JP2792549B2 - Method and apparatus for correcting inclination of roundness measuring machine - Google Patents

Method and apparatus for correcting inclination of roundness measuring machine

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JP2792549B2
JP2792549B2 JP12210292A JP12210292A JP2792549B2 JP 2792549 B2 JP2792549 B2 JP 2792549B2 JP 12210292 A JP12210292 A JP 12210292A JP 12210292 A JP12210292 A JP 12210292A JP 2792549 B2 JP2792549 B2 JP 2792549B2
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は真円度測定機の傾き補正
方法及び装置に係り、特に回転テーブルに載置された被
測定物に測定子を接触して被測定物の真円度や形状等を
測定する真円度測定機の傾き補正方法及び装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for correcting the inclination of a roundness measuring instrument, and more particularly to a method for measuring the roundness of a measured object by contacting a measuring element with the measured object placed on a rotary table. The present invention relates to a method and an apparatus for correcting a tilt of a roundness measuring device for measuring a shape or the like.

【０００２】[0002]

【従来の技術】真円度測定機は回転テーブルに載置され
た被測定物の軸心傾きが回転テーブルの回転軸心に対し
て真円度測定機の演算範囲を越えていると、被測定物を
測定することができない。従って、真円度測定機で被測
定物を測定する場合、回転テーブルに載置された被測定
物の軸心傾きを測定可能な範囲内に入るように、被測定
物の軸心傾きを補正する必要がある。2. Description of the Related Art A roundness measuring machine is provided with a method in which an object to be measured placed on a rotary table is tilted with respect to the rotation axis of the rotary table and exceeds a calculation range of the roundness measuring machine. The measured object cannot be measured. Therefore, when measuring an object to be measured with a roundness measuring machine, the axis of the object to be measured is corrected so that the axis of the object placed on the rotary table falls within the measurable range. There is a need to.

【０００３】そして、被測定物の軸心傾きを補正する場
合、先ず、回転テーブルに載置されている被測定物が測
定可能な範囲内に入るように、測定者が目視で被測定物
の軸心傾きを補正する。この状態が図６に示されてい
る。次に、図６に示すように被測定物２のＡ点に測定子
を接触して、Ａ点の被測定物２の軸心Ｃ２と回転テーブ
ル４の回転中心Ｃ１とのズレ量をモニタ用のメータを見
ながら補正する。次いで、被測定物２のＢ点に測定子を
接触して、Ｂ点の被測定物２の軸心Ｃ２と回転テーブル
４の回転中心Ｃ１とのズレ量をモニタ用のメータを見な
がら補正する。When correcting the inclination of the axis of the object to be measured, first, a measurer visually checks the object to be measured so that the object placed on the rotary table falls within a measurable range. Correct the axis inclination. This state is shown in FIG. Next, as shown in FIG. 6, the tracing stylus is brought into contact with the point A of the DUT 2 to monitor the amount of deviation between the axis C2 of the DUT 2 at the point A and the rotation center C1 of the rotary table 4. Correct while looking at the meter. Next, the tracing stylus is brought into contact with the point B of the DUT 2 to correct the deviation between the axis C2 of the DUT 2 at the point B and the rotation center C1 of the turntable 4 while looking at the monitor meter. .

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ｂ点の
ズレ量を補正すると、既に補正が完了しているＡ点が、
Ｂ点の移動と共に移動するので、再度Ａ点のズレ量の補
正を行う必要がある。そして、Ａ点のズレ量補正を再度
行うと、Ａ点のズレ量補正と同時に既に補正が完了して
いるＢ点が、Ａ点の移動と共に移動するので、Ｂ点のズ
レ量の補正を再度行う必要がある。However, when the deviation amount of point B is corrected, point A, which has already been corrected,
Since it moves together with the movement of point B, it is necessary to correct the deviation amount of point A again. When the deviation correction of the point A is performed again, the point B, which has already been corrected at the same time as the deviation correction of the point A, moves together with the movement of the point A. Therefore, the correction of the deviation of the point B is performed again. There is a need to do.

【０００５】従って、Ａ点とＢ点の補正を交互に行う必
要があり、さらに、この補正作業には作業熟練者が要求
されるという問題がある。本発明はこのような事情に鑑
みてなされたもので、被測定物の軸心傾きの補正を作業
熟練者以外の作業者でも容易に行うことができる真円度
測定機の傾き補正方法及び装置を提供することを目的と
する。Therefore, it is necessary to alternately correct the points A and B, and furthermore, there is a problem that a skilled worker is required for this correction work. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and a tilt correction method and apparatus of a roundness measuring machine that can easily perform correction of an axial center tilt of an object to be measured by an operator other than a skilled worker. The purpose is to provide.

【０００６】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、測定子を被測定物の任意の測定点に接触し
た状態で回転テーブルを回転して、測定子の変位量に基
づいて複数の測定点における被測定物の軸心と回転テー
ブルの回転中心との各々のズレ量を算出する工程と、前
記算出された各々のズレ量に基づいて、回転テーブルの
チルト中心位置における被測定物の軸心と回転テーブル
の回転中心とのズレ量を算出して、該チルト中心位置の
ズレ量を表示する工程と、前記表示されたチルト中心位
置のズレ量が零になるように回転テーブルをＸ、Ｙ軸方
向に移動する工程と、前記測定子を被測定物の任意の測
定点に接触した状態で回転テーブルを回転して、任意の
測定点における被測定物の傾き量を算出して、該傾き量
を表示する工程と、前記表示された傾き量が零になるよ
うに回転テーブルをＸ、Ｙ軸方向にチルト移動して、回
転テーブルの回転中心と被測定物の軸心とを一致させる
工程と、を備えたことを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a method for measuring a displacement of a measuring element by rotating a rotary table with the measuring element in contact with an arbitrary measuring point of an object to be measured. Calculating the amount of deviation between the axis of the DUT at a plurality of measurement points and the center of rotation of the rotary table, based on the calculated amount of deviation, at the tilt center position of the rotary table. Calculating the amount of deviation between the axis of the object to be measured and the rotation center of the rotary table, and displaying the amount of deviation of the tilt center position, such that the amount of deviation of the displayed tilt center position becomes zero. Moving the rotary table in the X and Y axis directions, and rotating the rotary table in a state in which the tracing stylus is in contact with an arbitrary measurement point on the object to be measured to determine a tilt amount of the object at an arbitrary measurement point. Calculating and displaying the amount of tilt; Tilting the rotary table in the X and Y-axis directions so that the displayed tilt amount becomes zero so that the center of rotation of the rotary table coincides with the axis of the object to be measured. Features.

