記録媒体は、室温での外部磁場の安定性は光磁気記録
媒体の保磁力に大きく影響され、また光磁気記録媒体の
記録感度はキュリー温度によって大きく影響されるもの
である。すなわち、光磁気記録媒体の室温での安定性
は、室温での保磁力が大きいほど安定したものとなり、
またキュリー温度が低いほど記録感度は高いものとな
る。
希土類−遷移金属系非晶質膜により保磁力を大きくす
る方法としては、次の二つの方法が知られている。すな
わち、第１の方法は、光磁気記録媒体の組成を補償組成
に似た構造にするものであり、第２の方法は、キュリー
温度を高めるものである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上記第１の方法においては、希土類元
素の構成比が若干変動すると、室温での保磁力が大きく
変動し易いという問題があり、また第２の方法において
は、記録感度が低下するという問題を生じる。換言する
と、記録ビットの安定性を高めようとすれば記録感度を
犠牲にしなければならない。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の光磁気記録媒体は、上記の問題点を解決する
ために、希土類遷移金属系非晶質膜と、少なくとも上記
希土類遷移金属系非晶質膜に対してレーザ光が照射され
る基板側に形成されると共に上記希土類遷移金属系非晶
質膜の保磁力を増加させる、厚みが100Å以下のNiから
なる磁性膜とが接した状態で接合されていることを特徴
としている。
本発明の光磁気記録媒体は、例えば磁性膜の露出膜面
にさらに反射膜を積層して形成したものでもよい。
また、媒体保護層たとえばAlN、SiN、SiO等と組み合
わせてもよい。
さらに、希土類遷移金属系非晶質膜と磁性膜とは接し
ていればよく、積層順や何れを読み取り面にするかにつ
いても問わない。
また、上記の希土類遷移金属系非晶質膜を一対の磁性
膜で挟んでサンドイッチ状に積層することにより、希土
類遷移金属系非晶質膜の保磁力を高めるように構成して
もよく、したがって希土類遷移金属系非晶質膜と磁性膜
との２層に限定するものではない。但し、この場合に
は、情報を再生する側の磁性膜を、100Å以下の非常に
薄い厚さに形成するか、若しくは透明の磁性膜を用いる
ことが必要となる。
〔作 用〕
上記の構成により、希土類遷移金属系非晶質膜の組成
が若干変わっても保磁力は変動し難くなり、しかも記録
感度を低下させないで、室温での保磁力を大きくするこ
とができ、これによって光磁気記録媒体の室温での記録
ビットの安定性を向上させることが可能となる。
〔実施例〕
本発明の実施例を第１図ないし第６図に基づいて説明
すれば、以下の通りである。
本発明の実施例を構成する光磁気記録媒体Ａは、第１
図に示すように、ガラスまたはポリカーボネイト等から
なる基板１に、本発明の特徴とするNi等の材質からなる
磁性膜４と、GdTbFe、TbFeCo、またはNdGdTbFe等からな
る希土類遷移金属系非晶質膜３と、保護膜としてのAlN
またはSiN等からなる誘導体膜２とを、この順に積層し
た構造をなしているものである。なお、本実施例におい
ては、希土類遷移金属系非晶質膜３に接合される磁性膜
４を100Å以下に薄く形成するか、若しくは透明性の磁
性膜４を用いて、情報の再生特性を向上させる必要があ
る。
なお、光磁気記録媒体としては、本発明の光磁気記録
媒体Ａの他に、第２図に示すような光磁気記録媒体Ｂ、
第３図に示すような光磁気記録媒体Ｃが考えられる。す
なわち、光磁気記録媒体Ｂは、ガラスまたはポリカーボ
ネイト等の材質からなる透明な基板１に、AlNまたはSiN
等の材質からなる透明の誘電体膜２と、GdTbFe、TbFeC
o、またはNdGdTbFe等の材質からなる希土類遷移金属系
非晶質膜３と、磁性膜４とを、この順に積層した構造を
なしているものである。したがって、上記希土類遷移金
属系非晶質膜３と磁性膜４とは接した状態に接合されて
いる。
また、光磁気記録媒体Ｃは、ガラスまたはポリカーボ
ネイト等からなる基板１に、GdTbFe、TbFeCo、またはNd
GdTbFe等からなる希土類遷移金属系非晶質膜３と、磁性
膜４とを、この順に積層した構造をなしているものであ
る。
上記各光磁気記録媒体Ａ、Ｂ、Ｃと第７図に示した従
来例とにおける温度変化に対応した保磁力の大きさは、
第４図に示した実験データの通りである。なお、上記の
実験データは、基板１としてガラス基板を用い、誘電体
膜２として膜厚800ÅのAlN誘電体膜を用いたものであ
る。また、希土類遷移金属系非晶質膜（MO膜）３として
膜厚1000Åの（Gd0.5Tb0.5）0.23Fe0.77の金属膜を用
い、さらに磁性膜４としては膜厚1000ÅのNi磁性膜を用
いたものである。
この第４図から明らかなように、各光磁気記録媒体
Ａ、Ｂ、Ｃでは、従来例のものと比較して室温での保磁
力が高く保持されており、しかもキュリー温度は各光磁
気記録媒体Ａ、Ｂ、Ｃと従来例とに殆ど変化のないこと
が認められた。
