JP2794905B2 - Microwave band IC package - Google Patents
Microwave band IC packageInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、数十MHz以上の高周波帯、特に30GHz以上
のミリ波帯で動作する半導体集積回路を封入するマイク
ロ波帯IC用パッケージに関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a microwave band IC package for encapsulating a semiconductor integrated circuit operating in a high frequency band of several tens of MHz or more, particularly in a millimeter wave band of 30 GHz or more. It is.
第4図(a)は従来のマイクロ波帯IC用パッケージの
一例(ビームリード型)を示す斜視図、第4図(b)は
他の従来例(マイクロストリップ型)を示す斜視図であ
る。これらの図において、1はパッケージ本体、2はチ
ップ接続用入出力マイクロストリップライン、3は外部
回路接続用入出力ビームリード、4は外部回路接続用入
出力マイクロストリップラインである。FIG. 4 (a) is a perspective view showing an example of a conventional microwave band IC package (beam lead type), and FIG. 4 (b) is a perspective view showing another conventional example (microstrip type). In these figures, 1 is a package body, 2 is an input / output microstrip line for chip connection, 3 is an input / output beam lead for external circuit connection, and 4 is an input / output microstrip line for external circuit connection.
第5図(a)は、第4図(a)のマイクロ波帯IC用パ
ッケージ(ビームリード型)を治具を用いて高周波(R
F)特性の評価を行っている状態を示す斜視図である。
また、第5図(b)は、第4図(b)のマイクロ波帯IC
用パッケージ(マイクロストリップ型)を治具を用いて
高周波(RF)特性の評価を行っている状態を示す斜視図
である。なお、第5図における5は評価用治具、6はビ
ームリード押え、7はICチップ、8はボンディングワイ
ヤである。FIG. 5 (a) shows the microwave band IC package (beam lead type) shown in FIG.
F) It is a perspective view which shows the state which is evaluating the characteristic.
FIG. 5 (b) shows the microwave band IC of FIG. 4 (b).
FIG. 6 is a perspective view showing a state in which high-frequency (RF) characteristics of a package for use (microstrip type) are evaluated using a jig. 5 is an evaluation jig, 6 is a beam lead holder, 7 is an IC chip, and 8 is a bonding wire.
第4図(a)のようなビームリード型パッケージで
は、第5図(a)に示すように、ビームリード3として
単なる金属板を用いているため、パッケージ端面から離
れるに従って特性インピーダンスが変化し、反射や損失
が増大するという問題点があった。In a beam lead type package as shown in FIG. 4 (a), as shown in FIG. 5 (a), since a simple metal plate is used as the beam lead 3, the characteristic impedance changes as the distance from the package end surface increases. There is a problem that reflection and loss increase.
また、第4図(b)のようなマイクロストリップ型パ
ッケージでは、第5図(b)に示すように、測定の際に
外部回路とボンディングワイヤ8を用いて接続する必要
があるため作業性が悪く、また、ボンディグワイヤ8の
寄生インダクタンスに起因して反射や損失が増大すると
いう問題点があった。Further, in a microstrip type package as shown in FIG. 4 (b), as shown in FIG. 5 (b), it is necessary to connect to an external circuit using a bonding wire 8 at the time of measurement, so that workability is improved. Further, there is a problem that reflection and loss increase due to the parasitic inductance of the bonding wire 8.
そして、パッケージ本体1の外部にてモジュールや測
定治具等と接続するには、その長さは数mmにも及び、長
さが長いため特性インピーダンスが不正確になった場合
に受ける悪影響が大きく、また、高い周波数での使用は
困難であった。In order to connect to a module or a measuring jig outside the package body 1, the length is several millimeters, and if the characteristic impedance becomes inaccurate due to the long length, the adverse effect is greatly affected. Also, use at high frequencies has been difficult.
この発明は、かかる問題点を解決するためになされた
もので、高い周波数まで低損失,低反射で、かつ評価の
簡単なマイクロ波帯IC用パッケージを得ることを目的と
する。The present invention has been made to solve such a problem, and an object of the present invention is to provide a microwave band IC package that has low loss and low reflection up to high frequencies and is easy to evaluate.