【０００７】[0007]

【作用】本発明によれば、真円度測定機の傾き補正装置
は、被測定物の所定の測定点に測定子を接触した状態で
被測定物を回転して測定子の変位量に基づいて所定の測
定点における被測定物の軸心と回転テーブルの回転中心
とのズレ量を算出する。制御手段は複数の測定点におけ
るズレ量に基づいて、回転テーブルのチルト中心位置に
おける被測定物の軸心と回転テーブルの回転中心との
Ｘ、Ｙ軸方向のズレ量、及び被測定物の軸心の傾き量を
算出する。According to the present invention, the inclination correcting device of the roundness measuring machine rotates the object under measurement while the measuring element is in contact with a predetermined measuring point of the object to measure based on the displacement of the measuring element. Then, the amount of deviation between the axis of the workpiece and the rotation center of the rotary table at a predetermined measurement point is calculated. The control means is configured to determine, based on the shift amounts at the plurality of measurement points, the shift amounts in the X and Y axes between the axis of the DUT at the tilt center position of the rotary table and the rotation center of the rotary table, and the axis of the DUT. Calculate the amount of inclination of the mind.

【０００８】また、表示部は制御手段で算出されたＸ、
Ｙ軸方向のズレ量、被測定物の軸心の傾き量を表示す
る。そして、回転テーブル調整手段は表示部に表示され
たＸ、Ｙ軸方向のズレ量を零にするように回転テーブル
をＸ軸方向、Ｙ軸方向に水平移動することができ、回転
テーブルチルト調整手段は表示部に表示された被測定物
の軸心の傾き量を零にするように回転テーブルをＸ軸方
向、Ｙ軸方向にチルト移動することができる。Further, the display unit displays X, calculated by the control means,
The displacement amount in the Y-axis direction and the inclination amount of the axis of the object to be measured are displayed. Then, the rotary table adjusting means can horizontally move the rotary table in the X-axis direction and the Y-axis direction so that the amount of deviation in the X and Y-axis directions displayed on the display unit becomes zero. Can tilt the rotary table in the X-axis direction and the Y-axis direction so that the tilt amount of the axis of the DUT displayed on the display unit becomes zero.

【０００９】従って、回転テーブルのチルト中心位置に
おける被測定物の軸心と回転テーブルの回転中心とのズ
レ量を算出すると共にズレ量を表示して、表示されたズ
レ量が零になるように回転テーブルをＸ、Ｙ軸方向に移
動する。そして、任意の測定点における被測定物の傾き
量を算出すると共に傾き量を表示して、表示された傾き
量が零になるように回転テーブルをＸ、Ｙ軸方向にチル
ト移動する。これにより、回転テーブルの回転中心と被
測定物の軸心とが一致する。Therefore, the amount of deviation between the axis of the DUT at the tilt center position of the rotary table and the center of rotation of the rotary table is calculated and the amount of deviation is displayed so that the displayed amount of deviation becomes zero. The rotary table is moved in the X and Y axis directions. Then, the tilt amount of the measured object at an arbitrary measurement point is calculated, the tilt amount is displayed, and the rotary table is tilted in the X and Y axis directions so that the displayed tilt amount becomes zero. As a result, the rotation center of the rotary table coincides with the axis of the DUT.

【００１０】また、被測定物の軸心のチルト中心位置か
ら任意の測定点までの被測定物の軸心の傾き量を算出す
ると共に傾き量を表示して、表示された傾き量が零にな
るように回転テーブルをＸ、Ｙ軸方向にチルト移動す
る。次に、チルト移動完了後の被測定物の軸心と回転テ
ーブルの回転中心との、任意の測定点におけるズレ量を
算出すると共にズレ量を表示する。そして、表示された
ズレ量が零になるように回転テーブルをＸ、Ｙ軸方向に
移動して、回転テーブルの回転中心と被測定物の軸心と
を一致させる。In addition, the amount of inclination of the axis of the object to be measured from the tilt center position of the axis of the object to an arbitrary measurement point is calculated and the amount of inclination is displayed, and the displayed amount of inclination becomes zero. The rotary table is tilted in the X and Y axis directions so that Next, a deviation amount at an arbitrary measurement point between the axis of the object to be measured after the completion of the tilt movement and the rotation center of the rotary table is calculated, and the deviation amount is displayed. Then, the rotary table is moved in the X and Y-axis directions so that the displayed shift amount becomes zero, and the center of rotation of the rotary table and the axis of the DUT are made to coincide.

【００１１】[0011]

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る真円度測
定機の傾き補正方法及び装置について詳説する。図１に
は真円度測定機１０の要部拡大が示されている。真円度
測定機１０はベース１２を備えていて、ベース１２には
回転体１４が軸受（図示せず。）を介して回転可能に支
持されている。回転体１４のシャフト１４Ａはギア１４
Ｂ、１４Ｃを介してモータ１５に連結されている。従っ
て、モータ１５が駆動すると回転体１４が回転し、回転
体１４の回転角はエンコーダ１７で検知される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a method and an apparatus for correcting a tilt of a roundness measuring machine according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows an enlarged main part of the roundness measuring device 10. The roundness measuring device 10 includes a base 12, on which a rotating body 14 is rotatably supported via a bearing (not shown). The shaft 14A of the rotating body 14 is a gear 14
B, 14C are connected to the motor 15. Therefore, when the motor 15 is driven, the rotating body 14 rotates, and the rotation angle of the rotating body 14 is detected by the encoder 17.

【００１２】回転体１４にはベアリング１６、１６…を
介してＸテーブル１８がＸ軸方向に移動自在に支持され
ていて、Ｘテーブル１８にはベアリング２０、２０…を
介してＹテーブル２２がＹ軸方向に移動自在に支持され
ている。Ｙテーブル２２の表面は凹状の球面に形成され
ている。この球面にはベアリング２４、２４…を介して
回転テーブル２６の凸状の球面が支持されている。An X table 18 is supported by the rotating body 14 via bearings 16, 16... Movably in the X-axis direction, and a Y table 22 is supported by the X table 18 via bearings 20, 20. It is supported movably in the axial direction. The surface of the Y table 22 is formed as a concave spherical surface. The spherical surface of the rotary table 26 is supported by bearings 24, 24,.