次に、光磁気記録媒体Ｃにおいて希土類遷移金属系非
晶質膜３の膜厚を薄く形成したものと、上記従来例とに
おける温度変化に対応した保磁力の大きさは、第５図に
示した実験データの通りである。なお、この実験データ
については、光磁気記録媒体Ｃにおける希土類遷移金属
系非晶質膜３の膜厚を300Åに設定したものである。
この実験データから明らかなように、光磁気記録媒体
Ｃにおける希土類遷移金属系非晶質膜３の膜厚を300Å
に設定した場合であっても、従来例と比較して室温での
保磁力が高く保持されており、しかもキュリー温度につ
いては光磁気記録媒体Ｃと従来例とに殆ど変化のないこ
とが認められた。
次に、光磁気記録媒体Ｂにおいて希土類遷移金属系非
晶質膜３の膜厚が300Åおよび1000Åの場合と、上記従
来例において希土類遷移金属系非晶質膜３の膜厚が300
Åおよび1000Åの場合とにおける、カー回転角の温度特
性についての比較を第６図に示してある。この実験デー
タから明らかなように、光磁気記録媒体ＢにおいてNi磁
性膜４を積層したことによるカー回転角の温度特性の影
響については、殆ど現れていないことが確認できる。な
お、希土類遷移金属系非晶質膜３の膜圧が異なると、カ
ー回転角の値も異なるので、第６図のグラフでは同じ膜
厚の従来構成のものに対応させて規格化してある。
このように、上述の光磁気記録媒体によれば、記録感
度に影響を及ぼすキュリー点と、再生特性に影響を及ぼ
すカー回転角とは、従来例と比較して何れも殆ど変化せ
ず、保磁力のみが大きく向上することになるので、記録
感度および再生特性を低下させることなく室温での外部
磁場の安定性が得られることになる。
本発明の光磁気記録媒体は、第１図に示した光磁気記
録媒体Ａに限定するものではなく、上記光磁気記録媒体
Ａに、例えば第２図に示す構造の光磁気記録媒体Ｂある
いは第３図に示す構造の光磁気記録媒体Ｃを応用し、上
記の希土類遷移金属系非晶質膜３を一対の磁性膜４で挟
んでサンドイッチ状に積層することにより、希土類遷移
金属系非晶質膜３の保磁力を高めるように構成してもよ
い。但し、この場合には、情報を再生する側の磁性膜４
を、100Å以下の非常に薄い厚さに形成するか、若しく
は透明の磁性膜を用いることが必要となる。また、上記
の構造において、磁性膜４の露出膜面にさらに反射膜を
形成してもよく、従来の媒体保護層たとえばAlN、SiN、
SiO等と組み合わせてもよい。さらに、希土類遷移金属
系非晶質膜３と磁性膜４とは接していればよく、積層順
や何れを読み取り面にするかについても問わない。
〔発明の効果〕
本発明に係る光磁気記録媒体は、以上のように、希土
類遷移金属系非晶質膜と、少なくとも上記希土類遷移金
属系非晶質膜に対してレーザ光が照射される基板側に形
成されると共に上記希土類遷移金属系非晶質膜の保磁力
を増加させる、厚みが100Å以下のNiからなる磁性膜と
が接した状態で接合されている構成である。
これにより、希土類遷移金属系非晶質膜の組成が若干
変わっても保磁力は変動し難くなり、しかも記録感度を
低下させないで、室温での保磁力を大きくすることがで
きるので、高い記録感度および優れた情報の再生特性を
維持しつつ光磁気記録媒体の室温での記録ビットの安定
性を向上させることができるという効果を奏する。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium as a high-density memory capable of recording, reproducing, and erasing by a laser beam. [Prior Art] In recent years, with the advancement of information, a magneto-optical disk as an optical recording medium capable of recording, reproducing, and erasing by a laser beam has attracted attention as a high-density memory. As this magneto-optical recording medium, a magneto-optical disk composed of a rare earth-transition metal-based amorphous film is known as being most practical. In this type of magneto-optical recording medium, for example, as shown in FIG. 7, a substrate 1 is provided with a transparent dielectric film 2, a rare earth transition metal-based amorphous film 3, and a transparent dielectric film 2.