この発明に係るマイクロ波帯IC用パッケージは、パッ
ケージと外部回路とのRF信号の接続用として、信号線路
と接地線路とを有するコプレーナラインを構成した柔軟
性の薄膜テープからなるリード状誘電体フィルムを用い
るとともに、このリード状誘電体フィルムをパッケージ
の内部へ延長し、パッケージの一部として一体に形成し
たものである。A package for a microwave band IC according to the present invention is a lead-like dielectric film made of a flexible thin-film tape for forming a coplanar line having a signal line and a ground line for connecting an RF signal between the package and an external circuit. And the lead-like dielectric film is extended into the package and integrally formed as a part of the package.
この発明においては、コプレーナラインを構成した柔
軟性の薄膜テープからなるリード状誘電体フィルムをパ
ッケージの内部へ延長しパッケージの一部として一体化
して外部回路との接続を行ったことから、パッケージ端
面から離れたところまで特性インピーダンスが一定とな
り、低損失,低反射のパッケージが得られる。In the present invention, a lead-like dielectric film made of a flexible thin film tape forming a coplanar line is extended into the package and integrated as a part of the package to connect to an external circuit. The characteristic impedance is constant up to the point away from the package, and a package with low loss and low reflection can be obtained.
以下、この発明について説明する。 Hereinafter, the present invention will be described.
第1図はこの発明のマイクロ波帯IC用パッケージの一
実施例を示す斜視図である。この図において、第4図,
第5図と同一符号は同じものを示し、9は、例えばポリ
イミド等の柔軟性の薄膜テープからなるリード状誘電体
フィルム、10は信号線路、11は接地線路であり、前記リ
ード状誘電体フィルム9は、信号線路10をはさんで両側
に接地線路11を有するコプレーナラインが構成されてい
るとともに、パッケージ1の内部へ延長してパッケージ
本体の一部として一体に形成されている。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a microwave band IC package according to the present invention. In this figure, FIG.
The same reference numerals as those in FIG. 5 denote the same parts, 9 is a lead-like dielectric film made of a flexible thin tape such as polyimide, 10 is a signal line, 11 is a ground line, and the lead-like dielectric film is Reference numeral 9 denotes a coplanar line having a ground line 11 on both sides of a signal line 10 and extends to the inside of the package 1 to be integrally formed as a part of the package body.
次に、動作を第2図に基づいて説明する。 Next, the operation will be described with reference to FIG.
第2図は、第1図のマイクロ波帯IC用パッケージの高
周波特性を測定中の状態を示す斜視図である。リード状
誘導体フィルム9は、ある程度の弾力を有するため、リ
ード押え6の裏面に設けられた信号線路(図示せず)と
リード状誘電体フィルム9上に設けられた信号線路10と
の密着は容易であり、良好な作業性を有する。また、寄
生インダクタンスは微量であるため、パッケージ端面で
の反射や損失は非常に小さい。FIG. 2 is a perspective view showing a state where the high frequency characteristics of the microwave band IC package of FIG. 1 are being measured. Since the lead-like dielectric film 9 has a certain degree of elasticity, it is easy to adhere the signal line (not shown) provided on the back surface of the lead holder 6 to the signal line 10 provided on the lead-like dielectric film 9. And has good workability. Also, since the parasitic inductance is very small, reflection and loss at the package end face are very small.
なお、上記実施例では誘電体フィルム9の表面に信号
線路10と接地線路11が設けられているが、第3図に示す
ように誘電体フィルム9の裏面に形成してコプレーナラ
インを構成してもよく、上記実施例と同様の効果を有す
る。In the above embodiment, the signal line 10 and the ground line 11 are provided on the surface of the dielectric film 9, but as shown in FIG. 3, they are formed on the back surface of the dielectric film 9 to form a coplanar line. This has the same effect as the above embodiment.