【００１３】一方、回転体１４のＸ軸方向の左右端部に
は張出部１４Ａ、１４Ｂを介して、それぞれＸ軸方向の
調整ツマミ２８、Ｘ軸スプリング３０が設けられてい
る。Ｘ軸スプリング３０、Ｘ軸調整ツマミ２８はそれぞ
れＸテーブル１８のＸ軸方向の両端部に当接している。
従って、Ｘ軸調整ツマミ２８を回動するとＸテーブル１
８はＸ軸方向に移動する。また、Ｙテーブル２２のＹ軸
方向の両端部には、Ｘテーブル１８と同様にＹ軸調整ツ
マミとＹ軸スプリング（双方図示せず。）が設けられて
いて、Ｙ軸調整ツマミの回動でＹテーブル２２はＹ軸方
向に移動する。On the other hand, an adjustment knob 28 in the X-axis direction and an X-axis spring 30 are provided at left and right ends in the X-axis direction of the rotating body 14 via protrusions 14A and 14B, respectively. The X-axis spring 30 and the X-axis adjustment knob 28 are in contact with both ends of the X table 18 in the X-axis direction.
Therefore, when the X axis adjustment knob 28 is rotated, the X table 1
8 moves in the X-axis direction. At both ends in the Y-axis direction of the Y-table 22, a Y-axis adjustment knob and a Y-axis spring (both not shown) are provided similarly to the X table 18, and when the Y-axis adjustment knob is turned. The Y table 22 moves in the Y axis direction.

【００１４】Ｙテーブル２２のＸ軸方向の左右端部には
張出部２２Ａ、２２Ｂを介して、それぞれＸ軸方向のチ
ルチング調整ツマミ３２、Ｘ軸スプリング３４が支持さ
れている。Ｘ軸方向のチルチング調整ツマミ３２、Ｘ軸
スプリング３４は回転テーブル２６のＸ軸方向の両端部
に当接している。さらに、回転テーブル２６のＹ軸方向
の両端部にはＸ軸方向と同様に、それぞれＹ軸方向のチ
ルチング調整ツマミとＹ軸スプリング（双方図示せ
ず。）が当接されている。従って、Ｘ軸方向のチルチン
グ調整ツマミ３２又はＹ軸方向のチルチング調整ツマミ
を回動すると、回転テーブル２６がＸ軸方向又はＹ軸方
向にチルトする。The left and right ends of the Y table 22 in the X-axis direction are supported by X-axis tilting adjustment knobs 32 and X-axis springs 34 via protrusions 22A and 22B, respectively. The tilting adjustment knob 32 and the X-axis spring 34 in the X-axis direction are in contact with both ends of the rotary table 26 in the X-axis direction. Further, similarly to the X-axis direction, a tilting adjustment knob and a Y-axis spring (both not shown) in the Y-axis direction are in contact with both ends in the Y-axis direction of the rotary table 26, respectively. Therefore, when the tilting adjustment knob 32 in the X-axis direction or the tilting adjustment knob in the Y-axis direction is turned, the rotary table 26 is tilted in the X-axis direction or the Y-axis direction.

【００１５】また、回転テーブル２６はθモータ１５の
駆動で回転体１４と一体的に回転するので、回転テーブ
ル２６の回転角はエンコーダ１７で検知される。図２に
示すように、θエンコーダ１７にはθパルスジェネレー
タ（以下、θ−ＰＧと称す。）１７Ａが設けられてい
て、θ−ＰＧ１７Ａは回転テーブル２６の回転角の信号
を速度制御部１５Ａにフィードバックする。速度制御部
１５Ａは後述する制御手段３９（以下「ＣＰＵ３９」と
称す。）から出力された回転角信号とθ−ＰＧ１７Ａの
フィードバック信号とに基づいて、ドライバ１７Ｂに適
正な回転角信号を出力する。θモータ１５はドライバ１
７Ｂから出力された信号に基づいて回転テーブル２６を
所望の回転角度まで回転する。Further, since the rotary table 26 rotates integrally with the rotating body 14 by driving the θ motor 15, the rotation angle of the rotary table 26 is detected by the encoder 17. As shown in FIG. 2, the θ encoder 17 is provided with a θ pulse generator (hereinafter referred to as θ-PG) 17A, and the θ-PG 17A sends a signal of the rotation angle of the turntable 26 to the speed control unit 15A. provide feedback. The speed control unit 15A outputs an appropriate rotation angle signal to the driver 17B based on the rotation angle signal output from the control unit 39 (hereinafter, referred to as “CPU 39”) and the feedback signal of the θ-PG 17A. θ motor 15 is driver 1
The rotary table 26 is rotated to a desired rotation angle based on the signal output from 7B.

【００１６】さらに、ベース１２にはコラム４０が立設
されていて、コラム４０には同軸上に垂直方向の送りね
じ４２が回動自在に支持されている。送りねじ４２の下
端部はＺモータ４４の駆動シャフトに連結されていて、
送りねじ４２の上端部はＺエンコーダ４６に連結されて
いる。また、送りねじ４２の略中央には昇降体４８が螺
合されている。従って、Ｚモータ４４が駆動すると昇降
体４８が上下方向に移動する。A column 40 is erected on the base 12, and a vertical feed screw 42 is rotatably supported coaxially on the column 40. The lower end of the feed screw 42 is connected to the drive shaft of the Z motor 44,
The upper end of the feed screw 42 is connected to a Z encoder 46. An elevating body 48 is screwed substantially at the center of the feed screw 42. Therefore, when the Z motor 44 is driven, the elevating body 48 moves up and down.

【００１７】昇降体４８には 水平方向の送りねじ５０
が回動自在に支持されていて、送りねじ５０はギア５０
Ａ、５０Ｂを介してＲモータ５２の駆動シャフトに連結
されている。また、送りねじ５０にはギア５０Ａを介し
てＲエンコーダ５４が連結されている。さらに、送りね
じ５０の略中央にはアーム５６の脚部５６Ａがねじ結合
されている。従って、Ｒモータ５２が駆動すると送りね
じ５０が回転し、アーム５６が図１上で左右方向に移動
する。The elevating body 48 has a horizontal feed screw 50
Are rotatably supported, and the feed screw 50 is
A and 50B are connected to the drive shaft of the R motor 52. An R encoder 54 is connected to the feed screw 50 via a gear 50A. Further, a leg portion 56A of the arm 56 is screwed to a substantially center of the feed screw 50. Accordingly, when the R motor 52 is driven, the feed screw 50 rotates, and the arm 56 moves in the left and right direction in FIG.