It has a structure laminated in this order. In such a magneto-optical recording medium, the stability of the external magnetic field at room temperature is greatly affected by the coercive force of the magneto-optical recording medium, and the recording sensitivity of the magneto-optical recording medium is greatly affected by the Curie temperature. In other words, the stability of the magneto-optical recording medium at room temperature becomes more stable as the coercive force at room temperature increases.
Also, the lower the Curie temperature, the higher the recording sensitivity. The following two methods are known as methods for increasing the coercive force by using a rare earth-transition metal based amorphous film. That is, the first method is to make the composition of the magneto-optical recording medium similar to the compensation composition, and the second method is to increase the Curie temperature. [Problems to be Solved by the Invention] However, the first method has a problem that if the composition ratio of the rare earth element slightly fluctuates, the coercive force at room temperature tends to fluctuate greatly. , There is a problem that the recording sensitivity is reduced. In other words, in order to increase the stability of the recording bit, the recording sensitivity must be sacrificed. [Means for Solving the Problems] The magneto-optical recording medium of the present invention has a rare-earth transition metal-based amorphous film and at least the rare-earth transition metal-based amorphous film in order to solve the above problems. On the other hand, the laser light is irradiated on the substrate side and the coercive force of the rare earth transition metal based amorphous film is increased, and the magnetic film made of Ni having a thickness of 100 mm or less is joined in contact with each other. It is characterized by having. The magneto-optical recording medium of the present invention may be formed by laminating a reflective film on the exposed surface of the magnetic film, for example. Further, it may be combined with a medium protective layer such as AlN, SiN, SiO, or the like. Furthermore, it is sufficient that the rare-earth transition metal-based amorphous film and the magnetic film are in contact with each other, and the order of lamination and which one is used as the reading surface does not matter. Further, the rare earth transition metal-based amorphous film may be sandwiched between a pair of magnetic films and stacked in a sandwich shape, so that the coercive force of the rare earth transition metal-based amorphous film may be increased. The present invention is not limited to the two layers of the rare earth transition metal based amorphous film and the magnetic film. However, in this case, it is necessary to form the magnetic film on the side from which information is reproduced to a very small thickness of 100 ° or less, or to use a transparent magnetic film. [Operation] With the above configuration, even if the composition of the rare earth transition metal based amorphous film is slightly changed, the coercive force is hardly changed, and the coercive force at room temperature can be increased without lowering the recording sensitivity. This makes it possible to improve the stability of the recording bit at room temperature of the magneto-optical recording medium. Embodiment An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 6. The magneto-optical recording medium A according to the embodiment of the present invention has the first
As shown in the figure, a magnetic film 4 made of a material such as Ni and a rare earth transition metal-based amorphous film made of GdTbFe, TbFeCo, or NdGdTbFe, etc., which are features of the present invention, are provided on a substrate 1 made of glass or polycarbonate. 3 and AlN as protective film
Alternatively, it has a structure in which a derivative film 2 made of SiN or the like is laminated in this order. In this embodiment, the magnetic film 4 to be bonded to the rare earth transition metal based amorphous film 3 is formed as thin as 100 ° or less, or the information reproducing characteristics are improved by using the transparent magnetic film 4. Need to be done. As the magneto-optical recording medium, in addition to the magneto-optical recording medium A of the present invention, a magneto-optical recording medium B as shown in FIG.