以上説明したように、この発明は、パッケージと外部
回路とのRF信号の接続用として、コプレーナラインを構
成した柔軟性の薄膜テープからなるリード状誘電体フィ
ルムを用いるとともに、このリード状誘電体フィルムを
パッケージの内部へ延長し、パッケージの一部として一
体に形成したので、パッケージ端面から離れたところま
で特性インピーダンスが一定となり、低損失,低反射
で、かつ評価の簡単なパッケージが得られるとともに、
高精度のパターンの作製が可能で、かつ評価用治具との
接続が1箇所であるため接続が容易で、さらに高周波特
性が大幅に改善される効果がある。As described above, the present invention uses a lead-like dielectric film made of a flexible thin-film tape forming a coplanar line for connection of an RF signal between a package and an external circuit. Is extended inside the package and is integrally formed as a part of the package, so that the characteristic impedance is constant up to the position away from the end face of the package, and a package with low loss, low reflection and easy evaluation can be obtained.
A high-precision pattern can be produced, and since the connection with the evaluation jig is made at one point, the connection is easy and the high-frequency characteristics are greatly improved.
第1図はこの発明のマイクロ波帯IC用パッケージの一実
施例を示す斜視図、第2図はそのパッケージの高周波特
性を測定中の状態を示す斜視図、第3図はこの発明の他
の実施例を示す斜視図、第4図(a)は従来のマイクロ
波帯IC用パッケージの一例(ビームリード型)を示す斜
視図、第4図(b)は他の従来例(マイクロストリップ
型)を示す斜視図、第5図(a)は、第4図(a)のビ
ームリード型パッケージの評価を行っている状態を示す
斜視図、第5図(b)は、第4図(b)のマイクロスト
リップ型パッケージの評価を行っている状態を示す斜視
図である。 図において、1はパッケージ本体、2はチップ接続用入
出力マイクロストリップライン、9はリード状誘電体フ
ィルム、10は信号線路、11は接地線路である。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a microwave band IC package according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a state in which high frequency characteristics of the package are being measured, and FIG. FIG. 4 (a) is a perspective view showing an embodiment, FIG. 4 (a) is a perspective view showing an example of a conventional microwave band IC package (beam lead type), and FIG. 4 (b) is another conventional example (micro strip type). 5 (a) is a perspective view showing a state in which the evaluation of the beam lead type package of FIG. 4 (a) is being performed, and FIG. 5 (b) is a view showing FIG. 4 (b). FIG. 4 is a perspective view showing a state in which the microstrip type package is being evaluated. In the figure, 1 is a package body, 2 is an input / output microstrip line for chip connection, 9 is a lead-like dielectric film, 10 is a signal line, and 11 is a ground line. The same reference numerals in each drawing indicate the same or corresponding parts.
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 23/00 - 23/10Continuation of front page (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H01L 23/00-23/10
Claims (1)
して、信号線路と接地線路とを有するコプレーナライン
を構成した柔軟性の薄膜テープからなるリード状誘電体
フィルムを用いるとともに、このリード状誘電体フィル
ムを前記パッケージの内部へ延長し前記パッケージの一
部として一体に形成したことを特徴とするマイクロ波帯
ICパッケージ。A lead-like dielectric film made of a flexible thin film tape forming a coplanar line having a signal line and a ground line is used for connection of an RF signal between a package and an external circuit. A microwave band, wherein a body film is extended inside the package and integrally formed as a part of the package.
IC package.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2146977A JP2794905B2 (en) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | Microwave band IC package |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2146977A JP2794905B2 (en) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | Microwave band IC package |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0438855A JPH0438855A (en) | 1992-02-10 |
JP2794905B2 true JP2794905B2 (en) | 1998-09-10 |
Family
ID=15419841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2146977A Expired - Lifetime JP2794905B2 (en) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | Microwave band IC package |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2794905B2 (en) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0637202A (en) * | 1992-07-20 | 1994-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | Package for microwave ic |
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US6064286A (en) * | 1998-07-31 | 2000-05-16 | The Whitaker Corporation | Millimeter wave module with an interconnect from an interior cavity |
DE102005012494A1 (en) * | 2005-03-16 | 2006-09-28 | Shf Communication Technologies Ag | Bonding procedure for connecting microwave circuits, involves using bonding wire that has round cross-section, has no loss or low loss, and is covered with electrically non-conductive dielectric |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0262064A (en) * | 1988-08-29 | 1990-03-01 | Fujitsu Ltd | Ceramic package |
-
1990
- 1990-06-04 JP JP2146977A patent/JP2794905B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH0438855A (en) | 1992-02-10 |
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