【００１８】アーム５６の先端部には検出器５８が取り
付けられていて、検出器５８には先端子５８Ａが設けら
れている。先端子５８Ａの高さ位置はＺエンコーダ４６
によって検出され、先端子５８Ａの径方向の位置検出は
Ｒエンコーダ５４によって検出される。Ｚエンコーダ４
６にはＺパルスジェネレータ（以下、Ｚ−ＰＧと称
す。）４６Ａが設けられていて、Ｚ−ＰＧ４６Ａは先端
子５８Ａの高さ信号を速度制御部４４Ａにフィードバッ
クする。速度制御部４４ＡはＣＰＵ３９から出力された
高さ信号とＺ−ＰＧ４６Ａのフィードバック信号とに基
づいて、ドライバ４４Ｂに適正な高さ信号を出力する。
Ｚモータ４４はドライバ４４Ｂから出力された信号に基
づいて駆動して、先端子５８Ａを所望の高さ位置まで昇
降させる。A detector 58 is attached to the tip of the arm 56, and the detector 58 is provided with a terminal 58A. The height position of the tip terminal 58A is the Z encoder 46.
The radial position of the tip terminal 58A is detected by the R encoder 54. Z encoder 4
6 is provided with a Z pulse generator (hereinafter, referred to as Z-PG) 46A, and the Z-PG 46A feeds back a height signal of the terminal 58A to the speed controller 44A. The speed control unit 44A outputs an appropriate height signal to the driver 44B based on the height signal output from the CPU 39 and the feedback signal of the Z-PG 46A.
The Z motor 44 is driven based on a signal output from the driver 44B, and moves the tip terminal 58A up and down to a desired height position.

【００１９】Ｒエンコーダ５４にはＲパルスジェネレー
タ（以下、Ｒ−ＰＧと称す。）５４Ａが設けられてい
て、Ｒ−ＰＧ５４Ａは先端子５８Ａの径方向の信号を速
度制御部５２Ａにフィードバックする。速度制御部５２
ＡはＣＰＵ３９から出力された径方向の信号とＲ−ＰＧ
５４Ａのフィードバック信号とに基づいて、ドライバ５
２Ｂに適正な高さ信号を出力する。Ｒモータ５２はドラ
イバ５２Ｂから出力された信号に基づいて先端子５８Ａ
を所望の径方向位置まで移動する。The R encoder 54 is provided with an R pulse generator (hereinafter, referred to as R-PG) 54A, and the R-PG 54A feeds back a signal in the radial direction of the terminal 58A to the speed controller 52A. Speed controller 52
A is a signal in the radial direction output from the CPU 39 and R-PG
54A based on the feedback signal of 54A.
An appropriate height signal is output to 2B. The R motor 52 has a terminal 58A based on a signal output from the driver 52B.
To the desired radial position.

【００２０】尚、図２上でカウンタ１７Ｂ、４６Ｂ、５
４Ｂはそれぞれθ−ＰＧ１７Ａ、Ｚ−ＰＧ４６Ａ、Ｒ−
ＰＧ５４Ａから出力されたパルス信号をカウントしてカ
ウント値をＣＰＵ３９に伝達する。一方、図２に示すよ
うに検出器５８からの検出信号は、増幅倍率切換部６
２、フィルタ６４を介して演算部６６に入力される。演
算部６６に入力された信号はＡ／Ｄ変換器６８を介して
ＣＰＵ３９に入力される。尚、演算部６６に入力された
信号はメータ７０に出力される。The counters 17B, 46B, 5B in FIG.
4B is θ-PG17A, Z-PG46A, R-
The pulse signal output from the PG 54A is counted, and the count value is transmitted to the CPU 39. On the other hand, as shown in FIG.
2. The data is input to the calculation unit 66 via the filter 64. The signal input to the operation unit 66 is input to the CPU 39 via the A / D converter 68. Note that the signal input to the arithmetic unit 66 is output to the meter 70.

【００２１】そして、上述したＣＰＵ３９は、ワーク６
０の所定の測定点に測定子５８Ａを接触した状態で回転
テーブル２６を回転した時、測定子５８Ａの変位量に基
づいて所定の測定点におけるワーク６０の軸心と回転テ
ーブル２６の回転中心とのズレ量を算出することができ
る。さらに、ＣＰＵ３９は複数の測定点におけるワーク
６０の軸心と回転テーブル２６の回転中心とのズレ量に
基づいて、回転テーブル２６のチルト中心位置における
ワーク６０の軸心と回転テーブル２６の回転中心との
Ｘ、Ｙ軸方向のズレ量、及びワーク６０の軸心の傾き量
を算出することができる。Then, the above-mentioned CPU 39 operates the work 6
When the rotary table 26 is rotated in a state where the tracing stylus 58A is in contact with a predetermined measuring point of 0, the axis of the workpiece 60 and the rotation center of the rotating table 26 at the predetermined measuring point are determined based on the displacement of the tracing stylus 58A. Can be calculated. Further, the CPU 39 determines the axis of the workpiece 60 and the rotation center of the rotary table 26 at the tilt center position of the rotary table 26 based on the amount of deviation between the axis of the workpiece 60 and the rotation center of the rotary table 26 at a plurality of measurement points. Can be calculated in the X and Y axis directions, and the amount of inclination of the axis of the work 60 can be calculated.

【００２２】また、ディスプレイ７２はＣＰＵ３９で算
出されたＸ、Ｙ軸方向のズレ量、ワーク６０の軸心の傾
き量を表示する。尚、図２上で７４は操作スイッチを示
し、操作スイッチ７４は所望のデータをＣＰＵ３９に入
力することができる。このように構成された本発明に係
る真円度測定機の傾き補正装置を使用した傾き補正方法
(1)、(2)について説明する。尚、この場合、回転テーブ
ル２６のチルト中心Ｔは回転テーブル２６の表面から上
方にＴ＝７５mmの位置に設定されている。The display 72 displays the amount of displacement in the X and Y directions calculated by the CPU 39 and the amount of inclination of the axis of the work 60. In FIG. 2, reference numeral 74 denotes an operation switch, and the operation switch 74 can input desired data to the CPU 39. A tilt correction method using the tilt correction device of the roundness measuring machine according to the present invention configured as described above.
(1) and (2) will be described. In this case, the tilt center T of the turntable 26 is set at a position T = 75 mm above the surface of the turntable 26.

【００２３】１．先ず、傾き補正方法(1)について図３
のフローチャート及び図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に基
づいて説明する。ワーク６０を回転テーブル２６に載置
して、ワーク６０が測定可能な範囲内に入るように、測
定者が目視で被測定物の軸心傾きを補正する。次に、ス
テップ９０のディスプレイ７２に表示された支持に従っ
て、測定子５８Ａをワーク６０の測定点Ａ（図４（Ａ）
参照）に接触した状態で回転テーブル２６を１回転す
る。1. First, the tilt correction method (1) is shown in FIG.
4 and FIGS. 4A, 4B, and 4C. The work 60 is placed on the rotary table 26, and the measurer visually corrects the tilt of the axis of the measured object so that the work 60 falls within the measurable range. Next, according to the support displayed on the display 72 in step 90, the tracing stylus 58A is moved to the measuring point A of the work 60 (FIG.
(See FIG. 1), the rotary table 26 makes one rotation.