A magneto-optical recording medium C as shown in FIG. 3 is conceivable. That is, the magneto-optical recording medium B is formed on a transparent substrate 1 made of a material such as glass or polycarbonate by using AlN or SiN.
Transparent dielectric film 2 made of a material such as GdTbFe, TbFeC
It has a structure in which a rare earth transition metal based amorphous film 3 made of a material such as o or NdGdTbFe and a magnetic film 4 are laminated in this order. Therefore, the rare earth transition metal based amorphous film 3 and the magnetic film 4 are joined in a state of contact. Further, the magneto-optical recording medium C is formed on a substrate 1 made of glass, polycarbonate, or the like by using GdTbFe, TbFeCo, or Nd.
It has a structure in which a rare earth transition metal based amorphous film 3 made of GdTbFe or the like and a magnetic film 4 are laminated in this order. The magnitude of the coercive force corresponding to the temperature change in each of the magneto-optical recording media A, B, and C and the conventional example shown in FIG.
This is as shown in the experimental data shown in FIG. In the above experimental data, a glass substrate was used as the substrate 1, and an 800 nm thick AlN dielectric film was used as the dielectric film 2. Further, a 1000 膜厚 thick (Gd 0.5 Tb 0.5 ) 0.23 Fe 0.77 metal film is used as the rare earth transition metal based amorphous film (MO film) 3, and a 1000 膜厚 thick Ni magnetic film is used as the magnetic film 4. It was what was. As is apparent from FIG. 4, in each of the magneto-optical recording media A, B, and C, the coercive force at room temperature is kept higher than that of the conventional example, and the Curie temperature is lower than the magneto-optical recording media. It was recognized that there was almost no change between the media A, B, and C and the conventional example. Next, the magnitude of the coercive force corresponding to the temperature change in the magneto-optical recording medium C in which the rare-earth transition metal-based amorphous film 3 is formed to be thin, and the magnitude of the coercive force corresponding to the conventional example are shown in FIG. The experimental data is as follows. In this experimental data, the thickness of the rare earth transition metal based amorphous film 3 in the magneto-optical recording medium C was set to 300 °. As is clear from the experimental data, the thickness of the rare-earth transition metal-based amorphous film 3 in the magneto-optical recording medium C was set to 300
Even when set to, the coercive force at room temperature is maintained higher than in the conventional example, and the Curie temperature is hardly changed between the magneto-optical recording medium C and the conventional example. Was. Next, in the magneto-optical recording medium B, the rare earth transition metal based amorphous film 3 has a thickness of 300 ° and 1000 °, and in the above conventional example, the rare earth transition metal based amorphous film 3 has a thickness of 300 °.
FIG. 6 shows a comparison of the temperature characteristics of the Kerr rotation angle between the case of Å and 1000 °. As is clear from the experimental data, it was confirmed that the influence of the temperature characteristic of the Kerr rotation angle due to the lamination of the Ni magnetic film 4 on the magneto-optical recording medium B hardly appeared. If the film pressure of the rare-earth transition metal-based amorphous film 3 is different, the value of the Kerr rotation angle is also different. Therefore, the graph of FIG. 6 is normalized so as to correspond to the conventional structure having the same film thickness. As described above, according to the above-described magneto-optical recording medium, the Curie point, which affects the recording sensitivity, and the Kerr rotation angle, which affects the reproduction characteristics, hardly change compared to the conventional example. Since only the magnetic force is greatly improved, the stability of the external magnetic field at room temperature can be obtained without lowering the recording sensitivity and the reproduction characteristics. The magneto-optical recording medium of the present invention is not limited to the magneto-optical recording medium A shown in FIG. 1, but may be replaced with the magneto-optical recording medium B having the structure shown in FIG. By applying the magneto-optical recording medium C having the structure shown in FIG. 3 and laminating the rare earth transition metal-based amorphous film 3 in a sandwich manner with a pair of magnetic films 4 interposed therebetween, the rare earth transition metal-based amorphous The film 3 may be configured to increase the coercive force. However, in this case, the magnetic film 4 on the information reproducing side is
Must be formed to a very thin thickness of 100 ° or less, or a transparent magnetic film must be used. Further, in the above structure, a reflective film may be further formed on the exposed film surface of the magnetic film 4, and a conventional medium protective layer such as AlN, SiN,
You may combine with SiO etc. Furthermore, it is sufficient that the rare-earth transition metal-based amorphous film 3 and the magnetic film 4 are in contact with each other, and it does not matter which lamination order or which one is used as the reading surface. [Effects of the Invention] As described above, the magneto-optical recording medium according to the present invention includes a rare-earth transition metal-based amorphous film and a substrate on which at least the rare-earth transition metal-based amorphous film is irradiated with laser light. And a magnetic film made of Ni having a thickness of 100 ° or less, which is formed on the side and increases the coercive force of the rare earth transition metal based amorphous film. As a result, even if the composition of the rare-earth transition metal-based amorphous film slightly changes, the coercive force hardly fluctuates, and the coercive force at room temperature can be increased without lowering the recording sensitivity. In addition, it is possible to improve the stability of recording bits at room temperature of the magneto-optical recording medium while maintaining excellent information reproduction characteristics.