【００２４】この場合、検出器５８は測定子５８Ａの移
動量を変位信号に変換して、変換した変位信号を出力す
る。出力された信号は演算部６６、Ａ／Ｄ変換器６８等
を介してＣＰＵ３９に入力する。ＣＰＵ３９は入力され
た変位信号に基づいてワーク６０の軸心Ｃ２と回転テー
ブル２６の回転中心Ｃ１とのズレ量Ａ（ＸA 、ＹA ）を
算出する。In this case, the detector 58 converts the amount of movement of the tracing stylus 58A into a displacement signal and outputs the converted displacement signal. The output signal is input to the CPU 39 via the arithmetic unit 66, the A / D converter 68, and the like. The CPU 39 calculates a deviation A (X A , Y A ) between the axis C2 of the work 60 and the rotation center C1 of the turntable 26 based on the input displacement signal.

【００２５】測定点ＡがＺ＝７５mmの位置に一致してい
ない場合、ステップ９２のディスプレイ７２に表示され
た支持に従って、測定子５８Ａをワーク６０の測定点Ｂ
に接触して、この状態で回転テーブル２６を１回転す
る。これにより、測定点Ａの場合と同様に、測定点Ｂに
おけるワーク６０の軸心Ｃ２と回転テーブル２６の回転
中心Ｃ１とのズレ量Ｂ（ＸB 、ＹB ）が算出される。If the measuring point A does not coincide with the position of Z = 75 mm, the stylus 58A is moved to the measuring point B of the workpiece 60 in accordance with the support displayed on the display 72 in step 92.
And the rotary table 26 makes one rotation in this state. Thus, as in the case of the measurement point A, the deviation amount B (X B, Y B) with the axis C2 and the rotation center C1 of the rotary table 26 of the workpiece 60 at the measurement point B is calculated.

【００２６】ＣＰＵ３９は算出されたズレ量Ａ（ＸA 、
ＹA ）、及びズレ量Ｂ（ＸB 、ＹB）に基づいて、回転
テーブル２６のチルト中心Ｔにおけるワーク６０の軸心
Ｃ２と回転テーブル２６の回転中心Ｃ１とのズレ量Ｔ
（Ｘ、Ｙ）を算出する。この算出は次式(1)、(2)に基づ
いて行われる。 Ｘ＝ＸA ＋（ＸB −ＸA ）・（Ｈ1 ／Ｈ2 ） …(1) Ｙ＝ＹA ＋（ＹB −ＹA ）・（Ｈ1 ／Ｈ2 ） …(2) ただし、Ｈ1 ＝測定点Ａと回転テーブル２６のチルト中
心Ｔ間の距離 Ｈ2 ＝測定点Ａと測定点Ｂ間の距離 算出されたズレ量Ｔ（Ｘ、Ｙ）はディスプレイ７２に表
示される（ステップ９４）。測定者はステップ９４のデ
ィスプレイ７２に表示されたズレ量Ｔ（Ｘ、Ｙ）を見な
がらＸ軸調整ツマミ２８、Ｙ軸調整ツマミを回動して、
ズレ量Ｔ（Ｘ、Ｙ）が零になるように補正する。これに
より、ワーク６０の軸心Ｃ２と回転テーブル２６の回転
中心Ｃ１との関係は図４（Ｂ）のようになる。The CPU 39 calculates the calculated shift amount A (X A ,
Y A), and shift amount B (X B, Y B) on the basis of the deviation amount T of the axial center C2 of the workpiece 60 in the tilt center T of the rotary table 26 and the rotation center C1 of the rotary table 26
(X, Y) is calculated. This calculation is performed based on the following equations (1) and (2). X = X A + (X B -X A) · (H 1 / H 2) ... (1) Y = Y A + (Y B -Y A) · (H 1 / H 2) ... (2) However, H 1 = distance between measurement point A and tilt center T of rotary table 26 H 2 = distance between measurement point A and measurement point B The calculated shift amount T (X, Y) is displayed on the display 72 (step). 94). The measurer turns the X-axis adjustment knob 28 and the Y-axis adjustment knob while watching the deviation amount T (X, Y) displayed on the display 72 in step 94,
Correction is performed so that the deviation amount T (X, Y) becomes zero. Thus, the relationship between the axis C2 of the work 60 and the rotation center C1 of the turntable 26 is as shown in FIG.

【００２７】補正完了後、ステップ９６のディスプレイ
７２に表示された支持に従って、測定子５８Ａをワーク
６０の測定点Ｂに接触させて、回転テーブル２６を１回
転させる。これにより、ＣＰＵ３９が測定点Ｂにおける
ワーク６０の軸心Ｃ２と回転テーブル２６の回転中心Ｃ
１との傾き量Ｂ′( ＸB ′、ＹB ′）を算出する。算出
された傾き量Ｂ′( ＸB ′、ＹB ′）はステップ９８の
ディスプレイ７２に表示される。測定者はディスプレイ
７２に表示された傾き量Ｂ′( ＸB ′、Ｙ B ′）を見な
がらＸ軸方向のチルチング調整ツマミ３２、Ｙ軸方向の
チルチング調整ツマミを回動して、傾き量Ｂ′(
ＸB ′、ＹB ′）が零になるように補正する。これによ
り、図４（Ｃ）に示すようにワーク６０の軸心Ｃ２は回
転テーブル２６の回転中心Ｃ１と一致する。After the correction is completed, the display in step 96
In accordance with the support indicated at 72, the probe 58A is
60 rotation point 26 once
Invert. As a result, the CPU 39
The axis C2 of the work 60 and the rotation center C of the rotary table 26
The amount of inclination B '(XB', YB'). Calculation
Slope amount B '(XB', YB') In step 98
It is displayed on the display 72. Measurer displays
72, the tilt amount B ′ (XB', Y B')
The tilting adjustment knob 32 in the X-axis direction is
By rotating the tilting adjustment knob, the tilt amount B ′ (
XB', YB') Is corrected to zero. This
4C, the axis C2 of the work 60 is rotated.
It coincides with the rotation center C1 of the turntable 26.

【００２８】これにより、ワーク６０の傾き補正が完了
し、補正完了後、ワーク６０の真円度等を測定する。以
下、上述した測定工程を順次繰り返して新たなワーク６
０の傾きを補正し、補正完了後、新たなワーク６０の真
円度等を測定する。一方、ステップ９０の測定点ＡがＺ
＝７５mmに一致している場合、ステップ１００のディス
プレイ７２に表示された支持に従って、測定子５８Ａを
ワーク６０の測定点Ｂに接触して、この状態で回転テー
ブル２６を１回転する。これにより、測定点Ｂにおける
ワーキ６０の傾き量が算出される。算出された測定点Ｂ
におけるワーキ６０の傾き量はディスプレイ７２に表示
される（ステップ９８）。ステップ９８ではディスプレ
イ７２に表示された測定点Ｂにおけるワーキ６０の傾き
量を見ながら、Ｘ軸方向のチルチング調整ツマミ３２、
Ｙ軸方向のチルチング調整ツマミを回動する。これによ
り、図４（Ｃ）に示すようにワーク６０の軸心Ｃ２が回
転テーブル２６の回転中心Ｃ１に一致する。Thus, the inclination correction of the work 60 is completed, and after the correction is completed, the roundness of the work 60 is measured. Hereinafter, the above-described measuring steps are sequentially repeated to obtain a new work 6.
The inclination of 0 is corrected, and after the correction is completed, the roundness or the like of the new work 60 is measured. On the other hand, the measurement point A in step 90 is Z
= 75 mm, the tracing stylus 58A is brought into contact with the measuring point B of the work 60 in accordance with the support displayed on the display 72 in step 100, and the turntable 26 is rotated once in this state. Thereby, the inclination amount of the work 60 at the measurement point B is calculated. Calculated measurement point B
Is displayed on the display 72 (step 98). In step 98, while observing the amount of tilt of the work 60 at the measurement point B displayed on the display 72, the tilting adjustment knob 32 in the X-axis direction,
Rotate the tilt adjustment knob in the Y-axis direction. Thus, the axis C2 of the work 60 coincides with the rotation center C1 of the turntable 26 as shown in FIG.

【００２９】但し、ワーク６０への測定子５８Ａの当て
方で、検出器５８に設けられている作動トランスには径
方向のオフセット量によるズレが生じ、このズレはＣＰ
Ｕ３９で求めることができる。さらに、本発明に係る真
円度測定機の傾き補正装置には図１に示すように、径方
向に測定子５８Ａを送るためのＤＣサーボモータ５２と
エンコーダ５４（スケール）が設けられているので、ズ
レを自動補正することができる。However, depending on how the tracing stylus 58A is applied to the work 60, the working transformer provided in the detector 58 is displaced by an offset amount in the radial direction.
It can be determined at U39. Further, as shown in FIG. 1, the inclination correction device of the roundness measuring machine according to the present invention is provided with a DC servomotor 52 for sending a stylus 58A in a radial direction and an encoder 54 (scale). , The deviation can be automatically corrected.

【００３０】従って、上記ステップ９０乃至ステップ１
００の工程において、ワーク６０への測定子５８Ａの当
て方で生じる径方向のオフセット量によるズレを考慮せ
ずにワーク６０の傾きの補正が可能である。前記実施例
では、先ず回転テーブル２６に載置されたワーク６０が
真円度測定機で測定可能な範囲内（すなわち、検出器５
８に設けられている作動トランスの測定範囲内）に入る
ように、測定者が目視で被測定物の軸心傾きを補正した
後、本発明に係る真円度測定機の傾き補正装置でワーク
６０の傾きを補正した。Therefore, the above steps 90 to 1
In the process of 00, the inclination of the work 60 can be corrected without considering a deviation due to a radial offset amount caused by a method of applying the tracing stylus 58A to the work 60. In the above-described embodiment, first, the work 60 placed on the turntable 26 is within the range that can be measured by the roundness measuring device (that is, the detector
8 is within the measurement range of the working transformer provided in the working transformer 8), the operator visually corrects the inclination of the axis of the object to be measured, and then uses the inclination correction device of the roundness measuring machine according to the present invention. 60 tilts were corrected.

【００３１】しかしながら、真円度測定機の傾き補正装
置には、上述したように径方向に測定子５８Ａを送るた
めのＤＣサーボモータ５２とエンコーダ５４（スケー
ル）が設けられている。従って、このスケール５４の変
位量を利用すれば、ワーク６０が作動トランスの測定範
囲内に入らない程、傾斜していても真円度測定機の傾き
補正装置でワーク６０の傾きを補正することができる。However, the inclination correction device of the roundness measuring machine is provided with the DC servo motor 52 for sending the tracing stylus 58A in the radial direction and the encoder 54 (scale) as described above. Therefore, if the displacement amount of the scale 54 is used, the inclination of the work 60 can be corrected by the inclination correction device of the roundness measuring device even if the work 60 is inclined so as not to be within the measurement range of the operation transformer. Can be.

【００３２】２．次に傾き補正方法(2)について図５
（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に基づいて説明する。先ず、傾
き補正方法(1)と同様に、ワーク６０の軸心Ｃ２と回転
テーブル２６の回転中心Ｃ１とのズレ量Ａ（ＸA 、
ＹA ）、ズレ量Ｂ（ＸB 、ＹB ）を求める。ＣＰＵ３９
は算出されたズレ量Ａ（ＸA 、ＹA ）、ズレ量Ｂ
（ＸB 、ＹB ）基づいて、次式(3)、(4)から図５（Ａ）
に示す傾き量Ｂ（Ｘ、Ｙ）を算出する。2. Next, the tilt correction method (2) is shown in FIG.
A description will be given based on (A), (B), and (C). First, similarly to the inclination correction method (1), the displacement amount A (X A , X) between the axis C2 of the work 60 and the rotation center C1 of the turntable 26 is set.
Y A ) and deviation amount B (X B , Y B ) are obtained. CPU39
Is the calculated shift amount A (X A , Y A ) and the shift amount B
Based on (X B , Y B ), the following equations (3) and (4) are used to obtain FIG.
Is calculated as B (X, Y).

【００３３】 Ｘ＝（ＸB −ＸA ）・（Ｈ1 ／Ｈ2 ） …(3) Ｙ＝（ＹB −ＹA ）・（Ｈ1 ／Ｈ2 ） …(4) ただし、Ｈ1 ＝測定点Ｂと回転テーブル２６のチルト中
心Ｔ間の距離 Ｈ2 ＝測定点Ａと測定点Ｂ間の距離 算出された傾き量Ｂ（Ｘ、Ｙ）はディスプレイ７２に表
示される。X = (X B −X A ) · (H 1 / H 2 ) (3) Y = (Y B −Y A ) · (H 1 / H 2 ) (4) where H 1 = measurement point B the inclination amount distance is calculated between the distance H 2 = a measurement point a measurement point B between the tilt center T of the rotary table 26 B (X, Y) is displayed on the display 72.

【００３４】測定者はディスプレイ７２に表示された傾
き量Ｂ( Ｘ、Ｙ）を見ながらＸ軸方向のチルチング調整
ツマミ３２、Ｙ軸方向のチルチング調整ツマミを回動し
て、傾き量Ｂ( Ｘ、Ｙ）が零になるように補正する。こ
れにより、図５（Ｂ）に示すようにワーク６０の軸心Ｃ
２は回転テーブル２６の回転中心Ｃ１と平行に配設され
る。The measurer turns the tilt adjustment knob 32 in the X-axis direction and the tilt adjustment knob in the Y-axis direction while observing the tilt amount B (X, Y) displayed on the display 72 to obtain the tilt amount B (X , Y) are corrected to zero. As a result, as shown in FIG.
2 is arranged in parallel with the rotation center C1 of the turntable 26.