【図面の簡単な説明】
第１図ないし第６図は本発明の実施例を示すものであっ
て、第１図は光磁気記録媒体の一実施例を示す縦断面
図、第２図は光磁気記録媒体の第１変形例を示す縦断面
図、第３図は光磁気記録媒体の第２変形例を示す縦断面
図である。第４図は第１図ないし第３図の光磁気記録媒
体（希土類遷移金属系非晶質膜の膜厚1000Å）と従来例
とを比較する温度変化に対応した保磁力の大きさを示す
実験データのグラフ、第５図は第３図の光磁気記録媒体
（希土類遷移金属系非晶質膜の膜厚300Å）と従来例と
を比較する温度変化に対応した保磁力の大きさを示す実
験データのグラフ、第６図は第２図の光磁気記録媒体と
従来例とを比較した温度変化に対応したカー回転角の変
化を示す実験データのグラフである。第７図は従来例の
光磁気記録媒体を示す縦断面図である。
１は基板、２は誘電体膜、３は希土類遷移金属系非晶質
膜、４は磁性膜である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 to FIG. 6 show an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an embodiment of a magneto-optical recording medium, and FIG. FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing a first modified example of the magnetic recording medium, and FIG. 3 is a longitudinal sectional view showing a second modified example of the magneto-optical recording medium. FIG. 4 is an experiment showing the magnitude of coercive force corresponding to a temperature change comparing the magneto-optical recording medium of FIG. 1 to FIG. 3 (thickness of rare earth transition metal based amorphous film of 1000 °) with a conventional example. FIG. 5 is a graph of data, and FIG. 5 is an experiment showing the magnitude of coercive force corresponding to temperature change comparing the magneto-optical recording medium of FIG. 3 (thickness of rare earth transition metal based amorphous film of 300 °) with the conventional example. FIG. 6 is a graph of data, and FIG. 6 is a graph of experimental data showing a change in the Kerr rotation angle corresponding to a temperature change when the magneto-optical recording medium of FIG. 2 is compared with the conventional example. FIG. 7 is a longitudinal sectional view showing a conventional magneto-optical recording medium. 1 is a substrate, 2 is a dielectric film, 3 is a rare earth transition metal based amorphous film, and 4 is a magnetic film.
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(72)発明者 高橋 明
大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号
シャープ株式会社内
(72)発明者 伴 和夫
大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号
シャープ株式会社内
(72)発明者 中山 純一郎
大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号
シャープ株式会社内
(56)参考文献 特開 昭60−243844（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−293541（ＪＰ，Ａ)
特開 昭64−17240（ＪＰ，Ａ)
特開 昭62−43848（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−212850（ＪＰ，Ａ)
特開 昭61−188762（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名)
G11B 11/10 506
G11B 11/10 521Continuation of the front page (72) Inventor Akira Takahashi 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation (72) Inventor Kazuo Ban 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Sharp Corporation (72 ) Inventor Junichiro Nakayama 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation (56) References JP-A-60-243844 (JP, A) JP-A-62-293541 (JP, A) JP 64-17240 (JP, A) JP-A-62-43848 (JP, A) JP-A-60-212850 (JP, A) JP-A-61-188762 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 11/10 506 G11B 11/10 521