【００３５】この場合、ワーク６０の軸心Ｃ２と回転テ
ーブル２６の回転中心Ｃ１とのズレ量Ｂ′( Ｘ′、
Ｙ′）は次式(5)、(6)で算出される。 Ｘ′＝ＸB −Ｘ …(5) Ｙ′＝ＹB −Ｙ …(6) 算出されたズレ量Ｂ′( Ｘ′、Ｙ′）はディスプレイ７
２に表示される。In this case, the displacement B '(X', X ', X) between the axis C2 of the work 60 and the rotation center C1 of the rotary table 26
Y ′) is calculated by the following equations (5) and (6). X ′ = X B −X (5) Y ′ = Y B −Y (6) The calculated shift amount B ′ (X ′, Y ′) is displayed on the display 7.
2 is displayed.

【００３６】測定者はディスプレイ７２に表示されたズ
レ量Ｂ′( Ｘ′、Ｙ′）を見ながらＸ軸調整ツマミ２
８、Ｙ軸調整ツマミを回動して、ズレ量Ｂ′( Ｘ′、
Ｙ′）が零になるように補正する。これにより、図５
（Ｃ）に示すようにワーク６０の軸心Ｃ２と回転テーブ
ル２６の回転中心Ｃ１が一致して、ワーク６０の傾き補
正が完了する。The operator measures the X-axis adjustment knob 2 while watching the displacement amount B '(X', Y ') displayed on the display 72.
8. Rotate the Y-axis adjustment knob to adjust the deviation amount B '(X',
Y ′) is corrected to zero. As a result, FIG.
As shown in (C), the axis C2 of the work 60 coincides with the rotation center C1 of the turntable 26, and the inclination correction of the work 60 is completed.

【００３７】[0037]

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る真円度
測定機の傾き補正方法及び装置によれば、回転テーブル
のチルト中心位置における被測定物の軸心と回転テーブ
ルの回転中心とのズレ量を表示して、表示されたズレ量
が零になるように回転テーブルをＸ、Ｙ軸方向に移動す
る。そして、任意の測定点における被測定物の傾き量を
表示して、表示された傾き量が零になるように回転テー
ブルをＸ、Ｙ軸方向にチルト移動して回転テーブルの回
転中心と被測定物の軸心とを一致させる。As described above, according to the method and the apparatus for correcting the inclination of the roundness measuring device according to the present invention, the position of the axis of the object to be measured at the tilt center position of the rotary table and the rotation center of the rotary table are determined. The shift amount is displayed, and the rotary table is moved in the X and Y axis directions so that the displayed shift amount becomes zero. The tilt amount of the object to be measured at an arbitrary measurement point is displayed, and the rotary table is tilted in the X and Y directions so that the displayed tilt amount becomes zero, and the rotation center of the rotary table and the measured object are measured. Match the axis of the object.

【００３８】また、被測定物の軸心のチルト中心位置か
ら任意の測定点までの被測定物の軸心の傾き量を表示し
て、表示された傾き量が零になるように回転テーブルを
Ｘ、Ｙ軸方向にチルト移動する。次に、チルト移動完了
後の被測定物の軸心と回転テーブルの回転中心との、任
意の測定点におけるズレ量を表示して、表示されたズレ
量が零になるように回転テーブルをＸ、Ｙ軸方向に移動
して、回転テーブルの回転中心と被測定物の軸心とを一
致させる。The tilt amount of the axis of the object to be measured from the tilt center position of the axis of the object to an arbitrary measurement point is displayed, and the rotation table is set so that the displayed amount of tilt becomes zero. Perform tilt movement in the X and Y axis directions. Next, the amount of deviation between the axis of the object to be measured after the completion of the tilt movement and the center of rotation of the rotary table at an arbitrary measurement point is displayed, and the rotation table is rotated so that the displayed deviation becomes zero. , And the center of rotation of the rotary table coincides with the axis of the object to be measured.

【００３９】このように、表示部に表示された所定の測
定点におけるＸ、Ｙ軸方向のズレ量、及び傾き量を見な
がらズレ量、及び傾き量が零になるように回転テーブル
をＸ、Ｙ軸方向に水平移動したり、回転テーブルをＸ、
Ｙ軸方向にチルト移動して、回転テーブルの回転中心と
被測定物の軸心とを一致させることができる。従って、
被測定物の軸心傾きの補正を作業熟練者以外の作業者で
も容易に行うことができる。As described above, while observing the shift amount and the tilt amount in the X and Y axis directions at the predetermined measurement points displayed on the display unit, the rotation table is set so that the shift amount and the tilt amount become zero. Move horizontally in the Y-axis direction,
By tilting in the Y-axis direction, the rotation center of the rotary table can be made to coincide with the axis of the object to be measured. Therefore,
The correction of the inclination of the axis of the object to be measured can be easily performed by an operator other than a skilled worker.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本発明に係る傾き補正装置が使用さている真円
度測定機の要部拡大図FIG. 1 is an enlarged view of a main part of a roundness measuring machine used by a tilt correction device according to the present invention.

【図２】本発明に係る真円度測定機の傾き補正装置のブ
ロック図FIG. 2 is a block diagram of a tilt correction device of the roundness measuring machine according to the present invention.

【図３】本発明に係る真円度測定機の傾き補正装置を使
用にしてワークの傾きを補正する傾き補正方法(1)のフ
ローチャートFIG. 3 is a flowchart of a tilt correction method (1) for correcting the tilt of a workpiece using the tilt correction device of the roundness measuring device according to the present invention.

【図４】図４（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は傾き補正方法
(1)のそれぞれの状態を説明した図FIGS. 4A, 4B, and 4C show a tilt correction method.
Diagram explaining each state of (1)

【図５】図５（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は傾き補正方法
(2)のそれぞれの状態を説明した図FIGS. 5A, 5B, and 5C show a tilt correction method.
Diagram explaining each state of (2)

【図６】従来の傾き補正方法の説明図FIG. 6 is an explanatory diagram of a conventional inclination correction method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１０…真円度測定機の傾き補正装置 １８…Ｘテーブル ２２…Ｙテーブル ２６…回転テーブル ２８…Ｘ軸調整ツマミ ３２…チルチング調整ツマミ ３９…ＣＰＵ ５８…検出器 ５８Ｂ…測定子 ６０…ワーク ７２…ディスプレイ Ｃ１…回転テーブルの回転中心 Ｃ２…ワークの軸心 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Inclination correction device of roundness measuring machine 18 ... X table 22 ... Y table 26 ... Rotary table 28 ... X axis adjustment knob 32 ... Tilt adjustment knob 39 ... CPU 58 ... Detector 58B ... Measuring element 60 ... Work 72 ... Display C1: Center of rotation of rotary table C2: Axis of work

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】 測定子を被測定物の任意の測定点に接触
した状態で回転テーブルを回転して、測定子の変位量に
基づいて複数の測定点における被測定物の軸心と回転テ
ーブルの回転中心との各々のズレ量を算出する工程と、 前記算出された各々のズレ量に基づいて、回転テーブル
のチルト中心位置における被測定物の軸心と回転テーブ
ルの回転中心とのズレ量を算出して、該チルト中心位置
のズレ量を表示する工程と、 前記表示されたチルト中心位置のズレ量が零になるよう
に回転テーブルをＸ、Ｙ軸方向に移動する工程と、 前記測定子を被測定物の任意の測定点に接触した状態で
回転テーブルを回転して、任意の測定点における被測定
物の傾き量を算出して、該傾き量を表示する工程と、 前記表示された傾き量が零になるように回転テーブルを
Ｘ、Ｙ軸方向にチルト移動して、回転テーブルの回転中
心と被測定物の軸心とを一致させる工程と、 を備えたことを特徴とする真円度測定機の傾き補正方
法。A rotary table is rotated in a state in which a measuring element is in contact with an arbitrary measuring point on an object to be measured, and the axis of the object to be measured at a plurality of measuring points and the rotating table are determined based on the displacement of the measuring element. Calculating the amount of deviation from the rotation center of the rotary table; and, based on the calculated amounts of deviation, the amount of deviation between the axis of the DUT at the tilt center position of the rotary table and the rotation center of the rotary table. Calculating the amount of deviation of the tilt center position, and moving the rotary table in the X and Y-axis directions so that the displayed amount of deviation of the tilt center position becomes zero; Rotating the rotary table in a state where the probe is in contact with an arbitrary measurement point on the DUT, calculating the amount of inclination of the DUT at the arbitrary measurement point, and displaying the amount of inclination; and Rotation table so that the amount of tilt Le X, and tilts in the Y-axis direction, the inclination correction method roundness measuring machine, characterized in that it comprises a step to match the axial center of the rotation center and the object to be measured of the turntable, the. 【請求項２】 測定子を被測定物の任意の測定点に接触
した状態で回転テーブルを回転して、測定子の変位量に
基づいて複数の測定点における被測定物の軸心と回転テ
ーブルの回転中心との各々のズレ量を算出する工程と、 前記算出された各々のズレ量に基づいて、被測定物の軸
心のチルト中心位置から任意の測定点までの被測定物の
軸心の傾き量を算出して、該傾き量を表示する工程と、 前記表示された傾き量が零になるように回転テーブルを
Ｘ、Ｙ軸方向にチルト移動する工程と、 前記チルト移動完了後の被測定物の軸心と回転テーブル
の回転中心との、前記任意の測定点におけるズレ量を算
出して、該ズレ量を表示する工程と、 前記表示されたズレ量が零になるように回転テーブルを
Ｘ、Ｙ軸方向に移動して、回転テーブルの回転中心と被
測定物の軸心とを一致する工程と、 を備えたことを特徴とする真円度測定機の傾き補正方
法。2. The method according to claim 1, wherein the rotating table is rotated while the measuring element is in contact with an arbitrary measuring point of the measuring object, and the axis of the measuring object and the rotating table are measured at a plurality of measuring points based on the displacement of the measuring element. Calculating the amount of deviation from the rotation center of the object; and, based on the calculated amount of deviation, the axis of the object from the tilt center position of the axis of the object to an arbitrary measurement point. Calculating the amount of tilt of the rotary table and displaying the amount of tilt; tilting the rotary table in the X and Y-axis directions so that the displayed amount of tilt becomes zero; Calculating a shift amount at the arbitrary measurement point between the axis of the object to be measured and the rotation center of the rotary table, and displaying the shift amount; and rotating the display unit so that the displayed shift amount becomes zero. Move the table in the X and Y axis directions and rotate the rotary table The inclination correction method of roundness measuring machine characterized by comprising the steps, the matching of the axis of the object. 【請求項３】 回転テーブルに載置された被測定物の所
定の測定点に測定子を接触した状態で被測定物を回転し
て、前記測定子の変位量に基づいて所定の測定点におけ
る被測定物の軸心と回転テーブルの回転中心とのズレ量
を算出する真円度測定機の傾き補正装置において、 複数の測定点における前記被測定物の軸心と回転テーブ
ルの回転中心とのズレ量に基づいて、回転テーブルのチ
ルト中心位置における被測定物の軸心と回転テーブルの
回転中心とのＸ、Ｙ軸方向のズレ量、及び被測定物の軸
心の傾き量を算出する制御手段と、 制御手段で算出されたＸ、Ｙ軸方向のズレ量、被測定物
の軸心の傾き量を表示する表示手段と、 表示部に表示されたＸ、Ｙ軸方向のズレ量を零にするよ
うに回転テーブルをＸ軸方向、Ｙ軸方向に水平移動可能
な回転テーブル調整手段と、 表示部に表示された被測定物の軸心の傾き量を零にする
ように回転テーブルをＸ軸方向、Ｙ軸方向にチルト移動
可能な回転テーブルチルト調整手段と、 を備え、たことを特徴とする真円度測定機の傾き補正装
置。3. An object to be measured is rotated in a state in which a measuring element is in contact with a predetermined measuring point of the object to be measured mounted on a rotary table, and a predetermined measuring point is determined based on a displacement amount of the measuring element. In a tilt correction device of a roundness measuring device for calculating a deviation amount between an axis of a device to be measured and a rotation center of a rotary table, a method of calculating a deviation between the axis of the device to be measured and a rotation center of a rotary table at a plurality of measurement points. Control for calculating the amount of deviation in the X and Y axes between the axis of the DUT at the tilt center position of the rotary table and the center of rotation of the rotary table, and the amount of tilt of the axis of the DUT, based on the amount of deviation Means for displaying the amount of displacement in the X and Y axes directions calculated by the control means, and the amount of tilt of the axis of the object to be measured; and the amount of displacement in the X and Y axes directions displayed on the display unit to zero. The rotary table can be moved horizontally in the X-axis direction and the Y-axis direction so that Rotating table adjusting means, and rotating table tilt adjusting means capable of tilting the rotary table in the X-axis direction and the Y-axis direction so that the tilt amount of the axis of the DUT displayed on the display unit becomes zero. An inclination correcting device for a roundness measuring machine, comprising:
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JP6585476B2 (en) * 2015-11-17 2019-10-02 ローランドディー．ジー．株式会社 Correction method and correction apparatus

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